CN101750977A - 应用用户界面控制半导体制造装置的系统与方法 - Google Patents

应用用户界面控制半导体制造装置的系统与方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种使用用户界面控制半导体制造装置的系统与方法。该控制系统连接有至少一个控制器，该控制器通过网络连接到多个半导体制造装置上。控制器包括上位控制器如远程控制主机，和下位控制器如群集工具控制器。该控制器包括用户界面应用程序，以用于控制、监视和管理半导体制造装置。该用户界面应用程序在屏幕的一侧区域提供导航菜单，以历史顺序显示用户访问的菜单。采用与用户访问的菜单相对应的菜单条的方式提供导航菜单。该导航菜单用于在切换到另一菜单之前，自动存储用户修改的数据。用户访问的菜单可以通过用户界面进行快速选择，并且可以防止在用户访问的菜单中丢失修改数据。

Description

应用用户界面控制半导体制造装置的系统与方法
相关申请的交叉引用
根据35U.S.C§119的规定，本美国非临时专利申请要求于2008年11月27日提交的申请号为10-2008-0118516的韩国专利申请的优先权，其全部内容通过引用合并于此。
技术背景
在此公开的本发明涉及控制系统，尤其涉及使用用户界面进行半导体制造装置的控制、监测与管理的系统与方法。
一般而言，生产半导体产品需要很多步加工工序。为了控制这些加工工序，就需要在生产线上构建各种半导体制造装置。为了控制各种加工工序，半导体制造装置拥有一套通过网络连接的控制系统。举例来说，控制系统包括可编程逻辑控制器或计算机，该控制系统设置一套工艺制程，包括工艺条件与工艺流程，用来控制半导体制造装置。该控制系统监控工艺规程控制的各部分，以管理与工艺相关的信息。根据制造工艺，半导体制造装置包括多种的组件。一般来说，半导体制造装置包括加工基板用的加工单元，与运输基板用的运输单元。
半导体制造装置的控制系统通过网络传输数据来控制、监测与管理该半导体制造装置的各加工工序。
为此目的，控制系统拥有一套控制程序，该控制程序使用用户界面实现对半导体制造设备的控制、监测与管理。其中用户界面内含有多种必要的菜单以对各个单元的工艺规程进行设置、监测与操作。例如，每台半导体制造设备都设有上百个菜单，使用者可以应用这些菜单，并根据半导体制造装置的加工过程控制、监测与分析信息。在载入模式下，用户界面可以向最初主屏幕载入许多可操作菜单屏幕。在菜单选择模式下，用户界面在所选菜单屏幕的上部区域显示多种的信息与子菜单。
在菜单选择模式下，如果用户修改的数据存在于上级屏幕中，因为从上级屏幕到选择屏幕做了切换，所以这些修改的数据就会丢失。例如，当有多个界面与创建数据相关时，为了查明与本数据相关的其它数据，在数据创建完成之前如果从第一界面切换到另一界面时，数据就会在创建状态下丢失。在这种情况下，使用者会感到很麻烦，因为不得不重新创建数据。而且无论何时选择屏幕时由于用户界面获得、处理与菜单有关的数据，屏幕就被刷新。在这种情况下，屏幕就会切换而没有保存编辑或修改状态下的数据。
同样，如果用户已经通过用户界面访问多个菜单，即使当用户希望重新访问已访问的菜单时，也必须通过几步菜单选择步骤重新选择希望访问的菜单位置，以选择菜单。因此，用户会感到很不方便，由于不得不重复相同的操作以重新访问已访问的菜单。
发明内容
本发明实施例，提供了使用用户界面控制半导体制造装置的系统与方法。
本发明实施例，还提供了控制半导体制造装置的系统与方法，该系统与方法可以通过导航菜单以历史顺序显示用户访问的菜单、从而方便地控制对各种菜单的访问。
本发明实施例，还提供了控制半导体制造装置的系统与方法，该系统与方法可以使用用户界面以防止屏幕切换中数据丢失。
本发明的控制系统使用用户界面控制、监测与管理半导体制造装置。该控制系统提供了基于用户界面的导航菜单，从而便于在用户访问的菜单间切换。
本发明的部分实施例中，控制半导体制造装置的系统包括：多个菜单对话，用于控制、监测及管理半导体制造装置。导航菜单，用于显示用户访问的菜单对话。导航控制器，用于激活导航菜单、记录与管理该导航菜单。还包括显示控制器，用于在界面中显示导航菜单。
其它的实施例中，导航菜单以菜单条的样式显示；
另外的实施例中，导航菜单放置于界面的上边区域，并且按顺序提供分别与所述用户访问菜单对话相对应的菜单条。
在另外的实施例中，所述系统还包括数据缓冲器，用于储存用户访问的菜单对话框中修改的数据。
在另外的实施例中，如果从当前访问菜单对话框切换到另一个菜单对话框而未保存所述修改数据时，所述导航控制器将所述修改数据存储到所述数据缓冲器中。
在另外的实施例中，如果从当前访问菜单对话框切换到另一个菜单对话框而未保存修改数据时，所述导航控制器在菜单切换之前自动将所述修改数据储存到所述数据缓冲器中。
在另外的实施例中，所述导航控制器互不相同地显示与无修改数据的菜单对话框相对应的菜单条、及与带有修改数据菜单对话框相对应的菜单条，所述两种菜单条包含在所述导航菜单中。
在另外的实施例中，所述系统还包括数据存储器，用来储存用于在屏幕中显示的菜单对话框与导航菜单的数据。
在另外的实施例中，所述系统还包括用户界面数据处理器，用于从所述数据存储器中读取屏幕显示数据。
在另外的实施例中，如果用户选择了其中一个菜单对话框，所述导航控制器向用户界面数据处理器发送请求信号，以请求获取在屏幕中显示的菜单对话框的数据；且所述用户界面数据处理器响应所述请求信号，从所述数据储存器中读取屏幕显示数据，并将所读取的屏幕显示数据提供给所述导航控制器。
在另外的实施例中，所述显示驱动器在屏幕的上部区域显示当前访问的菜单对话框及所述导航菜单。
在另外的实施例中，所述系统还包括下位控制器，所述下位控制器与半导体制造装置相连；还包括上位控制器，所述上位控制器与所述下位控制器相连；其中，所述下位控制器与所述上位控制器中的至少一个含有用户界面应用程序。
在另外的实施例中，所述下位控制器包括客户工具控制器，所述客户工具控制器通过内部网络连接到半导体制造装置。
在另外的实施例中，所述上位控制器包括主机，所述主机通过外部网络连接到半导体制造装置，以对半导体制造装置进行远程控制。
在本发明的其它实施例中，所述控制半导体制造装置的方法包括：加载含有菜单的用户界面，所述菜单用于对半导体制造装置进行控制、监测与管理；显示主屏幕，用于选择其中的一个菜单；显示导航菜单，用于将所选菜单以历史顺序记录在屏幕上。
在一些实施例中，所述显示导航菜单包括：将所述导航菜单设置在主屏幕的上部区域；以菜单条的样式显示所述导航菜单，所述菜单条分别对应用户选择的菜单。
在其它的实施例中，所述显示导航菜单包括：当从当前访问的菜单切换到与用户选择的任一菜单相对应的其它菜单时，在导航菜单中记录与显示新的菜单条。
在另外的实施例中，所述显示导航菜单包括：互不相同地显示与所选菜单中的包括用户修改数据的菜单相对应的菜单条、以及与不带修改数据的菜单相对应的菜单条。
在另外的实施例中，所述显示导航菜单包括：如果修改数据已经被用户保存，以与无修改数据的菜单相对应的菜单条相同的显示方式，显示与包含修改数据的菜单相对应的菜单条。
在另外的实施例中，所述方法还包括在菜单切换之前储存修改数据。
在本发明的另外实施例中，使用用户界面，所述用户界面包含用于控制、监测及管理半导体制造装置的菜单的菜单对话框，控制半导体制造装置的方法包括：加载用户界面；显示菜单对话框中的主屏幕；激活导航菜单，用于显示用户所选的菜单对话框；和，当选择一个或多个所述菜单对话框时，以历史顺序在所述导航菜单中记录所选菜单对话框。
在一些实施例中，所述激活主菜单包括：在导航菜单中以菜单条的样式显示用户访问的每个菜单对话框。
在其它的实施例中，在所述导航菜单中记录菜单对话框与显示菜单对话框之间能够切换屏幕。
在另外的实施例中，所述方法还包括：如果从上级菜单对话切换到其中一个在导航菜单中记录与显示的菜单对话框，则确定修改数据是否存在于上级菜单对话框中。
在另外的实施例中，所述方法还包括：如果修改数据存在于上级菜单对话框中，则自动存储所述修改数据。
在另外的实施例中，所述导航菜单互不相同地显示带有修改数据的所述菜单条、及不带修改数据的菜单条。
在另外的实施例中，如果修改数据已经保存，以与无修改数据的菜单相对应的菜单条相同的显示方式，显示与包含修改数据的菜单相对应的菜单条。
在另外的实施例中，所述导航菜单在屏幕的上部区域中显示
附图说明
所包含的附图用于进一步阐述本发明，且合并于于本说明书且组成本说明书的一部分。附图图解了本发明的示例性实施例，与说明书一起用于解释本发明的原理。附图中：
图1是本发明实施例用于控制半导体制造装置的控制系统的网络结构框图；
图2是图1所示的上位控制器或下位控制器的框图；
图3是图2所示的上位控制器或下位控制器的用户界面应用程序的框图；
图4是本发明应用导航菜单控制用户界面过程的流程图；
图5是本发明实施例的应用导航菜单控制用户界面的过程的流程图；和
图6A到6E及图7示出了本发明实施例的显示了导航菜单的用户界面屏幕。
具体实施方式
下文将会参照附图更加详细地对本发明进行说明。然而，本发明也可以有不同形式的实施方式，而不局限于此处所列举的实施例。应该是，提供这些实施例以便使本公开彻底和完全，并将本发明的范围完全传递给本领域的技术人员。因此在附图中，为了清楚的进行图示扩大了元件或组件的尺寸和形状。
下文中，将参考附图详细描述本发明的实施例。
图1是本发明实施例用于控制半导体制造装置的控制系统的网络结构框图；
参考图1，控制系统10使用用户界面对半导体制造装置300进行控制、监测与管理。控制系统10通过网络20及30将多个半导体制造装置连接到至少一个控制器100/200上。多个半导体制造装置300可以执行相同的或不同的工序。举例来说，虽然没有在图1中示出，但是半导体制造装置300可以包含不同的单元，如加工单元，该加工单元用于加工晶圆(或基板)；运输单元，该运输单元用于在各单元间运送晶圆。
控制器100/200包括上位控制器100与下位控制器200。控制器100/200使用用户界面控制、监测与管理半导体制造装置300。
举例来说，上位控制器100包括主机，并且通过外部网络20连接到多个下位控制器200。外部网路20包括应用协议、如TCP/IP协议的通讯网络。上位控制器100与下位控制器200通过外部网络20交换信息，以远程控制半导体制造装置300。
下位控制器200包括控制器，如可编程逻辑控制器及个人计算机(PC)，并且通过内部网络30连接到半导体制造装置300上。内部网络30包括通讯网络，如串行通信接口及局域网(LAN)。上位控制器100或下位控制器200可以包括不同的群集工具控制器(CTC)。上位控制器100可以包括故障检测与分类(FDC)系统，而下位控制器200可以包含CTC。上位控制器100与下位控制器200使用用户接口相互交换有关半导体制造装置之间的信息，以便控制、监测与管理半导体制造装置。
图2是图1所示上位控制器100或下位控制器200的框图。
参考图2，上位控制器100或者下位控制器200包括了典型的计算机装置的组件。举例来说，上位控制器100或者下位控制器200包含处理器202、内存204、存储器206、接口单元208、输入单元210及显示单元212。所述各部件均连接到内部总线上。其中，接口单元208连接到内部网络30或者外部网络20上(见图1)。下文中，将在下位控制器200的基础上，对本发明的技术特征进行详细描述。
具体来说，下位控制器200包括CTC。在此情况下，上位控制器100可以包含另外的CTC或者主机。
根据本发明，存储器206包括用户界面(UI)应用程序220。
图3是图2所示上位控制器或下位控制器的用户界面应用程序220的框图。
参考图3，用户界面应用程序220提供导航菜单234，该导航菜单用于以历史顺序显示用户访问的菜单。另外，用户界面应用程序220包括：多个菜单对话框228、UI数据处理器222、数据存储器224、导航控制器226、数据缓冲器232及显示驱动器230。
用户界面应用程序220包括：第一处理器240，用于处理关于用户界面的数据；第二处理器250，用于处理屏幕显示，以便导航菜单234在屏幕中显示。具体来说，第一处理器240包括用户界面数据处理器222与数据存储器224，第二处理器250包括菜单对话框228、用户界面数据处理器222、数据存储器224、导航控制器226、数据缓冲器232、显示驱动器230及导航菜单234。
菜单对话框228包含与用于控制、监测与管理半导体制造装置300的各种菜单有关的信息。举例来说，为每一个半导体制造装置提供超过一百个此类菜单，因此也应该提供相同数量的菜单对话228框，并且各个菜单对话228用于用户界面的屏幕显示。
用户界面数据处理器222处理用户界面应用程序220的用户界面的屏幕显示。用户界面数据处理器222加载用户界面。而且，用户界面处理器222在导航控制器226与数据存储器224之间为用户界面传递数据DATA与命令REQ。
数据存储器224储存多种数据与信息，以用于用户界面应用程序220显示。数据存储器224储存信息与数据，以用于菜单对话228及导航菜单234在屏幕上显示。用户界面数据处理器222将数据储存到数据储存器224，或者从数据存储器224中读取数据。
当用户界面数据处理器222加载用户界面时，导航控制器226在屏幕上激活导航菜单234。在导航菜单234中，导航控制器226以历史顺序记录、显示与管理用户访问的菜单。举例来说，导航菜单234在屏幕的一侧区域内以菜单条的样式显示，这些菜单条分别与用户访问的所述菜单对话框相对应。
数据缓冲器232存储已修改的、或正在当前访问的菜单对话框中进行编辑的数据。
显示驱动器230显示通过导航控制器226从数据存储器224中得到的数据。在这里，设置显示驱动器230，以在屏幕的上部区域(最上面的区域)中显示导航菜单234、以及菜单对话框228中当前访问的菜单对话框。
当用户选择菜单对话框228中的其中一个菜单对话框时，用户界面应用程序220从导航控制器226向用户界面数据处理器222传送请求信号REQ，以请求获取在屏幕上显示所选菜单对话框的数据。用户界面数据处理器222响应该请求信号REQ，从数据存储器224中读取用于屏幕显示的数据，并把所读取的数据提供给导航控制器226。相应地，导航控制器226向显示驱动器230传送所读取的数据、以将所选菜单对话框显示在屏幕上，因此所选菜单对话框就按照选择顺序显示在屏幕上。在这里，导航菜单234按照选择顺序、以与各选择菜单对话框相对应的菜单条的样式，显示在屏幕的一侧区域内。同样，如果需要被储存的数据存在于上级屏幕中，则在各菜单对话框228之间的切换之前，导航控制器226控制数据自动储存在数据缓冲器232中。
图4是本发明应用导航菜单控制用户界面过程的流程图。
参考图4，在步骤S400中，上位控制器100或者下位控制器200执行用户界面应用程序220，以加载用户界面。举例来说，显示单元212显示用户应用程序220的主屏幕。该主屏幕包括用于控制、监测与管理半导体制造装置300的多种菜单。在步骤S402中，导航菜单234被激活，并显示在主屏幕一侧的区域内。在步骤S404中，用户选择多种菜单中的其中一个菜单。被选菜单在包含有导航菜单234的屏幕中显示。在步骤S406中，当重复进行菜单选择时，所选的多个菜单被记录并以历史顺序显示在导航菜单234中。
下文中，将根据本发明的实施例，参考图5到图7详细描述控制导航菜单的过程。
图5是本发明实施例的应用导航菜单控制用户界面过程的流程图。具体来说，图5示出了根据本发明实施例、通过用户界面控制导航菜单的过程。图6A到6E及图7示出了本发明实施例的显示了导航菜单的用户界面屏幕。该菜单控制过程将会以图6A到6E及图7中示出的用户界面的屏幕为基础进行描述。
参考图5，在步骤S410中，当加载用户界面后，在步骤S412中显示如图6A中示出的主屏幕500。在步骤S414中，导航菜单510被激活，并在主屏幕500的上部区域中显示。主屏幕500是菜单对话228中的其中之一。主屏幕500包括选择按钮520，以用于选择菜单对话框228中的、其中一个用于控制、监测与管理半导体制造装置300的菜单对话框。可以选择选择按钮520中的一个按钮，以输出图6E中所示的另一个子屏幕540，并且多个其它选择按钮542可以在子屏幕540中显示。子屏幕540也属于菜单对话框228。主屏幕500包括显示区域502，以用于显示与选择按钮520相对应的各种信息。每一个用于其它菜单的菜单对话框都可以包括显示区域(图6A到6E及图7中的502～508)，以用于显示各种信息。显示区域502～508包括与相应的选择按钮有关的各种信息，例如半导体制造装置300的运转状态、工作条件、加工情况及特殊单元的图像。所述各种信息包括可进行修改的数据。主屏幕500还包括多个命令按钮526，以用于执行各种命令，这些命令可用于执行结束(END)操作、修改或储存显示区域502中提供的数据。同样，主屏幕包括位于显示区域502一侧的导航菜单510。
在步骤S416中，当用户按下主屏幕500中的其中一个选择按钮522，以选择步骤S416中的其中一个菜单时，如图6B显示的所选菜单的菜单对话框530就显示在步骤S418中。为控制半导体制造装置300，该菜单选择可以重复数次，或者可以重复不同的菜单对话框。
在步骤S420中，代表上级主屏幕500的菜单条512被记录并显示在导航菜单510中，导航菜单510位于主界面500的上部区域。导航菜单510以与用户访问的各菜单对话框相对应的菜单条的形式显示。当选择另一选择按钮524，来选择另一菜单时，代表上级显示菜单对话框530的菜单条514就会被记录并显示在如图6C所示的导航菜单510b中。具体来说，用户访问的菜单按历史顺序记录在导航菜单510(510a，510b)中。
在步骤S422中，要决定是否选择了其它菜单来切换菜单屏幕。具体来说，如图6C及6D所示，当选择了另一个菜单时，菜单控制程序进入步骤S424。在步骤S424中，要决定数据506a是否要在上级菜单界面532中修改。如果修改的数据506b是当前的(be present)，菜单控制程序进入步骤S426。在步骤S426中，导航控制器226自动的将上级菜单屏幕的修改数据506b储存到数据缓冲器232中。在步骤S428中，就会切换到当前选定菜单的菜单屏幕中。
同样，如图6E中所示出的，如果选择了再一个菜单时，菜单控制程序进入步骤S420，在导航菜单510c中记录并显示代表上级菜单屏幕的菜单条516。这里，导航菜单510c互不相同地显示代表具有修改数据的菜单对话框的菜单条514a，及与具有已储存的修改数据的菜单对话框(也就是，没有修改数据的菜单对话框)相对应的菜单条516。举例来说，代表具有修正数据的菜单对话框的菜单条514a以不同的颜色，或者以不同的闪动方式显示。
同样，可选择导航菜单510c中记录与显示的菜单条512～516中的一个、以切换到相应的菜单屏幕。这里，可以按下其中一个选择按钮522以显示相应的子菜单540。子菜单540包括多个其它选择按钮542。以与上述同样的方式，导航控制器226记录并显示代表子菜单540中的选择菜单542的菜单条516，用来管理导航菜单510c。
同样，如图7中所示，代表无存储数据的菜单对话框的菜单条518a与518b可以在导航菜单510d中记录与显示。同样，在此情况下，导航菜单510d中所有的菜单条之间能够进行屏幕切换。因此，为了防止数据丢失，可以选择代表无存储数据的菜单对话框的菜单条518a与518b，以用来切换相应的菜单对话框，并且可以点击相应的命令按钮526以存储修改数据。
如上所述，本发明的所述控制系统应用基于用户界面的导航菜单，控制、监测与管理半导体制造装置，从而使不同菜单之间的转换变的容易。
同样，当通过导航菜单切换屏幕时，所述控制系统自动存储存在于上级屏幕中的修改数据，从而能够防止数据丢失。
同样，在导航菜单中，所述控制系统显示带有用户修正数据的菜单，从而防止能够数据丢失。
同样，所述控制系统应用导航菜单以历史顺序显示用户访问的各种操作相关菜单，从而使得用户可以方便地选择导航菜单中记录与显示的要的菜单，而不必重新寻找需要的菜单。
上述公开的主题应该被认为是例证性的，而不是限制性的，并且所附权利要求书是为了覆盖属于本发明精神与范围内的所有修改、改进及其它实施例。因此，为了达到法律允许的最大范围，本发明的范围由下述的权利要求书及其等效物的最大可允许的解释来决定，而并不由上文详细的描述来限定。

Claims (28)

1.一种控制半导体制造装置的系统，包括：
多个菜单对话框，用于控制、监测及管理半导体制造装置；
导航菜单，用于显示用户访问的菜单对话框；
导航控制器，用于激活导航菜单，并记录与管理所述导航菜单；和
显示驱动器，用于在屏幕中显示所述导航菜单。
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述导航菜单以菜单条的样式显示。
3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述导航菜单置于屏幕的上部区域，并且顺序地提供分别与用户访问的菜单对话框相对应的菜单条。
4.根据权利要求3所述的系统，还包括数据缓冲器，用于储存用户访问的所述菜单对话框中修改的数据。
5.根据权利要求4所述的系统，其中，如果从当前访问的菜单对话框切换到另一个菜单对话框而未保存所述修改数据时，所述导航控制器将所述修改数据存储到所述数据缓冲器中。
6.根据权利要求5所述的系统，其中，如果从当前访问的菜单对话框切换到另一个菜单对话框而未保存所述修改数据时，所述导航控制器在菜单切换之前自动将所述修改数据储存到所述数据缓冲器中。
7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述导航控制器互不相同地显示与无修改数据的菜单对话框相对应的菜单条、及与带有修改数据的菜单对话框相对应的菜单条，所述两种菜单条包含在所述导航菜单中。
8.根据权利要求1所述的系统，还包括数据存储器，用来储存用于在屏幕中显示的菜单对话框与导航菜单的数据。
9.根据权利要求8所述的系统，还包括用户界面数据处理器，用于从所述数据存储器中读取屏幕显示数据。
10.根据权利要求9所述的系统，其中，如果用户选择了其中一个菜单对话框，所述导航控制器向所述用户界面数据处理器发送请求信号，以请求获取在屏幕中显示的菜单对话框的数据；且
所述用户界面数据处理器响应所述请求信号，从所述数据存储器中读取屏幕显示数据，并将所读取的屏幕显示数据提供给所述导航控制器。
11.根据权利要求1所述的系统，其中，所述显示驱动器在屏幕的上部区域显示当前访问的菜单对话框与所述导航菜单。
12.根据权利要求1所述的系统，所述系统包括下位控制器，所述下位控制器与半导体制造装置相连；还包括上位控制器，所述上位控制器与所述下位控制器相连，
其中，所述上位控制器与所述下位控制器中的至少一个包含用户界面应用程序。
13.根据权利要求12所述的系统，其中，所述下位控制器包括客户工具控制器，所述客户工具控制器通过内部网络连接到所述半导体制造装置。
14.根据权利要求13所述的系统，其中，所述上位控制器包括主机，所述主机通过外部网络连接到半导体制造装置，以对所述半导体制造装置进行远程控制。
15.一种控制半导体制造装置的方法，包括：
加载含有菜单的用户界面，所述菜单用于对半导体制造装置进行控制、监测与管理；
显示屏幕，用于选择其中的一个菜单；且
显示导航菜单，用于将所选菜单以历史顺序记录在屏幕上。
16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述显示导航菜单包括：
将所述导航菜单设置在屏幕的上部区域；和
以菜单条的样式显示所述导航菜单，所述菜单条分别对应用户选择的菜单。
17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述显示导航菜单包括：
当从当前访问的菜单切换到与用户选择的任一菜单相对应的其它菜单时，在所述导航菜单中记录与显示新的菜单条。
18.根据权利要求17所述的方法，其中，所述显示导航菜单包括：互不相同地显示与所选菜单中的包括用户修改数据的菜单相对应的菜单条、以及与不带修改数据的菜单相对应的菜单条。
19.根据权利要求18所述的方法，其中，所述显示导航菜单包括：如果修改数据已被用户保存，以与无修改数据的菜单相对应的菜单条相同的显示方式、显示与包含修改数据的菜单相对应的菜单条。
20.根据权利要求18所述的方法，还包括，在菜单切换之前储存修改数据。
21.一种使用用户界面控制半导体制造装置的方法，所述用户界面包括用于控制、监测及管理半导体制造装置的菜单的菜单对话框，所述方法包括：
加载用户界面；
显示菜单对话框中的屏幕；
激活导航菜单，用于显示用户所选的菜单对话框；和
当选择一个或多个所述菜单对话框时，以历史顺序在所述导航菜单中记录所选菜单对话框。
22.根据权利要求21所述的方法，其中，所述激活导航菜单包括：
在导航菜单中以菜单条的样式显示用户访问的每个菜单对话框。
23.根据权利要求22所述的方法，其中，在所述导航菜单中记录的菜单对话框与显示的菜单对话框之间能够切换屏幕。
24.根据权利要求23所述的方法，还包括：
如果从上级菜单对话框切换到在导航菜单中记录与显示的其中一个菜单对话框，则确定修改数据是否存在于上级菜单对话框中。
25.根据权利要求24所述的方法，还包括：
如果修改数据存在于上级菜单对话框中，则自动存储所述修改数据。
26.根据权利要求24所述的方法，其中，所述导航菜单互不相同地显示带有修改数据的所述菜单条、与不带修改数据的所述菜单条。
27.根据权利要求26所述的方法，其中，如果修改数据已经保存，以与无修改数据的菜单条相同的显示方式，显示包含修改数据的菜单条。
28.根据权利要求21所述的方法，其中，所述导航菜单在屏幕的上部区域中显示。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102569014A (zh) * 2010-12-27 2012-07-11 北京中科信电子装备有限公司 一种引束时更换菜单的方法
CN105336642A (zh) * 2014-07-23 2016-02-17 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 半导体设备腔室状态显示控制的方法及装置
CN108388494A (zh) * 2017-02-03 2018-08-10 瑞昱半导体股份有限公司 电子装置与其控制方法
CN109885016A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 富士迈半导体精密工业（上海）有限公司 半导体加工系统
CN109891854A (zh) * 2016-08-22 2019-06-14 西安姆贝拉有限公司 用于创建和管理基于控制器的远程解决方案的方法和设备

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102022470B1 (ko) 2014-06-27 2019-09-18 한화정밀기계 주식회사 Smt 생산라인의 이상 감시 및 예측 시스템의 기준 정보 설정 시스템
JP6625098B2 (ja) * 2017-07-20 2019-12-25 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理システム、半導体装置の製造方法およびプログラム
US11796978B2 (en) * 2018-11-26 2023-10-24 Asml Netherlands B.V. Method for determining root causes of events of a semiconductor manufacturing process and for monitoring a semiconductor manufacturing process
JP2022144287A (ja) 2021-03-18 2022-10-03 株式会社ディスコ 加工装置
KR102620421B1 (ko) 2022-02-16 2024-01-25 주식회사 인큐에스엠티 생산 모델 변경에 적응적으로 대응하는 smt 시스템
KR20230123117A (ko) 2022-02-16 2023-08-23 주식회사 인큐에스엠티 생산 효율이 증대된 smt 시스템

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1980350A (zh) * 2005-12-08 2007-06-13 三星电子株式会社 显示设备及用户界面菜单显示方法
KR20080040407A (ko) * 2006-11-03 2008-05-08 세메스 주식회사 반도체 제조 설비의 다수의 설정 메뉴를 표시하기 위한제어 시스템 및 그 방법

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0661061B2 (ja) 1985-07-23 1994-08-10 カシオ計算機株式会社 選択表示方法
JPH05120350A (ja) 1991-10-24 1993-05-18 Nec Corp 対話型情報提供システムの画面検索装置
JPH075858A (ja) 1993-06-17 1995-01-10 Canon Inc 電子機器および電子機器におけるテキストデータのカラー表示方法
US5644686A (en) * 1994-04-29 1997-07-01 International Business Machines Corporation Expert system and method employing hierarchical knowledge base, and interactive multimedia/hypermedia applications
CN1130746A (zh) * 1994-11-23 1996-09-11 惠而浦公司 室内空调器的菜单驱动遥控
JPH104047A (ja) * 1996-06-14 1998-01-06 Canon Inc 半導体製造装置及びコマンド設定方法
US5905496A (en) * 1996-07-03 1999-05-18 Sun Microsystems, Inc. Workflow product navigation system
KR19980038692A (ko) * 1996-11-26 1998-08-05 김광호 화상 형성 장치의 히스토리 메뉴 이용 방법
US7093229B2 (en) * 1997-09-17 2006-08-15 Synopsys, Inc. System and method for providing defect printability analysis of photolithographic masks with job-based automation
US6727917B1 (en) * 2000-01-06 2004-04-27 Microsoft Corporation User interface for palm-sized computing devices and method and apparatus for displaying the same
US7260777B2 (en) * 2001-08-17 2007-08-21 Desknet Inc. Apparatus, method and system for transforming data
CN1355481A (zh) * 2000-12-01 2002-06-26 英业达股份有限公司 一种使用弹出式菜单提示电脑系统信息的方法
JP2002259012A (ja) 2001-03-01 2002-09-13 Daikin Ind Ltd 設備機器管理システム
US6772034B1 (en) * 2001-07-12 2004-08-03 Advanced Micro Devices, Inc. System and software for data distribution in semiconductor manufacturing and method thereof
JP2003228410A (ja) * 2002-02-05 2003-08-15 Hitachi Ltd 着工管理システム
TWI286785B (en) * 2002-03-29 2007-09-11 Tokyo Electron Ltd Method for interaction with status and control apparatus
JP4299996B2 (ja) 2002-05-29 2009-07-22 株式会社日立ハイテクノロジーズ 遠隔保守システムおよび遠隔保守方法
JP3990944B2 (ja) * 2002-06-28 2007-10-17 株式会社日立ハイテクノロジーズ 自動分析装置
KR100443990B1 (ko) * 2002-09-16 2004-08-11 삼성전자주식회사 디스플레이장치
US7738693B2 (en) * 2002-12-24 2010-06-15 Lam Research Corporation User interface for wafer data analysis and visualization
TWI239460B (en) * 2003-09-12 2005-09-11 Li-Ching Chen Control device for multi-level on-site equipment data access and storage
US20070282480A1 (en) * 2003-11-10 2007-12-06 Pannese Patrick D Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
US8131626B2 (en) * 2003-11-17 2012-03-06 Bgc Partners, Inc. Customizable trading display of market data
JP2005309996A (ja) 2004-04-23 2005-11-04 Sharp Corp 電子装置
JP2006113705A (ja) 2004-10-13 2006-04-27 Nikon Corp 情報処理システム及びプログラム
KR20060129633A (ko) * 2005-06-13 2006-12-18 브이케이 주식회사 이동통신 단말기의 히스토리메뉴 제공 방법
US7778719B2 (en) * 2005-12-14 2010-08-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method, system, apparatus, and computer-readable medium for providing configure to service for a semiconductor manufacturing service guide system
JP4953427B2 (ja) 2006-06-21 2012-06-13 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、表示方法、記録媒体及びプログラム
JP2009129040A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Hitachi Ltd 情報認識システム
US8266540B2 (en) * 2008-04-15 2012-09-11 Applied Materials, Inc. Configuration based engineering data collection (EDC) for manufacturing lines

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1980350A (zh) * 2005-12-08 2007-06-13 三星电子株式会社 显示设备及用户界面菜单显示方法
KR20080040407A (ko) * 2006-11-03 2008-05-08 세메스 주식회사 반도체 제조 설비의 다수의 설정 메뉴를 표시하기 위한제어 시스템 및 그 방법

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102569014A (zh) * 2010-12-27 2012-07-11 北京中科信电子装备有限公司 一种引束时更换菜单的方法
CN105336642A (zh) * 2014-07-23 2016-02-17 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 半导体设备腔室状态显示控制的方法及装置
CN109891854A (zh) * 2016-08-22 2019-06-14 西安姆贝拉有限公司 用于创建和管理基于控制器的远程解决方案的方法和设备
CN109891854B (zh) * 2016-08-22 2022-04-08 西安姆贝拉有限公司 用于创建和管理基于控制器的远程解决方案的方法和设备
CN108388494A (zh) * 2017-02-03 2018-08-10 瑞昱半导体股份有限公司 电子装置与其控制方法
CN109885016A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 富士迈半导体精密工业（上海）有限公司 半导体加工系统

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Publication number Publication date
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