JP5507218B2

JP5507218B2 - ユーザーインターフェイスを利用して半導体製造設備を制御するシステム、及びその方法

Info

Publication number: JP5507218B2
Application number: JP2009268301A
Authority: JP
Inventors: カン，ヨンスン; カン，ドンヨン
Original assignee: Semes Co Ltd
Current assignee: Semes Co Ltd
Priority date: 2008-11-27
Filing date: 2009-11-26
Publication date: 2014-05-28
Anticipated expiration: 2029-11-26
Also published as: KR20100060079A; TWI451319B; CN101750977A; US8683365B2; KR101018840B1; TW201030594A; JP2010130017A; US20100131892A1; CN101750977B

Description

本発明は、制御システムに関し、より詳細には、半導体製造設備の制御、モニタリング及び管理するためのユーザーインターフェイスを利用する制御システム及びその方法に関する。

一般的に半導体製品を生産するために大きい製造工程が必要とし、このような製造工程を処理するために、生産ラインでは、多様な複数の半導体製造設備を構築する。半導体製造設備は、多様な工程を処理するために、ネットワークを通じて連結される制御システムを具備する。例えば、制御システムは、プログラム可能なロジックコントローラやコンピュータ等で具備される。制御システムは、工程条件、工程プロー等を包含する工程レシピ等を設定して複数の半導体製造設備を制御する。制御システムは、工程レシピの処理過程による各構成要素をモニタリングして工程の諸般に対する情報を管理する。半導体製造設備の構成要素は、工程にしたがって多様であるが、一般的に基板を処理する工程ユニットと、基板を移送する移送ユニット等を包含する。

このような半導体製造設備の制御システムは、工程が正常的に遂行できるように相互ネットワークを通じてデータ通信し、これを通じて半導体製造設備の各工程らを制御、モニタリング及び管理する。

そのため制御システムは、制御プログラムが具備される。制御プログラムは、ユーザーインターフェイスを利用して使用者が複数の半導体製造設備を制御、モニタリング及び管理する。ユーザーインターフェイスには、多様な複数のメニューが具備される。例えば、複数のメニューは、各ユニットに対する工程レシピを設定、モニタリング、動作させるため必要することであり、１つの半導体製造設備に対して数百個以上が提供される。このような複数のメニューを通じて使用者は、半導体製造設備の工程進行による多数の情報を制御、モニタリング及び分析できる。このような複数のユーザーインターフェイスは、一般的にローディングの時、動作できる複数個のメニュー画面を初期のメイン画面にローディングし、メニュー選択の時、該当メニュー画面に各種情報及び複数のサブメニューを画面の最上位に表示する。

メニュー選択の時、以前画面で選択された画面へ転換するので、以前画面に使用者によって修正された複数のデータが存在する場合、修正されたデータを失ってしまう。例えば、データを作成するのに、複数個のメニューが互いに関連している場合、何れか１つのメニューでデータの作成が完了される前にそのデータと関連している他のデータを確認するため、他のメニューへ転換すれば、作成中であるデータは、損失される。従って、使用者は、再びデータを作成しなければならない不便がある。又、ユーザーインターフェイスは、画面を選択する時毎に、メニューに対するデータを伝送されて処理するので画面がリフレッシュ（ｒｅｆｒｅｓｈ）される。が場合、既存に編集中、或いは修正中であるデータは、格納されなくて画面が転換される。

又、使用者がユーザーインターフェイスを利用して多様な複数のメニューにアクセスした場合、使用者が以前にアクセスした複数のメニューに再びアクセスしようとする時にも、望むメニューの位置を再び選択するため度々メニューを選択した過程を経て最終的に使用者が望むメニューを選択にされる。これは、使用者がすでにアクセスした同一のメニューを再びアクセスするため同一の過程を反復しなければならない不便がある。

韓国特許公開第１０−２００８−００４０４０７号

本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、ユーザーインターフェイスを利用して半導体製造設備を制御する制御システム及びその方法を提供することである。

本発明の他の目的は、使用者がアクセスした複数のメニューをヒストリー順に表示するナビゲーションメニューを利用して多様な複数のメニューのアクセスを容易に処理する半導体製造設備の制御システム及びその方法を提供することである。

本発明のその他の目的は、ユーザーインターフェイスを利用して画面転換の時データの損失を防止するための半導体製造設備の制御システム及びその方法を提供することである。

上述の目的を達成すべく、本発明による制御システムは、半導体製造設備を制御、モニタリング及び管理するためにユーザーインターフェイスを利用することにその一つの特徴がある。このように制御システムは、ユーザーインターフェイスを利用するナビゲーションメニューを提供して使用者がアクセスしたメニューとの間の移動を容易にする。

本発明の制御システムは、前記半導体製造設備を制御、モニタリング及び管理するための情報を包含する複数のメニューダイアログと、前記複数のメニューダイアログの中、使用者がアクセスした複数個のメニューダイアログを表示するナビゲーションメニューと、前記ナビゲーションメニューを画面に表示するように有効化させ、前記メニューダイアログのアクセスに対応して前記ナビゲーションメニューを登録、管理するナビゲーション制御部と、前記ナビゲーションメニューを前記画面に表示するように駆動するディスプレイ駆動部と、を包含する。

一実施形態において、前記ナビゲーションメニューは、メニューバータイプに表示される。

他の実施形態において、前記ナビゲーションメニューは、前記画面の上端部に配置される。そして、使用者がアクセスした前記複数のメニューダイアログ各々に対応して前記メニューバーが順次的に提供される。

その他の実施形態において、前記制御システムは、使用者がアクセスした前記メニューダイアログで修正されたデータを格納するデータバッファ部をさらに包含する。

その他の実施形態において、前記ナビゲーション制御部は、前記複数のメニューダイアログの中、現在アクセスされたメニューダイアログで前記修正されたデータの格納しなくて他のメニューダイアログへ転換されると、前記データバッファ部に前記修正されたデータを格納するように処理する。

その他の実施形態において、前記ナビゲーション制御部は、前記複数のメニューダイアログの中、現在アクセスされたメニューダイアログで前記修正されたデータの格納しなくて他のメニューダイアログへ転換されると、前記他のメニューダイアログへ転換する前に前記データバッファ部に前記修正されたデータを自動的に格納するように処理する。

その他の実施形態において、前記ナビゲーション制御部は、前記ナビゲーションメニューに包含された前記修正されたデータを有するメニューダイアログに対応されるメニューバーを前記ナビゲーションメニューに包含された修正されたデータがないメニューダイアログ及び前記修正されたデータを格納したメニューダイアログに対応するメニューバーを互いに異なって表示する。

その他の実施形態において、前記制御システムは、前記複数のメニューダイアログ及び前記ナビゲーションメニューを前記画面に表示するためのデータを格納するデータ格納部とをさらに包含する。

その他の実施形態において、前記制御システムは、前記データ格納部から前記画面に表示するためのデータを読出しするユーザーインターフェイスデータ処理部とをさらに包含する。

その他の実施形態において、前記ナビゲーション制御部は、使用者が何れか１つのメニューダイアログを選択すると、前記ユーザーインターフェイスデータ処理部へ前記何れか1つのメニューダイアログを前記画面に表示するデータを要請し、前記ユーザーインターフェイスデータ処理部は、前記要請に応答して前記画面に表示するデータを前記データ格納部から読出して、前記ナビゲーション制御部へ提供する。

その他の実施形態において、前記メニューダイアログらの中、現在アクセスされたメニューダイアログと前記ナビゲーションメニューを前記画面の最上位に表示するように駆動する。

その他の実施形態において、前記半導体製造設備に連結される下位制御部と前記下位制御部に連結される上位制御部を含み、前記ユーザーインターフェイスアプリケーションは、前記下位及び前記上位制御部の中、少なくとも１つに具備される。

その他の実施形態において、前記下位制御部は、前記半導体製造設備と内部ネットワークを通じて連結されるクライアントツールコントローラに具備される。

その他の実施形態において、前記上位制御部は、前記半導体製造設備に外部ネットワークを通じて連結されて前記半導体製造設備を遠隔制御するホストに具備される。

本発明の他の特徴によると、ユーザーインターフェイスを利用して半導体製造設備を制御する方法が提供される。この方法によると、前記半導体製造設備を制御、モニタリング及び管理するための多様な複数のメニューを具備する前記ユーザーインターフェイスをローディングする。前記複数のメニューの中、何れか１つを選択するためのメニュー画面を表示する。そして前記メニュー画面に使用者によって選択された複数個のメニューをヒストリー順に登録するナビゲーションメニューを表示する。

一実施形態において、前記ナビゲーションメニューを表示することは、前記メイン画面の上端部に前記ナビゲーションメニューを配置し、使用者が選択した前記複数のメニュー各々に対応した複数個のメニューバーにナビゲーションメニューを表示することを包含する。

他の実施形態において、前記ナビゲーションメニューを表示することは、使用者が選択した前記複数のメニュー各々に対応して、現在アクセスされているメニューから他のメニューへの転換が起こった時、新しいメニューバーをナビゲーションメニューに登録、表示することを含む。

他の実施形態において、前記ナビゲーションメニューを表示することは、ユーザーによって修正されたデータを含む選択されたメニューの中のメニューに対応するメニューバーと、修正されたデータのないメニューに対応するメニューバーを、お互いに異なって表示することを包含する。

その他の実施形態において、前記ナビゲーションメニューを表示することは、使用者によって前記修正されたデータが格納された場合、前記修正されたデータがないメニューに対応するメニューバーと同様な方法で、修正したデータを含むメニューに対応するメニューバーを表示することを包含する。

その他の実施形態において、前記制御方法は、前記他のメニューへ転換する前に前記修正されたデータを格納することをさらに包含する。

本発明のその他の特徴によると、半導体製造設備を制御、モニタリング及び管理するための多様な複数のメニューに対する複数個のメニューダイアログを具備するユーザーインターフェイスを利用して半導体製造設備を制御する方法が提供される。
この方法は、前記ユーザーインターフェイスをローディングすること、前記複数のメニューダイアログの中、メイン画面を表示すること、前記複数のメニューダイアログの中、使用者がアクセスしたメニューダイアログを表示するナビゲーションメニューを有効化すること、続いて前記複数のメニューダイアログの中、少なくとも１つのメニューダイアログを選択すると、前記ナビゲーションメニューに前記選択された複数のメニューダイアログをヒストリー順に登録して表示すること、を包含する。

一実施例において、前記ナビゲーションメニューを有効化することは、使用者がアクセスしたメニューダイアログ各々をメニューバータイプに前記ナビゲーションメニューに表示されるようにすることを包含する。

他の実施形態において、前記制御方法は、前記ナビゲーションメニューに登録、表示された複数のメニューダイアログ相互との間に画面転換ができる。

その他の実施形態において、前記制御方法は、前記ナビゲーションメニューに登録、表示された複数のメニューダイアログの中、何れか１つに転換されると、転換以前のメニューダイアログに修正されたデータがあるか否かを判別する。

その他の実施形態において、前記制御方法は、前記修正されたデータがあれば、転換以前に前記修正されたデータを自動的に格納する。

その他の実施形態において、前記ナビゲーションメニューは、前記ナビゲーションメニューに登録、表示された複数のメニューダイアログの中、前記修正されたデータがあるメニューバーと前記修正されたデータがないメニューバーは、互いに異なって表示する。

その他の実施形態において、前記ナビゲーションメニューは、前記修正されたデータを格納すると、前記修正されたデータがあるメニューバーを前記修正されたデータがないデータと同様な方法で表示する。

その他の実施形態において、前記ナビゲーションメニューは、画面の最上位に表示される。

上述したように、本発明の制御システムは、半導体製造設備を制御、モニタリング及び管理するためのナビゲーションメニューを提供するユーザーインターフェイスを利用することによって、多様な複数のメニューとの間の移動を容易にする。

又、本発明の制御システムは、ナビゲーションメニューを利用して画面転換の時、以前画面に修正されたデータがあれば、自動的に格納することによって、データの損失を防止できる。

又、本発明の制御システムは、使用者によって修正されたデータを有するメニューをナビゲーションメニューに表示することによって、データの損失を防止できる。

それだけでなく、本発明の制御システムは、ナビゲーションメニューを利用して使用者がアクセスした作業に関連した多くのメニューをヒストリー順に表示することによって、使用者が関連したメニューが必要する時毎に再び望むメニューを探す必要なしに、ナビゲーションメニューに登録、表示されたメニューを選択することによって作業を容易にする。

本発明による半導体製造設備を制御するための制御システムのネットワーク構成を示したブロック図である。図１に示した上位又は下位制御部の構成を示したブロック図である。図２に示した上位又は下位制御部のユーザーインターフェイスアプリケーションの構成を示したブロック図である。本発明によるナビゲーションメニューを具備するユーザーインターフェイスを処理する手順を示す流れ図である。本発明の一実施形態によるナビゲーションメニューを具備するユーザーインターフェイスを処理する手順を示す流れ図である。本発明の一実施形態によるナビゲーションメニューを示すユーザーインターフェイス画面である。本発明の一実施形態によるナビゲーションメニューを示すユーザーインターフェイス画面である。本発明の一実施形態によるナビゲーションメニューを示すユーザーインターフェイス画面である。本発明の一実施形態によるナビゲーションメニューを示すユーザーインターフェイス画面である。本発明の一実施形態によるナビゲーションメニューを示すユーザーインターフェイス画面である。本発明の一実施形態によるナビゲーションメニューを示すユーザーインターフェイス画面である。

本発明の実施の形態は、様々な形態に変形されることができ、本発明の範囲が後述の実施の形態に限定されると解釈されてはならない。本実施の形態は、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者に本発明をより詳細に説明するために提供される。従って、図面に示す各要素の形状は、より明白な説明を強調するために誇張することができる。

以下添付された図１乃至図７を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。

図１は、本発明による半導体製造設備を制御するための制御システムのネットワーク構成を示したブロック図である。

図１を参照すると、制御システム１０は、ユーザーインターフェイスを利用して半導体製造設備３００を制御、モニタリング、及び管理する。制御システム１０は、複数個の半導体製造設備３００がネットワーク２０、３０を通じて少なくとも１つの制御部１００、２００と連結される。半導体製造設備３００は、同一の工程を処理、或は互いに異なる工程を処理できる。例えば、半導体製造設備３００は、図面には図示されていないが、ウェハ（又は基板）を処理する複数の工程ユニットと、ウェハを各ユニットとの間へ移送する移送ユニット等多様な複数のユニットを包含する。

制御部１００、２００は、上位制御部１００と下位制御部２００とに区分される。制御部１００、２００は、半導体製造設備３００を制御するために、ユーザーインターフェイスを利用して制御、モニタリング及び管理する。

例えば、上位制御部１００は、ホスト（ｈｏｓｔ）を含み、外部ネットワーク２０を通じて複数の下位制御部２００と連結される。外部ネットワーク２０は、ＴＣＰ／ＩＰ等のようなプロトコルを利用する通信網を含む。上位制御部１００は、外部ネットワーク２０を通じて下位制御部２００と相互情報を提供して半導体製造設備３００を遠隔制御する。

下位制御部２００は、コントローラ、プログラム可能なロジックコントローラ（ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）及びパーソナルコンピュータ等を含み、半導体製造設備３００と内部ネットワーク３０を通じて連結される。内部ネットワーク３０は、直列通信インターフェイス、近距離通信網（ＬＡＮ）等のような通信網に具備される。上位及び下位制御部１００、２００は、互いに異なる複数のクラスターツールコントローラ（ＣｌｕｓｔｅｒＴｏｏｌＣｏｎｔｒｏｌｌｅｒ：ＣＴＣ）を含みうる。又、上位制御部１００は、設備分析システム（ＦａｕｌｔＤｅｔｅｃｔｉｏｎａｎｄＣｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎｓｙｓｔｅｍ：ＦＤＣ）を含むことができ、下位制御部２００は、クラスターツールコントローラＣＴＣとして含みうる。このような上位及び下位制御部１００、２００は、半導体製造設備３００を制御、モニタリング及び管理するため、ユーザーインターフェイスを利用して半導体製造設備３００に対する情報を相互提供する。

図２は、図１に図示されている上位または下位制御部、１００または２００のブロック図である。

具体的に図２を参照すると、上位又は下位制御部１００又は２００は、典型的なコンピュータ装置の構成要素らを包含する。例えば、上位又は下位制御部１００又は２００は、プロセッサ―２０２、メモリ２０４、格納装置２０６、インターフェイス装置２０８、入力装置２１０及びディスプレイ装置２１２等を包含する。これらの構成要素は、内部バスに各々連結される。インターフェイス装置２０８は、内部又は外部ネットワーク３０又は２０（図１参照）と連結される。ここでは、下位制御部２００を利用して本発明の技術的な特徴を詳細に説明する。

即ち、下位制御部２００は、クラスターツールコントローラＣＴＣとして具備される。この場合、上位制御部１００は、他のクラスターツールコントローラＣＴＣ或いはホストを包含しうる。

格納装置２０６は、本発明によるユーザーインターフェイスＵＩアプリケーション２２０を具備する。

図３は、図２に図示されている上位または下位制御部のＵＩアプリケーション２２０のブロック図である。

具体的に図３を参照すると、ＵＩアプリケーション２２０は、使用者がアクセスした複数個のメニューをヒストリー順に表示するナビゲーションメニュー２３４を提供する。又、ＵＩアプリケーション２２０は、複数個のメニューダイアログ２２８と、ユーザーインターフェイスＵＩデータ処理部２２２と、データ格納部２２４と、ナビゲーション制御部２２６と、データバッファ部２３２、及びディスプレイ駆動部２３０を包含する。

ＵＩアプリケーション２２０は、ユーザーインターフェイスに対するデータを処理する第１処理部２４０と、ユーザーインターフェイスの画面にナビゲーションメニュー２３４を表示するように処理する第２処理部２５０を包含する。即ち、第１処理部２４０は、ＵＩデータ処理部２２２とデータ格納部２２４が包含され、第２処理部２５０は、ナビゲーションメニュー２３４と、メニューダイアログ２２８と、ユーザーインターフェイスＵＩデータ処理部２２２と、データ格納部２２４と、ナビゲーション制御部２２６と、データバッファ部２３２と、ディスプレイ駆動部２３０とを包含する。

複数のメニューダイアログ２２８は、複数の半導体製造設備３００を制御、モニタリング及び管理するための多様な複数のメニューに対する情報を包含する。このようなメニューは、例えば、１つの半導体製造設備３００に対して数百個以上に具備される。そのため、メニューダイアログ２２８又、それに対応する個数に具備される。したがって、メニューダイアログ２２８の各々は、１つのユーザーインターフェイス画面に表示される。

ユーザーインターフェイスがローディングされると、ナビゲーションメニュー２３４は、有効化され、ユーザーインターフェイス画面の一側で多様なメニューダイアログ２２８の中、使用者によってアクセスされたメニューダイアログ２２８に対応される複数のメニューバーを順次的に表示する。

ＵＩデータ処理部２２２は、ＵＩアプリケーション２２０のユーザーインターフェイス用画面表示を処理する。そのため、ＵＩデータ処理部２２２は、ユーザーインターフェイスをローディングする。又ＵＩデータ処理部２２２は、ナビゲーション制御部２２６とデータ格納部２２４間でユーザーインターフェイス用命令ＲＥＱ及びデータＤＡＴＡを伝送する。

データ格納部２２４は、ＵＩアプリケーション２２０によって表示する情報及び各種データ等を格納する。データ格納部２２４は、メニューダイアログ２２８及びナビゲーションメニュー２３４を画面に表示するための情報及びデータを格納する。データ格納部２２４は、ＵＩデータ処理部２２２によってデータを格納、或は読出される。

ナビゲーション制御部２２６は、ＵＩデータ処理部２２２によってユーザーインターフェイスがローディングされると、ユーザーインターフェイス画面にナビゲーションメニュー２３４が表示されるように有効化させる。ナビゲーション制御部２２６は、ナビゲーションメニュー２３４に使用者がアクセスした複数のメニューをヒストリー順に登録、表示及び管理する。例えば、ナビゲーションメニュー２３４は、使用者によってアクセスされたメニューダイアログ２２８の各々に対応してユーザーインターフェイス画面の一側に複数個のメニューバー（ｍｅｎｕｂａｒ）タイプに個表示される。

データバッファ部２３２は、現在アクセスされたメニューダイアログ２２８に対応されるユーザーインターフェイス画面で編集の中であるデータや、修正されたデータを格納（ＳＴＯＲＥ）する。

そして、ディスプレイ駆動部２３０は、ナビゲーション制御部２２６によってデータ格納部２２４から提供されるデータＤＩＳＰＬＡＹを表示する。この時、ディスプレイ駆動部２３０は、複数のメニューダイアログ２２８の中、現在アクセスされたメニューダイアログとナビゲーションメニュー２３４とをユーザーインターフェイス画面の最上位に表示するように駆動する。

このようなＵＩアプリケーション２２０は、使用者が何れか1つのメニューダイアログ２２８を選択（ＭＥＮＵ）すると、ナビゲーション制御部２２６でＵＩデータ処理部２２２へ該当メニューダイアログをユーザーインターフェイス画面に表示するデータを要請（ＲＥＱ）する。ＵＩデータ処理部２２２は、要請（ＲＥＱ）に応答してデータ格納部２２４から画面表示用データを読出しし、読出しされたデータ（ＤＡＴＡ）をナビゲーション制御部２２６へ提供する。従って、ナビゲーション制御部２２６が選択されたメニューダイアログをスクリーンに表示するために、データをディスプレイ駆動部２３０に提供し、そのことによって選択されたメニューダイアログは選択された順に画面に表示される。ここでナビゲーションメニュー２３４は、選択された順に選択されたメニューダイアログに各々対応したメニューバータイプで、画面の一つの側の領域に表示される。又、ナビゲーション制御部２２６は、複数のメニューダイアログ２２８を相互との間へ転換の時、以前画面で編集、修正によって格納を必要とするデータがあれば、該当データをデータバッファ部２３２に自動的に格納するように処理する。

図４は、本発明によるナビゲーションメニューを具備するユーザーインターフェイスを処理する手順を示す流れ図である。

図４を参照すると、段階Ｓ４００で上位又は下位制御部１００又は２００でＵＩアプリケーション２２０が実行されてユーザーインターフェイスがローディングされる。例えば、ディスプレイ装置２１２には、ＵＩアプリケーション２２０のメイン画面が出力される。メイン画面には、半導体製造設備３００を制御、モニタリング及び管理するための多様な複数のメニューが包含される。段階Ｓ４０２でナビゲーションメニュー２３４が有効化され、メイン画面の一側に表示される。段階Ｓ４０４で使用者が多様なメニューの中、何れか１つを選択する。選択されたメニューは、ナビゲーションメニュー２３４に１つのメニューバータイプに表示される。このような選択が反復されると、ナビゲーションメニュー２３４には使用者によってアクセスされたメニューの各々に対応する複数個のメニューバーがヒストリー順に登録、表示される。

続いて図５乃至図７を利用して本発明の実施形態によるナビゲーションメニューを処理する手順を具体的に説明する。即ち、図５は、本発明の一実施形態によるナビゲーションメニューをユーザーインターフェイスを通じて処理する手順を示す流れ図である。ここで、この処理手順は、図６Ａ乃至図６Ｅそして図７の一実施形態による複数のユーザーインターフェイス画面を利用して説明する。

図５を参照すると、段階Ｓ４１０でユーザーインターフェイスがローディングされると、段階Ｓ４１２で図６Ａに示されたようにメイン画面５００が表示される。段階Ｓ４１４でナビゲーションメニュー５１０が有効化されてメイン画面５００の上端側に表示される。メイン画面５００は、メニューダイアログ２２８の中、何れか１つに対応される。メイン画面５００には、半導体製造設備３００を制御、モニタリング及び管理するための複数個のメニューダイアログ２２８の中、何れか１つを選択するための複数の選択ボタン５２０が包含される。複数の選択ボタン５２０の中、何れか1つは、該当選択ボタンの選択によって他のサブ画面５４０（図６Ｅ参照）を出力でき、サブ画面５４０には、複数のその他の複数の選択ボタン５４２（図６Ｅ参照）を表示できる。このサブ画面５４０又１つのメニューダイアログ２２８に対応される。メイン画面５００には、選択ボタン５２０に対応して多様な情報を示す表示領域５０２を包含する。勿論他のメニューに対するメニューダイアログ２２８の各々にも多様な情報を示す表示領域５０２〜５０８（図６Ａ乃至図６Ｅ及び図７参照）を包含する。表示領域５０２〜５０８は、該当選択ボタンに対する多様な情報、例えば、半導体製造設備３００の特定ユニットの構成を示すイメージ、動作状態、工程条件、工程進行状況等を示す複数の情報を包含する。このような情報には、修正できるデータを包含する。又、メイン画面５００には、表示領域５０２に提供されるデータを修正、格納、或は終了等の命令を実行するための複数の命令ボタン５２６を包含する。
尚、ナビゲーションメニュー５１０にはメイン画面５００に対応するメニューバー（Ｍａｉｎ）が表示される。

段階Ｓ４１６で使用者がメイン画面５００で、何れか1つの選択ボタン（Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）５２２を押して何れか1つのメニューを選択すると、段階Ｓ４１８で、図６Ｂに示されたように選択されたメニュー５２２に対するメニューダイアログ５３０を画面に表示する。この場合、メイン画面５００で修正されたデータがあれば、データ損失を防止するため、メニュー画面５３０へ転換する前に後述する段階Ｓ４２２乃至段階Ｓ４２６の手順を処理して修正されたデータを自動的に格納する。

段階Ｓ４２０で、メニュー画面５３０の上端側に表示されるナビゲーションメニュー５１０ａには、以前メイン画面５００のナビゲーションメニュー５１０に選択されたメニュー５２２に対応されるメニューバー（Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）５１２が追加に表示される。このようなメニューの選択は、半導体製造設備３００を制御、モニタリング及び管理するための多様なメニューダイアログ２２８を反複するか、或いは複数回で実行される。そのため、メニューの選択が数回に行われると、ナビゲーションメニュー５１０ａには、使用者によってアクセスされた複数のメニューダイアログの各々に対応するメニューバーが登録、表示する。メニュー画面５３０でその他のメニューをアクセスするため、他の選択ボタン（Ｒｅｃｉｐｅ）５２４を選択すると、図６Ｃに示されたように選択されたメニューダイアログ５３２に対するメニューバー５１４が、ナビゲーションメニュー５１０bに登録、表示される。即ち、使用者がアクセスした複数のメニュー５２２、５２４は、ヒストリー順にナビゲーションメニュー５１０：５１０a、５１０bに登録表示される。

段階Ｓ４２２で他のメニュー（Ｒｅｃｉｐｅ）５２４を選択してメニュー画面が転換されるか否かを判別する。この場合は、メニュー画面の転換の時、修正されたデータの損失を防止するために処理される。即ち、図６Ｃ及び図６Ｄに示されたように他のメニューが選択されると、段階Ｓ４２４へ進行してメニュー画面の転換以前のメニュー画面でデータ５０６ａ、５０６ｂを比較して修正されたことがあるか否かを判別する。判別の結果、修正されたデータ５０６ｂがあれば、ナビゲーション制御部２２６は、データバッファ部２３２にメニュー画面転換以前のメニュー画面５３２の修正されたデータ５０６ｂを自動的に格納する。続いて段階Ｓ４２８で現在選択された他のメニューに対するメニュー画面へ転換する。

そして、図６Ｅに示されたように段階Ｓ４１６でその他のメニュー（Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）５２２を選択すれば、段階Ｓ４１８で選択されたメニュー画面５３４を表示する。その時、メニュー画面５３４は、サブメニュー５４０を包含するが、そのサブメニュー５４０で１つの段階Ｓ４２０で選択されたメニュー画面５３４に対するメニューバー５１６をナビゲーションメニュー５１０cに登録、表示する。この時、ナビゲーションメニュー５１０cは、使用者が修正されたデータを容易に認識されるように修正されたデータを有するメニューダイアログのメニューバー５１４aと、修正されたデータがないメニューダイアログに対応する複数のメニューバー５１６を互いに異なって表示する。例えば、修正されたデータを有するメニューダイアログに対するメニューバー５１４aは、他のメニューバー５１２〜５１６と異なる色にするか、或いはメニューバー５１４aを点滅して表示する。

又ナビゲーションメニュー５１０cに登録、表示されたメニューバー５１２〜５１６の中、使用者が望むメニューバーを選択して該当メニュー画面へ転換する。ここでは、何れか1つの選択ボタン（Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）５２２が押されると、そのサブメニュー５４０が表示される。サブメニュー５４０には、複数個のその他の複数の選択ボタン５４２が提供される。このようなサブメニュー５４０の選択ボタン５４２に対してもナビゲーション制御部２２６は、上述したように同一の方式にメニューバー５１６が登録、表示されてナビゲーションメニュー５１０cを管理する。

又、図７に示されたように、ナビゲーションメニュー５１０ｄには、データが格納されない複数個のメニューダイアログに対するメニューバー５１８a、５１８bが登録、表示できる。この場合にもナビゲーションメニュー５１０ｄのすべてのメニューバーとの間には、相互画面転換ができる。従って、データ損失を防止するために、データが格納されない複数個のメニューダイアログに対するメニューバー５１８a、５１８bを選択して該当メニューダイアログへ転換し、命令ボタン５２６を押して修正されたデータを格納できる。

以上で、本発明によるユーザーインターフェイスを利用して半導体製造設備を制御する制御システムの構成及び作用を詳細な説明と図面にしたがって示したが、これは、単なる例として説明したものに過ぎないし、本発明の思想及び領域から抜け出さない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができる。

１００、２００制御部
２２０ユーザーインターフェイスアプリケーション
２２２ユーザーインターフェイスデータ処理部
２２４データ格納部
２２６ナビゲーション制御部
２２８メニューダイアログ
２３２データバッファ部
３００半導体製造設備

Claims

半導体製造設備の制御システムであって、
前記半導体製造設備を制御、モニタリング及び管理するように構成された複数のメニューダイアログと、
使用者がアクセスした複数個のメニューダイアログを表示するように構成されたナビゲーションメニューと、
前記ナビゲーションメニューを有効化させ、前記ナビゲーションメニューを登録、管理するナビゲーション制御部と、
前記ナビゲーションメニューを前記画面に表示するように構成されたディスプレイ駆動部とを包含し、且つ、
前記制御システムは、前記半導体製造設備に連結される下位制御部と前記下位制御部に連結される上位制御部とを含み、
前記下位及び前記上位制御部のうち、少なくとも１つはユーザーインターフェイスアプリケーションを包含し、更に、
前記制御システムは、前記半導体製造設備を制御、モニタリング及び管理するための複数のメニューを包含するユーザーインターフェイスをローディングし、
前記複数のメニューのうち、何れか１つを選択するためのメニュー画面を表示し、かつ、
前記メニュー画面に選択された複数個のメニューをヒストリー順に登録するナビゲーションメニューを表示し、
ここで、前記ナビゲーションメニューにおいてユーザーインターフェイスを通じて処理する手順は、データを比較して修正データの存在の有無を判別する段階（段階Ｓ４２４）を有し、前記メニューダイアログに対応する複数のメニューバーのうち、修正されたデータの修正箇所と非修正箇所とを異なって表示する機能を有し、且つ前記修正箇所をユーザーの任意で格納できることを特徴とする制御システム。
前記ナビゲーションメニューは、メニューバータイプに表示されることを特徴とする請求項１に記載の制御システム。
前記ナビゲーションメニューは、
前記画面の上端部に配置され、使用者がアクセスした前記複数のメニューダイアログ各々に対応して前記メニューバーが順次的に提供されることを特徴とする請求項２に記載の制御システム。
前記制御システムは、
使用者がアクセスした前記メニューダイアログで修正されたデータを格納するデータバッファ部と、をさらに包含することを特徴とする請求項３に記載の制御システム。
前記ナビゲーション制御部は、
現在アクセスされているメニューダイアログから、前記修正されたデータの格納をすることなく他のメニューダイアログへの転換が起こった場合、前記データバッファ部に前記修正されたデータを格納することを特徴とする請求項４に記載の制御システム。
前記ナビゲーション制御部は、
前記複数のメニューダイアログの中、現在アクセスされているメニューダイアログから、前記修正されたデータの格納をすることなく他のメニューダイアログへの転換が起こった場合、前記他のメニューへの転換の前に、前記データバッファ部に前記修正されたデータを自動的に格納することを特徴とする請求項５に記載の制御システム。
前記ナビゲーション制御部は、
前記ナビゲーションメニューに包含された前記修正されたデータを有するメニューダイアログに対応するメニューバーと、前記ナビゲーションメニューに包含された修正されたデータがないメニューダイアログとを、お互いに異なって表示することを特徴とする請求項６に記載の制御システム。
前記制御システムは、
前記複数のメニューダイアログ及び前記ナビゲーションメニューを前記画面に表示するためのデータを格納するデータ格納部と、をさらに包含することを特徴とする請求項１に記載の制御システム。
前記制御システムは、
前記データ格納部から前記画面に表示するためのデータを読出しするユーザーインターフェイスデータ処理部と、をさらに包含することを特徴とする請求項８に記載の制御システム。
前記ナビゲーション制御部は、使用者が何れか１つのメニューダイアログを選択すると、前記ユーザーインターフェイスデータ処理部へ、前記選択されたメニューダイアログを前記画面に表示するためのデータを要請し、
前記ユーザーインターフェイスデータ処理部は、前記要請に応答して前記画面に表示するデータを前記データ格納部から読出して、前記ナビゲーション制御部へ提供することを特徴とする請求項９に記載の制御システム。
前記ディスプレイ駆動部は、
現在アクセスされているメニューダイアログと前記ナビゲーションメニューを前記画面の最上位に表示することを特徴とする請求項１に記載の制御システム。
前記下位制御部は、前記半導体製造設備に内部ネットワークを通じて連結されるクライアントツールコントローラを包含することを特徴とする請求項１に記載の制御システム。
前記上位制御部は、前記半導体製造設備に外部ネットワークを通じて連結され、前記半導体製造設備を遠隔制御するホストを包含することを特徴とする請求項１２に記載の制御システム。
半導体製造設備の制御方法であって、
前記半導体製造設備を制御、モニタリング及び管理するように構成された複数のメニューダイアログと、
使用者がアクセスした複数個のメニューダイアログを表示するように構成されたナビゲーションメニューと、
前記ナビゲーションメニューを有効化させ、前記ナビゲーションメニューを登録、管理するナビゲーション制御部と、
前記ナビゲーションメニューを前記画面に表示するように構成されたディスプレイ駆動部とを利用して前記半導体製造設備を制御し、且つ、
前記制御方法は、前記半導体製造設備に連結される下位制御部と前記下位制御部に連結される上位制御部とを利用して前記半導体製造設備を制御し、
前記下位及び前記上位制御部のうち、少なくとも１つはユーザーインターフェイスアプリケーションを包含し、更に、
前記制御方法は、前記半導体製造設備を制御、モニタリング及び管理するための複数のメニューを包含するユーザーインターフェイスをローディングし、
前記複数のメニューのうち、何れか１つを選択するためのメニュー画面を表示し、かつ、
前記メニュー画面に選択された複数個のメニューをヒストリー順に登録するナビゲーションメニューを表示し、
ここで、前記ナビゲーションメニューにおいてユーザーインターフェイスを通じて処理する手順は、データを比較して修正データの存在の有無を判別する段階（段階Ｓ４２４）を有し、前記メニューダイアログに対応する複数のメニューバーのうち、修正されたデータの修正箇所と非修正箇所とを異なって表示する機能を有し、且つ前記修正箇所をユーザーの任意で格納できることを特徴とする制御方法。
前記ナビゲーションメニューを表示することは、
前記メニュー画面の上端部に前記ナビゲーションメニューを配置し、かつ、
使用者が選択した前記複数のメニュー各々に対応して複数個のメニューバーにナビゲーションメニューを表示することを特徴とする請求項１４に記載の制御方法。
前記ナビゲーションメニューを表示することは、
使用者が選択した前記複数のメニュー各々に対応して、現在選択されているメニューから他のメニューへの転換が起こると、前記ナビゲーションメニューに新しいメニューバーを登録、表示することを特徴とする請求項１５に記載の制御方法。
前記ナビゲーションメニューを表示することは、
前記選択された複数のメニューの中、使用者によって修正されたデータを包含するメニューに対応するメニューバーと、前記修正されたデータがないメニューに対応するメニューバーを互いに異なって表示することを特徴とする請求項１６に記載の制御方法。
前記ナビゲーションメニューを表示することは、
使用者によって前記修正されたデータが格納された場合、前記修正されたデータがないメニューに対応するメニューバーと同様な方法で前記修正されたデータを含むメニューに対応するメニューバーを表示することを特徴とする請求項１７に記載の制御方法。
前記制御方法は、
前記他のメニューへの転換の前に前記修正されたデータを格納することをさらに包含する請求項１７に記載の制御方法。
前記ナビゲーションメニューを有効化することは、
使用者がアクセスした複数のメニューダイアログ各々を、メニューバータイプに前記ナビゲーションメニューに表示することを特徴とする請求項１４に記載の制御方法。
前記制御方法は、
前記ナビゲーションメニューにおいて、登録されたメニューダイアログと、表示されたメニューダイアログとの間で、画面の転換ができることを特徴とする請求項２０に記載の制御方法。
前記制御方法は、
前記ナビゲーションメニューにおいて、前記転換以前のメニューダイアログから、登録、表示された複数のメニューダイアログのうち何れか１つへの転換が起こると、前記転換以前のメニューダイアログに修正されたデータがあるか否かを判別することをさらに包含する請求項２１に記載の制御方法。
前記制御方法は、
前記修正されたデータがあれば、前記修正されたデータを前記転換以前のメニューダイアログに自動的に格納することをさらに包含する請求項２２に記載の制御方法。
前記ナビゲーションメニューは、前記修正されたデータがあるメニューバーと、前記修正されたデータがないメニューバーを、互いに異なって表示することを特徴とする請求項２２に記載の制御方法。
前記ナビゲーションメニューは、前記修正されたデータが格納された場合、前記修正されたデータがあるメニューバーを前記修正されたデータがないデータと同様な方法で表示することを特徴とする請求項２４に記載の制御方法。
前記ナビゲーションメニューは、画面の最上位に表示されることを特徴とする請求項１４に記載の制御方法。