KR20100060079A - 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비를 제어하는 시스템 및 그 방법 - Google Patents

유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비를 제어하는 시스템 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비를 제어하는 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 제어 시스템은 적어도 하나의 제어부가 네트워크를 통해 복수 개의 반도체 제조 설비들과 연결된다. 제어부는 원격 제어를 위한 호스트 등의 상위 제어부와, 클러스터 툴 컨트롤러 등을 포함하는 하위 제어부로 구비된다. 제어부는 반도체 제조 설비를 제어, 모니터링 및 관리하기 위한 유저 인터페이스 어플리케이션을 구비한다. 유저 인터페이스 어플리케이션은 사용자가 억세스한 메뉴들을 히스토리 순으로 표시하는 네비게이션 메뉴를 화면 일측에 제공된다. 네비게이션 메뉴는 사용자가 억세스한 메뉴들에 대응하여 복수 개의 바 타입으로 구비된다. 또 네비게이션 메뉴는 사용자에 의해 수정된 데이터를 다른 메뉴로 전환 시, 자동으로 저장한다. 본 발명에 의하면, 유저 인터페이스를 이용하여 다양한 메뉴들 중 사용자가 억세스한 메뉴들을 신속히 선택할 수 있으며, 억세스된 메뉴에서의 수정된 데이터의 손실을 방지할 수 있다.
반도체 제조 설비, 유저 인터페이스, 메뉴 억세스, 히스토리, 네비게이션

Description

유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비를 제어하는 시스템 및 그 방법{SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT USING USER INTERFACE}
본 발명은 제어 시스템에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 반도체 제조 설비의 제어, 모니터링 및 관리를 위해 유저 인터페이스를 이용하는 제어 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제품을 생산하기 위해서 많은 제조 공정이 필요하며, 이러한 제조 공정을 처리하기 위하여, 생산 라인에는 다양한 반도체 제조 설비들을 구축한다. 반도체 제조 설비는 다양한 공정을 처리하기 위하여, 네트워크를 통해 연결되는 제어 시스템을 구비한다. 예를 들어, 제어 시스템은 프로그램어블로직 컨트롤러나 컴퓨터 등으로 구비된다. 제어 시스템은 공정 조건, 공정 플로우 등을 포함하는 공정 레시피 등을 설정하여 반도체 제조 설비들을 제어한다. 제어 시스템은 공정 레시피의 처리 과정에 따른 각 구성 요소들을 모니터링하여 공정 제반에 대한 정보를 관리한다. 반도체 제조 설비의 구성 요소들은 공정에 따라 다양하지만, 일반적으로 기판을 처리하는 공정 유닛과, 기판을 이송하는 이송 유닛 등을 포함한다.
이러한 반도체 제조 설비의 제어 시스템은 공정이 정상적으로 수행될 수 있도록 상호 네트워크를 통해 데이터 통신하고, 이를 통해 반도체 제조 설비의 각 공정들을 제어, 모니터링 및 관리한다.
이를 위해 제어 시스템은 제어 프로그램이 구비된다. 제어 프로그램은 유저 인터페이스를 이용하여 사용자가 반도체 제조 설비들을 제어, 모니터링 및 관리한다. 유저 인터페이스에는 다양한 메뉴들이 구비된다. 예를 들어, 메뉴들은 각 유닛에 대한 공정 레시피를 설정, 모니터링, 동작시키기 위해 필요한 것들로, 하나의 반도체 제조 설비에 대하여 수백 개 이상이 제공된다. 이러한 메뉴들을 통해 사용자는 반도체 제조 설비의 공정 진행에 따른 정보들을 제어, 모니터링 및 분석할 수 있다. 이러한 유저 인터페이스는 일반적으로 로딩시, 동작 가능한 복수 개의 메뉴 화면들을 초기의 메인 화면에 로딩하고, 메뉴 선택시 해당 메뉴 화면에 각종 정보 및 서브 메뉴들을 최상위 화면에 표시한다.
또 메뉴 선택시, 이전 화면에서 선택된 화면으로 전환하기 때문에 이전 화면에 사용자에 의해 수정된 데이터들이 존재하는 경우, 수정된 데이터를 읽어버리게 된다. 예를 들어, 복수 개의 메뉴들이 서로 연관되어 데이터를 작성하는 경우, 어느 하나의 메뉴에서 데이터의 작성이 완료되기전에 그 데이터와 연관된 다른 데이터를 확인하기 위해, 다른 메뉴로 전환하면 작성 중이던 데이터는 손실된다. 따라서 사용자는 다시 데이터를 작성해야 하는 불편함이 있다. 또 유저 인터페이스는 화면을 선택할 때마다 메뉴에 대한 데이터를 전송받아서 처리하기 때문에 화면이 리프레쉬(refresh)된다. 이 경우, 기존에 편집 중이거나 수정 중인 데이터는 저장되지 않고 화면이 전환된다.
또한 사용자가 유저 인터페이스를 이용하여 다양한 메뉴들을 억세스한 경우, 사용자가 이전에 억세스한 메뉴들을 다시 억세스하고자 할 때에도 원하는 메뉴의 위치를 다시 선택하기 위해 여러 번 메뉴들을 선택한 과정을 거쳐서 최종적으로 사용자가 원하는 메뉴를 선택하게 된다. 이는 사용자가 이미 억세스한 동일한 메뉴를 다시 억세스하기 위해 동일한 과정을 반복해야만 하는 불편함이 따른다.
본 발명의 목적은 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비를 제어하는 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 사용자가 억세스한 메뉴들을 히스토리 순으로 표시하는 네비게이션 메뉴를 이용하여 다양한 메뉴들의 억세스를 용이하게 처리하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 유저 인터페이스를 이용하여 화면 전환 시 데이터의 손실을 방지하기 위한 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 제어 시스템은 반도체 제조 설비를 제어, 모니터링 및 관리하기 위하여 유저 인터페이스를 이용하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 제어 시스템은 유저 인터페이스를 이용한 네비게이션 메뉴를 제공하여 사용자가 억세스한 메뉴들간의 이동을 용이하게 한다.
이 특징에 따른 본 발명의 제어 시스템은, 상기 반도체 제조 설비를 제어, 모니터링 및 관리하는 다수의 메뉴 다이얼로그들과; 상기 메뉴 다이얼로그들 중 사용자가 억세스한 복수 개의 메뉴 다이얼로그들을 히스토리 순으로 표시하는 네비게이션 메뉴와; 상기 네비게이션 메뉴를 활성화시키고, 상기 네비게이션 메뉴를 등록, 관리하는 네비게이션 처리부 및; 상기 네비게이션 메뉴를 화면에 출력하도록 구동하는 디스플레이 구동부를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 메뉴는 메뉴 바 타입으로 표시된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 메뉴는; 상기 화면의 상단부에 배치된다. 그리고고, 사용자가 억세스한 상기 메뉴 다이얼로그들 각각에 대응하여 상기 메뉴 바가 순차적으로 제공된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제어 시스템은; 사용자가 억세스한 상기 메뉴 다이얼로그에서 수정된 데이터를 저장하는 데이터 버퍼부를 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 처리부는; 상기 메뉴 다이얼로그들 중 현재 억세스된 메뉴 다이얼로그에서 상기 수정된 데이터의 저장없이 다른 메뉴 다이얼로그로 전환되면, 상기 데이터 버퍼부에 상기 수정된 데이터를 저장하도록 처리한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 처리부는; 상기 메뉴 다이얼로그들 중 현재 억세스된 메뉴 다이얼로그에서 상기 수정된 데이터의 저장없이 다른 메뉴 다이얼로그로 전환되면, 상기 다른 메뉴 다이얼로그로 전환하기 전에 상기 데이터 버퍼부에 상기 수정된 데이터를 자동 저장하도록 처리한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 처리부는; 상기 네비게이션 메뉴에 포함된 상기 수정된 데이터를 갖는 메뉴 다이얼로그와 상기 수정된 데이터를 저장한 메뉴 다이얼로그에 대응하는 메뉴 바들을 서로 다르게 표시한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제어 시스템은; 상기 메뉴 다이얼로그들 및 상기 네비게이션 메뉴를 상기 화면에 표시하기 위한 데이터를 저장하는 데이터 저 장부를 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제어 시스템은; 상기 데이터 저장부로부터 상기 화면에 표시하기 위한 데이터를 독출하는 유저 인터페이스 데이터 처리부를 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 처리부는 사용자가 어느 하나의 메뉴 다이얼로그를 선택하면, 상기 유저 인터페이스 데이터 처리부로 상기 어느 하나의 메뉴 다이얼로그를 상기 화면에 표시할 데이터를 요청한다. 그리고 상기 유저 인터페이스 데이터 처리부는 상기 요청에 응답해서 상기 화면에 표시할 데이터를 상기 데이터 저장부로부터 독출하여, 상기 네비게이션 처리부로 제공한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 디스플레이 구동부는; 상기 메뉴 다이얼로그들 중 현재 억세스된 메뉴 다이얼로그와 상기 네비게이션 메뉴를 상기 화면의 최상위에 표시하도록 구동한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제어 시스템은 상기 반도체 제조 설비와 연결되는 하위 제어부와 상기 하위 제어부와 연결되는 상위 제어부를 포함한다. 여기서 상기 유저 인터페이스 어플리케이션은 상기 하위 및 상기 상위 제어부 중 적어도 하나에 구비된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 하위 제어부는 상기 반도체 제조 설비와 내부 네트워크를 통해 연결되는 클라이언트 툴 컨트롤러로 구비된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 상위 제어부는 상기 반도체 제조 설비와 외부 네트워크를 통해 연결되어 상기 반도체 제조 설비를 원격 제어하는 호스트로 구 비된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비를 제어하는 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 상기 반도체 제조 설비를 제어, 모니터링 및 관리하기 위한 다양한 메뉴들을 구비하는 상기 유저 인터페이스를 로딩한다. 상기 메뉴들 중 어느 하나를 선택하기 위한 메인 화면을 표시한다. 그리고 상기 메인 화면에 상기 선택된 복수 개의 메뉴들을 히스토리 순으로 등록하는 네비게이션 메뉴를 표시한다.
한 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 메뉴를 표시하는 것은; 상기 메인 화면의 상단부에 상기 네비게이션 메뉴를 배치한다. 그리고, 사용자가 선택한 상기 메뉴들 각각에 대응하여 복수 개의 메뉴 바들로 표시한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 메뉴를 표시하는 것은; 사용자가 선택한 상기 메뉴들 각각에 대응하여 상기 메뉴들 중 현재 선택된 메뉴에서 다른 메뉴로 선택되면, 상기 네비게이션 메뉴에 새로운 메뉴 바를 등록, 표시한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 메뉴를 표시하는 것은; 상기 선택된 메뉴들 중 사용자에 의해 수정된 데이터를 포함하는 메뉴에 대응되는 메뉴 바와 상기 수정된 데이터가 없는 메뉴에 대응되는 메뉴 바를 서로 다르게 표시한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 메뉴를 표시하는 것은; 사용자에 의해 상기 수정된 데이터가 저장되면, 상기 수정된 데이터가 없는 메뉴에 대응되는 메뉴 바와 동일하게 표시한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제어 방법은; 상기 다른 메뉴로 전환하기 전 에 상기 수정된 데이터를 저장하는 것을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 반도체 제조 설비를 제어, 모니터링 및 관리하기 위한 다양한 메뉴들에 대한 복수 개의 메뉴 다이얼로그들을 구비하는 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비를 제어하는 방법이 제공된다. 이 방법에 따르면, 상기 유저 인터페이스를 로딩한다. 상기 메뉴 다이얼로그들 중 메인 화면을 표시한다. 상기 메뉴 다이얼로그들 중 사용자가 억세스한 메뉴 다이얼로그들을 표시하는 네비게이션 메뉴를 활성화한다. 이어서 상기 메뉴 다이얼로그들 중 적어도 하나의 메뉴 다이얼로그를 선택하면, 상기 네비게이션 메뉴에 상기 선택된 메뉴 다이얼로그들을 히스토리 순으로 등록하여 표시한다.
한 실시에에 있어서, 상기 네비게이션 메뉴를 활성화하는 것은; 사용자가 억세스한 메뉴 다이얼로그들 각각을 메뉴 바 타입으로 상기 네비게이션 메뉴에 표시하도록 한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 제어 방법은; 상기 네비게이션 메뉴에 등록, 표시된 메뉴 다이얼로그들 상호 간에 화면 전환이 가능하다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제어 방법은; 상기 네비게이션 메뉴에 등록, 표시된 메뉴 다이얼로그들 중 어느 하나로 전환되면, 전환 이전의 메뉴 다이얼로그에 수정된 데이터가 있는지를 판별한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제어 방법은; 상기 수정된 데이터가 있으면, 상기 수정된 데이터를 자동으로 저장한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 메뉴는 상기 네비게이션 메뉴에 등록, 표시된 메뉴 다이얼로그들 중 상기 수정된 데이터가 있는 메뉴 바와 상기 수정된 데이터가 없는 메뉴 바는 서로 상이하게 표시한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 메뉴는 상기 수정된 데이터를 저장하면, 상기 수정된 데이터가 있는 메뉴 바를 상기 수정된 데이터가 없는 데이터와 동일하게 표시한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 네비게이션 메뉴는 최상위 화면에 표시된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 제어 시스템은 반도체 제조 설비를 제어, 모니터링 및 관리하기 위하여 네비게이션 메뉴를 제공하는 유저 인터페이스를 이용함으로써, 다양한 메뉴들 간의 이동이 용이하다.
또 본 발명의 제어 시스템은 네비게이션 메뉴를 이용하여 화면 전환시, 이전 화면에 수정된 데이터가 있으면, 자동으로 저장하게 함으로써, 데이터 손실을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 제어 시스템은 사용자에 의해 수정된 데이터를 갖는 메뉴를 네비게이션 메뉴에 표시하여 줌으로써, 데이터의 손실을 방지할 수 있다.
뿐만 아니라, 본 발명의 제어 시스템은 네비게이션 메뉴를 이용하여 사용자가 억세스한 작업에 관련된 많은 메뉴들에 대해, 히스토리 순으로 표시함으로써, 사용자가 관련된 메뉴가 필요할 때마다 다시 원하는 메뉴를 찾을 필요없이 네비게이션 메뉴에 등록, 표시된 메뉴를 선택하므로 작업이 용이하다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비를 제어하기 위한 제어 시스템의 네트워크 구성을 도시한 블럭도이다.
도 1을 참조하면, 제어 시스템(10)은 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비(300)를 제어, 모니터링 및, 관리한다. 제어 시스템(10)은 복수 개의 반도체 제조 설비(300)들이 네트워크를 통해 적어도 하나의 제어부(100, 200)와 연결된다. 반도체 제조 설비(300)들은 동일한 공정을 처리하거나 또는 서로 다른 공정을 처리할 수 있다. 예를 들어, 반도체 제조 설비(300)는 도면에는 도시되지 않았지만, 웨이퍼(또는 기판)을 처리하는 공정 유닛들과, 웨이퍼를 각 유닛들 간에 이송하는 이송 유닛 등 다양한 유닛들을 포함한다.
제어부(100, 200)는 상위 제어부(100)와 하위 제어부(200)로 구분된다. 제어부(100, 200)는 반도체 제조 설비(300)들을 제어하기 위하여, 유저 인터페이스를 이용하여 제어, 모니터링 및 관리한다.
예를 들어, 상위 제어부(100)는 호스트(host)로 구비되며, 외부 네트워크(20)를 통해 다수의 하위 제어부(200)와 연결된다. 외부 네트워크(20)는 TCP/IP 등과 같은 프로토콜을 이용하는 통신망으로 구비된다. 상위 제어부(100)는 외부 네트워크(20)를 통해 하위 제어부(200)와 상호 정보를 제공하여 반도체 제조 설비(300)를 원격 제어한다.
하위 제어부(200)는 컨트롤러, 프로그램어블 로직 컨트롤러 및 퍼스널 컴퓨터 등으로 구비되어 반도체 제조 설비(300)와 내부 네트워크(30)를 통해 연결된다. 내부 네트워크(30)는 직렬 통신 인터페이스, 근거리 통신망(LAN) 등과 같은 통신망으로 구비된다. 상위 및 하위 제어부(100, 200)는 서로 다른 클러스터 툴 컨트롤러(Cluster Tool Control : CTC)들로 구비될 수 있다. 또 상위 제어부(100)는 설비 분석 시스템(Fault Detection and Classification : FDC)으로 구비되고, 하위 제어부(200)는 클러스터 툴 컨트롤러(CTC)로 구비될 수 있다. 이러한 상위 및 하위 제어부(100, 200)는 반도체 제조 설비를 제어, 모니터링 및 관리하기 위해, 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비에 대한 정보를 상호 제공한다.
구체적으로 도 2를 참조하면, 상위 또는 하위 제어부(100 또는 200)는 전형적인 컴퓨터 장치의 구성 요소들을 포함한다. 예를 들어, 상위 또는 하위 제어부(100 또는 200)는 프로세서(202), 메모리(204), 저장 장치(206), 인터페이스 장치(208), 입력 장치(210) 및 디스플레이 장치(212) 등을 포함한다. 그리고 이들 구성 요소들은 내부 버스에 각각 연결된다. 인터페이스 장치(208)는 내부 또는 외부 네트워크(도 1의 30 또는 20)와 연결된다. 여기서는 하위 제어부(200)를 이용하여 본 발명의 기술적인 특징들을 상세히 설명한다.
즉, 하위 제어부(200)는 클러스터 툴 컨트롤러(CTC)로 구비된다. 이 경우, 상위 제어부(100)는 다른 클러스터 툴 컨트롤러(CTC)로 구비되거나 호스트로 구비될 수 있다.
저장 장치(206)는 본 발명에 따른 유저 인터페이스(UI) 어플리케이션(220)을 구비한다. 구체적으로 도 3을 참조하면, UI 어플리케이션(220)은 사용자가 억세스한 복수 개의 메뉴들을 히스토리 순으로 표시하는 네비게이션 메뉴(234)를 제공한다. 또 UI 어플리케이션(220)은 복수 개의 메뉴 다이얼로그(228)들과, 유저 인터페이스(UI) 데이터 처리부(222)와, 데이터 저장부(224)와, 네비게이션 처리부(226)와, 데이터 버퍼부(232) 및, 디스플레이 구동부(230)를 포함한다.
UI 어플리케이션(220)는 유저 인터페이스에 대한 데이터를 처리하는 제 1 처리부(240)와, 유저 인터페이스의 화면 표시를 처리하는 제 2 처리부(250)를 포함한다. 즉, 제 1 처리부(240)는 UI 데이터 처리부(222)와 데이터 저장부(224)가 포함되고, 제 2 처리부(250)는 메뉴 다이얼로그(228)들과 유저 인터페이스(UI) 데이터 처리부(222)와 데이터 저장부(224)와 네비게이션 처리부(226)와 데이터 버퍼부(232) 및, 디스플레이 구동부(230)가 포함된다.
메뉴 다이얼로그(228)들은 반도체 제조 설비(300)들을 제어, 모니터링 및 관리하기 위한 다양한 메뉴들에 대한 정보를 포함한다. 이러한 메뉴는 예를 들어, 하나의 반도체 제조 설비에 대해 수 백여개 이상으로 구비된다. 그러므로 메뉴 다이얼로그 또한 그에 대응하는 갯수로 구비된다.
UI 데이터 처리부(222)는 UI 어플리케이션(220)의 유저 인터페이스를 위한 화면 표시를 처리한다. UI 데이터 처리부(222)는 유저 인터페이스를 로딩한다. 또 UI 데이터 처리부(222)는 네비게이션 처리부(226)와 데이터 저장부(224) 사이에서 유저 인터페이스를 위한 명령 및 데이터 전송이 이루어진다.
데이터 저장부(224)는 UI 어플리케이션(220)에 의해 표시할 정보 및 각종 데이터 등을 저장한다. 데이터 저장부(224)는 메뉴 다이얼로그(228)들 및 네비게이션 메뉴(234)를 화면에 표시하기 위한 정보 및 데이터들을 저장한다. 데이터 저장부는 UI 데이터 처리부에 의해 데이터를 저장하거나 독출된다.
네비게이션 처리부(226)는 UI 데이터 처리부(222)에 의해 유저 인터페이스가 로딩되면, 네비게이션 메뉴(234)를 활성화시킨다. 네비게이션 처리부(226는 네비게이션 메뉴(234)에 사용자가 억세스한 메뉴들을 등록, 표시 및 관리한다. 예를 들어, 네비게이션 메뉴(234)는 사용자에 의해 억세스된 메뉴 다이얼로그들 각각에 대응하여 화면 일측에 복수 개의 메뉴 바(bar) 타입으로 복수 개 표시된다.
데이터 버퍼부(232)는 현재 억세스된 메뉴 다이얼로그에서 편집 중인 데이터나, 수정된 데이터를 저장(STORE)한다.
그리고 디스플레이 구동부(230)는 네비게이션 처리부(226)에 의해 데이터 저장부(224)로부터 제공되는 데이터를 표시한다. 이 때, 디스플레이 구동부(230)는 메뉴 다이얼로그(228)들 중 현재 억세스된 메뉴 다이얼로그와 네비게이션 메뉴(234)를 화면의 최상위에 표시하도록 구동한다.
이러한 UI 어플리케이션(220)은 사용자가 어느 하나의 메뉴 다이얼로그(228)를 선택(MENU)하면, 네비게이션 처리부(226)에서 UI 데이터 처리부(222)로 해당 메 뉴 다이얼로그를 화면에 표시할 데이터를 요청(REQ)한다. UI 데이터 처리부(222)는 요청(REQ)에 응답해서 데이터 저장부(224)로부터 화면 표시를 위한 데이터를 독출하고, 독출된 데이터(DATA)를 네비게이션 처리부(226)로 제공한다. 따라서 네비게이션 처리부(226)는 사용자에 의해 선택된 메뉴 다이얼로그들은 화면에 표시(DISPLAY)되도록 디스플레이 구동부(230)로 데이터를 제공하여, 동시에 메뉴 다이얼로그들은 선택된 순서대로 네비게이션 메뉴에 표시된다. 또 네비게이션 처리부(226)은 메뉴 다이얼로그(228)들 상호 간에 전환 시, 이전 화면에 저장이 필요한 데이터가 있으면, 해당 데이터를 데이터 버퍼부(232)에 자동 저장하도록 처리한다.
도 4는 본 발명에 따른 네비게이션 메뉴를 구비하는 유저 인터페이스를 처리하는 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 4를 참조하면, 단계 S400에서 상위 또는 하위 제어부(100 또는 200)에서 UI 어플리케이션(220)이 실행되어 유저 인터페이스가 로딩된다. 예를 들어, 디스플레이 장치(212)에는 UI 어플리케이션(220)의 메인 화면이 출력된다. 메인 화면에는 반도체 제조 설비(300)를 제어, 모니터링 및 관리하기 위한 다양한 메뉴들이 포함된다. 단계 S402에서 네비게이션 메뉴(234)가 활성화되어, 메인 화면의 일측에 표시된다. 단계 S404에서 사용자가 다양한 메뉴들 중 어느 하나를 선택한다. 이러한 선택들이 반복되면, 복수 개의 메뉴들은 네비게이션 메뉴(234)에 사용자에 의해 선택된 메뉴들이 히스토리 순으로 등록, 표시된다.
계속해서 도 5 내지 도 7을 이용하여 본 발명의 실시예에 따른 네비게이션 메뉴를 처리하는 수순을 구체적으로 설명한다. 즉, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 네비게이션 메뉴를 유저 인터페이스를 통해 처리하는 수순을 나타내는 흐름도이다. 여기서 이 처리 수순은 도 6a 내지 도 6e 그리고 도 7의 일 실시예에 따른 유저 인터페이스 화면들을 이용하여 설명이다.
도 5를 참조하면, 단계 S410에서 유저 인터페이스가 로딩되면, 단계 S412에서 도 6a에 도시된 바와 같이, 메인 화면(500)이 표시된다. 단계 S414에서 네비게이션 메뉴(510)가 활성화되어 메인 화면(500)의 상단측에 표시된다. 메인 화면(500)은 메뉴 다이얼로그(228)들 중 어느 하나에 속한다. 메인 화면(500)에는 반도체 제조 설비(300)를 제어, 모니터링 및 관리하기 위한 복수 개의 메뉴 다이얼로그(228)들 중 어느 하나를 선택하기 위한 선택 버튼(520)들이 포함된다. 선택 버튼(520)들 중 어떤 것은 해당 선택 버튼의 선택에 의해 다른 서브 화면(미도시됨)을 출력할 수 있으며, 서브 화면에는 다수의 또 다른 선택 버튼들을 표시할 수 있다. 이 서브 화면 또한 메뉴 다이얼로그(228)에 구비된다. 메인 화면(500)에는 선택 버튼(520)에 대응하여 다양한 정보들을 나타내는 표시 영역(502)을 포함한다. 물론 다른 메뉴들에 대한 메뉴 다이얼로그들 각각에도 다양한 다양한 정보들을 나타내는 표시 영역(도 6 내지 도 7의 502 ~ 508)을 포함한다. 표시 영역(502 ~ 508)은 해당 선택 버튼에 대한 다양한 정보 예를 들어, 반도체 제조 설비(300)의 특정 유닛에 대한 이미지, 동작 상태, 공정 조건, 공정 진행 상황 등을 나타내는 정보들을 포함한다. 이러한 정보에는 수정 가능한 데이터를 포함한다. 또 메인 화면(500)에는 표시 영역(502)에 제공되는 데이터를 수정, 저장하거나 종료 등의 명령을 실행하기 위한 다수의 명령 버튼(526)들을 포함한다.
단계 S416에서 사용자가 메인 화면(500)에서 어느 하나의 선택 버튼(522)을 눌러서 어느 하나의 메뉴를 선택하면, 단계 S418에서 도 6b에 도시된 바와 같이, 선택된 메뉴(522)에 대한 메뉴 다이얼로그(530)를 표시한다. 이러한 메뉴 선택은 반도체 제조 설비(300)를 제어하기 위하여 다양한 메뉴 다이얼로그들을 반복하거나 복수 회로 선택할 수 있다.
단계 S420에서 메뉴 화면(500)의 상단측에 이전 메인 화면(500)에 대한 네비게이션 바(512)를 네비게이션 메뉴(510)에 등록, 표시한다. 네비게이션 메뉴(510)는 사용자에 의해 억세스된 메뉴 다이얼로그들 각각에 대응하여 메뉴 바 타입으로 표시된다. 또 다른 메뉴를 억세스하기 위해 또 다른 선택 버튼(524)을 선택하면, 도 6c에 도시된 바와 같이, 이전 표시된 메뉴 다이얼로그(530)에 대한 네비게이션 바(514)는 네비게이션 메뉴(510b)에 등록, 표시된다. 즉, 사용자가 억세스한 메뉴(522, 524)들은 히스토리 순으로 네비게이션 메뉴(510 : 510a, 519b)에 등록 표시된다.
단계 S422에서 다른 메뉴를 선택하여 메뉴 화면이 전환되는지를 판별한다. 즉, 도 6c 및 도 6d에 도시된 바와 같이, 다른 메뉴가 선택되면, 단계 S424로 진행하여 이전 메뉴 화면에서 데이터(506, 506a)가 수정된 것인 있는지를 판별한다. 판별 결과, 수정된 데이터(506a)가 있으면, 네비게이션 처리부(226)는 데이터 버퍼부(232)에 이전 메뉴 화면에 대한 수정된 데이터(506a)를 자동으로 저장한다. 이어서 단계 S428에서 현재 선택된 다른 메뉴에 대한 메뉴 화면으로 전환한다.
그리고 또 다른 메뉴를 선택하게 되면, 도 6e에 도시된 바와 같이, 단계 S420으로 진행하여 이전 메뉴 화면에 대한 네비게이션 바(516)를 네비게이션 메뉴(510c)에 등록, 표시한다. 이 때, 네비게이션 메뉴(510c)는 수정된 데이터를 갖는 메뉴 다이얼로그의 메뉴 바(514a)와, 수정된 데이터를 저장한 메뉴 다이얼로그 즉, 수정된 데이터가 없는 메뉴 다이얼로그에 대응하는 메뉴 바(516)들을 서로 다르게 표시한다. 예를 들어, 수정된 데이터를 갖는 메뉴 다이얼로그에 대한 메뉴 바(514a)는 다른 것들과 색상을 달리하거나, 메뉴 바(514a)를 깜박거리게 표시한다.
또 네비게이션 메뉴(510c)에 등록, 표시된 네비게이션 바(512 ~ 516)들 중 원하는 네비게이션 바를 선택하여 해당 메뉴 화면으로 전환한다. 여기서는 어느 하나의 선택 버튼(522)이 눌러지면 그의 서브 메뉴(540)가 표시된다. 서브 메뉴(540)에는 복수 개의 또 다른 선택 버튼(542)들이 제공된다. 이러한 서브 메뉴(540)의 선택 버튼(542)들에 대해서도 네비게이션 처리부(226)는 상수한 바와 같이 동일한 방식으로 네비게이션 바(516)가 등록, 표시되어 네비게이션 메뉴(510c)를 관리한다.
또한, 네비게이션 메뉴(510)에는 도 7에 도시된 바와 같이, 데이터가 저장되지 않은 복수 개의 메뉴 다이얼로그들에 대한 메뉴 바(518a, 518b)들이 등록, 표시될 수 있다. 이 경우에도 네비케이션 메뉴의 모든 메뉴 바들 간에는 상호 화면 전환이 가능하다. 따라서 데이터 손실을 방지하기 위하여, 데이터가 저장되지 않은 복수 개의 메뉴 다이얼로그들에 대한 메뉴 바(518a, 518b)를 선택하여 해당 메뉴 다이얼로그로 전환하고, 명령 버튼(526)을 눌려서 수정된 데이터를 저장할 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비를 제어하는 제어 시스템의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비를 제어하기 위한 제어 시스템의 네트워크 구성을 도시한 블럭도;
도 2는 도 1에 도시된 상위 또는 하위 제어부의 구성을 도시한 블럭도;
도 3은 도 2에 도시된 상위 또는 하위 제어부의 유저 인터페이스 어플리케이션의 구성을 도시한 블럭도;
도 4는 본 발명에 따른 네비게이션 메뉴를 구비하는 유저 인터페이스를 처리하는 수순을 나타내는 흐름도;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 네비게이션 메뉴를 구비하는 유저 인터페이스를 처리하는 수순을 나타내는 흐름도; 그리고
도 6a 내지 도 6e 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 네비게이션 메뉴를 나타내는 유저 인터페이스 화면들이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100, 200 : 제어부
220 : 유저 인터페이스 어플리케이션
222 : 유저 인터페이스 데이터 처리부
224 : 데이터 저장부 226 : 네비게이션 처리부
228 : 메뉴 다이얼로그 232 : 데이터 버퍼부
300 : 반도체 제조 설비

Claims (28)

  1. 반도체 제조 설비의 제어 시스템에 있어서:
    상기 반도체 제조 설비를 제어, 모니터링 및 관리하는 다수의 메뉴 다이얼로그들과;
    상기 메뉴 다이얼로그들 중 사용자가 억세스한 복수 개의 메뉴 다이얼로그들을 표시하는 네비게이션 메뉴와;
    상기 네비게이션 메뉴를 활성화시키고, 상기 네비게이션 메뉴를 등록, 관리하는 네비게이션 처리부 및;
    상기 네비게이션 메뉴를 화면에 출력하도록 구동하는 디스플레이 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 네비게이션 메뉴는 메뉴 바 타입으로 표시되는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 네비게이션 메뉴는;
    상기 화면의 상단부에 배치되고, 사용자가 억세스한 상기 메뉴 다이얼로그들 각각에 대응하여 상기 메뉴 바가 순차적으로 제공되는 것을 특징으로 하는 제어 시 스템.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제어 시스템은;
    사용자가 억세스한 상기 메뉴 다이얼로그에서 수정된 데이터를 저장하는 데이터 버퍼부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 네비게이션 처리부는;
    상기 메뉴 다이얼로그들 중 현재 억세스된 메뉴 다이얼로그에서 상기 수정된 데이터의 저장없이 다른 메뉴 다이얼로그로 전환되면, 상기 데이터 버퍼부에 상기 수정된 데이터를 저장하도록 처리하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 네비게이션 처리부는;
    상기 메뉴 다이얼로그들 중 현재 억세스된 메뉴 다이얼로그에서 상기 수정된 데이터의 저장없이 다른 메뉴 다이얼로그로 전환되면, 상기 다른 메뉴 다이얼로그로 전환하기 전에 상기 데이터 버퍼부에 상기 수정된 데이터를 자동 저장하도록 처리하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 네비게이션 처리부는;
    상기 네비게이션 메뉴에 포함된 상기 수정된 데이터를 갖는 메뉴 다이얼로그와 상기 수정된 데이터를 저장한 메뉴 다이얼로그에 대응하는 메뉴 바들을 서로 다르게 표시하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어 시스템은;
    상기 메뉴 다이얼로그들 및 상기 네비게이션 메뉴를 상기 화면에 표시하기 위한 데이터를 저장하는 데이터 저장부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제어 시스템은;
    상기 데이터 저장부로부터 상기 화면에 표시하기 위한 데이터를 독출하는 유저 인터페이스 데이터 처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 네비게이션 처리부는 사용자가 어느 하나의 메뉴 다이얼로그를 선택하면, 상기 유저 인터페이스 데이터 처리부로 상기 어느 하나의 메뉴 다이얼로그를 상기 화면에 표시할 데이터를 요청하고;
    상기 유저 인터페이스 데이터 처리부는 상기 요청에 응답해서 상기 화면에 표시할 데이터를 상기 데이터 저장부로부터 독출하여, 상기 네비게이션 처리부로 제공하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 디스플레이 구동부는;
    상기 메뉴 다이얼로그들 중 현재 억세스된 메뉴 다이얼로그와 상기 네비게이션 메뉴를 상기 화면의 최상위에 표시하도록 구동하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어 시스템은 상기 반도체 제조 설비와 연결되는 하위 제어부와 상기 하위 제어부와 연결되는 상위 제어부를 포함하되;
    상기 유저 인터페이스 어플리케이션은 상기 하위 및 상기 상위 제어부 중 적어도 하나에 구비되는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 하위 제어부는 상기 반도체 제조 설비와 내부 네트워크를 통해 연결되는 클라이언트 툴 컨트롤러로 구비되는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 상위 제어부는 상기 반도체 제조 설비와 외부 네트워크를 통해 연결되어 상기 반도체 제조 설비를 원격 제어하는 호스트로 구비되는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
  15. 반도체 제조 설비를 제어하는 방법에 있어서:
    상기 반도체 제조 설비를 제어, 모니터링 및 관리하기 위한 다양한 메뉴들을 구비하는 상기 유저 인터페이스를 로딩하고, 상기 메뉴들 중 어느 하나를 선택하기 위한 메인 화면을 표시하고, 그리고 상기 메인 화면에 상기 선택된 복수 개의 메뉴들을 히스토리 순으로 등록하는 네비게이션 메뉴를 표시하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 네비게이션 메뉴를 표시하는 것은;
    상기 메인 화면의 상단부에 상기 네비게이션 메뉴를 배치하고, 사용자가 선택한 상기 메뉴들 각각에 대응하여 복수 개의 메뉴 바들로 표시하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 네비게이션 메뉴를 표시하는 것은;
    사용자가 선택한 상기 메뉴들 각각에 대응하여
    상기 메뉴들 중 현재 선택된 메뉴에서 다른 메뉴로 선택되면, 상기 네비게이션 메뉴에 새로운 메뉴 바를 등록, 표시하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 네비게이션 메뉴를 표시하는 것은;
    상기 선택된 메뉴들 중 사용자에 의해 수정된 데이터를 포함하는 메뉴에 대응되는 메뉴 바와 상기 수정된 데이터가 없는 메뉴에 대응되는 메뉴 바를 서로 다르게 표시하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 네비게이션 메뉴를 표시하는 것은;
    사용자에 의해 상기 수정된 데이터가 저장되면, 상기 수정된 데이터가 없는 메뉴에 대응되는 메뉴 바와 동일하게 표시하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 제어 방법은;
    상기 다른 메뉴로 전환하기 전에 상기 수정된 데이터를 저장하는 것을 더 포함하는 제어 방법.
  21. 반도체 제조 설비를 제어, 모니터링 및 관리하기 위한 다양한 메뉴들에 대한 복수 개의 메뉴 다이얼로그들을 구비하는 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비를 제어하는 방법에 있어서:
    상기 유저 인터페이스를 로딩하고;
    상기 메뉴 다이얼로그들 중 메인 화면을 표시하고;
    상기 메뉴 다이얼로그들 중 사용자가 억세스한 메뉴 다이얼로그들을 표시하는 네비게이션 메뉴를 활성화하고; 이어서
    상기 메뉴 다이얼로그들 중 적어도 하나의 메뉴 다이얼로그를 선택하면, 상기 네비게이션 메뉴에 상기 선택된 메뉴 다이얼로그들을 히스토리 순으로 등록하여표시하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 네비게이션 메뉴를 활성화하는 것은;
    사용자가 억세스한 메뉴 다이얼로그들 각각을 메뉴 바 타입으로 상기 네비게이션 메뉴에 표시하도록 하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 제어 방법은;
    상기 네비게이션 메뉴에 등록, 표시된 메뉴 다이얼로그들 상호 간에 화면 전 환이 가능한 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 제어 방법은;
    상기 네비게이션 메뉴에 등록, 표시된 메뉴 다이얼로그들 중 어느 하나로 전환되면, 전환 이전의 메뉴 다이얼로그에 수정된 데이터가 있는지를 판별하는 것을 더 포함하는 제어 방법.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 제어 방법은;
    상기 수정된 데이터가 있으면, 상기 수정된 데이터를 자동으로 저장하는 것을 더 포함하는 제어 방법.
  26. 제 24 항에 있어서,
    상기 네비게이션 메뉴는 상기 네비게이션 메뉴에 등록, 표시된 메뉴 다이얼로그들 중 상기 수정된 데이터가 있는 메뉴 바와 상기 수정된 데이터가 없는 메뉴 바는 서로 상이하게 표시하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 네비게이션 메뉴는 상기 수정된 데이터를 저장하면, 상기 수정된 데이 터가 있는 메뉴 바를 상기 수정된 데이터가 없는 데이터와 동일하게 표시하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  28. 제 21 항 또는 제 24 항에 있어서,
    상기 네비게이션 메뉴는 최상위 화면에 표시되는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
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