JP2002132411A - 半導体製造装置及びその表示画面切り替え方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オペレータが簡単な操作で表示画面を切り替
えでき、通常生産時の操作性を向上させた半導体製造装
置を提供する。 【解決手段】 表示を切り替える専用の入力装置４、表
示機器２、通常の入力機器３、入力機器と表示切替用入
力機器からの指令に基づいて装置の状態を表示機器の画
面に表示するインターフェイス制御機器１、及び入力機
器３と表示切替用入力機器４による画面の変更履歴を記
憶する画面変更履歴テーブル１０１を有する。また、装
置での基板処理枚数を記憶する基板処理テーブル１０２
を有し、所定の枚数以下の試作ロット生産時の画面変更
履歴を画面変更履歴テーブル１０１より削除する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板（サブ
ストレート）を一枚毎に処理し、基板上に半導体などを
形成するための処理を行う半導体製造装置に関し、特に
その装置の状態などを確認するための表示機器の表示切
替操作を簡単・容易にした半導体製造装置及びその表示
画面の切り替え方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体製造装置は、種々の複
雑な処理を所定の条件下で施し、基板上に半導体素子な
どを形成するための加工を行っている。したがって、半
導体製造装置においては、その装置の状態を表示する表
示機器を有しており、表示機器に表示されている画面の
切替を入力機器から行って種々の処理の状態を確認し
て、加工方法の設定などを行う必要がある。

【０００３】また、半導体製造装置においては、基板の
処理中や処理直後に処理データを確認することがしばし
ばあり、入力機器から指示を入力して、表示機器への表
示画面を切り替えることで多種のデータを確認してい
る。さらに、半導体製造装置においては、その装置の状
態を管理するため、通常生産とは別に、小数の基板の試
作ロットを処理し、その処理状態で管理を行うことがあ
る。

【０００４】このような半導体処理装置で、オペレータ
が表示機器で種々の表示画面を切り替える従来の方法を
図７及び図８を参照しつつ以下に説明する。図７は従来
の半導体製造装置の構成を示すブロック図である。図７
において、インターフェイス制御機器１は、主にオペレ
ータと装置とのインターフェイスである表示機器２を制
御して半導体製造装置の状態などの表示をおこなう。入
力機器３は、インターフェイス制御機器１へオペレータ
の指示を伝える。装置制御機器５は、インターフェイス
制御機器１とデータ交換を行いながら装置全体の制御を
行う。駆動部６は、装置制御機器５からの指令に基づい
て半導体製造装置を動作させる。センサ部７は、装置制
御機器５に半導体製造装置の状態のデータを伝える。

【０００５】図８は、従来の半導体製造装置における表
示機器に表示される画面の遷移状態を説明するフロー図
である。図８において、半導体製造装置の起動直後に主
画面８が表示される。オペレータは、入力機器３を操作
して、確認したい処理工程の状態を表示するいくつかの
必要な画面８１、８２、８３を主画面８から切り替えて
表示させる。画面８１に関連する画面８１１〜画面８１
３は、オペレータが入力機器３を操作することで、それ
ぞれ画面８１から切り替わる画面である。画面８２に関
連する画面８２１〜画面８２３は、オペレータが入力機
器３を操作することで画面８２から切り替わる画面であ
る。画面８３に関連する画面８３１〜画面８３３は、オ
ペレータが入力機器３を操作することで画面８３から切
り替わる画面である。また、主画面８はどの画面状態に
おいても、入力機器３を操作することで初期状態に戻り
表示することができる。

【０００６】以上のように構成された従来の半導体製造
装置で、基板処理状態をオペレータが確認するために、
表示機器２に表示される画面を切り替える例について説
明する。例えば、基板処理中に、画面８１、画面８２
１、画面８２３、画面８３３を表示させて確認する必要
がある場合の例について説明する。

【０００７】まず、入力機器３を操作し主画面８から切
り替えて画面８１を表示し、画面８１の内容を確認す
る。次に、入力機器３を操作し主画面８を表示し、入力
機器３を操作し画面８２を表示する。さらに、入力機器
３を操作し画面８２１を表示させてその内容を確認す
る。次に、入力機器３を操作し主画面８を表示し、入力
機器３を操作し画面８２を表示し、入力機器３を操作し
画面８２３を表示させてその内容を確認する。次に、入
力機器３を操作し主画面８を表示し、入力機器３を操作
し画面８３を表示し、入力機器３を操作し画面８３３を
表示させてその内容を確認する。つまり、従来の半導体
製造装置では、画面８１１〜画面８３３等の画面を表示
させて確認するためには、常に主画面８に戻り、順次画
面を切り替えて表示させるという煩雑な操作が必要であ
った。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
半導体製造装置においては、表示画面を切り替える為
に、多種の操作方法の習得が必要となり、通常生産時に
のみ装置を操作するオペレータでさえ、訓練に時間が必
要になる。その結果、熟練したオペレータが不足するた
め、装置の稼働率の低下を招くことになるという問題が
あった。

【０００９】非常に複雑な処理を行う装置が多い半導体
製造装置では、装置の状態を表示する為に多くの表示画
面を切り替える必要があると共に、画面の内容が処理工
程毎に関連がある。したがって、表示画面の構成におい
てツリー構造を採用しない場合は、必要情報を表示する
為には膨大な数の検索項目をもつ表示画面が要ることに
なり、求める項目を検索するのに非常に多くの時間を要
し、実用的でない。反対にツリー構造の画面構成にする
と、多くの画面を主画面８から切り替えて直接表示させ
るようにはできないという問題があった。

【００１０】本発明は、生産時に装置の状態や基板の処
理状態を表示する画面を頻繁に切り替える必要のある半
導体処理装置のツリー構造の画面構成における画面切替
の操作を簡易化して操作性を向上した半導体処理装置を
提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の半導体製造装置
は、半導体製造装置の状態などのデータを表示する表示
機器、前記半導体製造装置へ制御データなどの指令を与
える入力機器、前記表示機器への表示切替の指令のみを
与える表示切替用入力機器、前記入力機器及び前記表示
切替用入力機器からの指令に基づいて、前記半導体製造
装置の制御データ及び状態等のデータを前記表示機器に
表示するよう制御するインターフェイス制御機器、前記
半導体製造装置全体の制御データを出力する装置制御機
器、前記装置制御機器からの信号により前記半導体製造
装置を動作させる駆動部、前記半導体製造装置の状態を
前記装置制御機器に伝えるセンサ部、及び前記入力機器
と前記表示切替用入力機器による画面の変更履歴を記憶
する画面変更履歴テーブルを有し、前記表示切替入力機
器の表示切替の指令が前記画面変更履歴テーブルに記憶
された画面の変更履歴に基づいて行われることを特徴と
する。なお、前記画面変更履歴テーブルは、インターフ
ェイス制御機器内に有するのが好ましい。

【００１２】この構成の半導体製造装置によれば、通常
の生産時に表示する必要がある画面は、画面変更履歴テ
ーブルに記憶された画面の変更履歴に基づいて表示切替
用入力機器から入力して切り替えることができる。した
がって、通常の生産時に半導体製造装置を操作するオペ
レータに対しては非常に簡単な操作方法を提供できる。
その結果、オペレータの訓練時間短縮と、操作性の向上
によりオペレータ不足を解消することができ、装置停止
時間を短縮し稼働率の向上を図ることができる。

【００１３】本発明の他の観点による半導体製造装置
は、上記構成の半導体製造装置において、前記インター
フェイス制御機器内に、前記半導体製造装置での基板処
理枚数を記憶する基板処理テーブルを有し、、前記基板
処理テーブルに記憶されている基板処理数が所定の値以
下の小ロットであった場合、前記小ロットの画面変更履
歴を前記画面変更履歴テーブルより削除することを特徴
とする。

【００１４】この構成の半導体処理装置によれば、半導
体処理装置の状態を管理するために試作する試作ロット
の画面変更履歴を画面変更履歴テーブルから削除するこ
とができる。その結果、前記表示切替入力機器により、
通常の生産状態の時に利用される画面を優先的に表示す
ることができる。

【００１５】本発明の半導体製造装置の表示画面の切り
替え方法は、半導体製造装置の状態などのデータを表示
する工程、前記表示機器への表示切替の指令を与える工
程、前記表示切替の指令による表示画面の変更履歴を記
憶する工程、及び前記表示機器に与える表示切替の指令
が記憶した画面変更履歴に基づいて行う工程を有するこ
とを特徴とする。

【００１６】この半導体製造装置の表示画面の切り替え
方法によれば、通常の生産時に表示する必要がある画面
は、記憶された画面変更履歴に基づいて表示切替の指令
を与えることができる。したがって、通常の生産時に半
導体製造装置を操作するオペレータに対しては非常に簡
単な操作方法を提供できる。その結果、オペレータの訓
練時間短縮と、操作性の向上によりオペレータ不足を解
消することができ、装置停止時間を短縮し稼働率の向上
を図ることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の半導体製造装置の
好適な実施例について、添付の図面を参照しつつ説明す
る。本実施例の半導体製造装置は、基本的な構成とし
て、オペレータと装置のインターフェイスの制御を行う
インターフェイス制御機器と、インターフェイス制御機
器に接続された表示機器と入力装置、駆動部とセンサ部
とを有し、センサ部からの情報とインターフェイス制御
機器からのデータをもとに駆動部に指令を与える装置制
御機器を備えている。

【００１８】《実施例》図１は、本発明の実施例の半導
体製造装置の構成を示すブロック図である。図１におい
て、インターフェイス制御機器１は、主にオペレータと
装置とのインターフェイスである表示機器２の制御、及
び入力機器３や表示切替用入力機器４から入力されるオ
ペレータの指示を表示機器２及び装置制御機器５に伝達
する。装置制御機器５は、インターフェイス制御機器１
とデータ交換を行いながら、センサ部７から送られる装
置の状態を示すデータに基づいて装置全体の制御データ
を駆動部６に出力する。駆動部６は、装置制御機器5か
らの制御データに基づいて装置を動作させる。

【００１９】表示機器２に表示された画面の履歴を記憶
する画面表示履歴テーブル１０１は、インターフェイス
制御機器１の内部に設けられている。インターフェイス
制御機器１は、人が十分に画面の内容を読み取ったと判
断できる所定時間以上の時間にわたり表示された画面だ
けを画面表示テーブル１０１に記憶させる。装置での基
板処理状況を記憶する基板処理テーブル１０２は、イン
ターフェイス制御機器１の内部に設けられているインタ
ーフェイス制御機器１は、基板処理テーブル１０２を参
照して、基板処理枚数が所定の枚数より少ないロットの
生産時に画面履歴表示テーブル１０１に記憶された画面
データを削除する。

【００２０】図２は、表示切替用入力機器４を操作して
画面切替を行う状態を示した画面切替遷移フロー図であ
る。図２において、装置が起動直後に表示される主画面
８は、この装置のもっとも基本的な画面である。画面表
示履歴テーブル１０１に記憶されている画面履歴データ
に基づいて構成された画面遷移フロー９は、上方より表
示頻度の高い画面を上に、表示頻度の低いものを下に順
に並べられている。また、画面遷移フロー９は、ある決
められた数の画面数のみ登録できるものとなっており、
その数は任意に設定できる。この画面遷移フロー９に基
づいた画面切替は表示切替用入力機器４の指令により実
行される。

【００２１】このように構成された本実施例の半導体製
造装置において、通常の基板数のロットを処理する時に
表示画面の履歴を登録する方法について図３を参照しつ
つ説明する。装置が起動すると図３においてまず主画面
８が図１の表示機器２に表示される。オペレータが入力
機器３を操作することで、主画面８からそれぞれ画面８
１〜画面８３が切り替わって表示される。画面８１１〜
８１３は、画面８１の表示中にオペレータが入力機器３
を操作することで、画面８１から切り替わる画面であ
る。画面８２１〜画面８２３は、画面８２の表示中にオ
ペレータが入力機器３を操作することで画面８２から切
り替わる画面である。画面８３１〜画面８３３は、画面
８３の表示中にオペレータが入力機器３を操作すること
で画面８３から切り替わる画面である。また、どの画面
の表示状態においても、入力機器３を操作することで初
期状態に戻して表示画面を主画面８に切り替えることが
できる。

【００２２】図３において、例えば、通常生産中にオペ
レータが入力機器３を操作し、主画面８から切替えて画
面８１を表示し、人が十分に画面の内容を読み取ったと
判断できる所定の時間以上の時間にわたり表示された場
合は、画面８１が画面表示履歴テーブル１０１に記憶さ
れる。次に、オペレータがに入力機器３を操作し、主画
面８を表示し、次に入力機器３を操作して画面８１を表
示し、人が十分に画面の内容を読み取ったと判断できる
所定の時間に達する前に、入力機器３を操作して画面８
１１に切り替えた場合は、画面８１は画面表示履歴テー
ブル１０１に記憶されない。そして、画面８１１が表示
され、人が十分に画面の内容を読み取ったと判断できる
所定の時間以上の時間にわたり表示された場合は、画面
８１１が画面表示履歴テーブル１０１に記憶される。

【００２３】以下、同様にして画面８２１、画面８３１
も画面表示履歴テーブル１０１に記憶される。このよう
にして画面表示履歴テーブル１０１に記憶されたデータ
をもとに画面遷移を構成したものが画面遷移フロー９ａ
になる。この状態で、次ロットの生産時にオペレータが
表示切替用入力機器４を操作することで、画面８１、画
面８１１、画面８２１、画面８３１を順次表示すること
が可能となる。また、この表示切替用入力機器４の操作
で順次表示された画面８１〜画面８３１で、人が十分に
それぞれの画面の内容を読み取ったと判断できる所定の
時間以上の時間にわたり表示された場合は、その画面群
も画面表示履歴テーブル１０１に記憶される。

【００２４】次に、別の通常生産時に、登録してある画
面遷移フローを変更する場合について、図４を参照しつ
つ説明する。例えば、画面８３１を画面８３３に置き換
えるような場合、画面８３１が表示されているとき、所
定の時間になる前に画面切替用入力機器４の操作で主画
面８に戻す。すると画面８３１は画面履歴フロー９ａよ
り削除される。また、登録時と同じ方法で、主画面８か
ら画面８３を切替表示し、さらに所定の時間になる前に
画面８３３に切替表示し、画面８３３を所定の時間以上
の時間にわたり表示すると、画面８３３が画面表示履歴
テーブル１０１に記憶される。このようにして、画面８
３１を画面８３３に置き換えた画面履歴フロー９ｂが再
構成される。次からは画面切替用入力機器４の操作で、
画面履歴フロー９ｂに基づいて画面８１〜画面８３３が
順次表示される。

【００２５】次に、非常に基板の枚数が少ないロット
で、通常生産とは判断できない状態の時の画面切替えの
状態について図５を参照しつつ説明する。図５におい
て、オペレータが入力機器３を操作し、主画面８から表
示を切替えて画面８１を表示し、人が十分に画面の内容
を読み取ったと判断できる所定の時間に達する前に、入
力機器３を操作して画面８１３に切り替えた場合は、画
面８１は画面表示履歴テーブルに記憶されない。そし
て、画面８１３が表示され、人が十分に画面の内容を読
み取ったと判断できる所定の時間以上の時間にわたり表
示された場合は、画面８１３が画面表示履歴テーブル１
０１に記憶される。以下、同様にして画面８３２も画面
表示履歴テーブル１０１に記憶される。この場合、画面
表示履歴テーブル１０１の画面履歴フロー９ａに画面デ
ータが追加されたことにより、画面遷移フロー９ａに画
面８１３、画面８３２が追加された画面遷移フロー９ｃ
が再構成される。そして、このロットの基板処理枚数が
基板処理テーブル１０２に記憶される。

【００２６】次に、このロットの生産が終了した時点
で、基板処理枚数がこのロットのように所定の枚数より
少ない場合は、インターフェイス制御機器１は基板処理
テーブル１０２に記憶されている基板処理枚数に基づい
て、このロットの生産により追加された画面８１３、８
３２のデータを削除する。したがって、図６に示すよう
に、登録された画面表示履歴フロー９ｃは、再び画面遷
移フロー９ａに再構成される。

【００２７】本実施例の半導体製造装置によれば、この
ようにして、通常生産と装置管理用の少数ロットの基板
処理を区別し、通常生産時のみの画面履歴を残すこと
で、通常生産時の操作性を大幅に向上させる。

【００２８】

【発明の効果】以上実施例で詳細に説明したように、本
発明の半導体製造装置は、装置全体としては非常に多く
の表示画面を有するものにおいて、画面変更の状態を記
憶して、画面切替用入力機器による画面遷移方法を決定
する。したがって、煩雑になりがちな装置の画面切替の
操作を簡素化し、また、生産管理方法が違い使用する画
面も違う事業場毎への対応も可能となる。その結果、通
常生産時のオペレータの訓練が簡単になり、容易に装置
の操作が行なえるために、オペレータ不足による生産の
停止を防止して生産効率を向上できる。

【００２９】また、装置の基板処理枚数をロット毎に記
憶し、その処理数に基づいて装置管理用の試作ロットの
画面遷移を画面表示履歴テーブルから削除することによ
り通常生産時の操作性を大幅に向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の半導体製造装置の構成を示す
ブロック図である。

【図２】本発明の実施例の半導体製造装置における表示
画面の画面遷移フロー図である。

【図３】本発明の実施例の半導体製造装置における通常
生産時の表示画面の記憶方法を説明する図である。

【図４】図３における登録変更後の画面遷移フロー図で
ある。

【図５】本発明の実施例の半導体製造装置における通常
生産以外の表示画面の記憶方法を説明する図である。

【図６】図４の通常生産時以外の表示画面の記憶を削除
した画面遷移フロー図である。

【図７】従来の半導体製造装置の構成を示すブロック図
である。

【図８】従来の半導体製造装置における表示画面の画面
遷移方法を説明する図である。

【符号の説明】

１ インターフェイス制御機器 ２ 表示機器 ３ 入力機器 ４ 表示切替用入力機器 ５ 装置制御機器 ６ 駆動部 ７ センサ部 ８ 主画面 ９ 、９ａ、９ｂ、９ｃ 画面遷移フロー ８１〜８３ 画面 １０１ 画面表示履歴テーブル １０２ 基板処理テーブル ８１１〜８１３ 画面 ８２１〜８２３ 画面 ８３１〜８３２ 画面

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体製造装置の状態などのデータを表
   示する表示機器、 前記半導体製造装置へ制御データなどの指令を与える入
   力機器、 前記表示機器への表示切替の指令のみを与える表示切替
   用入力機器、 前記入力機器及び前記表示切替用入力機器からの指令に
   基づいて前記半導体製造装置の制御データ及び状態など
   のデータを、前記表示機器に表示するよう制御するイン
   ターフェイス制御機器、 前記半導体製造装置全体の制御データを出力する装置制
   御機器、 前記装置制御器からの制御データにより前記半導体製造
   装置を動作させる駆動部、 前記半導体製造装置の状態を検出して前記装置制御機器
   に出力するセンサ部、及び前記入力機器と前記表示切替
   用入力機器による画面の変更履歴を記憶する画面変更履
   歴テーブルを有し、 前記表示切替用入力機器による表示切替の指令が前記画
   面変更履歴テーブルに記憶された変更履歴に基づいて行
   われることを特徴とする半導体製造装置。
2. 【請求項２】 前記インターフェイス制御機器内に、前
   記画面変更履歴テーブルを有することを特徴とする請求
   項１記載の半導体製造装置。
3. 【請求項３】 前記インターフェイス制御機器内に、前
   記半導体製造装置での基板処理枚数を記憶する基板処理
   テーブルを有し、 前記基板処理テーブルに記憶されている基板処理数が所
   定の値以下の小ロットであった場合、前記インターフェ
   イス制御機器が前記小ロット処理時の画面変更履歴を前
   記画面変更履歴テーブルより削除することを特徴とする
   請求項２記載の半導体製造装置。
4. 【請求項４】 半導体製造装置の状態などのデータを表
   示する工程、 前記表示機器への表示切替の指令を与える工程、 前記表示切替の指令による表示画面の変更履歴を記憶す
   る工程、及び前記表示機器に与える表示切替の指令が記
   憶した画面変更履歴に基づいて行う工程、 を有することを特徴とする半導体製造装置の表示画面の
   切り替え方法。
5. 【請求項５】 前記半導体製造装置での基板処理枚数を
   記憶する工程、及び前記基板処理数が所定の値以下の小
   ロットであった場合に、前記小ロットの画面変更履歴を
   消去する工程、 を有することを特徴とする請求項４記載の半導体製造装
   置の表示画面の切り替え方法。