CN101592867B - 涂布机台及清洁涂布机台的喷嘴的方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种涂布机台及清洁涂布机台的喷嘴的方法，所述涂布机台包括涂液输出装置、清洁装置与拉力提供组件。涂液输出装置包括喷嘴，通过喷嘴将填充的涂液输送而出。清洁装置设于涂液输出装置的下方，沿着预定的行进方向移动以清洁喷嘴。清洁装置包括一清洁头，用以接触并去除位于喷嘴周围多余的涂液。拉力提供组件连接至清洁头，提供至少一定向拉力至清洁头，以于清洁装置清洁喷嘴时稳定清洁头。由于本发明是对清洁头施加稳定拉力而减少清洁头的晃动，因此本发明可以有效稳定正在进行清洁步骤的清洁头，避免移动的清洁头因本身的晃动而产生对位偏差。

Description

涂布机台及清洁涂布机台的喷嘴的方法

技术领域

本发明是有关于一种涂布机台及清洁涂布机台的喷嘴的方法，尤指一种可对清洁头提供稳定的定向拉力的涂布机台及利用所述清洁头进行的清洁方法。

背景技术

在显示装置的制造程序中常利用喷嘴将光刻胶等涂液涂布于被处理基板上。请参照图1，图1为已知光刻胶涂布工艺的示意图。如图1所示，首先提供基板10，水平地载置于载置台16上。涂布机台2包括喷嘴12，其中涂布机台2一方面通过喷嘴12将光刻胶液14喷挤至基板10上，另一方面使喷嘴12在基板10上方朝涂布方向(与喷嘴延伸方向垂直)4移动。此时，喷至基板10上的光刻胶液14会部分附着于喷嘴12外侧，且光刻胶液14会随着喷嘴12的移动而于基板10上延展为光刻胶膜。

于完成涂布工艺后，接着对喷嘴12进行清洁步骤，此时涂布机台会将喷嘴12移动至清洁头(图未示)上方，清洁头会接触喷嘴12，并且沿着喷嘴延伸方向来去除残留于喷嘴12周围与外侧的光刻胶液14。于清洁头步骤的后涂布机台会将喷嘴12移动至载置台16上方，进行下一次的光刻胶涂布工艺。

然而，为了使清洁头可以接触喷嘴12并移动进行清洁，清洁头与喷嘴12接触的部分具有可晃动的弹性空间。因此，即使涂布机台可以于静止时校正清洁头与喷嘴12的相对位置，但是在实际进行清洁步骤时，移动的清洁头却容易因本身的晃动而产生对位偏差。当清洁步骤中的清洁头与喷嘴12无法准确对位，清洁头很可能无法有效刮除残留于喷嘴12周围的光刻胶液14，使得光刻胶液14形成残余光刻胶18而堆积于喷嘴12周围。如此一来，于下一次的光刻胶涂布循环中，喷嘴12周围的残余光刻胶18可能会直接剥落于下一个基板上造成污染，也可能会通过下一次喷出的光刻胶液14而沾粘于基板上，导致基板的污染。

发明内容

本发明的目的的一在于提供一种涂布机台及清洁涂布机台的喷嘴的方法，以解决前述已知问题。

为达上述目的，本发明的实施例提供一种涂布机台，包括涂液输出装置、清洁装置、传动装置与拉力提供组件。涂液输出装置包括喷嘴，通过喷嘴将填充的涂液输送而出。清洁装置设于涂液输出装置的下方，沿着预定的行进方向移动以清洁喷嘴。清洁装置包括一清洁头，用以接触并去除位于喷嘴周围多余的涂液。传动装置连接至清洁装置的装置底座，以控制清洁装置的位置，且提供传动力使清洁装置沿着该行进方向而移动。拉力提供组件连接至清洁头，提供至少一定向拉力至清洁头，以于清洁装置清洁喷嘴时稳定清洁头。

本发明的实施例更提供一种清洁涂布机台的喷嘴的方法。首先，提供涂布机台，包括喷嘴与设置于喷嘴下方的清洁头。然后，对清洁头提供传动力与定向拉力，其中传动力控制清洁头的位置而使清洁头沿着行进方向移动，进而使清洁头接触而清洁喷嘴，定向拉力平行于行进方向持续施加于清洁头，以稳定清洁头。

由于本发明是对清洁头施加稳定拉力而减少清洁头的晃动，因此本发明可以有效稳定正在进行清洁步骤的清洁头，避免移动的清洁头因本身的晃动而产生对位偏差。有鉴于此，实际进行清洁步骤时，清洁头与喷嘴可以准确对位，有效刮除残留于喷嘴周围的光刻胶液，使洁净的喷嘴可进行良好的涂布工艺，减低被处理基板或涂布膜层被污染的机会。

附图说明

图1为已知光刻胶涂布工艺的示意图；

图2至图4绘示的是本发明一较佳实施例的涂布机台的示意图；

图5至图11绘示的是本发明其他较佳实施例的清洁涂布机台的喷嘴的方法示意图。

附图说明

2      涂布机台        4      涂布方向

10     基板            12     喷嘴

14     光刻胶液        16     载置台

18     残余光刻胶      100    涂布机台

102    涂液输出装置    104    清洁装置

106    拉力提供组件    108    轨道

110    传动装置        112    喷嘴

114    行进方向        116    清洁头

117    传动力          118    第一定向拉力

120    第二定向拉力    122    第一拉力组件

124    第二拉力组件    126    接线

128    滑轮            130    配重锤

132    装置底座        134    上盖

136    底座弹簧        222    第一拉力组件

224    第二拉力组件    230    卷尺

330    螺纹弹簧

424    拉力组件        518    第一定向拉力

520    第二定向拉力    538    分力

540    分力            638    分力

640    分力            722    第一拉力组件

724    第二拉力组件    726    接线

806    拉力提供组件    842    弹簧

G      重力方向

具体实施方式

以下为有关本发明的详细说明与附图，然而所附附图仅供参考与辅助说明用，并非用来对本发明加以限制。为使本领域技术人员能更进一步了解本发明，下文特列举本发明的多个较佳实施例，并配合所附附图，详细说明本发明的构成内容及所欲达成的功效。

请参考图2至图4。图2至图4绘示的是本发明一较佳实施例的涂布机台(coating)的示意图，其中图2为涂布机台的俯视示意图，图3为涂布机台的侧视示意图，而图4为清洁装置的仰视示意图。其中，相同的元件或部位沿用相同的符号来表示，需注意的是附图仅以说明为目的，并未依照原尺寸作图。为清楚显示涂布机台100的配置图2的涂液输出装置102绘示为可透视元件，然而实际结构不限于此。

如图2与图3所示，涂布机台100可包括涂液输出装置102、清洁装置104、拉力提供组件106、轨道108与传动装置110(图3的传动装置被遮蔽而未示)。涂液输出装置102包括喷嘴112，通过喷嘴112将填充的涂液输送而出。清洁装置104设于涂液输出装置102的下方，沿着预定的行进方向114移动以清洁喷嘴112。清洁装置104包括一清洁头116，例如为刮片，用以接触并去除位于喷嘴112周围多余的涂液。

轨道108为选择性元件，主要是供清洁装置104设置并且沿着轨道108的方向移动，因此轨道108本质上可平行于清洁装置104的行进方向114而设置，且轨道108的设置方向一般是垂直于重力方向G。以长条形的喷嘴112为例，轨道108与行进方向114的设置可与喷嘴112的延伸方向平行，以有效清洁喷嘴112。

拉力提供组件106连接至清洁头116，提供至少一定向拉力至清洁头116，以于清洁装置104清洁喷嘴112时稳定清洁头116。本发明的定向拉力的大小仅需大于零即可用于稳定清洁装置104，较佳是小于驱动清洁装置104于轨道108中移动的传动力117，以使清洁装置104可顺利于轨道108中移动而清洁喷嘴112。根据一般传动状态，定向拉力本质上较佳可介于0.4至0.6公斤重，以提供适当稳定效果与维持移动顺畅性，但不限于此。于其他实施例中，例如利用弹簧提供定向拉力的状况下，定向拉力的大小也可能随着清洁装置104的位置而改变，甚至达到负值而成为定向推力。

于本实施例中，拉力提供组件106较佳可同时提供第一定向拉力118与第二定向拉力120至清洁头116，使得清洁装置104可平衡受力，但不限于此。第一定向拉力118本质上可沿着行进方向114拉伸，而第二定向拉力120本质上可与第一定向拉力118位于同一作用直线上而反向拉伸。拉力提供组件106可包括第一拉力组件122与第二拉力组件124，以分别提供第一定向拉力118与第二定向拉力120。第一拉力组件122与第二拉力组件124分别包括至少一条接线126、至少一滑轮128与至少一配重锤130。接线126的一端可固定于清洁头116上，接线126沿着清洁装置104的预定行进方向114或轨道108的设置方向延伸，跨越滑轮128而另一端固定于悬空的配重锤130上。其中，接线126较佳是由高耐磨材料所构成，例如包括钢线，以提高拉力提供组件106的耐用性，但不局限于此，接线126、滑轮128与配重锤130均为可分别替换的组件。

如图4所示，清洁装置104可选择性包括装置底座132与上盖134，其中上盖134的上表面包括图3所示的清洁头116，而其下表面则可包括至少一底座弹簧136，例如图4的装置底座132包括四个底座弹簧136，用以支撑于装置底座132与上盖134之间，使清洁头116可以适当地接触喷嘴112并移动进行清洁。在未连接拉力提供组件106的情况下，上盖134与装置底座132彼此的相对位置具有可调整的空间，避免清洁步骤的喷嘴112受力不均。传动装置110连接至清洁装置104的装置底座132，以控制清洁装置104的位置，且可提供图3所示的传动力117使清洁装置104沿着行进方向114而移动。

再参考图2与图3，当进行涂布机台的喷嘴清洁步骤时，首先提供前述涂布机台100。之后，移动喷嘴112或清洁装置104使得喷嘴112对应于清洁装置104正上方，并且使清洁头116可接触喷嘴112。接着，对清洁头116提供传动力与定向拉力，例如前述传动力117、第一定向拉力118与第二定向拉力120。

其中，传动力117可由传动装置110提供至清洁装置104的装置底座132，进而带动清洁头116，以控制清洁头116的位置，并使清洁头116可沿着行进方向114移动。在清洁头116移动的过程中，特别是清洁喷嘴112的过程中，第一定向拉力118与第二定向拉力120均可平行于行进方向114而持续施加于清洁头116，以稳定清洁头116不易晃动。如此一来，清洁头116可稳定接触而清洁喷嘴112。其后，洁净的喷嘴112可进行涂布工艺(图未示)，例如涂液为彩色光刻胶液，并且获得较佳涂布效果，减低被处理基板或涂布膜层被污染的机会。

前述对清洁头116提供定向拉力的步骤可于涂布机台100中持续进行，也可仅于清洁头116接触喷嘴112的过程中进行。例如本发明利用第一拉力组件122与第二拉力组件124即可自动且稳定地持续提供第一定向拉力118与第二定向拉力120。

于其他实施例中，拉力提供组件更可包括不同形态，请参考图5至图11，其绘示的是本发明其他较佳实施例的清洁涂布机台的喷嘴的方法示意图，其中相同的元件或部位沿用相同的符号来表示。

如图5所示，第一拉力组件222与第二拉力组件224分别包括至少一卷尺230。卷尺230的一端可固定于清洁头116上，而另一端(卷尺230的主体)可固定于轨道108的一端，使得卷尺230可沿着清洁装置104的预定行进方向114或轨道108的设置方向延伸。于其他实施例中，第一拉力组件222与/或第二拉力组件224也可另包括至少一条接线(图未示)，而利用接线连接卷尺230与清洁装置104之间，也即利用接线与卷尺取代图5所示的卷尺230。或者如图6所示，本实施例可利用螺纹弹簧330取代前述的卷尺230。

如图7所示，本发明也可仅提供单一定向拉力120至清洁头116，其中拉力组件424可如图7所示包括接线126、滑轮128与配重锤130，也可如其他实施例中所示包括卷尺或螺纹弹簧。

本发明是对清洁头施加稳定拉力而减少清洁头的晃动，包括作用力是平行于行进方向、于俯视而言与行进方向倾斜、于侧视而言与行进方向倾斜或垂直于行进方向，均符合本发明的精神。如图8所示，第一定向拉力518与第二定向拉力520可以与重力方向G不垂直，使得清洁头116同时受到朝向轨道108终端的分力538与向下的分力540。如图9所示，第一定向拉力518与第二定向拉力520可以与重力方向G不垂直，使得清洁头116同时受到朝向轨道108终端的分力638与向上的分力640。

如图10所示，第一拉力组件722与第二拉力组件724分别包括至少两条接线726、至少一滑轮128与至少一配重锤130。单一拉力组件(第一拉力组件722或第二拉力组件724)的两条接线726可彼此连接，使得接线726呈Y字形而具有至少三个端点，其中两端可分别固定于清洁头116上，而另一端点可连接配重锤130、卷尺(图未示)或螺纹弹簧(图未示)。

如图11所示，拉力提供组件806可包括弹簧842，设置于装置底座132与上盖134之间，例如一端固定于装置底座132或上盖134上，而另一端相对接触于上盖134或装置底座132侧壁。弹簧842可以增加装置底座132与上盖134之间的稳定效果，进而减少清洁头的晃动。

上述各种拉力提供组件与其包括元件均可彼此替换或组合使用，例如图2所示的涂布机台100可同时包括拉力提供组件106与拉力提供组件806。

由于本发明是对清洁头施加稳定拉力而减少清洁头的晃动，因此本发明可以有效稳定正在进行清洁步骤的清洁头，避免移动的清洁头因本身的晃动而产生对位偏差。有鉴于此，实际进行清洁步骤时，清洁头与喷嘴可以准确对位，有效刮除残留于喷嘴周围的光刻胶液，使洁净的喷嘴可进行良好的涂布工艺，减低被处理基板或涂布膜层被污染的机会。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明权利要求书范围所做的均等变化与修饰，皆应属本发明的涵盖范围。

Claims (16)

1.一种涂布机台，其特征在于，所述涂布机台包括：

一涂液输出装置，填充有一涂液，所述涂液输出装置包括一喷嘴，通过所述喷嘴将所述涂液输送而出；

一清洁装置，设于所述涂液输出装置的下方，沿着一行进方向移动以清洁所述喷嘴，所述清洁装置包括一清洁头，用以接触并去除位于所述喷嘴周围多余的所述涂液；

一传动装置，连接至所述清洁装置的装置底座，以控制所述清洁装置的位置，且提供传动力使所述清洁装置沿着所述行进方向而移动；以及

一拉力提供组件，连接至所述清洁头，所述拉力提供组件提供至少一定向拉力至所述清洁头，以于所述清洁装置清洁所述喷嘴时稳定所述清洁头。

2.如权利要求1所述的涂布机台，其特征在于，所述定向拉力平行于所述行进方向而作用。

3.如权利要求1所述的涂布机台，其特征在于，所述拉力提供组件包括至少一条接线、至少一滑轮与至少一配重锤，所述接线的一端固定于所述清洁头上，所述接线沿着所述行进方向延伸，跨越所述滑轮而另一端固定于悬空的所述配重锤上。

4.如权利要求3所述的涂布机台，其特征在于，所述接线包括一钢线。

5.如权利要求1所述的涂布机台，其特征在于，所述拉力提供组件包括至少一卷尺或至少一螺纹弹簧。

6.如权利要求1所述的涂布机台，其特征在于，所述拉力提供组件提供一第一定向拉力与一第二定向拉力至所述清洁头，所述第一定向拉力是沿着所述行进方向拉伸，而所述第二定向拉力是与所述第一定向拉力位于同一作用直线上而反向拉伸。

7.如权利要求6所述的涂布机台，其特征在于，所述拉力提供组件包括一第一拉力组件与一第二拉力组件，所述第一拉力组件与所述第二拉力组件分别包括至少一条接线、至少一滑轮与至少一配重锤。

8.如权利要求1所述的涂布机台，其特征在于，所述清洁装置包括至少一底座弹簧，所述装置底座与所述底座弹簧用以支撑所述清洁头。

9.如权利要求8所述的涂布机台，其特征在于，所述涂布机台还包括：

一轨道，平行于所述行进方向而设置，所述清洁装置是设置于所述轨道中。

10.如权利要求1所述的涂布机台，其特征在于，所述定向拉力介于0.4至0.6公斤重。

11.如权利要求1所述的涂布机台，其特征在于，所述涂液为一彩色光刻胶。

12.一种清洁涂布机台的喷嘴的方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一涂布机台，所述涂布机台包括所述喷嘴与一清洁头设置于所述喷嘴下方；

对所述清洁头提供一传动力与一定向拉力，所述传动力控制所述清洁头的位置而使所述清洁头沿着一行进方向移动，进而使所述清洁头接触而清洁所述喷嘴，而所述定向拉力平行于所述行进方向持续施加于所述清洁头，以稳定所述清洁头。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述定向拉力介于0.4至0.6公斤重。

14.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述定向拉力包括一第一定向拉力与一第二定向拉力，所述第一定向拉力是沿着所述行进方向拉伸，而所述第二定向拉力是与所述第一定向拉力位于同一作用直线上而反向拉伸。

15.如权利要求12所述的方法，其特征在于，提供所述定向拉力的方法包括：

把至少一条接线的两端分别固定于所述清洁头与至少一配重锤上；以及

使所述接线沿着所述行进方向延伸，跨越至少一滑轮而让所述配重锤悬空挂置。

16.如权利要求12所述的方法，其特征在于，提供所述定向拉力的方法包括：

把至少一卷尺或至少一螺纹弹簧的两端分别固定于所述清洁头与一固定处上，且所述清洁头与所述固定处的连线方向与所述行进方向平行。

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