CN101138757A - 喷嘴装置及其喷嘴清洁装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种喷嘴清洁装置，用以清洁脊型喷嘴。喷嘴清洁装置包含座体以及清洁装置。座体以可沿脊线方向移动的方式设置。其中，脊线方向平行于脊形喷嘴的脊线。清洁装置包含承载装置、清洁件、以及第一弹性装置。承载装置以可相对座体有横移方向位移的方式设置。清洁件以可与脊形喷嘴表面接触的方式设置于承载装置相对于座体的另侧。清洁件可相对座体有上顶方向的位移。第一弹性装置以可提供沿横移方向的弹力的方式相对承载装置设置于承载装置与座体之间。横移方向垂直于上顶方向，横移方向与脊线方向夹一夹角。本发明还公开了包含此喷嘴清洁装置的喷嘴装置。

Description

喷嘴装置及其喷嘴清洁装置
技术领域
本发明涉及一种喷嘴清洁装置，尤其涉及一种液晶显示器电路阵列光刻胶涂布工艺使用的脊型喷嘴的喷嘴清洁装置及包含其的喷嘴装置。
背景技术
液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)广泛应用在计算机、电视、以及行动电话等各种电子产品上。液晶显示器的电路阵列(array)是液晶显示器重要组成元件之一。液晶显示器的电路阵列的生产良率直接影响液晶显示器的效能与制造成本。
在制造液晶显示器的电路阵列的过程当中常见的光刻胶涂布方式之一，包含以脊型喷嘴将光刻胶喷出，并涂布于基板上。由于在喷出过程中会有部分光刻胶残留于脊型喷嘴的表面，当残留的光刻胶累积至一定程度后会滴落而形成基板上的胶状物(Gel)，使得生产良率下降。因此，会使用喷嘴清洁装置清洁脊型喷嘴的表面，以避免光刻胶于脊型喷嘴的表面累积而低落形成胶状物。
如图1及图2所示的现有技术，使用现有技术的喷嘴清洁装置10对脊型喷嘴90进行清洁时，清洁件51上顶至与脊形喷嘴90表面接触。当承载装置53随着座体30沿脊线方向200移动时，承载装置53上的清洁件51也随之移动。由于清洁件51与脊形喷嘴90表面接触，因此，清洁件51在移动的同时可将脊形喷嘴90表面的光刻胶刮除，以达到清洁脊型喷嘴90的目的。然而，清洁件51在脊形喷嘴90表面移动的过程中，会与脊形喷嘴90表面摩擦而产生摩擦震动。因此，承载清洁件51的承载装置53会相对于座体30产生横移方向400的震动偏移，使清洁件51与脊形喷嘴90表面的接触不完全，造成清洁效果下降。以上所述喷嘴清洁装置的设计有改进的空间。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种喷嘴清洁装置，供与一脊形喷嘴配合使用，可提升脊型喷嘴的清洁度。
本发明的另一目的在于提供一种喷嘴清洁装置，供与一脊形喷嘴配合使用，可提高生产良率。
本发明的又一目的在于提供一种喷嘴装置，包含上述喷嘴清洁装置。
为实现上述目的，本发明提供一种喷嘴清洁装置，包含座体以及清洁装置。座体以可沿脊线方向移动的方式设置。其中，脊线方向平行于脊形喷嘴的脊线。清洁装置包含承载装置、清洁件、以及第一弹性装置。承载装置以可相对座体有横移方向位移的方式设置。
清洁件以可与脊形喷嘴表面接触的方式设置于承载装置相对于座体的另侧。其中，清洁件可相对座体有上顶方向的位移。清洁件较佳为使用硅胶，也可使用橡胶。第一弹性装置，以可提供沿横移方向的弹力的方式相对承载装置设置于承载装置与座体之间。第一弹性装置较佳为弹簧，也可使用弹性橡胶、弹性片材等可于受力时产生形变的对象。
横移方向垂直于上顶方向。横移方向与脊线方向夹一夹角。夹角的角度为45°～135°，且较佳为90°。
而且，为实现上述目的，本发明还提供一种喷嘴装置，包含：一脊形喷嘴；一喷嘴清洁装置，包含：一座体，以可沿一脊线方向移动的方式设置，该脊线方向平行于该脊形喷嘴的脊线；以及一清洁装置，包含：一承载装置，以可相对该座体有一横移方向位移的方式设置；一清洁件，以可与该脊形喷嘴表面接触的方式设置于该承载装置相对于该座体的另侧，该清洁件可相对该座体有一上顶方向的位移；以及一第一弹性装置，以可提供沿该横移方向的弹力的方式相对该承载装置设置于该承载装置与该座体之间；该横移方向垂直于该上顶方向，该横移方向与该脊线方向夹一夹角。
采用本发明的喷嘴清洁装置可与一脊形喷嘴配合使用，可提升脊型喷嘴的清洁度，并提高生产良率。
以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
附图说明
图1为现有技术立体示意图；
图2为现有技术正视示意图；
图3为本发明实施例立体示意图；
图4a为本发明实施例正视示意图；
图4b为本发明包含阻尼装置实施例正视示意图；
图5a为本发明较佳实施例示意图；
图5b为本发明另一实施例示意图；
其中，附图标记：
10：喷嘴清洁装置     100：喷嘴清洁装置
200：脊线方向        30：座体
300：座体            400：横移方向
50：清洁装置         500：清洁装置
51：清洁件           510：清洁件
53：承载装置         530：承载装置
600：上顶方向        710：第一弹性装置
750：阻尼装置        90：脊型喷嘴
900：脊型喷嘴        91：脊线
910：脊线            θ：转动方向
γ：夹角
具体实施方式
本发明提供一种喷嘴装置及其喷嘴清洁装置。以较佳实施例而言，此喷嘴装置及喷嘴清洁装置指用于制造液晶显示器电路阵列的光刻胶涂布工艺中所使用的脊型喷嘴及其喷嘴清洁装置。然而在不同实施例中，此喷嘴清洁装置也用以清洁在制造不同电子产品电路阵列的不同工艺中所使用的脊型喷嘴。
如图3及图4a所示的实施例，喷嘴清洁装置100与脊形喷嘴900配合使用。喷嘴清洁装置100包含座体300以及清洁装置500。脊型喷嘴900具有脊线910，座体300以可沿脊线方向200移动的方式设置。其中，脊线方向200平行于脊形喷嘴900的脊线910。在较佳实施例中，座体300可藉由连接件330与导轨310连接，并由一驱动装置驱动而沿导轨310移动。导轨310以平行于脊线910的方式设置。
如图3及图4a所示的实施例，清洁装置500包含承载装置530、清洁件510以及第一弹性装置710。承载装置530以可相对座体300有横移方向400位移的方式设置。在较佳实施例中，承载装置530为中空且具有开口的矩形对象，并套设于座体300上。承载装置530清洁件510以可与脊形喷嘴900表面接触的方式设置于承载装置530相对于座体300的另侧。其中，清洁件510可相对座体300在上顶方向600产生往复的位移。第一弹性装置710以可提供沿横移方向400的弹力，并相对承载装置530设置于承载装置530与座体300之间。在较佳实施例中，清洁件510为硅胶。然而在不同实施例中，清洁件510也可为橡胶、海绵等具有弹性的材质。
在如图4b所示的不同实施例中，可进一步相对承载装置530于承载装置530与座体300之间设置阻尼装置750，用以缓减承载装置530因为第一弹性装置710提供的弹力所产生相对座体300在横移方向400的往复位移。
如图3及图4a所示的实施例，横移方向400垂直于上顶方向600，横移方向400与脊线方向200夹一夹角γ。夹角γ的角度为45°～135°，且较佳为90°。使用喷嘴清洁装置100对脊型喷嘴900进行清洁时，清洁件510与脊形喷嘴900表面接触。当承载装置530随着座体300沿脊线方向200移动时，承载装置530上的清洁件510也随之移动。由于清洁件510与脊形喷嘴900表面接触，因此，清洁件510在移动的同时可将脊形喷嘴900表面包含光刻胶在内的喷出残留物刮除，以达到清洁脊型喷嘴900的目的。
清洁件510在脊形喷嘴900表面移动的过程中，会与脊形喷嘴900表面摩擦而产生摩擦震动。因此，承载清洁件510的承载装置530会相对于座体300产生横移方向400的震动偏移。由于设置于承载装置530与座体300之间的第一弹性装置710可提供沿横移方向400及转动方向θ的弹力，故可通过第一弹性装置710的设置减少或减缓承载装置530相对于座体300产生横移方向400及转动方向θ的震动偏移，使清洁件510在脊形喷嘴900表面移动时与脊形喷嘴900表面的接触更为完全，以提升清洁脊形喷嘴900表面的效果，进一步提高生产良率。
在较佳实施例中，第一弹性装置710为弹簧。然而在不同实施例中，第一弹性装置710也可使用其它可于受力时产生形变的对象，包含弹性橡胶及弹性片材等。此处所言的形变包含压缩、拉伸、以及弯曲等方式的形变。
第一弹性装置710的数量及设置位置可依需求而不同。在如图3所示的实施例中，第一弹性装置710相对于座体300以横移方向400分别设置一组于承载装置530与座体300之间。在如图5a所示的较佳实施例中，第一弹性装置710相对于座体300以横移方向400分别设置二组于承载装置530与座体300之间。在如图5b所示的不同实施例中，第一弹性装置710相对于座体300以脊线方向200设置一组于承载装置530与座体300之间。
当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (14)

1.一种喷嘴清洁装置，供与一脊形喷嘴配合使用，其特征在于，包含：
一座体，以可沿一脊线方向移动的方式设置，其中该脊线方向平行于该脊形喷嘴的脊线；以及
一清洁装置，包含：
一承载装置，以可相对该座体有一横移方向位移的方式设置；
一清洁件，以可与该脊形喷嘴表面接触的方式设置于该承载装置相对于该座体的另侧，其中该清洁件可相对该座体有一上顶方向的位移；以及
一第一弹性装置，以可提供沿该横移方向的弹力的方式相对该承载装置设置于该承载装置与该座体之间；
其中，该横移方向垂直于该上顶方向，该横移方向与该脊线方向夹一夹角。
2.根据权利要求1所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，该清洁件包含一硅胶。
3.根据权利要求1所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，该清洁件包含一橡胶。
4.根据权利要求1所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，该第一弹性装置包含一弹簧。
5.根据权利要求1所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，该第一弹性装置包含一弹性橡胶。
6.根据权利要求1所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，该第一弹性装置包含一弹性片材。
7.根据权利要求1所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，该夹角的角度为45°～135°。
8.一种喷嘴装置，其特征在于，包含：
一脊形喷嘴；
一喷嘴清洁装置，包含：
一座体，以可沿一脊线方向移动的方式设置，该脊线方向平行于该脊形喷嘴的脊线；以及
一清洁装置，包含：
一承载装置，以可相对该座体有一横移方向位移的方式设置；
一清洁件，以可与该脊形喷嘴表面接触的方式设置于该承载装置相对于该座体的另侧，该清洁件可相对该座体有一上顶方向的位移；以及
一第一弹性装置，以可提供沿该横移方向的弹力的方式相对该承载装置设置于该承载装置与该座体之间；
该横移方向垂直于该上顶方向，该横移方向与该脊线方向夹一夹角。
9.根据权利要求8所述的喷嘴装置，其特征在于，该清洁件包含一硅胶。
10.根据权利要求8所述的喷嘴装置，其特征在于，该清洁件包含一橡胶。
11.根据权利要求8所述的喷嘴装置，其特征在于，该第一弹性装置包含一弹簧。
12.根据权利要求8所述的喷嘴装置，其特征在于，该第一弹性装置包含一弹性橡胶。
13.根据权利要求8所述的喷嘴装置，其特征在于，该第一弹性装置包含一弹性片材。
14.根据权利要求8所述的喷嘴装置，其特征在于，该夹角的角度为45°～135°。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101271277B (zh) * 2008-05-06 2010-12-22 友达光电股份有限公司 喷嘴清洁装置
CN101592867B (zh) * 2009-06-18 2011-10-26 友达光电股份有限公司 涂布机台及清洁涂布机台的喷嘴的方法
CN102688833A (zh) * 2012-06-05 2012-09-26 友达光电(厦门)有限公司 基板涂胶设备
WO2016008176A1 (zh) * 2014-07-16 2016-01-21 深圳市华星光电技术有限公司 一种喷嘴清洁装置及其清洁方法
CN105700294A (zh) * 2016-01-14 2016-06-22 武汉华星光电技术有限公司 一种涂胶机的喷嘴清洗治具及其清洗块
US9737914B2 (en) 2014-07-16 2017-08-22 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Nozzle cleaning device and method of using the same

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101271277B (zh) * 2008-05-06 2010-12-22 友达光电股份有限公司 喷嘴清洁装置
CN101592867B (zh) * 2009-06-18 2011-10-26 友达光电股份有限公司 涂布机台及清洁涂布机台的喷嘴的方法
CN102688833A (zh) * 2012-06-05 2012-09-26 友达光电(厦门)有限公司 基板涂胶设备
CN102688833B (zh) * 2012-06-05 2014-10-08 友达光电(厦门)有限公司 基板涂胶设备
WO2016008176A1 (zh) * 2014-07-16 2016-01-21 深圳市华星光电技术有限公司 一种喷嘴清洁装置及其清洁方法
US9737914B2 (en) 2014-07-16 2017-08-22 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Nozzle cleaning device and method of using the same
CN105700294A (zh) * 2016-01-14 2016-06-22 武汉华星光电技术有限公司 一种涂胶机的喷嘴清洗治具及其清洗块

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