CN1830672A - 喷墨涂敷装置及喷墨头的清洁方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的喷墨涂敷装置(10)包括具有将溶液以喷墨方式向基板(W)进行喷涂的多个喷嘴的喷头(9)，还包括：具有吸水性的带状的抹布(12)；将抹布(12)放出至喷头(9)的喷嘴面(20)的前面的放出机构(16)；将抹布(12)推压到喷嘴面(20)上的辊(43)。

Description

喷墨涂敷装置及喷墨头的清洁方法
(1)技术领域
本发明涉及一种具有对喷墨头的喷嘴面进行清扫的喷墨头的喷嘴面清洁装置的喷墨涂敷装置及喷墨头的清洁方法。
(2)背景技术
现有技术中，在利用喷墨头方式向基板的表面涂敷用于形成抗蚀膜或定向膜等功能性薄膜的溶液的喷墨头中，作为对该喷墨头的喷嘴面进行清洁的技术，有一边将硅酮橡胶构成的弹性体刮板推压到喷墨头的喷嘴面上一边刮下剩余涂敷液的技术等。
另外，在日本专利特开平6-115083号公报(专利文献1)中揭示了一种在弹性刮板本身上设置空气吸引用通孔，将粘附在弹性刮板上的剩余油墨利用吸引泵进行吸引的技术。
现有技术存在以下的问题。
利用上述弹性体刮板的技术中，因为喷墨头的喷嘴面与弹性体刮板的摩擦而使弹性体刮板被切削，有可能产生弹性体粉。一旦所产生的弹性体粉进入喷嘴或粘附在喷嘴面上，则会导致弹性体粉混入溶液中，有损在基板上形成的功能性薄膜的质量。
而且，有时会因弹性体刮板的劣化等而使刮除操作不充分。另外，弹性体刮板本身所粘附的剩余涂敷液难以除去，有时刮下的剩余溶液会再次粘附到喷墨头的喷嘴面上。
在后者的技术中，有时不能得到充分的剩余涂敷液的吸引效果。
(3)发明内容
本发明所要解决的技术问题是提高对喷墨头的喷嘴面的剩余排出液的擦拭性能、提高溶液的涂敷质量。
本发明的喷墨涂敷装置，包括具有将溶液以喷墨方式向基板进行喷涂的多个喷嘴的喷头，还包括：吸水性的清扫体；将该清扫体推压到喷头的喷嘴面上的推压机构。
本发明的喷墨头的清洁方法，对具有将溶液以喷墨方式向基板进行喷涂的多个喷嘴的喷头进行清扫，通过将吸水性的清扫体推压到喷头的喷嘴面上来对喷头的喷嘴面进行清扫。
采用本发明的话，与现有技术的利用弹性体刮板进行刮液的技术不同，因为是将具有吸水性的清扫体推压到喷头的喷嘴面上而将剩余的涂敷溶液吸去，因而可尽可能地防止与喷头的喷嘴面之间的摩擦，提高喷嘴面的擦拭性能，提高溶液的涂敷质量。
(4)附图说明
图1是表示省略了清洁装置的喷墨头涂敷装置的主视图。
图2是表示省略了清洁装置的喷墨头涂敷装置的侧视图。
图3是喷墨头的横向剖视图。
图4是喷墨头的仰视图。
图5是表示喷墨头的喷嘴面清洁装置的模式图，图5(A)表示滑架的待机位置，图5(B)表示滑架的擦拭行程端位置。
图6是示意性地表示喷墨头的喷嘴面清洁装置的左侧面的图。
(5)具体实施方式
图1至图6所示的喷墨涂敷装置10具有大致长方体状的基座1。在该基座1的下表面的规定位置分别设有脚2，将上述基座1水平地予以支承。
在上述基座1的上表面上设有安装板3。在安装板3上沿长度方向分别设有导轨4。大致矩形板状的搬运台5通过分别平行地设置在其下表面两侧的滑动构件6可滑动地支承在这些导轨4的上表面侧。
上述搬运台5上连接有未图示的驱动装置，通过使该驱动装置工作，可使上述搬运台5沿上述导轨4移动。
通过静电卡盘或吸附卡盘等保持构件将玻璃基板或半导体晶片等基板W可装卸地保持在上述搬运台5的上表面上。即，基板W通过保持在上述搬运台5的上表面上，就可沿上述基座1的长度方向进行搬运。
在上述基座1的长度方向中途部立设有横跨上述一对导轨4的门型支承体7。在该支承体7的上侧水平地架设有由方柱构成的安装构件8，多个(本实施例中为6个)喷墨方式的喷头9沿与上述基板W的搬运方向正交的宽度方向并列设置在该安装构件8的前表面上。这多个喷头9构成的长度尺寸与基板W的宽度尺寸大致相同或设定得稍长，所搬运的基板W整体从上述喷头9的下方通过。
在此，如图3和图4所示，上述各喷头9具有喷头本体51。喷头本体51具有从上面侧与下面侧连通的开口部52，其下面开口由可挠板53封闭。该可挠板53被喷嘴板54覆盖，由此，在该喷头本体51的下面侧，可挠板53与喷嘴板54之间形成多个液室55。
液室55分别通过未图示的支管与形成于喷嘴板54内的主管54A连通，从主管54A通过支管供给溶液。主管54A的一端与后述的供给孔57连接，另一端与后述的回收孔59连接。
在上述喷头本体51的长度方向一端部形成有与该液室55连通的供给孔57。
从该供给孔57向上述液室55供给例如用于形成定向膜或抗蚀膜等功能性薄膜的溶液。由此，该液室55内充满溶液。
如图4所示，多个喷嘴56在与喷头本体51的长度方向正交的宽度方向的大致中心部、即沿与基板W的搬运方向正交的方向以交错状地穿设在上述喷嘴板54上，喷嘴板54的下表面呈平板的形状，形成开设有多个喷嘴56的喷嘴面20。
如图3所示，在上述可挠板53的上表面的与上述各喷嘴56相向的位置分别固接有压电元件58。
液室55也与各喷嘴56一对一地对应设置。
驱动电压通过设于上述开口部52内的驱动部60供给各压电元件58。由此，溶液从与被驱动的压电元件58对应的喷嘴56排出，可将溶液向所搬运的基板W的上表面进行喷涂。
如图3所示，在上述喷头本体51的长度方向另一端部形成有与上述液室55连通的回收孔59。供给上述液室55的溶液通过该回收孔59回收。即，上述各喷头9不仅使供给至上述液室55的溶液从各喷嘴56进行喷射，而且使该溶液在上述液室55内循环，可由上述回收孔59进行回收。
如图5、图6所示，喷墨涂敷装置10具有喷墨头的喷嘴面清洁装置19。喷嘴面清洁装置19如下所述包括：搬运机构13，搬运对粘附在上述多个喷头9的喷嘴面20上的溶液进行擦拭的带状抹布(清扫体)12；将抹布12推压到喷头9的喷嘴面20上的推压机构41。
(搬运机构13)
带状的抹布(清扫体)12的搬运机构13包括：送出抹布12的供给卷筒14；卷起抹布12的卷起卷筒15；将张设在供给卷筒14与卷起卷筒15之间的抹布放出至上述多个喷头9的喷嘴面20的相向位置的放出机构16。
如图1所示，上述多个(本实施例中为6个)喷头9在与基板W的搬运方向正交的宽度方向上并列设置在支承体7的安装构件8的前表面上，多个喷头9的喷嘴面20的高度相同，多个喷头9的喷嘴面20位于同一水平面上。
如图5、图6所示，一对卷筒14、15在上下方向分开地设置在多个喷头9的宽度方向的一侧(图中左侧)。如图6所示，一对卷筒14、15设置在支承板11上，该支承板11安装在上述门型支承体7的一侧的立柱7A的前表面上，一对卷筒14、15的旋转中心轴配置成与基板W的搬运方向平行。卷筒状的抹布12的起始端固定在下方的卷筒(供给卷筒14)上，上述卷筒状的抹布12的终端部固定在上方的卷筒(卷起卷筒15)上。抹布12由产生尘粒少且具有吸水性的带状构件、例如聚酯纤维构成。
如图6所示，下方的供给卷筒14和上方的卷起卷筒15分别具有驱动电动机17、18，在供给卷筒14与驱动电动机17之间夹设有磁滞式离合器22，在卷起卷筒15与驱动电动机8之间夹设有磁滞式离合器23，驱动电动机17、18的转矩通过磁滞式离合器22、23传递。从上述喷头9的前方侧(图5的纸面上方侧)看，供给卷筒14和卷起卷筒15分别朝逆时针方向旋转，通过该旋转，供给卷筒14送出抹布12，卷起卷筒15卷起抹布12。
也可将2个供给卷筒14安装在支承体11上，当一个供给卷筒14的抹布12用完后自动地切换到未使用的另一个供给卷筒14。同样，也可将2个卷起卷筒15安装在支承体11上，当一个卷起卷筒15卷满了抹布12时自动地切换到空的另一个卷起卷筒15。
如此构成的话，则从更换后的新的供给卷筒14开始供给抹布12后，可将用完了抹布12的供给卷筒14及卷满了抹布12的卷起卷筒15更换为未使用的供给卷筒14及空的卷起卷筒15，不用中断抹布12对喷头9的清扫就可更换供给卷筒14及卷起卷筒15。
在从供给卷筒14至卷起卷筒15的抹布12的搬运路径上设有放出辊24、后述的引导辊36及导向辊40，抹布12张设在这些辊24、36、40上，从供给卷筒14向卷起卷筒15搬运。
在放出辊24上并设有压紧辊25，抹布12被夹在放出辊24与压紧辊25之间。放出辊24具有驱动电动机(未图示)，将抹布12从供给辊14放出，压紧辊25用于防止驱动滑动。不过，也可仅设置不具有驱动电动机的单纯的导向辊来代替该放出辊24和压紧辊25。
在上述多个喷头9的上侧设有上述放出机构16，将上述抹布12从上述供给卷筒14放出至与上述多个喷头9的喷嘴面20相向的前表面。
放出机构16包括：滑架35；使该滑架35在与基板W的搬运方向正交的宽度方向上前进、后退的驱动装置26。
如图5所示，驱动装置26包括：2个皮带轮30、31，在宽度方向上分开地固定在并列设置在上述安装构件8的前表面上的喷头9的上侧；卷绕在2个皮带轮30、31之间的同步皮带32；右侧皮带轮30的驱动电动机33。驱动电动机33可进行正转(逆时针方向)、反转(顺时针方向)的切换。
如图6所示，在安装在安装构件8上的上述喷头9的上侧位置安装有基台37。上述2个皮带轮30、31及驱动电动机33安装在该基台37上。在基台37的前表面上，由1根导轨构成的直线导向件34与该同步皮带32平行地设置在上述同步皮带32的下方。滑架35安装在上述直线导向件34上。滑架35由安装在直线导向件34上的滑动部35A、安装在滑动部35A的下部并朝下方延伸的导向部35B构成，导向辊36旋转自如地轴支承在导向部35B的下端部上。导向部35B位于多个喷头9的前方侧(图5的纸面上方侧)，导向辊36与喷头9的喷嘴面20相向。导向辊36对抹布12的与表侧面(与喷头9相向的一侧)相反的背侧面进行支承。在导向辊36的外周上端部与连接上述多个喷头9的喷嘴面20的水平面之间设有间隙。
上述滑架35的滑动部35A的上部利用固定件35C固定在同步皮带32上，在图5(A)所示的状态下，当驱动电动机33反转(逆时针方向旋转)时，滑架35在直线导向件24上朝右方移动(前进)。在图5(B)所示的状态下，驱动电动机33正转(朝顺时针方向旋转)时，滑架35在直线导向件34上朝左方移动(后退)。
图5(A)表示滑架35处于待机位置的状态。待机位置是对搬运台5的移动以及喷头9向由搬运台5搬运来的基板W上进行溶液喷涂不造成障碍的位置。
为了后述的擦拭工序，滑架35从该待机位置向图5(B)所示的右端的擦拭工序端前进。
在上述引导辊36与上述卷起卷筒15之间旋转自如地设有对抹布12的表侧面加以支承的导向辊40。导向辊40的外周下端部设置在从连接多个喷头9的喷嘴面20的水平面朝下方稍许突出的位置上。
上述驱动装置26使上述滑架35的导向部35B沿上述直线导向件34从图5(A)所示的待机位置沿与上述基板W的搬运方向正交的宽度方向(图5中左右方向)朝向图5(B)所示的擦拭行程端前进。滑架35前进时上述卷起卷筒15停止，上述放出辊24和供给卷筒14与导向部35B的前进连动地进行旋转，从而将抹布12放出。通过滑架35的前进，在引导辊36与导向辊40之间，将抹布12平行地放出至与多个喷头9的喷嘴面20相向的前表面(下面)位置。在该导向部35B前进时，后叙的推压机构41的推压辊43朝上方摆动，将抹布12推压到多个喷头9的喷嘴面20上并沿喷嘴面20移动。
当上述滑架35到达图5(B)所示的擦拭行程端后，上述驱动装置26将滑架35沿直线导向件34从图5(B)所示的擦拭行程端沿上述宽度方向朝向图5(A)所示的待机位置后退。上述卷起卷筒15与滑架35的后退连动地进行旋转，从而卷起抹布12。该导向部35B后退时，后叙的推压机构41的推压辊43朝下方摆动，离开多个喷头9的喷嘴面20，抹布12在与喷嘴面20之间保持间隙的状态下后退。
作为驱动装置26，也可代替由上述驱动电动机和同步皮带构成的结构，而使用往复移动式气缸，使上述滑架35沿宽度方向进退。另外，也可在张设在上述供给卷筒14和卷起卷筒15之间的抹布12的图5(A)的左侧设置气缸，将上述导向部35B安装在气缸的活塞杆的前端部上，将抹布12朝上述喷头9的喷嘴面20放出。
(推压机构41)
喷墨涂敷装置10具有将抹布12推压到多个喷头9的喷嘴面20上的推压机构41。
如图5、图6所示，推压机构41具有臂部42、推压辊43、气缸44。臂部42与上述引导辊36同轴，可上下摆动地轴支承在上述滑架35的导向部35B的下端部上，比上述引导辊36直径小的推压辊43可旋转地轴支承在臂部42的前端部上。臂部42通过气缸44的驱动而上下摆动。在图5(A)的滑架35的待机位置，对推压辊43可旋转地轴支承的臂部42在张设在上述导向辊40与滑架35的引导辊36之间的抹布12的背侧面保持在大致水平位置。
上述滑架35的引导辊36从图5(A)所示的待机位置前进时，上述气缸44的活塞杆44A伸长，使上述臂部42从上述水平位置向上方摆动。如图5(B)所示，在臂部42摆动到上方的推压位置，臂部42前端部的推压辊43将张设在上述导向辊40与滑架35的引导辊36之间的抹布12推压到上述喷头9的喷嘴面20上。
图6的双点划线表示臂部42朝上方摆动、推压辊43处于被推压到喷头9的喷嘴面20上的推压位置的状态。
推压辊43跟随上述滑架35的前进一边将抹布12推压到多个喷头9的喷嘴面20上一边沿喷嘴面20进行移动。
在上述滑架35从图5(B)的擦拭行程端的位置朝图中左方后退时，上述气缸44的活塞杆44A收缩，使臂部42从推压位置朝下方摆动，回归至上述水平位置。一旦臂部42回归至水平位置，则推压辊43离开上述喷头9的喷嘴面20，上述导向辊40与滑架的引导辊36之间的抹布12返回到与上述多个喷头9的喷嘴面20之间保持间隙的平行状态，滑架35以该平行状态后退。
喷墨涂敷装置10具有未图示的控制装置，控制装置对构成抹布放出机构16的上述驱动装置26的右侧皮带轮30的驱动电动机33、放出辊24的驱动电动机及驱动电动机17、18的驱动进行控制，并且对夹设在供给卷筒14和卷起卷筒15之间的磁滞式离合器22、23的励磁电流进行控制，从而对各驱动电动机17、18的传递转矩进行控制。而且，控制装置对气缸44的驱动进行控制，使臂部42在水平位置和推压位置这两个位置进行切换。
接着，参照图5(A)和图5(B)对上述构成的喷墨涂敷装置10的作用进行说明。
如图2所示，在基板W的搬入/搬出位置，基板W供给到搬运台5的上表面上。将基板W保持在上表面上的搬运台5沿着基座1的长度方向以规定的速度朝喷头9的下方移动。在该移动时，滑架35避让至图5(A)所示的待机位置以不妨碍上述搬运台5的移动。
当保持有基板W的搬运台5到达喷头9的下方后，一边对搬运台5施加规定的进给，一边驱动压电元件58使各喷头9的液室内充满的、例如用于形成定向膜或抗蚀膜等功能性薄膜的溶液从喷嘴56喷射。由此，溶液涂敷在搬运来的基板W的上表面上。当溶液对1块基板W的喷射结束后，搬运台5朝搬入/搬出位置移动。在该位置，进行将涂敷了溶液的基板W向下一工序搬出、及将应该涂敷溶液的下一基板W搬入这样的基板W的搬入/搬出动作。
(放出机构16的滑架35前进时)
喷墨涂敷装置10在对1块基板W的喷射结束后，使构成放出机构16的驱动装置26的右侧皮带轮30的驱动电动机33反转(逆时针方向)，使固定在同步皮带32上的滑架35从图5(A)所示的待机位置沿着多个喷头9的前表面(下表面)以约为100～200mm/sec的速度前进至图5(B)所示的擦拭行程端的位置。该动作也可与上述基板W的搬入/搬出动作并行进行。
在上述滑架35前进时，使卷起卷筒15的旋转停止，且驱动供给卷筒14的驱动电动机17及放出辊24的驱动电动机。放出辊24对应于滑架35(引导辊36)的前进将抹布12没有松弛地放出。供给卷筒14的驱动电动机17和放出辊24的驱动电动机与滑架35的前进连动地进行旋转，将相当于多个喷头9的宽度方向的长度的抹布12放出。抹布12在引导辊36与上述导向辊40之间，平行地被放出至与上述多个喷头9的喷嘴面20相向的前面位置。
控制装置对夹设在供给卷简14和驱动电动机17之间的磁滞式离合器22的励磁电流进行控制，并对驱动电动机17的传递转矩进行控制，使抹布12不松弛。
上述滑架35前进时，如上所述，推压机构41的气缸44被驱动，活塞杆44A伸长，臂部42向上方的推压位置摆动，推压辊43被朝喷头9的喷嘴面20施力。由此，推压辊43在将抹布12推压到喷头9的喷嘴面20上的状态下沿着喷头9的喷嘴面20依次移动。抹布12由具有吸水性的材料构成，故可吸去粘附在喷头9的喷嘴面20上的溶液。
在上述滑架35前进时，在卷起卷筒15的旋转停止的状态下，使供给卷筒14旋转，将抹布12放出。因为卷起卷筒15的旋转已经停止，故导向辊40也保持停止旋转状态。其结果是，与喷头9的喷嘴面20相向的抹布12相对于喷头9没有相对移动，与相同的抹布12面相向。因此，抹布12不在喷头9的喷嘴面20上滑动，故作为清扫体的抹布12不会因摩擦而产生尘埃，可防止该尘埃混入溶液中并与溶液一起涂敷到基板W上，可防止粘附在清扫体本身和喷嘴面20上的溶液和垃圾进入到喷嘴内。
不过，上述滑架35前进时，也可根据喷头9喷射的溶液的粘度增减滑架35的移动速度。
例如，若是相同种类的抹布12的话，考虑到溶液粘度越高吸去所需的时间越长，故在溶液粘度高时，滑架35的移动速度设定为比擦拭粘度低的溶液时的速度低。
这样，可根据抹布12吸入溶液的速度改变将抹布推压到喷头9的喷嘴面20上的时间，能可靠地除去粘附在喷嘴面20上的溶液。
在此，滑架35的移动速度的增减可通过控制装置增减驱动电动机33的转速来进行。
(放出机构16的滑架35后退时)
当滑架35到达图5(B)所示的擦拭行程端后，推压机构41的气缸44动作使活塞杆44A收缩，使臂部42朝下方摆动而回归至上述水平位置。在臂部42为水平位置的状态下，滑架35沿着直线导向件34后退至图中左方的待机位置。
滑架35从图5(B)所示的擦拭工序端朝图5(A)所示的待机位置后退时，卷起卷筒15对应于滑架35的后退而旋转，将吸取了溶液后的抹布12卷起。此时，供给卷筒14和放出卷筒24停止旋转。控制装置对夹设在卷起卷筒15与驱动电动机18之间的磁滞式离合器23的励磁电流进行控制，以对驱动电动机18的传递转矩进行控制，对卷起的抹布12施加规定的张力。
如上所述，对应于滑架35的后退将抹布12卷绕在卷起卷筒15上，则会将滑架35处于擦拭工序端时位于放出辊24与引导辊36之间的未使用的抹布12也卷绕在卷起卷筒15上。
为此，在滑架35后退中，首先利用卷起卷筒15将相当于喷头9的宽度方向上的长度(6个喷头9在宽度方向上的合计长度)的抹布12卷起。然后，停止卷起卷筒15的旋转，且使供给卷筒14及放出辊24朝与抹布12放出时相反的方向旋转。位于放出辊24与引导辊36之间的未使用的抹布12被卷回供给卷筒14侧。
这样，仅将用于对喷头9的喷嘴面20进行擦拭的抹布12卷绕在卷起卷筒15上，未使用的抹布12被卷回供给卷筒14侧，故可没有浪费地使用抹布12。
以上完成了喷墨涂敷装置10的喷头9的清洁作用的一个循环，但也可重复一个循环以上。
以上搬运机构13对抹布12间歇地进行搬运。即，滑架35前进时，在卷起卷筒15停止的状态下将抹布12从供给卷筒14放出相当于喷头9在宽度方向上的长度的量。
在滑架35后退时，卷起卷筒15旋转，将粘上了溶液的抹布12卷起，供给卷筒14处于停止的状态。
其结果是，与滑架35的前进、后退连动，卷起卷筒15间歇地重复停止、旋转，供给卷筒14间歇地重复旋转、停止。
使滑架35前进、后退的驱动装置的右侧皮带轮30的驱动电动机33也间歇地重复反转、正转。如上所述，搬运机构13间歇地搬运抹布12。
本实施例具有以下的作用效果。
(a)本喷墨涂敷装置10具有将吸水性的抹布12推压到喷头9的喷嘴面20上的推压机构41。因此，与现有技术的利用弹性体刮板进行刮液的技术不同，因为是将具有吸水性的抹布12推压到喷头9的喷嘴面20上而将剩余的涂敷溶液吸去，因而可防止剩余的涂敷溶液残留在喷头9的喷嘴面20上，使得溶液从擦拭后的喷头9的喷嘴面20的排出稳定。
(b)抹布12为带状，具有将抹布12间歇地进行搬运的搬运机构13，故通过搬运机构13将未粘附溶液的新的抹布12部分间歇地依次放出，可对喷头9的喷嘴面20进行清扫。
现有技术的弹性体刮板中，弹性体刮板本身不进行更换，刮下的溶液始终粘附在弹性刮板上。相比之下，使用抹布12的话，则抹布12中的粘附有溶液的部分被卷绕在卷起卷筒15上，不用担心在下次清扫时以前擦拭下的溶液再粘附在喷头9的喷嘴面20上，可提高擦拭性能，使喷头9的喷嘴面20始终维持清洁。
(c)搬运机构13具有抹布12的供给卷筒14、将抹布12从供给卷筒14放出至多个喷头9的喷嘴面20的前面的放出机构16、抹布12的卷起卷筒15。
供给卷筒14存放卷筒状的新的抹布12，放出机构16将大致相当于多个喷头9的喷嘴面20的长度的抹布12从供给卷筒14放出至多个喷头9的喷嘴面20的前面，卷起卷筒15将吸取了溶液后的抹布12部分卷起。其结果是，即使是带状的抹布12也可容易地操作，使抹布12的更换作业变得容易，且抹布12的管理也容易。
(d)推压机构41具有将由放出机构16放出至多个喷头9的喷嘴面20的前面的抹布12推压到喷头9的喷嘴面20上的推压辊43，将推压辊43一边推压到喷嘴面20上一边使其沿喷头9的喷嘴面20移动。因此，使推压辊一边推压到喷头9的喷嘴面20上一边沿喷嘴面20移动，故喷嘴面20的清扫作业迅速，可缩短基板W的清扫时间，降低成本。
(e)放出机构16具有使抹布12沿喷头9的喷嘴面20移动的驱动装置26，具有根据溶液的粘度来调节驱动电动机33的转速的控制装置。
其结果是，可根据溶液的粘度来调节滑架35的移动速度。因此，可控制抹布12的推压时间，提高擦拭性能。
(f)喷头9的清洁方法是通过将吸水性的抹布12推压到喷头9的喷嘴面20上来对喷头9的喷嘴面20进行清扫的，因此与现有技术的利用弹性体刮板进行刮液的方法不同，因为是将具有吸水性的抹布12推压到喷头9的喷嘴面20上而将剩余的涂敷溶液吸去的方法，因而可防止剩余的涂敷溶液残留在喷头9的喷嘴面20上，使得溶液从擦拭后的喷头9的喷嘴面20的排出稳定。
(g)抹布12由带状的抹布12构成，将抹布12间歇地搬运到与喷头9的喷嘴面20相向的位置，故通过搬运机构13将未粘附溶液的新的抹布12部分间歇地依次放出，可对喷头9的喷嘴面20进行清扫。现有技术的弹性体刮板，弹性体刮板本身不进行更换，刮下的溶液始终粘附在弹性刮板上。相比之下，使用抹布12的话，则抹布12中的粘附有溶液的部分被卷绕在卷起卷筒15上，不用担心在下次清扫时以前擦拭下的溶液再粘附在喷头9的喷嘴面20上，可提高擦拭性能，使喷头9的喷嘴面20始终维持清洁。
(h)具有将搬运至与喷头9的喷嘴面20相向的位置的抹布12推压到喷嘴面20上的推压辊43，一边用推压辊43将抹布12推压到喷嘴面20上一边使推压辊43沿喷嘴面20移动，从而能使抹布12依次与喷嘴面20接触。因此，使推压辊43一边推压到喷头9的喷嘴面20上一边沿喷头9的喷嘴面20移动，从而喷嘴面20的清扫作业迅速，可缩短基板W的清扫时间，降低成本。
(i)每当结束对1块基板W的溶液涂敷就进行喷头9的清扫，故可尽可能地将溶液在固化之前的状态下从喷嘴面20上除去，能较容易地除去溶液。因此，可始终将喷头9的喷嘴面20保持为清洁状态。其结果是，可抑制喷头9发生溶液排出不均，使溶液的排出稳定，提高在基板W上形成的功能性薄膜的质量。
以上参照附图对本发明的实施例进行了详细说明，但本发明的具体构成并不局限于该实施例，在不脱离本发明宗旨的范围内的设计变更等也包括在本发明内。例如，在上述实施例中，对滑架35前进时将抹布12推压到喷头9的喷嘴面20上的例子进行了说明，但也可在滑架35后退时进行推压。
此时，可以将供给卷筒14和卷起卷筒15配置成与图5所示的布置相反的形态，将推压辊43安装在相对于图5所示的臂部42在支轴的右侧，即安装成与图5所示的状态左右反转的位置关系。
另外，作为清扫体以抹布为例进行了说明，但只要是具有吸水性的构件即可，也可是其他构件。

Claims (9)

1、一种喷墨涂敷装置，包括具有将溶液以喷墨方式向基板进行喷涂的多个喷嘴的喷头，其特征在于，包括：
吸水性的清扫体；
将该清扫体推压到所述喷头的喷嘴面上的推压机构。
2、如权利要求1所述的喷墨涂敷装置，其特征在于，所述清扫体由带状的清扫体构成，具有间歇地搬运该清扫体的搬运机构。
3、如权利要求2所述的喷墨涂敷装置，其特征在于，所述搬运机构包括：
所述清扫体的供给卷筒；
将该清扫体从该供给卷筒放出至所述喷头的喷嘴面的前面的放出机构；
该清扫体的卷起卷筒。
4、如权利要求2或3所述的喷墨涂敷装置，其特征在于，所述推压机构具有将放出至所述喷头的喷嘴面的前面的清扫体推压到该喷头的喷嘴面上的辊，
通过该辊将所述清扫体推压到所述喷嘴面上。
5、如权利要求4所述的喷墨涂敷装置，其特征在于，所述放出机构具有使所述辊沿所述喷头的喷嘴面移动的驱动装置，
具有根据所述溶液的粘度来调节该驱动装置的速度的控制装置。
6、一种喷墨头的清洁方法，对具有将溶液以喷墨方式向基板进行喷涂的多个喷嘴的喷头进行清扫，其特征在于，
通过将吸水性的清扫体推压到所述喷头的喷嘴面上来对该喷头的喷嘴面进行清扫。
7、如权利要求6所述的喷墨头的清洁方法，其特征在于，所述清扫体由带状的清扫体构成，将该清扫体间歇地搬运至与所述喷头的喷嘴面相向的位置。
8、如权利要求7所述的喷墨头的清洁方法，其特征在于，具有将搬运至与所述喷头的喷嘴面相向的位置上的所述清扫体推压到该喷嘴面上的辊，
利用该辊将清扫体推压到喷嘴面上、且使该辊沿喷嘴面移动，从而使清扫体依次与喷嘴面接触。
9、如权利要求6～8中任一项所述的喷墨头的清洁方法，其特征在于，每当结束所述溶液对一块基板的涂敷时就对所述喷头进行清扫。
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