CN101580179B - 基片传输机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基片传输机构，包括驱动装置、主传动装置、底板及两个次传动装置，其中，次传动装置包括轴承箱、磁传动轴、第一斜齿轮及多个相互对应的第一永磁齿轮和磁传输单元；轴承箱连接于底板上，磁传输单元呈平行的枢接于轴承箱上且具有滚轮；第一斜齿轮固定于磁传动轴上，主传动装置具有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，且第一斜齿轮与第二斜齿轮的轴向相互垂直；第一永磁齿轮固定于磁传动轴上，磁传输单元具有与第一永磁齿轮相对应的第二永磁齿轮，第一永磁齿轮与第二永磁齿轮轴向相互垂直，第一永磁齿轮通过磁场驱动第二永磁齿轮。该基片传输机构实现基片传输过程中的低噪音和高清洁度，同时结构简单、成产成本低。

Description

基片传输机构

技术领域

本发明涉及一种板状薄基片的传输机构，尤其涉及一种适用于真空腔体中板状薄基片的基片传输机构。

背景技术

随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。

例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display，OELD)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏幕与传统的TFT-LCD显示屏幕并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏幕可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏幕的所有设备必须要保证OLED显示屏幕的精度要求。OLED的基片材料为非常薄且易碎的玻璃，在OLED的基片制作工序及后续工艺中，有很多基片传输装置，用于在基片加工的过程中传输基片，为了保证OLED的质量和精度，加工过程中对基片的自动化传输要求越来越高的同时，对基片的清洁度也要求越来越高，因此对基片的传输设备提出了更高的要求。

现有的一种传输设备中，在每一个传送轴上等距安装有多个与基片直接接触的传送辊，传送轴与驱动轴相连，驱动轴与马达等驱动设备相连，传送轴可以从驱动轴获取旋转力，即当马达等驱动设备开动时，该传送轴就可以转动并传送基片。上述传送方式由于基片与传送辊直接接触，传输过程中容易造成基片的机械磨损，影响成品的精度和质量；同时，由于传输各运动组件，例如齿轮、丝杆等的接触，容易使传输设备的各运动组件之间因为摩擦而粒化，产生粉尘进入到基片传送区域，影响基片的清洁度，并且在传输的过程中产生较大噪声；另外，传输各运动组件之间的摩擦使得各运动组件的使用寿命缩短，传输设备的使用寿命也随之缩短。另一种传送方式是采用工业机器人进行传输，由于设备成本较高且占地面积较大，因此其制造成本较高，限制了大规模的生产和运用。

因此，急需一种低噪音、高清洁度、低生产成本的基片传输机构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种低噪音、高清洁度、低生产成本的基片传输机构。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种基片传输机构，包括驱动装置、主传动装置、底板及两个次传动装置，所述驱动装置与所述主传动装置连接，两个次传动装置呈平行的连接于所述底板两侧且分别与所述主传动装置连接，所述两次传动装置之间形成传送区域，所述驱动装置驱动所述主传动装置，所述主传动装置同步的驱动两所述次传动装置，其中，所述次传动装置包括轴承箱、磁传动轴、第一斜齿轮及多个相互对应的第一永磁齿轮和磁传输单元，所述轴承箱连接于所述底板上，所述磁传输单元呈平行的枢接于所述轴承箱上，且所述磁传输单元具有伸入所述传送区域的滚轮；所述第一斜齿轮固定于所述磁传动轴上，所述主传动装置具有与所述第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，且所述第一斜齿轮与第二斜齿轮的轴向相互垂直；所述第一永磁齿轮固定于所述磁传动轴上，所述磁传输单元具有与所述第一永磁齿轮相对应的第二永磁齿轮，所述第一永磁齿轮与第二永磁齿轮轴向相互垂直，所述第一永磁齿轮通过磁场驱动所述第二永磁齿轮。

较佳地，所述磁传输单元还包括与所述第二永磁齿轮固定连接的滚轮轴，所述滚轮轴与所述轴承箱枢接，所述滚轮轴的一端穿过所述轴承箱并伸入传送区域内与所述滚轮连接，更具体地，所述磁传输单元还包括垫圈，所述垫圈连接于朝向传送区域的所述滚轮的一侧，且所述滚轮与所述垫圈形成台阶，基片传输时，通过第二永磁齿轮的转动带动与第二永磁齿轮固定连接的滚轮轴转动，使滚轮轴上的垫圈及滚轮一起转动，将基片承载于滚轮与垫圈形成台阶上，一方面利用垫圈与基片之间的摩擦力，实现基片的传输，另一方面通过滚轮的侧壁对基片进行限位，实现基片在传输时的平稳，并且能有效的防止基片发生传输的偏移。

较佳地，所述磁传输单元还包括轴套，所述轴套连接于伸入所述传送区域内的滚轮轴的一端上，所述滚轮及垫圈依次连接于所述轴套上，滚轮及垫圈通过轴套连接于传送区域内的滚轮轴上，可以通过调节轴套实现对滚轮沿着滚轮轴轴向的调节，滚轮沿滚轮轴进行轴向调节时，垫圈也随之沿轴向移动，因此可适应不同尺寸的基片传输，使得传输机构的适用性更强，使用范围更加广泛。

较佳地，所述轴承箱呈中空结构，所述中空结构形成安装槽，所述滚轮轴枢接于所述安装槽的两侧壁上，且所述第二永磁齿轮位于所述安装槽内，进一步避免了在传动过程中产生的或外界的细小灰尘颗粒进入到传送区域内，从而较好的保持真空室和基片的清洁度，为基片所进行的下一步工序提供了高质量的基片。

较佳地，所述次传动装置还包括轴承座，所述轴承座安装于所述安装槽内，所述磁传动轴枢接于所述轴承座上，且固定于所述磁传动轴上的第一永磁齿轮位于所述第二永磁齿轮正下方；由于第一永磁齿轮与第二永磁齿轮轴向相互垂直，且第一永磁齿轮通过磁场驱动第二永磁齿轮，第一永磁齿轮与第二永磁齿轮之间的非接触式传动方式使得基片在传输过程中不会产生因接触式摩擦传送方式所产生的细小灰尘颗粒和噪音，使得基片传输时清洁度高、噪声低，另，由于第一永磁齿轮与第二永磁齿轮为非接触式传动方式，使得第一永磁齿轮与第二永磁齿轮的使用寿命大大增加，进而增加了整个基片传输机构的寿命并且使得制造成本大为降低。

较佳地，所述主传动装置还包括输入轴，所述输入轴与所述驱动装置连接，所述第二斜齿轮位于所述安装槽内并固定于所述输入轴上；输入轴与磁传动轴之间通过斜齿轮传输动力，能接受较大功率传送的同时实现基片的高速传送，由于输入轴同步的带动两次传动装置的两磁传动轴转动，使得传动较为平稳，因此冲击、震动和噪声大为较小，使斜齿轮及整个传输机构的使用寿命增长，另由于第二斜齿轮位于所述安装槽内，使得发生接触传动的第一斜齿轮与第二斜齿轮均位于所述安装槽内，通过安装槽有效的将第一斜齿轮和第二斜齿轮与传送区域和外界隔离开，有效的防止了第一斜齿轮与第二斜齿轮接触啮合传动时所产生的细小灰尘颗粒进入到传送区域内，同时也大大的降低了因第一斜齿轮与第二斜齿轮接触啮合传动时所产生的噪音。

较佳地，所述轴承座或/和所述轴承箱上安装有传感器，传感器可以精确的控制基片的传输位置，保证了基片后续工艺的制造精度，提高产品的合格率。

较佳地，所述驱动装置为伺服电机，伺服电机具有低震动、高速高响应、高精度等特性，使得基片在传输的过程中快速、平稳、精确、且低噪音。

与现有技术相比，由于本发明基片传输机构具有平行的连接于底板两侧且分别与主传动装置连接的两个次传动装置，两个次传动装置之间形成供基片传输的传送区域，主传动装置同步的驱动两个次传动装置；次传动装置包括轴承箱、磁传动轴、第一斜齿轮及多个相互对应的第一永磁齿轮和磁传输单元，轴承箱连接于底板上，磁传输单元呈平行的枢接于轴承箱上，且磁传输单元具有伸入传送区域的滚轮，还具有与第一永磁齿轮相对应的第二永磁齿轮，由于第一永磁齿轮与第二永磁齿轮轴向相互垂直，且第一永磁齿轮通过磁场驱动第二永磁齿轮，第一永磁齿轮与第二永磁齿轮之间的非接触式传动方式使得基片在传输过程中不会产生因接触式摩擦传送方式所产生的细小灰尘颗粒和噪音，使得基片传输时清洁度高、噪声低，同时，由于第一永磁齿轮与第二永磁齿轮为非接触式传动方式，使得第一永磁齿轮与第二永磁齿轮的使用寿命大大增加，进而增加了整个基片传输机构的寿命并且使得制造成本大为降低；由于主传动装置具有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，且第一斜齿轮与第二斜齿轮的轴向相互垂直，主传动装置同步的驱动两个次传动装置，使基片传输时冲击、振动减小，传输更加平稳；另，由于具有轴承箱，通过轴承箱有效的将主传动装置与次传动装置的具有传动功能的部分与传送区域和外界隔离开，有效的防止了主传动装置与次传动装置的具有传动功能的部分因接触传动所产生的细小灰尘颗粒进入到传送区域内，同时也大大的降低了因接触传动所产生的噪音。

附图说明

图1a是本发明基片传输机构的结构示意图。

图1b是本发明基片传输机构传输基片的状态示意图。

图2是图1a中A部分的放大示意图。

图3是图1a中B部分的放大示意图。

图4是图1a中C部分的放大示意图。

具体实施方式

现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。

如图1a、图1b及图2所示，本发明基片传输机构1包括驱动装置(图中未示)、主传动装置30、底板10及两个次传动装置20，驱动装置与主传动装置30连接，两个次传动装置20呈平行的连接于底板10两侧且分别与所述主传动装置30连接，两次传动装置20之间形成传送区域101，所述驱动装置驱动主传动装置30，主传动装置30同步的驱动两次传动装置20，其中，所述次传动装置20包括轴承箱201、磁传动轴202、第一斜齿轮202a及多个相互对应的第一永磁齿轮202b和磁传输单元203；轴承箱201连接于所述底板10上，磁传输单元203平行的枢接于轴承箱201上，且磁传输单元203具有伸入传送区域101的滚轮203e；第一斜齿轮202a固定于磁传动轴202上，主传动装置30具有与第一斜齿轮202a相啮合的第二斜齿轮30a，且第一斜齿轮202a与第二斜齿轮30a的轴向相互垂直，第一永磁齿轮202b固定于磁传动轴202上，磁传输单元203具有与所述第一永磁齿轮202b相对应的第二永磁齿轮203b，第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b轴向相互垂直，所述第一永磁齿轮202b通过磁场驱动第二永磁齿轮203b；具体地，所述轴承箱201呈中空结构，中空结构形成安装槽201a，所述滚轮轴203a枢接于安装槽的两侧壁201b上，且所述第二永磁齿轮203b位于所述安装槽201a内；更具体地，结合图3及图4所示，如下：

较佳者，本发明基片传输机构1的次传动装置20还包括轴承座204，轴承座204位安装于安装槽201a内，磁传动轴202枢接于所述轴承座204上，且固定于磁传动轴202上的第一永磁齿轮202b位于所述第二永磁齿轮203b正下方。由于第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b轴向相互垂直，且第一永磁齿轮202b通过磁场驱动第二永磁齿轮203b，第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b之间的非接触式传动方式使得基片在传输过程中不会产生因接触式摩擦传送方式所产生的细小灰尘颗粒和噪音，使得基片传输时清洁度高、噪声低，另，由于第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b为非接触式传动方式，使得第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b的使用寿命大大增加，进而增加了整个基片传输机构1的寿命并且使得制造成本大为降低。

较佳者，本发明基片传输机构1的磁传输单元203还包括与第二永磁齿轮203b固定连接的滚轮轴203a，所述滚轮轴203a与轴承箱201枢接，所述滚轮轴203a的一端穿过轴承箱201并伸入传送区域内101与滚轮203e连接；磁传输单元203还包括垫圈203d，垫圈203d连接于朝向传送区域101的滚轮203e的一侧，且滚轮203e与垫圈203d形成台阶203f，基片传输时将基片承载于滚轮203e与垫圈203d形成台阶203f上，一方面利用垫圈203d与基片1a的下表面1c之间的摩擦力，实现基片1a的传输，另一方面通过滚轮203e的侧壁203g对基片1a进行限位，实现基片1a在传输时的平稳，并且能有效的防止基片1a发生传输的偏移；磁传输单元203还包括轴套203c，所轴套203c连接于伸入传送区域101内的滚轮轴203a的一端上，垫圈203d及滚轮203e依次连接于轴套203c上。

较佳者，本发明基片传输机构1的主传动装置30包括输入轴30b及第二斜齿轮30a，输入轴30b一端与驱动装置连接，另一端分别与两次传动装置20连接，当驱动装置驱动主传动装置30，主传动装置30同步的驱动两次传动装置20；主传动装置30的第二斜齿轮30a固定于输入轴30b上，且第二斜齿轮30a位于安装槽201a内；在磁传动轴202上固定有与第二斜齿轮30a相互粘合的第一斜齿轮202a，第二斜齿轮30a与第一斜齿轮202a的轴向相互垂直，在输入轴30b与磁传动轴202之间通过第二斜齿轮30a与第一斜齿轮202a来传输动力，能满足较大功率传送的同时并实现基片的高速传送，且由于主传动装置30同步的驱动两次传动装置20，使得传动较为平稳，因此能够很好的减小冲击、震动和噪声，使第二斜齿轮30a与第一斜齿轮202a及整个传输机构1的使用寿命增长；另外，由于第二斜齿轮30a位于安装槽201a内，使得发生接触传动的第一斜齿轮202a与第二斜齿轮30a均位于安装槽201a内，通过安装槽201a有效的将第一斜齿轮202a和第二斜齿轮30a与传送区域101和外界隔离开，有效的防止了第一斜齿轮202a与第二斜齿轮30a接触啮合传动时所产生的细小灰尘颗粒进入到传送区域101内，同时也大大的降低了因第一斜齿轮202a与第二斜齿轮30a接触啮合传动时所产生的噪音。

如图1a、图1b及图3所示，本发明基片传输机构1的次传动装置20，次传动装置20的轴承箱201的中空结构形成安装槽201a，轴承座204安装于安装槽201a内，磁传动轴202枢接于轴承座204上，且固定于磁传动轴202上的第一永磁齿轮202b位于安装槽201a内，磁传输单元203的滚轮轴203a枢接于安装槽201a的两侧壁201b上，且第二永磁齿轮203b位于安装槽201a内，并位于第一永磁齿轮202b的正上方，滚轮轴203a上的第二永磁齿轮203b与磁传动轴202上的第一永磁齿轮202b垂直安装，传输基片时第一永磁齿轮202b通过磁场驱动第二永磁齿轮203b，进而带动磁传输单元203的滚轮轴203a转动，在磁传动轴202与磁传输单元203之间利用第一永磁齿轮202b、第二永磁齿轮203b产生的磁场来传输动力；由于第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b轴向相互垂直，且第一永磁齿轮202b通过磁场驱动第二永磁齿轮203b，第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b之间的非接触式传动方式使得基片在传输过程中不会产生因接触式摩擦传送方式所产生的细小灰尘颗粒和噪音，使得基片传输时清洁度高、噪声低，同时，由于第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b为非接触式传动方式，使得第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b的使用寿命大大增加，进而增加了整个基片传输机构1的寿命并且使得制造成本大为降低。

如图1a、图1b及图4所示，本发明基片传输机构1的磁传输单元203包括滚轮轴203a、第二永磁齿轮203b、轴套203c、垫圈203d及滚轮203e，滚轮轴203a与轴承箱201枢接，且滚轮轴203a的一端穿过轴承箱201并伸入传送区域101内与滚轮203e连接，第二永磁齿轮203b固定于滚轮轴203a上且位于轴承箱201的安装槽201a内，轴套203c连接于伸入传送区域101内的滚轮轴203a的一端上，垫圈203d及滚轮203e依次连接于轴套203c上，且滚轮203e与垫圈203d形成台阶203f；基片传输时将基片1a承载于滚轮203e与垫圈203d形成台阶203f上，一方面利用垫圈203d与基片1a之间的摩擦力，实现基片1a的传输，另一方面通过滚轮203e的侧壁203g对基片1a进行限位，实现基片1a在传输时的平稳，并且能有效的防止基片1a发生传输的偏移；另外，由于滚轮203e通过垫圈203d及轴套203c连接于滚轮轴203a上，可通过调节轴套203c对滚轮203e进行轴向调节，当调节滚轮203e时，垫圈203d也随着滚轮203e一起沿着滚轮轴203a的轴向移动，因此能适应不同尺寸的基片传输，使得传输机构的适用性强，使用范围更加广泛。

较佳者，本发明基片传输机构1在轴承座204或/和轴承箱201上安装有传感器(图中未示)，所安装的传感器可为一个或多个，以检测齿轮的转速或基片的移动距离，并将检测到的信号通过控制系统传给驱动装置，由驱动装置调节齿轮的转速，精确的控制基片的传输位置，保证了基片后续工艺的制造精度，提高产品的合格率；在本发明中驱动装置为伺服电机，伺服电机具有低震动、高速高响应、高精度等特性，使得基片在传输的过程中快速、平稳、精确、且低噪音。

结合图1a至图4对本发明基片传输机构1传输基片的工作原理做一详细的说明：

当基片1a进入到传送区域101时，伺服电机驱动输入轴30b转动，固定在输入轴30b上的第二斜齿轮30a随之转动，由于输入轴30b上的第二斜齿轮30a与磁传动轴202上的第一斜齿轮202a啮合，因此带动磁传动轴202转动，磁传动轴202的转动使得磁传动轴202上的第一永磁齿轮202b随之转动，由于磁传动轴202上的第一永磁齿轮202b与磁传输单元203的第二永磁齿轮203b垂直安装，磁传动轴202上的第一永磁齿轮202b与磁传输单元203的第二永磁齿轮203b之间通过磁场作用带动磁传输单元203转动，因此磁传输单元203的滚轮轴203a随之转动；由于滚轮轴203a上安装有轴套203c，垫圈203d及滚轮203e依次连接于轴套203c上，且滚轮203e与垫圈203d形成台阶203f，滚轮轴203a转动使垫圈203d与滚轮203e一起转动，通过垫圈203d与被传输的基片1a之间的摩擦力，实现基片1a的平稳传送，具体地，在基片1a传输时，基片1a承载于滚轮203e与垫圈203d形成台阶203f上基片1a的下表面1c承载于垫圈203d的上表面上，基片1a的两侧壁1b与滚轮203e的侧壁203g接触，利用垫圈203d与基片1a的下表面1c之间的摩擦力，实现基片1a的传输，并且通过滚轮203e的侧壁203g对基片1a进行限位，实现基片1a在传输时的平稳，并且能有效的防止基片1a发生传输的偏移；当基片1a的尺寸改变时，可以沿着滚轮轴203a的轴向对滚轮203e进行调节，滚轮203e上的垫圈203d也随滚轮203e一起沿滚轮轴203a的轴向移动，来适应不同尺寸的基片传输。

本发明基片传输机构1，具有平行的连接于底板101两侧且分别与主传动装置30连接的两个次传动装置20，两个次传动装置20之间形成传送区域101，主传动装置30同步的驱动两个次传动装置20；次传动装置20包括轴承箱201、磁传动轴202、第一斜齿轮202a及多个相互对应的第一永磁齿轮202b和磁传输单元203，轴承箱201连接于底板10上，磁传输单元203呈平行的枢接于轴承箱201上，且磁传输单元203具有伸入传送区域101的滚轮203e，及与第一永磁齿轮202b相对应的第二永磁齿轮203b，第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b轴向相互垂直，第一永磁齿轮202b通过磁场驱动第二永磁齿轮203b，由于第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b轴向相互垂直，且第一永磁齿轮202b通过磁场驱动第二永磁齿轮203b，第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b之间的非接触式传动方式使得基片1a在传输过程中不会产生因接触式摩擦传送方式所产生的细小灰尘颗粒和噪音，使得基片1a传输时清洁度高、噪声低，同时，由于第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b为非接触式传动方式，使得第一永磁齿轮202b与第二永磁齿轮203b的使用寿命大大增加，进而增加了整个基片传输机构1的寿命并且使得制造成本大为降低；由于主传动装置30具有与第一斜齿轮202a相啮合的第二斜齿轮30a，且第一斜齿轮202a与第二斜齿轮30a的轴向相互垂直，主传动装置30同步的驱动两个次传动装置20，使基片传输时冲击、振动减小，传输更加平稳；另外，由于具有轴承箱201，通过轴承箱201有效的将主传动装置30与次传动装置20的具有传动功能的部分与传送区域和外界隔离开，有效的防止了主传动装置30与次传动装置20的具有传动功能的部分因接触传动所产生的细小灰尘颗粒进入到传送区域101内，同时也大大的降低了因因接触传动所产生的噪音。

本发明基片传输机构1的第一永磁齿轮202b驱动第二永磁齿轮203b的原理及传感器的安装及检测原理等均为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。

以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (9)

1.一种基片传输机构，包括驱动装置、主传动装置、底板及两个次传动装置，所述驱动装置与所述主传动装置连接，两个次传动装置呈平行的连接于所述底板两侧且分别与所述主传动装置连接，所述两次传动装置之间形成传送区域，所述驱动装置驱动所述主传动装置，所述主传动装置同步的驱动两所述次传动装置，其特征在于：所述次传动装置包括轴承箱、磁传动轴、第一斜齿轮及多个相互对应的第一永磁齿轮和磁传输单元，所述轴承箱连接于所述底板上，所述磁传输单元呈平行的枢接于所述轴承箱上，且所述磁传输单元具有伸入所述传送区域的滚轮；所述第一斜齿轮固定于所述磁传动轴上，所述主传动装置具有与所述第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，所述第一斜齿轮与第二斜齿轮的轴向相互垂直，所述第一永磁齿轮固定于所述磁传动轴上，所述磁传输单元具有与所述第一永磁齿轮相对应的第二永磁齿轮，所述第一永磁齿轮与第二永磁齿轮轴向相互垂直，所述第一永磁齿轮通过磁场驱动所述第二永磁齿轮。

2.如权利要求1所述的基片传输机构，其特征在于：所述磁传输单元还包括与所述第二永磁齿轮固定连接的滚轮轴，所述滚轮轴与所述轴承箱枢接，所述滚轮轴的一端穿过所述轴承箱并伸入传送区域内与所述滚轮连接。

3.如权利要求2所述的基片传输机构，其特征在于：所述磁传输单元还包括垫圈，所述垫圈连接于朝向传送区域的所述滚轮的一侧，且所述滚轮与所述垫圈形成台阶。

4.如权利要求3所述的基片传输机构，其特征在于：所述磁传输单元还包括轴套，所述轴套连接于伸入所述传送区域内的滚轮轴的一端上，所述垫圈及滚轮依次连接于所述轴套上。

5.如权利要求2所述的基片传输机构，其特征在于：所述轴承箱呈中空结构，所述中空结构形成安装槽，所述滚轮轴枢接于所述安装槽的两侧壁上，且所述第二永磁齿轮位于所述安装槽内。

6.如权利要求5所述的基片传输机构，其特征在于：所述次传动装置还包括轴承座，所述轴承座安装于所述安装槽内，所述磁传动轴枢接于所述轴承座上，且固定于所述磁传动轴上的第一永磁齿轮位于所述第二永磁齿轮正下方。

7.如权利要求5所述的基片传输机构，其特征在于：所述主传动装置还包括输入轴，所述输入轴与所述驱动装置连接，所述第二斜齿轮位于所述安装槽内并固定于所述输入轴上。

8.如权利要求6所述的基片传输机构，其特征在于：所述轴承座或/和所述轴承箱上安装有传感器。

9.如权利要求1所述的基片传输机构，其特征在于：所述驱动装置为伺服电机。

Images