CN102120552B - 往复升降装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种安装在具有真空腔的腔体上的往复升降装置,包括支撑板、安装板、驱动器、调节件及若干一一对应的升降杆和波纹管。支撑板位于腔体外且与腔体的底板平行,安装板位于支撑板下方并与腔体的底板固定连接。升降杆下端均固定在支撑板上,上端均呈密封的伸入真空腔内并形成承载工件的支撑面。调节件的上端与支撑板呈旋转的卡合连接,下端与驱动器的输出轴呈套接的螺纹连接,驱动器安装在安装板上。波纹管套接在位于腔体外的升降杆外且上端与述腔体密封连接,下端与所述支撑板密封连接,驱动器通过调节件驱动支撑板做直线往复运动。由于调节件及波纹管,使得本发明的结构简单、成本较低且能精准微调的同时,还具有更长使用寿命。

Description

往复升降装置
技术领域
本发明涉及一种升降装置,尤其涉及一种往复升降装置。
背景技术
OLED,即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display,OELD)。因为具备轻薄、省电等特性,因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用,并且具有较大的市场潜力,目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上,因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术,OLED是目前所有显示技术中,唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术,可以做成和纸张一样的厚度。
OLED显示屏幕与传统的TFT-LCD显示屏幕不同,无需背光灯,采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板,当有电流通过时,这些有机材料就会发光。而且OLED显示屏幕可以做得更轻更薄,可视角度更大,并且能够显著节省电能,因此,随着技术水平的不断提高,OLED显示技术已经逐渐被广大生产厂商所认可。
但是,OLED显示技术发展至今可以说还不是十分成熟,其制造的OLED器件尚存在一些缺点,目前最突出的缺陷就是OLED器件的使用寿命较短,从而在很大程度上限制了OLED器件的产业化的进程,而影响到OLED器件的寿命主要取决两方面,一方面是所选用的有机材料的性能及寿命,另一方面是OLED器件的封装方法、封装设备及应用效果。这是由于OLED器件中的有机材料是不稳定的,当OLED器件封装不好,并随着OLED器件的有机发光面板使用时间增加时,空气中和封装材料中的湿气、水分及氧气等物质便进入到OLED器件内部,使得有机材料与湿气、水分及氧气等发生反应,从而导致发光层与电极层分离、有机材料分解,以及电极氧化等一系列问题,从而增加了不发光区域,降低了发光层的亮度和均匀性,因此降低了OLED器件的使用寿命。同样,在真空的腔体上对OLED器件进行封装时也存在有机材料与湿气、水分及氧气等物质发生反应的问题,因此,在OLED器件封装之前及封装时,将真空的腔体内的湿气、水分及氧气等物质排除变得十分必要。
而在真空的腔体内对OLED器件进行封装的工艺中,需要涉及到众多种类的装置,而升降装置就是诸多种类装置中的一种,其主要用于封装前对加热板与工件之间的距离进行控制以达到将封装胶中的湿气、水分及氧气等物质除掉目的,而除去湿气、水分及氧气等物质的效果取决于加热板与工件之间的距离是否能维持在精准的范围。而目前现有的升降装置一般只能对加热板与工件进行之间距离进行粗略的控制,不能对加热板与工件之间的距离进行精准的微调;或者虽然能对加热板与工件之间进行微调,但存在微调效果不好、结构复杂且制造成本偏高的问题。同时,现有升降装置的伸入真空腔体内用于承载工件上下传送的升降杆与腔体之间的密封是靠设置于升降杆与腔体之间的橡胶密封圈来密封的,橡胶密封圈对升降杆与腔体的密封是靠橡胶密封圈的外侧与腔体紧密接触和橡胶密封圈的内侧与升降杆紧密接触来实现的,这使得橡胶密封圈极易磨损,从而增加了升降装置的维修时间。
因此,急需要一种结构简单、成本较低且能精准微调并更耐用的往复升降装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构简单、成本较低且能精准微调并更耐用的的往复升降装置。
为实现上述目的,本发明提供了一种往复升降装置,适应于安装在具有真空腔的腔体上,其中,所述往复升降装置包括支撑板、安装板、驱动器、调节件及若干一一对应的升降杆和波纹管,所述支撑板位于所述腔体外且与所述腔体的底板平行,所述安装板位于所述支撑板下方并与所述腔体的底板固定连接,所述升降杆的下端均固定在所述支撑板上,所述升降杆的上端均呈密封的伸入所述真空腔内并形成承载工件的支撑面,所述调节件的上端与所述支撑板呈旋转的卡合连接,所述调节件的下端与所述驱动器的输出轴呈套接的螺纹连接,所述驱动器安装在所述安装板上,所述波纹管套接在位于所述腔体外的升降杆外且上端与所述腔体密封连接,下端与所述支撑板密封连接,所述驱动器通过所述调节件驱动所述支撑板做直线往复运动。
较佳地,所述往复升降装置还包括设置于所述驱动器的输出轴与所述调节件之间的锁定件。通过上述的锁定件,能对调节件进行锁定,防止调节件的意外的转动而影响到本发明的往复升降装置在竖直方向的微调的效果。具体地,如下:
所述调节件的下端开设有调节件内螺纹,所述驱动器的输出轴设置有与所述调节件内螺纹相配合的输出轴外螺纹,所述锁定件呈啮合的套设于所述驱动器的输出轴上并与所述调节件抵触。通过调节件内螺纹与输出轴外螺纹的配合,进一步地提高调节件与驱动器之间的微调精度,因而提高了本发明的往复升降装置的微调精度。
所述调节件的下端开设有调节件外螺纹,所述驱动器的输出轴设置有与所述调节件外螺纹相配合的输出轴内螺纹,所述锁定件呈啮合的套设于所述调节件上并与所述驱动器的输出轴抵触。通过调节件外螺纹与输出轴内螺纹的配合,进一步地提升调节件与驱动器之间的微调精度,因而提高了本发明的往复升降装置的微调精度。
较佳地,所述调节件的上端设置有弧形的凸头,所述支撑板对应的安装有固定卡座,所述固定卡座开设有供所述凸头容置并卡合的卡合槽。通过弧形的凸头与卡合槽的配合,一方面使得支撑板与凸头呈点、线或小面积接触,从而使得调节件更易在支撑板上旋转,因而使得操作人员更易对本发明的往复升降装置的操作。
较佳地,所述往复升降装置还包括若干个导向组件,所述导向组件以所述驱动器的输出轴为中心呈对称的设置,所述导向组件包括相互配合滑动的导向套及导向杆,所述导向套安装在所述支撑板上,所述导向杆的上端固定在所述腔体的底板上,所述导向杆的下端穿过所述导向套并与所述驱动器固定。通过上述的导向组件以驱动器的输出轴为中心呈对称的设置,使得支撑板受力更平衡;通过由上述的导向套及导向杆组成的导向组件,使得本发明的升降杆能更平稳、更可靠的移动,从而进一步为提高OLED器件的封装质量提供优异的条件。
较佳地,所述升降杆的上端还设置有缓冲垫或者镀膜层,使得升降杆与腔体内需要封装的器件中的工件之间具有柔性,从而更好的保护需要封装的器件中的工件。
较佳地,所述升降杆的上端均位于同一平面中,使得升降杆更可靠的托起工件。
与现有技术相比,由于本发明的调节件的上端与支撑板呈旋转的卡合连接,调节件的下端与驱动器的输出轴呈套接的螺纹连接,一方面使得本发明的驱动器通过调节件驱使升降杆托起腔体内需要封装的OLED器件中的工件朝加热板粗移一定距离后,再对加热板与工件之间距离进行精准的调节,使得工件与加热板维持在一个较佳的距离范围内以达到除去湿气、水分及氧气等物质的目的,从而为提高OLED器件的封装质量以延长OLED器件的寿命提供优异的条件;另一方面使得本发明的往复升降装置的结构简单,成本较低。同时,由于本发明的波纹管对升降杆与腔体的配合处的密封是借助波纹管分别与腔体的底板和支撑板的密封实现的,而位于腔体外的升降杆被套接于波纹管内,故克服了现有的升降杆与橡胶密封圈的紧密接触而加速橡胶密封圈的磨损而增加了维修时间和成本等问题,因此,本发明的波纹管使得本发明的往复升降装置更耐用。
附图说明
图1是本发明往复升降装置的结构示意图。
图2是图1中A部分的放大图。
图3是本发明往复升降装置对工件进行升起的状态示意图。
具体实施方式
为了详细说明本发明的技术内容、构造特征,以下结合实施方式并配合附图作进一步说明。
请参阅图1和图2,本发明的往复升降装置1用于安装在具有真空腔的腔体2上,该腔体2用于为OLED器件的封装提供真空的环境并供工件3上下移动提供空间,且腔体2并与外界固定。本发明的往复升降装置1包括支撑板11、安装板19、驱动器12、调节件14及若干一一对应的升降杆13和波纹管16,在本实施例中,升降杆13和波纹管16均选择为五根,它们的数量是本领域技术人员根据实际需要而选择的,故在此不对它们的数量进行限制。而所述支撑板11位于所述腔体2外且与所述腔体2的底板21平行,所述安装板19位于所述支撑板11下方并与所述腔体2的底板21固定连接,所述升降杆13的下端均固定在所述支撑板11上(该固定方式是本领域普通技术人员所熟知,故不详述),所述升降杆13的上端均呈密封的伸入所述真空腔(图中未示)内并形成承载工件3的支撑面,所述调节件14的上端与所述支撑板11呈旋转的卡合连接,所述调节件14的下端与所述驱动器12的输出轴12a呈套接的螺纹连接,所述驱动器12安装在所述安装板19上,所述波纹管16套接在位于所述腔体2外的升降杆13外,且所述波纹管16的上端与所述腔体2密封连接,所述波纹管16的下端与所述支撑板11密封连接,所述驱动器12通过所述调节件14驱动所述支撑板11做直线往复运动。其中,为了能对调节件14进行锁定,防止调节件14的意外的转动而影响到本发明的往复升降装置1的微调的效果,故在驱动器12的输出轴12a与调节件14之间设置有锁定件15;为了更好的保护封装的OLED器件质量,防止升降杆13划伤OLED器件中的工件3的表面,故在升降杆13的上端还设置有缓冲垫18或者镀膜层,该缓冲垫18或镀膜层的硬度小于OLED器件中的工件的硬度;为了使得驱动器12的结构简单的同时,并能提供沿直线移动的动力,故上述提到的驱动器12选择为气缸;为了使得升降件13更平稳、可靠地托起OLED器件中的工件3,故使升降件13的上端均位于同一水平面内。更具体地,如下:
请再参阅图1和图2,上述提到的调节件14的下端开设有调节件内螺纹(图中未标注),驱动器12的输出轴12a设置有与调节件内螺纹相配合的输出轴外螺纹(图中未标注),上述提到的锁定件15呈啮合的套设于驱动器12的输出轴12a上并与调节件14抵触。当然,也可以在调节件14上设置有调节件外螺纹,在驱动器12的输出轴12a上开设输出轴内螺纹,而锁定件15呈啮合的套设于调节件14上并与驱动器12的输出轴12a抵触,即能实现锁定件15对调节件14的锁定作用。其中,通过调节件内螺纹与输出轴外螺纹的配合、或者调节件外螺纹与输出轴内螺纹的配合,进一步地提高调节件14与驱动器12之间的微调精度,因而提高了本发明的往复升降装置1的微调精度。同时,上述提到的调节件14的上端设置有弧形的凸头141,支撑板11对应的安装有固定卡座110,所述固定卡座110开设有供所述凸头141容置并卡合的卡合槽1100以实现支撑板11与调节件14的可旋转式卡合的目的,当然,直接将卡合槽1100开设在支撑板11上也能实现调节件14与支撑板11的可旋转式的卡合方式,因此,通过弧形的凸头141与卡合槽1100的配合,一方面使得支撑板11与凸头141呈点、线或小面积接触,从而使得调节件14更易在支撑板11上旋转,因而更方便操作人员对本发明的往复升降装置1的操作。
请参阅图1和图3,本发明的往复升降装置1还包括若干个导向组件17,在本实施例中,该导向组件17选择为四个,该导向组件17以驱动器12的输出轴12a为中心呈对称的设置以使得支撑板11受力更平衡,且该导向组件17包括相互配合滑动的导向套171及导向杆172,该导向套171安装在上述提到的支撑板11上,该导向杆172的上端固定在腔体2的底板21上,该导向杆172的下端穿过导向套171并与安装板19固定。其中,通过由上述的导向套171及导向杆172组成的导向组件17,使得本发明的升降杆13能更平稳、更可靠的沿竖直方向移动,从而进一步为提高OLED器件的封装质量提供优异的条件。
结合附图,对本发明往复升降装置1的工作原理作详细的描述:工作时,由于驱动器12通过固定板19和导向杆172固定在腔体2的底板21上,故使得驱动器12与腔体2之间的距离固定不变,当驱动器12的输出轴12a往靠近腔体2的底板21处伸出时,驱动调节件14推动支撑板11沿竖直方向向上移动,由于升降杆13固定在支撑板11上,故使得升降杆13跟随支撑板11做同步的向上移动,托起腔体2内的工件3往加热板(图中未示)处作快速移动,从而完成工件3与加热板之间的距离的粗调节。当工件3与加热板之间的距离太大而需要往加热板靠近,或者工件3与加热板之间的距离太小而需要往远离加热板方向移动以维持合适的距离范围时,停止驱动器12的作动并旋转锁定件15,使其往脱离与调节件14抵触的方向移动一定距离时;接着,再旋转调节件14,使调节件14在驱动器12的输出轴12a上移动,移动的调节件14通过凸头141和固定卡座110带动支撑板11跟随调节件14的移动而做同步的精准移动,从而改变了承载于升降杆13上的工件3与加热板之间的距离。当工件3与加热板之间距离达到所需要的范围时,旋转锁定件15,使其与调节件14抵触而实现对调节件14锁定,对调节件14进行锁定后,加热板便对工件3上的湿气、水分及氧气等物质进行清除,清除了湿气、水分及氧气等物质的工件3便被输送到下一步工序中,而此时的驱动器12再次工作,使其输出轴12a往远离腔体2的底板21的方向收缩,从而带动调节件14、支撑板11及升降杆13做同步协调的复位,从而为下一个工件3的输送做好准备。其中,调节件14对工件3与加热板之间的精调范围介于0.01毫米与10毫米之间。
本发明的调节件14的上端与支撑板11呈旋转的卡合连接,调节件14的下端与驱动器12的输出轴12a呈套接的螺纹连接,一方面使得本发明的驱动器12通过调节件14驱使升降杆13托起腔体2内需要封装的OLED器件中的工件3朝加热板粗移一定距离后,再对加热板与工件3之间距离进行精准的调节,使得工件3与加热板维持在一个较佳的距离范围内以达到除去湿气、水分及氧气等物质的目的,从而为提高OLED器件的封装质量以延长OLED器件的寿命提供优异的条件;另一方面使得本发明的往复升降装置1的结构简单,成本较低。同时,由于本发明的波纹管16对升降杆13与腔体2的配合处的密封是借助波纹管16分别与腔体2的底板21和支撑板11的密封实现的,而位于腔体2外的升降杆13被套接于波纹管16内,故克服了现有的升降杆与橡胶密封圈的紧密接触而加速橡胶密封圈的磨损而增加了维修时间和成本等问题,因此,本发明的波纹管16使得本发明的往复升降装置1更耐用。
以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已,当然不能以此来限定本发明之权利范围,因此依本发明权利要求所作的等同变化,仍属于本发明所涵盖的范围。

Claims (8)

1.一种往复升降装置,适应于安装在具有真空腔的腔体上,其特征在于,所述往复升降装置包括支撑板、安装板、驱动器、调节件及若干一一对应的升降杆和波纹管,所述支撑板位于所述腔体外且与所述腔体的底板平行,所述安装板位于所述支撑板下方并与所述腔体的底板固定连接,所述升降杆的下端均固定在所述支撑板上,所述升降杆的上端均呈密封的伸入所述真空腔内并形成承载工件的支撑面,所述调节件的上端与所述支撑板呈旋转的卡合连接,所述调节件的下端与所述驱动器的输出轴呈套接的螺纹连接,所述驱动器安装在所述安装板上,所述波纹管套接在位于所述腔体外的升降杆外且上端与所述腔体密封连接,下端与所述支撑板密封连接,所述驱动器通过所述调节件驱动所述支撑板做直线往复运动。
2.如权利要求1所述的往复升降装置,其特征在于,还包括设置于所述驱动器的输出轴与所述调节件之间的锁定件。
3.如权利要求2所述的往复升降装置,其特征在于,所述调节件的下端开设有调节件内螺纹,所述驱动器的输出轴设置有与所述调节件内螺纹相配合的输出轴外螺纹,所述锁定件呈啮合的套设于所述驱动器的输出轴上并与所述调节件抵触。
4.如权利要求2所述的往复升降装置,其特征在于,所述调节件的下端开设有调节件外螺纹,所述驱动器的输出轴设置有与所述调节件外螺纹相配合的输出轴内螺纹,所述锁定件呈啮合的套设于所述调节件上并与所述驱动器的输出轴抵触。
5.如权利要求1所述的往复升降装置,其特征在于,所述调节件的上端设置有弧形的凸头,所述支撑板对应的安装有固定卡座,所述固定卡座开设有供所述凸头容置并卡合的卡合槽。
6.如权利要求1所述的往复升降装置,其特征在于,还包括若干个导向组件,所述导向组件以所述驱动器的输出轴为中心呈对称的设置,所述导向组件包括相互配合滑动的导向套及导向杆,所述导向套安装在所述支撑板上,所述导向杆的上端固定在所述腔体的底板上,所述导向杆的下端穿过所述导向套并与所述安装板固定。
7.如权利要求1所述的往复升降装置,其特征在于,所述升降杆的上端还设置有缓冲垫或者镀膜层。
8.如权利要求1所述的往复升降装置,其特征在于,所述升降杆的上端均位于同一平面中。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103848373B (zh) * 2012-12-06 2016-12-21 苏州宏瑞达新能源装备有限公司 顶升旋转机构
CN104140062A (zh) * 2013-05-06 2014-11-12 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种片盒垂直升降装置
CN103241677B (zh) * 2013-05-08 2015-10-28 武汉理工大学 一种顶起装置
CN103423987B (zh) * 2013-08-21 2015-02-11 湖南三德科技股份有限公司 用于风透式除湿干燥机的自动顶升密封装置
CN104235382B (zh) * 2014-08-29 2016-04-13 杭州杭氧低温容器有限公司 一种热沉容器与升降平台的连接结构
CN113183535A (zh) * 2021-04-13 2021-07-30 岳西县汇达包装制品有限公司 一种组装装置
CN117163874B (zh) * 2023-11-01 2024-01-26 启东市云鹏玻璃机械有限公司 一种用于玻璃机械的升降装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6612633B1 (en) * 1999-05-04 2003-09-02 Piab Ab Double bellows vacuum operated lifting apparatus
JP4173695B2 (ja) * 2001-07-03 2008-10-29 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 内燃機関の駆動方法
CN101643186A (zh) * 2009-06-26 2010-02-10 东莞宏威数码机械有限公司 自动升降机构
CN101811649A (zh) * 2009-12-01 2010-08-25 东莞宏威数码机械有限公司 自动往复式升降装置
CN201567183U (zh) * 2009-12-01 2010-09-01 东莞宏威数码机械有限公司 直线往复式升降装置
CN101875478A (zh) * 2010-03-23 2010-11-03 东莞宏威数码机械有限公司 自动升降系统
CN201942475U (zh) * 2010-12-01 2011-08-24 东莞宏威数码机械有限公司 往复升降机构

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04173695A (ja) * 1990-11-02 1992-06-22 Hitachi Ltd 基板エレベータ装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6612633B1 (en) * 1999-05-04 2003-09-02 Piab Ab Double bellows vacuum operated lifting apparatus
JP4173695B2 (ja) * 2001-07-03 2008-10-29 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 内燃機関の駆動方法
CN101643186A (zh) * 2009-06-26 2010-02-10 东莞宏威数码机械有限公司 自动升降机构
CN101811649A (zh) * 2009-12-01 2010-08-25 东莞宏威数码机械有限公司 自动往复式升降装置
CN201567183U (zh) * 2009-12-01 2010-09-01 东莞宏威数码机械有限公司 直线往复式升降装置
CN101875478A (zh) * 2010-03-23 2010-11-03 东莞宏威数码机械有限公司 自动升降系统
CN201942475U (zh) * 2010-12-01 2011-08-24 东莞宏威数码机械有限公司 往复升降机构

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