CN1799963A

CN1799963A - 工件运送装置

Info

Publication number: CN1799963A
Application number: CNA2005101258365A
Authority: CN
Inventors: 小林芳树
Original assignee: JAVIC CO Ltd
Current assignee: JAVIC CO Ltd
Priority date: 2004-12-28
Filing date: 2005-11-30
Publication date: 2006-07-12
Also published as: TW200621604A; JP2006186146A; KR20060076715A

Abstract

本发明的课题在于提供可确实防止清洗区域的清洗液、清洗气体向非清洗区域泄漏的情况的工件运送装置。一种用于在工件的清洗时运送工件的工件运送装置，该工件运送装置包括滚轮运送轴(5)，该滚轮运送轴(5)设置于在通过隔壁(3)和盖与外部隔离的处理槽(2)的内部，分别具有滚轮(6)；被动侧磁铁(11)，该被动侧磁铁(11)安装于该滚轮运送轴(5)的前端部；驱动侧磁铁(15)，该驱动侧磁铁(15)在上述处理槽(2)的外侧，通过将形成于上述隔壁(3)的通孔(14)封闭的薄膜(13)，按照与上述被动侧磁铁(11)面对的方式设置；驱动轴(20)，该驱动轴(20)与上述驱动侧磁铁(15)连接；传动轴(18)，该传动轴(18)通过蜗轮(蜗杆)副(21)，与驱动轴(20)连接；连接有传动轴(18)的电动机(19)。

Description

工件运送装置

技术领域

本发明涉及液晶板制造、PDP板制造、有机EL板制造、FED板制造、印刷电路衬底制造、半导体制造、版制造和其它的电子设备器件等的清洗步骤中所采用的工件运送装置，更具体地说，本发明涉及下述的工件运送装置，其在通过旋转运送用滚轮运送该运送用滚轮上的工件的方法中，通过使运送用滚轮和驱动该运送用滚轮的驱动机构非接触，可防止清洗区域的清洗液、清洗气体等泄漏到外部，以及防止来自外部的异物的侵入。

背景技术

近年的平板显示器(液晶、PDP、EL、FED等)半导体、印刷电路衬底、电子设备器件等的进步的高精度化显著，特别是在平板显示器的制造工艺，高集成半导体元件的制造工艺中，必须要求更高的超精密清洗。

另外，伴随图案的细微化、高集成化，所处理的液晶玻璃、PDP玻璃、硅晶片的尺寸增加，目前的情况是，在液晶玻璃的场合，其尺寸变到1870×2200mm，在PDP玻璃的场合，其尺寸变到2150×2350mm，在硅晶片的场合，其直径变到300mm，但是，清洗变成占全部步骤的40～60％，对于合格率提高来说是具有重要的作用的工序。

然而，上述衬底等的工件的清洗一般通过下述方式进行，该方式为：在清洗槽的内部，通过运送机构一边运送工件一边向所运送的工件喷清洗液或清洗气体，但是在运送机构采用滚轮的场合，一般采用通过设置于清洗槽的外侧的驱动机构，使滚轮旋转的方法。

在这里，图3为用于说明该滚轮的运送方法的图，该图中的标号31表示设置滚轮的清洗区域。另外，该清洗区域31通过隔壁32和图中未示出的盖与外部隔离。

此外，在清洗区域31中，分别安装有运送用滚轮33的多个滚轮运送轴34朝向工件的运送方向间隔开地平行设置，在该运送用滚轮33上设置通过虚线所示的工件35，可通过滚轮运送轴34和运送用滚轮33的旋转运送工件35。

还有，在上述清洗区域31的外侧设置电动机36，与该电动机36连接的驱动轴37穿过上述隔壁32，在清洗区域31的内部伸出，在清洗区域31的内部，上述驱动轴37通过联轴节38与上述滚轮运送轴34连接。

再有，通过上述方案，如果驱动电动机36使驱动轴37旋转，则通过联轴节38与驱动轴37连接的滚轮运送轴34和安装于该滚轮运送轴34上的运送用滚轮旋转，由此，可运送放置于运送用滚轮33上的工件35。

但是，在像这样构成的运送装置中，由于在隔壁32中形成通孔，通过该通孔，驱动轴37在清洗区域31的内部伸出，故在通孔的内部，在驱动轴37的周围产生间隙，通过该间隙，清洗区域31内的清洗液、清洗气体泄漏到清洗区域31的外侧。由此，产生电动机等的金属部件腐蚀，无法正常地工作的问题。

另外，由于工件的清洗所采用的清洗气体对于人体是危险的，故在清洗气体泄漏到清洗区域31的外侧的场合，必须要求采用安全地排出该清洗气体的机构，由此具有能耗量变大的问题。

此外，还考虑通过通孔的间隙，外气进入清洗区域的情况，在此场合，也考虑因外气中包含的异物等的影响，有效的清洗困难的情况。

为此，为了解决这样的问题，考虑将形成于隔壁中的通孔密封的方法。

即，图4为将形成于隔壁32中的通孔密封用的结构，在图中，安装用于密封驱动轴37的周围和通孔3201之间的间隙的O型密封环39，通过该O型密封环39，可防止清洗区域31内的清洗液、清洗气体通过通孔3201泄漏到外部的情况。

还有，在图4所示的结构中，在隔壁32的内侧具有内壁40，并且还在该内壁40上形成驱动轴37穿过的通孔4001，在该内壁40的通孔4001和驱动轴37之间的间隙中还安装有密封用O型密封环39。

此外，在图4的结构中，在由隔壁32和内壁40形成的空间中形成排出孔41，从内壁40的通孔4001泄漏的清洗气体等可通过该排出孔41排出。

因此，在这样的运送装置中，可有效地防止清洗区域内的清洗液、清洗气体泄漏到清洗区域的外侧以及防止来自外部的异物的侵入，并且，即使在因某种原因，清洗区域内的清洗液、清洗气体泄漏的情况下，也可从排出孔将其排出，这样，可有效地防止清洗液、清洗气体泄漏到清洗区域的外侧的情况。

发明内容

但是，在通过这样的O型密封环进行密封的方法中，人们充分地考虑在驱动轴37旋转时，由于该驱动轴37与O型密封环39滑动，由此，O型密封环39磨擦产生磨耗、并且产生灰尘，伴随该情况产生的灰尘附着于工件35上的危险。

另外，人们还考虑因磨耗慢慢地使O型密封环39的功能降低，因长期的使用，O型密封环39无法发挥充分的密封功能的危险。

因此，本发明的课题在于提供一种工件运送装置，该工件运送装置可确实防止清洗区域的清洗液、清洗气体向非清洗区域泄漏的情况。

本发明的工件运送装置涉及一种用于在工件的清洗时运送工件的工件运送装置，其特征在于该工件运送装置包括：

滚轮运送轴，该滚轮运送轴设置于在通过隔壁和盖而与外部隔离的处理槽的内部，分别具有滚轮；

被动侧磁铁，该被动侧磁铁安装于该滚轮运送轴的前端部；

驱动侧磁铁，该驱动侧磁铁在上述处理槽的外侧，通过上述隔壁，按照与上述被动侧磁铁面对的方式设置；

旋转机构，该旋转机构用于旋转该驱动侧磁铁。

在本发明的工件运送装置中，在设置于通过隔壁和盖与外部隔离的处理槽内的滚轮运送轴上安装被动侧磁铁，并且在处理槽的外侧，通过上述隔壁，按照与上述被动侧磁铁面对的方式设置驱动侧磁铁，通过该结构旋转驱动侧磁铁，由此，通过磁力旋转处理槽内的被动侧磁铁，并且使滚轮旋转，由此，可运送放置于滚轮上的工件。

像这样，在本发明的工件运送装置中，由于利用磁铁的磁力旋转设置于处理槽内的滚轮，故可通过隔壁和盖将处理槽内部完全地隔离，使其处于密封状态，因此，可有效地防止用于清洗的清洗液、清洗气体泄漏到处理槽的外部，以及防止来自外部的异物的侵入。

附图说明

图1为表示采用本发明的工件运送装置的实施例的清洗步骤的图；

图2为用于说明本发明的工件运送装置的实施例的外形局部剖视图；

图3为用于说明过去的清洗步骤的图；

图4为用于说明改进了的过去的清洗步骤的图。

具体实施方式

在本发明的工件运送装置中，包括通过隔壁和盖隔离，处于密封状态的处理槽，在该处理槽的内部，分别具有滚轮的多个滚轮运送轴支承于内置轴承的轴承部，同时按照间隔开而平行的方式设置，在该滚轮运送轴的一端安装有被动侧磁铁。

另一方面，在处理槽的外部设置有驱动磁铁，该驱动磁铁按照夹持隔壁，与上述被动侧磁铁面对的方式设置，在驱动侧磁铁上连接有用于使该磁铁旋转的旋转机构。

另外，用于旋转驱动侧磁铁的旋转机构包括传动轴和驱动轴，该传动轴按照同心方式与作为驱动装置的电动机的旋转轴连接，该驱动轴安装于驱动侧磁铁上，该传动轴和驱动轴基本相垂直地设置，并且通过蜗轮(蜗杆)副将驱动轴与传动轴连接，由此，可通过1个电动机旋转多个滚轮。

在这里，可在上述隔壁中形成通孔，并且通过绝缘性的薄板将已形成的通孔封闭，按照夹持薄板的方式将被动侧磁铁和驱动侧磁铁面对地设置，由此，即使在隔壁较厚的情况下，仍可有效地旋转被动侧磁铁。

实施例1

下面参照附图，对本实施例的工件运送装置的实施例进行描述，图1为表示具有本实施例的工件运送装置的清洗步骤的图，其表示平面看到的结构。另外，在图中标号2表示清洗槽，该清洗槽2处于通过隔壁3和图中未示出的盖与外部隔离的状态，处于完全密封状态。另外，图中的虚线所示的标号4表示边运送边清洗的工件。另外，作为该工件，考虑采用LCD、PDP、有机EL、FED等的玻璃衬底等。另外，在清洗槽2的内部设置有图中未示出的清洗媒体供给机构，通过该清洗媒体供给机构，将清洗液、清洗气体等喷向工件4，由此，进行工件4的清洗。

接着，在处理槽2的内部，沿运送方向间隔开而平行地排列有多根滚轮运送轴5，在该滚轮运送轴5上的至少2个部位，分别按照沿纵向间隔开的方式安装运送用滚轮6，可在该滚轮6上设置工件4。

另外，在上述滚轮运送轴5的两端通过设置于处理槽2的内部的轴承部7、8支承，在该轴承部7、8的内部安装有轴承，由此，上述滚轮运送轴5可自由旋转。

此外，在图1中，沿滚轮运送轴5的纵向的任意部位通过多个轴承部9支承，由此，防止滚轮运送轴5的挠曲。

在这里，图2为表示采用本实施例的清洗步骤的，任意滚轮运送轴5的一侧附近的外形的局部剖视图，在该图2中，标号7表示支撑滚轮运送轴5的一侧的轴承部。

还有，在该轴承部7的内部插设有轴承701，由此，滚轮运送轴5以可旋转的方式支承。

再有，在轴承部7中，安装于上述滚轮运送轴5的前端部分上的被动侧旋转体10以可旋转的方式插设，该被动侧旋转体10可伴随滚轮运送轴5而旋转。另外，在本实施例中，上述被动侧旋转体10由氯乙烯制成。

另外，在本实施例中，在该被动侧旋转体10的内部的上述隔壁3侧端部附近安装有被动侧磁铁11，通过该磁铁11旋转，可通过该被动侧旋转体10旋转滚轮运送轴5。另外，在本实施例中，上述被动侧磁铁11采用多极的盘型磁铁，另外，在该磁铁11的背后，设置用于增加磁力的轭铁12。此外，在图中，标号1001表示覆盖被动侧磁铁11表面的氯乙烯制的保护层，由此，防止在被动侧磁铁11的表面附着清洗液等的情况。

此外，在图中，标号13表示绝缘性的薄膜。即，在本实施例中，在上述隔壁3上形成通孔14，按照将该通孔14封闭的方式，在隔壁3上安装绝缘性的薄膜13，此外，上述从动侧旋转体10和被动侧磁铁11不与上述薄膜13接触。还有，在本实施例中，上述薄膜13采用PVC(聚氯乙烯)。

还有，在外设该薄膜13的隔壁3的外侧，按照与上述被动侧磁铁11面对，并且与薄膜13不接触的方式设置驱动侧磁铁15，而且，在该驱动侧磁铁15上，连接有用于旋转驱动侧磁铁15的旋转机构。另外与上述被动侧磁铁11相同，上述驱动侧磁铁15也采用多极的盘型磁铁，此外，在该磁铁15的背后设置有增加磁力用的轭铁16。此外，驱动侧磁铁15的表面由氯乙烯制的保护层1701覆盖。

在这里，对上述旋转机构进行描述，在图1中，在处理槽2的外侧，沿工件的运送方向设置传动轴18，并且在该传动轴18的一端连接有作为驱动机构的电动机19，由此，可驱动电动机19旋转传动轴18。

另一方面，上述驱动侧磁铁15接纳于氯乙烯制的驱动侧旋转体17的内部，在该驱动侧旋转体17上，按照与驱动侧磁铁15同心地旋转的方式安装有驱动轴20。并且，上述驱动轴20朝向上述传动轴18侧，并且沿与传动轴18相垂直的方向突出，并且驱动轴20和传动轴18通过蜗轮(蜗杆)副21而连接。因此，在本实施例中，通过该蜗轮(蜗杆)副21的作用，驱动电动机19使传动轴18旋转，由此沿与传动轴18相垂直的方向设置的驱动轴20旋转，并且安装有该驱动轴20的驱动侧旋转体17旋转，驱动侧旋转体17内的驱动侧磁铁15也旋转。

如果这样形成，则通过薄膜13设置于处理槽2的内部的被动侧磁铁11旋转，由此，可使滚轮运送轴5和运送用滚轮6旋转运送工件4。

此外，在本实施例中，根据图1所知，在处理槽2的内部设置多个滚轮运送轴5，但是，上述图2所示的结构对于全部的滚轮运送轴5来说是相同的。另外，该图中的标号22为接纳传动轴18部分的外壳。

下面对像这样构成的本实施例的工件运送装置的作用进行描述，在图1中，在处理槽2内的运送用滚轮6上装载作为清洗对象的工件4。

接着，如果驱动电动机19旋转传动轴18，则通过上述机构将驱动侧磁铁15与驱动侧旋转体17一起旋转。

还有，伴随驱动侧磁铁15的旋转，通过薄膜13而设置于处理槽2的内部的被动侧磁铁11通过磁力的作用，沿与驱动侧磁铁15相同的方向旋转。这样，则安装有该被动侧磁铁11的被动侧旋转体10，以及安装有该被动侧旋转体10的滚轮运送轴5旋转，由此，沿单一方向运送工件4，可对所运送的工件4进行清洗。

接着，此时，在本实施例中，采用磁铁的磁力旋转滚轮运送轴5，由此，使处理槽2的内部与外部完全隔离，处于密封的状态，这样，可有效地防止处理槽2的内部所采用的清洗液、清洗气体泄漏到外部，以及防止来自外部的异物的侵入。

因此，按照本实施例，可防止对人体有害的物质泄漏到外部的情况，并且也无需用于进行泄漏到处理槽的外侧的清洗气体等的处理的排气设备，还可节约消耗能量，此外，也可防止使滚轮运送轴旋转用的旋转机构因清洗液等的影响而腐蚀的情况。

另外，在本实施例中，由于在隔壁3上形成通孔14，并且通过绝缘性的薄膜13将该通孔封闭，故也可通过隔壁3的厚度有效地防止磁铁的磁力变弱的情况。

此外，在本实施例中，由于采用蜗轮(蜗杆)副21，在与电动机19连接的传动轴18上连接和相应的驱动侧旋转体17连接的驱动轴20，故可通过1个电动机使全部的滚轮运送轴。

还有，在前述的旋转机构中，针对通过蜗轮(蜗杆)副21将驱动轴20和传动轴18连接的实例进行了描述，但是，在本发明的旋转机构中不必一定采用蜗轮(蜗杆)副，如果为可使驱动轴20旋转的机构，则也可采用任意的机构。比如，将平齿轮安装于驱动轴20上，另一方面，将电动机19按照其旋转轴可沿与驱动轴20相同的方向旋转的方式设置，通过皮带而连接电动机19的旋转轴和安装于驱动轴20上的平齿轮，由此，也可通过驱动电动机19，借助皮带旋转驱动轴20。

产业上的应用可能性

在本发明的工件运送装置中，采用磁铁的磁力使滚轮运送轴旋转，由此，可将处理槽内完全封闭，这样，不限于工件的清洗步骤，还可适用于一边运送工件，一边对其处理的步骤的全过程。

Claims

1.一种用于在工件的清洗时运送工件的工件运送装置，其特征在于该工件运送装置包括：

滚轮运送轴(5)，该滚轮运送轴(5)设置于在通过隔壁(3)和盖，以密封状态与外部隔离的处理槽(2)的内部，分别具有滚轮(6)；

被动侧磁铁(11)，该被动侧磁铁(11)安装于该滚轮运送轴(5)的前端部；

驱动侧磁铁(15)，该驱动侧磁铁(15)在上述处理槽(2)的外侧，通过上述隔壁(3)，按照与上述被动侧磁铁(11)面对的方式设置；

旋转机构，该旋转机构用于旋转该驱动侧磁铁(15)。

2.根据权利要求1所述的工件运送装置，其特征在于在上述隔壁(3)中形成通孔(14)，并且通过绝缘性的薄板(13)将上述通孔(14)封闭，按照夹持上述薄板(13)的方式将上述被动侧磁铁(11)和驱动侧磁铁(15)面对地设置。

3.根据权利要求1或2所述的工件运送装置，其特征在于上述旋转机构包括：

电动机等的驱动装置(19)；

与上述驱动装置(19)的轴连接的传动轴(18)；

与该驱动侧磁铁(15)连接的驱动轴(20)；

将上述传动轴(18)和驱动轴(20)连接的齿轮(21)。