WO2011137693A1 - 无尘式真空动力传送装置 - Google Patents

Description

无尘式真空动力传送装置

技术领域

本发明涉及一种对动力进行传送的传送装置， 尤其涉及一种对有机发光二 极管生产线上真空腔室内的用来传送基片的无尘式真空动力传送装置。 背景技术

随着经济的不断发展、 科技的不断进步和世界能源的日益减少， 人们在生 产中越来越重视能源的节约及利用效率， 使得人与自然和谐发展以满足中国新 型的工业化道路要求。

例如， 在真空环境要求极高的数码产品的显示产业中， 企业为了节约能源、 降低生产成本， 都加大投资研发力度， 不断地追求节能的新产品。 其中， OLED 显示屏就是数码产品中的一种新产品， OLED 即有机发光二极管 （Organic Light-Emitting Diode ) , 又称为有机电激光显示 ( Organic Electro luminesence Display, OELD ), 因为具备轻薄、 省电等特性， 因此在数码产品的显示屏上得到 了广泛应用， 并且具有较大的市场潜力， 目前世界上对 OLED的应用都聚焦在 平板显示器上， 因为 OLED是唯一在应用上能和 TFT-LCD相提并论的技术， 且 是目前所有显示技术中， 唯一可制作大尺寸、 高亮度、 高分辨率软屏的显示技 术； 但 OLED显示屏幕与传统的 TFT-LCD显示屏幕并不同， 其无需背光灯， 采 用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片， 当有电流通过时， 这些有机材料就会发 光， 而且 OLED显示屏幕可以做得更轻更薄， 可视角度更大， 并且能够显著节 省电能； 相应地， 制造 OLED显示屏幕的所有设备必须要保证 OLED显示屏幕 的精度要求。 因此， 作为有机发光二极管 OLED原材料的质量和精度， 传输过 程中传动机构的自动化程度， 清洁度， 以及低噪音尤为重要。

现有的一种用于对真空腔室内的用来制造有机发光二极管 OLED的基片传 动机构中， 外界动力输出轴与传动轴相连， 传动轴与齿轮传动装置相连， 齿轮 传动装置上承载有待传送的基片， 传动轴可以从外界动力输出轴获取旋转力， 即当马达等驱动设备开动时， 该传动轴就可以带动齿轮传动装置旋转。 上述传 送方式由于大都采用齿轮相互啮合的直接接触的传动方式， 传动的过程中容易 造成机械磨损， 导致传动能耗； 同时， 由于传动中的各运动组件， 例如齿轮与 传动轴、 齿轮与齿轮等之间的接触， 容易使传动机构各运动组件之间因为摩擦 而粒化， 产生粉尘进入到容置有基片的真空腔室内， 影响了真空腔室内及基片 的清洁度， 并且传动过程中产生了较大的噪声； 另外， 各运动组件之间的摩擦 也将严重影响传动机构使用寿命。

因此， 急需一种传动能耗少、 高清洁度、 超静音、 使用寿命长的适用于在 真空腔室内传送基片的无尘式真空动力传送装置来克服上述缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种传动能耗少、 高清洁度、 超静音、 价格低廉、 使 用寿命长适用于在真空腔室内传送基片的无尘式真空动力传送装置。

为实现上述目的， 本发明提供一种无尘式真空动力传送装置， 适用于在真 空腔室内传送基片， 其中， 所述无尘式真空动力传送装置包括驱动机构、 传动 轴、 联动轴及均具有磁性的磁力主动轮与若干磁力从动轮， 所述传动轴的一端 枢接地穿过所述真空腔室的一体壁并伸入所述真空腔室内， 所述磁力主动轮固 定安装于所述传动轴伸入所述真空腔室内的一端上， 所述联动轴的两端分别枢 接于所述真空腔室的相对两体壁上并邻近所述主动轮， 所述磁力从动轮固定安 装于所述联动轴上， 且至少一个所述磁力从动轮邻近所述磁力主动轮， 所述磁 力从动轮上承载有基片， 所述驱动机构固定安装于所述真空腔室外， 且所述驱 动机构的动力输出端与所述传动轴露出于所述真空腔室的一端连接， 所述驱动 机构驱动所述传动轴旋转以带动所述磁力主动轮旋转 , 所述磁力主动轮带动所 述磁力从动轮及联动轴旋转以传送基片。 较佳地， 所述真空腔室的体壁上固定装设有轴承座， 所述传动轴穿过所述 轴承座并伸入所述真空腔室内。 所述轴承座将所述传动轴固定于所述真空腔室 的体壁上， 并引导所述传动轴伸入所述真空腔室内， 从而为所述传动轴提供稳 定的旋转工作环境。

较佳地， 所述传动轴的表面上旋转密封有一星型密封圈， 且所述星型密封 圈装设于所述轴承座内。 所述星型密封圈旋转密封在所述传动轴的外表面且置 于所述轴承座内 , 从而不仅可有效防止空气通过所述传动轴进入到真空腔室内 , 以保证所述真空腔室内的真空度， 还可有效防止所述传动轴在旋转过程中， 外 界细小的灰尘颗粒等进入所述真空腔室内， 以保持所述真空腔室内的高清洁度， 防止被传送的基片沾染到灰尘等影响其精度的杂物。

较佳地， 所述轴承座内固定装设有一滚珠轴承， 所述传动轴穿过所述滚珠 轴承并伸入所述真空腔室内。 所述滚珠轴承提高了所述传动轴工作的稳定性同 时也减小了所述传动轴与所述轴承座两者之间的磨擦损坏作用 , 从而提高所述 无尘式真空动力传送装置的使用寿命。

较佳地， 所述滚珠轴承邻近所述主动轮的一端面上设有一轴承内挡圏， 且 所述轴承内挡圏环绕所述传动轴。 所述轴承内挡圈不仅加强了所述传动轴与所 述滚珠轴承之间的密封作用以防止外界空气或灰尘进入所述真空腔室内， 而且 可有效防止所述滚珠轴承相对所述传动轴发生上下滑动以确保所述传动轴稳定 地工作。

较佳地， 所述无尘式真空动力传送装置还包括 0型密封圈， 所述 0型密封 圈分别密封连接所述轴承座与所述真空腔室的体壁。 通过所述 0型密封圏的密 封作用可以防止外界空气或灰尘通过所述轴承座与所述体壁之间的可能有的缝 隙进入所述真空腔室内， 以确保所述真空腔室内的真空度与清洁度。

较佳地， 所述无尘式真空动力传送装置还包括联轴器， 所述联轴器的两端 分别连接所述传动轴与所述驱动机构的动力输出端。 所述联轴器可使所述传动 轴与所述驱动机构的动力输出端之间的连接更稳定可靠， 从而使所述驱动机构 输出的动力能最大限度地传递到所述传动轴上以减少传动能耗。 较佳地， 所述驱动机构为伺服电机，且所述伺服电机的输出轴与所述联轴器 连接。

与现有技术相比，由于本发明无尘式真空动力传送装置中用于提供动力的磁 力主动轮和用于传送基片的磁力从动轮及带动多个磁力从动轮旋转的联动轴均 容置于所述真空腔室内， 从而使得所述基片的整个传送过程均在所述真空腔室 内进行， 所述真空腔室内的真空与高度清洁的环境确保了被传送基片的精度要 求； 由于所述磁力主动轮与磁力从动轮均具有磁性， 故可通过相邻相互磁场作 用使所述磁力主动轮在所述驱动机构与传动轴的驱动下旋转并以非接触方式带 动所述磁力从动轮旋转， 这种非接触的传动方式， 有效的避免了真空腔室内因 主动轮与从动轮通过摩擦或啮合的直接接触而使器件磨损产生粉末及发出较大 噪音的情况， 从而大大的提高了真空腔室内的洁净度， 避免了主动轮与从动轮 之间的磨损提高了器件使用寿命也减少了传动能耗， 而且整个传送过程在无噪 音环境下进行， 静化了工作环境有利于工作人员的身心健康； 另外所述驱动机 构安装于所述真空腔室之外， 从而所述驱动机构工作过程中的振动作用不会影 响所述真空腔室内的传送操作， 使所述真空腔室内的传送操作可平稳地进行。 综上所述， 由于本发明无尘式真空动力传送装置传动能耗少、 高清洁度、 超静 音、 使用寿命长， 因此适用于为真空环境行业中生产线上作业的机构提供动力， 尤其是为有机发光二极管生产线上真空腔室内的基片传送机构提供动力。

通过以下的描述并结合附图， 本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本 发明的实施例。 附图说明

图 1为本发明无尘式真空动力传送装置的内部结构示意图。 图 2为图 1所示 A部分的放大图。

具体实施方式 现在参考附图描述本发明的实施例， 附图中类似的元件标号代表类似的元 件。 如上所述， 本发明提供了一种传动能耗少、 高清洁度、 超静音、 使用寿命 长适用于在真空腔室内传送基片的无尘式真空动力传送装置。

参考图 1与图 2, 如图所示， 本发明无尘式真空动力传送装置包括驱动机构 100、 传动轴 200及分别容置于真空腔室 300内的磁力主动轮 310、 联动轴 330 及多个磁力从动轮 320;所述驱动机构 100固定安装于所述真空腔室 300之外且 与所述传动轴 200的一端连接； 所述传动轴 200的另一端枢接地穿过所述真空 腔室 300的体壁 301并伸入所述真空腔室 300内； 所述磁力主动轮 310具有磁 性且固定安装在所述传动轴 200伸入所述真空腔室 300 内的一端上， 所述联动 轴 330枢接于所述真空腔室 300的相对体壁（图未示 )上； 所述磁力从动轮 320 具有磁性且均固定安装于所述联动轴 330上。

具体地：所述驱动机构 100包括固定座 110及伺服电机 120,所述固定座 110 用于固定所述伺服电机 120以防止所述伺服电机 120在工作过程中发生移动， 所述伺服电机 120上还包括用来传递输出动力的输出轴 121。所述传动轴 200的 一端通过联轴器 210与所述伺服电机 120的输出轴 121连接， 从而使所述传动 轴 200可在所述伺服电机 120的驱动作用下与所述输出轴 121—起旋转； 所述 传动轴 200的另一端枢接地穿过所述真空腔室 300的体壁 301而伸入所述真空 腔室 300内， 且所述传动轴 200伸入所述真空腔室 300内的一端上还开设有螺 紋孔（图未示）。 相应地， 所述磁力主动轮 310 上也开设有螺纹孔 （图未示）， 第一螺钉 311 穿过所述磁力主动轮 310上的螺纹孔并钉入所述传动轴 200上的 螺紋孔内， 从而将所述磁力主动轮 310 固定安装于所述传动轴 200上。 所述联 动轴 330的两端分别枢接于所述真空腔室 300的相对两体壁 （图未示 ) 上并邻 近所述磁力主动轮 310;所述磁力从动轮 330以一定的间距依次固定安装于所述 联动轴 330上， 且至少一个所述磁力从动轮 320靠近（并不接触） 所述磁力主 动轮 310从而使两者处于相互作用的磁场范围内， 以使得通过磁力作用所述磁 力主动轮 310以非接触方式驱动所述磁力从动轮 320旋转，所述磁力从动轮 320 带动所述联动轴 330及其它固定于所述联动轴 330上的磁力从动轮一起按同一 方向旋转， 这种非接触式的驱动方式有效的避免了真空腔室 300 内因主动轮与 从动轮通过摩擦或啮合的直接接触而使器件磨损产生粉末及发出较大噪音的情 况， 从而大大的提高了真空腔室 300 内的洁净度， 避免了主动轮与从动轮之间 的磨损提高了整个传动机构的使用寿命也减少了传动能耗。 所述真空腔室 300 的体壁 301上装设有轴承座 340，所述轴承座 340通过第二螺钉 343而固定于所 述体壁 301上， 所述传动轴 200的一端枢接地穿过所述轴承座 340, 从而所述轴 承座 340将所述传动轴 200固定于所述真空腔室 300的体壁 301上， 并引导所 述传动轴 200伸入所述真空腔室 300内。

较佳地， 所述传动轴 200穿过所述轴承座 340的部分表面上环绕装设有星 型密封圈 220, 且所述星型密封圏 220设于所述轴承座 340内， 从而所述星型密 封圈 220不仅可有效防止空气通过所述传动轴 200进入到真空腔室 300内， 以 保证所述真空腔室 300 内的真空度， 还可有效防止所述传动轴 200在旋转过程 中外界细小的灰尘颗粒等进入所述真空腔室 300 内， 以保持所述真空腔室 300 内的高清洁度， 防止被传送的基片沾染上灰尘而影响其精度。

较佳地， 所述轴承座 340内环绕所述传动轴 200固定装设有滚珠轴承 341 , 且在所述传动轴 200穿出所述滚珠轴承 341的一端面上环绕所述传动轴 200装 设有轴承内挡圏 342。所述滚珠轴承 341不仅提高了所述传动轴 200工作的稳定 性同时也减小了所述传动轴 200与所述轴承座 340两者之间的磨擦损坏， 从而 提高两者的使用寿命； 另外在所述滚珠轴承 341 —端面上紧密地环绕所述传动 轴 200而装设有所述轴承内挡圈 342,不仅加强了所述传动轴 200与所述滚珠轴 承 341之间的密封作用以防止外界空气或灰尘进入所述真空腔室 300 内， 而且 可有效防止所述滚珠轴承 341相对所述传动轴 200发生上下滑动以确保所述传 动轴 200稳定地工作。 较佳地，所述轴承座 340与所述真空腔室 300的体壁 301之间密封连接有 0 型密封圏 302, 通过所述 0型密封圏 302的密封作用可以防止外界空气或灰尘 通过所述轴承座 340与所述体壁 301之间可能有的缝隙进入所述真空腔室 300 内， 以确保所述真空腔室 300内的真空度与清洁度。

下面结合图 1与图 2描述本发明无尘式真空动力传送装置的工作原理： 启动所述伺服电机 120并通过所述输出轴 121输出动力， 所述联轴器 210 将所述输出轴 121与所述传动轴 200连接起来， 从而使所述输出轴 121上的动 力传递到所述传动轴 200上， 也即是所述传动轴 200通过所述联轴器 210将与 所述输出轴 121—起旋转， 所述传动轴 200旋转从而带动所述真空腔室 300 内 的磁力主动轮 310向图 1中箭头 a所示的方向旋转，通过磁力作用所述磁力主动 轮 310以非接触方式驱动距其最近的所述磁力从动轮 320向图 1 中箭头 b的方 向旋转， 该磁力从动轮 320同时带动所述联动轴 330旋转从而带动固定在所述 联动轴 330 上的其它磁力从动轮按同一方向旋转以实现对所述磁力从动轮上的 基片的传送目的； 另外， 本发明所述祠服电机 120安装于所述真空腔室 300之 外， 从而所述伺服电机 120 工作过程中的振动作用不会影响所述真空腔室 300 内的传送操作， 使所述真空腔室 300内的传送操作可平稳地进行。

以上结合最佳实施例对本发明进行了描述， 但本发明并不局限于以上揭示 的实施例， 而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、 等效组合。

Claims

权 利 要 求

1. 一种无尘式真空动力传送装置， 适用于在真空腔室内传送基片， 其特征在于， 包括驱动机构、 传动轴、 联动轴及均具有磁性的磁力主动轮与若千磁力从动轮， 所 述传动轴的一端枢接地穿过所述真空腔室的一体壁并伸入所述真空腔室内， 所述磁 力主动轮固定安装于所述传动轴伸入所述真空腔室内的一端上， 所述联动轴的两端 分别枢接于所述真空腔室的相对两体壁上并邻近所述磁力主动轮， 所述磁力从动轮 固定安装于所述联动轴上且至少一个所述磁力从动轮邻近所述磁力主动轮， 所述磁 力从动轮上承载有基片， 所述驱动机构固定安装于所述真空腔室外， 且所述驱动机 构的动力输出端与所述传动轴露出于所述真空腔室外的一端连接， 所述驱动机构驱 动所述传动轴旋转以带动所述磁力主动轮旋转， 所述磁力主动轮带动所述磁力从动 轮及联动轴旋转以传送基片。

2. 如权利要求 1所述的无尘式真空动力传送装置， 其特征在于， 所述真空腔室 的体壁上固定装设有轴承座， 所述传动轴穿过所述轴承座并伸入所述真空腔室内。

3. 如权利要求 2所述的无尘式真空动力传送装置， 其特征在于， 所述传动轴的 表面上旋转密封有一星型密封圈 , 且所述星型密封圈装设于所述轴承座内。

4. 如权利要求 2所述的无尘式真空动力传送装置， 其特征在于， 所述轴承座内 固定装设有一滚珠轴承， 所述传动轴穿过所述滚珠轴承并伸入所述真空腔室内。

5. 如权利要求 4所述的无尘式真空动力传送装置， 其特征在于， 所述滚珠轴承 邻近所述主动轮的一端面上设有一轴承内挡圈， 且所述轴承内挡圏环绕所述传动轴。

6. 如权利要求 2所述的无尘式真空动力传送装置， 其特征在于， 还包括 O型密 封圈， 所述 O型密封圈分别密封连接所述轴承座与所述真空腔室的体壁。

7. 如权利要求 1所述的无尘式真空动力传送装置， 其特征在于， 还包括联轴器, 所述联轴器的两端分别连接所述传动轴与所述驱动机构的动力输出端。

8. 如权利要求 7所述的无尘式真空动力传送装置， 其特征在于， 所述驱动机构 为伺服电机， 且所述伺服电机的输出轴与所述联轴器连接。