CN101501355A - 轴承装置 - Google Patents

轴承装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101501355A
CN101501355A CNA2007800295453A CN200780029545A CN101501355A CN 101501355 A CN101501355 A CN 101501355A CN A2007800295453 A CNA2007800295453 A CN A2007800295453A CN 200780029545 A CN200780029545 A CN 200780029545A CN 101501355 A CN101501355 A CN 101501355A
Authority
CN
China
Prior art keywords
bearing
temperature
temperature transducer
rolling bearing
bearing means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2007800295453A
Other languages
English (en)
Inventor
森田公一
横山景介
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NSK Ltd filed Critical NSK Ltd
Publication of CN101501355A publication Critical patent/CN101501355A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/66Special parts or details in view of lubrication
    • F16C33/6637Special parts or details in view of lubrication with liquid lubricant
    • F16C33/6659Details of supply of the liquid to the bearing, e.g. passages or nozzles
    • F16C33/6674Details of supply of the liquid to the bearing, e.g. passages or nozzles related to the amount supplied, e.g. gaps to restrict flow of the liquid
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C19/00Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
    • F16C19/52Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions
    • F16C19/525Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions related to temperature and heat, e.g. insulation
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/66Special parts or details in view of lubrication
    • F16C33/6637Special parts or details in view of lubrication with liquid lubricant
    • F16C33/6659Details of supply of the liquid to the bearing, e.g. passages or nozzles
    • F16C33/667Details of supply of the liquid to the bearing, e.g. passages or nozzles related to conditioning, e.g. cooling, filtering
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/04Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving solid bodies
    • G01K13/08Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving solid bodies in rotary movement
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2322/00Apparatus used in shaping articles
    • F16C2322/39General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)
  • Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)

Abstract

轴承装置包括:滚动轴承(16),具有外圈(16a)、内圈(16b)和设置在这两个圈之间的滚动元件(16c);温度传感器(TS),用于测量滚动轴承中的温度;和润滑单元(22)。润滑单元根据温度传感器检测到的温度以一定的速度向滚动轴承供应润滑油。因此,可以提供即使在高速旋转的条件下也能具有足够长寿命的轴承装置。该轴承装置可以适于用于机床的主心轴。

Description

轴承装置
技术领域
本发明涉及一种适于使用在机床的心轴中的轴承装置,该轴承装置结合到高速滑动和旋转的机床的心轴支撑部或类似部分中,典型的机床例如是车床、钻床、镗床、铣床、磨床、珩磨床、超精加工机床、研磨机等。
背景技术
通常,用于支撑心轴的滚动轴承结合到上面示例性的机床的心轴中,并且一般要使用角接触球轴承、圆柱滚子轴承、或其组合。这里,机床的加工精度和生产能力很大程度取决于心轴的旋转速度,为了提高生产能力必须使心轴的旋转提速。然而,如果滚动轴承用在高速旋转的场合,轴承的产热显著增加,滚动元件与内/外圈之间的接触压力因离心力而增加。因此,心轴的使用条件显著变差,从而增加了轴承损坏的可能性,例如磨损、卡住等。此外,因高速旋转导致的产热增加,从而可能发生机床的热变形,这也会影响加工精度。
为了防止这些出现在轴承中的严重的不便,并避免加工精度因整个机床的热变形而降低,必须通过选择在高速旋转条件下合适的润滑系统,最大可能地抑制用于支撑心轴的滚动轴承中的热量产生。相反,用于支撑高速旋转的机床的心轴的滚动轴承的润滑获得伴随着润滑油供应的冷却效果,因此需要采用油气润滑方法、喷嘴润滑方法和座圈下润滑方法(参照日本专利公开No.2003-278773)。
发明内容
然而,如日本专利公开No.2003-278773中举例说明的,虽然存在关注于润滑油的量的传统技术,但是还没有以关注轴承的实际温度的同时适当地供应足量的润滑油为目标的技术。上述的传统技术难于以直接测量轴承在工作中的温度的方式适当地供应足量的润滑油。
本发明的目的是针对上述现有技术中所固有的问题而提供一种通过供应必要量的润滑油来提高可靠性的轴承装置。
根据本发明的轴承装置包括:滚动轴承,具有外圈、内圈和设置在内圈与外圈之间的滚动元件;温度传感器,用于测量滚动轴承的内部温度;和润滑单元,其中,润滑单元向滚动轴承供应对应于由温度传感器检测到的温度的量的润滑油。
根据本发明,润滑单元向滚动轴承供应对应于由温度传感器检测到的温度的量的润滑油,因此通过以高精度直接测量滚动轴承的内部温度而向滚动轴承适当地供应足量的润滑油,由此可以提供能够确保在高速旋转的条件下具有足够长寿命的轴承装置。
优选地,温度传感器这样来构造出,即,利用对应于精细图案的掩膜使涂覆在基板表面上的抗蚀剂曝光并使该精细图案在该基板表面上显影,通过溅射将金属膜沉积在该精细图案上,随后去除残留的抗蚀剂。该类型的温度传感器可以被制造成极薄的传感器,因此不需要较大的安装空间。因此,该温度传感器可以安装在轴承装置内部的随意位置,并可以高精度地测量所想要测量的部分的温度。
优选地,轴承装置用在机床的心轴中。
附图说明
图1是示出沿着根据一实施例的滚动装置的轴线的方向剖开的截面的截面图;
图2是放大地示出温度传感器TS的透视图;
图3是用于机床的心轴装置的截面图,其中图1所示的滚动轴承结合到该心轴装置中;
图4是示出润滑单元22的构造的视图;和
图5是示出滚动轴承在用于机床的心轴装置工作时的温度升高的模拟结果的曲线图。
具体实施方式
接下来,将参照附图描述本发明的实施例。图1是沿着用在本实施例中的滚动轴承的轴线的方向剖开的截面图。滚动轴承(角接触球轴承)16包括外圈16a、内圈16b、设置在两个圈16a、16b之间的用作滚动元件的球16c以及以相等的间隔沿周向保持球16c的保持架16d。外圈16a沿着其内周具有滚道面16e。内圈16b沿着其外周具有滚道面16f。球16c可以由诸如氮化硅、碳化硅等的陶瓷制成。
温度传感器TS通过粘结剂结合到外圈16a的除了滚道面16e以外的内周表面。从温度传感器TS延伸的电线通过端表面从外圈16a的内周表面拉到外部。应当指出,图1放大地示出了温度传感器TS的厚度。
图2是温度传感器TS的放大透视图。参照图2,温度传感器TS包括基板TSa和形成在基板TSa上的精细的电阻图案TSb。电阻图案TSb由一条线宽窄的单一铂线构成,并且,随着其总长度因基板TSa的膨胀或收缩而变化,其电阻值根据温度而改变,由此通过向电阻图案TSb施加电流来测量温度。
将描述温度传感器TS的制造方法。通过旋涂将厚度约为2μm的光致抗蚀剂(由东京Ohka Kogyo有限公司生产的OFRP800LB)涂覆在附着有用作绝缘膜的氧化膜的硅基板(厚度:200μm)的表面上,并进行90℃、8分钟的预烘焙处理。随后,利用对应于电阻图案TSb的掩膜(利用由Union Optical有限公司生产的掩模对准器EMA-400)使电阻图案TSb暴光,并通过使用显影溶液(由东京Ohka Kogyo有限公司生产的MND 3)进行显影。最后将该基板在超纯水中漂洗60秒。
随后,通过溅射方法将厚度约250nm的铂膜沉积在光致抗蚀剂上,并通过采用丙酮的剥离(lift-off)方法去除残留在基板上的光致抗蚀剂。在该处理之后,用切割装置将基板切成预定的芯片尺寸。对芯片上的铂电阻图案TSb进行布线。温度传感器TS的制造方法虽然不限于上述方法,但通过使用半导体微粉化技术,伴随着尺寸小型化,在传感器的大规模生产能力、尺寸小型化和反应方面表现优秀。
图3是用于机床的心轴装置的截面图,其中图1所示的滚动轴承结合到该心轴装置中。心轴装置100是采用使冷却油流到外壳体的外套结构的用于机床的装置。心轴装置100具有这样的结构,其中由不锈钢制成的耐压管10在心轴装置100内环绕延伸,并连接到喷嘴头12,该耐压管10的直径为φ1mm至φ3.2mm(这里,作为一个示例,φ1.6mm为外径,φ1.0mm为内径),以显示针对挠曲的柔韧性。由不锈钢制成的耐压管10是经受光泽退火处理(lusterannealing treatment)的管,因此是柔韧的,用手容易弯曲。此外,在压力下的管膨胀较小,从而该管适于提供极少量的润滑油。
心轴装置100包括心轴14、可旋转地支撑该心轴的多个滚动轴承16(在示意性示例中设置四个轴承16)、覆盖滚动轴承16的外部的内壳体18、以及覆盖心轴装置100的外部的外壳体20。定义为润滑油供给源的润滑单元22通过沿着轴向形成在外壳体20内的润滑油供给连通孔24并通过形成在内壳体18中的孔隙部86经由耐压管10连接到设置在内壳体18内的喷嘴头12。即,喷嘴头12是用于直接将微量的润滑油间歇地喷射到滚动轴承16的喷嘴元件。然后,耐压管10是用于将润滑单元22所喷射的润滑油引导到喷嘴头12的管。
外壳体20由围绕内壳体18的外周的外圆筒28、29和固定到外圆筒29的端表面的后盖32构成。滚动轴承16有两对,并且在轴向上以预定间隔设置,从而支撑心轴14的前侧和后侧,使得每对滚动轴承部分地负责支撑区域。各滚动轴承16的外圈的外径面密封地固定地安装到内壳体18的内周表面。滚动轴承16的外圈在最前面的部分以不能旋转的状态抵靠外圈压制元件34并从而与该外圈压制元件34接合。滚动轴承16的外圈在最后面的部分经由外圈压制元件36以不能旋转的状态与在轴向上由弹簧38弹性偏置的外圆筒28接合。此外,各滚动轴承16的内圈的内径面固定地安装到心轴14的外周表面,用于在轴向上固定滚动轴承16的间隔件40分别在前侧和后侧设置在各个滚动轴承16之间。
此外,如图所示,冷却凹槽42形成在内壳体18的外径部分中,从冷却单元(未示出)供应的冷却油沿着冷却凹槽42循环,从而对外壳体20进行冷却。即,基于外圆筒冷却系统,心轴装置100构造成具有冷却功能。要指出,在本实施例中,心轴14被水平支撑,然而,如果用于例如加工中心,则心轴14要被设置成垂直或倾斜。
接下来,解释润滑单元22。图4是示出润滑单元22的构造的视图。如图4所示,润滑单元22包括由具有有利性质的超磁致伸缩体制成的杆元件46,其中杆元件46在轴向上的一个端部46a通过预装载的调节机构48固定到壳体50。在施加磁场时,杆元件46凭借磁致伸缩现象(焦耳效应)在轴线方向上伸展。
预装载的调节机构48可以通过使用例如螺旋机构而引入,该螺旋机构通过旋转在杆元件46的轴线方向上伸出,并能使杆元件46的一个端部46a受到挤压。通过朝预装载的调节机构48偏置杆元件46而无间隙(游隙)地沿杆元件46的轴向传递压力的压力传递元件52设置在杆元件46的在轴线方向上的另一端部46b。杆元件46通过压力传递元件52连接到活塞54。活塞54可滑动地设置在气缸56的内部,泵室由气缸56和活塞54构造出。
气缸56具有用于向泵室供应润滑油的吸入流动路径58。由用于防止润滑油从泵室回流的止回阀构造出的吸入侧止回阀60沿着通向吸入流动路径58的吸入口59的流动路径设置在中途。此外,气缸56具有用于排出从泵室排出的润滑油的排出流动路径62。由用于防止润滑油被引入到泵室中的止回阀构造出的排出侧止回阀64沿着通向排出流动路径62的排出口63的流动路径设置在中途。
线圈66围绕杆元件46的外周共轴地设置,并且与杆元件46构成磁路的由磁性材料构成的磁轭68设置在线圈66的外部。此外,驱动电路70电连接到线圈66。驱动电路70接收对应于由温度传感器TS测量到的温度的信号,并输出用于产生与此相应的磁场的电流。该电流被施加到线圈66,由此杆元件46接收线圈66产生的磁场,并伸展,结果通过吸入流动路径58供应并停留在泵室中的润滑油通过排出流动路径62而从排出口63排出。排出的润滑油通过耐压管10从喷嘴头12排出。此时,每次射出的排出量小到0.5至10mm3,并且润滑油在1MPa或更大的排出压力下被间歇地排出。
本发明的发明人在将由上述方法制造出的温度传感器TS安装到外圈16a的滚道面16e的滚动轴承16组装到如图3所示的心轴装置时、并且以基于温度传感器TS的温度测量结果来调节润滑单元22的润滑油的量的方式供应润滑油的情况下(启用反馈控制),以及在润滑单元22的润滑油与温度无关地间歇供应的情况下(不启用反馈控制),对滚动轴承16的温度变化进行了模拟。图5示出了在环境温度为25℃、20,000rpm旋转一小时的条件下对温度变化进行模拟的结果。在润滑单元22的润滑油间歇供应的情况下,以固定的时间间隔供应固定量的润滑油,从而产生这样的问题,即,轴承温度难于稳定。相反,在温度传感器TS实时测量温度信息并以基于测量到的温度信息控制润滑油的供应时机和供应量的方式从润滑单元22供应润滑油的情况下,可以理解的是,轴承温度高度稳定。
到目前为止,已经通过实施例讨论了本发明,但本发明不应当被解释为限制于上面描述的实施例,而是当然地可以适当地变型和改进。例如,如虚线所指示的,温度传感器TS可以设置在外圈16a的滚道面16e(部分A)、保持架16d(部分B)和内圈16b(部分C)上。温度传感器的安装部分不限于上面给出的那些,而是温度传感器可以安装到滚动轴承16的任何部分。来自温度传感器TS的信息被无线(IC标签,等)接收并传送到驱动电路70,而无需限制为有限装置,并且该信息被分析,从而可以从润滑单元22供应足量的润滑油。此外,温度传感器TS还可以由包括异种金属薄膜的热电偶类型的传感器构造出。
工业应用性
如上所述,根据本发明的轴承装置由于即使在高速旋转下也能适当地供应足量的润滑油到滚动轴承并能够确保足够长的寿命,因此是有用的,且适于用于机床的心轴。

Claims (5)

1.一种轴承装置,包括:
滚动轴承,具有外圈、内圈和设置在所述内圈与所述外圈之间的滚动元件;
温度传感器,用于测量所述滚动轴承的内部温度;和
润滑单元,
其中,所述润滑单元向所述滚动轴承供应对应于由所述温度传感器检测到的温度的量的润滑油。
2.根据权利要求1的轴承装置,其中,所述温度传感器这样来构造出,即,利用对应于精细图案的掩膜使涂覆在基板表面上的抗蚀剂曝光并使该精细图案在该基板表面上显影,通过溅射将金属膜沉积在该精细图案上,随后去除残留的抗蚀剂。
3.根据权利要求1或2的轴承装置,其中,所述温度传感器设置在滚道面、邻近滚道面的部分、或者用于保持所述滚动元件的保持架上。
4.根据权利要求1-3中任一项的轴承装置,其中,所述润滑单元基于由所述温度传感器检测到的温度基本上实时地控制润滑油的供应时机和供应量。
5.根据权利要求1-4中任一项的轴承装置,其中,所述轴承装置用在机床的心轴中。
CNA2007800295453A 2006-06-23 2007-03-13 轴承装置 Pending CN101501355A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP173272/2006 2006-06-23
JP2006173272A JP5607285B2 (ja) 2006-06-23 2006-06-23 軸受装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011100077989A Division CN102128210A (zh) 2006-06-23 2007-03-13 轴承装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101501355A true CN101501355A (zh) 2009-08-05

Family

ID=38833198

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011100077989A Pending CN102128210A (zh) 2006-06-23 2007-03-13 轴承装置
CNA2007800295453A Pending CN101501355A (zh) 2006-06-23 2007-03-13 轴承装置

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011100077989A Pending CN102128210A (zh) 2006-06-23 2007-03-13 轴承装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8221001B2 (zh)
EP (1) EP2037141B1 (zh)
JP (1) JP5607285B2 (zh)
CN (2) CN102128210A (zh)
WO (1) WO2007148454A1 (zh)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102032277A (zh) * 2010-11-19 2011-04-27 上海师范大学 一种基于温度的轴承自动润滑方法及相关装置
CN102116408A (zh) * 2010-11-19 2011-07-06 上海师范大学 一种基于振动的轴承自动润滑方法及相关电器控制系统
CN102594032A (zh) * 2011-01-14 2012-07-18 瑞美技术有限责任公司 具有集成的转子温度传感器的电机
CN102594033A (zh) * 2011-01-14 2012-07-18 瑞美技术有限责任公司 具有集成的轴承温度传感器的电机
CN103185075A (zh) * 2012-01-02 2013-07-03 Skf公司 用于润滑轴承的组件
CN107250754A (zh) * 2015-02-19 2017-10-13 日本精工株式会社 异常诊断系统
CN107420432A (zh) * 2016-03-25 2017-12-01 株式会社捷太格特 轴承装置
CN107504083A (zh) * 2017-10-24 2017-12-22 无锡民联汽车零部件有限公司 内置温度记录芯片监测动态温度变化的轴承
CN107532969A (zh) * 2015-04-30 2018-01-02 日本精工株式会社 异常诊断系统
CN108884965A (zh) * 2016-04-28 2018-11-23 日本精工株式会社 润滑剂劣化检测装置、润滑剂劣化状态评价方法
CN112739920A (zh) * 2018-07-31 2021-04-30 江森自控科技公司 主动轴承温度控制
CN113825913A (zh) * 2019-04-16 2021-12-21 江森自控泰科知识产权控股有限责任合伙公司 用于压缩机润滑系统的流体流量控制
CN115045910A (zh) * 2022-05-24 2022-09-13 清华大学 自检测自反馈的智能关节轴承

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007032204A1 (ja) * 2005-09-15 2007-03-22 Ntn Corporation 転がり軸受、鉄道車両用主電動機の主軸支持構造、および軸受構造
JP2010133550A (ja) * 2008-10-29 2010-06-17 Nsk Ltd 工作機械の主軸装置用軸受、工作機械の主軸装置、及び、工作機械、並びに工作機械の主軸装置の制御方法
JP5347563B2 (ja) * 2009-02-26 2013-11-20 日本精工株式会社 工作機械用主軸装置、及び工作機械
DE102009037424A1 (de) * 2009-08-13 2011-02-17 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Lageranordnung mit Schmiermittelsensor
DE102010049552B4 (de) * 2010-10-25 2012-05-31 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Wälzlagersensor, Wälzlager mit einem Wälzlagersensor und Anordnung eines Wälzlagersensors
CN102267791A (zh) * 2011-06-14 2011-12-07 逸盛大化石化有限公司 一种pta装置中污泥脱水的处理方法
JP5876237B2 (ja) * 2011-06-27 2016-03-02 Ntn株式会社 玉軸受用の合成樹脂製保持器および玉軸受
DE102012200777A1 (de) * 2012-01-20 2013-07-25 Aktiebolaget Skf Lagervorrichtung
CN102853241B (zh) * 2012-05-31 2015-08-19 南京工业大学 一种回转支承磨损量在线检测及润滑脂自动加注方法
EP2877344B1 (en) 2012-07-27 2019-07-03 Arkema France Multilayer structures containing biopolymers
DE102013100988A1 (de) * 2013-01-31 2014-07-31 Baier & Köppel GmbH & Co. Vorrichtung zur zustandsabhängigen Schmierung wenigstens einer Gleit- und/oder Wälzpaarung
JP5291260B1 (ja) * 2013-02-01 2013-09-18 巴工業株式会社 横型遠心分離装置及び横型遠心分離装置の制御方法
JP6215569B2 (ja) * 2013-05-10 2017-10-18 Ntn株式会社 転がり軸受装置
JP5541397B2 (ja) * 2013-07-01 2014-07-09 日本精工株式会社 工作機械用主軸装置、及び工作機械
JP6648432B2 (ja) * 2015-07-14 2020-02-14 株式会社ジェイテクト 軸受装置及び給油ユニット
JP6831162B2 (ja) * 2016-11-10 2021-02-17 Ntn株式会社 軸受装置の冷却構造
JP6828478B2 (ja) * 2017-02-06 2021-02-10 株式会社ジェイテクト 軸受装置
JP2018158412A (ja) * 2017-03-23 2018-10-11 株式会社東洋機械製作所 微細加工機
JP7362239B2 (ja) * 2018-02-13 2023-10-17 Ntn株式会社 軸受装置およびスピンドル装置
DE102019200439A1 (de) * 2019-01-16 2020-07-16 Aktiebolaget Skf System und Verfahren
CN109693144A (zh) * 2019-02-22 2019-04-30 江苏思维福特机械科技股份有限公司 一种油脂自动补给的电主轴系统及补给方法
JP7390139B2 (ja) * 2019-09-05 2023-12-01 ミネベアミツミ株式会社 センサモジュール、ひずみ検出装置
EP4000740A1 (en) 2020-11-19 2022-05-25 Alfa Laval Corporate AB A method of greasing a decanter centrifuge
TWI742970B (zh) * 2020-12-21 2021-10-11 財團法人工業技術研究院 潤滑油量調整系統及潤滑油量調整方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3146020C2 (de) * 1981-11-20 1985-11-07 Danfoss A/S, Nordborg Temperaturabhängiger Widerstand, insbesondere für Widerstandsthermometer
DE19540194C1 (de) * 1995-10-30 1997-02-20 Heraeus Sensor Gmbh Widerstandsthermometer aus einem Metall der Platingruppe
JPH11166549A (ja) 1997-12-02 1999-06-22 Nippei Toyama Corp 軸受部の潤滑油量制御装置
JP2912896B1 (ja) * 1998-02-12 1999-06-28 光磊科技股▲分▼有限公司 白金抵抗温度計の検出素子の製造方法及びその方法で製造された検出素子
US6357922B1 (en) 2000-02-24 2002-03-19 The Timken Company Lubrication system for high speed antifriction bearings
JP2003278773A (ja) 2002-03-05 2003-10-02 Ntn Corp 転がり軸受のエアオイル潤滑構造およびスピンドル装置
JP4296392B2 (ja) * 2003-04-14 2009-07-15 株式会社ジェイテクト 軸受装置
DE102004034185B3 (de) 2004-07-15 2006-01-05 Zitzmann, Heinrich, Dr. Temperaturfühler und Verfahren zu dessen Herstellung

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102116408A (zh) * 2010-11-19 2011-07-06 上海师范大学 一种基于振动的轴承自动润滑方法及相关电器控制系统
CN102032277A (zh) * 2010-11-19 2011-04-27 上海师范大学 一种基于温度的轴承自动润滑方法及相关装置
CN102594032A (zh) * 2011-01-14 2012-07-18 瑞美技术有限责任公司 具有集成的转子温度传感器的电机
CN102594033A (zh) * 2011-01-14 2012-07-18 瑞美技术有限责任公司 具有集成的轴承温度传感器的电机
CN103185075A (zh) * 2012-01-02 2013-07-03 Skf公司 用于润滑轴承的组件
CN107250754A (zh) * 2015-02-19 2017-10-13 日本精工株式会社 异常诊断系统
CN107532969A (zh) * 2015-04-30 2018-01-02 日本精工株式会社 异常诊断系统
CN107420432A (zh) * 2016-03-25 2017-12-01 株式会社捷太格特 轴承装置
CN108884965A (zh) * 2016-04-28 2018-11-23 日本精工株式会社 润滑剂劣化检测装置、润滑剂劣化状态评价方法
CN107504083A (zh) * 2017-10-24 2017-12-22 无锡民联汽车零部件有限公司 内置温度记录芯片监测动态温度变化的轴承
CN112739920A (zh) * 2018-07-31 2021-04-30 江森自控科技公司 主动轴承温度控制
CN113825913A (zh) * 2019-04-16 2021-12-21 江森自控泰科知识产权控股有限责任合伙公司 用于压缩机润滑系统的流体流量控制
CN115045910A (zh) * 2022-05-24 2022-09-13 清华大学 自检测自反馈的智能关节轴承

Also Published As

Publication number Publication date
EP2037141B1 (en) 2013-10-16
US20100166352A1 (en) 2010-07-01
WO2007148454A1 (ja) 2007-12-27
CN102128210A (zh) 2011-07-20
JP2008002591A (ja) 2008-01-10
EP2037141A4 (en) 2010-08-18
US8221001B2 (en) 2012-07-17
JP5607285B2 (ja) 2014-10-15
EP2037141A1 (en) 2009-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101501355A (zh) 轴承装置
US6186865B1 (en) Apparatus and method for performing end point detection on a linear planarization tool
TW200900602A (en) Preload adjusting method in rolling bearing assembly and device therefor
TW201734329A (zh) 軸承裝置
JP7411347B2 (ja) 潤滑油供給ユニットおよび軸受装置
JP5830793B2 (ja) 工作機械の主軸装置用軸受、工作機械の主軸装置、及び、工作機械
JP2022157008A (ja) 軸受装置およびスピンドル装置
US5667314A (en) Horizontal thrust bearing assembly
JP2003156038A (ja) 転がり軸受の運転状態監視装置
JP2530959B2 (ja) リング外面又はリング内面におけるリングの精密研磨方法及び装置
JP5626708B2 (ja) 軸受装置
JP5702121B2 (ja) 位置調節のできる転がり軸受のためのスペーサ
JP2005076858A (ja) ロータリー分配弁及び潤滑装置
JP2001315041A (ja) 主軸装置
JP6881133B2 (ja) 真空用軸受の振動測定装置
JP2002166361A (ja) ローラ軸支装置
JP2016087780A (ja) 研磨装置および研磨方法
US6402602B1 (en) Rotary union for semiconductor wafer applications
JP7411405B2 (ja) 軸受装置、スピンドル装置、軸受、および間座
CN116323051A (zh) 轴承装置
JP2001054803A (ja) 予圧制御型スピンドルユニット
JP7489763B2 (ja) 軸受装置および工作機械
JPH03163214A (ja) 軸受装置
JPH0317621B2 (zh)
JP6829404B2 (ja) 切断装置及び切断方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C12 Rejection of a patent application after its publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Open date: 20090805