JP2018158412A - 微細加工機 - Google Patents

Abstract

【課題】 横型とすることにより構成の簡略化、装置の小型化を図るともに、熱的影響を緩和することができる微細加工機を提供すること。【解決手段】 基台と、基台に設置され横方向であるＺ軸方向に移動可能に設置されたＺ軸テーブルと、Ｚ軸テーブルに設置され上記Ｚ軸方向に直交する横方向であるＸ軸方向に移動可能に設置されたＸ軸テーブルと、Ｘ軸テーブルに設置された主軸装置と、基台であって主軸に対向するように配置されＺ軸方向とＸ軸方向に直交する縦方向であるＹ軸方向に移動可能に設置されたＹ軸テーブルと、Ｙ軸テーブルに設置されワークを着脱可能に保持するワーク保持手段とを具備し、主軸装置はモータと、モータにより回転せられ加工工具を着脱可能に保持する主軸とから構成されていて、モータはステータと、ステータの外周に回転可能に設置され全部又は一部が銅製のロータと、から構成されているもの。【選択図】 図１

Description

本発明は、例えば、精密金型の加工を行う微細加工機に係り、特に、横型とすることにより構成の簡略化、装置の小型化を図るとともに、熱的影響を緩和させて加工精度の向上を図ることができるように工夫したものに関する。

従来の微細加工機の構成を開示するものとして、例えば、特許文献１、特許文献２、等がある。

上記特許文献１、特許文献２に開示されている微細加工機は、何れも「縦型」である。
まず、特許文献１に記載されている立型加工機は概略次のような構成になっている。まず、ベッドがあり、このベッド上にはＸ軸移動テーブルがＸ軸方向に移動可能に設置されている。上記Ｘ軸移動テーブル上にはフレームを介してワークが保持されている。
一方、上記ベッドにはコラムが立設されていて、このコラムには上下動アームが上下動可能に取り付けられている。上記上下動アームには主軸が取り付けられていて、この主軸に工具が着脱可能に取り付けられている。
そして、上記工具を上下動させるとともに上記ワークをＸ軸方向に移動させながら所望の加工を施す。

又、上記特許文献２に開示されている加工機械は概略次のような構成になっている。まず、ワーク保持手段があり、このワーク保持手段はベースを備えていて、このベース上にはテーブルが設置されている。このテーブルにはチャックが設置されていて、このチャックによってワークが保持されている。
一方、Ｚ軸スライダが三軸方向、すなわち、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に移動可能に設置されていて、このＺ軸スライダには主軸が着脱可能に取り付けられている。この主軸に工具が着脱可能に取り付けられている。
そして、Ｚ軸スライダを三軸方向に移動させながら工具によってワークに対して所望の加工を施す。

特開２０１５−２０２３９号公報

特開２００６−９５６１８号公報

上記従来の構成によると次のような問題があった。
すなわち、特許文献１、特許文献２の何れに開示されている微細加工機は、何れも「縦型」であり、「縦型」の場合には構成が複雑化してしまうとともに装置が大型化してしまうという問題があった。
これに対しては、「横型」の微細加工機を採用することが考えられるが、「横型」の場合には熱的影響を受け易くその改善が要求されていた。

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、横型とすることにより構成の簡略化、装置の小型化を図るともに、熱的影響を緩和することができる微細加工機を提供することにある。

上記課題を解決するべく本願発明の請求項１による微細加工機は、基台と、上記基台に設置され横方向であるＺ軸方向に移動可能に設置されたＺ軸テーブルと、上記Ｚ軸テーブルに設置され上記Ｚ軸方向に直交する横方向であるＸ軸方向に移動可能に設置されたＸ軸テーブルと、上記Ｘ軸テーブルに設置された主軸装置と、上記基台であって上記主軸に対向するように配置され上記Ｚ軸方向とＸ軸方向に直交する縦方向であるＹ軸方向に移動可能に設置されたＹ軸テーブルと、上記Ｙ軸テーブルに設置されワークを着脱可能に保持するワーク保持手段と、を具備し、上記主軸装置はモータと、上記モータにより回転せられ加工工具を着脱可能に保持する主軸と、から構成されていて、上記モータはステータと、上記ステータの外周に回転可能に設置され全部又は一部が銅製のロータと、から構成されていることを特徴とするものである。
又、請求項２による微細加工機は、請求項１記載の微細加工機において、上記モータの外周には冷却液循環機構が設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項３による微細加工機は、請求項１又は請求項２記載の微細加工機において、上記Ｚ軸テーブルはＺ軸駆動手段によって駆動され、上記Ｘ軸テーブルはＸ軸駆動手段によって駆動され、上記Ｙ軸テーブルはＹ軸駆動手段によって駆動され、上記Ｚ軸駆動手段、上記Ｘ軸駆動手段、上記Ｙ軸駆動手段はリニアシャフトモータを使用するものであることを特徴とするものである。
又、請求項４による微細加工機は、請求項１〜請求項３の何れかに記載の微細加工機において、上記主軸においてセラミックス製軸受を使用していることを特徴とするものである。
又、請求項５による微細加工機は、請求項４記載の微細加工機において、オイルエア潤滑方式によって上記セラミックス製軸受の発熱を抑制するようにしていることを特徴とするものである。
又、請求項６による微細加工機は、請求項１〜請求項５の何れかに記載の微細加工機において、上記基台、上記Ｚ軸テーブル、上記Ｘ軸テーブル、上記Ｙ軸テーブルの一部を低膨張鋳物製としたことを特徴とするものである。
又、請求項７による微細加工機は、請求項１〜請求項６の何れかに記載の微細加工機において、上記基台の前面側には切削油タンクが基台とは切り離して設けられていることを特徴とするものである。
又、請求項８による微細加工機は、請求項７記載の微細加工機において、上記基台であって上記主軸と上記ワーク保持手段の間の下には切削油及び切粉を上記切削油タンクに排出する切削油・切粉排出傾斜板が設置されていることを特徴とするものである。

以上述べたように本願発明の請求項１による微細加工機によると、基台と、上記基台に設置され横方向であるＺ軸方向に移動可能に設置されたＺ軸テーブルと、上記Ｚ軸テーブルに設置され上記Ｚ軸方向に直交する横方向であるＸ軸方向に移動可能に設置されたＸ軸テーブルと、上記Ｘ軸テーブルに設置された主軸装置と、上記基台であって上記主軸に対向するように配置され上記Ｚ軸方向とＸ軸方向に直交する縦方向であるＹ軸方向に移動可能に設置されたＹ軸テーブルと、上記Ｙ軸テーブルに設置されワークを着脱可能に保持するワーク保持手段と、を具備し、上記主軸装置はモータと、上記モータにより回転せられ加工工具を着脱可能に保持する主軸と、から構成されていて、上記モータはステータと、上記ステータの外周に回転可能に設置され全部又は一部が銅製のロータと、から構成されているので、まず、横型化することにより構成の簡略化、装置の小型化を図ることができる。又、銅製のロータの採用によりモータのトルク特性を向上させてその小型化を図ることができる。このモータの小型化は上記装置の小型化を加速させるとともに熱的影響を緩和させることができる。
又、請求項２による微細加工機によると、請求項１記載の微細加工機において、上記モータの外周には冷却液循環機構が設置されているので、熱的影響を緩和させることができる。
又、請求項３による微細加工機によると、請求項１又は請求項２記載の微細加工機において、上記Ｚ軸テーブルはＺ軸駆動手段によって駆動され、上記Ｘ軸テーブルはＸ軸駆動手段によって駆動され、上記Ｙ軸テーブルはＹ軸駆動手段によって駆動され、上記Ｚ軸駆動手段、上記Ｘ軸駆動手段、上記Ｙ軸駆動手段はリニアシャフトモータを使用するものであるので、加工精度の向上を図ることができる。
又、請求項４による微細加工機によると、請求項１〜請求項３の何れかに記載の微細加工機において、上記主軸においてセラミックス製軸受を使用しているので、熱的影響を緩和させることができる。
又、請求項５による微細加工機によると、請求項４記載の微細加工機において、オイルエア潤滑方式によって上記セラミックス製軸受の発熱を抑制するようにしているので、熱的影響を緩和させることができる。
又、請求項６による微細加工機によると、請求項１〜請求項５の何れかに記載の微細加工機において、上記基台、上記Ｚ軸テーブル、上記Ｘ軸テーブル、上記Ｙ軸テーブルの一部を低膨張鋳物製としたので、熱的影響を緩和させることができる。
又、請求項７による微細加工機によると、請求項１〜請求項６の何れかに記載の微細加工機において、上記基台の前面側には切削油タンクが基台とは切り離して設けられているので、熱的影響を緩和させることができる。
又、請求項８による微細加工機によると、請求項７記載の微細加工機において、上記基台であって上記主軸と上記ワーク保持手段の間の下には切削油及び切粉を上記切削油タンクに排出する切削油・切粉排出傾斜板が設置されているので、熱的影響を緩和させることができる。

本発明の一実施の形態を示す図で、微細加工機の構成を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、微細加工機の構成を示す平面図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、微細加工機の正面図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、微細加工機の側面図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、主軸の縦断面図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、図５のＶＩ―ＶＩ矢視図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、図７（ａ）はチャックでワークを把持した状態を示す斜視図、図７（ｂ）はチャックでワークを把持した状態を示す平面図、図７（ｃ）はチャックでワークを把持した状態を示す正面図である。 本発明の一実施の形態を説明するための図で、銅ロータモータとアルミロータモータのトルク特性を対比して示す特性図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、軸受に対するオイルミストの供給・排出経路を示す系統図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、冷却油の供給・排出経路を示す系統図である。

以下、図１乃至図１０を参照して本発明の一実施の形態を説明する。図１は本実施の形態による微細加工機の全体の構成を示す斜視図、図２は同上の平面図、図３は同上の正面図、図４は同上の側面図であり、まず、基台１がある。この基台１は鋼板等により略直方体形状に構成されている。上記基台１上にはＺ軸ベース３が設置されていて、このＺ軸ベース３上にはＺ軸テーブル５がＺ軸方向に移動可能に設置されている。上記Ｚ軸テーブル５はＺ軸方向駆動機構７によって駆動される。

上記Ｚ軸方向駆動機構７は次のような構成をなしている。まず、リニアシャフトモータ９、９が設置されている。上記Ｚ軸テーブル５は上記リニアシャフトモータ９、９の可動子に搭載されており、リニアシャフトモータ９、９が駆動されることにより、Ｚ軸方向に移動する。

又、上記Ｚ軸ベース３とＺ軸テーブル５との間にはリニアガイド１１、１１が設置されている。上記リニアガイド１１は、上記Ｚ軸ベース３上に設置されたＺ軸レール１３と、上記Ｚ軸テーブル５に取り付けられたＺ軸ガイド１５、１５（図中片側のみ示す）と、から構成されていて、上記Ｚ軸ガイド１５、１５は上記Ｚ軸レール１３に移動可能に係合している。上記Ｚ軸ガイド１５と上記Ｚ軸レール１３との間には図示しないローラ循環機構が設置されている。

上記Ｚ軸テーブル５上にはＸ軸テーブル１７がＺ軸方向に直交するＸ軸方向に移動可能に設置されている。上記Ｘ軸テーブル１７はＸ軸方向駆動機構１９によって駆動される。上記Ｘ軸テーブル１７は低膨張鋳物製である。
上記Ｘ軸方向駆動機構１９は次のような構成をなしている。まず、リニアシャフトモータ２１が設置されている。上記Ｘ軸テーブル１７は上記リニアシャフトモータ２１の可動子に搭載されており、リニアシャフトモータ２１が駆動されることにより、Ｘ軸方向に移動する。

又、上記Ｚ軸テーブル５とＸ軸テーブル１７との間にはリニアガイド２３、２３が設置されている。上記リニアガイド２３は、上記Ｚ軸テーブル５上に設置されたＸ軸レール２５と、上記Ｘ軸テーブル１７に取り付けられたＸ軸ガイド２７、２７（図中片側のみ示す）と、から構成されていて、上記Ｘ軸ガイド２７、２７は上記Ｘ軸レール２５に移動可能に係合している。上記Ｘ軸ガイド２７と上記Ｘ軸レール２５との間には図示しないローラ循環機構が設置されている。

上記Ｘ軸テーブル１７上には主軸装置２９が設置されている。この主軸装置２９については追って詳細に説明する。

上記基台１上であって上記主軸装置２９に対向する側には低膨張鋳物製のＹ軸ベース３１が立設されている。上記Ｙ軸ベース３１の上記主軸装置２９側にはＹ軸テーブル３３がＺ軸方向とＸ軸方向に直交するＸ軸方向に移動可能に設置されている。上記Ｙ軸テーブル３３はＹ軸方向駆動機構３５によって駆動される。

上記Ｙ軸方向駆動機構３５は次のような構成をなしている。まず、リニアシャフトモータ３７、３７が設置されている。上記Ｙ軸テーブル３３は上記リニアシャフトモータ３７、３７の可動子に搭載されており、リニアシャフトモータ３７、３７が駆動されることにより、Ｙ軸方向に移動する。

又、上記Ｙ軸ベース３１とＹ軸テーブル３３との間にはリニアガイド３９、３９が設置されている。上記リニアガイド３９は、上記Ｙ軸ベース３１上に設置されたＹ軸レール４１と、上記Ｙ軸テーブル３３に取り付けられたＹ軸ガイド４３、４３（図中片側のみ示す）と、から構成されていて、上記Ｙ軸ガイド４３、４３は上記Ｙ軸レール４１に移動可能に係合している。上記Ｙ軸ガイド４３と上記Ｙ軸レール４１との間には図示しないローラ循環機構が設置されている。

また、上記Ｙ軸テーブル３３の上記主軸装置２９側にはワーク保持装置４５が設置されている。このワーク保持装置４５としては様々な構成のものが考えられる。

上記基台１の前面側には切削油タンク５１が基台１に対して僅かに離間した状態で設置されている。一方、基台１上であって上記主軸装置２９とワーク保持装置４５の下方には切削油・切粉排出板５３が傾斜した状態で設置されている。上記切削油・切粉排出板５３の先端には切削油・切粉排出シュート５５が連結されている。上記主軸装置２９とワーク保持装置４５の間の加工部位から下方に落下した切削油と切粉は、上記切削油・切粉排出板５３及び上記切削油・切粉排出シュート５５を介して上記切削油タンク５１に排出される。
尚、切粉は上記切削油タンク５１の入口に設置された図示しないスクリーンによって除去される。

また、上記基台１の前面側には切削油循環ポンプ５７が設置されていて、上記切削油タンク５１内に回収された切削油はこの切削油循環ポンプ５７によって循環される。

上記主軸装置２９は図５、図６に示すような構成になっている。まず、低膨張鋳物製のハウジング６１があり、このハウジング６１内にはモータ６３が内装されている。このモータ６３はステータ６５と、このステータ６５の内周側に回転可能に配置されたロータ６７と、から構成されている。上記ステータ６５のコイル６９に電流を流すことによりロータ６７が回転される構成になっている。

上記ロータ６７の内周側には主軸７１が内装・固着されていて、上記ロータ６７が回転することによりこの主軸７１も同方向に回転されることになる。上記主軸７１は上記ハウジング６１との間に設置された前側軸受７３、後側軸受７５、７７、７９によって軸支されている。上記前側軸受７３は外輪７３ａと、内綸７３ｂと、これら外輪７３ａ、内綸７３ｂの間に介装された複数個の転動体７３ｃと、から構成されている。
尚、軸受７５、７７、７９も同様の構成になっており、図中各番号にａ、ｂ、ｃ符号を付して示す。

上記主軸７１の先端には加工工具保持機構８１が設置されていて、この加工工具保持機構８１によって任意の加工工具８３が着脱可能に保持される。
尚、上記加工工具保持機構８１としては様々な構成のものがある。

又、上記ワーク保持装置４５によって、例えば、図７に示すように、ワーク９１が把持される。上記ワーク９１は、例えば、略直方体形状をなす金属の塊であり、このワーク９１に対して上記加工工具８３によって所定の加工を施し、図示するように、微細な突起９３、９５、等を形成していくものである。
尚、上記ワーク保持機構４５としては様々な構成のものが考えられる。

ところで、本実施の形態の場合には、上記モータ６３のロータ６７を銅製としている。ロータ６７を銅製とした理由は、トルク特性の向上、熱的影響の緩和、である。以下、詳細に説明する。
図８はアルミ製ロータと銅製ロータのトルク特性を比較して示す特性図であり、横軸に回転数をとるとともに縦軸にトルクをとり、両者の関係を示した図である。この図８から明らかなように、同一トルク（図８中符号Ｃで示す。）で両者の回転数をみると、アルミロータの回転数（図８中符号Ａで示す。）に対して銅ロータの回転数（図８中符号Ｂで示す。）の方が高くなっている。つまり、銅ロータの方が小さなトルクで同じ出力を発生させることができる。特に銅ロータは、高速回転時でのトルク特性に優れており、銅ロータはアルミロータに比べ小型で同じトルク出力を発生させることができる。
本実施の形態ではこのような理由から銅製のロータ６７を採用している。

又、図５に示すように、上記モータ６３の外周側には螺旋状の冷却油循環路１０１が設けられている。この冷却油循環路１０１内に冷却油を循環させることにより、上記モータ６３における発熱を抑制し、熱的影響を緩和させるようにしている。

尚、本実施の形態による微細加工機には図示しない加工工具自動交換機構、ワーク自動交換機構、が併設されていて、上記加工工具８３は適宜自動的に交換される。又、上記ワーク９１も適宜自動的に交換される。
又、図示しない制御装置があり、この制御装置によって予め入力されたプログラムに基づいて所定の制御が実行される。

前記前側軸受７３、７５、後側軸受７７、７９には図示しないオイルミスト供給・排出装置よりオイルミストが供給・排出されるように構成されている。すなわち、図５、図９に示すように、上記オイルミスト供給・排出装置と上記前側軸受７３、７５との間には、オイルミスト供給路１１１が設けられているとともに、オイルミスト排出路１１３、１１５が設けられている。同様に、上記オイルミスト供給・排出装置と上記後側軸受７７、７９との間には、オイルミスト供給路１１７、オイルミスト排出路１１９が設けられている。上記前側軸受７３、７５、後側軸受７７、７９にオイルミストを供給・排出することにより前側軸受７３、７５、後側軸受７７、７９における潤滑性能の向上を図るようにしている。

又、図１０に示すように、上記冷却油潤滑路１０１には、冷却油供給・排出装置１２１より冷却油が供給・排出されるように構成されている。上記冷却油供給・排出装置１２１には、冷却油タンク１２３があり、この冷却油タンク１２３には冷却油供給ポンプ１２５が設置されている。上記冷却油タンク１２３には給油口１２２が設けられているとともに液位計１２４が設置されている。上記冷却油供給ポンプ１２５の吸込側にはサクションフィルタ１２６が取り付けられている。上記冷却油タンク１２３内の冷却油は、上記冷却油供給ポンプ１２５によって吸引され、冷却油供給路１２７を介して上記冷却油潤滑路１０１に供給される。又、冷却油潤滑路１０１内に供給された冷却油は冷却油排出路１２９を介して上記冷却油タンク１２３内に戻される。

又、上記冷却油供給路１２７には別の冷却油供給路１３１、１３３、１３５が分岐・接続されていて、これら冷却油供給路１３１、１３３、１３５を介して、前記Ｘ軸リニアシャフトモータ２１、Ｙ軸リニアシャフトモータ３７、Ｚ軸リニアシャフトモータ９にも冷却油が供給される。上記Ｘ軸リニアシャフトモータ２１、Ｙ軸リニアシャフトモータ３７、Ｚ軸リニアシャフトモータ９に供給された冷却油は冷却油排出路１３７、１３９、１４１を介して排出される。上記冷却油排出路１３７、１３９、１４１は上記冷却油排出路１２９に集合されており、上記Ｘ軸リニアシャフトモータ２１、Ｙ軸リニアシャフトモータ３７、Ｚ軸リニアシャフトモータ９から排出された冷却油は上記冷却油排出路１２９を介して冷却油タンク１２３に戻される。

上記冷却油供給路１２７には冷却器１４３が介挿されている。この冷却器１４３には冷却ユニット１４５が併設されている。この冷却ユニット１４５は、コンプレッサ１４７、コンデンサ１４９、ファンモータ１５１、パルス膨張弁１５３、サイトグラス１５５、レシーバタンク１５７、ドライヤ１５９、圧力スイッチ１６１、サービスバルブ１６３、パルスバイパス弁１６５、等から構成されている。
尚、図１０中符号１６７、１６９はセンサである。
又、図１乃至図３に示すように、主軸装置２９には切削油供給ホース１７１、１７３が設置されていて、これら切削油供給ホース１７１、１７３には図示しない切削油供給装置が接続されている。

以上の構成を基にその作用を説明する。
まず、図示しない加工工具自動交換機構によって、加工工具保持機構８１に所定の加工工具８３が取り付けられる。次いで、ワーク自動交換機構によってワーク保持機構４５に所定のワーク９１が取り付けられる。
次いで、Ｚ軸方向駆動機構７、Ｘ軸方向駆動機構１９、Ｙ軸方向駆動機構３５が適宜駆動制御され、加工工具８３によってワーク９１に所定の加工が施される。
その際、切削油供給ホース１７１、１７３を介して切削油が常時供給されていて、供給された切削油と切粉は、切削油・切粉排出板５３、切削油・切粉排出シュート５５を介して切削油タンク５１に排出される。その際、切粉はスクリーンによって除去される。切削油タンク５１内に回収された切削油は切削油循環ポンプ５７によって循環される。
加工時、加工工具８３の交換が必要な場合には、上記加工工具自動交換機構によって交換される。
又、ワーク９１に対する一連の加工が終了した場合には、上記ワーク自動交換機構によって新しいワーク９１に交換される。

以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、本実施の形態による微細加工機の場合には「縦型」ではなく「横型」であるので、構成の簡略化、装置の小型化を図ることができる。
又、モータ６３のロータ６７を銅製としたことによりトルク特性の向上を図ることができ、それによって、モータ６３の小型化を図ることができる。モータ６３の小型化により、上記装置の小型化効果をさらに高めることができる。
又、熱的影響を緩和させることができる。これは、モータ６３の小型化によりモータ６３から発生する熱量を低減させることができるからであり、又、前側軸受７３、７５、後側軸受７７、７９をセラミックス製超高速軸受としたこと、オイルエア潤滑機構を採用したこと、冷却液循環方機構採用したこと、基台１の前面側に切削油タンク５１を基台１とは切り離して設けたこと、上記基台１であって上記主軸７１と上記ワーク保持手段４５の間の下に切削油・切粉排出傾斜板５３が設置されていること、等によるものである。
又、加工精度の向上を図ることができる。これは、Ｚ軸方向駆動機構７、Ｘ軸方向駆動機構１９、Ｙ軸方向駆動機構３５に、リニアシャフトモータを採用したこと、基台１、Ｚ軸ベース３、Ｚ軸テーブル５、Ｘ軸テーブル１７、Ｙ軸ベース３１等の一部に低膨張鋳物を採用したこと、等による。

尚、本発明は前記一実施の形態に限定されるものではない。
まず、前記一実施の形態の場合にはロータ６７を全部銅製としたがそれに限定されるものではなく、一部を銅製にした構成も考えられる。
又、冷却液循環機構、オイルミスト循環機構の構成としては図示したようなもの以外に様々な構成のものが考えられる。
その他、図示した構成はあくまで一例である。

本発明は、微細加工機に係り、特に、横型とすることにより構成の簡略化、装置の小型化を図るとともに、熱的影響を緩和させることにより加工精度の向上を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、精密金型の加工に好適である。

１ 基台
３ Ｚ軸ベース
５ Ｚ軸テーブル
７ Ｚ軸駆動機構
１７ Ｘ軸テーブル
１９ Ｘ軸駆動機構
２９ 主軸装置
３１ Ｙ軸ベース
３３ Ｙ軸テーブル
３５ Ｙ軸駆動機構
４５ ワーク保持機構
５１ 切削油タンク
５３ 切削油・切粉排出板
５５ 切削油・切粉排出シュート
５７ 切削油ポンプ
６３ モータ
６５ ステータ
６７ ロータ
７１ 主軸
７３ 軸受
７５ 軸受
７７ 軸受
７９ 軸受
８１ 加工工具保持機構
８３ 加工工具
９１ ワーク

Claims (8)

1. 基台と、
   上記基台に設置され横方向であるＺ軸方向に移動可能に設置されたＺ軸テーブルと、
   上記Ｚ軸テーブルに設置され上記Ｚ軸方向に直交する横方向であるＸ軸方向に移動可能に設置されたＸ軸テーブルと、
   上記Ｘ軸テーブルに設置された主軸装置と、
   上記基台であって上記主軸に対向するように配置され上記Ｚ軸方向とＸ軸方向に直交する縦方向であるＹ軸方向に移動可能に設置されたＹ軸テーブルと、
   上記Ｙ軸テーブルに設置されワークを着脱可能に保持するワーク保持手段と、
   を具備し、
   上記主軸装置はモータと、上記モータにより回転せられ加工工具を着脱可能に保持する主軸と、から構成されていて、
   上記モータはステータと、上記ステータの外周に回転可能に設置され全部又は一部が銅製のロータと、から構成されていることを特徴とする微細加工機。
2. 請求項１記載の微細加工機において、
   上記モータの外周には冷却液循環機構が設置されていることを特徴とする微細加工機。
3. 請求項１又は請求項２記載の微細加工機において、
   上記Ｚ軸テーブルはＺ軸駆動手段によって駆動され、上記Ｘ軸テーブルはＸ軸駆動手段によって駆動され、上記Ｙ軸テーブルはＹ軸駆動手段によって駆動され、
   上記Ｚ軸駆動手段、上記Ｘ軸駆動手段、上記Ｙ軸駆動手段はリニアシャフトモータを使用するものであることを特徴とする微細加工機。
4. 請求項１〜請求項３の何れかに記載の微細加工機において、
   上記主軸においてセラミックス製軸受を使用していることを特徴とする微細加工機。
5. 請求項４記載の微細加工機において、
   オイルエア潤滑機構によって上記セラミックス製軸受の発熱を抑制するようにしていることを特徴とする微細加工機。
6. 請求項１〜請求項５の何れかに記載の微細加工機において、
   上記基台、上記Ｚ軸テーブル、上記Ｘ軸テーブル、上記Ｙ軸テーブルの一部を低膨張鋳物製としたことを特徴とする微細加工機。
7. 請求項１〜請求項６の何れかに記載の微細加工機において、
   上記基台の前面側には切削油タンクが基台とは切り離して設けられていることを特徴とする微細加工機。
8. 請求項７記載の微細加工機において、
   上記基台であって上記主軸と上記ワーク保持手段の間の下には切削油及び切粉を上記切削油タンクに排出する切削油・切粉排出傾斜板が設置されていることを特徴とする微細加工機。

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