CN101292129B - 测定装置 - Google Patents

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Abstract

【课题】提供一种适宜于提高采集被单片化为芯片状的板状部件的各芯片时的采集处理能力的测量装置。【解决方法】环形框架(2)的开口部上贴付了粘结片(3)的支撑体(H)所支撑的，作为通过切断被单片化为芯片状的板状部件的半导体晶片(4)为测量对象，图像处理单元(5)测量该芯片间隔(G)和偏移角(θ)，该测量数据(D)被从图像处理单元(5)输出到上一级计算机(6)中，存储在该上一级计算机(6)的存储设备(12)中，根据该存储设备(12)中存储的芯片间隔(G)和偏移角(θ)，能够在之后的工序进行采集装置的识别装置例如摄像机进行芯片的位置确认时的位置识别处理和使采集用收集器的位置与识别的位置相吻合的校正处理。

Description

测定装置
技术领域
本发明涉及测量被贴付在粘结片上的板状部件的各芯片间隔或偏移角的测量装置。
背景技术
过去，在半导体元件和发光二极管元件的制造工艺中，通过切割经粘结片支撑在环形框架上的半导体晶片和化合物晶片而分离为单个芯片状，然后为了采集该芯片，用延展装置拉长所述粘结片，将被单片化为芯片状的半导体晶片和化合物晶片的芯片间隔扩展规定的量(例如，参照专利文献1)。
但是，采用所述延展装置，在扩展被单片化为芯片状的半导体晶片和化合物晶片的芯片间隔时，不进行该芯片间隔和由所述切割形成的切断线与环形框架的偏移角的测量。因此，在采集该芯片时，需要花费时间进行由采集装置的识别装置例如摄像机进行芯片的位置确认时识别该芯片位置的处理、和使采集用收集器的位置与识别的位置相吻合的校正处理，从而具有处理能力降低这样的问题。
专利文献1：特许第3064979号公报
发明内容
[发明的公开]
[发明要解决的问题]
本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种适宜于提高采集被单片化为芯片状的板状部件的各芯片时的采集处理能力的测量装置。
[解决问题的手段]
为了实现上述目的，根据本发明的测量装置是以在环形框架的开口部上贴付了粘结片的支撑体所支撑的，通过切断被单片化为芯片状的板状部件作为测量对象，测量该各芯片间隔的测量装置，所述测量装置的特征在于包括：测量所述芯片间隔的图像处理设备和将所述图像处理设备所测量的所述芯片间隔储存为测量数据的存储设备。
另外，为了实现上述目的，根据本发明的测量装置是以在环形框架的开口部上贴付了粘结片的支撑体所支撑的，通过切断被单片化为芯片状的板状部件作为测量对象，测量通过所述切断所形成的切断线与所述环形框架的基准方位的偏移角的测量装置，所述测量装置的特征在于包括：测量所述偏移角的图像处理设备和将所述图像处理设备所测量的所述偏移角储存为测量数据的存储设备。
另外，为了实现上述目的，根据本发明的测量装置是以在环形框架的开口部上贴付了粘结片的支撑体所支撑的、通过切断被单片化为芯片状的板状部件作为测量对象，测量该各芯片间隔和通过所述切断所形成的切断线与所述环形框架的基准方位的偏移角的测量装置，所述测量装置的特征在于包括：测量所述芯片间隔和所述偏移角的图像处理设备和将所述图像处理设备所测量的所述芯片间隔和所述偏移角储存为测量数据的存储设备。
所述的根据本发明的测量装置还可以构成为包括：输出所述存储设备中存储的所述测量数据的输出设备。
所述的根据本发明的测量装置还可以构成为包括：将所述测量数据转换为光学式读取码打印到标签上的打印设备、和将带有所述光学式读取码的标签贴付到所述支撑体上的贴付设备。
所述的根据本发明的测量装置还可以构成为将所述存储设备中存储的所述测量数据存储在电子记录介质中输出到其它的装置中。
所述的根据本发明的测量装置还可以构成为包括：将所述存储设备中存储的所述测量数据写入到RFID标签中的写入设备，和将写入了所述测量数据的RFID标签贴付到规定位置上的贴付设备。
发明效果
根据本发明的测量装置如上所述，采用了以在环形框架的开口部上贴付了粘结片的支撑体所支撑的、通过切断被单片化为芯片状的板状部件作为测量对象，由图像处理设备测量该芯片间隔或/和芯片的偏移角，将该测量数据存储在存储设备中的结构。因此，由于能够根据在所述存储设备中存储的芯片间隔或/和芯片的偏移角进行该芯片的采集准备工作，所以能够缩短由采集装置的识别装置例如摄像机进行芯片的位置确认时的位置识别处理和使采集用采集器的位置与识别的位置相吻合的校正处理的时间，得到实现采集处理能力的提高这样的作用效果。
附图说明
图1是根据本发明的测量装置的说明图。
图2是测量对象和偏移角一起的条形码贴付结构的说明图。
图3是芯片间隔的测量位置的说明图。
图4是用于将测量数据贴付在支撑体上的结构的说明图。
图5是用于将测量数据贴付在规定的粘附体上的其它结构的说明图。
标记说明
1   测量装置
2   环形框架
3   粘结片
4   晶片(板状部件)
5   图像处理单元(图像处理设备)
11  切割线(切断线)
12  存储设备
13  条形码(光学式读取码)
15  条形码打印机(打印设备)
17  标签
20  贴付装置(贴付设备)
24  RFID标签
26  RFID标签发行机(写入设备)
G   芯片间隔
θ  偏移角
D   测量数据
Da  各个芯片间隔的测量数据
Y   轴线(环形框架的基准方位)
具体实施方式
下面参照附图详细说明实施本发明的最佳方式。
图1是根据本发明的测量装置的说明图，图2是测量对象和偏移角一起的条形码贴付结构的说明图，图3是芯片间隔的测量位置的说明图。
图1的测量装置1以如图2所示在环形框架2的开口部上贴付了粘结片3的支撑体H所支撑的，通过切断被单片化为芯片状的板状部件(本实施方式中的进行了切割的半导体晶片(下面简称为“晶片4”))为测量对象，测量该各芯片间隔G(参照图3)和后述的偏移角θ。
所述晶片4的各芯片间隔G在由测量装置1进行测量开始之前，预先由未图示的扩张装置扩展了规定的量。这样将芯片间隔G扩展规定量是为了在测量装置1进行测量结束后，由未图示的采集装置的采集器一个一个地采集该芯片C。
为了实施所述测量，测量装置1包括图像处理单元(图像处理设备)5、上一级计算机6、打印机7和监视器8，采用在上一级计算机6上连接图像处理单元5、打印机7、监视器8的结构。
将图像处理单元5构成为由其摄像机9拍摄所述粘结片3上的晶片4，采集其图像，从该采集的图像测量芯片间隔G和偏移角θ。所述“芯片间隔G”如图3所示是相邻的2个芯片C之间的距离，所述“偏移角θ”如图2所示是以环形框架2上设置的2个缺口10、10为基准确定的规定轴线Y(环形框架的基准方位)与通过切割切断的切割线(切断线)11所成的角度。另外，也可以替换以所述规定的轴线Y为基准的所述缺口10、10，而以环形框架2的平面部29来代替为基准。
本实施方式的情形下，将芯片间隔G的测量构成为在如图3中的箭头所示的多个地方进行测量。作为测量数据D，要得到各个芯片间隔的测量数据Da、这些芯片间隔的平均值Db、和偏移角θ的测量数据Dc。另外，为了在每一次求平均值数据Db时提高平均值的可靠性，在图像处理单元5中进行的处理不采用根据芯片C的缺损部C1和芯片C的脱落部C2得到的测量数据(图3中的D1～D9)。
测量数据D被从任何一个图像处理单元5输出到上一级计算机6中，存储在该上一级计算机6的存储设备12例如硬盘中。另外，被存储的测量数据D也能够被从上一级计算机6中输出到别的装置中。作为存储设备12，除了所述硬盘外，还可以考虑软(登录商标)盘、USB存储器、CD-R、CD-RW、DVD-R、DVD-RW、DVD-RAM、MO、磁带等。
如上所述，所述打印机7起到作为将送出到上一级计算机6的芯片C中的测量数据D打印出来的设备的功能，所述监视器8起到作为显示测量数据D的设备的功能。
通过采用图4中示出的结构，如图2所示，所述测量数据D能够被作为条形码13贴付在所述支撑体H上。
具体地说，如图4所示，CPU14从图像处理单元5中提取所述测量数据D，将该测量数据D作为光学式读取码转换为周知的条形码BD输出到条形码打印机15(打印设备)中。在条形码打印机15中，将在带状的剥离片16上按照规定的节距临时粘结多个标签17形成的标签原版18搬送到剥离板19，同时在该搬送途中打印头22将条形码13打印在标签17上。被打印了条形码13的标签17在剥离板19处折返到与搬送方向相反的方向上，从而被从剥离片16上剥离下来被保持在贴付装置20的吸附栅网21上。然后该标签17通过吸附栅网21的下降被贴付在支撑体H的粘结片3上。另外，所述CPU14也可以是上一级计算机6的CPU(省略了图示)。另外，作为打印设备考虑点击打印机、热打印机、激光打印机等。
代替所述条形码13(一维码)，也可以采用周知的QR码(二维码)(省略了图示)作为光学式读取码。该情形下，将所述CPU14构成为将所述芯片C的测量数据D转换为QR码数据输出到条形码打印机15，另外，在条形码打印机15中，根据该QR码数据在打印头22中将QR码打印在标签17上。
如上所述在支撑体H上贴付了带条形码的标签17或带QR码的标签的测定对象晶片4，被搬送到未图示的采集装置，由采集用收集器进行芯片C的采集。这时，采集装置最初由条形码读取器或QR码读取器从标签17中读取条形码13或QR码，从该条形码13或QR码中取得芯片C的测量数据D，能够根据该测量数据D进行对准，使用测量数据D进行采集的准备和采集用收集器的位置校正等。
作为如上所述其它装置(在本实施方式中是采集装置)取得测量数据D的方法，例如也可以通过无线或有线通信将上一级计算机6存储在其存储设备12中的测量数据D输出到该其它装置。该情形下，上一级计算机6起到作为将测量数据D输出到其它装置的输出设备的功能。另外，存储在上一级计算机6的存储设备12中的测量数据D也能够存储在软(登录商标)盘和USB存储器等电子存储介质中提供给该其它装置。
另外，通过采用图5中示出的结构，能够将更多的测量数据D存储在RFID标签24中贴付到规定的位置上。
具体地说，如图5所示，CPU25从图像处理单元5中提取所述测量数据D，将该测量数据D输出到RFID标签发行机26。在RFID标签发行机26中，将在带状的剥离片16上按照规定的节距临时粘结多个RFID标签24形成的标签原版30搬送到剥离板19，同时在该搬送途中RFID记录器27将该测量数据D写入RFID标签24的存储部(省略了图示)中。被写入了测量数据D的RFID标签24在剥离板19处折返到与搬送方向相反的方向上，从而被从剥离片16上剥离下来被保持在贴付装置20的吸附栅网21上。然后该标签24通过吸附栅网21的下降被贴付在规定的位置上。另外，所述CPU25也可以是上一级计算机6的CPU(省略了图示)。
另外，如图5所示，集中多个测量对象晶片4装填到盒体28中进行处置的情形下，也可以将RFID标签24贴付到盒体28上。该情形下，在RFID标签24的存储部中存储着盒体28内存在的全部晶片4的测量数据D。另外，RFID标签24的贴付位置也不仅限于盒体28的顶板28a，可以根据需要适当改变。
在以上说明的测量装置1中，采用了以在环形框架2的开口部上贴付了粘结片3的支撑体H所支撑的，通过切断被单片化为芯片状的晶片4作为测量对象，由图像处理单元5测量该芯片间隔G和偏移角θ，将该测量数据D储存在存储设备12中的结构。因此能够根据存储设备12中存储的芯片间隔G和偏移角θ的测量数据D进行该芯片C的采集准备工作，能够缩短采集装置的识别装置例如摄像机进行芯片的位置确认时的位置识别处理和使采集用收集器的位置与识别的位置相吻合的校正处理的时间，实现采集处理能力的提高。

Claims (3)

1.一种测量装置，以在环形框架的开口部上贴付了粘结片的支撑体所支撑的，通过切断被单片化为芯片状的板状部件为测量对象，测量该各芯片间隔，
所述测量装置的特征在于包括：
测量所述芯片间隔的图像处理设备；
将所述图像处理设备所测量的所述芯片间隔储存为测量数据的存储设备；和
输出所述存储设备中存储的所述测量数据的输出设备。
2.一种测量装置，以在环形框架的开口部上贴付了粘结片的支撑体所支撑的，通过切断被单片化为芯片状的板状部件为测量对象，测量通过所述切断所形成的切断线与所述环形框架的基准方位的偏移角，
所述测量装置的特征在于包括：
测量所述偏移角的图像处理设备；
将所述图像处理设备所测量的所述偏移角储存为测量数据的存储设备；和
输出所述存储设备中存储的所述测量数据的输出设备。
3.一种测量装置，以在环形框架的开口部上贴付了粘结片的支撑体所支撑的，通过切断被单片化为芯片状的板状部件为测量对象，测量该各芯片间隔和通过所述切断所形成的切断线与所述环形框架的基准方位的偏移角，
所述测量装置的特征在于包括：
测量所述芯片间隔和所述偏移角的图像处理设备；
将所述图像处理设备所测量的所述芯片间隔和所述偏移角储存为测量数据的存储设备；和
输出所述存储设备中存储的所述测量数据的输出设备。
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