JPH11219425A - 観測装置及び該装置の発光制御方法 - Google Patents
観測装置及び該装置の発光制御方法Info
- Publication number
- JPH11219425A JPH11219425A JP10033823A JP3382398A JPH11219425A JP H11219425 A JPH11219425 A JP H11219425A JP 10033823 A JP10033823 A JP 10033823A JP 3382398 A JP3382398 A JP 3382398A JP H11219425 A JPH11219425 A JP H11219425A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light emission
- observation
- time
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/80—Camera processing pipelines; Components thereof
- H04N23/84—Camera processing pipelines; Components thereof for processing colour signals
- H04N23/88—Camera processing pipelines; Components thereof for processing colour signals for colour balance, e.g. white-balance circuits or colour temperature control
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/14—Inert intermediate or cover layers for charge-receiving layers
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N9/00—Details of colour television systems
- H04N9/64—Circuits for processing colour signals
- H04N9/73—Colour balance circuits, e.g. white balance circuits or colour temperature control
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Endoscopes (AREA)
- Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Image Input (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 発光部の駆動回路をコンパクトに構成する。
【解決手段】 発光部１３，１９からの光を観測対象３
ａに照射し、観測対象３ａからの反射光をカメラ７で受
光して観測対象３ａを観測する。発光部は複数の発光体
１３ａ，１９から構成される。発光コントローラ３５の
ドライバ３５ａは、各発光体１３ａ，１９の発光する時
間を設定し、カメラ７の垂直同期信号ＶDに同期して発
光体１３ａ，１９を選択的に発光させ、発光時間が経過
すると発光体１３ａ，１９を消灯させる。
ａに照射し、観測対象３ａからの反射光をカメラ７で受
光して観測対象３ａを観測する。発光部は複数の発光体
１３ａ，１９から構成される。発光コントローラ３５の
ドライバ３５ａは、各発光体１３ａ，１９の発光する時
間を設定し、カメラ７の垂直同期信号ＶDに同期して発
光体１３ａ，１９を選択的に発光させ、発光時間が経過
すると発光体１３ａ，１９を消灯させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、観測装置に関し、
特に、半導体ウェハ、ガラス、セラミックなど絶縁体基
板の表面または表面付近に形成された回路や文字などの
パターンを観測するための観測装置に関する。
特に、半導体ウェハ、ガラス、セラミックなど絶縁体基
板の表面または表面付近に形成された回路や文字などの
パターンを観測するための観測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、半導体集積回路等の製造工程
において、半導体ウェハ（以下単に「ウェハ」とい
う）、液晶基板、ガラス、セラミックまたは樹脂などの
対象物の表面に付された数字、文字や回路等のパターン
を、カメラ等の画像検出手段で観測することが行われて
いる。たとえば、製造工程の中で、半導体ウェーハに付
された識別符号を読み取り、この識別符号に応じて予め
決められた加工が施される。
において、半導体ウェハ（以下単に「ウェハ」とい
う）、液晶基板、ガラス、セラミックまたは樹脂などの
対象物の表面に付された数字、文字や回路等のパターン
を、カメラ等の画像検出手段で観測することが行われて
いる。たとえば、製造工程の中で、半導体ウェーハに付
された識別符号を読み取り、この識別符号に応じて予め
決められた加工が施される。
【０００３】従来の観測装置においては、カメラ等の画
像検出手段の受光量を調整するために光源の発光強度を
変化させることが行われており、光源の発光強度を変化
させるためには、発光体の駆動電流の電流値や電圧値を
変化させていた。
像検出手段の受光量を調整するために光源の発光強度を
変化させることが行われており、光源の発光強度を変化
させるためには、発光体の駆動電流の電流値や電圧値を
変化させていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そのため、従来の装置
にあっては、発光部を駆動させるための駆動回路とし
て、可変電流駆動回路または可変電圧駆動回路が必要と
なるので、発光部の駆動回路は比較的複雑になり、また
個別に発光可能な発光体数が増加する程大型化してい
た。
にあっては、発光部を駆動させるための駆動回路とし
て、可変電流駆動回路または可変電圧駆動回路が必要と
なるので、発光部の駆動回路は比較的複雑になり、また
個別に発光可能な発光体数が増加する程大型化してい
た。
【０００５】本発明は、上記の点にかんがみてなされた
もので、発光部の駆動回路を簡易に構成することを課題
とする。
もので、発光部の駆動回路を簡易に構成することを課題
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、発光部からの光を観測対象に照射し、前記観測対象
からの反射光または透過光を画像検出手段で受光して前
記観測対象を観測する観測装置において、発光部の発光
時間を設定し、画像検出手段の垂直同期信号に同期して
発光部を発光させ、設定された発光時間の経過後に発光
部を消灯させるようにした。
め、発光部からの光を観測対象に照射し、前記観測対象
からの反射光または透過光を画像検出手段で受光して前
記観測対象を観測する観測装置において、発光部の発光
時間を設定し、画像検出手段の垂直同期信号に同期して
発光部を発光させ、設定された発光時間の経過後に発光
部を消灯させるようにした。
【０００７】また、発光時間を計時する計時手段として
前記画像検出手段の水平同期信号を使用することもでき
る。
前記画像検出手段の水平同期信号を使用することもでき
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態の一例
を示す観測装置の全体構成図、図２は光学系の主要部を
示す斜視図である。
を示す観測装置の全体構成図、図２は光学系の主要部を
示す斜視図である。
【０００９】観測装置１は、ウェハ３に形成された文字
やパターン等の観測対象３ａを観測するためのものであ
る。装置の各構成部分はボックス５内に収容され、ボッ
クス５の上方から下方に向けて、画像検出手段としての
ＣＣＤカメラ７、ハーフミラー９、集光レンズ１１が配
置されている。集光レンズ１１は、発光部１３から発光
された光を集光する集光レンズと、観測対象３ａの像を
受光部７ａに結像させるに際して観測対象３ａと受光部
７ａとの間に配置すべき対物レンズとを兼ねている。集
光レンズ１１の前焦点位置には発光部１３が配置され、
発光部１３からの光はハーフミラー９で下方に反射され
集光レンズ１１で集光され観測対象３ａへ照射される。
なお、ハーフミラー９で透過される集光レンズ１１の光
軸を１１ｂ、ハーフミラー９で反射される集光レンズ１
１の光軸を１１ａとする。
やパターン等の観測対象３ａを観測するためのものであ
る。装置の各構成部分はボックス５内に収容され、ボッ
クス５の上方から下方に向けて、画像検出手段としての
ＣＣＤカメラ７、ハーフミラー９、集光レンズ１１が配
置されている。集光レンズ１１は、発光部１３から発光
された光を集光する集光レンズと、観測対象３ａの像を
受光部７ａに結像させるに際して観測対象３ａと受光部
７ａとの間に配置すべき対物レンズとを兼ねている。集
光レンズ１１の前焦点位置には発光部１３が配置され、
発光部１３からの光はハーフミラー９で下方に反射され
集光レンズ１１で集光され観測対象３ａへ照射される。
なお、ハーフミラー９で透過される集光レンズ１１の光
軸を１１ｂ、ハーフミラー９で反射される集光レンズ１
１の光軸を１１ａとする。
【００１０】カメラ７は、絞り１５および結像レンズ１
７を備え、観測対象３ａからの反射光はハーフミラー９
を通過し、結像レンズ１７、絞り１５を経てカメラ７の
受光部７ａ（ＣＣＤ素子等）上に結像する。結像レンズ
１７とハーフミラーとの間に別の絞り（図２の絞り１
６）を設けてもよい。
７を備え、観測対象３ａからの反射光はハーフミラー９
を通過し、結像レンズ１７、絞り１５を経てカメラ７の
受光部７ａ（ＣＣＤ素子等）上に結像する。結像レンズ
１７とハーフミラーとの間に別の絞り（図２の絞り１
６）を設けてもよい。
【００１１】発光部１３は複数の発光体（例えばＬＥ
Ｄ）１３ａを備え、各発光体の前面にはディフューザ３
３が配置されている。各発光体は後述する発光コントロ
ーラ３５によって選択的に駆動される。発光体１９は、
装置の下方に取り付けられ、観測対象３ａに入射角の大
きな光を照射する。発光体１９の前面にはディフューザ
２５が配置されている。
Ｄ）１３ａを備え、各発光体の前面にはディフューザ３
３が配置されている。各発光体は後述する発光コントロ
ーラ３５によって選択的に駆動される。発光体１９は、
装置の下方に取り付けられ、観測対象３ａに入射角の大
きな光を照射する。発光体１９の前面にはディフューザ
２５が配置されている。
【００１２】発光部１３および発光体１９は発光コント
ローラ３５によって制御される。発光コントローラ３５
は、ドライバ３６とグループ制御部４０とで構成され、
ドライバ３６は、個々の発光体のＯＮ、ＯＦＦおよび発
光時間の制御を行う。グループ制御部４０は、発光部を
構成する発光体をグループ分けし、観測対象に応じて発
光すべき発光体グループを指定する。発光コントローラ
３５は制御装置（コンピュータ等）３７によって制御さ
れる。制御装置３７はＯＣＲシステムやパターン検査シ
ステム等も備えている。カメラ７からの映像信号３８は
モニタ３９によって表示されるとともに、制御装置３７
へ出力され、制御装置３７において画像認識される。
ローラ３５によって制御される。発光コントローラ３５
は、ドライバ３６とグループ制御部４０とで構成され、
ドライバ３６は、個々の発光体のＯＮ、ＯＦＦおよび発
光時間の制御を行う。グループ制御部４０は、発光部を
構成する発光体をグループ分けし、観測対象に応じて発
光すべき発光体グループを指定する。発光コントローラ
３５は制御装置（コンピュータ等）３７によって制御さ
れる。制御装置３７はＯＣＲシステムやパターン検査シ
ステム等も備えている。カメラ７からの映像信号３８は
モニタ３９によって表示されるとともに、制御装置３７
へ出力され、制御装置３７において画像認識される。
【００１３】図３はドライバ３６の構成を示し、ドライ
バ３６は、各発光体ａ，ｂ，ｃ，…ｎをそれぞれ駆動す
る駆動回路４１ａ，ｂ，ｃ，…，ｎと、各駆動回路４１
ａ，ｂ，ｃ，…，ｎを制御する発光制御回部４３ａ，
ｂ，ｃ，…，ｎと、各発光制御部４３にクロック信号を
与えるクロック信号発生部４５と、カメラ７の垂直同期
信号ＶDを所定時間Ｔだけ遅延させるＶD処理部４６とを
備えている。なお、一般に垂直同期信号ＶDはカメラ動
作の基本信号として使用され後述する受光可能タイミン
グや映像出力信号などの基準信号となっている。
バ３６は、各発光体ａ，ｂ，ｃ，…ｎをそれぞれ駆動す
る駆動回路４１ａ，ｂ，ｃ，…，ｎと、各駆動回路４１
ａ，ｂ，ｃ，…，ｎを制御する発光制御回部４３ａ，
ｂ，ｃ，…，ｎと、各発光制御部４３にクロック信号を
与えるクロック信号発生部４５と、カメラ７の垂直同期
信号ＶDを所定時間Ｔだけ遅延させるＶD処理部４６とを
備えている。なお、一般に垂直同期信号ＶDはカメラ動
作の基本信号として使用され後述する受光可能タイミン
グや映像出力信号などの基準信号となっている。
【００１４】各発光制御部４３は、１回の発光時間をク
ロック信号量で示す初期値を記憶するプリセット部Ｐ
と、前記初期値を１ずつ減算する計数部Ｎとを備えてい
る。
ロック信号量で示す初期値を記憶するプリセット部Ｐ
と、前記初期値を１ずつ減算する計数部Ｎとを備えてい
る。
【００１５】ＶD処理部４６は、ＶD信号発生時から各発
光体が点灯すべき所定時間Ｔを記憶するプリセット部Ｑ
と、プリセットされた値Ｔが移送される減数カウンタＣ
と、減数カウンタＣの値が０になるとＯＮになるフラグ
レジスタＦ（以下フラグＦと略す）とを備えている。所
定時間Ｔは、グループ制御部４０からの信号によってプ
リセット部Ｑにセットされる。
光体が点灯すべき所定時間Ｔを記憶するプリセット部Ｑ
と、プリセットされた値Ｔが移送される減数カウンタＣ
と、減数カウンタＣの値が０になるとＯＮになるフラグ
レジスタＦ（以下フラグＦと略す）とを備えている。所
定時間Ｔは、グループ制御部４０からの信号によってプ
リセット部Ｑにセットされる。
【００１６】ＶD処理部４６のフラグＦのＯＮ信号は各
発光制御部４３ａ，ｂ，ｃ，…，ｎへ出力される。グル
ープ制御部４０からは、前述した初期値および終了値、
発光体選択信号、発光停止信号等の制御信号が各発光制
御回部４３ａ，ｂ，ｃ，…，ｎへ出力される。各発光体
ａ，ｂ，ｃ，…ｎは、図１の発光体１３ａ，１９に対応
する。
発光制御部４３ａ，ｂ，ｃ，…，ｎへ出力される。グル
ープ制御部４０からは、前述した初期値および終了値、
発光体選択信号、発光停止信号等の制御信号が各発光制
御回部４３ａ，ｂ，ｃ，…，ｎへ出力される。各発光体
ａ，ｂ，ｃ，…ｎは、図１の発光体１３ａ，１９に対応
する。
【００１７】クロック信号は後述するようにＶD信号周
期内の発光体の発光時間の計時を行うための計時単位と
して使用されるので、ＶD信号の周期より短いほど細か
い時間制御が可能となる。また、クロック信号発生部４
５は、水平同期信号ＨDが利用できる場合はＨD信号を入
力として各発光制御部４３へクロック信号として配信す
ると回路構成がシンプルになる。カメラ７をＮＴＳＣ規
格とした場合、ＨD信号は通常ＶD信号１周期中に約２８
０本発生しているので、本発明の観測装置は発光強度の
制御を約１／２８０の精度で行うことができる。カメラ
７をＰＡＬ規格やＨＤＴＶ規格とした場合はさらに多段
階に精密な制御を行うことができる。ＨD信号が利用で
きない場合は、自励して各発光制御部へクロック信号と
して配信する。また、ＨD信号を分周してそれより更に
短い周期の信号を作りこれをクロック信号としてもよ
い。
期内の発光体の発光時間の計時を行うための計時単位と
して使用されるので、ＶD信号の周期より短いほど細か
い時間制御が可能となる。また、クロック信号発生部４
５は、水平同期信号ＨDが利用できる場合はＨD信号を入
力として各発光制御部４３へクロック信号として配信す
ると回路構成がシンプルになる。カメラ７をＮＴＳＣ規
格とした場合、ＨD信号は通常ＶD信号１周期中に約２８
０本発生しているので、本発明の観測装置は発光強度の
制御を約１／２８０の精度で行うことができる。カメラ
７をＰＡＬ規格やＨＤＴＶ規格とした場合はさらに多段
階に精密な制御を行うことができる。ＨD信号が利用で
きない場合は、自励して各発光制御部へクロック信号と
して配信する。また、ＨD信号を分周してそれより更に
短い周期の信号を作りこれをクロック信号としてもよ
い。
【００１８】次に図５を参照して上記装置の動作を説明
する。ウェハに形成された文字や符号の読取装置として
使用するときは、まず半導体製造工程の適当な位置に本
発明の観測装置を設置する。ウェハを手動または自動で
搬送し観測対象３ａが集光レンズ１１の直下に位置する
ように截置する。
する。ウェハに形成された文字や符号の読取装置として
使用するときは、まず半導体製造工程の適当な位置に本
発明の観測装置を設置する。ウェハを手動または自動で
搬送し観測対象３ａが集光レンズ１１の直下に位置する
ように截置する。
【００１９】カメラ７でＶD信号が発生すると、該信号
はＶD処理部４６に伝達され、カウンタＣに所定時間Ｔ
がプリセット部Ｑから移送される。次にクロック信号発
生部４５よりＶD処理部４６へクロック信号が入力され
ると、カウンタＣの値は１ずつ減数されていく。カウン
タＣ＝０になったら、フラグＦをＯＮにする。すなわ
ち、ＶD信号の入力から所定時間Ｔが経過したらフラグ
Ｆ＝ＯＮとなる。
はＶD処理部４６に伝達され、カウンタＣに所定時間Ｔ
がプリセット部Ｑから移送される。次にクロック信号発
生部４５よりＶD処理部４６へクロック信号が入力され
ると、カウンタＣの値は１ずつ減数されていく。カウン
タＣ＝０になったら、フラグＦをＯＮにする。すなわ
ち、ＶD信号の入力から所定時間Ｔが経過したらフラグ
Ｆ＝ＯＮとなる。
【００２０】また、ＶD信号発生と同時にグループ制御
部４０は各発光制御部４３のプリセット部Ｐへ初期値を
出力する。初期値は外部操作によって発光体ごとに自由
に設定可能である。発光制御部４３は初期値をそれぞれ
の計数部Ｎへ移送する。次に、フラグＦを参照し、これ
がＯＮであればフラグＦをＯＦＦにリセットするととも
に、各発光体駆動回路４１を駆動し各発光体を点灯す
る。
部４０は各発光制御部４３のプリセット部Ｐへ初期値を
出力する。初期値は外部操作によって発光体ごとに自由
に設定可能である。発光制御部４３は初期値をそれぞれ
の計数部Ｎへ移送する。次に、フラグＦを参照し、これ
がＯＮであればフラグＦをＯＦＦにリセットするととも
に、各発光体駆動回路４１を駆動し各発光体を点灯す
る。
【００２１】次にクロック信号の入力があれば、各発光
制御部４３の計数部Ｎの値を１減算し、これをすべての
計数部Ｎが０になるまで続ける。このとき計数部Ｎ＞０
である発光体は点灯し、Ｎ≦０に達した発光体は消灯す
る。すべての計数部Ｎが０に達した時点で発光体がすべ
て消灯することになる。
制御部４３の計数部Ｎの値を１減算し、これをすべての
計数部Ｎが０になるまで続ける。このとき計数部Ｎ＞０
である発光体は点灯し、Ｎ≦０に達した発光体は消灯す
る。すべての計数部Ｎが０に達した時点で発光体がすべ
て消灯することになる。
【００２２】すなわち、発光体の点灯時間は「初期値×
１回のクロック信号発生時間」であり、この点灯時間が
長いほどカメラ７の受光量が大きくなる。この点灯時間
は発光体ごとに設定することができる。図５（Ｅ）の例
で言えば、発光体ｂ，ｃ，ｎ，ａの順に点灯時間が長
く、したがってカメラの受光量が大きい。
１回のクロック信号発生時間」であり、この点灯時間が
長いほどカメラ７の受光量が大きくなる。この点灯時間
は発光体ごとに設定することができる。図５（Ｅ）の例
で言えば、発光体ｂ，ｃ，ｎ，ａの順に点灯時間が長
く、したがってカメラの受光量が大きい。
【００２３】上記のとおりＶD信号発生後所定時間Ｔの
間は発光体が点灯しない構成となっているが、この理由
は、通常、例えばＣＣＤカメラの場合、図５（Ｃ）に示
すように、受光可能期間Ｘ1，Ｘ2，Ｘ3，…および受光
不可期間Ｙ1，Ｙ2，…が存在するためであり、このた
め、上記所定期間Ｔは、受光不可期間Ｙ1，Ｙ2，…の終
了後に発光体が発光するように設定する。受光不可期間
Ｙ1，Ｙ2，…は垂直同期信号ＶDと同期して設定されて
いるので、結局上記発光体も垂直同期信号ＶDと同期し
て（同時または一定の関係をもって）点灯することにな
る。
間は発光体が点灯しない構成となっているが、この理由
は、通常、例えばＣＣＤカメラの場合、図５（Ｃ）に示
すように、受光可能期間Ｘ1，Ｘ2，Ｘ3，…および受光
不可期間Ｙ1，Ｙ2，…が存在するためであり、このた
め、上記所定期間Ｔは、受光不可期間Ｙ1，Ｙ2，…の終
了後に発光体が発光するように設定する。受光不可期間
Ｙ1，Ｙ2，…は垂直同期信号ＶDと同期して設定されて
いるので、結局上記発光体も垂直同期信号ＶDと同期し
て（同時または一定の関係をもって）点灯することにな
る。
【００２４】またカメラ７の受光素子の受光不可期間Ｙ
が０か無視でき、かつ垂直同期信号ＶDが発生してから
受光不可期間に至る時間が無視できるほど短い場合は、
図４のようにＶD処理部４６を削除し、ＶD信号の発生と
ともに各発光体１３，１９を点灯させる構成としてもよ
い。
が０か無視でき、かつ垂直同期信号ＶDが発生してから
受光不可期間に至る時間が無視できるほど短い場合は、
図４のようにＶD処理部４６を削除し、ＶD信号の発生と
ともに各発光体１３，１９を点灯させる構成としてもよ
い。
【００２５】各発光体の点灯時間は垂直同期信号ＶDの
周期と同じかまたはそれ以下でないとＶDを見逃したり
することになる。また点灯時間を（ＶDの周期−受光不
能期間）に設定すれば、受光不能期間に無駄に発光する
ということを回避できる。
周期と同じかまたはそれ以下でないとＶDを見逃したり
することになる。また点灯時間を（ＶDの周期−受光不
能期間）に設定すれば、受光不能期間に無駄に発光する
ということを回避できる。
【００２６】すべての計数部Ｎ＝０となった後、発光停
止信号が入力されたかを参照する。発光停止信号の入力
がなければ作業を繰り返し、再度発光動作を行う。発光
停止信号は例えば観察対象３ａの画像認識が完了したと
きに制御装置３７からグループ制御部４０を通して出力
されるものである。
止信号が入力されたかを参照する。発光停止信号の入力
がなければ作業を繰り返し、再度発光動作を行う。発光
停止信号は例えば観察対象３ａの画像認識が完了したと
きに制御装置３７からグループ制御部４０を通して出力
されるものである。
【００２７】発光体１３ａ，１９のうちの１以上の発光
体を選択的に駆動させて観測対象３ａを照明してカメラ
７で読み取り、制御装置３７により文字を判読する。ど
の発光体をどの程度の時間駆動するかはグループ制御部
４０から出力される初期値で決められる。判読結果がエ
ラーまたは不満足で再試行が必要な場合は、発光停止信
号は出力せず継続して発光体を発光させればよく、この
場合、同じ発光条件によって、または発光体や発光時間
を変えて再度照明し、判読（画像認識）する。判読が終
了したら発光停止信号がグループ制御部４０から出力さ
れて照明動作は終了する。終了後は、次のウェハ３が搬
送され、次の照明動作が行われる。
体を選択的に駆動させて観測対象３ａを照明してカメラ
７で読み取り、制御装置３７により文字を判読する。ど
の発光体をどの程度の時間駆動するかはグループ制御部
４０から出力される初期値で決められる。判読結果がエ
ラーまたは不満足で再試行が必要な場合は、発光停止信
号は出力せず継続して発光体を発光させればよく、この
場合、同じ発光条件によって、または発光体や発光時間
を変えて再度照明し、判読（画像認識）する。判読が終
了したら発光停止信号がグループ制御部４０から出力さ
れて照明動作は終了する。終了後は、次のウェハ３が搬
送され、次の照明動作が行われる。
【００２８】以上のように、上記装置によれば、カメラ
の受光量を、個々の発光体の発光強度を変化させるので
はなく、発光体の発光時間を変化させて制御する。それ
により、従来のような可変電流駆動回路や可変電圧駆動
回路を必要とせず、駆動回路を例えばトランジスタのオ
ープンコレクタドライブのような簡単な固定電圧回路で
構成することができるので、駆動回路をコンパクトに構
成することができる。そして、発光体の数が多く必要な
場合ほど駆動回路を従来の装置に比べてコンパクトにす
ることができる。
の受光量を、個々の発光体の発光強度を変化させるので
はなく、発光体の発光時間を変化させて制御する。それ
により、従来のような可変電流駆動回路や可変電圧駆動
回路を必要とせず、駆動回路を例えばトランジスタのオ
ープンコレクタドライブのような簡単な固定電圧回路で
構成することができるので、駆動回路をコンパクトに構
成することができる。そして、発光体の数が多く必要な
場合ほど駆動回路を従来の装置に比べてコンパクトにす
ることができる。
【００２９】また、従来のように発光体を常時点灯させ
るのではなく、必要な時だけ発光するので無駄な点灯に
よる発熱を抑えることができる。これにより省エネルギ
ーの装置を実現することができる。
るのではなく、必要な時だけ発光するので無駄な点灯に
よる発熱を抑えることができる。これにより省エネルギ
ーの装置を実現することができる。
【００３０】また、上記観測装置においては、ハーフミ
ラー９を用いて、ハーフミラーで分岐された光軸上に光
源を配置することにより、対物レンズと集光レンズを兼
用するようにしたが、ハーフミラーを用いずに集光レン
ズと対物レンズを別々に設けるようにしてもよい。ただ
し、ハーフミラー９を用いれば両レンズを１つのレンズ
で兼用できるので装置をコンパクトに構成することがで
きる。また、上記装置では観測対象からの反射光を用い
て観測を行ったが、照射光が観測対象を透過できるよう
にし、その透過光を用いて対象の観測を行う光学系とし
てもよい。
ラー９を用いて、ハーフミラーで分岐された光軸上に光
源を配置することにより、対物レンズと集光レンズを兼
用するようにしたが、ハーフミラーを用いずに集光レン
ズと対物レンズを別々に設けるようにしてもよい。ただ
し、ハーフミラー９を用いれば両レンズを１つのレンズ
で兼用できるので装置をコンパクトに構成することがで
きる。また、上記装置では観測対象からの反射光を用い
て観測を行ったが、照射光が観測対象を透過できるよう
にし、その透過光を用いて対象の観測を行う光学系とし
てもよい。
【００３１】上記例においては発光制御部およびＶD処
理部はハードウェア回路として説明したが、マイクロコ
ンピュータを搭載してカウンタ機能、プリセット機能、
大小判断機能をソフトウェアで構成してもよい。それに
よりハードウェア構成を簡潔にすることができる。
理部はハードウェア回路として説明したが、マイクロコ
ンピュータを搭載してカウンタ機能、プリセット機能、
大小判断機能をソフトウェアで構成してもよい。それに
よりハードウェア構成を簡潔にすることができる。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、発光体の発光時間を制
御するようにしたので、発光体の駆動回路の構成を簡易
にすることができる。また、必要な時間だけ発光するの
で、熱の発生を抑え省電力の駆動回路を構成することが
できる。
御するようにしたので、発光体の駆動回路の構成を簡易
にすることができる。また、必要な時間だけ発光するの
で、熱の発生を抑え省電力の駆動回路を構成することが
できる。
【図１】本発明の一実施形態例を示すブロック図
【図２】図１の装置の光学系の主要部を示す図
【図３】発光体のドライバの構成を示すブロック図
【図４】発光体のドライバの別の構成を示すブロック図
【図５】観測装置の照明動作を説明するタイミングチャ
ート
ート
１ 観測装置 ７ カメラ ３６ ドライバ
Claims (3)
- 【請求項１】 発光部からの光を観測対象に照射し、前
記観測対象からの反射光または透過光を画像検出手段で
受光して前記観測対象を観測する観測装置において、前
記発光部の発光時間を設定する発光時間設定手段と、前
記画像検出手段の垂直同期信号に同期して前記発光部を
発光させ、前記設定された発光時間の経過後に前記発光
部を消灯させる発光制御手段とを設けたことを特徴とす
る観測装置。 - 【請求項２】 前記発光時間を計時する計時手段として
前記画像検出手段の水平同期信号を使用する請求項１に
記載の観測装置。 - 【請求項３】 発光部からの光を観測対象に照射し、前
記観測対象からの反射光または透過光を画像検出手段で
受光して前記観測対象を観測する観測装置の発光制御方
法において、前記発光部の発光時間を設定し、前記画像
検出手段の垂直同期信号に同期して前記発光部を発光さ
せ、前記設定された発光時間の経過後に前記発光部を消
灯させることを特徴とする観測装置の発光制御方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10033823A JPH11219425A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 観測装置及び該装置の発光制御方法 |
| US09/229,468 US6697116B1 (en) | 1998-01-30 | 1999-01-13 | Observation apparatus and method of controlling light emission thereof |
| EP99100637A EP0933953A1 (en) | 1998-01-30 | 1999-01-14 | Observation apparatus and method of controlling light emission thereof |
| TW088100494A TW401712B (en) | 1998-01-30 | 1999-01-14 | Observation apparatus and method of controlling light emission thereof |
| MYPI99000146A MY120792A (en) | 1998-01-30 | 1999-01-15 | Observation apparatus and method of controlling light emission thereof |
| SG1999000143A SG73607A1 (en) | 1998-01-30 | 1999-01-22 | Observation apparatus and method of controlling light emission thereof |
| KR1019990003003A KR19990068225A (ko) | 1998-01-30 | 1999-01-29 | 관측 장치 및 그 장치의 발광 제어 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10033823A JPH11219425A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 観測装置及び該装置の発光制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11219425A true JPH11219425A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12397217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10033823A Pending JPH11219425A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 観測装置及び該装置の発光制御方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6697116B1 (ja) |
| EP (1) | EP0933953A1 (ja) |
| JP (1) | JPH11219425A (ja) |
| KR (1) | KR19990068225A (ja) |
| MY (1) | MY120792A (ja) |
| SG (1) | SG73607A1 (ja) |
| TW (1) | TW401712B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018066086A1 (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 計測検査株式会社 | 覆工コンクリートの検査システム、および覆工コンクリートの検査方法 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3868621B2 (ja) * | 1998-03-17 | 2007-01-17 | 株式会社東芝 | 画像取得装置、画像取得方法、及び記録媒体 |
| US7509043B2 (en) * | 2004-05-25 | 2009-03-24 | Nikon Corporation | Illuminating device for photographing and camera |
| US20060066846A1 (en) * | 2004-09-29 | 2006-03-30 | Telco Testing Systems, Llc | Apparatus and method for detection of contaminant particles or component defects |
| JP4262232B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2009-05-13 | リンテック株式会社 | 測定装置 |
| DE102005061834B4 (de) * | 2005-12-23 | 2007-11-08 | Ioss Intelligente Optische Sensoren & Systeme Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Prüfen einer Oberfläche |
| JP2008048905A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Olympus Medical Systems Corp | 内視鏡装置 |
| EP2395418A3 (en) * | 2010-06-14 | 2015-10-28 | Sony Computer Entertainment Inc. | Information processor, device, and information processing system |
| US10724947B2 (en) * | 2015-04-14 | 2020-07-28 | Cognex Corporation | System and method for acquiring images of surface texture |
| KR20220021962A (ko) * | 2020-08-13 | 2022-02-23 | 삼성전자주식회사 | 가변 프레임 동작을 수행하도록 구성된 디스플레이 구동 집적 회로 및 그것의 동작 방법 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5861452A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-12 | Hitachi Ltd | 外観検査装置 |
| US4535758A (en) * | 1983-10-07 | 1985-08-20 | Welch Allyn Inc. | Signal level control for video system |
| JPS6489877A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-05 | Hamamatsu Photonics Kk | Ultrahigh speed continuous image pickup device |
| EP0312046B1 (en) * | 1987-10-14 | 1994-07-27 | Hitachi, Ltd. | Apparatus and method for inspecting defect of mounted component with slit light |
| JPH02134989A (ja) | 1988-11-15 | 1990-05-23 | Sanyo Electric Co Ltd | 固体撮像装置 |
| US5097340A (en) * | 1988-12-28 | 1992-03-17 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Exposure control device for still video camera |
| JP2864130B2 (ja) * | 1989-08-25 | 1999-03-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 画像処理装置 |
| DE69013899T2 (de) | 1989-12-28 | 1995-06-22 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho, Aichi | Gerät zur messung dreidimensionaler koordinaten. |
| JPH05191715A (ja) * | 1990-10-23 | 1993-07-30 | Ricoh Co Ltd | ストロボ制御方法 |
| JP2770082B2 (ja) | 1990-12-13 | 1998-06-25 | 株式会社カイジョー | 画像処理装置に用いる発光体駆動装置及びその方法 |
| JP2969403B2 (ja) * | 1991-12-02 | 1999-11-02 | 株式会社新川 | ボンデイングワイヤ検査装置 |
| US5264925A (en) * | 1992-06-26 | 1993-11-23 | Life Surgery, Inc. | Single sensor video imaging system and method using sequential color object illumination |
| JP3197679B2 (ja) * | 1993-04-30 | 2001-08-13 | 富士写真フイルム株式会社 | 写真撮影システムおよび方法 |
| JPH07296289A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-10 | Hitachi Ltd | ナンバープレート自動読み取り装置 |
| US5848188A (en) * | 1994-09-08 | 1998-12-08 | Ckd Corporation | Shape measure device |
| JP3187287B2 (ja) | 1995-06-21 | 2001-07-11 | 旭光学工業株式会社 | データシンボル読み取り装置 |
| JPH09130657A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Sony Corp | ビデオカメラ装置用のアダプタ装置及び発光装置 |
| US5774212A (en) * | 1997-03-19 | 1998-06-30 | General Electric Co. | Method and apparatus for detecting and analyzing directionally reflective surface flaws |
| US6124889A (en) * | 1997-08-27 | 2000-09-26 | Cognex Technology And Investment Corporation | Programmable video timing generator scanning an event memory between possible event times |
| JPH11183389A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Lintec Corp | 観測装置 |
-
1998
- 1998-01-30 JP JP10033823A patent/JPH11219425A/ja active Pending
-
1999
- 1999-01-13 US US09/229,468 patent/US6697116B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-01-14 TW TW088100494A patent/TW401712B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-01-14 EP EP99100637A patent/EP0933953A1/en not_active Withdrawn
- 1999-01-15 MY MYPI99000146A patent/MY120792A/en unknown
- 1999-01-22 SG SG1999000143A patent/SG73607A1/en unknown
- 1999-01-29 KR KR1019990003003A patent/KR19990068225A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018066086A1 (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 計測検査株式会社 | 覆工コンクリートの検査システム、および覆工コンクリートの検査方法 |
| JPWO2018066086A1 (ja) * | 2016-10-05 | 2019-06-24 | 計測検査株式会社 | 覆工コンクリートの検査システム、および覆工コンクリートの検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SG73607A1 (en) | 2000-06-20 |
| EP0933953A1 (en) | 1999-08-04 |
| US6697116B1 (en) | 2004-02-24 |
| MY120792A (en) | 2005-11-30 |
| KR19990068225A (ko) | 1999-08-25 |
| TW401712B (en) | 2000-08-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3893184B2 (ja) | 電子部品実装装置 | |
| JP3958835B2 (ja) | 光学的検査方法及び装置 | |
| TWI293110B (en) | Apparatus for and method of measuring image | |
| KR20030076442A (ko) | 디지털 미러장치 프로젝터 및 디지털 미러장치 프로젝터에사용되는 광량 제어 방법 | |
| JPH11219425A (ja) | 観測装置及び該装置の発光制御方法 | |
| US7394484B2 (en) | Photographic apparatus and photographic method using same | |
| JP2003114463A (ja) | 閃光機能付撮像装置及び撮像装置の発光制御方法 | |
| JPH0795152B2 (ja) | 内視鏡装置 | |
| JP2004348078A (ja) | 投射型映像表示装置 | |
| JP2650066B2 (ja) | 画像取り込み装置 | |
| JP2006084405A (ja) | レンズメータ | |
| JP2641820B2 (ja) | 測距方法 | |
| JP2008058978A (ja) | 閃光機能付撮像装置及び撮像装置の発光制御方法 | |
| JP2021043297A (ja) | 画像検出装置、パルス照明装置、およびパルス照明方法 | |
| JPH10262173A (ja) | ラインセンサカメラ | |
| JPH11287631A (ja) | 観測装置 | |
| JP4390475B2 (ja) | 内視鏡システム | |
| JP2006170830A (ja) | 撮像素子検査装置 | |
| US20050122421A1 (en) | Photographing apparatus with lighting function | |
| JP3584685B2 (ja) | 画像処理装置 | |
| JP2004279258A (ja) | 光測定装置および方法 | |
| JPH10149705A (ja) | リング照明装置 | |
| JP2005164991A (ja) | 照明機能付き撮影装置 | |
| JP2003189297A (ja) | 画像処理装置及び撮像装置 | |
| JPS58114279A (ja) | 映像読み取り装置 |