CN101279735A - 三氯氢硅的生产方法及其设备 - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CNA2008100444755A CN101279735A (zh) | 2008-05-30 | 2008-05-30 | 三氯氢硅的生产方法及其设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNA2008100444755A CN101279735A (zh) | 2008-05-30 | 2008-05-30 | 三氯氢硅的生产方法及其设备 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101279735A true CN101279735A (zh) | 2008-10-08 |
Family
ID=40012442
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNA2008100444755A Pending CN101279735A (zh) | 2008-05-30 | 2008-05-30 | 三氯氢硅的生产方法及其设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101279735A (zh) |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
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|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TA01 | Transfer of patent application right |
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|
C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20081008 |