CN101198477B - 网版印刷板、网版印刷装置及太阳电池 - Google Patents

网版印刷板、网版印刷装置及太阳电池 Download PDF

Info

Publication number
CN101198477B
CN101198477B CN2006800215276A CN200680021527A CN101198477B CN 101198477 B CN101198477 B CN 101198477B CN 2006800215276 A CN2006800215276 A CN 2006800215276A CN 200680021527 A CN200680021527 A CN 200680021527A CN 101198477 B CN101198477 B CN 101198477B
Authority
CN
China
Prior art keywords
screen printing
printing plate
peristome
relief pattern
open end
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN2006800215276A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101198477A (zh
Inventor
生岛聪之
石川直挥
大塚宽之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd, Shin Etsu Handotai Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Publication of CN101198477A publication Critical patent/CN101198477A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101198477B publication Critical patent/CN101198477B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41N—PRINTING PLATES OR FOILS; MATERIALS FOR SURFACES USED IN PRINTING MACHINES FOR PRINTING, INKING, DAMPING, OR THE LIKE; PREPARING SUCH SURFACES FOR USE AND CONSERVING THEM
    • B41N1/00—Printing plates or foils; Materials therefor
    • B41N1/24—Stencils; Stencil materials; Carriers therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00—Screen printers
    • B41F15/14—Details
    • B41F15/34—Screens, Frames; Holders therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00—Screen printers
    • B41F15/08—Machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00—Screen printers
    • B41F15/14—Details
    • B41F15/34—Screens, Frames; Holders therefor
    • B41F15/36—Screens, Frames; Holders therefor flat
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41N—PRINTING PLATES OR FOILS; MATERIALS FOR SURFACES USED IN PRINTING MACHINES FOR PRINTING, INKING, DAMPING, OR THE LIKE; PREPARING SUCH SURFACES FOR USE AND CONSERVING THEM
    • B41N1/00—Printing plates or foils; Materials therefor
    • B41N1/24—Stencils; Stencil materials; Carriers therefor
    • B41N1/248—Mechanical details, e.g. fixation holes, reinforcement or guiding means; Perforation lines; Ink holding means; Visually or otherwise detectable marking means; Stencil units
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • H05K3/1225—Screens or stencils; Holders therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41P—INDEXING SCHEME RELATING TO PRINTING, LINING MACHINES, TYPEWRITERS, AND TO STAMPS
    • B41P2215/00—Screen printing machines
    • B41P2215/10—Screen printing machines characterised by their constructional features
    • B41P2215/12—Screens
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/05—Patterning and lithography; Masks; Details of resist
    • H05K2203/0502—Patterning and lithography
    • H05K2203/0545—Pattern for applying drops or paste; Applying a pattern made of drops or paste

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
  • Printing Methods (AREA)
  • Screen Printers (AREA)

Abstract

一种网版印刷板(1)，其设有一开口部(2)，用以在网版印刷中将用以形成标的印刷图案(4)的印刷材料吐出至被印刷物上。该网版印刷板的特征在于：上述开口部(2)的大小，与上述标的印刷图案(4)相比有所缩小，且上述开口部(2)的开口端部(3)具有一与该标的印刷图案的形状不同的凹凸图案形状。因此，提供一种低成本高质量网版印刷板，可以控制网版印刷的印刷材料的渗漏，且即使是细微的图案，也能以高转印性来正确地印刷出标的印刷图案。

Description

网版印刷板、网版印刷装置及太阳电池
技术领域
本发明涉及一种设有开口部而供在网版印刷中，用以吐出供在被印刷物上为了形成标的印刷图案的印刷材料的网版印刷板。
背景技术
网版印刷是通过挤压器的滑动动作，将墨水或浆料等印刷材料，由网版印刷板的开口部压出，而将开口部的形状转印至被印刷物上，而印刷出标的(想要的)印刷图案的印刷方法。
在网版印刷中所使用的网版印刷板，依材质或制造方法的不同，而存在很多种。其中，一般有以乳剂在编入有金属细线的纱上形成印刷的开口，或是在金属薄板上，以蚀刻或激光加工方式而形成供印刷的开口部。
网版印刷由于生产性高，因而在很多产业领域都被活用着。
然而，使用该网版印刷来印刷出标的印刷图案，尤其是细微图案时，由于印刷材料会由开口端部渗漏，而有转印性降低的问题。另一方面，在电子工业领域中所使用的网版印刷，则尤其要求较高的转印性。
例如，如图3所示，当使用一开口部2a的开口端部3a是直线状的网版印刷板1a来作印刷动作时，由于印刷材料会有渗漏，所以印刷材料的端部形状也就是印刷后的印刷图案5a，将不会与标的印刷图案4a一致，而非呈直线状。以前，为了将印刷材料的端部作成直线状，虽然将开口端部3a作成直线，但是由于印刷材料的渗漏，不但印刷区域的面积会扩大，而且印刷材料的端部将变成不规则状。
该渗漏现象的原因虽被认为是各种状况(因素)复合作用而成，但是尤其可举出以下四种：(1)高印压、(2)被印刷物的表面形状、(3)网目的交点、(4)印刷材料的黏度。
用以防止此类印刷材料的渗漏的方法，其中之一有：在网版印刷板的与被印刷物相接触侧的开口部附近，设置一凹形沟状印刷材料容室(例如，日本特开平10-329444号公报)。
另外，其它渗漏防止方法则有例如在网版印刷板的与被印刷物相接触侧，沿着开口端部，在一与被印刷物的接触面的法线方向上，设置一具有某一高度的堤的方法(例如参考日本特开平5-270161号公报)。
然而，在所述方法中，网版印刷板的制作方法变得复杂，而有制作成本增大的问题点。
此外，被印刷物的表面形状，对于渗漏现象有很大的影响。例如，在通过导电性浆料的网版印刷来制作电极的太阳电池中，被印刷物(基板)的表面形状，由于成为一被称作网纹(texture)的四角锤集合体，网版印刷板与被印刷物表面之间未必密合，而是会有间隙。在此场合下，上述方法也不见得有效果。
发明内容
因此，本发明是鉴于上述问题而开发出来，本发明的目的在于提供一种低成本高质量网版印刷板，可以控制网版印刷的印刷材料的渗漏，且即使是细微图案，也能以高转印性来正确地印刷出标的印刷图案。
为了达到上述目的，根据本发明，提供一种网版印刷板，其至少设有一开口部，用以在网版印刷中将用以形成标的印刷图案的印刷材料吐出至被印刷物上，其特征在于：上述开口部的大小，与上述标的印刷图案相比有所缩小，且上述开口部的开口端部具有一与标的印刷图案形状不同的凹凸图案形状。
像这样，若使用一网版印刷板，其开口部的开口端部具有一与标的印刷图案形状不同的凹凸图案形状，来进行网版印刷时，由于在上述开口部的开口端部的凹凸图案中的凹部(开口较小的部分)附近，印刷材料的渗漏宽度变得较大，而在凸部(开口较大的部分)附近的渗漏宽度则变得较小，印刷后的印刷图案将成为平滑的规则形状。因此，由于可以防止因印刷材料的渗漏所致的印刷图案的形状不规则化，因而即使标的印刷图案是细微图案，也能以相当高的转印性，正确地印刷出标的图案形状。另外，在网版印刷中，由于不可能作到完全无渗漏现象，则通过将该开口部的大小作成比标的印刷图案还缩小，将可以使印刷材料渗漏之后的印刷图案形状，与标的印刷图案的形状相一致。
此时，上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凸部最好是位于比该标的印刷图案的端部还缩小一定距离的位置上，该一定距离是指大于0μm小于等于25μm的距离。
像这样，通过使开口部的凸部，位于比标的印刷图案的端部还缩小0～25μm的位置上，将可以使印刷材料渗漏之后的印刷图案的形状，更正确地与标的印刷图案的形状相一致。
另外，上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凸部相对于凹部的高度，最好是5～25μm。
像这样，通过凸部相对于凹部的高度为5～25μm，由于可以更具效果地加大凹部附近的印刷材料的渗漏宽度，且缩小凸部附近的渗漏宽度，将可以更具效果地使印刷后的印刷图案成为平滑。
进一步，上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凹凸图案的周期最好是5～50μm。
像这样，通过凹凸图案的周期为5～50μm，由于可以更具效果地加大凹部附近的印刷材料的渗漏宽度，具有缩小凸部附近的渗漏宽度，因而可以更有效地使印刷图案成为平滑且为规则性。此外，规则性的印刷图案的形状，其周期会变成与开口端部的凹凸图案相一致。
另外，上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凹部的宽度最好是5～25μm。
像这样，通过凹部的宽度为5～25μm，将可以更有效地加大凹部附近的印刷材料渗漏宽度，并更有效地使印刷后的印刷图案成为平滑。
进一步，上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，最好至少是三角波、矩形波、正弦波中的任一种形状，或是组合这些形状而成。
像这样，通过将凹凸图案形状作成至少为三角波、矩形波、正弦波中的任一种形状，或是组合这些形状而成，将可以简单地形成一具有正确同步性的凹凸图案，且凹凸图案的设计与制作相当容易，并可将制造成本压低。
此外，上述开口部的开口端部的凹凸图案形状中，其袋状凹部是被周期性地形成。
像这样，通过将凹凸图案形状中的袋状凹部作成被周期性地形成，将可以积极性地制作出使渗漏产生的部位，结果，可以更有效地控制渗漏。也即，可以积极性地诱导渗漏发生于一围绕该袋状开口部的非开口部的正下方。
进一步，上述袋状凹部的形状，最好是圆形或梯形。
像这样，通过该袋状凹部的形状是圆形或梯形，将可以容易地诱导产生渗漏，且袋状凹部的设计与制作相当容易，可以压低制造成本。
又，根据本发明，提供一种网版印刷装置，其特征在于至少包含有：一上述网版印刷板、一在该网版印刷板上通过平行移动而使印刷材料通过上述开口部而吐出并涂布于被印刷物上的挤压器、以及一使该挤压器平行移动的平行移动机构。
通过这样的网版印刷装置，利用平行移动机构来使挤压器平行移动，而使印刷材料通过网版印刷板的开口部而吐出并涂布于被印刷物上的话，由于网版印刷板的开口部的开口端部，具有一与前述标的印刷图案形状不同的凹凸图案形状，在该开口部的开口端部的凹凸图案中，位于凹部附近的印刷材料的渗漏宽度将变大，而在凸部附近的渗漏宽度将变小，结果，印刷图案的端部将成为一平滑且规则性的形状。因此，因为可以防止印刷材料的渗漏所致印刷图案形状的不规则化，所以成为一即使标的印刷图案是细微的图案，仍可以以相当高的转印性，更正确地来印刷出标的的图案形状的装置。
尤其是，通过前述网版印刷装置，将可以提供一种太阳电池，是通过上述网版印刷装置，在基板的表面上，利用网版印刷而形成有电极的太阳电池。
像这样，通过上述网版印刷装置，若利用网版印刷来作出形成有电极的太阳电池，将会是一种能以低成本来正确地印刷出指形电极等图案，且既便宜又高质量的太阳电池。
像这样，通过本发明，由于可以防止印刷图案因为网版印刷之际因印刷材料的渗漏所致的形状不规则化，即使标的印刷图案是细微的图案，仍可以在具有高转印性的下更正确地印刷出标的图案形状。
附图说明
图1是一概略平面图，表示出本发明的网版印刷板，且表示出其开口部的开口端部是具有凹凸图案形状(三角波)的例子。
图2是一概略平面图，表示出本发明的网版印刷板，且表示出其开口部的开口端部是具有凹凸图案形状(三角波)的例子、以及印刷后的印刷图案的例子。
图3是一概略平面图，表示出现有的网版印刷板，且表示出其开口部的开口端部是具有直线状形状的例子。
图4是一概略图，用以说明在依据本发明的网版印刷板所进行的网版印刷中的渗漏现象。
图5是一概略平面图，表示出本发明的网版印刷板，且表示出其标的印刷图案的端部是(a)直线状及是(b)曲线状的例子。
图6是一概略平面图，表示出本发明的网版印刷板，且表示出其开口部的开口端的凹凸图案形状是一形成有袋状的凹部((a)梯形(b)圆形)的例子。
图7是一概略平面图，表示出本发明的网版印刷板，且表示出其开口部的开口端的凹凸图案形状是三角波，且标的印刷图案是带状的例子。
图8是一概略平面图，表示出本发明的网版印刷板，且表示出其开口部的开口端的凹凸图案形状是圆形的袋状凹部，且标的印刷图案是带状的例子。
图9是本发明的网版印刷装置的一例的概略剖面图。
具体实施方式
网版印刷由于生产性高，为多数产业所活用，然而，要使用网版印刷来印刷标的印刷图案，尤其是细微图案时，有时会因为来自开口端部的印刷材料渗漏，而使转印性降低的问题。另一方面，在电子工业领域，例如在太阳电池等的图案印刷等的中所使用的网版印刷中，尤其要求高的转印性。
因此，本发明通过锐意的研究，发现针对一种网版印刷板，其至少设有一开口部，用以在网版印刷中将用以形成标的印刷图案的印刷材料吐出至被印刷物上，而通过将上述开口部的大小，作成比上述标的印刷图案还缩小，且上述开口部的开口端部具有一与上述标的印刷图案形状不同的凹凸图案形状，则可以防止印刷图案因为印刷材料的渗漏所致的形状不规则化，且即使标的印刷图案是细微的图案，也可在高转印性之下更正确地印刷出标的图案形状。
以下，一边参照附图一边对本发明的实施例作详细说明，但本发明并非限定于这些实施例。
图1与图2是一概略平面图，表示出本发明的网版印刷板，且表示出其开口部的开口端部是具有凹凸图案形状(三角波)的例子。图9是本发明的网版印刷装置的一例的概略剖面图。
使用了本发明的网版印刷板1的网版印刷装置10，是至少包含有：一网版印刷板1，是设有一开口部，用以在网版印刷中将用以形成标的印刷图案4的印刷材料1 2吐出至被印刷物11上，且开口部2的大小比标的印刷图案4还缩小，且该开口部2的开口端部3具有一与标的印刷图案4的形状不同的凹凸图案形状；一挤压器21，在网版印刷板1上通过平行移动而使印刷材料12通过开口部2而被吐出并涂布于被固定在夹持桌(chuck table)上的被印刷物11上；以及一使挤压器21平行移动的平行移动机构20。
本发明的网版印刷板1，设有一开口部2，在网版印刷中，将用以形成标的印刷图案4的印刷材料12吐出至被印刷物11上。
开口部2的大小，缩小成比标的印刷图案4还小，藉此，可以使印刷材料12被印刷后的印刷图案5的形状，与标的印刷图案4的形状相一致。
开口部2的开口端部3具有一与标的印刷图案形状4不同的凹凸图案形状，藉此，在网版印刷之际，在开口部2的开口端部3的凹凸图案中的凹部7附近，印刷材料12的渗漏宽度(幅度)会变大，而在凸部6附近的渗漏宽度则变小，因而印刷后的印刷图案5是成为平滑且规则的形状。相对于此，若如现有般地将开口部的开口端部作成与标的图案形状相同的相似形状而使其端部呈直线状，则印刷材料会不规则地渗漏，无法控制，结果将无法形成标的印刷图案。
像这样，将可以防止印刷图案的形状因为印刷材料12的渗漏所致的不规则化，也即，由于可以控制渗漏发生后的印刷图案的形状，因而即使标的印刷图案4是细微的图案，也可以在高转印性之下，更正确地印刷出标的图案形状。
例如，如图2所示，例如，当要使用一开口部的开口端部3是作成三角波的网版印刷板1来进行印刷动作时，印刷后的印刷图案会因渗漏现象，而成为一具有与三角波相同周期的缓和图案5。
与图3所示的直线状开口端部3a的场合一样地，印刷材料12的端部也就是印刷后的印刷图案5，将因渗漏而比开口部还扩大。但是，印刷后的印刷图案5的形状，其边界线的三角波的角部是成较钝(变圆)的形状，且端部的形状的周期，与边界线的三角波的周期是一致的。也即，并非如图3的5a所示的不规则图案。
利用图4及图9来说明该三角波的角部变钝的理由。首先，在网版印刷中，印刷材料12会因挤压器(squeegee)21的滑动动作而由开口部2被压出，并接触被印刷物11的表面。理想状态下，印刷材料12与被印刷物11间的接触面，是希望被限定成在开口部2的正下方，但是基于施加某一压力于印刷材料12上而使其由网版印刷板1的开口部2被压出的印刷原理，印刷材料12无法避免地会渗出至网版印刷板的非开口部1B与被印刷物11之间的空间。
由开口端部3渗出至非开口部1B下方的印刷材料12的体积，就开口端部3的每单位长度而言是相同的。又，印刷材料12在由开口部2向非开口部1B下方进行渗漏之际，如图4中的箭号所示，是向开口端部3的垂直方向渗漏。结果，理想的渗漏宽度应是离开口端部3有等距离，也即如图中的链线所示。
但是，在开口部2的凸部6的周边，与开口部2的凹部7的周边，箭号8的密度与其它直线部分是不同的。进一步，即使是开口部2的凸部6的周边，其与开口部2的凹部7的周边相较，其箭号8的密度也不同的。当然，在非开口部1B的凹部的正下方(开口部的凸部6的前端周边)，渗出的印刷材料12的体积会较小，而在非开口部1B的凸部的正下方(围绕开口部2的凹部7的区域)，渗出的印刷材料12的体积会较大。
结果，在非开口部1B的凹部的正下方(开口部2的凸部6的前端周边)的渗漏宽度会变小，而在非开口部1B的凸部的正下方(围绕开口部2的凹部7的区域)的渗漏宽度会变大。而且，印刷材料12的端面(图中的虚线)会成为一打消开口部2的凹凸的形状，于是角部钝化了(圆化)。
通过该角部的圆化现象，利用一印刷后的印刷图案5的振幅，变得比开口部2与非开口部1B的开口端部3的振幅还小的现象，使印刷后的印刷图案5的形状，接近标的印刷图案4的形状，而来进行渗漏形状的控制，即为本发明的原理。
为了要达到此目的，只要在开口部2制作出与在原本使用的印刷条件下的渗漏大小约略相同或是更小的三角波等的周期波即可。当然，若将该开口端部3的周期波的周期或振幅，作成比原本的渗漏大小还大得多，则在周期波的直线部中的渗漏也不能忽略的。
例如，在想要得到一如图5(a)的虚线所示的直线状标的印刷图案4的形状时，以一比所使用的印刷条件中的渗漏宽度还小的振幅，来制作凹凸图案，将使印刷后的印刷图案5的形状的凹凸变小。
又，在想要得到一如图5(b)的虚线所示的曲线状标的印刷图案4的形状时，使振幅的中心，沿着所要的标的印刷图案4的形状，而以一比渗漏宽度还小的振幅来制作出凹凸图案。
此时，开口部2的开口端部3的凹凸图案形状，其凸部6最好是处于一比标的印刷图案4的端部还缩小0～25μm的位置。以此，可以使印刷材料12渗出后的印刷后的印刷图案5的形状，更正确地与标的印刷图案4的形状相一致。
又，开口部2的开口端部3的凹凸图案，其相对于凹部7的凸部6的高度为5～25μm，以此，由于可以更有效地加大印刷材料12在凹部7附近的渗漏宽度，并缩小在凸部6附近的渗漏宽度，将可以有效地使印刷后的印刷图案5成为平滑，且与标的印刷图案4相一致。
进一步，开口部2的开口端部3的凹凸图案，其凹凸图案的周期最好是5～50μm。以此，由于可以更有效地加大印刷材料12在凹部7附近的渗漏宽度，并缩小在凸部6附近的渗漏宽度，将可以有效地使印刷后的印刷图案5成为平滑且规则性。又，规则性印刷图案的形状，其周期与开口端部3的凹凸图案相一致。因此，可以自由地控制印刷后的图案5的形状。
又，开口部2的开口端部3的凹凸图案，其凹部7的宽度最好是5～25μm。以此，由于可以更有效地加大印刷材料12在凹部7附近的渗漏宽度，将可以有效地使印刷后的印刷图案5成为平滑。
进一步，开口部2的开口端部3的凹凸图案形状，最好是至少为三角波、矩形波、正弦波中的任一种形状，或是组合这些形状而成。如此将可以简单地形成一具有正确同步性的凹凸图案，且凹凸图案的设计与制作相当容易，并可将制造成本压低。又，根据这样的图案，在凹部处，印刷材料容易渗漏，易于平坦化印刷后的图案。
又，如图6所示，开口部2的开口端部3的凹凸图案，其袋状凹部7B最好是形成周期性。以此，将可以积极性地制作出使渗漏产生的部位，并可以更有效地控制渗漏。在围绕该袋状开口部2的非开口部1B的正下方，可以积极性地诱导渗漏。
进一步，上述袋状的凹部7B的形状，最好是如图6(a)所示的梯形、或如图6(b)所示的圆形。以此，将可以更容易地使渗漏产生于凹部，而以印刷材料填入。而且，袋状的凹部7B的设计与制作相当容易，可以压低制造成本。
其中，作为被印刷物11，基于成本考虑，最好是使用平板。然而也可设置沟或穴等凹部。此时，当利用切削加工来作为加工法时，凹部会是沟形。
又，作为被印刷物11，例如使用硅单结晶晶圆，尤其是使用太阳电池用硅晶圆，但是并不限定于该场合下的晶圆形状、物性等。例如，在想要印刷出指形电极或汇流条电极，来作为太阳电池的电极图案时，可以应用本发明。又，作为本发明的被印刷物11，也可应用硅单结晶晶圆以外的材料，只要是一需要复杂图案的印刷的印刷基板等都可。
挤压器21如图9所示，是由一作为用以将印刷材料12涂布至被印刷物11上的构件也就是挤压橡胶15，以及一用以支持挤压橡胶15的挤压治具16所组成。其作成可以在网版印刷板1上面，一边控制印压或移动速度，一边通过在导轨27上移动的平行移动机构20而作平行移动。挤压器21是通过平行移动于网版印刷板1上，而使印刷材料12通过开口部2而被吐出并涂布于被印刷物11上。
在平行移动机构20上，最好在导轨27上设有一用以通过直接固定的挤压治具16的连接部来控制移动速度的机制(手段)。进一步，在挤压治具16或平行移动机构20上，最好设有一用以调节挤压器21经由印刷材料12而压住网版印刷板1的压力的印刷压力调整用致动器(actuator)。
在此场合，可以将致动器连接至致动器控制电路等，并以压缩空气或电力来使挤压器21升降，而来调节挤压器21压住网版印刷板1的压力。
导轨27，是如图9所示，可以是将一具有导轨高度调整用致动器25的支柱26安装在网版印刷板1的板框24上，而设置于其上部。此时，挤压器21可以利用挤压治具16而与平行移动机构20相固定，且其挤压治具16可以通过导轨27而相对于网版印刷板1平行滑动。至于挤压器21相对于网版印刷板1的高度，则可以通过利用导轨高度调整用致动器25来调整导轨27的高度，而进行控制。
通过如上所述的本发明的网版印刷装置10，若以平行移动机构20来使挤压器21平行移动，而使印刷材料12通过网版印刷板1的开口部2而被吐出并涂布于被印刷物11的话，由于网版印刷板的开口部2的开口端部3具有一与标的印刷图案形状不同的凹凸图案形状，所以在开口部2的开口端部3的凹凸图案中的凹部7附近，印刷材料12的渗漏宽度将变大，而在凸部6附近，渗漏宽度将变小，因而印刷图案的端部会成为平滑且规则性的形状。
因此，由于可以防止印刷图案的形状因为印刷材料12的渗漏所致的不规则化，即使标的印刷图案4是一种细微的图案，也能以高转印性正确地印刷出标的图案形状。
以下，显示实施例及比较例来具体地说明本发明，但本发明并不被限定于此。
(实施例、比较例)
准备一厚度300μm、直径125mm的硅单结晶晶圆150片，并以氢氧化钾溶液除去表面损坏层，再准备一具有如图7所示开口部的开口端部的网版印刷板1，且开口部的开口端部作成一振幅10μm、周期20μm的三角波，且三角波的振幅中心间距离为90μm(实施例1)。
又，准备一如图8所示的其凹部为袋状(圆形)7B的网版印刷板，且圆形袋部的直径为10μm、周期为20μm、开口宽度为100μm(实施例2)。
另一方面，为了比较之用，准备一具有直线状开口端部、且开口宽度为100μm的网版印刷板(比较例)。
对于任一网版印刷板，其中的纱，都使用一以不锈钢丝制作而成。网目数为380，乳剂厚度为15μm。
其次，分别使用上述印刷板于各50片硅单结晶晶圆(合计150片)上，印刷出导电性浆料。该导电性浆料的黏度为50Pa.s。
本发明的印刷条件为：将挤压器压在网版印刷板上的力量设为300牛顿(N)，挤压器速度设为150mm/s。
其次，使用光学显微镜，对印刷后的晶圆表面中的导电性浆料的印刷宽度作一测量。将所得到的印刷宽度的最小值和最大值、中央值显示于表1中。
表1：
    实施例1     实施例2     比较例
印刷宽度 (μm)     最小值     97     105     113
    最大值     105     117     138
    中央值     101     111     126
最大值与最小值的差(μm)     8     12     25
由该结果可知，印刷宽度的中央值在一根据本发明的实施例1中为101μm，在实施例2中为111μm，在比较例中为126μm。
印刷宽度的最大值与最小值的差，在实施例2与比较例中有二倍以上的差异，此点是一种相当大的差异。在本实验中，可知为了得到一更接近直线的印刷后的印刷图案形状，根据本发明的印刷材料的端面平准化效果相当大。
又，在实施例1与2之间，最大值有相当大的差异，这是因为在实施例2中的直线部分的渗漏有较强的影响所致。
又，本发明并非限定于上述实施例。上述实施例仅为例示，只要具有一与本发明的申请专利范围所述技术思想实质相同的构成、达到同样的效果，不管怎样都被包含在本发明的技术范围内。

Claims (19)

1.一种网版印刷板，其至少设有一开口部，用以在网版印刷中将用以形成标的印刷图案的印刷材料吐出至被印刷物上，其特征在于：
上述开口部的大小与上述标的印刷图案相比有所缩小，且上述开口部的开口端部具有一与标的印刷图案形状不同的凹凸图案形状，上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凸部位于比上述标的印刷图案还缩小一定距离的位置上，该一定距离是指大于0μm且小于等于25μm的距离。
2.如权利要求1所述的网版印刷板，其中上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凸部相对于凹部的高度为5～25μm。
3.如权利要求1所述的网版印刷板，其中上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凹凸图案的周期为5～50μm。
4.如权利要求2所述的网版印刷板，其中上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凹凸图案的周期为5～50μm。
5.如权利要求1所述的网版印刷板，其中上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凹部的宽度为5～25μm。
6.如权利要求2所述的网版印刷板，其中上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凹部的宽度为5～25μm。
7.如权利要求3所述的网版印刷板，其中上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凹部的宽度为5～25μm。
8.如权利要求4所述的网版印刷板，其中上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其凹部的宽度为5～25μm。
9.如权利要求1～8中任一项所述的网版印刷板，其中上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，至少是三角波、矩形波、正弦波中的任一种形状，或是这些形状的组合。
10.如权利要求1～8中任一项所述的网版印刷板，其中上述开口部的开口端部的凹凸图案形状，其袋状凹部被周期性地形成。
11.如权利要求10所述的网版印刷板，其中上述袋状凹部的形状是圆形或梯形。
12.一种网版印刷装置，其特征在于至少包含有：
一如权利要求1～8中任一项所述的网版印刷板、一在该网版印刷板上通过平行移动而使印刷材料通过上述开口部而被吐出并涂布于被印刷物上的挤压器、以及一使该挤压器平行移动的平行移动机构。
13.一种网版印刷装置，其特征在于至少包含有：
一如权利要求9所述的网版印刷板、一在该网版印刷板上通过平行移动而使印刷材料通过上述开口部而被吐出并涂布于被印刷物上的挤压器、以及一使该挤压器平行移动的平行移动机构。
14.一种网版印刷装置，其特征在于至少包含有：
一如权利要求10所述的网版印刷板、一在该网版印刷板上通过平行移动而使印刷材料通过上述开口部而被吐出并涂布于被印刷物上的挤压器、以及一使该挤压器平行移动的平行移动机构。
15.一种网版印刷装置，其特征在于至少包含有：
一如权利要求11所述的网版印刷板、一在该网版印刷板上通过平行移动而使印刷材料通过上述开口部而被吐出并涂布于被印刷物上的挤压器、以及一使该挤压器平行移动的平行移动机构。
16.一种太阳电池，其特征在于：
以权利要求12所述的网版印刷装置，在基板的表面上，利用网版印刷而形成有电极。
17.一种太阳电池，其特征在于：
以权利要求13所述的网版印刷装置，在基板的表面上，利用网版印刷而形成有电极。
18.一种太阳电池，其特征在于：
以权利要求14所述的网版印刷装置，在基板的表面上，利用网版印刷而形成有电极。
19.一种太阳电池，其特征在于：
以权利要求15所述的网版印刷装置，在基板的表面上，利用网版印刷而形成有电极。
CN2006800215276A 2005-06-17 2006-05-02 网版印刷板、网版印刷装置及太阳电池 Active CN101198477B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005178096A JP4917278B2 (ja) 2005-06-17 2005-06-17 スクリーン印刷版およびスクリーン印刷装置
JP178096/2005 2005-06-17
PCT/JP2006/309149 WO2006134734A1 (ja) 2005-06-17 2006-05-02 スクリーン印刷版およびスクリーン印刷装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101198477A CN101198477A (zh) 2008-06-11
CN101198477B true CN101198477B (zh) 2010-09-22

Family

ID=37532101

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2006800215276A Active CN101198477B (zh) 2005-06-17 2006-05-02 网版印刷板、网版印刷装置及太阳电池

Country Status (11)

Country Link
US (1) US8141484B2 (zh)
EP (1) EP1892116B1 (zh)
JP (1) JP4917278B2 (zh)
KR (1) KR101224853B1 (zh)
CN (1) CN101198477B (zh)
AU (1) AU2006257127B2 (zh)
DE (1) DE602006017208D1 (zh)
ES (1) ES2351091T3 (zh)
RU (1) RU2007146055A (zh)
TW (1) TW200702181A (zh)
WO (1) WO2006134734A1 (zh)

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5151242B2 (ja) * 2007-05-11 2013-02-27 凸版印刷株式会社 光透過性電磁波シールド部材の製造方法
DE202008012829U1 (de) * 2008-09-26 2008-12-04 Nb Technologies Gmbh Siebdruckform
EP2480413A1 (en) 2009-09-21 2012-08-01 DTG International GmbH Printing screens and method of fabricating the same
RU2013135445A (ru) 2010-12-31 2015-02-10 Сэнт-Гобэн Керамикс Энд Пластикс, Инк. Абразивное изделие (варианты) и способ его формования
CN102848764A (zh) * 2011-06-29 2013-01-02 群康科技(深圳)有限公司 印版及使用该印版的电路板印刷方法与制造的印刷电路板
US8840694B2 (en) 2011-06-30 2014-09-23 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Liquid phase sintered silicon carbide abrasive particles
US8986409B2 (en) 2011-06-30 2015-03-24 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive articles including abrasive particles of silicon nitride
CN103826802B (zh) 2011-09-26 2018-06-12 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 包括磨料颗粒材料的磨料制品，使用磨料颗粒材料的涂布磨料及其形成方法
KR20140106713A (ko) 2011-12-30 2014-09-03 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 형상화 연마입자 및 이의 형성방법
JP5903502B2 (ja) 2011-12-30 2016-04-13 サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド 成形研磨粒子を備える粒子材料
JP5847331B2 (ja) 2011-12-30 2016-01-20 サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド 成形研磨粒子の形成
WO2013106602A1 (en) 2012-01-10 2013-07-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
AU2013207946B2 (en) 2012-01-10 2016-07-07 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having complex shapes and methods of forming same
US9242346B2 (en) 2012-03-30 2016-01-26 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive products having fibrillated fibers
EP4302955A3 (en) 2012-05-23 2024-04-17 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particles and methods of forming same
EP2866977B8 (en) 2012-06-29 2023-01-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
CA2887561C (en) 2012-10-15 2019-01-15 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
CN104994995B (zh) 2012-12-31 2018-12-14 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 颗粒材料及其形成方法
US9457453B2 (en) 2013-03-29 2016-10-04 Saint-Gobain Abrasives, Inc./Saint-Gobain Abrasifs Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
TW201502263A (zh) 2013-06-28 2015-01-16 Saint Gobain Ceramics 包含成形研磨粒子之研磨物品
CN111978921A (zh) 2013-09-30 2020-11-24 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 成形磨粒及其形成方法
CN104582300A (zh) * 2013-10-18 2015-04-29 重庆方正高密电子有限公司 一种线路板防焊底片和线路板制造方法
US9566689B2 (en) 2013-12-31 2017-02-14 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US9771507B2 (en) 2014-01-31 2017-09-26 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle including dopant material and method of forming same
EP3131706B8 (en) 2014-04-14 2024-01-10 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US9803119B2 (en) 2014-04-14 2017-10-31 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US9902045B2 (en) 2014-05-30 2018-02-27 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Method of using an abrasive article including shaped abrasive particles
US10137528B2 (en) * 2014-12-15 2018-11-27 Autodie Llc Blank etching fixture
US9914864B2 (en) 2014-12-23 2018-03-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particles and method of forming same
US9707529B2 (en) 2014-12-23 2017-07-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Composite shaped abrasive particles and method of forming same
US9676981B2 (en) 2014-12-24 2017-06-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle fractions and method of forming same
TWI634200B (zh) 2015-03-31 2018-09-01 聖高拜磨料有限公司 固定磨料物品及其形成方法
CN107636109A (zh) 2015-03-31 2018-01-26 圣戈班磨料磨具有限公司 固定磨料制品和其形成方法
CA2988012C (en) 2015-06-11 2021-06-29 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
TWI554838B (zh) * 2015-07-21 2016-10-21 茂迪股份有限公司 具有良好漿料印刷性之網版
SG10201912336SA (en) 2015-07-22 2020-02-27 Shinetsu Chemical Co Screen printing apparatus, screen printing method, and electrode formation method of solar battery
US11718774B2 (en) 2016-05-10 2023-08-08 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles and methods of forming same
EP3455320A4 (en) 2016-05-10 2019-11-20 Saint-Gobain Ceramics&Plastics, Inc. GRINDING PARTICLES AND METHOD FOR FORMING THEREOF
WO2018064642A1 (en) 2016-09-29 2018-04-05 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Fixed abrasive articles and methods of forming same
US10759024B2 (en) 2017-01-31 2020-09-01 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US10563105B2 (en) 2017-01-31 2020-02-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US10865148B2 (en) 2017-06-21 2020-12-15 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Particulate materials and methods of forming same
CN114867582A (zh) 2019-12-27 2022-08-05 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 磨料制品及其形成方法
CN111845038A (zh) * 2020-07-30 2020-10-30 仓和精密制造(苏州)有限公司 增加疏水疏油性的印刷网版及其制作方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004195858A (ja) * 2002-12-19 2004-07-15 Sharp Corp スクリーンマスク、それを用いた厚膜印刷基板の製造方法および厚膜印刷基板

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05270161A (ja) 1991-07-08 1993-10-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd スクリーン印刷版
JP3656684B2 (ja) * 1996-11-21 2005-06-08 リコーマイクロエレクトロニクス株式会社 粒子入ペースト用印刷マスク及びその製造装置
JPH10329444A (ja) 1997-05-29 1998-12-15 Sumitomo Metal Mining Co Ltd スクリーン印刷用マスク
JP3072832B2 (ja) 1997-06-04 2000-08-07 キヤノン株式会社 光電変換体
JP3279239B2 (ja) * 1997-11-20 2002-04-30 株式会社村田製作所 厚膜形成用ペーストの印刷方法
JP2002283535A (ja) * 2001-03-22 2002-10-03 Ando Electric Co Ltd メタルマスク
JP2002373995A (ja) 2001-06-15 2002-12-26 Honda Motor Co Ltd 太陽電池の製造方法
JP4322082B2 (ja) 2003-10-02 2009-08-26 シャープ株式会社 太陽電池の製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004195858A (ja) * 2002-12-19 2004-07-15 Sharp Corp スクリーンマスク、それを用いた厚膜印刷基板の製造方法および厚膜印刷基板

Also Published As

Publication number Publication date
DE602006017208D1 (de) 2010-11-11
EP1892116A4 (en) 2009-07-08
TWI348971B (zh) 2011-09-21
US8141484B2 (en) 2012-03-27
TW200702181A (en) 2007-01-16
WO2006134734A1 (ja) 2006-12-21
KR101224853B1 (ko) 2013-01-22
RU2007146055A (ru) 2009-07-27
ES2351091T3 (es) 2011-01-31
JP2006347077A (ja) 2006-12-28
EP1892116B1 (en) 2010-09-29
AU2006257127B2 (en) 2011-04-28
AU2006257127A1 (en) 2006-12-21
JP4917278B2 (ja) 2012-04-18
EP1892116A1 (en) 2008-02-27
CN101198477A (zh) 2008-06-11
KR20080026543A (ko) 2008-03-25
US20080196608A1 (en) 2008-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101198477B (zh) 网版印刷板、网版印刷装置及太阳电池
KR20110007173A (ko) 불규칙한 표면의 웨지 임프린트 패터닝
CN102729591A (zh) 丝网印刷方法及其装置
CN1171081A (zh) 布施粘性材料的方法和装置
JP2013161871A (ja) 印刷装置及びそれを用いた太陽電池セルの製造方法
KR20110124149A (ko) 스크린 인쇄 방법 및 그 장치
CN203142021U (zh) 双头激光打标机
CN104317110A (zh) 一种转印版
JP4859414B2 (ja) スクリーン印刷方法及び太陽電池素子
US20170013724A1 (en) Tracks patterns production apparatus
CN204701266U (zh) 间歇式丝网印刷装置
CN101708668B (zh) 一种用于丝网印刷机上的刮刀
US9789681B2 (en) Screen printing apparatus including scraper with curved portion having opening
CN102179998A (zh) 用于太阳能电池丝网印刷的刮胶和刮刀
CN104028659B (zh) 一种侧向压料机构及冲压模具
JP2006076141A (ja) スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置並びにスキージ
CN203282821U (zh) 一种中心对位平台机构
KR101694193B1 (ko) 패드 인쇄장치
CN108698425B (zh) 印刷版
CN113858776A (zh) 一种用于光伏电池丝网印刷的刮板及电池片细栅制备方法
CN203185820U (zh) 一种可提高浆料利用率的印刷模块
JP2006247990A (ja) スクリーン印刷方法及びスキージ並びにスクリーン印刷装置
CN207971272U (zh) 一体式冲切机构
CN211251699U (zh) 自动网印机的离版升降系统
CN220973626U (zh) 可实现点径小于0.1mm的渐变式丝网印刷工艺的设备

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant