CN101147093A - 维修方法及其装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种维修方法及其装置。在该维修方法及装置中，从对玻璃基板(2)上的缺陷部进行拍摄而取得的缺陷图像数据中提取出缺陷部的形状数据，根据该形状数据来对DMD单元(16)的各微小反射镜高速地进行角度控制，使由这些微小反射镜所反射的激光(r)的截面形状与缺陷部的形状大致一致而照射到缺陷部。

Description

维修方法及其装置
技术领域
本发明涉及向例如在液晶显示器(以下称为LCD)的玻璃基板、半导体晶片、印刷基板等上产生的缺陷部照射激光来进行维修的维修方法及其装置。
背景技术
在LCD制造工序中，进行针对在光刻(photolithography)处理工序中所处理的玻璃基板的各种检查。作为该检查结果，当在形成于玻璃基板上的抗蚀剂图形或蚀刻图形中检测出缺陷部时，对该缺陷部照射激光来进行缺陷部的维修。
作为维修方法，例如有分别记载于专利文献1和2中的技术。在专利文献1中记载有如下的技术：将从紫外激光振荡器输出的紫外激光入射到可变矩形开口，利用各刀口的可动而对该可变矩形开口进行开闭，将紫外光的截面形状整形为所期望大小的矩形而照射到缺陷部。
在专利文献2中记载有如下的技术：将从激光振荡器输出的激光束入射到孔(aperture)，通过使该孔的各叶片(blade)伸缩和转动来形成与缺陷部的形状相应形状的激光束。通过更换使用直线状的叶片或具有不同曲率的半圆切口和半圆突起的各个叶片，从而孔对应于任意形状的缺陷部。
专利文献1：日本特开平9-5732号公报
专利文献2：日本特开平3-13946号公报
在LCD制造工序的维修中，存在玻璃基板上的抗蚀剂图形的维修和蚀刻图形的维修。在抗蚀剂图形的维修中，对形成在玻璃基板上的金属膜上的抗蚀剂图形的缺陷部照射激光来进行维修。在该维修中，在所维修的抗蚀剂图形的基底上存在金属膜，当向抗蚀剂图形的缺陷部照射激光时，有时激光也会照射到基底的金属膜上。即使如上述这样激光照射到金属膜，对金属膜的影响也小，激光对金属膜照射时的损伤可以忽略。
与此相对，在蚀刻图形的维修中，为了对在玻璃基板上通过蚀刻所形成的金属图形的缺陷部照射激光，进行维修的金属图形基底成为玻璃基板。因此，当向金属图形的缺陷部照射激光时，如果也向作为基底的玻璃基板照射激光，则将对玻璃基板带来损伤。受到损伤的玻璃基板的修复比较困难，必须废弃玻璃基板本身，使LCD制造的成品率降低。以此，希望极力避免对玻璃基板的损伤。
另外，在作为维修对象的各缺陷部的形状中，每个缺陷都不同，呈现出无法单靠简单地组合直线和曲线来表示的复杂形状。因此，如专利文献1那样，通过可变矩形开口的开闭，难以使紫外激光的截面形状与缺陷部的形状一致，导致偏离缺陷部而照射到维修对象外的图形和基底，从而造成损伤。
在专利文献2中，可通过使用各叶片来与任意形状的缺陷部对应地对激光的截面形状进行整形，但由于缺陷部的大小和形状各不相同，所以无法对应于所有的缺陷部。另外，在对形状不同的缺陷部进行维修的情况下，每当对这些缺陷部进行维修时，必须按照各缺陷部的形状来对各叶片进行更换作业，维修作业花费时间。特别，在LCD的制造工序中，为实现降低成本，而要求提高成品率且缩短维修时间，但无法满足该要求。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种可与复杂形状的缺陷部对应地对激光的截面形状进行整形，来准确且高速地对缺陷部进行维修的维修方法及其装置。
在本发明的维修方法中，向具有在纵横方向上排列多个而形成的各调制要素的空间调制元件入射从激光光源输出的激光，对该空间调制元件的各调制要素分别进行控制，通过所述各调制要素将所述激光的截面形状整形为维修对象的形状，向所述维修对象照射该整形后的所述激光来对该维修对象进行修复。
在本发明的维修方法中包含如下的工序：从图像数据中提取出所述维修对象的形状数据的工序；从激光光源输出激光的工序；根据所述维修对象的形状数据，分别对具有在纵横方向上排列多个的各调制要素的空间调制元件的各调制要素进行控制，将从所述激光光源输出的所述激光整形为所述维修对象形状的工序；以及向所述维修对象照射由所述各调制要素所整形的所述激光，来对该维修对象进行修复的工序。
本发明的维修装置具有：激光光源，其输出激光；空间调制元件，其具有可分别控制的各调制要素，且在纵横方向上排列多个该各调制要素而形成；摄像装置，其对所述维修对象进行拍摄；维修对象提取单元，其从通过所述摄像装置的拍摄而取得的图像数据中提取出所述维修对象的形状数据；激光形状控制单元，其根据由所述维修对象提取单元所提取出的所述维修对象的形状数据，来对所述空间调制元件的所述各调制要素进行控制，由所述各调制要素将所述激光整形为与所述维修对象形状一致；以及光学系统，其向所述维修对象照射由所述空间调制元件的所述各调制要素所整形的所述激光。
根据本发明，可提供能够与复杂形状的缺陷部对应地对激光的截面形状进行整形，来高速地对缺陷部进行维修的维修方法及其装置。
附图说明
图1是示出本发明的第1实施方式的维修装置的概略结构的结构图。
图2是示出在本发明的第1实施方式的维修装置中使用的空间调制元件的一个调制要素的外观的外观立体图。
图3是示出在本发明的第1实施方式的维修装置中使用的空间调制元件的各调制要素的排列的排列图。
图4是对本发明的第1实施方式的维修装置的动作进行说明的流程图。
图5是通过本发明的第1实施方式的维修装置中的照相机的拍摄而得到的缺陷图像数据的示意图。
图6是本发明的第1实施方式的维修装置中的基准图像数据的示意图。
图7是由本发明的第1实施方式的维修装置所提取出的缺陷提取图像数据的示意图。
图8A是示出由本发明的第1实施方式的维修装置中的修整部进行的缺陷部形状数据的修正前的状态的一个例子的图。
图8B是示出由相同装置中的修整部进行的图8A的缺陷部形状数据的修正后的状态的图。
图9A是示出由本发明的第1实施方式的维修装置中的修整部进行的缺陷部形状数据的修正前的状态的另一例子的图。
图9B是示出由相同装置中的修整部进行的图9A的缺陷部形状数据的修正后的状态的图。
图10是示出由本发明的第1实施方式的维修装置将缺陷部的形状分割为与空间调制元件的各调制要素对应的各微小区域的示意图。
图11是示出基于本发明的第1实施方式的维修装置的维修不良的缺陷部的图。
图12是示出由本发明的第1实施方式的维修装置所维修的缺陷部的形状的一个例子的图。
图13是示出本发明的第2实施方式的维修装置和使用该维修装置的维修系统的概略结构的结构图。
图14A是示意示出在本发明的第2实施方式的维修装置中使用的空间调制元件的结构的一部分的局部放大立体图。
图14B是用于对在本发明的第2实施方式的维修装置中使用的空间调制元件的调制要素进行说明的立体说明图。
图14C是用于对可在本发明的第2实施方式的维修装置中使用的其他空间调制元件的调制要素进行说明的立体说明图。
图15是示出本发明的第3实施方式的维修装置和使用该维修装置的维修系统的概略结构的结构图。
图16是对本发明的第1～3实施方式的维修工序的变形例进行说明的流程图。
标号说明
1：XY台；2：玻璃基板；3：移动驱动控制部；4：基板检查装置(缺陷位置检查单元)；5：照明光源；6、10、20：透镜；7、8：分光器；9：物镜；11：照相机(摄像装置)；12：维修对象提取图像处理部(维修对象提取单元)；13：监视器；14：维修用光源(激光光源)；15：反射镜；16：DMD单元(空间调制元件)；16a：基准反射面；17：DMD；18：驱动用存储单元；19：微小反射镜(空间调制元件的调制要素)；21：激光形状控制部(激光形状控制单元)；22、35：DMD驱动器23：修整部；24：反射镜；25：维修位置确认用光源；28：基板搬送装置(基板搬送机构)；29：空间调制器驱动器；30、36：透射型空间调制器(空间调制元件)；30a、36a：翻转单元(空间调制元件的调制要素)；31：可动反射镜(偏转光学元件)；33：透镜；34：一维DMD(空间调制元件)；50、51、52：维修装置；100、101、102：维修系统；111：检查结果数据。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的实施方式。在所有附图中，即使在实施方式不同的情况下，对相同或相应的部件赋予相同标号，而省略相同的说明。
(第1实施方式)
对本发明的第1实施方式的维修装置进行说明。
图1是示出本发明的第1实施方式的维修装置的概略结构的结构图。图2是示出在本发明的第1实施方式的维修装置中使用的空间调制元件的一个调制要素的外观的外观立体图。图3是示出在本发明的第1实施方式的维修装置中使用的空间调制元件的各调制要素的排列的排列图。
以下为便于方向参照，记载有图1所示的XYZ坐标系(图13、图15也相同)。在该右手系坐标系中，Z轴正方向为图示上方向，X轴正方向为图示右方向，ZX平面与纸面平行，Y轴正方向为朝向纸面内侧。
本实施方式的维修装置50与基板检查装置4、数据库服务器401一起构成维修系统100。
维修装置50的概略结构由XY台1、控制装置400、移动驱动控制部3、照明光源5、照相机11(摄像装置)、维修对象提取图像处理部12(维修对象提取单元)、维修用光源14(激光光源)、数字微镜器件(digitalmicro mirror device)单元(以下，简称为DMD单元)16(空间调制元件)、激光形状控制部21(激光形状控制单元)、和基板搬送装置28构成。
在XY台1上，作为维修对象即基板而载置有LCD的玻璃基板2。作为这样的维修对象基板，只要是形成有半导体晶片、印刷基板、LCD用彩色滤光片、图形掩膜等形成有微细图形的基板即可。通过移动驱动控制部3的驱动控制，该XY台1在图示XY方向上移动。
控制装置400与图像处理部12、激光形状控制部21、基板搬送装置28、移动驱动控制部3、数据库服务器401连接。在数据库服务器401上连接有基板检查装置4。在数据库服务器401中保存有由基板检查装置4例如对玻璃基板2进行缺陷检查，而作为其结果的包含玻璃基板2上的缺陷部的坐标、大小、缺陷的种类等的检查结果数据。控制装置400从数据库服务器401取得检查结果数据，根据该检查结果数据的各缺陷部的坐标数据来在图示XY方向上对XY台1进行移动控制，将玻璃基板2上的各缺陷部自动定位于维修位置L、即从后述的维修用光源14射出的激光r的照射位置。
另外，移动驱动控制部3与后述的支撑台16b连接，而对支撑台16的位置、姿势进行微动控制，以便可根据需要来调节激光r的截面形状。
另外，关于控制装置400，也可以由计算机来构成，也可以作为软件来嵌入图像处理部12、激光形状控制部21、以及修整部23等。
照明光源5射出用于对玻璃基板2进行照明的照明光。在该照明光的光路上，隔着透镜6设有分光器7。在该分光器7的反射光路上，隔着分光器8设有物镜9。
在通过这些物镜9、各分光器8、7的光轴p的延长线上，隔着透镜10设有由CCD等构成的照相机11。该照相机11通过透镜10和物镜9来拍摄玻璃基板2，并输出其图像信号。
关于物镜9，仅图示出1个，但其由在未图示的物镜转换器中具有的多种倍率的物镜构成。包含有检查用的倍率比较低的例如5倍、10倍的物镜、和维修用的倍率比较高的、例如20倍、50倍的物镜。维修用物镜选择玻璃材料、涂料，以使所使用的激光波长可高效地进行透射。
维修对象提取图像处理部12输入从照相机11输出的图像信号而取得缺陷图像数据，对该缺陷图像数据和基板图像数据进行比较而从该差异图像数据中提取出玻璃基板2上的缺陷部，进行二值化处理来生成缺陷形状图像数据。另外，也可以通过图像处理根据缺陷形状图像数据或差异图像数据求出缺陷部的轮廓，生成可除去轮廓内部的那样的缺陷形状数据。该维修对象提取图像处理部12在监视器13上显示缺陷图像数据、缺陷提取图像数据或缺陷形状数据。
维修用光源14射出用于对玻璃基板2的缺陷部进行维修的激光r。该维修用光源14例如使用可射出基本波长λ1＝1.064μm的第2、第3、第4高次谐波(各波长分别为λ2＝532nm、λ3＝355nm、λ4＝266nm)的YAG激光振荡器。作为激光r，例如，也可以是射出单发(1shot)的波长为λ3＝355nm的激光，也可以按照维修对象的玻璃基板2的种类和工序等而根据需要分开使用各波长光。
在从该维修用光源14射出的激光r的光路上，依次设有透镜14a、反射镜15，激光r经由这些而引入到DMD单元16。
透镜14a使从维修用光源14射出的激光r成为光束直径被扩大的大致平行光。反射镜15使激光r偏转而以一定角度入射到DMD单元16。在透镜14a和反射镜15的光路中，可插拔地设有反射镜24，该反射镜24反射后述的维修位置确认用光源25的照明光，将其引入到与激光r相同的光路中。
另外，如图1的双点划线所示，也可以根据需要在透镜14a和反射镜24之间设置对激光r的截面形状进行整形的光圈14b。
另外，也可以在透镜14a和DMD单元16之间的光路上设置对激光r的截面强度分布进行均匀化的均匀化光学系统27。例如，也可以如图1的双点划线所示，配置在光路插入时的反射镜24和反射镜15之间等。
这样的均匀化光学系统27已知例如使用复眼透镜(fly-eye lens)、衍射元件、非球面透镜、万花筒(カレイド)型的棒等的多种结构，所以可以根据需要来采用任一结构。
DMD单元16是将多个如图2所示那样的数字微镜器件(digital micromirror device)(以下，简称为DMD)17如图3所示那样以二维形式纵横排列而形成的。
如图2所示，各DMD 17被设置成微小反射镜19可在驱动用存储单元18的上部例如以角度±10°和0°(水平)倾斜，并且可进行切换这些倾斜状态的数字控制。
这些DMD 17利用在该各微小反射镜19和驱动用存储单元18之间的间隙中作用的电压差引起的静电引力来高速切换角度±10°和0°，公知有例如在日本特开2000-28937号公报中公开的DMD。例如该微小反射镜19的旋转被挡件限制成±10°，在驱动用存储单元18的打开(“ON”)状态下旋转到角度±10°，而在关闭(“OFF”)状态下还原到水平角度0°。另外，该微小反射镜19是使用半导体制造技术、例如MEMS(MicroElectro Mechanical Systems，微机电系统)技术等，形成为外形边长为例如几μm～几十μm级的矩形形状的微型反射镜。在本实施方式中，例如采用边长16μm的微型反射镜。另外，如图3所示，通过在驱动用存储单元18上以二维形式排列这些微小透镜19来构成DMD单元16。
DMD单元16的基准反射面16a是将各DMD 17的微小反射镜19的倾斜角度设为0°时的反射面，如图1所示，相对于图示XY平面倾斜成倾斜角θa，以使与激光r的入射光轴对应的射出方向的角度在图示ZX平面内在逆时针方向成为θi(其中，θi>0)(图示h方向)，当各微小反射镜19在打开状态下且倾斜成角度+10°时，激光r的射出方向在相对于图示h方向与入射方向相反侧成角度θo(其中，θo>0)。
为了使入射到基准反射面16a的激光r在打开状态下入射到透镜20、分光器8的光轴，根据反射镜15、透镜20、分光器8等的配置位置之间的关系来设定倾斜角θa。
该DMD单元16安装在支撑台16b上，该支撑台16b可根据激光r的入射方向和射出方向将基准反射面16a的倾斜角θa调节为图示XY方向以及倾斜角θa可变的θ方向。关于支撑台16b，也可以具有独立的驱动控制部，但在本实施方式中，将其与移动驱动控制部3连接，以便可借助移动驱动控制部3在XYθ方向上实现微动控制。通过这样的微动控制，可使激光r的截面形状与玻璃基板2的缺陷部一致。
激光r的射出方向的角度θo例如由在将驱动用存储单元18置为打开状态时的各微小反射镜19的旋转角度来确定。以该射出角θo射出的激光r经由透镜20而入射到分光器8。此处，由于在透镜20的焦点位置处配置了基准反射面16a，所以直到到达物镜9之前为无限远的光束。
另外，在将驱动用存储器单元18设为关闭状态时，激光r被反射向h方向，而不会经由透镜20入射到分光器8。
另外，从维修用光源14射出的激光r被反射镜15反射而以入射角θi入射到DMD单元16，但也可以不设置反射镜15而使从维修用光源14射出的激光r直接入射到DMD单元16。
维修位置确认用光源25是用于向DMD单元16照射与激光r的光束直径大致相同的光束直径的照明光的光源。该照明光被透镜25a转换为大致平行光束，根据需要由未图示的光圈等将其光束直径变为与激光r的光束直径大致相同，而入射到插入于维修用光源14和透镜15之间的光路中的反射镜24，引入到与激光r相同的光路中。此处，在图1中，示意性地以单透镜形式描绘出透镜14a、25a，但其构成光束扩展器光学系统。另外，也可以是使维修用光源14、维修位置确认用光源25的光入射到光纤，并将光纤射出端配置在光轴上的规定位置处的结构。在该情况下，透镜14a、25a为准直透镜(collimating lens)。
在通过维修位置确认用光源25将照明光引入DMD单元16时，由成为打开状态的各微小反射镜19对照明光进行反射，而在玻璃基板2上投影出与缺陷形状图形相同的图像图形。
在这样结构的光学系统中，从玻璃基板2隔着分光器8配置了照相机11，并且从玻璃基板2隔着分光器8配置了DMD单元16，这些照相机11和DMD单元16之间的配置位置成为相对于玻璃基板2共轭的位置关系。
激光形状控制部21读取由维修对象提取图像处理部12所生成的玻璃基板2的各缺陷部的缺陷形状数据，向DMD驱动器22送出控制信号，该控制信号将与该缺陷形状数据对应的DMD单元16的各微小反射镜19的驱动用存储单元18设为打开状态，而将配置在其他区域中的各微小反射镜19的驱动用存储器单元18设为关闭状态。
另外，维修对象提取图像处理部12在向玻璃基板2的缺陷部照射激光r来进行维修之后，从照相机11取得同一位置的图像数据，对该图像数据和基准图像数据进行比较，根据该差异图像数据来判断缺陷部的维修是否完善。作为该判断的结果，在维修不完善时，根据维修后的差异图像数据再次生成缺陷部的缺陷形状数据。激光形状控制部21再次通过维修对象提取图像处理部12来读取缺陷部的形状数据，将与该形状数据对应的DMD单元16的各微小反射镜19的驱动用存储单元18设为打开状态。
另外，激光形状控制部21具有修整部23，在由维修对象提取图像处理部12所生成的缺陷形状图像数据中，例如在无法针对缺陷部提取出所有的缺陷区域，或将正常的区域错误地提取为缺陷部的情况下，该修整部23以手动形式对这些提取出的缺陷部区域进行修正。
该修整部23使用绘图工具通过手动操作来对无法提取出的缺陷区域进行区域设定而登记为缺陷部，或者对错误地提取为缺陷部的区域进行区域设定而登记为正常的区域。
DMD驱动器22按照从激光形状控制部21送出的控制信号来将DMD单元16的各驱动用存储单元18驱动为“打开/关闭”状态。
接下来，对使用在维修系统100中的基板检查装置4进行说明。
基板检查装置4是可取得玻璃基板2的图像来检测出缺陷，并至少取得表示该缺陷在玻璃基板2上的位置的坐标数据的检查装置。即，构成缺陷位置检测单元。作为基板检查装置4的例子，可举出取得玻璃基板2的扫描图像并自动检测出缺陷的所谓自动图形检查装置等。对于该基板检查装置，在日本公开专利公报2002-277412等中记述有详细说明。
接下来，对维修工序进行说明。
如图4所示，在维修工序中，在步骤#1中，在XY台1上设置由基板搬送装置28搬送来的玻璃基板2，为了根据由基板检查装置4所取得的检查结果数据111来取得与所送出的坐标数据的匹配，在XY台1上进行定位。例如，通过XY台1的坐标系来计算出设在玻璃基板2上的2点以上的基准位置标记的位置，检测出视野中心和基准位置标记的中心位置之间的偏差，从而进行基准位置校正。此处，在维修装置50的控制装置400或数据库服务器401中，具有基准位置标记的位置信息。
在检查结果数据111传递到移动驱动控制部3时，通过移动驱动控制部3的控制信号，根据包含在检查结果数据111中的缺陷部的坐标数据，XY台1在已在XY方向上进行了基准位置校正的状态下进行移动控制，缺陷部被定位于光轴p上。此处，即使根据所取得的检查结果数据111而得知该缺陷是比规定的大小大而无法进行通常维修的缺陷，但为了进行确认，也将其移动到缺陷部。
在步骤#2中，照相机11通过透镜10、各分光器7、8以及物镜9来对玻璃基板2上的缺陷部进行拍摄，而输出其图像信号。此处，物镜9使用低倍率的5倍或10倍。
维修对象提取图像处理部12被输入从照相机11输出的图像信号，而取得例如如图5所示那样的存在连接各图形S之间的缺陷部G的缺陷图像数据Da。
接下来，在步骤#3中，维修对象提取图像处理部12对缺陷图像数据Da和图6所示那样的不存在缺陷部的基准图像数据Dr进行比较，而从该差异图像数据中提取出玻璃基板2上的缺陷部G。然后，维修对象提取图像处理部12对所提取出的缺陷部G的图像数据进行二值化处理，生成例如如图7所示那样将缺陷部G的区域转换为黑等级而将正常的区域转换为白等级的缺陷形状图像数据Ds。通过图像处理部12在监视器13上显示该缺陷图像数据(或差异图像数据)和缺陷形状图像数据Ds。
此处，在所述不进行通常维修的大小的缺陷的情况下，确认该缺陷的大小是否与检查结果数据111大致一致，如果一致，则省略后述的步骤#4～#7，移动到下一缺陷部。如果不一致且小于规定大小而可维修，则进入接下来的步骤。
此处，对显示在监视器13上的缺陷形状图像数据Ds和缺陷图像数据(或差异图像数据)进行比较观察。作为该观察的结果，产生如图8A所示那样生成无法提取的缺陷区域Gn的情况，或者产生如图9A所示那样将正常的区域错误地提取为缺陷区域Gh的情况。
这样无法沿缺陷部G的形状来准确提取出缺陷部G的原因在于，在缺陷形状图像数据Ds中的缺陷部G的对比度存在偏差的情况下，提取出了对比度高的区域，但未能提取出对比度低的区域。
因此，在一边观察显示在监视器13上的缺陷部G一边使用修整部23的绘图工具通过手动操作来将图8A所示的未能提取出的缺陷区域Gn作为缺陷部进行区域设定时，在步骤#4中，修整部23如图8B所示那样将缺陷区域Gn登记为缺陷部，将包含该缺陷区域Gn的缺陷部G整体设为缺陷部。
另外，在针对图9A所示的缺陷区域Gn，使用修整部23的绘图工具通过手动操作来将错误地提取出的缺陷区域Gn登记为正常区域时，在相同的步骤#4中，修整部23如图9B所示那样将缺陷区域Gn从缺陷部中删除登记。
接下来，在步骤#5中，激光形状控制部21从维修对象提取图像处理部12取得缺陷形状图像数据Ds，从该缺陷形状图像数据Ds读取玻璃基板2的缺陷部G的形状数据，向DMD驱动器22送出控制信号，该控制信号将通过二值化处理而成为黑等级的与该缺陷部G的区域对应的DMD单元16的各微小反射镜19的各驱动用存储单元18置为打开状态。
该DMD驱动器22根据从激光形状控制部21送出的控制信号，将DMD单元16的各驱动用存储单元18驱动为“打开/关闭”状态。
例如，如图10所示，激光形状控制部21将缺陷部G的形状分割为与各微小反射镜19对应的多个各微型区域M。然后，激光形状控制部21向DMD驱动器22送出控制信号，该控制信号将与缺陷部G的各微型区域M对应的各微小反射镜19的各驱动用存储单元18置为打开状态。
由此，根据DMD驱动器22的打开控制信号，对与缺陷部G的各微型区域M对应的各微小反射镜19进行使其旋转角度+10°的控制。
接下来，在步骤#6中，在通过DMD单元16的各微小反射镜19进行了旋转控制的状态下，将反射镜24插入激光光路中，使维修位置确认用光源25亮灯。在从维修位置确认用光源25经由反射镜24、15而向DMD单元16射出与激光r的光束直径大致相同的光束直径的照明光时，该照明光经由变为打开状态的各微小反射镜19在玻璃基板2上投影出DMD单元16的缺陷形状图形像。通过监视器13来确认投影在玻璃基板2上的缺陷形状图形像是否与缺陷部G一致。在缺陷部G与缺陷形状图形像存在偏移的情况下，移动XY台1，使缺陷部G与缺陷形状图形像对准。
另外，在缺陷部G的偏移量少的情况下，也可以操作支撑台16b来对缺陷形状图形像进行微动移动，从而使其对准缺陷部G。
然后，使反射镜24从激光光路退出，从维修用光源14射出单发的激光r。该单发的激光r被反射镜1 5反射，而以入射角θi入射到DMD单元16，被对应于缺陷部G的区域而旋转角度+10°的各微小反射镜19反射。被这些微小反射镜19反射的激光r的截面形状与缺陷部G的形状一致。
然后，由这些微小反射镜19反射的激光r通过透镜20、分光器8，被物镜9聚光而照射到玻璃基板2的缺陷部G。该激光r被物镜9成像为与缺陷部G的形状一致的截面形状而照射到缺陷部G，所以利用该单发的激光r来除去玻璃基板2上的缺陷部G。
此处，激光r照射到缺陷部G的轮廓线的内部，但在缺陷小且DMD单元16的各微小反射镜19的形状超出而未沿轮廓线，或凹进内侧未能进行有效除去的情况下，可通过变更为倍率大的物镜9来改善。但是，即使未沿轮廓线，但只要可达成短布线的切断等维修的目的即可，在该情况下，可视为实质上是沿轮廓线进行的照射。
接下来，在步骤#7中，照相机11对维修后的缺陷部G进行拍摄并输出该图像信号。维修对象提取图像处理部12对由照相机11取入的维修后的缺陷图像数据Da和图6所示的基准图像数据Dr进行比较来判断是否完全维修了缺陷部G。另外，维修对象提取图像处理部12也可以在监视器13上显示维修后的缺陷图像数据Da，对该显示出的缺陷部G的图像进行观察，来判断是否完全维修了缺陷部G。
另一方面，有时即使向缺陷部G照射激光r，也无法完全去掉缺陷部G，如图11所示，作为缺陷部G的一部分缺陷部Ge残留而未被去掉。如果如上述这样未能完全维修缺陷部G，则返回步骤#3，维修对象提取图像处理部对在步骤#7中取入的缺陷图像数据Da和基准图像数据Dr进行比较，从该差异图像数据中提取出图11所示那样的在玻璃基板2上残留的维修不良的缺陷部Ge。
以下，与上述相同地，重复步骤#4至步骤#8。
作为步骤#8的结果，如果完全维修(修复)了缺陷部G，则在步骤#9中，移动驱动控制部3根据从基板检查装置4接收到的玻璃基板2的检查结果数据来检索下一缺陷部，如果存在缺陷部，则再次返回步骤#1。如果不存在缺陷部，则结束维修工序。
由此，根据本实施方式的维修装置50，从对玻璃基板2上的缺陷部G进行拍摄而取得的缺陷图像数据Ds中提取出缺陷部G的形状数据，按照该形状数据来高速地对DMD单元16的各微小反射镜19进行角度控制，形成与缺陷部G的形状相同的缺陷形状图形。激光r被形成缺陷形状图形的各微小反射镜19反射，该激光r的截面形状被整形为与缺陷部G的形状相同，而照射到玻璃基板2上的缺陷部G。
由此，由于1个微小反射镜19a或19b是大小例如为边长16μm的微型反射镜，所以在将其缩小投影的情况下，即使抗蚀剂图形或蚀刻图形的缺陷部G的形状例如为将直线和曲线组合的微细且非常复杂的形状，也可以高速且容易地形成具有与这些缺陷部G的形状大致一致的截面形状的激光r。
例如，即使缺陷部G如图1 2所示那样存在于曲线状的图形P1和直线状图形P2所对峙的部分，且该缺陷部G的形状为变形的椭圆形，如果使用DMD单元16，则也可以高速地形成与缺陷部G的形状相同的缺陷形状图形。由此，通过向缺陷部G照射整形成缺陷部G的形状的激光r，可准确地仅对缺陷部G进行维修，而不会向缺陷部G区域外照射激光r。因此，即使所维修的缺陷部G是LCD制造工序中的蚀刻图形的缺陷部G，也可以仅对玻璃基板上的金属图形的缺陷部G照射激光r，而不会对玻璃基板带来损伤。
另外，可通过使用DMD单元16来高速地对微小反射镜19进行控制，所以可针对作为维修对象的各自形状不同的缺陷部G瞬时形成缺陷形状图形，而可以按照缺陷部G的形状容易地对激光r的截面形状进行整形，可大幅缩短对缺陷部G进行维修的时间。另外，可使激光r的截面形状准确地对准缺陷部G的各形状来进行维修，作为其结果，可提高LCD制造的成品率。
另外，即使照射1次激光r无法完全地对缺陷部G进行维修，也可以通过将激光r的截面形状整形为维修不良的缺陷部G的形状并再次照射，来完成缺陷部G的维修，可提高成品率。
另外，通过使用修整部23的绘图工具进行手动操作，从而可对以缺陷形状图像数据Ds中的对比度偏差为原因的、作为缺陷部G却无法提取出的缺陷区域Gn和错误地提取出的正常区域Gh施加修正，即使在缺陷部G的形状数据的自动提取中产生了误差，也可以在进行维修之前修正为正确的缺陷部G的形状数据来进行维修。
上述说明的本发明的第1实施方式不限于上述实施方式，在实施阶段，可在不脱离其宗旨的范围内对构成要素进行变形来实现具体化。以下，对本实施方式的变形例进行说明。
例如，在上述实施方式中，通过对DMD 17的微小反射镜19进行打开(“ON”)驱动来将激光整形为缺陷形状图形，但相反也可以变形为，通过将与缺陷形状图形对应的微小反射镜19设为关闭状态，将缺陷形状图形以外的微小反射镜19设为打开状态，来将激光整形为缺陷形状图形。
另外，例如，在上述实施方式中，由维修对象提取图像处理部12对缺陷图像数据Da和基准图像数据Dr进行比较，来从该差异图像即缺陷形状图像数据Ds中取得缺陷部G的形状数据，但也可以变形为在监视器13上对缺陷部G的图像进行显示输出，操作者一边观察该监视器图像一边使用图形要素输入板等来取得缺陷部G的形状数据。
(第2实施方式)
对本发明的第2实施方式的维修装置进行说明。
图13是示出本发明的第2实施方式的维修装置的概略结构的结构图。图14A是示意性示出在本发明的第2实施方式的维修装置中使用的空间调制元件的结构的一部分的局部放大立体图。图14B是用于对在本发明的第2实施方式的维修装置中使用的空间调制元件的调制要素进行说明的立体说明图。图14C是用于对可在本发明的第2实施方式的维修装置中使用的其他空间调制元件的调制要素进行说明的立体说明图。
本实施方式的维修装置51与基板检查装置4、数据库服务器401一起构成维修系统101。
维修装置51具有透射型空间调制器30(空间调制元件)、空间调制器驱动器29，以代替本发明第1实施方式的维修装置50的DMD单元16、DMD驱动器22。以下，以与第1实施方式的不同点为中心来说明。
如图14A所示，透射型空间调制器30配置于激光r的光路中，是根据光路截面中的位置使激光r的一部分透射，从而进行空间调制的透射型空间调制元件。例如，可采用如下的结构：使用可制作出可高速动作的微小的可动结构的MEMS技术，二维排列多个翻转单元30a(空间调制元件的调制要素)，该翻转单元是在其一边利用转动轴支承光反射性微小的矩形板的器件。根据控制信号分别对各翻转单元30a施加静电电压，从而使其以转动铰接为中心进行转动。因此，在没有施加静电电压的关闭状态下，转动角为0度，各翻转单元30a排列在一个平面上。另一方面，在施加了静电电压的打开状态下，转动角为90度，翻转单元30a转动到相对于关闭状态的平面垂直的位置。
激光r大致沿关闭状态的翻转单元30a所排列的平面的法线方向入射。
空间调制器驱动器29是根据从激光形状控制部21送出的对关闭状态和打开状态进行选择的控制信号，来对透射型空间调制器30的各翻转单元30a进行驱动的控制机构。
通过这样的结构，各翻转单元30a根据激光形状控制部21的控制信号而被控制为关闭状态或打开状态。在特定的翻转单元30a变为打开状态时，利用处于关闭状态的相邻位置的翻转单元30a的边缘部30b，形成与打开状态的翻转单元30a的配置对应的开口部，使激光r透射过打开状态的翻转单元30a的位置(参照图14A的激光r1、r2)。
因此，只要从开口部射出的激光r的光路不涉及到打开状态的翻转单元30a，则即使改变激光r的入射角度，透射光量也不变。
根据这样的维修装置51和维修系统101，透射型空间调制器30的翻转单元30a具有与DMD单元16的微小反射镜19对应的空间调制作用。透射型空间调制器30由于在打开状态下使光从开口部透射，所以具有不产生光量损失的优点。
另外，即使透射型空间调制器30的配置角度偏差，透射光的行进方向也不会改变，所以与反射型空间调制元件相比，不存在由与衍射现象相关的定位偏差引起的较大的光量变化，所以具有各光学元件的位置对准(定位)变得容易、可容易地进行组装的优点。
另外，也可以采用图14C所示的透射型空间调制器36，来代替本实施方式的透射型空间调制器30的透射型空间调制元件。
在透射型空间调制器36中，代替透射型空间调制器30的翻转单元30a，而排列有翻转单元36a，该翻转单元36a的转动轴设在矩形板的中央部、且可在0度的关闭状态和90度的打开状态之间切换转动角。
翻转单元36a在打开状态时，转动90度，翻转单元面朝向大致沿光路方向，所以形成由相邻翻转单元36a的多个边缘部36b和翻转单元36a围起来的开口部，而使激光r透射。
这些透射型空间调制器30、36通过使用MEMS技术的转动轴来进行空间调制动作，所以与其他透射型空间调制元件相比，存在消光比大、可提高光利用效率、而且可进行高速的空间调制的优点。
但是，当在光量和调制速度中不存在问题的情况下，也可以采用其他透射型空间调制元件。例如，可以优选采用通过液晶快门(FLC)、光栅光阀(Grating Light Valve，GLV)、利用光电效应来对透射光进行调制的PZT元件等。
由于在这些透射型空间调制元件中，也不存在由与衍射现象相关的定位偏差引起的较大的光量变化，所以具有各光学元件的位置对准(定位)变得容易，可容易地进行组装的优点。
(第3实施方式)
对本发明的第3实施方式的维修装置进行说明。
图15是示出本发明的第3实施方式的维修装置的概略结构的结构图。
本实施方式的维修装置52与基板检查装置4、数据库服务器401一起构成维修系统102。
维修装置52具有可动反射镜31、一维DMD 34(空间调制元件)、DMD驱动器35，并追加了反射镜控制部32、透镜33，以代替本发明的第1实施方式的维修装置50的反射镜15、DMD单元16、DMD驱动器22。以下，以与第1实施方式的不同点为中心进行说明。
可动反射镜31是用于对被透镜14a形成大致平行光的激光r进行偏转的偏转光学元件，根据反射镜控制部32的控制信号，其反射镜面可至少绕一轴、例如绕垂直于图示纸面的Y轴转动。例如，可采用检电镜(galvano mirror)等偏转光学元件。
透镜33是将被可动反射镜31所反射的激光r以一定的视场角范围向大致一定方向射出的光学元件。例如，可采用配置成在与可动反射镜31的旋转轴垂直的面内具有正能量且焦点位置与可动反射镜31的偏转点大致一致的光学元件。
一维DMD 34是以一维方式排列第1实施方式的DMD 17(参照图2)的反射型空间调制元件(参照图3)。而且，将DMD 17的排列方向配置成沿着被可动反射镜31所偏转的激光r的扫描线。关于激光r和各DMD17之间的位置关系，除了DMD 17为一维以外，其它与第1实施方式相同。即，在DMD 17的微小反射镜19为关闭状态时，反射到相对于入射方向呈角度θi的h方向，在打开状态时，反射到从h方向向图示逆时针方向旋转角度θo而成的方向，沿透镜20的光轴前进，经由分光器8、物镜9而照射到维修位置L。
在这样的维修装置52中，通过维修用光源14、透镜14a射出其光束直径与微小反射镜19的面积大致相同或稍大程度的激光r，而照射可动反射镜31。然后，通过使可动反射镜31绕图示Y轴转动，在一维DMD34的各微小反射镜19上扫描激光r。
然后，通过由DMD驱动器35控制为打开状态的各微小反射镜19来反射激光r，经由透镜20、分光器8、物镜9而引入到维修位置L上。因此，每当使可动反射镜31转动时，在玻璃基板2上，在线状的区域中扫描激光r。
在图4的步骤#5中，本实施方式的激光形状控制部21根据二维的缺陷形状图像数据，将在以上的实施方式中送出到DMD驱动器22的控制信号按照每个一维线的控制信号进行分时而向DMD驱动器35送出。另外，激光形状控制部21对反射镜控制部32送出被分时后的控制信号的线同步信号。
在图4的步骤#6中，反射镜控制部32进行转动控制，以使可动反射镜31针对每个该线同步信号而扫描一维DMD 34。因此，在玻璃基板2上，由一维DMD 34所反射的激光r在图示X轴方向上进行扫描。
另一方面，移动驱动控制部3对XY台1进行驱动，以使玻璃基板2以线同步信号的周期在图示Y轴方向上仅移动维修位置L的位置改变一个扫描线幅度的距离。
由此，激光r在玻璃基板2上以二维方式扫描，对缺陷部进行维修。
根据本实施方式的维修装置52，将一维DMD 34用作空间调制元件，所以与二维的DMD单元16相比，存在装置价廉的优点。
另外，由于照射激光r的范围只要是对一维DMD 34上的微小反射镜19进行照射的范围即可，所以可减小激光的光束直径，与使用DMD单元16的情况相比，存在可抑制激光光源的输出的优点。
另外，由于降低了激光照射位置引起的亮度不均匀，所以存在无需设置均匀化光学系统27等，而可进行良好的维修，可实现更简单的结构的优点。
本实施方式的透镜33也可以采用在转动轴方向上具有适当能量的变形透镜。在该情况下，透射过透镜33的激光r聚光在转动轴方向、即与一维DMD 34的各DMD 17的排列方向正交的方向上，所以即使激光r的光束直径较大也可聚光在微小反射镜19上。因此，存在可进一步提高激光r的光利用率的优点。
另外，如果可动反射镜31的转动角度较为微小，则视场角变化变得微小，所以可省略透镜33。
另外，在上述各实施方式的说明中，对用于LCD的玻璃基板2上的缺陷部的维修的情况进行了说明，但也可以用在维修对象为半导体晶片上的缺陷部、标度线(reticule)上的缺陷部、精密机械的缺陷形状的修正等所有缺陷部的维修中，特别适用于微小形状和复杂形状的维修。
另外，在上述说明中，作为维修工序，以图4所示流程进行了说明，但也可以变形为图16所示的流程。
图16是对本发明的第1～3实施方式的维修工序的变形例子进行说明的流程图。
如图16所示，在本变形例中，在进行图像读取之前，在步骤#1中，作为步骤#100读取检查结果数据111来判定是否存在多个缺陷部。在不存在多个缺陷部的情况下，转到步骤#130，移动到缺陷部的坐标处。在存在多个缺陷部的情况下，转移到下一步骤#110。
在步骤#110中，判定多个缺陷部是否都包含在根据DMD单元16的大小确定的可维修区域中，可通过单发完成维修。如果包含在可维修区域中，则转移到步骤#120。如果没有包含在可维修区域中，则执行步骤#130。
在步骤#120中，例如根据检查结果数据111求出多个缺陷部的中心坐标的重心，使重心与视野中心一致，以可一次对存在于附近的多个缺陷部进行维修。对XY台1进行控制来移动维修位置，以使缺陷部全部包含在可维修的区域中。
另外，当来自自动图形检查装置等基板检查装置4的检查结果数据的精度较低、在维修位置取入图像时存在实际所提取出的缺陷大的情况、或无法检测出的缺陷部被重新提取出多个的情况等、从根据DMD单元16的大小来确定的可维修区域超出的情况。由于在缺陷部的拍摄时使用低倍率的物镜9，所以可判定缺陷部是否从可维修区域超出。
因此，在本变形例中，如图16所示，在步骤#2的步骤#200中，取入缺陷部的图像，在步骤#210中，判定缺陷部是否从可维修的区域超出。
在超出时，执行步骤#220，对XY台1进行控制来移动维修位置，以使缺陷部包含在可维修区域。然后，再次执行步骤#200。
在没有超出的情况下，转到步骤#3。
由此，可从所拍摄的图像数据中提取出维修对象的形状数据(缺陷形状图像数据Ds)来进行定位，以便可通过一次的激光照射来实施高效的维修。
另外，在本变形例中，将步骤#1、#2分别进行上述这样的变形而进行了说明，但也可以根据需要，将步骤#1、#2中的任一个按照上述这样变形。
另外，在上述各实施方式的说明中，作为检查结果数据111，以送出缺陷部的位置坐标数据、形状、大小等信息为例进行了说明，但在根据基板检查装置的解像度可利用为维修对象提取图像处理部12的缺陷形状图像数据Ds的情况下，也可以将缺陷部的图像数据与坐标数据等信息一起，送出到维修装置。在该情况下，可省略由照相机11拍摄的工序，具有可进行迅速维修的优点。
另外，在上述各实施方式的说明中，以将摄像装置和空间调制元件配置成相对于维修对象共扼的位置关系为例进行了说明，但例如在空间调制元件的各调制要素的像对维修对象产生影响等的情况下，也可以使空间调制元件和维修对象之间的位置关系偏离共扼位置，而使照射到维修对象的激光散焦(defocus)。在该情况下，可降低由于空间调制元件的各调制要素直接成像而引起的维修对象上的亮度不均匀，可提高维修精度。
另外，也可以通过在光路中设置光圈、或者对透镜直径进行限制，而改变瞳径，从而减小NA(数值孔径)来降低维修对象上的亮度不均匀。
在具体说明时，关于显微镜的分辨率，为了根据Abbe的成像理论利用光学系统来使衍射晶格成像为衍射晶格的像，需要具有可取入0次、±1次的衍射光的NA的光学系统。相反，如果为了使由于在1个调制要素间存在间隙且其大小相对于激光足够微小而使得导致形成衍射晶格的空间调制元件的各调制要素不直接成像，使用无法取入±1次衍射光的、即仅取入正反射光的较小NA的光学系统，则可使分辨率降低，可防止由于直接投影出调制要素间的间隙而引起的不均匀。另外，即使根据条件而不取入2次以上的高次衍射光，也可以得到相同效果。
此处，在用于将来自空间调制元件的激光作为无线远的光束引入至物镜的光学系统(透镜20)的NA中，当将照射出的激光的波长设为λ(nm)、将空间调制元件的各调制要素的间距设为P(nm)时，希望满足NA≤λ/P。另外，如果改变一下表现形式，则当将透镜20的焦距设为L、将基于透镜20的射出瞳径设为D时，希望满足D≤2·L·λ/P。
另外，也可以根据需要来切换这样的散焦状态、减小NA的状态、以及共扼的位置关系。
另外，在上述第1以及第3实施方式的说明中，以将多个微小反射镜用作空间调制元件为例进行了说明，但也可以将可在2轴方向上转动的偏转光学元件、例如可在2轴方向上转动的检电镜用作空间调制元件。
另外，也可以使用将这样的检电镜和一维或二维DMD组合起来的空间调制元件。
另外，可通过适当组合在上述各实施方式中公开的多个结构要素来形成各种发明。例如，也可以从在实施方式中示出的所有结构要素中删除几个结构要素。另外，也可以适当组合不同实施方式中的结构要素。
权利要求书(按照条约第19条的修改)
1.一种维修方法，在该维修方法中，
向空间调制元件入射从激光光源输出的激光，该空间调制元件具有在纵横方向上排列多个而形成的各结构要素，
对该空间调制元件的各结构要素分别进行控制，通过所述各结构要素将所述激光的截面形状整形为维修对象的形状，
向所述维修对象照射该整形后的所述激光来对该维修对象进行修复，其特征在于，
该维修方法包括判定在可维修的区域内是否存在多个所述维修对象的工序。
2.一种维修方法，其特征在于，该维修方法包括以下工序：
从图像数据中提取维修对象的形状数据的工序；
判定在可维修的区域内是否存在多个所述维修对象的工序；
根据所述判定结果来移动所述基板的维修位置的工序；
从激光光源输出激光的工序；
根据所述维修对象的形状数据，分别对具有在纵横方向上排列了多个的各结构要素的空间调制元件的各结构要素进行控制，将从所述激光光源输出的所述激光整形为所述维修对象形状的工序；以及
向所述维修对象照射由所述各结构要素所整形的所述激光，来对该维修对象进行修复的工序。
3.根据权利要求1或2所述的维修方法，其特征在于，从所述图像数据中提取出的所述维修对象的形状数据是对差异图像数据或将所述差异图像数据进行了二值化处理的缺陷形状图像数据进行图像处理而求出的所述维修对象的轮廓线形状数据，在对所述维修对象进行修复的工序中，向所述维修对象的轮廓线内部照射所述激光。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的维修方法，其特征在于，该维修方法还包括根据来自对具有所述维修对象的基板进行检查的基板检查装置的检查结果数据而将所述基板定位于维修位置的工序。
5.根据权利要求4所述的维修方法，其特征在于，该维修方法还包括根据来自所述基板检查装置的所述检查结果数据来计算并判定在可维修区域内是否存在多个所述维修对象的工序。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的维修方法，其特征在于，该维修方法还包括判定在根据所述空间调制元件的大小而确定的所述可维修区域内是否存在所述维修对象的工序。
7.根据权利要求1～6中的任一项所述的维修方法，其特征在于，对所述空间调制元件的所述各调制要素中的、与作为所述维修对象的缺陷形状数据对应的所述各调制要素进行打开控制。
8.根据权利要求1～6中的任一项所述的维修方法，其特征在于，对所述空间调制元件的所述各调制要素中的、与作为所述维修对象的缺陷形状数据以外的数据对应的所述各调制要素进行打开控制。
9.根据权利要求1～8中的任一项所述的维修方法，其特征在于，如果所述维修对象的维修不良，则根据该维修不良的所述维修对象的形状数据来对所述空间调制元件的所述各调制要素再次进行控制，利用所述各调制要素来再次向所述维修不良的所述维修对象照射所述激光。
10.一种维修装置，其特征在于，该维修装置具有：
激光光源，其输出激光；
空间调制元件，其具有可分别控制的各结构要素，且在纵横方向上排列多个而形成；
摄像装置，其对所述维修对象进行拍摄；
维修对象提取单元，其从通过所述摄像装置的拍摄而取得的图像数据中提取出所述维修对象的形状数据；
判定单元，其判定在可维修的区域内是否存在多个所述维修对象；
激光形状控制单元，其根据由所述维修对象提取单元所提取出的所述维修对象的形状数据来对所述空间调制元件的所述各结构要素进行控制，通过所述各结构要素将所述激光整形为与所述维修对象形状一致；以及
光学系统，其向所述维修对象照射由所述空间调制元件的所述各结构要素所整形的所述激光。
11.根据权利要求10所述的维修装置，其特征在于，该维修装置具有移动单元，该移动单元根据来自对具有所述维修对象的基板进行检查的基板检查装置的检查结果数据，来将所述基板移动到维修位置。
12.根据权利要求11所述的维修装置，其特征在于，所述判定单元根据来自所述基板检查装置的所述检查结果数据来计算并判定在可维修区域内是否存在多个所述维修对象。
13.根据权利要求10～12中的任一项所述的维修装置，其特征在于，所述判定单元判定在根据所述空间调制元件的大小而确定的所述可维修区域内是否存在所述维修对象。
14.根据权利要求10所述的维修装置，其特征在于，将所述摄像装置和所述空间调制元件配置成相对于所述维修对象共扼的位置关系。
15.根据权利要求10或11所述的维修装置，其特征在于，所述空间调制元件将配置在与所述维修对象的形状数据对应的区域中的所述各结构要素驱动为规定的角度方向。
16.根据权利要求10或11所述的维修装置，其特征在于，所述空间调制元件将配置在与所述维修对象的形状数据对应的区域之外的所述各结构要素驱动为规定的角度方向。
17.根据权利要求10～13中的任一项所述的维修装置，其特征在于，如果所述维修对象的维修不良，则所述维修对象提取单元再次从通过所述摄像装置的拍摄而取得的图像数据中提取出维修不良维修对象的形状数据，
所述激光形状控制单元根据由所述维修对象提取单元所提取出的维修不良维修对象的所述形状数据，来对所述空间调制元件的所述各结构要素进行控制。
18.根据权利要求10～14中的任一项所述的维修装置，其特征在于，该维修装置具有移动控制单元，该移动控制单元与所述摄像装置和所述光学系统配置在同一光轴上，其根据所述维修对象的坐标数据来相对移动所述摄像光学系统、所述光学系统和所述维修对象，使所述维修对象在所述摄像光学系统及所述聚光光学系统的光轴上移动。
19.根据权利要求10～18中的任一项所述的维修装置，其特征在于，将用于向所述物镜引入来自所述空间调制元件的光的光学系统的数值孔径设为仅取入所述空间调制元件的正反射光的大小。

Claims (16)

1.一种维修方法，其特征在于，在该维修方法中，
向空间调制元件入射从激光光源输出的激光，该空间调制元件具有在纵横方向上排列多个而形成的各调制要素，
对该空间调制元件的各调制要素分别进行控制，通过所述各调制要素将所述激光的截面形状整形为维修对象的形状，
向所述维修对象照射该整形后的所述激光，来对该维修对象进行修复。
2.一种维修方法，其特征在于，该维修方法包括以下工序：
从图像数据中提取出所述维修对象的形状数据的工序；
从激光光源输出激光的工序；
根据所述维修对象的形状数据，分别对具有在纵横方向上排列了多个的各调制要素的空间调制元件的各调制要素进行控制，将从所述激光光源输出的所述激光整形为所述维修对象形状的工序；以及
向所述维修对象照射由所述各调制要素所整形的所述激光，来对该维修对象进行修复的工序。
3.根据权利要求1或2所述的维修方法，其特征在于，从所述图像数据中提取出的所述维修对象的形状数据是对差异图像数据或将所述差异图像数据进行了二值化处理的缺陷形状图像数据进行图像处理而求出的所述维修对象的轮廓线形状数据，在对所述维修对象进行修复的工序中，向所述维修对象的轮廓线内部照射所述激光。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的维修方法，其特征在于，该维修方法还包括根据来自对具有所述维修对象的基板进行检查的基板检查装置的检查结果数据来将所述基板定位于维修位置的工序。
5.根据权利要求4所述的维修方法，其特征在于，该维修方法还包括根据来自所述基板检查装置的所述检查结果数据来计算并判定在根据所述空间调制元件的大小而确定的所述可维修区域内是否存在多个所述维修对象的工序。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的维修方法，其特征在于，该维修方法还包括判定在根据所述空间调制元件的大小而确定的所述可维修区域内是否存在所述维修对象的工序。
7.根据权利要求1～6中的任一项所述的维修方法，其特征在于，对所述空间调制元件的所述各调制要素中的、与作为所述维修对象的缺陷形状数据对应的所述各调制要素进行打开控制。
8.根据权利要求1～6中的任一项所述的维修方法，其特征在于，对所述空间调制元件的所述各调制要素中的、与作为所述维修对象的缺陷形状数据以外的数据对应的所述各调制要素进行打开控制。
9.根据权利要求1～8中的任一项所述的维修方法，其特征在于，如果所述维修对象的维修不良，则根据该维修不良的所述维修对象的形状数据来对所述空间调制元件的所述各调制要素再次进行控制，利用所述各调制要素来再次向所述维修不良的所述维修对象照射所述激光。
10.一种维修装置，其特征在于，该维修装置具有：
激光光源，其输出激光；
空间调制元件，其具有可分别控制的各调制要素，且在纵横方向上排列多个该各调制要素而形成；
摄像装置，其对所述维修对象进行拍摄；
维修对象提取单元，其从通过所述摄像装置的拍摄而取得的图像数据中提取出所述维修对象的形状数据；
激光形状控制单元，其根据由所述维修对象提取单元提取出的所述维修对象的形状数据来对所述空间调制元件的所述各调制要素进行控制，通过所述各调制要素将所述激光整形为与所述维修对象形状一致；以及
光学系统，其向所述维修对象照射由所述空间调制元件的所述各调制要素所整形的所述激光。
11.根据权利要求10所述的维修装置，其特征在于，将所述摄像装置和所述空间调制元件配置成相对于所述维修对象共扼的位置关系。
12.根据权利要求10或11所述的维修装置，其特征在于，所述空间调制元件对配置在与所述维修对象的形状数据对应的区域中的所述各调制要素进行驱动。
13.根据权利要求10或11所述的维修装置，其特征在于，所述空间调制元件对配置在与所述维修对象的形状数据对应的区域之外的所述各调制要素进行驱动。
14.根据权利要求10～13中的任一项所述的维修装置，其特征在于，如果所述维修对象的维修不良，则所述维修对象提取单元再次从通过所述摄像装置的拍摄而取得的图像数据中提取出维修不良维修对象的形状数据，
所述激光形状控制单元根据由所述维修对象提取单元提取出的维修不良维修对象的所述形状数据来对所述空间调制元件的所述各调制要素进行控制。
15.根据权利要求10～14中的任一项所述的维修装置，其特征在于，该维修装置具有移动控制单元，该移动控制单元与所述摄像装置和所述光学系统配置在同一光轴上，其根据所述维修对象的坐标数据来相对移动所述摄像装置、所述光学系统和所述维修对象，使所述维修对象在所述摄像装置及所述光学系统的光轴上移动。
16.根据权利要求10～15中的任一项所述的维修装置，其特征在于，将用于向所述物镜引入来自所述空间调制元件的光的光学系统的数值孔径设为通过所述空间调制元件仅取入正反射光的大小。
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