JP5730528B2 - 欠陥修正装置および欠陥追跡方法 - Google Patents
欠陥修正装置および欠陥追跡方法 Download PDFInfo
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また、本発明による欠陥修正装置は、対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、前記撮像部が取得した前記画像であって、前記欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、前記判定部による判定部果に基づいて前記認識欠陥領域の中心座標を求め、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記中心座標を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、前記追跡部の追跡により前記視野領域内に引き込まれた欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明による欠陥修正装置は、対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、前記撮像部が取得した前記画像であって、前記欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、前記判定部による判定部果に基づいて前記認識欠陥領域に対して設定された追跡対象修正領域の中心座標を求め、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記中心座標を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、前記追跡部の追跡により前記視野領域内に引き込まれた欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明による欠陥修正装置は、対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、前記撮像部が取得した前記画像であって、前記欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、前記判定部による判定部果に基づいて前記視野領域の外周部を複数の領域に分割された各分割領域に引き込みの基準となる基準点をそれぞれ設定し、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記認識欠陥領域が含まれる分割領域の基準点を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、前記追跡部の追跡により前記視野領域内に引き込まれた欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明による欠陥修正装置は、対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、前記撮像部が取得した前記画像であって、前記欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、前記判定部による判定部果に基づいて前記欠陥の延在方向に前記撮像部を走査して欠陥全体を複数の分割画像に分けて撮像することで前記認識欠陥領域を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、前記追跡部の追跡により前記撮像部で撮像されて複数の画像をつなぎ合わせて生成された欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明による欠陥追跡方法は、撮像部により対象基板の一部を拡大した画像であって、欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像を取得する撮像ステップと、前記撮像部が取得した前記画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップの判定結果に基づいて前記認識欠陥領域の中心座標を求め、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記中心座標を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、を含むことを特徴とする。
また、本発明による欠陥追跡方法は、撮像部により対象基板の一部を拡大した画像であって、欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像を取得する撮像ステップと、前記撮像部が取得した前記画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップの判定結果に基づいて前記認識欠陥領域に対して設定された追跡対象修正領域の中心座標を求め、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記中心座標を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、を含むことを特徴とする。
また、本発明による欠陥追跡方法は、撮像部により対象基板の一部を拡大した画像であって、欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像を取得する撮像ステップと、前記撮像部が取得した前記画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップの判定結果に基づいて前記視野領域の外周部を複数の領域に分割された各分割領域に引き込みの基準となる基準点をそれぞれ設定し、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記認識欠陥領域が含まれる分割領域の基準点を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、を含むことを特徴とする。
また、本発明による欠陥追跡方法は、撮像部により対象基板の一部を拡大した画像であって、欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像を取得する撮像ステップと、前記撮像部が取得した前記画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップの判定結果に基づいて前記欠陥の延在方向に前記撮像部を走査して前記欠陥全体を複数の分割画像に分けて撮像することで前記認識欠陥領域を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、を含むことを特徴とする。
以下、本発明の実施の形態1による欠陥修正装置、欠陥追跡方法および欠陥追跡プログラムを、図面を用いて詳細に説明する。
以下、本発明の実施の形態2による欠陥修正装置、欠陥追跡方法および欠陥追跡プログラムを、図面を用いて詳細に説明する。上述の実施の形態1では、追跡処理として、視野領域R1中の認識欠陥領域D1の重心C1の座標を求め、これを視野領域R1の中心に引き込むことで、視野領域R1外に延在する欠陥Dを追跡する場合を例に挙げた。これに対し、本実施の形態2では、先に視野領域R1中の欠陥として認識された部分にリペア座標を割り振り、このリペア座標を引き込むことで、視野領域R1外に延在する欠陥Dを追跡する場合を例に挙げる。
以下、本発明の実施の形態3による欠陥修正装置、欠陥追跡方法および欠陥追跡プログラムを、図面を用いて詳細に説明する。本実施の形態3では、追跡処理として、欠陥Dと視野領域R1(画像に相当)の四辺それぞれとが交わった線分の中心座標(以下、辺中心座標という)を引き込むことで、視野領域R1外に延在する欠陥Dを追跡する場合を例に挙げる。
以下、本発明の実施の形態4による欠陥修正装置、欠陥追跡方法および欠陥追跡プログラムを、図面を用いて詳細に説明する。本実施の形態4では、追跡処理として、視野領域R1(画像に相当)を予めいくつかの領域に分割しておくとともに、この分割領域に引き込みの基準とする基準点を予め設定しておき、分割領域に欠陥Dの少なくとも一部が含まれる場合にこの分割領域の基準点をそれぞれ引き込むことで、視野領域R1外に延在する欠陥Dを追跡する場合を例に挙げる。
以下、本発明の実施の形態5による欠陥修正装置、欠陥追跡方法および欠陥追跡プログラムを、図面を用いて詳細に説明する。上述の実施の形態1〜4では、追跡処理として、重心座標、リペア座標、辺中心座標、基準点の座標など、欠陥Dの位置情報を示す座標を視野領域R1の中心に引き込むことで、視野領域R1外の欠陥Dを認識して広範囲のレーザリペアを可能にする場合を例に挙げた。一方、本実施の形態5では、追跡処理として、複数の画像をつなぎ合わせて欠陥D全体の画像を生成することで、欠陥D全体に対するレーザリペアを可能にする場合を例に挙げる。
また、上述の実施の形態5では、図16に示すように、認識した欠陥Dの存在領域をジグザグに走査するように撮像することで、欠陥D全体を複数の分割画像に分けて撮像する場合を例に挙げた。ただし、これに限らず、たとえば図21に示すように、欠陥Dの延在方向を特定し、これに沿って走査するように欠陥Dを撮像することで、欠陥D全体を複数の分割画像に分けて撮像してもよい。図21は、本実施の形態5の変形例5−1による欠陥修正装置に組み込まれる欠陥追跡方法の概略を説明するための概念図である。なお、この変形例6−1では、図20に示す追跡処理におけるステップS5023において、図16に示すようなジグザグな撮像ルートではなく、図21に示すような、欠陥Dの延在方向に沿った撮像ルートが算出される。それ以外の構成、動作および効果は、上述の実施の形態5または実施の形態1〜4と同様であるため、ここでは重複する説明を省略する。
以下、本発明の実施の形態6による欠陥修正装置、欠陥追跡方法および欠陥追跡プログラムを、図面を用いて詳細に説明する。上述の実施の形態1〜5では、視野領域r1をワークW10表面に沿って水平に移動することで、一度の撮像によって写しきれない欠陥部分を追跡する場合を例に挙げた。これに対し、本実施の形態6では、欠陥Dを一度の撮像によって写しきれない場合、撮像系である顕微鏡部110の倍率を変えて撮像し直すことで、視野領域R1外まで延在する欠陥Dを追跡する場合を例に挙げる。
つぎに、本発明の実施の形態7による欠陥修正装置、欠陥追跡方法および欠陥追跡プログラムを、図面を用いて詳細に説明する。上述の実施の形態1〜6では、隣接するショット領域が互いにオーバラップすることがある。この場合、このオーバラップするショットの数だけ、オーバラップ領域にリペアレーザ光が余計に照射されていた。これに対し、本実施の形態7では、オーバラップ領域に対して複数回のレーザ照射が行われないようにする。
また、上述の各実施の形態は、配線や電極などの回路パターンがリペア時にレーザ照射されることを防止するようにも構成することが可能である。そこで、本実施の形態8では、回路パターンなどのレーザ照射を回避すべき領域を禁止領域とし、この禁止領域に対するレーザ照射を回避する。図31は、本実施の形態8による禁止領域の一例を示す模式図である。図31では、禁止領域R81を黒塗りで示している。この禁止領域R81を含むイメージR8は、たとえば図26に示すような検査画像R7であって欠陥Dの含まれていない検査画像(これの参照符号をR7とする)をもとに作成することが可能である。具体的には、たとえばレシピ作成時に、予め欠陥の存在しない一絵素の参照画像R82に対して禁止領域R83を設定する。この設定は、オペレータによる手作業であっても、自動認識による自動処理であってもよい。つぎに、検査画像R7をサーチ対象画像とし、参照画像R82をモデル画像として、検査画像R7に対する複数の参照画像R82の重ね合わせを実施する。この重ね合わせ結果の座標にもとづいて、参照画像R82の禁止領域R83を検査画像R7に当てはめることで、各検査画像R7に対応した禁止領域R81を作成することができる。
また、上述の各実施の形態では、オーバラップ領域や禁止領域がない状態のショット領域を、レーザ最大照射半径をもとにした円形状のマスク画像M1(たとえば図35参照)とした。ただし、これに限定されず、たとえば図35に示すように、このショット領域を矩形のマスク画像M8とすることも可能である。
また、上述した各実施の形態において、算出した各ショット領域のレーザ照射形状を、欠陥の形状に合わせるようにしてもよい。すなわち、欠陥の輪郭部分を含むショット領域の形状を、この輪郭部分に合わせて変形させてもよい。たとえば図26に示すような検査画像R7から欠陥Dの領域を特定し、これと各ショット領域p71〜p75との重なりから、両者のアンド(論理積)を取ることで、各ショット領域p71〜p75のレーザ照射形状を算出することが可能である。
また、上述した実施の形態7〜10では、欠陥検出時の倍率に基づいて、各ショット領域の形状からオーバラップ領域や禁止領域を引き算していた。ただし、これに限らず、たとえば、レーザ照射時の倍率に基づいて、各ショット領域の形状からオーバラップ領域や禁止領域を引き算してもよい。なお、以下の説明では、実施の形態9を引用するが、これに限定されず、上述したいずれの実施の形態であってもよい。
101 制御部
102 画像処理部
103 領域設定部
104 ステージ制御部
105 表示部
106 入力部
107 記憶部
110 顕微鏡部
111 撮像素子
112 光源
116 ステージ
120 レーザリペアヘッド
121 レーザ光源
122 LED
123 微小ミラーアレイ
AX 観察光軸
C1、C11、C12、C13 重心
C201、C202 リペア座標
C301、C302 辺中心座標
C401〜C408 基準点
c1〜c5、c11〜c13、c21〜c24、c31〜c34、c41、c51、c71〜c75、c201〜c205、c211〜c215、c221〜c225、c301〜c305、c311〜c315、c321〜c325、c401〜c405、c411〜c415、c421〜c425 リペア座標
D、D−1〜D−6 欠陥
D1、D1a、D11〜D13、D21、D201、D202、D301、D302、D401、D402 認識欠陥領域
D2 認識外欠陥領域
D91、D92 分割領域
G2 決定ボタン
G3 ポインタ
G8 GUI画面
M1、M8 マスク画像
M12 結像レンズ
M13、M16 リレーレンズ
M14、M21、M24 ハーフミラー
M15 対物レンズ
M22、M23 高反射ミラー
p1〜p5、p71〜p75、p81〜p85、p91〜p96、p201〜p205、p221〜p225、p301〜p305、p321〜p325、p401〜p405、p421〜p425 ショット領域
p111 レーザ照射形状
R1 視野領域
R2 認識領域
R3 中心領域
R7 検査画像
R8 イメージ
R11〜R16 分割画像
R81、R83、R91 禁止領域
R82、R9 参照画像
R100 全体画像
RR1〜RR7 オーバラップ領域
RR1a〜RR7a、RR1b〜RR7b 貼合せ領域
r1〜r9 分割領域
W10 ワーク
XL91、XL92 左端座標
YB 最小座標
YM 分割座標
YT 最大座標
Claims (12)
- 対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、
前記撮像部が取得した前記画像であって、前記欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、
前記判定部による判定部果に基づいて前記認識欠陥領域と前記視野領域の四辺と交わった線分の辺中心座標を求め、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記辺中心座標を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、
前記追跡部の追跡により前記視野領域内に引き込まれた欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、
を備えたことを特徴とする欠陥修正装置。 - 前記追跡部は、前記撮像部が初めに取得した前記画像で特定された認識欠陥領域が前記視野領域と交わらない辺を追跡対象処理から外すことを特徴とする請求項1に記載の欠陥修正装置。
- 対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、
前記撮像部が取得した前記画像であって、前記欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、
前記判定部による判定部果に基づいて前記認識欠陥領域の中心座標を求め、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記中心座標を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、
前記追跡部の追跡により前記視野領域内に引き込まれた欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、
を備えたことを特徴とする欠陥修正装置。 - 対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、
前記撮像部が取得した前記画像であって、前記欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、
前記判定部による判定部果に基づいて前記認識欠陥領域に対して設定された追跡対象修正領域の中心座標を求め、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記中心座標を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、
前記追跡部の追跡により前記視野領域内に引き込まれた欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、
を備えたことを特徴とする欠陥修正装置。 - 対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、
前記撮像部が取得した前記画像であって、前記欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、
前記判定部による判定部果に基づいて前記視野領域の外周部を複数の領域に分割された各分割領域に引き込みの基準となる基準点をそれぞれ設定し、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記認識欠陥領域が含まれる分割領域の基準点を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、
前記追跡部の追跡により前記視野領域内に引き込まれた欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、
を備えたことを特徴とする欠陥修正装置。 - 対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、
前記撮像部が取得した前記画像であって、前記欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、
前記判定部による判定部果に基づいて前記欠陥の延在方向に前記撮像部を走査して欠陥全体を複数の分割画像に分けて撮像することで前記認識欠陥領域を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、
前記追跡部の追跡により前記撮像部で撮像されて複数の画像をつなぎ合わせて生成された欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、
を備えたことを特徴とする欠陥修正装置。 - 前記修正領域設定部は、前記欠陥全体に割り振られた2つの修正領域が互いに重畳する重畳領域がある場合、前記2つの修正領域のうちいずれか一方の修正領域から前記重畳領域を除くことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の欠陥修正装置。
- 撮像部により対象基板の一部を拡大した画像であって、欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像を取得する撮像ステップと、
前記撮像部が取得した前記画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップの判定結果に基づいて前記認識欠陥領域と前記視野領域の四辺と交わった線分の辺中心座標を求め、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記辺中心座標を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、
を含むことを特徴とする欠陥追跡方法。 - 撮像部により対象基板の一部を拡大した画像であって、欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像を取得する撮像ステップと、
前記撮像部が取得した前記画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップの判定結果に基づいて前記認識欠陥領域の中心座標を求め、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記中心座標を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、
を含むことを特徴とする欠陥追跡方法。 - 撮像部により対象基板の一部を拡大した画像であって、欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像を取得する撮像ステップと、
前記撮像部が取得した前記画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップの判定結果に基づいて前記認識欠陥領域に対して設定された追跡対象修正領域の中心座標を求め、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記中心座標を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、
を含むことを特徴とする欠陥追跡方法。 - 撮像部により対象基板の一部を拡大した画像であって、欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像を取得する撮像ステップと、
前記撮像部が取得した前記画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップの判定結果に基づいて前記視野領域の外周部を複数の領域に分割された各分割領域に引き込みの基準となる基準点をそれぞれ設定し、前記撮像部と前記対象基板とを相対移動させて前記認識欠陥領域が含まれる分割領域の基準点を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、
を含むことを特徴とする欠陥追跡方法。 - 撮像部により対象基板の一部を拡大した画像であって、欠陥修正部の修正領域よりも広い視野領域で撮像した画像を取得する撮像ステップと、
前記撮像部が取得した前記画像に含まれる欠陥の領域を認識欠陥領域として特定し、該特定された前記認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップの判定結果に基づいて前記欠陥の延在方向に前記撮像部を走査して前記欠陥全体を複数の分割画像に分けて撮像することで前記認識欠陥領域を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、
を含むことを特徴とする欠陥追跡方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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