JP5100419B2 - 検査システム - Google Patents
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Description
修正工程の無いレビュー検査装置としては、例えば、特許文献1に開示されている。これは検査装置から出力された欠陥座標とレビュー検査装置の観察座標の誤差を補正し、欠陥箇所を特定する欠陥探索を精度良く行い、更に欠陥サイズの検出値の傾向に基づいてSEM等の高倍視観察の必要がある欠陥選定を行うことでレビュー効率を高めたシステムである。
本発明は上記のような問題に鑑みてなされたものであり、顕微鏡の移動速度やオートフォーカス速度に関わらず、レビュー検査を効率的に行い、検査時間短縮を実現することが可能な検査システムを提供することを目的とする。
すなわち、本発明の一態様によれば、本発明の検査システムは、欠陥検査装置とレビュー検査装置とを備えた検査システムである。そして、前記欠陥検査装置は、基板に形成された欠陥を認識し、前記欠陥の位置座標を示す欠陥位置座標および前記欠陥のサイズを示す欠陥サイズを含む欠陥情報を取得する。また、前記レビュー検査装置は、前記欠陥検査装置によって取得した前記欠陥位置座標に基づいて、同一の撮像範囲内に同時に入る前記認識した複数の欠陥をグループ化し、前記グループ化された複数の欠陥の位置座標に基づいて、前記撮像範囲を相対的に移動させて前記基板を顕微鏡にて検査し、前記欠陥情報および前記撮像範囲を構成するための撮像範囲情報に基づいて、前記相対的な移動の回数が少なくなるよう座標を算出する座標算出部を備えたことを特徴とする。
また、本発明の検査システムは、前記座標算出部が、前記顕微鏡の撮像範囲に基づいて、複数の欠陥が入る格子を求めるための格子座標設定部を備えることが望ましい。
また、本発明の検査システムは、前記レビュー検査装置が空間変調素子を備え、一度に任意の形状で複数のレーザ光を照射してリペアを行う修正機能付きのレビュー検査装置であることが望ましい。
また、本発明の検査システムは、前記座標算出部が、前記同一視野内欠陥抽出部によって求められた前記複数の座標を、前記レビュー検査装置の顕微鏡の同一視野内に入る1つの座標に統合することが望ましい。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明を適用した検査システムの構成を示す図である。
上述のような検査システムにおいて、本発明は実現される。ここで、第1の実施の形態について、概略を説明する。
図2は、レビューファイルのフォーマット例を示す図である。
このようなレビューファイルは、レビューする欠陥座標がリスト状に記述されたファイルであり、欠陥検査装置101や他の検査装置が作成した結果データを基に作成される。
図3は、最適なレビューファイルを作成するレビューファイル作成処理の流れを示すフローチャートである。
図4、図5、図6および図7は、図3のステップS303からステップS307までの処理を詳細に説明するための図である。
図5は、顕微鏡視野501の中心座標502に、欠陥503の中心座標が重なっている状態を示す図であり、この欠陥503が図3における第1回目のステップS303で設定される基準欠陥座標となる。そして、欠陥504は、次の欠陥を示す。
ここで、パターン修正機能とは、修正対象の欠陥にレーザ照射することにより、例えば2つのパターン間に跨った欠陥をカットするもので、例えば、特開2006−350123号公報では、マイクロミラーアレイを制御することで任意の形状パターンにカットする方法がある。このような任意の形状パターンにカットする場合、上述の第1の実施の形態で示す欠陥全体が入る矩形を基準にする必要はなく、配線パターンを考慮しレーザカットすべき領域のみを対象座標として計算すれば良い。
図9において、基板上に形成されたパターン901、パターン902およびパターン903の3本の正常なレジストパターンとともに、これらに跨るような欠陥904、欠陥905および欠陥906が存在している。
図11の開始位置座標1101は、図12のレジストパターン1204aの開始位置座標(X,Y)1201を示し、長さ1102は、図12のレジストパターン1204aの長さ1202を示す。また、幅1103は、レジストパターン1204aの幅であり、図12のレジストパターン1204aの長さ1203を示し、個数1104は、前述の長さ1102および幅1103で定義したレジストパターン1204aと同じサイズのレジストパターンの個数を示す。図12に示した例では、レジストパターン1204a、レジストパターン1204b、レジストパターン1204cの3個のレジストパターンが存在することを示す。そして、繰り返し間隔1105は、レジストパターン1204aとその隣のレジストパターン1204bとの間隔を示し、図12中では繰り返し間隔1205で示す。なお、レジストパターン1204bとその隣のレジストパターン1204cとの間隔も、繰り返し間隔1105で定義した間隔になる。
本ショート欠陥識別処理は、前述した、パターン同士がショートしておらず、リペアしなくても実害のない欠陥と、リペアが必要な欠陥とを識別するために実行する処理である。
RepairerL=X1
RepairerR=X2
RepairerB=DefectB
RepairerT=DefectT
さらに、ステップS1307において、ステップS1306で設定した矩形座標をRepairerListに追加する。そして、ステップS1308において、次の欠陥を識別するために変数Numberを1インクリメントし、PointXにパターンの間隔を加算して、ステップS1304に戻る。
図14において、欠陥1002および欠陥1004は、図13を用いて説明したショート欠陥識別処理により識別され、図3乃至図7等を用いて説明した処理により、同一撮像範囲内に入ると判断される。そして、上述したように、顕微鏡視野1401内の欠陥1002および欠陥1004をマイクロミラーアレイ制御で任意形状パターンにカットできる修正機能を用いると、これらの欠陥1002および欠陥1004を同時に修正することが可能となり、座標移動回数が減り、修正を目的としたレビュー検査を効率的に行うことができる。
(第2の実施の形態)
本発明を適用した第2の実施の形態は、観察領域矩形を基板上に均等に配置し、その矩形中心座標を観察座標とする方法である。
まず、欠陥検査装置101が抽出した欠陥の位置座標を、レビュー検査装置103が受け取る。次に、欠陥検査装置101から受け取った欠陥の画像を、第1の実施の形態で説明した図13のショート欠陥識別処理等を用いることにより、画像処理によってレーザ照射が不要な部分を判定し、その部分をレーザ照射の対象とする欠陥から除外する。
図15は、顕微鏡視野に入る観察領域矩形を基板上に格子状に配置した例を示す図である。
図16において、欠陥1601、欠陥1602、欠陥1603、欠陥1604、欠陥1605および欠陥1606のうち、欠陥1602と欠陥1603は、同一の観察領域に入っている。また、欠陥1606は、3つの観察領域に渡る欠陥である。
図17において、観察対象である矩形座標(1,3)、矩形座標(2,4)、矩形座標(3,6)、矩形座標(5,3)、矩形座標(7,1)、矩形座標(8,1)および矩形座標(9,1)は、開始観察位置1701から最終観察位置1703まで結んだ破線1702によって観察されることを示している。
本顕微鏡移動順序決定処理は、レビューファイルの欠陥情報から対象とする観察領域矩形を決定し、顕微鏡の移動順序を決定する。
そして、ステップS1803において、レビューファイルを読み込み、レビューファイルに示された全情報(欠陥座標、サイズX、サイズY)を取得する。ここで、欠陥の座標系は説明を容易にするため、図15で示した左下を原点とする。
図20において、欠陥2001のXサイズ2003をDefectXで表し、Yサイズ2004をDefectYで表す。また、欠陥2001を囲う矩形2002の左下座標2005のX座標2005XをRectL_Xで表し、Y座標2005YをRectB_Yで表し、右上座標2006のX座標2006XをRectR_Xで表し、Y座標2006YをRectT_Yで表す。
InitElementX=PointX/InspAreaX
ElementX=InitElement
InitElementY=PointY/InspArea
ElementY=InitElementY
そして、ステップS1904において、ステップS1903で算出した要素数に一致するInspMap[ElementX][ElementY]のデータを1インクリメントし、ステップS1905において、1つ右側(X軸の正方向)の座標番号を求めるためにElementXを1インクリメントし、そのElementXの開始座標値PointXを求める。
図21において、基板2101上の矢印2102は、顕微鏡の移動ルールを示したものである。図18のステップS1805以降はこの移動ルールに基づく。
ステップS1805において、InspMap[ElementX][ElementY]のElementXを0に初期化する。
ElemenXが偶数であると判断された場合(ステップS1806:Yes)は、ステップS1807において、ElementYを0に初期化し、ElementYが奇数であると判断された場合(ステップS1806:No)は、ステップS1808において、ElementYにMaxYを設定する。
データが入っていると判断された場合(ステップS1809:Yes)は、ステップS1810において、下記に示す式によってInspMap[ElementX][ElementY]の中心座標を算出し、顕微鏡移動の座標(MoveX、MoveY)とする。
MoveX=ElementX×InspAreaX+InspAreaX/2
MoveY=ElementY×InspAreaY+InspAreaY/2
そして、ステップS1811において、ステップS1810で算出した座標(MoveX、MoveY)に顕微鏡を移動するためのリストを作成する。
ElementXが偶数であると判断された場合(ステップS1812:Yes)は、ステップS1813において、ElementYを1インクリメントし、ステップS1814において、ElementYがMaxY以上か否かを判断する。そして、MaxY未満であると判断された場合(ステップS1814:No)は、ステップS1809に戻り、MaxY以上であると判断された場合(ステップS1814:Yes)は、ステップS1817に進む。
最後に、ステップS1818において、ElementXがMaxX以上であるか否かを判断し、MaxX以上でないと判断された場合(ステップS1818:No)は、ステップS1807に戻り、MaxX以上であると判断された場合(ステップS1818:Yes)は、本顕微鏡移動順序決定処理を終了する。
102 生産データ管理サーバ
103 レビュー検査装置
104 ネットワーク
105 座標管理サーバ
201 ブロック
201a コメント
201b 基板ID
201c 面取り数
202 ブロック
202a コメント
202b 欠陥総数
202c 第1の欠陥情報
202d 第2の欠陥情報
202e 第3の欠陥情報
203 ブロック
401 欠陥
402 矩形
501 顕微鏡視野
502 中心座標
503 欠陥
504 欠陥
601 中心座標
602 矩形
603 欠陥
701 中心座標
702 欠陥
801、802、803、901、902、903 パターン
904、905、906 欠陥
1001、1002、1003、1004、1005、1006 欠陥領域
1101 開始位置座標
1102 長さ
1103 幅
1104 個数
1105 繰り返し間隔
1201 開始位置座標
1202 長さ
1203 幅
1204a、1204b、1204c、1205 レジストパターン
1205 繰り返し間隔
1401 顕微鏡視野
1501 基板
1502 観察領域矩形
1503 矩形座標
1601、1602、1603、1604、1605、1606 欠陥
1701 開始観察位置
1702 破線
1703 最終観察位置
2001 欠陥
2002 矩形
2003 Xサイズ(DefectX)
2004 Yサイズ(DefectY)
2005 左下座標
2006 右上座標
2101 基板
2102 顕微鏡移動ルール
Claims (8)
- 欠陥検査装置とレビュー検査装置とを備えた検査システムであって、
前記欠陥検査装置は、基板に形成された欠陥を認識し、前記欠陥の位置座標を示す欠陥位置座標および前記欠陥のサイズを示す欠陥サイズを含む欠陥情報を取得し、
前記レビュー検査装置は、前記欠陥検査装置によって取得した前記欠陥位置座標に基づいて、同一の撮像範囲内に同時に入る前記認識した複数の欠陥をグループ化し、前記グループ化された複数の欠陥の位置座標に基づいて、前記撮像範囲を相対的に移動させて前記基板を顕微鏡にて検査し、
前記レビュー検査装置は、前記欠陥情報および前記撮像範囲を構成するための撮像範囲情報に基づいて、前記相対的な移動の回数が少なくなるよう座標を算出する座標算出部と、
を備えたことを特徴とする検査システム。 - 前記座標算出部は、前記レビュー検査装置とは異なる装置が備えることを特徴とする請求項1に記載の検査システム。
- 前記座標算出部は、前記顕微鏡の同一撮像範囲内に同時に複数の欠陥が入る座標を求める同一視野内欠陥抽出部を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の検査システム。
- 前記座標算出部は、前記顕微鏡の撮像範囲に基づいて、複数の欠陥が入る格子を求めるための格子座標設定部を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の検査システム。
- 前記レビュー検査装置は、前記欠陥検査装置から出力された欠陥の位置座標を記憶する欠陥座標記憶部を備えることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の検査システム。
- 前記レビュー検査装置は、空間変調素子を備え、一度に任意の形状で複数のレーザ光を照射してリペアを行う修正機能付きのレビュー検査装置であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の検査システム。
- 前記レビュー検査装置は、レーザによるリペアが必要な欠陥部分を抽出して、リペアが不要な部分を除外するレーザ照射不要部分判定部を備えることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の検査システム。
- 前記座標算出部は、前記同一視野内欠陥抽出部によって求められた前記複数の座標を、前記レビュー検査装置の顕微鏡の同一視野内に入る1つの座標に統合することを特徴とする請求項3に記載の検査システム。
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