CN101033041B - 工件搬送装置及工件搬送方法 - Google Patents

Abstract

一种工件搬送装置，具备：对工件搬送进行引导的工件搬送路径；和配设在所述工件搬送路径的两侧，从两侧方向所述工件搬送路径上的所述工件均等鼓风而向所述工件赋予推进力的一对鼓风机构。

Description

工件搬送装置及工件搬送方法

技术领域

本发明涉及通过传送带或空气等对工件进行搬送的工件搬送装置及工件搬送方法。 

背景技术

以往，作为该种工件搬送装置，已知的是将空气从搬送工件的工件搬送路径向上方喷出而使工件上浮，并且使从工件搬送路径两侧喷出的空气强于中央部分而将工件引导向中央，这种状态下，通过从设在工件搬送路径上的喷气口将空气朝向搬送方向喷出，向工件施以推力而进行搬送的装置(参考特开平10-157851号公报)。由此，工件搬送装置能够在工件不偏出工件搬送路径的情况下进行工件搬送。 

另外，已知的还有从经辊式传送带搬送的工件的两侧方，将成对设在辊式传送带的两侧面的多组球体向中央移动，而将工件定位在辊式传送带的中央位置的装置(参考特开2003-63636号公报)。由此，即使将工件放置在辊式传送带上时位置产生偏离，也可以通过球体将工件定位在中央位置，所以搬送工件的同时可以对其进行调整。 

再者，已知的还有相对于放置在一对传动带上的工件，使工件贴着沿一对传动带的外侧设置的辅助导件进行搬送的装置(参考特开平10-87042号公报)。由此，能够对尺寸大致相同的多种工件进行搬送。 

然而，在特许文献1涉及的构成中，作为第一的课题，就是为了不使工件偏离工件搬送路径而进行搬送，需要考虑到必须使工件搬送路的两侧喷出的空气强于中央部分，以及因空气之间的冲突造成的乱气流。因此，存在对空气的吹出量、吹出方向、喷气口的数量和位置等进行的控制变得复杂并且消耗的空气量增多的问题。 

可是，用工件搬送装置对多个工件进行搬送时，在多个工件之间存在间隙的状态下在工件搬送路径上进行搬送。此时，前面的工件停滞在工件搬送路径上时，需要使后面的工件和前面的工件之间保持一定的空隙，使其不发生接触。这种情况下，作为第二的课题，当为了通过物理接触保持多个工件间的间隙时，有可能对工件造成损伤。例如，搬送玻璃基板等工件时，在接触部分有发生缺损或目视不能确认的裂纹等的可能。尤其是存在这种裂纹等有可能在检查阶段被忽略，而在制成产品后才得以发现的缺陷。 

还有，在特许文献2的构成中，作为第三的课题，为了使多组球体与搬送来的工件接触，而将工件定位于辊式传送带的中央，会对工件造成物理性损伤。由此，例如对玻璃基板等工件进行搬送时，在接触部分有发生缺损或目视不能确认的裂纹等的可能。尤其是存在这种裂纹等有可能在检查阶段被忽略，而在制成产品后才得以发现的缺陷。 

另外，在特许文献3的构成中，作为第四的课题，由于一对搬送带被固定设置，不能搬送比能够载置在一对的搬送带上的工件的尺寸小的工件。因此，存在不能对应工件的尺寸进行搬送的问题。 

发明内容

于是本发明提供一种工件搬送装置，不仅具有简单的构造，还可以用少量的空气，适当且高效地对工件进行气动搬送。另外，还提供一种不会使制动、制止力物理性地作用于工件，使多个工件之间不发生接触而进行气动搬送的工件搬送装置。再者，提供一种工件之间不发生接触，且将工件定位于中央进行预对准的同时，能够对工件进行搬送的工件搬送装置及工件搬送方法。最后，以提供一种能够对应工件的尺寸进行适当搬送的工件搬送装置为课题。 

本发明的第一工件搬送装置，其特征在于，具备：引导工件搬送的工件搬送路径；和配设在工件搬送路径的两侧，从两侧方向工件搬送路径上的工件均匀地鼓风，向工件赋予用于搬送的推进力的一对鼓风机构。 

根据该构成，由于为了向工件赋予均等的推进力而向将工件的两侧鼓风，可以使工件靠近工件搬送路径的中央的同时对工件进行搬送。所以，工件不会从工件搬送路径落下，可以在保持工件姿势的同时进行搬送。 

这种情况下，优选为各鼓风机构具备从斜向搬送方向将空气吹向工件的侧面，并且沿搬送方向排列的多个推进喷嘴。 

根据该构成，可以使搬送方向上的鼓风矢量作为工件的推进力，使与搬送方向正交的矢量起到使工件靠近中央的作用，如此而鼓风，另外，与缝隙状的推进喷嘴相比，可以用较少的空气量高效地对工件进行搬送。 

这种情况下，优选为各鼓风机构的多个推进喷嘴的相互间隔在工件侧面长度的二分之一以下。 

根据该构成，因为可以用至少2组的推进喷嘴向工件的侧面鼓风，所以能够适当地使工件靠近中央并保持姿势的同时，向搬送方向赋予推进力。 

这种情况下，优选为各鼓风机构还具有从斜向搬送方向向工件侧面鼓风的多个推进喷嘴，和从与搬送方向正交的方向向工件侧面鼓风而对工件的姿势进行控制的多个控制喷嘴，多个推进喷嘴和多个控制喷嘴以混在一起的状态排列在搬送方向上。 

根据该构成，控制喷嘴可以将工件以大致与搬送方向平行的姿势定位在工件搬送路径的中央，并能够在这种状态下通过推进喷嘴对工件进行搬送。 

这种情况下，优选为将各推进喷嘴和各控制喷嘴对向配置在一对鼓风机构之间。 

根据该构成，由于空气一直从推进喷嘴吹向工件，可以使搬送速度保持稳定。 

这种情况下，优选为各鼓风机构的多个推进喷嘴的相互间隔在工件侧面长度的二分之一以下。 

根据该构成，因为可以通过控制喷嘴将空气吹向工件侧面，即使工件相对于搬送方向发生偏移，也能够修正工件的姿势，且将工件定位于工件搬送路径的中央。此外，因为可以通过推进喷嘴向工件侧面鼓风，所以能够适当地使工件靠近中央且向搬送方向赋予推进力。 

这种情况下，优选为工件搬送路径的宽度被形成为窄于工件的宽度。 

根据该构成，可以使工件搬送装置实现小型化。此时，为了不使工件落下，优选为工件搬送路径的宽度在工件宽度的二分之一以上。 

这种情况下，优选为工件搬送路径由将工件横跨其上装载的一对分开的搬送路径构成，并具备使一对分开的搬送路径的至少一方向与搬送方向正交的方向移动，从而对一对分开的搬送路径的间距的宽窄进行调整的间距调整机构。 

根据该构成，对应搬送工件的尺寸，可以将一对分开的搬送路径的间距调整到适当的宽窄程度。由此，可以对期望尺寸的工件进行搬送，从而能够根据工件尺寸进行适当的搬送而不受工件尺寸的限制。 

这种情况下，优选为一对分开的搬送路径沿搬送方向相互平行延伸，间距调整机构使一对分开的搬送路径保持平行状态同时对间距进行调整。 

根据该构成，通过调整间距使之于工件尺寸对应而能够搬送期望尺寸的工件。 

这种情况下，优选为一对分开的搬送路径朝向搬送方向的前方非平行延伸，呈“八”字形变窄，间距调整机构使一对分开的搬送路径保持非平行状态同时对间距进行调整。 

根据该构成，可以将载置于一对分开的搬送路径上的工件，以随着向搬送方向的前方的搬送而靠近一对分开的搬送路径的中央的方式进行搬送。即，因为一对分开的搬送路径呈“八”字形，越向前搬送，鼓风的作用越强，工件随之被自动定位到中心。 

本发明的第二工件搬送装置，其特征在于，具备：将多个工件引导到工件搬送路径，通过空气以在搬送方向上存在间隙的状态对多个工件工件进行搬送的工件搬送机构；和配设在工件搬送机构的上方，从上方向被搬送的多个工件的各个间隙鼓风而保持各间隙的中间部吹下(drop air)机构。 

根据该构成，根据中间部吹下机构的空气，可以保持各工件之间的间隙，因此即使是任意一个或多个工件停滞时，工件之间也不会发生接触。另外，由于通过空气能够保持各个间隙，所以不会因物理性接触给工件造成损伤。此外，既可以在搬送中或停止搬送时进行鼓风，也可以一直进行鼓风。 

这种情况下，优选为多个中间部吹下机构均匀地进行鼓风，使多个间隙保持均等。 

根据该构成，因为可以使多个工件的各个间隙保持均等，所以能够将 搬送间隔设为一定，从而使工件的简易定位变为可能。 

这种情况下，优选为还具备：配设于工件搬送路径的搬送终止位置的前端，沿与搬送方向正交的方向延伸的挡板；和从上方向挡板与到达搬送终止位置的工件之间的间隙鼓风，将工件定位于搬送终止位置的端部吹下机构。 

同样，优选为还具备配设于工件搬送路径的搬送终止位置的前端，从上方斜向后方向到达搬送终止位置的工件鼓风，将工件定位于搬送终止位置的端部吹下机构。 

根据该构成，可以在搬送终止位置对工件进行定位，所以能够容易地在搬送终止位置进行工件的捡起等作业。 

这种情况下，优选为多个中间部吹下机构及多个端部吹下机构分别具有在与搬送方向正交的方向上延伸的缝隙状的空气喷嘴。 

根据该构成，可以向搬送的工件的前面均等鼓风，所以可以适当地保持多个工件的各个间隙并进行定位。 

这种情况下，优选为多个中间部吹下机构及多个端部吹下机构分别具有在与搬送方向正交的方向上列设的多个空气喷嘴。 

根据该构成，可以向搬送的工件的前面均等鼓风，所以可以适当地保持多个工件的各个间隙并进行定位。此外，与上述的缝隙状的空气喷嘴相比，可以减少空气消耗量。 

这种情况下，优选为各中间部吹下机构斜向搬送方向鼓风。 

根据该构成，特别是在工件搬送中，通过整合工件的搬送速度和鼓风角度，可以相对地从上方向工件鼓风。因此，可以适当地维持搬送中的工件之间的间隙。 

这种情况下，优选为工件搬送装置还具备上述的一对鼓风机构。 

根据该构成，因为可以向工件的两侧面鼓风而向工件赋予均等的推进力，所以能够在使工件靠近工件搬送路径的中央的同时对工件进行搬送。因此，能够不使工件从工件搬送路径落下，而在保持工件的姿势的同时进行搬送。 

这些情况下，优选为工件搬送路径由在搬送方向上多个连接的工作通风板构成，该工作通风板由有孔板和与有孔板连通的气室组成，工件搬送 路径还具备经有孔板使工件上浮的、向气室供给空气的空气供给机构。 

根据该构成，因为可以使工件上浮，所以能够极大地减少工件和工件搬送路径之间产生的摩擦力，使通过空气对工件姿势进行控制和工件搬送容易进行。 

这种情况下，优选为还具备：为了经有孔板吸附工件而从气室抽吸空气的真空抽吸机构；和对空气供给机构和真空抽吸机构进行切换的切换控制机构。 

根据该构成，可以真空吸附工件并将其固定在工件搬送路径上。因此，例如在搬送终止位置捡起工件时，可以在预对准的状态下进行吸附固定，使捡起时工件不会发生偏移。 

这种情况下，优选为有孔板由多孔质板构成。 

根据该构成，可以用比较少量的空气，从多孔质板的整面均匀地进行鼓风。 

本发明的第三的工件搬送装置，其特征在于，具备：将工件放置在带上进行搬送的搬送带；和配设在搬送带的两侧、从两侧向被带搬送的工件鼓风的一对鼓风机构，一对鼓风机构向工件的两侧面均等鼓风，对带上的工件的平面内的姿势进行控制。 

另外，本发明的工件搬送方法，其特征在于，从侧方向被搬送带搬送的工件的两侧面均等鼓风，在控制工件的平面内的姿势的同时对工件进行搬送。 

根据该构成，因为可以均匀地向工件的两侧面鼓风，工件被定位在带的中央，且以与搬送方向大致平行的姿势被搬送。由此，工件不会发生接触，所以不会受到损伤，而且能够在与搬送方向正交的方向上对工件进行预对准的同时搬送工件。因此，在搬送终止位置(移载位置)上无需设置用于预对准的装置。此外，可以在工件搬送(移动)时一直进行鼓风，也可以在工件停止时进行鼓风，还可以一直鼓风。还有，鼓风的喷嘴既可以是缝隙状的长形喷嘴，也可以是阵列状的多个喷嘴。 

这种情况下，优选为一对的鼓风机构具有在与搬送方向正交的相同位置上相互成对的多组吹气喷嘴。 

根据该构成，因为可以适当地将空气吹向工件的两侧面，所以能够节 约空气消耗，高效地进行鼓风。 

这种情况下，优选为各吹气喷嘴朝向与搬送方向大致正交的方向鼓风。 

根据该构成，因为可以向带的中央鼓风，所以能够高效地通过空气将工件定位于中央。 

这种情况下，优选为各鼓风机构的多个吹气喷嘴的相互间隔在工件侧面长度的二分之一以下。 

根据该构成，因为可以通过至少2组的吹气喷嘴向工件的侧面鼓风，所以即使工件的位置相对于搬送方向发生偏移，也能够在对工件的姿势进行修正的同时，将其定位于带的中央。 

这种情况下，优选为各鼓风机构的多个吹气喷嘴以均等的配置间隔被配设在搬送带中从搬送开始位置的附近到搬送终止位置为止的范围。 

根据该构成，在搬送开始位置，即使工件在位置偏移的状态下被载置于带上，也可以在搬送终止位置高精度地将其调整为预对准状态。 

这种情况下，优选为各鼓风机构的多个所述吹气喷嘴配设在所述传送带中从搬送开始位置的附近到搬送终止位置为止的范围，随着靠近搬送终止位置，配置间隔变密。 

根据该构成，随着工件靠近搬送终止位置，可以高精度地将工件预对准到带的中央。 

这种情况下，优选为还具备对多个所述吹气喷嘴的空气吹出量分别进行控制的空气控制手段，空气控制手段对各空气喷嘴的空气吹出量进行控制，使工件随着靠近搬送终止位置收到的空气量变多。 

根据该构成，随着工件靠近搬送终止位置，可以高精度地将工件预对准到带的中央。 

这种情况下，优选为带的宽度窄于工件的宽度。 

根据该构成，可以使工件搬送装置实现小型化。此时，优选为带的宽度在工件宽度的二分之一以上，使工件不会落下。 

本发明的第四工件搬送装置，其特征在于，具备：将工件横跨承载于横向排列的各个带带上进行搬送的一对传送带；和使一对传送带的至少一方向与搬送方向正交的方向移动，对一对传送带的间距进行宽窄调整的间 距调整机构。 

根据该构成，可以对应搬送工件的尺寸，对一对传送带的间距进行宽窄调整，使之达到适当的距离。由此，可以对期望尺寸的工件进行搬送，所以能够根据工件的尺寸进行适当的搬送而不受工件尺寸的限制。 

这种情况下，优选为一对传送带沿搬送方向相互平行延伸，间距调整机构在保持一对传送带的平行状态的同时对间距进行调整。 

根据该构成，可以将间距调整为与工件尺寸一致，所以能够搬送期望尺寸的工件。 

这种情况下，优选为一对传送带朝向搬送方向的前方非平行延伸，呈“八”字形变窄；间距调整机构在保持一对传送带的非平行状态的同时对间距进行调整。 

根据该构成，可以随着将载置于一对传送带上的工件向搬送方向的前方搬送，使工件一边接近一对传送带的中央一边进行搬送。即、因为一对传送带呈“八”字形，所以随着向前搬送工件在两带上的承载面积逐渐增加。因此，当工件偏向载置于一侧的带上时，偏置一侧的承载部分的摩擦抵抗变大，相反一侧的承载部分的承载被加强(横向偏移)。在此作用下，随着向前搬送，工件被自动定位于中央。 

这种情况下，优选为间距调整机构在与搬送方向正交的方向上延伸，还具备滑动自由地支承一对传送带的多个导轨和一端嵌入一侧的传送带而另一端嵌入另一侧的传送带，具有能够同时自由地拉近和分开一对传送带的构成的宽窄移动机构。 

根据该构成，可以简化一对传送带的构成而使之顺利移动(间距调整)。另外，还可以在中央对一对传送带的拉近和分开进行调整。 

这种情况下，优选为宽窄移动机构具有：配设在搬送方向的前部的前宽窄移动机构；和配设在后部的后宽窄移动机构，前宽窄移动机构及后宽窄移动机构被构成为可以分别进行移动调整。 

根据该构成，可以根据用途使一对传送带在平行状态下移动，或者在“八”字形的非平行状态下进行移动。 

这种情况下，优选为前宽窄移动机构及后宽窄移动机构分别由反螺纹的双螺纹机构构成。 

根据该构成，可以以简易的构成高精度地对一对传送带的间距进行调整。此外，双螺纹机构既可以是手动操作的构成，也可以是自动操作的构成。 

这种情况下，优选为还具备上述的一对鼓风机构。 

根据该构成，由于空气被均匀地吹向工件的两个侧面，所以能够将工件定位于一对传送带的中央且以与搬送方向大致平行的姿势进行搬送。由此，可以一边对工件进行与搬送方向正交的方向的预对准，一边进行搬送。 

这些情况下，优选为带至少在承载工件的位置上，具有由有孔板和与有孔板连通的气室组成的工作空气板，还具备向经有孔板使工件上浮的气室供给空气的空气供给机构。 

根据该构成，因为可以使工件上浮，所以能够将工件和带间产生的摩擦力减到极小，可以通过空气容易地对工件姿势进行控制。此外，优选通过旋转接头等，向固定侧的空气供给机构和可动侧的工作空气板供给空气。 

这种情况下，优选为还具备：为了经有孔板对工件进行吸附而从气室抽吸空气的真空抽吸机构；和对空气供给机构和真空抽吸机构进行切换的切换控制机构。 

根据该构成，可以真空吸附工件将其固定在各个带上。因此，例如在搬送终止位置捡起工件时，可以在预对准的状态下对工件进行吸附固定，捡起时工件不会发生位置偏离。这种情况下，优选也为通过旋转接头等，将空气从可动侧的工作空气板抽吸向固定侧的真空抽吸机构。 

这种情况下，优选为有孔板由多孔质板构成。 

根据该构成，可以用比较少的空气量，从多孔质板的整面均匀地进行鼓风。 

附图说明

图1A～1C是表示第一实施方式的工件搬送装置的说明图。 

图2是表示将推进喷嘴及控制喷嘴设置为交错状的工件搬送装置的说明图。 

图3是表示第一实施方式的变形例1的工件搬送装置的说明图。 

图4是表示第一实施方式的变形例2的工件搬送装置的说明图。 

图5A～5C是表示将工件搬送路径的宽度调窄后的工件搬送装置的说明图。 

图6A～6C是表示第二实施方式的工件搬送装置的说明图。 

图7A及7B是表示第二实施方式的工件搬送装置的变形例的说明图。 

图8A～8C是表示第三实施方式的工件搬送装置的说明图。 

图9A～9C是表示将带宽度调窄后的工件搬送装置的说明图。 

图10A～10C是表示第四实施方式的工件搬送装置的说明图。 

图11是表示将一对传送带配置为“八”字形的顶视图。 

图12A～12C是表示第三实施方式的工件搬送装置的变形例的说明图。 

图13A～13C是表示第四实施方式的工件搬送装置的变形例的说明图。 

图14A及14B是表示工作空气板的模式图。 

符号说明 

Ps搬送开始位置；Pe搬送终止位置；W工件；1工件搬送装置；2工件搬送路径；3鼓风单元；4工件搬送机构；5工作空气板；6气室；8多孔质板；12控制喷嘴；13推进喷嘴；15分开的搬送路径；20传送带；21吹喷管；23前宽窄移动机构；26空气供给单元；28后宽窄移动机构；29导轨；30连接构件；32双螺纹机构；50驱动轮；55中间部空气吹下单元；60从动轮；66挡板；70搬送带；77端部空气吹下单元；80脚部；90间距调整机构 

具体实施方式

以下，参考附图对本实施方式的工件搬送装置进行说明。柔性基板(FOG)和驱动芯片(COG)等零件封装于玻璃基板等，在前阶段对各零件及玻璃基板进行预对准(精度±0.1mm)后，在其次的阶段，采用图像识别装置及精密台(Stage)等，对形成在各零件及玻璃基板上的各对准记号(alignment mark)进行图像识别，根据该图像识别的结果，通过精密台进行高精度的校准(精度±0.002mm)。之后，使各零件与玻璃基板接合，将各零件封装到玻璃基板中。此时，作为前阶段进行的预对准，是为了将对准记号映入图像识别装置而进行的作业。在此，该工件搬送装置的作用 在于，将载置于工件搬送路径上的用于液晶面板的玻璃基板等工件，通过空气沿工件搬送路径搬送，同时对工件进行预对准。 

参考图1A～1C，可知工件搬送装置1具有：工件搬送路径2；和沿其两侧立设的一对鼓风单元3。一对鼓风单元3从工件搬送路径2的搬送开始位置Ps延伸到搬送终止位置Pe，其长度略微短于工件搬送路径2，向通过工件搬送路径2搬送的工件W鼓风。 

工件搬送路径2通过连接多个工作空气板5而形成搬送路径，各工作空气板5具有作为底座的方形框架7、和嵌合在框架7的上部的多孔质板8，在多孔质板8的下方形成有气室6。在各气室6的下方开设有空气连接口9，空气连接口9经未图示的切换阀，切换可能地与工厂内的压缩空气供给设备及空气抽吸设备相连接。从压缩空气供给设备供给空气时，从多孔质板8的整面向上方均等鼓风使工件W上浮，另外，通过切换阀与空气抽吸设备连接时，工件W被多孔质板8真空吸附。由此，在将多个工件W从搬送开始位置Ps搬送到搬送终止位置Pe的过程中，当在搬送终止位置Pe卸除(移载)工件W，或通过配置于搬送中途位置的处理装置接通工件W停止搬送时，进行真空抽吸将工件吸附固定，再次进行搬送时，吹出空气使工件W上浮。此外，空气吹出量是使工件W稍微上浮的程度即可。 

沿着工件搬送路径2的两侧配设一对鼓风单元3，具有：从搬送开始位置Ps延伸到搬送终止位置Pe的长方体形的一对气室10；和与各气室10连接且隔着工件搬送路径2对向设置的、向与搬送方向正交的正交方向鼓风的多个控制喷嘴12；以及向搬送方向和正交方向之间的倾斜方向鼓风的多个推进喷嘴13。 

各气室10沿长度方向被分割为多个，在各个分割气室11中设有3个(多个)控制喷嘴12或推进喷嘴13。即，多个分割气室11由设有控制喷嘴12的控制分割气室11a、和设有推进喷嘴13的推进分割气室11b两种构成，各控制分割气室11a及推进分割气室11b夹着工件搬送路径2相对配置。经流量调整阀等多个分割气室11中被分别与工厂内的压缩空气供给设备(均省略图示)连接，由压缩空气供给设备供给的空气经过调整后，通过各分割气室11从各控制喷嘴12及各推进喷嘴13均等吹向工件W的 两侧面。此外，流量控制阀等更优选设于每个控制喷嘴12及推进喷嘴13。 

各气室10的多个控制喷嘴12及推进喷嘴13配设在各气室10的上部从搬送开始位置Ps搬送到搬送终止位置Pe的范围，其配置间隔相等。控制喷嘴12的鼓风角度被调整为与工件搬送路径2的搬送方向正交，推进喷嘴13的鼓风角度被调整为朝向搬送方向和正交方向之间的倾斜方向。多个两种喷嘴12、13的配置间隔被设为小于工件W的侧面长度的二分之一，至少有两组的喷嘴12、13向工件W鼓风。此外，也可以将各分割气室11的控制喷嘴12及推进喷嘴13作为一体形成为缝隙状。 

当工件W被载置于工件搬送路径2上的搬送开始位置Ps时，在工件W的下面，空气被从多孔质板8吹向上方使工件W上浮。同时，在朝向工件W的两侧方的多组推进喷嘴13及多组控制喷嘴12的作用下，空气被均等吹向工件的两侧面，多组推进喷嘴13一边使工件W靠近中央一边进行搬送，多组控制喷嘴12对工件W的姿势进行控制，使之保持向搬送方向一致的姿势。即，从推进喷嘴13吹出的空气，其搬送方向的向量起到工件W的推进力的作用，与搬送方向正交的向量起到使工件W向中央靠近的作用。工件W在被搬送的同时逐渐被预对准，最终以被预对准的状态到达搬送终止位置Pe。之后，通过真空吸附进行捡起的捡起装置等，工件W被移载到下面的工序。 

根据以上的构成，因为可以通过简易的构成向工件W的两侧面鼓风，向其赋予均等的推进力，所以能够一边对工件W进行预对准，一边进行搬送，也不会发生工件W从工件搬送路径2落下的情况。此外，既可以将多个控制喷嘴12及多个推进喷嘴13设为越接近搬送终止位置Pe配置间隔越密，也可以不改变配置间隔，在多个控制喷嘴12及多个推进喷嘴13的每一个上设置流量调整阀等，使其越靠近搬送终止位置Pe喷出的空气量越多。由此，随着工件W靠近搬送终止位置Pe，可以高精度地对工件W进行预对准，使其靠近工件搬送路径2的中央。另外，可以在搬送工件W时鼓风，也可以在工件W停止时鼓风，还可以一直进行鼓风。再者，在本实施方式中，将各控制分割气室11a及各推进分割气室11b位置设为相对，但也可以将其设为交错状(参考图2)。由此，总有推进喷嘴13面对工件W，所以可以一直向工件W施以推进力而使工件W的搬送速 度保持一定。还有，也可以将一对鼓风单元3设为仅有推进喷嘴13(推进分割气室11b)的构成。再者，如图5A～5C所示，也可以将工件搬送路径2的宽度设为窄于工件W的宽度。由此，可以使工件搬送路径2变得细长，从而实现工件搬送装置的小型化。此时，为了防止工件W落下，可以将工件搬送路径2的宽度优选为宽于工件W的宽度的二分之一。 

另外，作为本实施方式的变形例，如图3所示，工件搬送路径2也可以由一对分开的搬送路径15构成，工件W跨于其上。即，一对分开的搬送路径15具有设在其搬送方向的前部及后部的间距调整机构16，通过该间距调整机构16，使一对分开的搬送路径15保持平行状态，同时对其间距进行调整，可以对应不同尺寸的工件W进行搬送。具体地说，就是搬送大尺寸的工件W时，将两分开的搬送路径15的间距调宽，而搬送小尺寸的工件W时，将两分开的搬送路径15的间距调窄。 

另外，如图4所示，将一对分开的搬送路径15非平行配设，使其朝向搬送方向的前方呈“八”字形变窄，也可以在其搬送方向的前部及后部设置间距调整机构16。由此，将工件W横跨于一对分开的搬送路径15而载置后，开始搬送工件W时，随着搬送的进行吹向工件W两侧面的空气逐渐变强。由此，可以使工件W以被高精度预对准的状态朝向搬送终止位置Pe。 

其次，参考图6A～6C对第二实施方式的工件搬送装置进行说明。且，为了避免重复叙述，仅对相异部分进行说明。该工件搬送装置1由工件搬送机构4、多个中间部空气吹下单元55、挡板66、端部空气吹下单元77构成。该工件搬送机构4由成为多个工件W的搬送路径的上述工件搬送路径2，以及沿工件搬送路径2的两侧立设且向工件W赋予推进力的上述的一对鼓风单元3构成。多个中间部空气吹下单元55被配设在工件搬送路径2的上方，保持搬送的多个工件W的间隙。挡板66被配设在工件搬送路径的搬送终止位置Pe的前端，向与搬送方向正交的方向延伸。端部空气吹下单元77从上方向挡板66和到达搬送终止位置Pe的工件W的间隙鼓风。一对鼓风单元3沿工件搬送路径2从搬送开始位置Ps延伸到搬送终止位置Pe，略微短于工件搬送路径2的长度，向经工件搬送路径2搬送的工件W鼓风而赋予工件W推进力。 

各中间部空气吹下单元55被朝下设置在工件搬送路径2的上方，面对搬送工件W的前后等间隔配设。此外，作为各个间隔的长度，例如等于工件W的搬送方向的长度和应该保持的工件W之间的间隙之和。各中间部空气吹下单元55具有向下垂直方向鼓风并且设置在与搬送方向正交的方向上的多个空气吹下喷嘴30和与此连接的空气吹下室31，各空气吹下室31经流量调整阀(省略图示)与工厂内的压缩空气供给设备相连。由此，可以通过流量调整阀对从多个空气吹下喷嘴30吹出的空气量进行调节，使多个工件W的各个间隙保持均等。 

端部空气吹下单元7与上述的中间部空气吹下单元55具有同样的构成，被配设在设于工件搬送路径2的前端的挡板66和临近搬送终止位置Pe的工件W之间，垂直朝下鼓风。这种情况下，在吹向挡板66和工件W之间的空气的作用下，在工件W的停止位置(移载位置)上可以对搬送方向(前后方向)的位置进行预对准。即，通过调整挡板66的位置，或者调整端部空气吹下单元7的空气强度，可以使工件W停止在规定的移载位置。 

当工件W被载置于工件搬送路径2上的搬送开始位置Ps上时，经鼓风单元3将空气吹向工件W的两侧面，一边对承载的工件W进行预对准，一边进行搬送。载置的工件W向搬送方向移动后，以与前面载置的先行的工件W之间存在一定间隙的状态，将下一个工件W载置在搬送开始位置Ps上，工件W朝向搬送方向移动。先行的工件W在被预对准的状态下到达搬送终止位置Pe时，由端部空气吹下单元7从上向下将吹下空气吹向工件搬送路径2。吹下空气被吹到工件搬送路径2上时，吹下空气分开流向搬送方向的前方及后方，前方的空气吹到挡板66上，后方的空气吹到先行的工件W的前面上。同时，由中间部空气吹下单元55从上向下将吹下空气吹向工件搬送路径2，分开的吹前方的空气吹到先行的工件W的后面上。 

由此，先行的工件W被推向后方，但在空气的推进力和中间部吹下空气的吹力作用下，先行的工件W以与挡板66存在间隙的状态，被定位在端部空气吹下单元77的空气的吹力和鼓风单元3的空气以及中间部空气吹下单元55的空气的推进力相互均衡的位置，先行的工件W在搬送终 止位置Pe上变为停止状态(停滞)。即，先行的工件W，在一对鼓风单元3、中间部空气吹下单元55及端部空气吹下单元77的作用下，其前后左右被预对准。之后，后面的工件W接近先行的工件W时，通过中间部空气吹下单元55，从上方向先行的工件W和后面的工件W的间隙中吹送空气。与上述相同吹下空气分开流向搬送方向的前方及后方，流向前方的空气吹到与挡板66具有同样作用的先行的工件W的后面上，流向后方的空气吹到后面的工件W的前面上。由此，在先行的工件W和后面的工件W之间存在间隙的状态下，后面的工件W变为停止状态(停滞)。 

根据以上的构成，即使一个或多个工件W处于停滞的状态，因空气的作用不会发生物理接触，因为可以保持多个工件W之间的间隙，所以工件W彼此不会发生接触。另外，搬送终止位置Pe上的工件W，在中间部空气吹下单元55、端部空气吹下单元77和两个鼓风单元3、3的作用下，处于被预对准的状态。在此，由于暂且将工件W吸附于工件搬送路径2的工作空气板5上等待移载，因此可以原样将预对准后的工件W移载向处理装置等。 

此外，在本实施方式中，端部空气吹下单元77从上方向工件W和挡板66的间隙中鼓风，但如图7A所示，也可以撤掉挡板66，将端部空气吹下单元77设置在搬送方向的前方，从上方斜向后方吹送空气。另外，也可以用缝隙状的吹下喷嘴代替列设的多个吹下喷嘴30。再者，如图7B所示，各中间部空气吹下单元55也可以斜向前方向搬送方向吹送空气。由此，例如当空气吹到搬送中的工件W上时，通过整合工件W的搬送速度和空气的吹送角度，可以相对地从上方向工件W吹送空气，因此可以适当保持搬送中的工件W之间的间隙。还有，多个中间部空气吹下单元55及端部空气吹下单元77，可以一直吹送空气，也可以在先行的工件W停滞而后面的工件W接近时吹送空气。 

其次，参考图8A～8C对第三实施方式的工件搬送装置进行说明。该工件搬送装置，例如可以将用于液晶面板的玻璃基板等工件载置于传送带上进行搬送，并且一边搬送一边对工件进行预对准。工件搬送装置1具有传送带20、和在其两侧沿着传送带20立设的一对鼓风单元3。一对鼓风单元3从传送带20的搬送开始位置Ps延伸到搬送终止位置Pe，其长度略 微短于传送带20，从两侧朝向被传送带20搬送的工件W鼓风。 

传送带20具有：未图示的在驱动电极作用下经减速齿轮等转动的驱动轮50；和从动于驱动轮50的从动轮60；和围绕驱动轮50及从动轮60旋转的环状的搬送带70。传送带20通过使搬送带70在驱动轮50及从动轮60之间旋转，将载置于搬送带70上的工件W(在实施方式中为多个工件W)从搬送开始位置Ps搬送到搬送终止位置Pe。传送带20的运转是同时对搭载的多个工件W进行搬送，但在搬送开始位置Ps上进行工件W的供材(载置)作业，或在搬送终止位置Pe进行工件W的去材(移载)作业，以及配置在搬送中途位置的处理装置与工件W接触等时，适当地停止搬送。即，一边反复进行搬送和停止一边对工件进行搬送。此外，为了使工件W在鼓风单元3吹送的空气的作用下容易移动，搬送带70优选为采用相对于工件W(的载置面)摩擦抵抗小的材料。 

一对鼓风单元3被沿着传送带20的两侧配设，具有：从搬送开始位置Ps延伸到搬送终止位置Pe的长方体形的一对气室10；和与各气室10连接，夹着传送带20相对设置的多组吹气喷嘴21。各气室10在长度方向上被分割为多个，在各分割气室10a中设有3个(多个)吹气喷嘴21。另外，经流量调整阀等多个分割气室10a被分别连接到工厂内的压缩空气供给设备(均省略图示)上，从压缩空气供给设备供给的空气经各分割气室10a从各吹气喷嘴21吹向工件W。两个气室10、10的各自的各个吹气喷嘴21，在与搬送方向正交的位置对齐并成对(多对)，可以对从该多对(多组)吹气喷嘴21吹出的空气进行调整，使之均匀地吹到工件W的两侧面上。此外，流量调整阀等优选为设置在每个吹气喷嘴21上。 

各气室10的多个吹气喷嘴21被设于各气室10的上部从搬送开始位置Ps到搬送终止位置Pe的范围，使其配置间隔相同，空气的吹送角度被调整为与传送带20的搬送方向正交。多个吹气喷嘴21的配置间隔被设为工件W的侧面长度的二分之一以下，至少有两组的吹气喷嘴21向工件W吹送空气。此外，既可以将各分割气室10a中的3个吹气喷嘴21作为一体形成为缝隙状，也可以将各气室10的多个吹气喷嘴21作为一体形成为缝隙状。另外，也可以将吹气喷嘴21的鼓风角度调整为相对于移动中(搬送中)的工件W以直角吹送空气。再者，如图8C所示，使吹气喷嘴21 的高度与工件W的上下中间位置的高度一致，但也可以使其略微靠下或者略微将空气向下吹送，向工件W施以将其提升向上的力量。 

当工件W被载置于搬送带70上的搬送开始位置Ps并开始搬送时，从面对工件W的多组吹气喷嘴21向工件W的两侧面均匀地吹送空气。于是工件W一边被搬送带70搬送，一边逐渐被吹送到成对的两个吹气喷嘴21的中央，即搬送带70的中央，并且被控制为与搬送方向一致的姿势。即，一边对工件W逐渐进行预对准，一边进行搬送，最终以被预对准的状态到达搬送终止位置Pe。之后，通过由真空吸附进行捡起的捡起装置将工件移载向下面工序的装置等。 

根据以上的构成，由于搬送时工件W不与销等发生接触，所以可以在不给工件W造成任何损伤的情况下对其进行预对准。因此，无需在搬送终止位置Pe设置在移载前对工件进行预对准的专用装置等。此外，在本实施方式中，将吹气喷嘴21的配置间隔设为相等，但也可以使随着接近搬送终止位置Pe配置间隔逐渐变密。另外，也可以不改变配置间隔，通过上述的流量调整阀(控制阀)，使越靠近搬送终止位置Pe的吹气喷嘴21吹送的空气量变多。由此，随着工件W靠近搬送终止位置Pe，可以更高精度地对其进行预对准。还有，空气可以在搬送工件W时吹送，也可以在工件W停止时吹送，还可以一直吹送。再者，如图9所示，也可以将搬送带70的宽度设为窄于工件W的宽度。由此，可以使传送带20变得细长，从而使工件搬送装置1实现小型化。此时，为了防止工件W落下，搬送带70的宽度优选为宽于工件W的宽度的二分之一。 

其次，参考图10A～10C对第四实施方式的工件搬送装置进行说明。该工件搬送装置1具有：工件W横跨其上载置进行搬送的一对传送带20；和设置在一对传送带20的搬送方向的前部及后部，对一对传送带20的间距的宽窄进行调整的间距调整机构90；和沿着一对传送带20的两侧立设的一对鼓风单元3。一对鼓风单元3从一对传送带20的搬送开始位置Ps延伸到搬送终止位置Pe，长度略微短于一对传送带20，向被一对传送带20搬送的工件W吹送空气。 

各传送带20具有：在未图示的驱动电机的驱动下经减速齿轮列等旋转的驱动轮50；和从动于驱动轮50的从动轮60；以及围绕驱动轮50及 从动轮60旋转的无接头的搬送带70，所有这些都被旋转自由地支承各带轮50、60的大致呈“U”字形的前后一对的支承脚部80所支承。另外，两个传送带20的两个驱动电机周期性旋转，使两个搬送带70、70分别具有相同的转速(搬送速度)。由此，横跨两个搬送带70、70载置的工件W在保持其姿势的同时被搬送向前。而且，通过使两个搬送带70在各自的驱动轮50及从动轮60之间同时运转，将载置于两个搬送带70上的工件W(在实施方式中为多个工件W)从搬送开始位置Ps搬送到搬送终止位置Pe。 

传送带20的运转是同时对搭载的多个工件W进行搬送，但在搬送开始位置Ps上进行工件W的供材(载置)作业，或在搬送终止位置Pe进行工件W的去材(移载)作业，以及配置在搬送中途位置的处理装置与工件W接触时，适当地停止搬送。即，一边反复进行搬送和停止一边对工件进行搬送。此外，为了使工件W在鼓风单元3吹送的空气的作用下容易移动，搬送带70优选为采用相对于工件W(的载置面)摩擦抵抗小的材料。 

一对鼓风单元3被沿着传送带20的两侧配设，具有：从搬送开始位置Ps延伸到搬送终止位置Pe的长方体形的一对气室10；和与各气室10连接，隔着传送带20对向设置的多组吹气喷嘴21。各气室10在长度方向上被分割为多个，在各分割气室10a中设有3个(多个)吹气喷嘴21。另外，经流量调整阀等多个分割气室10a被分别连接到工厂内的压缩空气供给设备(均省略图示)上，从压缩空气供给设备供给的空气经各分割气室10a从各吹气喷嘴21吹向工件W。两个气室10、10的各自的各个吹气喷嘴21，在与搬送方向正交的位置对齐并成对(多对)，可以对从该多对(多组)吹气喷嘴21吹出的空气进行调整，使之均匀地吹到工件W的两侧面上。此外，流量调整阀等优选为设置在每个吹气喷嘴21上。 

各气室10的多个吹气喷嘴21被设于各气室10的上部从搬送开始位置Ps到搬送终止位置Pe的范围，使其配置间隔相同，空气的吹送角度被调整为与传送带20的搬送方向正交。多个吹气喷嘴21的配置间隔被设为工件W的侧面长度的二分之一以下，至少有两组的吹气喷嘴21向工件W吹送空气。此外，既可以随着接近搬送终止位置Pe使吹气喷嘴21的配置 间隔逐渐变密，也可以不改变配置间隔，向每个吹气喷嘴21设置流量调整阀，使越靠近搬送终止位置Pe的吹气喷嘴21吹送的空气量越多。由此，随着工件W靠近搬送终止位置Pe，可以更高精度地将工件W预对准道一对传送带20的中央。还有，空气可以在搬送工件W时吹送，也可以在工件W停止时吹送，还可以一直吹送。 

间距调整机构90具有：设在一对传送带20的搬送方向的前部的前宽窄移动机构23；和设在一对传送带20的搬送方向的后部的后宽窄移动机构28；以及分别在与搬送方向正交的方向上，滑动自由地支承一对传送带20的前部两组的脚部80及后部两组的脚部80的导轨29。另外，该前后一对的导轨29还滑动自由地支承有上述的各鼓风单元3(详细内容后述)。 

前后各宽窄移动机构23、28由拉线螺旋状的双螺纹机构32构成，双螺纹机构32由左阳螺纹构件17和右阳螺纹构件18以及雌螺纹块19构成(参考图10C)。其中，左阳螺纹构件17将固定侧端部固定在一侧的传送带20的脚部80上；右阳螺纹构件18将固定侧端部固定在另一侧的传送带20的脚部80上；在雌螺纹块19的轴方向的两端分别螺合左阳螺纹构件17及右阳螺纹构件18。而且，通过使雌螺纹块19绕轴正反方向旋转，可以经左阳螺纹构件17及右阳螺纹构件18将两脚部80，即两传送带20、20拉近中心或从中心分开。不过，在实施方式中，两传送带20、20分别经连接构件33与鼓风单元3连接，在双螺纹机构32的作用下，两传送带20、20分别随着各自的鼓风单元3，被拉近或分开。 

如此，通过宽窄移动机构23及后宽窄移动机构28，可以对两传送带20、20的间距进行调整。由此，通过搬送大尺寸的工件W时，将两传送带20、20的间距调宽，搬送小尺寸的工件W时，将两传送带20、20的间距调窄，可以无需使用对应最大尺寸的工件W的大型传送带而适当地对工件W进行搬送。另外，通过一对鼓风单元3可以在搬送中将工件W预对准到中央。 

另外，各雌螺纹块19优选为附设有刻度板。如此，通过以刻度板的刻度为基准使雌螺纹块19旋转，可以简单地使通过前宽窄移动机构23调整的两传送带20、20在搬送终止位置Pe一侧的间距，和通过后宽窄移动机构28调整的两传送带20、20在搬送开始位置Ps一侧的间距保持一致。 即，可以保持两传送带20、20的平行状态，同时简单地对间距的宽窄进行调整。另外，自不必说雌螺纹块19的正反旋转既可以手动进行，也可以以电机为驱动源自动进行。再者，也可以除了前宽窄移动机构23及后宽窄移动机构28，在间距调整机构90上再设置一个以上的中间宽窄移动机构。 

其次，参考图11，对第四实施方式的变形例进行说明。如图11所示，该变形例具有与上述的第四实施方式相同的构造。但通过上述的间距调整机构90，一对传送带20、20被非平行设置，朝向搬送方向的前方呈“八”字形变窄。即，通过后宽窄移动机构28，将一对传送带20、20的搬送开始位置Ps的间距调整为宽幅，通过前宽窄移动机构23，将一对传送带20、20的搬送终止位置Pe的间距调整为窄幅。 

将工件W横跨载置于一对传送带20、20上后开始搬送工件W时，两搬送带70一边使工件W靠近中央，一边对工件W进行搬送。即，被两搬送带70搬送的工件W被载置的两载置面分别具有相同的面积，也就是说，如果两载置面的一方的面积较大时会导致摩擦抵抗变大，因此通过固定一方的载置面，将另一方的载置面设为可动，可以使工件W取得平衡，同时自动靠近一对传送带20的中央。另外，由于面向工件W的两侧面的多组吹气喷嘴21，均匀地向工件W的两侧面吹送空气，所以工件W被逐渐吹向一对传送带20、20的中央，并且被控制为与搬送方向一致的姿势。如此，工件W一边被逐渐预对准，一边被搬送向前，最终以被预对准的状态到达搬送终止位置Pe。之后，通过真空吸附进行捡起的捡起装置等，工件W被移载到下面的工序。由此，不会与工件W发生接触，可以高精度地对其进行预对准，无需设置用于预对准的装置即可进行工件W的捡起。 

其次，参考图12A～12C及图13A～13C，对第三实施方式及第四实施方式的工件搬送装置1的变形例进行说明。且，为了避免重复叙述，仅对相异部分进行说明。该工件搬送装置1通过在第三实施方式及第四实施方式的各个传送带20的搬送带70上设置多个工作空气板5，并通过该工作空气板5使搬送中的工件W略微上浮，而使预对准变得容易。 

多个工作空气板5，以在搬送方向上无间隙排列的状态，被固定在搬 送带70的表面。这种情况下，各工作空气板5在与搬送方向正交的方向的搬送带的中间位置被固定在搬送带70上，可以顺利地通过驱动轮50及从动轮60。另外，在该图中进行了省略，但在驱动轮50及从动轮60之间配设有多个导轨，防止搬送带70发生松弛。此外，也可以省略搬送带70，将多个工作空气板5直接连接成链状，由多个工作空气板5构成搬送带。 

如图14A及14B所示，各工作空气板5的构成为在方形的框架7的上部嵌合多孔质板8，在多孔质板8的下方设置气室6，在框架7的侧面上设有与后述的空气供给单元26连通的空气连接口9。多孔质板8具有多个气孔，气室6的压缩空气通过这些气孔使多孔质板8上的工件W上浮。空气连接口9经空气供给管25与空气供给单元26连接，从空气供给单元26供给气室6的空气，被从多孔质板8的上方整面吹向上方。 

如此，由于采用多孔质板8，可以以较少量的空气将空气从多孔质板8的整面均等吹出。此外，这种情况下的空气吹出量以略微使工件W上浮即可。还有，在多个空气供给管25和空气供给单元26之间设置旋转接头27，当多个空气供给管25与搬送带70及多个工作空气板5的旋转联动产生回转时，旋转接头27随之旋转，所以多个空气供给管25不会发生缠绕，可以使多个工作空气板5产生旋转。 

当工件W被载置于各传送带20的搬送开始位置Ps时，在从工作空气板5吹向上方的空气作用下，工件W上浮，同时通过面对工件W的两侧方的多组吹气喷嘴21，空气被均等吹向工件W的两侧面。工件W从工作空气板5上浮，此时工件W的底面(载置面)和工作空气板5的表面之间的摩擦变为零，所以通过吹向工件W的两侧面的空气，可以高效地对工件W进行预对准。换言之，即使一对鼓风单元3吹送的空气量少，也可以对工件W进行良好的预对准。 

此外，将气室6构成为经空气抽吸管连接真空泵，并且能够对向气室6供给或从气室6抽吸空气进行切换，还可以在搬送终止位置Pe对工件W进行真空吸附。由此，在搬送终止位置Pe，可以以预对准后的状态对工件W进行吸附固定，所以在搬送终止位置Pe捡起工件W时，可以在不使工件W的位置产生偏移的情况下进行捡起。 

Claims (18)

1.一种工件搬送装置，其特征在于，具备：

引导工件搬送的工件搬送路径；

一对鼓风机构，其配设在所述工件搬送路径的两侧，从两侧方向所述工件搬送路径上的所述工件均匀地吹送空气而向所述工件赋予用于搬送的推进力，

所述各鼓风机构还具有：从斜向搬送方向向所述工件的侧面吹送空气的多个推进喷嘴；多个控制喷嘴，其从与搬送方向正交的方向向所述工件的侧面吹送空气而对所述工件的姿势进行控制，

所述多个推进喷嘴和所述多个控制喷嘴以混在的状态沿搬送方向排列。

2.根据权利要求1所述的工件搬送装置，其特征在于，所述各鼓风机构的所述多个所述推进喷嘴的相互间隔，在所述工件的侧面长度的二分之一以下。

3.根据权利要求1所述的工件搬送装置，其特征在于，在所述一对鼓风机构之间，所述各推进喷嘴和所述各控制喷嘴相对配置。

4.根据权利要求1或3所述的工件搬送装置，其特征在于，所述各鼓风机构的所述多个推进喷嘴及所述多个控制喷嘴的相互间隔，在所述工件的侧面长度的二分之一以下。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的工件搬送装置，其特征在于，所述工件搬送路径的宽度形成为比所述工件的宽度窄。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的工件搬送装置，其特征在于，

所述工件搬送路径由将工件以横跨的方式载入的一对分开的搬送路径构成，

所述工件搬送装置还具有间距调整机构，所述间距调整机构使所述一对分开的搬送路径的至少一个在与搬送方向正交的方向上移动，而调整所述一对分开的搬送路径的间距的宽窄。

7.根据权利要求6所述的工件搬送装置，其特征在于，所述一对分开的搬送路径沿搬送方向相互平行地延伸，

所述间距调整机构将所述一对分开的搬送路径维持在所述平行状态，并且调整其间距。

8.根据权利要求6所述的工件搬送装置，其特征在于，所述一对分开的搬送路径朝向搬送方向的前方以“八”字状变窄的方式非平行地延伸，

所述间距调整机构将所述一对分开的搬送路径维持在所述非平行状态，并且调整其间距。

9.根据权利要求1所述的工件搬送装置，其特征在于，还具备：

工件搬送机构，其将多个工件引导到工件搬送路径上，以在搬送方向上存在间隙的状态由气体搬送该多个工件；

多个中间部空气吹下机构，其配设在所述工件搬送机构的上方，从上方向被搬送的所述多个工件的所述各间隙吹送空气而维持所述各间隙。

10.根据权利要求9所述的工件搬送装置，其特征在于，所述多个中间部空气吹下机构均匀地吹送空气，以使所述多个间隙均等。

11.根据权利要求9或10所述的工件搬送装置，其特征在于，还具备：

挡板，其配设在所述工件搬送路径的搬送终止位置的前方，在与所述搬送方向正交的方向上延伸；

端部空气吹下机构，其从上方向所述挡板和到达所述搬送终止位置的所述工件的间隙吹送空气，将所述工件定位在所述搬送终止位置。

12.根据权利要求9或10所述的工件搬送装置，其特征在于，还具备端部空气吹下机构，该端部空气吹下机构配设在所述工件搬送路径的搬送终止位置的前方，从上方向斜后方向到达所述搬送终止位置的所述工件吹送空气，将所述工件定位在所述搬送终止位置。

13.根据权利要求9或10所述的工件搬送装置，其特征在于，所述多个中间部空气吹下机构及所述端部空气吹下机构，分别具有在与搬送方向正交的方向上延伸的缝隙状的空气喷嘴。

14.根据权利要求9或10所述的工件搬送装置，其特征在于，所述多个中间部空气吹下机构及所述端部空气吹下机构，分别具有在与搬送方向正交的方向上排列设置的多个空气喷嘴。

15.根据权利要求9或10所述的工件搬送装置，其特征在于，所述各中间部空气吹下机构斜向搬送方向吹送空气。

16.根据权利要求1～3、9、10中任一项所述的工件搬送装置，其特征在于，所述工件搬送路径是在搬送方向上连接多个工作空气板而构成，该工作空气板由有孔板和与所述有孔板连通的气室构成，

还具备空气供给机构，该空气供给机构为了经所述有孔板使所述工件上浮而向所述气室供给空气。

17.根据权利要求16所述的工件搬送装置，其特征在于，还具备：

真空抽吸机构，其为了经所述有孔板吸附所述工件而从所述气室抽吸空气；

切换所述空气供给机构和所述真空抽吸机构的切换控制机构。

18.根据权利要求16所述的工件搬送装置，其特征在于，所述有孔板由多孔质板构成。

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