CN111377075A - 装箱装置及其工作方法 - Google Patents

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Abstract

一种装箱装置及其使用方法，其中，装箱装置包括：箱体，所述箱体包括第一侧壁；位于所述箱体底部的若干个相互分立的沟槽，若干个沟槽沿垂直于第一侧壁的方向平行排布，每个所述沟槽用于装载一个基板；位于所述第一侧壁的吹气口，用于向箱体内吹入气体。利用所述装箱装置装载基板时能够降低对基板的损伤。

Description

装箱装置及其工作方法
技术领域
本发明涉及显示领域，尤其涉及一种装箱装置及其工作方法。
背景技术
近年来，随着信息通讯领域的迅速发展，对各种类型的显示设备的需求越来越大。目前主流的显示装置主要有：液晶显示器(LCD)，等离子体显示器(PDP)，电致发光显示器(ELD)和真空荧光显示器(VFD)等。由于液晶显示器具有轻、薄、体积小、耗电低、辐射低等优点，被广泛应用于各种数据处理设备中，例如：电视、笔记本电脑、移动电话、个人数字处理等。
然而，现有技术对液晶显示器的装箱过程中，液晶显示器易发生损伤，甚至破片。
发明内容
本发明解决的技术问题是提供一种装箱装置及其工作方法，以降低装箱过程中对基板造成损伤。
为解决上述技术问题，本发明提供一种装箱装置，包括：箱体，所述箱体包括第一侧壁；位于所述箱体底部若干个相互分立的沟槽，若干个沟槽沿垂直于第一侧壁的方向平行排布，每个所述沟槽用于装载一个基板；位于所述第一侧壁的吹气口，用于向箱体内吹入气体。
可选的，沿垂直于箱体底部的方向上，所述基板的尺寸大于沟槽的尺寸；所述吹气口位于箱体外，且沿垂直于箱体底部的方向上，吹气口到箱体底部所在平面的距离大于沟槽的尺寸。
可选的，沿垂直于箱体底部的方向上，所述吹气口到箱体底部所在平面的距离与基板的尺寸相等；所述箱体沿第一侧壁方向上包括第一区和位于第一区两侧的第二区，所述吹气口位于第一区。
可选的，所述沟槽的深度为：1060毫米～1190毫米；所述第一基板沿沟槽深度方向上的尺寸为：1290毫米～1310毫米。
可选的，相邻沟槽之间的最小距离为：18毫米～27毫米。
可选的，所述装箱装置还包括：位于吹气口底部的调节装置，所述调节装置的高度沿垂直于箱体底部的方向可调。
本发明还提供一种装箱装置的使用方法，包括：提供上述装箱装置；提供基板；将基板置于一个沟槽内；提供气体；将基板置于一个沟槽内之后，所述吹气口向箱体内吹入气体；所述吹气口向箱体内吹入气体之后，在相邻的另一个沟槽内放入另一个基板。
可选的，所述气体包括：压缩的干燥空气、氮气和离子风中的一种或者多种组合。
可选的，所述气体的压力为0.2兆帕～0.5兆帕，所述吹气的时间为1秒～5秒。
与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下有益效果：
本发明技术方案提供的装箱装置中，所述箱体底部具有沟槽，每个沟槽用于装载一个基板。尽管所述基板放置于沟槽内易发生自然弯曲，但是，所述第一侧壁具有吹气口，所述吹气口用于向箱体内吹入气体，使得基板不易占据相邻未装载基板的沟槽的上方，则后续在相邻未装载基板的沟槽内装入下一个基板时，下一个基板不易碰触上一个基板，因此，有利于降低对上一个基板的损伤，有利于提高第一基板的质量。
进一步，所述装箱装置还包括位于吹气口底部的调节装置。由于所述调节装置的高度沿垂直于箱体底部的方向可调，因此，所述吹气口的高度能够沿垂直于箱体底部的方向可调，使吹气口所吹气体均能够作用于不同尺寸基板的上沿，有利于减少不同尺寸基板的弯曲。由此可见，所述调节装置使得装箱装置的使用范围更加广泛。
附图说明
图1是一种装箱装置的结构示意图；
图2是图1沿X方向上的俯视图；
图3是本发明一实施例装箱装置的结构示意图；
图4是图3沿Y方向上的俯视图；
图5是图3沿A-A1线的剖面结构示意图；
图6是本发明装载结构工作方法的流程图；
图7是图3装载结构工作时的结构示意图。
具体实施方式
正如背景技术所述，现有技术装载基板易发生碎片现象，现结合详细实施例进行详细说明。
图1是一种装箱装置的结构示意图，图2是图1沿X方向上的俯视图。
请参考图1和图2，箱体100；位于所述箱体100底部的若干个相互分立的沟槽，若干个沟槽平行排列，每个沟槽用于装载一个基板101。
上述装箱装置中，随着基板101技术的发展，所述基板101的厚度不断变薄，而所述基板101的尺寸较大，则当基板101放入沟槽内时，由于基板101未被固定，则基底101易发生自然弯曲。当所述基板101向相邻未装载基板101的沟槽弯曲时，由于相邻沟槽之间的最小距离较小，则所述基板101将占据相邻未装载基板101的沟槽上的部分空间，使得后续在相邻未装载基板101的沟槽内装载基板时，易接触相邻的已装载的基板101，因此，易对相邻的已装载的基板101造成损伤，甚至使已装载的基板101发生破碎。
为解决所述技术问题，本发明提供了一种装箱装置，包括：所述箱体包括第一侧壁；位于所述箱体底部若干个相互分立的沟槽，若干个沟槽沿垂直于第一侧壁的方向平行排布，每个所述沟槽用于装载一个基板；位于所述第一侧壁的吹气口，用于向箱体内吹入气体。利用所述装箱装置能够减少对基板的损伤。
为使本发明的上述目的、特征和有益效果能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
图3是本发明一实施例装箱装置的结构示意图；图4是图3沿Y方向上的俯视图；图5是图3沿A-A1线的剖面结构示意图。
请参考图3至图5，箱体200，所述箱体200包括第一侧壁11；位于所述箱体200底部若干个相互分立的沟槽201，若干个沟槽201沿垂直于第一侧壁11的方向平行排布，每个所述沟槽201用于装载一个基板；位于所述第一侧壁11的吹气口202，用于向箱体200内吹入气体22。
所述箱体200的材料包括聚丙烯(Polypropylene，PP)。所述箱体200用于装载多个基板。所述箱体200包括第一侧壁11，且所述箱体200底部具有若干个沟槽201，且若干个沟槽201沿垂直于第一侧壁11的方向平行排列，且每个所述沟槽201用于容纳基板。
在本实施例中，所述沟槽的个数为20个，即：所述箱体200能够装载20个基板。在其他实施例中，所述沟槽的个数为1个～20个，则所述箱体能够装载1个～20个基板；或者，所述沟槽的个数大于20个，则所述箱体能够装载大于20个基板。
随着基板技术的发展，所述基板的厚度越来越薄，而所述基板的尺寸较大，且所述基板置于沟槽201内未被固定，则基板易发生自然弯曲。由于基板相邻的未装载基板的沟槽201上方的空间较大，因此，基板易向未装载基板的沟槽201上方弯曲。
在本实施例中，所述基板沿沟槽201深度方向上的尺寸为：1290毫米～1310毫米，所述基板沿第一侧壁11方向上的尺寸为：1090毫米～1110毫米，所述基板的厚度为：0.3毫米～0.6毫米。
为了使箱体200能够装载更多的基板，相邻沟槽201之间的距离较小。在本实施例中，相邻沟槽201之间的最小距离为：18毫米～27毫米。在其他实施例中，相邻沟槽之间的最小距离可以为其他值。
当基板向未装载基板的沟槽201弯曲时，由于相邻沟槽201之间的最小距离较小，因此，基板易占据未装载基板的沟槽201的上方。尽管基板易占据未装载基板的沟槽201的上方，但是，吹气口202向箱体200内吹入气体22，则所述气体22使基板不易占据未装载基板的沟槽201的上方，则后续在未装载基板的沟槽201内装载基板时，不易接触已装载的基板，因此，不易对已装载基板造成损伤，有利于提高基板的质量。
在本实施例中，所述气体22的吹入方向与第一侧壁11的夹角为90度，使得气体22对基板的作用力较大，有利于更好的防止基板占据未装载基板的沟槽的上方，使得后续在未装载基板的沟槽内装入基板时，对已装载基板造成损伤，有利于提高基板的质量。
在其他实施例中，所述气体22的吹入方向与第一侧壁的夹角大于0度小于90度；或者，所述气体22的吹入方向与第一侧壁的夹角大于90度小于180度。
沿垂直于箱体200底部的方向上，所述基板的尺寸大于沟槽201的尺寸；所述吹气口202位于箱体200外，且沿垂直于箱体200底部的方向上，吹气口202到箱体200底部所在平面的距离大于沟槽201的尺寸，则后续基板置于沟槽201内，所述吹气口202所吹气体22能够作用于基板，使基板不易占据相邻未装载基板沟槽的上方，则后续在相邻未装载基板沟槽内装入基板时，不易接触已装载的基板，因此，不易对已装载基板造成损伤。
在本实施例中，沿垂直于箱体200底部的方向上，所述吹气口202到箱体200底部所在平面的距离与基板的尺寸相等，使得气体22能够作用于基板的上沿，有利于更好的防止基板弯向未装载基板的沟槽201上方，则后续在未装载基板的沟槽201内装入基板时，不易对已装入的基板造成损伤，因此，有利于提高基板的质量。
在其他实施例中，沿垂直于箱体底部的方向上，所述吹气口到箱体底部所在平面的距离大于沟槽的深度小于基板的尺寸；或者，沿垂直于箱体底部的方向上，所述吹气口到箱体底部所在平面的距离大于基板的尺寸。
在本实施例中，所述箱体沿第一侧壁11方向上包括第一区X1和位于第一区X1两侧的第二区X2，所述吹气口202位于第一区X1内，则所述吹气口202所吹的气体22能够作用于基板的中间位置，使得基板更加不易覆盖未装载基板的沟槽201的上方，则后续在未装载基板的沟槽201内装入基板时，不易碰触已装载的基板，有利于减少对已装载基板造成损伤。具体的，若吹气口202位于第一区X1一侧的第二区X2，则气体22作用于第一区X1一侧的第二区X2，有利于防止第一区X1一侧的第二区X2占据未装载基板的沟槽201的上方，而第一区X1另一侧的第二区X2由于未气体22的作用，使得第一区X1另一侧的第二区X2仍易占据未装载基板的沟槽201的上方，则后续在未装载基底的沟槽201内装入基板时，易对上一个基板造成损伤；同样的，若吹气口202位于第一区X1另一侧的第二区X2时，能够防止第一区X1另一侧的第二区X2的基板占据未装载基板的沟槽201的上方，但是，第一区X1一侧的第二区X2仍易占据未装载基板的沟槽201的上方，则后续在未装载基板的沟槽201内装入基板时，仍易碰触已装载的基板，使得对已装载基板造成损伤。
在其他实施例中，所述吹气口位于第一区一侧的第二区；或者，所述吹气口位于第一区另一侧的第二区。
所述装箱装置还包括位于吹气口203底部的调节装置203，由于所述调节装置203沿垂直于箱体200底部的方向的高度能够调节，因此，所述吹气口202沿垂直于箱体200底部方向上的高度能够调节。通过调节所述调节装置203的高度，使吹气口202吹出的气体22能够作用于不同尺寸基底的上沿，则基板不易占据未装载基板的沟槽201的上方，使得后续再未装载基板的沟槽201内装入基板时，不易接触已装载的基板，因此，能够减少对已装载基板造成损伤，有利于提高基板的质量。由此可见，通过调节所述调节装置204的高度，使沿垂直于箱体200底部方向上，吹气口202的尺寸与不同尺寸的基板尺寸相同，以调整不同高度基板顶部的弯曲，使得装箱装置的使用范围更加广泛。
相应的，本发明还提供一种上述装箱装置的使用方法，请参考图6，包括：
步骤S1：提供上述装箱装置；
步骤S2：提供基板；将基板置于一个沟槽内；
步骤S3：提供气体；将基板置于一个沟槽内之后，所述吹气口向箱体内吹入气体；
步骤S4：所述吹气口向箱体内吹入气体之后，在相邻的另一个沟槽内放入另一个基板。装箱装置
图7是图3装载结构工作时的结构示意图。
请参考图7，提供上述装箱装置；提供基板300；将基板300置于一个沟槽201内；提供气体22；将基板300置于一个沟槽201内之后，所述吹气口202向箱体200内吹入气体22；所述吹气口202向箱体200内吹入气体22之后，在相邻的另一个沟槽201内放入另一个基板300。
由于基板300的尺寸较大，厚度较薄，且所述基板300未被固定，则当基板300置于一个沟槽301内之后，所述基板300易发生自然弯曲。由于沟槽301相邻的未装载基板300的沟槽201上方的空间较大，则基板300易向未装载基板300的沟槽201上方弯曲。尽管相邻沟槽201之间的间距较小，所述基板300易占据部分未装载基板300的沟槽201上方的部分空间，但是，吹气口202向箱体200内吹入气体22，使得基板300不易占据相邻未装载基板300的沟槽201上方的空间，则后续在相邻未装载基板300的沟槽201内装入下一个基板300，下一个基板300不易接触之前的基板300，因此，不易对之前的基板300造成损伤，有利于之前的基板300的质量。
所述吹气口203所吹气体22为压缩的干燥空气(Compressed Dry Air，CDA)。所述压缩的干燥空气价格便宜，有利于降低成本。
在其他实施例中，所述吹气口所吹气体22包括氮气(N2)或者离子风，所述离子风能够去除第一基板表面的静电。
所述气体22的压力为0.2兆帕～0.5M兆帕，所述吹气的时间为1秒～5秒。选择所述气体22压力的意义在于：若所述气体22的压力小于0.3MPa，使得基板202仍覆盖相邻未装载基板的沟槽201上的部分空间，则后续在相邻未装载基板的沟槽201内装载基板300时，所述基板300仍易接触已装载的基板300，易对已装载的基板202造成损伤；若所述气体22的压力大于0.4MPa，使得气体22的损耗较大，成本较高。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (9)

1.一种装箱装置，其特征在于，包括：
箱体，所述箱体包括第一侧壁；
位于所述箱体底部若干个相互分立的沟槽，若干个沟槽沿垂直于第一侧壁的方向平行排布，每个所述沟槽用于装载一个基板；
位于所述第一侧壁的吹气口，用于向箱体内吹入气体。
2.如权利要求1所述的装箱装置，其特征在于，沿垂直于箱体底部的方向上，所述基板的尺寸大于沟槽的尺寸；所述吹气口位于箱体外，且沿垂直于箱体底部的方向上，吹气口到箱体底部所在平面的距离大于沟槽的尺寸。
3.如权利要求2所述的装箱装置，其特征在于，沿垂直于箱体底部的方向上，所述吹气口到箱体底部所在平面的距离与基板的尺寸相等；所述箱体沿第一侧壁方向上包括第一区和位于第一区两侧的第二区，所述吹气口位于第一区。
4.如权利要求2所述的装箱装置，其特征在于，所述沟槽的深度为：1060毫米～1190毫米；所述基板沿沟槽深度方向上的尺寸为：1290毫米～1310毫米。
5.如权利要求1所述的装箱装置，其特征在于，相邻沟槽之间的最小距离为：18毫米～27毫米。
6.如权利要求1所述的装箱装置，其特征在于，所述装箱装置还包括：位于吹气口底部的调节装置，所述调节装置的高度沿垂直于箱体底部的方向可调。
7.一种装箱装置的工作方法，其特征在于，包括：
提供如权利要求1至6任一项的装箱装置；
提供基板；
将基板置于一个沟槽内；
提供气体；
将基板置于一个沟槽内之后，所述吹气口向箱体内吹入气体；
所述吹气口向箱体内吹入气体之后，在相邻的另一个沟槽内放入另一个基板。
8.如权利要求7所述的装箱方法的工作方法，其特征在于，所述气体包括：压缩的干燥空气、氮气和离子风中的一种或者多种组合。
9.如权利要求7所述装箱装置的工作方法，其特征在于，所述气体的压力为0.2兆帕～0.5兆帕，所述吹气的时间为1秒～5秒。
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Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB796969A (en) * 1956-01-24 1958-06-25 Baker Perkins Ltd An improved apparatus for stacking biscuits
JPS61137501U (zh) * 1985-02-18 1986-08-26
JP2000062876A (ja) * 1998-08-24 2000-02-29 Seiko Epson Corp ガラス基板の運搬方法並びに運搬用ケース
CN101033041A (zh) * 2006-03-09 2007-09-12 精工爱普生株式会社 工件搬送装置及工件搬送方法
CN201834851U (zh) * 2010-09-29 2011-05-18 陕西彩虹电子玻璃有限公司 一种用于薄板玻璃生产纵切裁边用非接触导向装置
CN204289408U (zh) * 2014-12-29 2015-04-22 昆山国显光电有限公司 产品翘曲矫正装置
CN105742222A (zh) * 2014-12-26 2016-07-06 东京毅力科创株式会社 基板吸附辅助构件和基板输送装置
CN105775208A (zh) * 2016-02-05 2016-07-20 友达光电股份有限公司 包装用导具及片材的包装方法
CN108573902A (zh) * 2017-03-14 2018-09-25 东京毅力科创株式会社 纵式热处理装置和纵式热处理装置的运转方法
CN108860956A (zh) * 2018-06-29 2018-11-23 张亚娟 一种玻璃清洗用沥干放置架

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB796969A (en) * 1956-01-24 1958-06-25 Baker Perkins Ltd An improved apparatus for stacking biscuits
JPS61137501U (zh) * 1985-02-18 1986-08-26
JP2000062876A (ja) * 1998-08-24 2000-02-29 Seiko Epson Corp ガラス基板の運搬方法並びに運搬用ケース
CN101033041A (zh) * 2006-03-09 2007-09-12 精工爱普生株式会社 工件搬送装置及工件搬送方法
CN201834851U (zh) * 2010-09-29 2011-05-18 陕西彩虹电子玻璃有限公司 一种用于薄板玻璃生产纵切裁边用非接触导向装置
CN105742222A (zh) * 2014-12-26 2016-07-06 东京毅力科创株式会社 基板吸附辅助构件和基板输送装置
CN204289408U (zh) * 2014-12-29 2015-04-22 昆山国显光电有限公司 产品翘曲矫正装置
CN105775208A (zh) * 2016-02-05 2016-07-20 友达光电股份有限公司 包装用导具及片材的包装方法
CN108573902A (zh) * 2017-03-14 2018-09-25 东京毅力科创株式会社 纵式热处理装置和纵式热处理装置的运转方法
CN108860956A (zh) * 2018-06-29 2018-11-23 张亚娟 一种玻璃清洗用沥干放置架

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