CN204289408U - 产品翘曲矫正装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种产品翘曲矫正装置，包括用于承载所述产品的承载部、用于对所述产品进行加热的加热单元、设于所述承载部上方的多个喷嘴，以及分区域对所述多个喷嘴进行控制以调整各区域的喷嘴喷出的气体在所述产品上产生的压力大小的喷嘴控制单元；每个喷嘴均包括用于获取气流的进气嘴及朝向所述承载部的出气嘴。本实用新型通过加热单元将产品软化并进行应力的释放，同时通过喷嘴控制单元分区域对喷嘴进行控制，通过气流对产品翘起的部位施加较大的下压力，从而改善产品的翘曲。
Description
技术领域
本实用新型涉及板材或片材的矫直或展平，特别是涉及一种产品翘曲矫正装置。
背景技术
对于采用在基板(例如玻璃基板)上生长薄膜的工艺制造的产品，基板在完成加热的工艺后，往往会产生翘曲，从而影响半导体产品的关键尺寸(Critical Dimension,CD)和形貌(profile)，进而影响产品的良率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种能够改善产品的翘曲问题的产品翘曲矫正装置。
一种产品翘曲矫正装置，包括用于承载所述产品的承载部、用于对所述产品进行加热的加热单元、设于所述承载部上方的多个喷嘴，以及分区域对所述多个喷嘴进行控制以调整各区域的喷嘴喷出的气体在所述产品上产生的压力大小的喷嘴控制单元；每个喷嘴均包括用于获取气流的进气嘴及朝向所述承载部的出气嘴。
在其中一个实施例中，还包括设于所述承载部上方的顶板框架和设于所述顶板框架上的多个可移动件，每个可移动件上固定连接有一个以上的所述喷嘴，所述喷嘴控制单元包括用于控制每个可移动件相对于所述顶板框架做上下运动从而调整该可移动件上的喷嘴的出气嘴与所述产品的距离的高度控制部。
在其中一个实施例中，每个所述可移动件为边长各异的方框状结构，边长大的可移动件套在边长小的可移动件外。
在其中一个实施例中，每个所述可移动件为同心的方框状结构。
在其中一个实施例中，每个所述可移动件为半径各异的圆环状结构，半径大的可移动件套在半径小的可移动件外，每个所述可移动件为同心的圆环状结 构。
在其中一个实施例中，还包括气箱和多根气管，每个所述进气口都通过气管与所述气箱相连通。
在其中一个实施例中，还包括下顶板，所述下顶板上开有供各个喷嘴穿过的通孔。
在其中一个实施例中，所述高度控制部包括多个马达和由马达控制伸缩的马达连接件，所述马达连接件连接于相应的可移动件上。
在其中一个实施例中，所述喷嘴控制单元还包括用于调整各区域的喷嘴的气体流量的流量调整部。
在其中一个实施例中，所述承载部为导热材质的承载板，所述加热单元用于对所述承载板进行加热。
上述产品翘曲矫正装置，通过加热单元将产品软化并进行应力的释放，同时通过喷嘴控制单元分区域对喷嘴进行控制，通过气流对产品翘起的部位施加较大的下压力，从而改善产品的翘曲。
附图说明
通过附图中所示的本实用新型的优选实施例的更具体说明，本实用新型的上述及其它目的、特征和优势将变得更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分，且并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。
图1为本实用新型一实施例中产品翘曲矫正装置部分结构的示意图；
图2为图1所示实施例中下顶板的示意图。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的首选实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“竖直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
本实用新型提供一种产品翘曲矫正装置，包括承载部、加热单元、多个喷嘴、以及喷嘴控制单元。承载部用于承载产生了翘曲、需要进行改善的产品，一般为平板型产品。加热单元用于对产品进行加热，多个喷嘴设于承载部上方，每个喷嘴均包括进气口和出气嘴，通过进气口对喷嘴进行供气，出气嘴朝向承载部，将从出气嘴喷出的气流喷至产品表面。喷嘴控制单元分区域对喷嘴进行控制，调整各区域的喷嘴喷出的气体在产品上产生的压力大小。
经实用新型人的研究，翘曲产生的原因主要是成膜与玻璃基板的热膨胀系数不同而产生的应力。上述产品翘曲矫正装置，通过加热单元将产品软化并进行应力的释放，同时通过喷嘴控制单元分区域对喷嘴进行控制，通过气流对产品翘起的部位施加较大的下压力，从而改善产品的翘曲。
在其中一个实施例中，产品翘曲矫正装置包括设于承载部上方的顶板框架和设于顶板框架上的多个可移动件，喷嘴控制单元通过调整各个可移动件的高度来调整各区域的喷嘴喷出的气体在产品上产生的压力大小。具体地，每个可移动件上固定连接有一个以上的喷嘴。喷嘴控制单元包括高度控制部，用于控制每个可移动件相对于顶板框架做上下运动，从而该调整可移动件上的喷嘴的出气嘴与产品的距离，从而能够单独调整每个移动件上的喷嘴喷出的气体在产品上产生的压力大小。对于产品翘曲程度大的部位，将对应位置的移动件调低，使该移动件上喷嘴的出气嘴离产品很近，那么气流的压力就会较大，处于加热 状态的产品翘曲的部位在气流的压力下被矫正。
在其他实施例中，也可以为每个区域的喷嘴设置一个流量调整装置，通过调节气流流量来实现对施加在产品上的压力大小的调整。
图1是一实施例中产品翘曲矫正装置部分结构的示意图。包括承载部50、下顶板40、喷嘴30、可移动件20以及顶板框架10。下顶板40上开有供各个喷嘴30穿过的通孔41，如图2所示。通过设置开设有通孔41的下顶板40，可以对喷嘴30起到限位的作用。在图1所示实施例中，可移动件20为边长各异的方框状结构(框套)，边长大的可移动件20套在边长小的可移动件20外，具体可以采用同心的方框状结构。为了便于理解，图2中用方框框出了其中一个可移动件20在下顶板40上的投影。在其他实施例中，可移动件20也可以采用半径各异的圆环状结构，半径大的可移动件20套在半径小的可移动件20外，且同样可采用同心结构。
在图1所示的实施例中，需要调整的产品为在表面生长有薄膜61的玻璃基板62。承载部50为采用导热材质制成的承载板，加热单元(图1中未示)用于对承载板进行加热。在其他实施例中，也可以采用具有加热单元的箱体或者腔体结构，通过箱体/腔体的底面对需要调整的产品进行承载。
可以将流量调整装置与高度控制部配合使用，这样就可以通过调整喷嘴30中的气体流量和出气嘴32距产品的距离两种方式来调整气流对产品施加的下压力。
在其中一个实施例中，高度控制部包括多个马达和马达连接件，马达连接件由马达控制其伸缩，从而带动可移动件20上下运动，并带动喷嘴30进行升降。每个可移动件20由一个马达单独进行升降控制，故马达的数量与可移动件相等。
在其中一个实施例中，产品翘曲矫正装置还包括气箱(Gas Cabinet)和多根气管，每个喷嘴30的进气口31都通过气管与气箱相连通，由气箱统一进行供气。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和 详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种产品翘曲矫正装置，其特征在于，包括用于承载所述产品的承载部、用于对所述产品进行加热的加热单元、设于所述承载部上方的多个喷嘴，以及分区域对所述多个喷嘴进行控制以调整各区域的喷嘴喷出的气体在所述产品上产生的压力大小的喷嘴控制单元；每个喷嘴均包括用于获取气流的进气嘴及朝向所述承载部的出气嘴。
2.根据权利要求1所述的产品翘曲矫正装置，其特征在于，还包括设于所述承载部上方的顶板框架和设于所述顶板框架上的多个可移动件，每个可移动件上固定连接有一个以上的所述喷嘴，所述喷嘴控制单元包括用于控制每个可移动件相对于所述顶板框架做上下运动从而调整该可移动件上的喷嘴的出气嘴与所述产品的距离的高度控制部。
3.根据权利要求2所述的产品翘曲矫正装置，其特征在于，每个所述可移动件为边长各异的方框状结构，边长大的可移动件套在边长小的可移动件外。
4.根据权利要求3所述的产品翘曲矫正装置，其特征在于，每个所述可移动件为同心的方框状结构。
5.根据权利要求2所述的产品翘曲矫正装置，其特征在于，每个所述可移动件为半径各异的圆环状结构，半径大的可移动件套在半径小的可移动件外，每个所述可移动件为同心的圆环状结构。
6.根据权利要求2所述的产品翘曲矫正装置，其特征在于，还包括气箱和多根气管，每个所述进气口都通过气管与所述气箱相连通。
7.根据权利要求2所述的产品翘曲矫正装置，其特征在于，还包括下顶板，所述下顶板上开有供各个喷嘴穿过的通孔。
8.根据权利要求2所述的产品翘曲矫正装置，其特征在于，所述高度控制部包括多个马达和由马达控制伸缩的马达连接件，所述马达连接件连接于相应的可移动件上。
9.根据权利要求1所述的产品翘曲矫正装置，其特征在于，所述喷嘴控制单元还包括用于调整各区域的喷嘴的气体流量的流量调整部。
10.根据权利要求1所述的产品翘曲矫正装置，其特征在于，所述承载部为导热材质的承载板，所述加热单元用于对所述承载板进行加热。
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