CN100483614C - 基板制造装置 - Google Patents

Abstract

一种基板制造装置，其包括：一沿一纵向延伸的转移腔室；沿所述纵向连接到所述转移腔室的至少一个处理腔室；在所述转移腔室的至少一侧连接到所述转移腔室的至少一个装载固定腔室(load-lock chamber)；和一转移腔室自动机械，其在所述转移腔室中沿所述纵向移动并转移一基板。

Description

基板制造装置

本发明主张在2004年3月24日于韩国提交的第2004-0019996号和在2004年7月28日于韩国提交的第2004-0059042号韩国专利申请案的权利，此两个专利申请案以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及一种用于制造用于半导体设备、液晶显示设备等的基板的装置。

背景技术

一般而言，为了制造基板，要将沉积薄膜的沉积过程、使用感光材料来光曝露或光屏蔽一薄膜的选定区域的照相平版印刷过程、移除该选定区域的蚀刻过程和移除残留物的清洁过程重复若干次。

在包括各处理腔室的装置中进行所述各处理。近来，将一包括一转移基板的转移腔室、与一用来暂时存储基板并且连接到所述转移腔室以及所述多个处理腔室装载固定腔室(load-lock chamber)的组合件用作所述装置。组合件包括一处理腔室，如，等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备和干式蚀刻器。

图1为根据相关技术的组合件的示意图。

如图1中所示，组合件包括一装载固定腔室20、一转移腔室40和复数个处理腔室30。装载固定腔室20连接到装载复数个基板50的存储部分10。

在转移腔室40中，转移腔室自动机械42被配置以在装载固定腔室20与处理腔室30之间转移基板50。在存储部分10中，存储部分自动机械12被配置以将基板50输入到装载固定腔室20中并将基板50从装载固定腔室20输出。

同时，在将基板50输入到处理腔室30之前，处理腔室30的一部分可用作预热或冷却基板50的腔室。此外，可改变装载固定腔室20和处理腔室30的数目。

下文将阐释在使用相关技术组合件制造基板的过程中基板的移动过程。

首先，存储部分自动机械12将基板50从存储部分10输入到装载固定腔室20。此时，装载固定腔室20在大气压力下，且转移腔室40的第一门24是关闭的。

当基板50被放置在装载固定腔室20上且存储部分自动机械12离开装载固定腔室20时，关闭存储部分10的第二门22，并进行抽真空处理，使装载固定腔室20达到真空状态。

当装载固定腔室20的真空等于处理腔室30或转移腔室40的真空，第一门24打开，且转移腔室自动机械42将未处理的基板50从装载固定腔室20转移到处理腔室30。

当将基板50输入到处理腔室30中时，进行根据处理腔室50而定的处理。当在处理腔室50中完成处理时，转移腔室自动机械42进入处理腔室30中，并将基板50输出。接着，当基板50被放置在装载固定腔室20上时，存储部分自动机械12将其输出到存储部分10。

在使用相关技术组合件作为基板制造装置中，转移腔室具有多边形形状，且沿转移腔室20的轮廓配置该等处理腔室。因此，限制了处理腔室的数目和配置。

近来，随着基板的尺寸增大，处理腔室和转移腔室的尺寸增大。然而，处理腔室和转移腔室的尺寸的增加比率大于基板，且尤其是，转移腔室的增加比率大于处理腔室。因此，用于建立基板制造装置的空间大大增加。

发明内容

因此，本发明针对一种基板制造装置，其大体上排除了由于相关技术的限制和缺点的引起的一个或一个以上的问题。

本发明的一目的在于提供一种基板制造装置，其可改进处理腔室的配置和数目的限制，并降低因为基板的增加而引起的转移腔室和处理腔室的增加比率。

本发明的额外特征和优点将陈述在下文的具体实施方式中，且部分将从具体实施方式变得显而易见，或从本发明的实践中得到了解。本发明的目的和其它优点将从在书面描述及其权利要求书以及附图中特别指出的结构中得到认识和获得。

为达到这些和其它优点且根据本发明的目的，如所具体和广泛描述的，一基板制造装置包括：一沿纵向延伸的转移腔室；沿纵向连接到该转移腔室的至少一个处理腔室；在该转移腔室的至少一侧处连接到该转移腔室的至少一个装载固定腔室；和一沿该转移腔室的纵向方向移动并转移一基板的转移腔室自动机械。

应理解，上文的概括性描述和下文的详细描述都是示范性和说明性的，并且其旨在如对所主张的发明提供进一步的阐释。

附图说明

附图用来举例说明本发明的实施例，且与实施方式一起用来阐释本发明的原理，该等附图是用来提供对本发明的进一步理解且构成了本说明书的一部分。其中：

图1为根据相关技术的组合件的示意图；

图2为根据本发明的第一实施例的基板制造装置的示意图；

图3A为显示沿图2的III-III线截取的转移腔室和装载固定腔室的连接结构的横断面图；

图3B为图3A的转移腔室自动机械的侧面图；

图4为根据本发明第一实施例的具有屏蔽构件的转移腔室自动机械的横断面图；

图5为显示沿图2的IV-IV线截取的转移腔室和处理腔室的连接结构的横断面图；

图6到10B为结构不同于图3A的一转移腔室自动机械的横断面图；

图11A为显示沿图2的Va-Va线截取的，存储部分、传送部分和装载固定腔室的连接结构的横断面图；

图11B为显示沿图2的Vb-Vb线截取的，转移腔室、处理腔室和装载固定腔室的连接结构的横断面图；

图12为显示根据本发明第一实施例的传送部分的运作图；

图13为根据本发明第一实施例，具有双层结构的装载固定腔室和处理腔室的图；

图14为根据本发明第一实施例，具有双层结构的装载固定腔室的横断面图；

图15为根据本发明第一实施例，具有双层结构的转移腔室和处理腔室的横断面图；

图16为根据本发明第一实施例的不同于图2的基板制造装置的图；和

图17为根据本发明第二实施例的基板制造装置的图。

具体实施方式

详细参考优选实施例，其实例将在附图中说明。

图2为根据本发明第一实施例的基板制造装置的图。

基板制造装置直列式转移一基板100。配置一转移腔室240和复数个处理腔室230，以沿一直线转移基板100。

如图2所示，该装置包括沿一个方向延伸的转移腔室240、在转移腔室240的两侧沿转移腔室240的长轴配置的复数个处理腔室230与复数个装载固定腔室220、和一存储部分210。所述装置进一步包括一在存储部分210与装载固定腔室220之间旋转和传送基板100的传送部分260。

在图2中，处理腔室230和装载固定腔室220对称配置在转移腔室240的两侧。然而，应理解，处理腔室230和装载固定腔室220可以以其它类型配置，例如，配置在转移腔室240的一侧。

在转移腔室240中，配置了一沿转移腔室240的长轴配置的水平移动轴271和一沿该水平移动轴271移动的转移腔室自动机械250。在存储部分210中配置了一存储部分自动机械212，其将基板100输入到传送部分260，并将基板100从传送部分260输出。

图3A为显示沿图2的III-III线截取的转移腔室和装载固定腔室的连接结构的横断面图。在图3A中，该转移腔室处于真空状态下，且该装载固定腔室220处于大气压力或真空状态下。

如图3A中所示，装载固定腔室220包括配置在转移腔室240两侧的第一与第二装载固定腔室220a和220b。第一与第二装载固定腔室220a和220b彼此具有不同的高度，换句话说，第一装载固定腔室220a可高于第二装载固定腔室220b。转移腔室自动机械250包括上、下机械臂251a、251b。分别对应于第一与第二装载固定腔室220a和220b的上机械臂与下机械臂251a和251b彼此具有不同的高度，以在装载固定腔室220与转移腔室240之间有效地传送基板100。

上机械臂251a在转移腔室240与安置在右侧的第一装载固定腔室220a之间转移基板100，且下机械臂251b在转移腔室240与安置在左侧的第二装载固定腔室220b之间转移基板100。

转移腔室自动机械250可垂直移动到水平移动轴271，以在转移腔室240与装载固定腔室220或处理腔室230(在图2中)之间转移基板100。换句话说，相对于图3A的平面，转移腔室自动机械250作向上/向下和向右/向左移动。因此，不同于图1中的与基板一起旋转的相关技术转移腔室自动机械42，本发明的转移腔室自动机械250作直线运动，即，与基板100一起向前/向后、向上/向下和向右/向左移动。

在转移腔室240与装载固定腔室220之间配置一第一门281。根据第一门281的打开和关闭状态，在转移腔室240与装载固定腔室220之间传送基板100。

装载固定腔室220具有至少两个基板槽224以在其上放置至少两个基板100。

参考图3A与3B详细阐释该转移腔室自动机械。图3B为图3A的转移腔室自动机械的侧面图。

转移腔室自动机械250具有一上下配置有上、下机械臂251a和251b的双层结构，且所述上下机械臂251a和251b连接到组合构件254。组合构件254连接到一垂直移动轴272的一垂直移动导向器259。垂直移动轴272连接到水平移动轴271的一端。因此，所述上下机械臂251a和251b可在转移腔室240中一起移动。

所述上、下机械臂251a和251b分别具有上支撑构件与下支撑构件252与253。每个上、下机械臂251a与251b在每个上、下支撑构件252与253上具有第一与第二子机械臂255与256。所述第一与第二子机械臂255和256分别沿第一与第二移动轨257和258作水平移动。第一子机械臂255具有一连接到第一移动轨257的第一子机械臂体255a和一用来放置基板100的第一放置部分255b，且第二子机械臂256具有一连接到第二移动轨258的第二子机械臂体256a和一放置基板100的第二放置部分256b。

因为第一与第二移动轨257和258是配置在相同的平面内，所以需要第一与第二子机械臂255和256不妨碍彼此的移动。因此，如图3B中所示，第一移动轨257配置在支撑构件252和253的较靠外的部分，而第二移动轨258配置在支撑构件252和253的较靠内的部分。换句话说，第二移动轨258配置在第一移动轨257之间。此外，第一放置部分255b高于第二放置部分256b，而第二子机械臂体256a配置在第一子机械臂体255a的内部。因此，第二子机械臂256被第一子机械臂255包围。

因为每个上、下机械臂251a和251b为第一与第二子机械臂255和256，所以利用第一与第二子机械臂255和256分别执行基板100的输入与输出。因此，可增加转移基板100的效率。

图4为根据本发明第一实施例的具有一屏蔽构件的转移腔室自动机械的横断面图。

如图4中所示，在第一与第二子机械臂255与256之间配置一屏蔽构件290。第一与第二子机械臂255和256彼此具有不同的高度，因而当转移基板100时，其受到由相邻的基板100产生的粒子扩散的污染。因此，为防止基板100收到粒子扩散的污染，在第一与第二子机械臂255与256之间配置了屏蔽构件290。

图5为显示沿图2的IV-IV线截取的转移腔室和处理腔室的连接结构的横断面图。

如图5中所示，转移腔室240和处理腔室230的连接结构类似于如3A中所示的转移腔室240与装载固定腔室220之间的连接结构。处理腔室230包括配置在转移腔室240两侧的第一与第二处理腔室230a和230b。第一与第二处理腔室230a和230b彼此具有不同的高度，换句话说，第一处理腔室230a可高于第二处理腔室230b。彼此相对的第一与第二处理腔室230a和230b可执行相同处理。处理腔室230具有一用来放置基板100以执行处理的基座235。

如上文所述，转移腔室自动机械250包括上、下机械臂251a和251b，所述上、下机械臂251a和251b彼此具有不同的高度以在处理腔室230与转移腔室240之间有效地传送基板100。

在转移腔室240和处理腔室230之间配置一第二门282。根据第二门282的打开和关闭状态，在转移腔室240与处理腔室230之间传送基板100。

在上述的第一实施例中，转移腔室自动机械250具有彼此具有不同高度的上机械臂与下机械臂251a和251b，且每个上、下机械臂251a和251b具有第一与第二子机械臂255和256。然而，转移腔室自动机械250可具有其它结构。

图6到10B为结构不同于图3A的转移腔室自动机械的横断面图。在图6到10中，将省略与图3A中类似的部件的阐释。

如图6中所示，上机械臂251a可具有一上支撑构件252，所述上支撑构件252包括彼此具有不同高度的第一与第二支撑构件252a和252b。下机械臂251b可具有一下支撑构件253，所述下支撑构件253包括彼此具有不同高度的第三与第四支撑构件253a和253b。在第一与第三支撑构件252a和253a上配置一第一移动轨257，且在第二与第四支撑构件252b和253b上配置一第二移动轨258。第一与第二子机械臂255和256分别沿第一与第二移动轨257和258移动。如此，将各支撑构件与各机械臂对应配置。因此，每个支撑构件可防止粒子的扩散。

如图7中所示，每个上机械臂与下机械臂251a和251b可具有一个子机械臂255。因此，上、下机械臂251a和251b具有上、下支撑构件252和253，一个移动轨257配置在各上支撑构件与下支撑构件252与253上，且子机械臂255沿移动轨257移动。

如图8中所示，在较高层的上支撑构件252可朝着转移腔室240(在图3A中)的一侧而配置，且在较下层的下支撑构件253可朝着转移腔室240(在图3A中)的另一侧而配置。此结构可防止粒子扩散。

如图9中所示，在支撑构件252上配置一第一移动轨257和第二移动轨(未显示)。尽管在图9中未显示，但是第二移动轨可类似于图3B配置在第一杆257的内部。此外，第一与第二子机械臂255和256彼此反向移动。在第一与第二放置部分255b与256b之间配置一屏蔽构件290。此结构可防止粒子扩散、且可增加空间利用率。

在图3A到9中，装载固定腔室或处理腔室配置在转移腔室的两侧，且转移腔室自动机械的子机械臂朝转移腔室的两侧移动。然而，装载固定腔室或处理腔室可配置在转移腔室的一侧，而子机械臂可朝转移腔室的一侧移动。

如图10A中所示，第一与第二子机械臂255和256可沿配置在一支撑构件252上的第一移动轨257和第二移动轨(未显示)朝转移腔室240(在图3A中)的一侧移动。此外，如图10B中所示，第一与第二子机械臂255和256可分别地配置在彼此具有不同高度的第一与第二支撑构件252a和252b上，且朝转移腔室240(在图3A中)的一侧移动。

图11A为显示沿图2的Va-Va线截取的，存储部分、传送部分和装载固定腔室的连接结构的横断面图。图11B为显示沿图2的Vb-Vb线截取的，转移腔室、处理腔室和装载固定腔室的连接结构的横断面图。图12为显示传送部分的运作的图。

如图11A中所示，传送部分260具有第一与第二传送部分260a和260b，且配置在存储部分210与装载固定腔室220之间。第一传送部分260a具有一通过发动机(未显示)运作并旋转90或180度的旋转构件265。

旋转构件265旋转基板100并将其从存储部分210传送到装载固定腔室220。例如，参考图12，将基板100输入到第一传送部分260a中，且基板100的较短边垂直于输入方向。如图12的箭头所示，基板100旋转90度。接着，将基板100输入到装载固定腔室220中，且基板100的较长边垂直于输入方向。

因为旋转构件265是用来旋转基板100，以将旋转的基板100传送到第二传送部分260b，该第一传送部分260a可具有一诸如滚轴的传送构件。为相对于基板100的较短边或较长边来传送基板100，所述滚轴可包括x轴和y轴滚轴。此外，可向上或向下移动两个滚轴的驱动轴，使所需要的滚轴可上升，从而传送基板。

第二传送部分260b通过在第一传送部分260a与装载固定腔室220之间使用传送带、滚轴等来传送基板100。在第二传送部分260b与装载固定腔室220之间配置一第三门283，用来打开或关闭装载固定腔室220。

为将基板100传送到装载固定腔室220，装载固定腔室220具有连接到一诸如第二传送部分260b的滚轴的传送构件的传送带或滚轴。例如，使用一具有复数个凸出的滚轴的滚轴板作为装载固定腔室220的板。

如图11B中所示，转移腔室自动机械250沿水平移动轴271水平移动，并在转移腔室240与装载固定腔室220或处理腔室230之间转移基板100。转移腔室自动机械250沿垂直移动轴272垂直移动。

转移腔室自动机械250沿垂直移动轴272作向上或向下移动，使上、下机械臂可位于对应的装载固定腔室220或对应的处理腔室230。

水平移动轴251可向上与向下移动，取代转移腔室自动机械250的向上与向下移动。

图13为根据本发明第一实施例的具有双层结构的装载固定腔室和处理腔室的图。如图13所示，装载固定腔室220和处理腔室230可在转移腔室240的一侧或两侧具有双层结构。此外，装载固定腔室220和处理腔室230可具有多层结构。

图14为根据本发明第一实施例的具有双层结构的装载固定腔室的横断面图。如图14中所示，当转移腔室240两侧的装载固定腔室220具有双层结构时，所述上、下机械臂251a和251b沿垂直移动轴272向上和向下移动，并在转移腔室240与第一和第二双层装载固定腔室220a和220b之间转移基板100。关于双层装载固定腔室220的说明可适应于双层处理腔室。

图15为根据本发明第一实施例的具有双层结构的转移腔室和处理腔室的横断面图。

如图15中所示，双层转移腔室240具有上转移腔室与下转移腔室240a与240b。第一与第二双层处理腔室230a和230b配置在双层转移腔室240的两侧。具体而言，第一双层处理腔室230a连接到上转移腔室240a，且第二双层处理腔室230b连接到下转移腔室240b。

上、下转移腔室自动机械250a和250b分别配置在上、下转移腔室240a和240b中所述上、下转移腔室自动机械250a和250沿分离的水平移动轨(未显示)移动。尽管图15中未显示，但是装载固定腔室可具有双层结构。

下文将根据本发明的第一实施例阐释基板的移动过程。

首先，存储部分自动机械212将基板100从存储部分210传送到第一传送部分260a。所传送的基板100通过旋转构件265旋转90度，且接着通过第二传送部分260b将基板100输入到装载固定腔室220中。此时，装载固定腔室220处于大气压力状态下，且第一门281是关闭的。

当基板100被放置在装载固定腔室220中时，关闭第三门283，且执行抽真空处理，使装载固定腔室220达到真空状态。

当装载固定腔室220的真空等于处理腔室230或转移腔室240的真空时，第一门281打开，且转移腔室自动机械250将未处理的基板100从装载固定腔室220中输出。

转移腔室自动机械250沿水平移动轴271移动，并将基板100转移到处理腔室230中。

当将基板100输入到处理腔室230中且完成对应的处理时，转移腔室自动机械250进入到处理腔室230中，并将基板100从处理腔室230中输出。接着，携有基板100的转移腔室自动机械250沿水平移动轴271移动，并将基板100转移到执行下一处理的处理腔室230中。

当在处理腔室230中完成所有处理时，以与上述顺序相反的顺序转移基板100。换句话说，通过转移腔室自动机械250将基板100传送到装载固定腔室220，再将基板100传送到第二传送部分260b和第一传送部分260a。接着，使基板100在第一传送部分260a上旋转90度，且接着通过存储部分自动机械212将基板100输出到存储部分210。

在上述第一实施例中，为了在存储部分210与传送部分260之间转移基板100，使用了存储部分自动机械212。如此，当使用存储部分自动机械212转移基板100时，基板100被装载到一盒子(未显示)中，且通过AGV(自动导引工具)将该盒转移到存储部分210。然而，如果基板100不是通过AGV而是通过使用传送带、滚轴等的直列式设备来转移的，那么可不需要存储部分210和存储部分自动机械212。因此，为了将基板100转移到传送部分260，可使用直列式设备。直列式设备可被连接到该传送部分，以便可将基板100直接输入到传送部分260。此外，可通过传送部分100或其它传送部分将处理完成的基板100输出到直列式设备。

在上述的第一实施例中，相对于图2，基板100相对于其垂直于转移方向的短边在转移腔室240与装载固定腔室220或处理腔室230之间转移。原因是装载固定腔室220与处理腔室230的长边垂直于转移腔室240的长边。因此，将基板100相对于其短边从存储部分210输入到传送部分260，接着使基板100旋转90度，再将基板100输入到装载固定腔室220。然而，如图16中所示，显示根据本发明的第一实施例的不同于图2的基板制造装置，不同于图2，基板100可从传送部分260的另一侧输入。换句话说，基板100从存储部分210转移到传送部分260的转移方向垂直于基板100从传送部分260转移到装载固定腔室220的转移方向，此与图2相反。因此，尽管在图16中基板100是相对于其短边转移，但是不需要在传送部分260中旋转基板。

图17为根据本发明第二实施例的基板制造装置的图。在第二实施例中，将省略对与第一实施例类似的部件的阐释。

如图17中所示，在第二实施例的基板制造装置中，复数个装载固定腔室420与复数个存储部分410是转移腔室440的两端。装载固定腔室420包括一在转移腔室440一端的输入腔室420a和一在转移腔室440的另一端的输出腔室420b。存储部分410包括一在转移腔室440一端的输入存储部分410a和一在转移腔室440的另一端的输出存储部分410b。在转移腔室440与装载固定腔室420之间配置一第一门481，在转移腔室440与处理腔室430之间配置一第二门482，且在装载固定腔室420与传送部分460之间配置一第三门483。输入与输出存储部分自动机械412a和412b分别配置在输入与输出存储部分410a和410b。

输入存储部分410a存储一未处理的基板300。通过输入装载固定腔室420a将从输入存储部分410a输入的基板300传送到转移腔室440。通过转移腔室440和输出装载固定腔室420b将处理完成的基板300传送到输出存储部分410b。为了将基板300从转移腔室440输出到输出装载固定腔室420b，转移腔室自动机械450可具有一转移构件，例如，用来旋转该转移腔室自动机械450的机械臂的构件或使该机械臂直线移动到输出装载固定腔室420b的构件。

在输入存储部分410a与输入装载固定腔室420a之间配置一输入传送部分460a，且在输出存储部分410b与输出装载固定腔室420b之间配置一输出传送部分460b。类似于第一实施例的传送部分，所述输入与输出传送部分460a与460b旋转并传送基板300。换句话说，将未处理的基板300相对于垂直于该输入方向的基板300的短边输入到输入传送部分460a，接着，该输入传送部分460a将基板旋转90度，再相对于垂直于该输入方向的基板300的短边将基板300输入到该输入装载固定腔室420a。此外，相对于垂直于该输出方向的基板300的短边，将处理完成的基板300从该输出装载固定腔室420b中输出，接着，该输出传送部分460b将基板旋转90度，且接着相对于垂直于该输出方向的基板300的短边将基板300输出到该输出存储部分410b。尽管图17中未显示，所述输入与输出传送部分460a和460b可包括类似第一实施例中的第二传送部分的传送构件。

在第二实施例中，因为装载固定腔室420配置在转移腔室440的两端，所以是相对于垂直于传送方向的基板300的长边在装载固定腔室420与转移腔室440之间传送基板300。

在上述的第二实施例中，基板300顺序地移动穿过输入装载固定腔室420a，处理腔室430和输出装载固定腔室420b。然而，将不需要在转移腔室440两端的各个装载固定腔室420必须对应于各个输入与输出装载固定腔室420a和420b。换句话说，可将基板300输入穿过安置在图17的右侧的存储部分410a、传送部分460a和装载固定腔室420a，且接着以与输入顺序相反的顺序将其输出。此外，可将基板300输入穿过安置在图17左侧的存储部分410b、传送部分460b和装载固定腔室420b，且接着以与输入顺序相反的顺序将其输出。此外，可将基板300输入穿过安置在图17左侧的存储部分410b、传送部分460b和装载固定腔室420b，接着将其输出穿过安置在图17右侧的装载固定腔室420a、传送部分460b和存储部分410a。

在根据本发明的基板制造装置中，转移腔室具有直列式结构，且处理腔室可配置在转移腔室的侧面。因此，处理腔室可容易地连接到转移腔室，而没有数目和配置的限制。此外，可降低因基板的增加而引起的转移腔室和处理腔室的增加比率。

所属领域的技术人员应了解，可在不脱离本发明精神和范围的情况下对基板分布构件制造装置做出各种修改和变化。因而，本发明欲涵盖在上述权利要求及其等同物的范围之内对本发明作出的修改和变化。

Claims (20)

1.一种基板制造装置，其包含：

一沿一纵向延伸的处于真空状态下的转移腔室；

沿所述纵向连接到所述转移腔室的至少一个处理腔室；

在所述转移腔室的至少一边连接到所述转移腔室的至少一个装载固定腔室；和

一处于真空状态下的转移腔室自动机械，其在所述转移腔室中作直线运动以向前/向后、向上/向下和向右/向左移动并转移一基板。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述转移腔室自动机械包括彼此具有不同高度的第一与第二机械臂。

3.根据权利要求2所述的装置，还包含在所述第一与第二机械臂之间的一屏蔽构件。

4.根据权利要求1所述的装置，还包含一沿所述纵向延伸并连接到所述转移腔室自动机械的水平移动轴。

5.根据权利要求4所述的装置，还包含一垂直连接到所述水平轴并连接到所述转移腔室自动机械的垂直移动轴。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个处理腔室包括连接到所述转移腔室的两个长边的第一与第二处理腔室。

7.根据权利要求6所述的装置，其中所述第一与第二处理腔室彼此具有不同的高度。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个装载固定腔室包括连接到所述转移腔室的两个长边的第一与第二装载固定腔室。

9.根据权利要求8所述的装置，其中所述第一与第二装载固定腔室彼此具有不同的高度。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个装载固定腔室包括第一装载固定腔室与第二装载固定腔室，所述第一装载固定腔室与第二装载固定腔室连接到所述转移腔室的两个短边。

11.根据权利要求10所述的装置，其中所述第一装载固定腔室将所述基板输入到所述转移腔室，且所述第二装载固定腔室将所述基板从所述转移腔室输出。

12.根据权利要求1所述的装置，其中所述转移腔室具有至少双层结构，所述转移腔室的每一层具有所述转移腔室自动机械。

13.根据权利要求1所述的装置，其中所述处理腔室具有至少一层结构。

14.根据权利要求1所述的装置，其中所述装载固定腔室具有至少一层结构。

15.根据权利要求1所述的装置，还包含一装载所述基板的存储部分和一连接所述装载固定腔室和所述存储部分的传送部分。

16.根据权利要求15所述的装置，其中所述传送部分包括一将所述基板传送到所述装载固定腔室的传送构件。

17.根据权利要求16所述的装置，其中所述传送构件包括一传送带和一滚轴。

18.根据权利要求15所述的装置，其中所述传送部分包括一旋转所述基板的旋转构件。

19.一种基板制造装置，其包含：

一沿一纵向延伸的处于真空状态下的转移腔室；

沿所述纵向连接到所述转移腔室的至少一个处理腔室；

在所述转移腔室的至少一边连接到所述转移腔室的至少一个装载固定腔室；和

一第一门，其在所述转移腔室与所述至少一个装载固定腔室之间；

一第二门，其在所述转移腔室与所述至少一个处理腔室之间；

一转移腔室自动机械，其在所述转移腔室中沿所述纵向移动并转移一基板。

20.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个装载固定腔室处于大气压力或真空状态下。

Images