DE102013101777A1

DE102013101777A1 - Vorrichtung zum Be- und Entladen einer CVD-Anlage

Info

Publication number: DE102013101777A1
Application number: DE201310101777
Authority: DE
Inventors: wird später genannt werden Erfinder
Original assignee: Aixtron SE
Current assignee: Aixtron SE
Priority date: 2013-02-22
Filing date: 2013-02-22
Publication date: 2014-08-28

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einer einen Beladeträger (9) aufweisenden Be- und Entladeeinrichtung (6), zum Be- und Entladen eines auf dem Beladeträger (9) aufliegenden Substratträgers (7) mit Substraten (8), mit einem Greifer (5), um einen mit in einer Prozesseinheit (1) zu behandelnden Substraten (8) bestückten Substratträger (7) vom Beladeträger (9) in eine Transferkammer (4) zu bringen, und um einen beschichtete Substrate (8) tragenden Substratträger (10) aus der Transferkammer (4) zur Be- und Entladeeinichtung (6) zu bringen. Zur gebrauchsvorteilhaften Weiterbildung wird ein der Be- und Entladeeinrichtung (6) zugeordneter Hilfsträger (11), auf den der beschichtete Substrate (8) tragende Substratträger (10) vom Greifer (5) ablegbar ist, vorgeschlagen.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einer Be- und Entladeeinrichtung, wobei die Be- und Entladeeinrichtung einen Beladeträger aufweist. Auf den Beladeträger kann ein Substratträger gelegt werden, der mit zu beschichtenden Substraten bestückt wird. Es ist ein Greifer vorgesehen, um einen mit in einer Prozesseinheit zu beschichtenden Substraten bestückten Substratträger vom Beladeträger in eine mit einem Spülgas spülbare und/oder evakuierbare Transferkammer zu bringen. Die Transferkammer bildet eine Schleusenkammer zwischen der bevorzugt eine reinstgasgespülte Kammer aufweisenden Be- und Entladeeinrichtung und der Prozesseinheit. Die Prozesseinheit kann ein sogenanntes Clustertool sein. Die Prozesseinheit kann ein oder mehrere Beschichtungseinrichtungen aufweisen. In der Beschichtungseinrichtung kann der mit den Substraten bestückte Substratträger eingebracht werden, so dass in der Beschichtungseinrichtung die Substrate beschichtet werden. Mit dem Greifer kann darüber hinaus ein beschichtete Substrate tragender Substratträger aus der Transferkammer zur Be- und Entladeeinrichtung gebracht werden.
Die DE 10 2010 016 792 A1 beschreibt eine CVD-Anlage mit einem CVD-Reaktor, der mit Hilfe eines Greifers mit Substrathaltern beladen werden kann, wobei auf den Substrathaltern zu beschichtende Substrate aufliegen. Der Greifer ist in der Lage, beschichtete Substrate tragende Substrathalter der Prozesskammer des CVD-Reaktors zu entnehmen und durch eine Transferkammer hindurch die Substrathalter auf einer Magazinplatte abzulegen.
Die US 6,747,230 B2 beschreibt ein Verfahren um Substrate zu sortieren, wobei ein Magazin be- und entladen wird.
Die US 2009/0194026 beschreibt eine CVD-Anlage mit einer Prozesseinheit und einer Transferkammer, durch welche Substratträger in die Prozesseinheit bringbar sind, die außerhalb der Prozesseinheit in einer Be- und Entladeeinrichtung beladen bzw. entladen werden können.
Die WO 2011/074753 beschreibt eine CVD-Anlage mit einer Prozesseinheit, die einen CVD-Reaktor aufweist, in dem auf einem Substratträger aufliegende Substrate beschichtet werden können. Über eine Transferkammer werden die mit beschichteten Substraten bestückten Substratträger aus der Prozesseinheit gebracht bzw. werden mit unbeschichteten Substraten bestückte Substratträger in die Prozesskammer gebracht.
CVD-Anlagen, bei denen die Be- und Entladeeinrichtungen lediglich einen Beladeträger aufweisen, auf den der Greifer einen mit beschichteten Substraten bestückten Substratträger ablegen kann, haben den Nachteil, dass eine Bedienperson in einem engen Zeitfenster den Substratträger entladen und wieder beladen muss, wobei beim Entladen die beschichteten Substrate nacheinander vom Substratträger entnommen werden und beim Beladen unbeschichtete Substrate auf den Substratträger aufgelegt werden. Erst dann kann der Substratträger wieder durch die Transferkammer in die Prozesseinheit gebracht werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Be- und Entladeeinrichtung gebrauchsvorteilhaft weiterzubilden.
Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung.
In einem ersten Aspekt der Erfindung ist der Be- und Entladeeinrichtung ein Hilfsträger zugeordnet, auf den der beschichtete Substrate tragende Substratträger vom Greifer ablegbar ist. Der Greifer ist dann frei und kann den die unbeschichteten Substrate tragenden Substratträger in die Transferkammer bringen. Die Be- und Entladeeinrichtung ist somit in der Lage, zwei Substratträger gleichzeitig aufzunehmen. Dadurch ist der Substratträgertausch vereinfacht, da die manuelle Entnahme der beschichteten Substrate bzw. die manuelle Bestückung des Substratträgers mit unbeschichteten Substraten zu einem x-beliebigen Zeitpunkt zwischen einem Substratträgerwechsel vorgenommen werden kann.
Der Hilfträger kann unter dem Beladetrager angeordnet sein. Es ist ferner eine Hubvorrichtung vorgesehen, um den auf dem Beladeträger lagejustiert aufliegenden Substratträger derart anzuheben, dass er vom Greifer untergriffen werden kann, so dass er durch Absenken des Beladeträgers auf dem Greifer abgelegt werden kann. Das Ablegen des Beladeträgers auf den Greifer kann aber auch durch eine andere Hubvorrichtung erfolgen, nämlich durch die Hubvorrichtung, die den Hilfsträger vertikal verlagern kann. In umgekehrter Reihenfolge kann auch ein auf dem Greifer aufliegender Substratträger auf dem Beladeträger abgelegt werden. Es ist also bevorzugt eine weitere Hubvorrichtung vorgesehen, um den auf dem Hilfsträger aufliegenden Substratträger auf dem Greifer abzusetzen. Durch eine Vertikalverlagerung des Beladeträgers bzw. des Hilfsträgers kann der vom Hilfsträger abgenommene Substratträger auf dem Beladeträger abgelegt werden. So ist es beispielsweise möglich, einen beschichtete Substrate tragenden Substratträger, der vom Greifer auf den Hilfsträger aufgelegt worden ist, nach Entfernen des auf dem Beladeträger liegenden Substratträgers mittels des Greifers auf den Beladeträger zu legen, so dass die beschichteten Substrate von dem Substratträger entnommen werden können. Diesem Entladeschritt kann sich ein Beladeschritt anschließen. Es ist aber auch möglich, den Substratträger der Be- und Entladeeinrichtung zu entnehmen, um ihn zu reinigen. Es ist ferner ein Drehantrieb vorgesehen, mit dem der Substratträger und insbesondere der Beladeträger und der Hilfsträger gedreht werden können.
In einem Außengehäuse kann ein Gestell angeordnet sein, welches den Basisträger trägt. Gegenüber dem Basisträger kann mittels der ersten Hubvorrichtung ein einen Gehäuseboden und eine Gehäusedecke aufweisendes Gehäuse vertikal verlagert werden. Innerhalb dieses Gehäuses befindet sich ein Innengehäuse, welches einen Gehäuseboden und eine Gehäusedecke aufweist. Innerhalb des Innengehäuses kann sich ein Hilfsträger befinden, auf dem ein Substratträger abgelegt werden kann. Der Hilfsträger kann am Gehäuseboden des Innengehäuses befestigt sein. Der Hubträger kann von Säulen getragen werden, die mit dem Gehäusedeckel des Innengehäuses verbunden sind. Diese Säulen können durch eine Öffnung der Gehäusedecke des von der ersten Hubvorrichtung vertikal verlagerbaren Gehäuses hindurchragen. Mittels der zweiten Hubvorrichtung kann das Innengehäuse zusammen mit dem Hubträger vertikal verlagert werden. Der Hubträger durchgreift eine Öffnung eines Tragrahmens, der Träger des Beladeträgers ist.
Der Hubträger bzw. der Hilfsträger können gleichgestaltet sein. Es kann sich jeweils um einen ringförmigen Körper handeln, der von drei Säulen getragen wird. Auf den ringförmigen Körper kann der Substratträger abgelegt werden. Die Säulen beabstanden den Rand des Substratträgers von einer Gehäuseunterseite bzw. vom Beladeträger, so dass ein Greifarm mit seinen Gabelzinken um die Säulenanordnung herumgreifen kann.
Ein zweiter Aspekt der Erfindung betrifft die Entnahme des Substratträgers aus der Be- und Entladeeinrichtung. Die von einer Bedienperson durchgeführte Be- und Entladung des Substratträgers mit Substraten erfolgt in einer ergonomisch optimierten Arbeitshöhe, beispielsweise in einer Höhe von 1,2 Metern. Es ist ergonomisch ungünstig, in dieser Höhe die mehrere Kilogramm schweren Substratträger von einer Bedienperson der Be- und Entladeeinrichtung zu entnehmen. Es ist deshalb vorgesehen, dass die Entnahmemöglichkeit auf einem tieferen Niveau stattfinden kann, beispielsweise in Höhe von weniger als einem Meter. Hierzu besitzt die Vorrichtung einen Auszugsrahmen, auf den der Beladeträger oder der Hilfsträger aufsetzbar ist, um ihn in Horizontalrichtung aus der Be- und Entladeeinrichtung heraus zu verlagern. Die Vertikalverlagerung des Beladeträgers bzw. des Hilfsträgers erfolgt mit einer Hubvorrichtung. Von dem Auszugsrahmen können Tragarme abragen, auf denen der Beladeträger aufsetzbar ist. Der Beladeträger kann einen Tragrahmen aufweisen, wobei der Tragrahmen eine Rahmenöffnung besitzt, durch die der Hubträger hindurchtauchen kann, um den auf dem Beladeträger aufliegenden Substratträger anzuheben. Der Tragrahmen kann vom Gehäuse getragen werden. Hierzu ragen von der Oberseite des Gehäuses Justierstifte ab, die in Justierausnehmungen der Unterseite des Tragrahmens eingreifen. Die Stirnflächen der Justierstifte können eine Kugeloberfläche ausbilden. Die Justierausnehmungen können aber auch von Nuten ausgebildet sein, die einen V-förmigen Nutboden aufweisen. Der Tragrahmen kann auf Tragarme des Auszugsrahmens aufgesetzt werden. Dies erfolgt durch eine Vertikalverlagerung des den Tragrahmen tragenden Gehäuses.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
1 schematisch den Aufbau einer CVD-Anlage;
2 schematisch einen Vertikalschnitt durch eine Be- und Entladeeinrichtung 6, eines ersten Ausführungsbeispiels;
3 in Blickrichtung des Pfeils III in 2 eine Draufsicht auf einen Substratträger 10, der auf einem Hilfsträger 11 aufliegt und von einem Greifer 5 untergriffen ist;
4 eine Darstellung gemäß 2 jedoch in einer veränderten Vertikalstellung;
5 eine Darstellung gemäß 4 in einer weiter geänderten Vertikalstellung;
6 eine Draufsicht entsprechend des Pfeils VI in 5 auf einen Substratträger 7 der auf einem Beladeträger 9 aufliegt und vom Greifer 5 untergriffen ist;
7 eine Darstellung gemäß 6 jedoch mit entferntem Substratträger;
8 eine perspektivische Darstellung der in den 2 bis 7 dargestellten Vorrichtung;
9 ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung in einer Längsschnittdarstellung;
10 eine Darstellung gemäß 9 jedoch mit vertikal nach oben verlagertem Gehäuse 18 und vertikal nach oben verlagertem Innengehäuse 29;
11 einen Schnitt gemäß der Linie XI-XI in 10;
12 einen Schnitt gemäß der Linie XII-XII in 10 ohne Substratträger;
13 eine Darstellung gemäß 9 jedoch in einer maximal abgesenkten Stellung des Gehäuses 18, so das ein Tragrahmen 17 auf Tragarmen 27 eines Auszugrahmens 21 aufliegt;
14 eine Draufsicht auf die Vorrichtung etwa gemäß 4 in einer Funktionsstellung gemäß 13 mit ausgezogenem Auszugsrahmen 21;
15 eine perspektivische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels der Erfindung, wobei die Be- und Entladeeinichtung von einem Außengehäuse 34 umgeben ist;
16 die Be- und Entladeeinichtung mit entferntem Außengehäuse 34 und auf einem Auszugsrahmen 21 aufliegenden Substratträger 7;
17 eine Darstellung etwa gemäß 16 mit entfernten Substratträgern 7;
18 eine perspektivische Darstellung lediglich der zur Erläuterung der Erfindung wesentlichen Elemente der in 17 dargestellten Be- und Entladeeinrichtung in einer anderen perspektivischen Darstellung;
19 eine Rückansicht der in 18 dargestellten Baugruppe in einer Betriebsstellung, in der ein Tragrahmen 17 auf einem Auszugsrahmen 21 aufliegt und ein Innengehäuse 29 und ein dieses umgebendes Gehäuse 18 eine abgesenkte Stellung einnehmen;
20 eine Darstellung gemäß 18 in einer zweiten Betriebsstellung, in der das Gehäuse 18 eine angehobene Betriebsstellung einnimmt;
21 eine rückwärtige Ansicht ähnlich der 19 jedoch in der in 20 dargestellten Betriebsstellung;
22 eine Darstellung gemäß 20 jedoch mit angehobenem Innengehäuse 29 und
23 eine Darstellung ähnlich der 21 jedoch in einer Betriebsstellung gemäß 22.
Die 1 zeigt schematisch den Aufbau einer CVD-Anlage. Mit der Bezugsziffer 1 ist eine Prozesseinheit bezeichnet, die ein oder mehrere CVD-Reaktoren besitzen kann, in denen Substrate, beispielsweise Siliziumsubstrate oder Galliumarsenidsubstrate beschichtet werden. Auf die Substrate können dabei leitende, nicht leitende oder halbleitende Schichten aufgebracht werden. Die einzelnen Schichten bzw. Schichtfolgen können in einem MOCVD-Prozess abgeschieden werden. Die Prozesseinheit 1 kann verschiedenartig ausgebildet sein. Sie kann mehrere Aggregate aufweisen. Im einfachsten Fall besitzt die Prozesseinheit 1 lediglich einen CVD-Reaktor. Es ist aber auch möglich, dass die Prozesseinheit 1 eine Vielzahl von Prozesskammern oder CVD-Reaktoren besitzt, die mit nicht dargestellten weiteren Handhabungssystemen beladen bzw. entladen werden können. In der 1 ist ein vakuumdichtes Tor eingezeichnet, mit dem die Prozesseinheit von einer Vorkammer getrennt ist, in der ein Greifer 3 angeordnet ist.
Im einfachsten Fall kann also eine Prozesskammer eines CVD-Reaktors der Prozesseinheit 1 mittels des Greifers 3 beladen werden. Dieser kann hierzu auf in einem Zwischenspeicher 2 zwischengespeicherte Substratträger zugreifen, die mit zu beschichtenden Substraten bestückt sind. Jeweils ein Substratträger wird mit dem Greifer 3 durch das Beladetor in die Prozesseinheit 1 gebracht.
Es ist eine evakuierbare und/oder mit einem Inertgas spülbare Transferkammer 4 vorgesehen, die die Aufgabe einer Schleusenkammer besitzt. Durch die Transferkammer 4 kann zumindest ein Substratträger aus der Prozesseinheit, in der Vakuumbedingungen herrschen können, in eine Be- und Entladeeinrichtung 6 gebracht werden, in der Atmosphärendruck herrscht. Hierzu wird ein mit beschichteten Substraten 8 bestückter Substratträger 7 vom Greifer 3 in die Transferkammer 4 gebracht. Aus der Transferkammer 4 kann der Substratträger 7 vom Greifer 5 entnommen werden und der Be- und Entladeeinrichtung 6 zugeführt werden. Die Be- und Entladeeinrichtung befindet sich in einer reinstgasgespülten, von einer Bedienperson zugänglichen Kammer. Die Bedienperson kann manuell die auf dem Substratträger 7 aufliegenden beschichteten Substrate entnehmen und gegen unbeschichtete Substrate, die in der Prozesseinheit 1 beschichtet werden sollen, austauschen.
In einem nicht dargestellten Ausführungsbeispiel ist ein Greifer 3 vorgesehen, der durch eine vakuumdichte Tür zur Prozesseinheit 1 greifen kann. In einer Kammer, in der der Greifer 3 angeordnet ist, befindet sich ein Magazin 2, welches unmittelbar von außen mit einem Greifer 5 bestückbar ist. Dies erfolgt durch eine gasdichte Tür. Der Greifer und das Magazin befinden sich dann in einer Transferkammer 4.
Eine Vorrichtung der zuvor beschriebenen Art wird erfindungsgemäß dadurch weitergebildet, dass die Be- und Entladeeinrichtung 6 nicht nur einen Beladeträger 9, sondern auch einen Hilfsträger 11 aufweist. Die 2 bis 8 zeigen schematisch den Aufbau einer derartigen Be- und Entladeeinrichtung 6. Eine Vertikalwand 19 bildet zusammen mit einem Tragrahmen 17 und einem Gehäuseboden 20 ein Gehäuse 18. Der Gehäuseboden 20 und der Tragrahmen 17 erstrecken sich vertikal voneinander beabstandet jeweils in einer Horizontalebene. Der Tragrahmen 17 trägt einen Beladeträger 9, der von einem Zentrierring ausgebildet ist. Der Tragrahmen 17 kann fest mit dem Beladeträger 9 verbunden sein. Der Zentrierring ist in der Lage einen kreisrunden Substratträger 7 aufzunehmen und in einer definierten Stellung zu halten.
Eine erste, ortsfeste Hubvorrichtung 12 ist in der Lage, das gesamte Gehäuse 18 in Vertikalrichtung zu verlagern. Beim Ausführungsbeispiel trägt die Hubvorrichtung 12 einen Drehantrieb 14, mit dem das Gehäuse 18 in definierte Winkelstellungen gebracht werden kann. Der Gehäuseboden 20 trägt einen Hilfsträger 11, der von einem randoffenen Ringträger ausgebildet ist. Ein Greifer 5 kann durch eine Öffnung des Hilfsträgers 11 unter einen auf dem Hilfsträger 11 aufliegenden Substratträger 10 fahren, um ihn anzuheben. Hierzu wird das Gehäuse 18 bzw. der Hilfsträger 11 in die in 2 dargestellte Stellung gebracht.
An der Vertikalwand 19 befindet sich eine zweite Hubvorrichtung 13, die einen Arm 16 ausbildet, der an seinem Ende einen Hubträger 15 besitzt. Der Hubträger 15 kann einen auf dem Beladeträger 9 aufliegenden Substratträger 7 anheben, indem er den Substratträger 7 in Substratträgermitte untergreift. Der Hubträger 15 besitzt einen Durchmesser der etwas geringer ist als die Weite der Öffnung zwischen zwei Gabelzinken 5' des Greifers 5, so dass der Substratträger 7 vom Greifer 5 untergriffen werden kann. Mittels der Hubvorrichtung 13 kann der Substratträger 7 nach oben hin vom Beladeträger 9 angehoben werden.
Beim Ausführungsbeispiel liegen Beladeträger 9 und Hilfsträger 11 koaxial übereinander. Hilfsträger 11 und Beladeträger 9 werden vom selben Drehantrieb 14 winkelverstellt, um den Substratträger 7 in einer definierten Winkelstellung auf dem Greifer 5 abzulegen. Hilfsträger 11 und Beladeträger 9 werden darüber hinaus von einer gemeinsamen ersten Hubvorrichtung 12 in Vertikalrichtung verlagert. Mittels der zweiten Hubvorrichtung 13 kann der Substratträger 7 vom Beladeträger 9 abgehoben werden. Der Beladeträger 9 wird ebenso wie der Hilfsträger 11 von einem spaltoffenen Zentrierring gebildet. Wird ein Substratträger 7 auf den Zentrierring aufgelegt, so zentriert sich der Substratträger selbsttätig in eine Koaxiallage zum Zentrierring.
Mit der im Ausführungsbeispiel dargestellten Be- und Entladeeinrichtung 6 ist ein Substratträgerwechsel mit den folgenden Verfahrensschritten möglich.
Zunächst wird mittels des Greifers 3 ein beschichtete Substrate tragender Substratträger 10 von der Prozesseinheit 1 oder dem Zwischenspeicher 2 in die Transferkammer 4 gebracht. In einer nicht dargestellten Variante der Erfindung ist vorgehen, dass der Greifer 3 den beschichtete Substrate tragenden Substratträger 10 von der Prozesseinheit 1 unmittelbar in die Transferkammer 4 bringt, in der sich beispielsweise ein Zwischenspeicher 2 befinden kann. Nach Schließen des zur Prozesseinheit 1 weisenden Tores der Transferkammer 4 wird die Transferkammer 4 mit Inertgas gespült, bis Atmosphärendruck erreicht ist. Anschließend wird das zur Außenumgebung bzw. zur Be- und Entladeeinrichtung 6 weisende Tor der Transferkammer 4 geöffnet. Mit dem Greifer 4 wird der in der Transferkammer 4 liegende Substratträger 10 entnommen und auf den Hilfsträger 11 abgelegt. Dazu wird die Be- und Entladeeinrichtung 6 in die in 2 dargestellte Vertikalstellung gebracht. Der Greifer 5 fährt den Substratträger 10 dann in die in 3 dargestellte Stellung unmittelbar oberhalb des Hilfsträgers 11. Anschließend wird der Hilfsträger 11 mit Hilfe der Hubvorrichtung 12 derart angehoben, dass der Rand des Substratträgers 10 vom Hilfsträger 11 unterfangen wird. Der Greifer 5 wird dann etwa in die in 2 dargestellte Stellung zurückgezogen. Die Hubvorrichtung 12 senkt die Be- und Entladeeinrichtung 6 bis etwa in die in 4 dargestellte Stellung ab. Dieses Absenken kann aber auch mittels der zweiten Hubvorrichtung 13 vorgenommen werden. Mit der zweiten Hubvorrichtung 13 oder aber auch der Hubvorrichtung 12 wird der Substratträger 7 vom Beladeträger 9 angehoben, bis etwa die in 5 dargestellte Stellung erreicht ist. Sodann unterfährt der Greifer 5 den Substratträger 7 und erreicht dabei die in 6 dargestellte Untergriffsstellung.
Mittels einer nicht dargestellten insbesondere optischen Sensoreinheit kann die Drehwinkelstellung des Substratträgers 7 gegenüber dem Greifer 5 ermittelt werden. Mittels des Drehantriebes 14 kann der Substratträger 7 entweder aufliegend auf dem Beladeträger 9 oder bereits in der in 5 dargestellten abgehobenen Stellung in eine winkelausgerichtete Stellung zum Greifer 5 gebracht werden. Der von der zweiten Hubvorrichtung 13 angehobene und winkelausgerichtete Substratträger 7 wird dann auf dem Greifer 5 abgelegt, der hierzu die in 6 dargestellte Untergriffsstellung unter dem Substratträger 7 einnimmt.
Der Greifer 5 bringt den die zu beschichtenden Substrate 8 tragenden Substratträger 7 dann in die Transferkammer 4. Nach Schließen des Beladetores wird die Transferkammer 4 evakuiert. Danach kann das zur Prozesseinheit 1 weisende Tor der Transferkammer 4 geöffnet werden. Mit dem Greifer 3 kann der in der Transferkammer 4 liegende Substratträger entnommen werden.
Der auf dem Hilfsträger 11 aufliegende, die beschichteten Substrate tragende Substratträger 10 wird durch eine entsprechende Vertikalverlagerung des Hilfsträgers 11 mittels der Hubvorrichtung 12 in eine Position gebracht, dass der Greifer 5 unter den Substratträger 10 fahren kann. Dies entspricht in etwa der in 2 dargestellten Betriebsstellung. Hat der Greifer 5 den Substratträger 10 unterfahren, wie es beispielsweise die 3 zeigt, so kann der Hilfsträger 11 mittels der Hubvorrichtung 12 abgesenkt werden, so dass der Substratträger 10 vom Greifer 5 getragen wird. Der Substratträger 10 wird aus dem Hubbereich des Gehäuses 18 herausgefahren. Das Gehäuse 18 wird etwa in die in 4 dargestellte Stellung gebracht. In dieser Stellung wird der Substratträger 10 mittels des Greifers 5 in eine Position oberhalb des Hubträgers 15 gebracht. Letzterer wird mit Hilfe der zweiten Hubvorrichtung 13 oder aber auch mit der ersten Hubvorrichtung 12 angehoben und hebt den Substratträger 10 vom Greifer 5, so dass der Greifer 5 zurückgezogen werden kann. Durch Absenken des Hubträgers 15 mittels der zweiten Hubvorrichtung 13 wird der Substratträger 10 auf den Beladeträger 9 abgesenkt. Dabei zentriert sich der Substratträger 10 auf dem Beladeträger 9.
Der jetzt auf der oberen Position liegende Substratträger 10 kann manuell von einer Bedienperson entladen und anschließend beladen werden, um zu einem späteren Zeitpunkt in der beschriebenen Weise in die Prozesseinheit 1 gebracht zu werden. In den 9 bis 14 ist ein zweites Ausführungsbeispiel dargestellt. Ein Basisträger 25 der Teil eines ortsfesten Gestells 28 ist, lagert mehrere Säulen 23, die zu einer Hubbühne 30 gehören. Die Säulen 23 sind sowohl oberhalb als auch unterhalb des Basisträgers 25 jeweils mit einer Endplatte miteinander verbunden. Zwischen diesen beiden Endplatten erstreckt sich eine Gewindespindel 22, die im Ausführungsbeispiel drehfest und axialfest mit den Endplatten verbunden ist. Die Gewindespindel 12 kann aber auch axialfest am Basisträger 25 befestigt sein und in Innengewindegänge der Endplatten eingreifen. Der Basisträger 25 trägt eine Spindelmutter, die eine erste Hubvorrichtung 12 ausbildet. Wird die Spindelmutter beispielsweise von einem nicht dargestellten Schrittmotor oder dergleichen gedreht, so wird die Hubbühne 30 in Vertikalrichtung verlagert.
Die untere Endplatte der Hubbühne 30 trägt eine weitere Hubvorrichtung 13. Diese Hubvorrichtung 13 wirkt über einen Stößel 46 mit einem Innengehäuse 29 zusammen. Unterhalb des Innengehäuses 29 befindet sich ein Kalottenlager, in das die Stößelstange 46 eingreift.
Auf der oberen Endplatte der Hubbühne 30 befindet sich ein Lager 47, das einen Lagerschaft drehlagert, der ein Gehäuse 18 trägt, in dem das Innengehäuse 29 angeordnet ist. Der Lagerschaft ist hohl. Durch die Höhlung geht die Stößelstange 46. Der fest mit dem Gehäuse 18 verbundene Lagerschaft kann mittels eines Drehantriebes 14 gedreht werden. Bei dem Drehantrieb 14 handelt es sich um einen Schrittantrieb, mit dem die Drehstellung des Gehäuses 18 feinfühlig eingestellt werden kann. Zur Ermittlung der jeweiligen Drehstellung befindet sich am Schaft auch ein Drehwinkelgeber 24.
Das Gehäuse 18 besitzt einen Boden 20, der unterhalb des Innengehäuses 29 angeordnet ist. Das Gehäuse 18 besitzt eine Gehäusedecke 36, die oberhalb des Innengehäuses 29 angeordnet ist. Der Abstand von Gehäuseboden 20 und Gehäusedecke 36 ist größer als die vertikale Erstreckung des Innengehäuses 29, so dass sich das Innengehäuse 29 innerhalb des Gehäuses 18 vertikal verlagern lässt. Das Innengehäuse 29 besitzt ein in der Ansicht rechteckiges Gehäuse. In der Mitte der Unterseite 37 des Innengehäuses 29 befindet sich der Hilfsträger 11. Er besteht aus einem von Säulen getragenen ringförmigen Körper. Auf den ringförmigen Körper kann ein Substratträger 10 derart abgelegt werden, dass die Ränder des Substratträgers 10 vertikal von der Unterseite 37 beabstandet sind. Vertikal oberhalb der Gehäuseunterseite 37 des Innengehäuses befindet sich eine Gehäuseoberseite 26 des Innengehäuses, von der Säulen 40 abragen, die einen ringförmigen Körper tragen, der den Hubträger 15 ausbildet. Die Säulen 40 bzw. der Hubträger 15 durchragen dabei eine Öffnung 38 einer Gehäusedecke 36 des Gehäuses 18 und eine Öffnung 39 des Tragrahmens 17.
Aus der Oberseite der Gehäusedecke 36 des Gehäuses 18 ragen insgesamt vier Justierstifte 31 mit einer gerundeten Stirnfläche. Die Justierstifte 31 greifen in Justierausnehmungen 32 ein, die auf der Unterseite des Tragrahmens 17 angeordnet sind. Diese Justierausnehmungen 32 können Nuten sein mit einem V-förmigen Nutboden. Sie können aber auch ringförmige Öffnungen sein.
Der Tragrahmen 17 trägt einen Beladeträger 9, bei dem es sich um einen ringförmig gebogenen Körper handelt, der einen kreisscheibenförmigen Substratträger 7 aufnehmen kann. Der Beladeträger 9 kann auch von Ringsegmenten ausgebildet sein. Der Beladeträger 9 ist so ausgebildet, dass der Substratträger 7 beim Aufsetzen von oben auf den Beladeträger 9 in eine koaxiale Zentrierstellung zum Beladeträger 9 gebracht wird. Die Justierung erfolgt selbsttätig. Der Substratträger 7 besitzt eine Justiermarke 33, die von einem nicht dargestellten optischen Sensor erfassbar ist, um den Substratträger 7 mit Hilfe des Drehantriebes 14 und des Drehwinkelgebers 24 in eine definierte Drehstellung zu bringen.
Durch die Öffnungen 38, 39 der Decke des Gehäuses 18 und des Tragrahmens 17 kann der Hubträger 15 treten, der fest mit einer Gehäusedecke 26 des Innengehäuses 29 verbunden ist. Durch eine Vertikalverlagerung des Innengehäuses 29 mit Hilfe der Hubvorrichtung 13 kann der Hubträger 15 in eine Unterstützungsstellung des Substratträgers 7 gebracht werden, so dass er den Substratträger 7 beim Hochfahren aus seiner Lagerstellung auf den Beladeträger 9 hebt bzw. beim Absenken den Substratträger 7 auf den Beladeträger 9 absetzt.
Innerhalb des zumindest zu einer Gehäuseseite offenen Innengehäuses 29 befindet sich der Hilfsträger 11, der fest mit dem Boden des Innengehäuses 29 verbunden ist.
Die 9 zeigt das Gehäuse 18 in einer abgesenkten Stellung, in der der Tragrahmen 17 auf Tragarmen 27 aufliegt. Die Tragarme 27 ragen von einem Auszugsrahmen 21 ab. Wird das Gehäuse 18 mittels der Hubvorrichtung 12 weiter abgesenkt, so lösen sich die Justierstifte 31 aus den Justierausnehmungen 32.
Der Hubträger 15 fährt durch die Öffnung des Tragrahmens 17 nach unten etwa in die in 13 dargestellte Stellung, in der der Tragrahmen 17 vollständig vom Gehäuse 18 gelöst ist. In dieser Stellung kann – wie in der 14 dargestellt – der Auszugsrahmen 21 in Horizontalrichtung gegenüber dem Gestell 28 verlagert werden. Dies erfolgt in einer Höhe, in der eine Bedienperson bequem den auf dem Beladeträger 9 liegenden Substratträger 7 anheben kann.
Wird ausgehend von der in 9 dargestellten Betriebsstellung das Gehäuse 18 mit Hilfe der Hubvorrichtung 12 nach oben verlagert, so wird der Tragrahmen 17 von den Tragarmen 27 nach oben hin gelöst und in eine Position gebracht, in der eine Bedienperson in bequemer Arbeitshaltung den Substratträger 7 mit Substraten 8 bestücken kann.
Wird das Innengehäuse 29 nach oben verfahren, so wird die in 10 dargestellte Betriebsstellung erreicht, in der der Hubträger 15 den Substratträger 8 vom Beladeträger 9 angehoben hat. In dieser Position kann der Substratträger 7 von einem Gabelgreifer untergriffen werden. Durch eine anschließende Abwärtsverlagerung entweder mittels der Hubvorrichtung 12 oder der Hubvorrichtung 13 kann der Substratträger 7 auf den Gabelgreifer aufgelegt werden. Mit dem Gabelgreifer kann der Substratträger 7 dann in der oben beschriebenen Weise in eine Transferkammer gebracht werden.
Ein sich in der Transferkammer befindlicher Substratträger 10, der beschichtete Substrate trägt, wurde vorher mit Hilfe des Greifers aus der Transferkammer entnommen und auf den Hilfsträger 11 aufgesetzt, der in diesem Ausführungsbeispiel von einem zentralen Sockel ausgebildet wird, der von den Gabelzinken des Greifers umgriffen werden kann. Die zum Aufsetzen auf den Hilfsträger 11 erforderliche Vertikalbewegung kann mit einer der beiden Hubvorrichtungen 11 oder 12 durchgeführt werden.
Das Gehäuse 18 kann von einer Ummantelung umgeben sein, die eine Gehäusewandung darstellt, und die im Wesentlichen eine sicherheitstechnische Aufgabe besitzt. Mit dieser Ummantelung soll verhindert werden, dass eine Person in sich bewegende Teile der Vorrichtung greift.
Die in den Zeichnungen dargestellten beiden Hubvorrichtungen 12, 13 sind voneinander unabhängig betätigbar. Zwei individuelle Hubvorrichtungen können alternativ aber auch steuerungstechnisch realisiert werden.
Die 15 bis 23 zeigen ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Die 15 zeigt ein Außengehäuse 34, welches eine quaderförmige Form besitzt und die die Be- und Entladeeinrichtung beinhaltet. Das Gehäuse 34 ist Teil eines größeren Anlagekomplexes, wie er beispielsweise in der 1 schematisch dargestellt ist. Auf der Rückseite des Außengehäuses 34 befindet sich die Schnittstelle zu einer Transferkammer. Das Außengehäuse 34 besitzt eine Kammer, die mittels eines Tores 35 verschlossen werden kann. Die Kammer kann mit Reinstgas gespült sein. Es ist ein Auszugsrahmen 21 in Form einer Schublade vorgesehen. Der Auszugsrahmen 21 kann vertikal verlagert werden. In der in den 15 und 16 dargestellten Betriebsstellung des dritten Ausführungsbeispiels liegt ein Tragrahmen 17, der einen Beladeträger 9 aufweist, auf dem Auszugsrahmen 21, so dass er auf dem Auszugsrahmen 21 aufliegend in Vertikalrichtung aus dem Außengehäuse 34 herausfahrbar ist (siehe 16).
Im rückwärtigen Teil des Gehäuses befindet sich ein Greifer 5, mit dem ein auf dem Beladeträger 9 aufliegender Substratträger 7 gegriffen werden kann. Der Tragrahmen 17 hat einen kreisrunden Grundriss und trägt den Beladeträger 9, der von auf einem Kreis angeordneten Kreissegmenten gebildet ist. Die Kreissegmente des Beladeträgers 9 sind in Umfangsrichtung voneinander beabstandet, so dass der Greifer 5 durch den Abstandsraum zwischen den Ringsegmenten hindurchfahren kann.
Die Vorrichtung besteht aus einem Rohrrahmengestell, das einen Querträger aufweist, an dem eine Anschraubplatte, die den Basisträger 25 bildet, befestigt ist. Den 19 und 20 ist zu entnehmen, dass der ortsfeste Basisträger 25 eine Gleitführung ausbildet, in der zwei Säulen 23 geführt sind. Die Säulen 23 erstrecken sich in vertikaler Richtung. Am Basisträger 25 ist darüber hinaus ein Antrieb einer ersten Hubvorrichtung 12 angeordnet. Es handelt sich um einen von einem Elektromotor angetriebenen Spindeltrieb. Der Spindeltrieb besitzt eine von einem Zahnriemen angetriebene Spindelmutter. Die Spindelmutter wird von einer Schraubspindel 22 durchgriffen, die durch Drehen der Spindelmutter in Vertikalrichtung verlagert werden kann. Die Schraubspindel 22 ist an der Unterseite eines Gehäuses 18 befestigt.
Wird die Spindel 22 gedreht, so kann der mit der Bezugsziffer 45 bezeichnete Führungsträger des Gehäuses 29 nach oben gefahren werden. Der Führungsträger 45 trägt zwei voneinander beabstandete Führungen 44, die den Führungsträger 45 mit einer Gehäusedecke 36 verbindet. Die Führungen 44 sind als Führungsstangen augebildet. Zusammen mit der Gehäusedecke 36 bildet der Führungsträger 45 somit ein vertikal verlagerbares Gehäuse aus. Die Gehäusedecke 36 trägt Justierstifte 31, die eine kuppelförmige Oberseite besitzen.
In der in den 18 und 19 gezeigten Betriebsstellung befindet sich oberhalb der Gehäusedecke 36 der auf nicht dargestellten Tragarmen des Auszugsrahmens 21 aufliegende Tragrahmen 17.
Der Auszugsrahmen 21 ist entlang einer Schienenführung 43 verschieblich.
Innerhalb des Gehäuses 18 befindet sich ein Innengehäuse 29, welches eine Unterseite 37 und eine Oberseite 26 besitzt. Die Oberseite 26 des Innengehäuses 29 trägt auf Säulen 40 einen Hubträger 15. Der Hubträger 15 durchgreift dabei eine Öffnung 38, der Gehäusedecke 36. In der in den 18 und 19 dargestellten Betriebsstellung liegt der von drei Säulen 40 getragene Hubträger 15, der einen kreisringförmigen Körper ausbildet, unterhalb des Tragrahmens 17, der dort eine Öffnung 39 ausbildet.
Bei dem in den 18 bis 23 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Führungsträger 45 einem Gehäuseboden 20 zugeordnet. Der Führungsträger 45 kann jedoch gegenüber dem Gehäuse 18 gedreht werden, so dass sich die Gehäusedecke 36 mitdreht. Mit dem Gehäuseboden 20 ist eine Abdeckung 42 verbunden, die eine kreisbogenförmige Aussparung besitzt. Mit dem Gehäuseboden 20 ist ferner eine zylinderförmige Schürze 41 verbunden.
Wird mittels der ersten Hubvorrichtung 12 der Führungsträger 45 nach oben verlagert, so wird der in der in 19 dargestellten Betriebsstellung auf dem Auszugsrahmen 21 aufliegende Tragrahmen 17 angehoben, bis er beispielsweise die in den 20 und 21 dargestellte Betriebsstellung erreicht hat.
In den Darstellungen ist der Führungsträger 45 fest mit dem Boden 20 verbunden, so dass der Boden 20 und die damit verbundene Abdeckung 42 sowie die Schürze 41 mit nach oben fahren. Es kann aber auch vorgesehen sein, dass der die Abdeckung 42 tragende Boden 20 nicht zusammen mit dem Führungsträger 45 nach oben fährt, so dass die Abdeckung 42 eine ortsfeste Position behält. Es fährt dann lediglich die Schürze 41 mit in die angehobene Stellung, die in den 20 und 21 dargestellt ist.
Am Gehäuse 18 ist eine zweite Hubvorrichtung 13 befestigt, die sich bei der Vertikalverlagerung des Gehäuses 18 mit verlagert. Die zweite Hubvorrichtung 13 wirkt mit einem Stößel 46 mit dem Innengehäuse 29 zusammen. Beim Ausführungsbeispiel liegt der Antriebsmotor der zweiten Hubvorrichtung 13 auf der bezogen auf den Basisträger 25 gegenüberliegenden Seite zur ersten Hubvorrichtung 12. Auch die zweite Hubvorrichtung 13 kann einen Spindeltrieb aufweisen, der mit einer drehangetriebenen Spindelmutter zusammenwirkt. Wird die zweite Hubvorrichtung 13 betätigt, so wird das Innengehäuse 18 von der in den 20 und 21 dargestellten Betriebsstellung in die in den 22 bis 23 dargestellten Betriebsstellung verfahren. Dabei greift der Hubträger 15 durch die Öffnung 39 des Tragrahmens 17, um einen auf dem Beladeträger 9 aufliegenden, nur in der 15 gezeigten Substratträger 7 derart anzuheben, dass er vom Greifer 5 untergriffen werden kann. Beim Verlagern des Innengehäuses 18 wird das Innengehäuse 18 an den Führungen 44 geführt. Die Unterseite 37 bzw. die Oberseite 26 des Innengehäuses 18 können diesbezügliche Führungsöffnungen aufweisen, durch die die von Stangen gebildeten Führungen hindurchgreifen. Die von der zweiten Hubeinrichtung 13 linear verlagerte Stößelstange 46 greift dabei an der Unterseite 37 an.
Die Unterseite 37 des Innengehäuses 18 trägt einen Hilfsträger 11, bei dem es sich ebenfalls um einen ringförmigen Körper handelt.
Hinsichtlich der Funktionsweise der Vorrichtung wird auf die zuvor erörterten Ausführungsbeispiele verwiesen.
Alle offenbarten Merkmale sind (für sich) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren in ihrer fakultativ nebengeordneten Fassung eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen.
Bezugszeichenliste

1: Prozesseinheit
2: Zwischenspeicher
3: Greifer
4: Transferkammer
5: Greifer
5': Gabelzinken
6: Be-/Entladeeinrichtung
7: Substratträger
8: Substrat
9: Beladeträger
10: Substratträger
11: Hilfsträger
12: erste Hubvorrichtung
13: zweite Hubvorrichtung
14: Drehantrieb
15: Hubträger
16: Arm
17: Tragrahmen
18: Gehäuse
19: Vertikalwand
20: Gehäuseboden
21: Auszugsrahmen
22: Spindelantrieb
23: Säule
24: Drehwinkelgeber
25: Basisträger
26: Oberseite Innengehäuse
27: Tragarm
28: Gestell
29: Innengehäuse
30: Hubbühne
31: Justierstift
32: Justierausnehmung
33: Justiermarke
34: Außengehäuse
35: Tor
36: Gehäusedecke
37: Unterseite Innengehäuse
38: Öffnung
39: Öffnung
40: Säule
41: Schürze
42: Abdeckung
43: Schienenführung
44: Führung
45: Führungsträger
46: Stößelstange
47: Drehlager

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

DE 102010016792 A1 [0002]
US 6747230 B2 [0003]
US 2009/0194026 [0004]
WO 2011/074753 [0005]

Claims

Vorrichtung mit einer einen Beladeträger (9) aufweisenden Be- und Entladeeinrichtung (6), zum Be- und Entladen eines auf dem Beladeträger (9) aufliegenden Substratträgers (7) mit Substraten (8), mit einem Greifer (5), um einen mit in einer Prozesseinheit (1) zu behandelnden Substraten (8) bestückten Substratträger (7) vom Beladeträger (9) in eine Transferkammer (4) zu bringen, und um einen beschichtete Substrate (8) tragenden Substratträger (10) aus der Transferkammer (4) zur Be- und Entladeeinichtung (6) zu bringen, gekennzeichnet durch einen der Be- und Entladeeinrichtung (6) zugeordneten Hilfsträger (11), auf den der beschichtete Substrate (8) tragende Substratträger (10) vom Greifer (5) ablegbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1 oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass der Hilfsträger (11) unter dem Beladeträger (9) angeordnet ist.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch eine erste Hubvorrichtung (12), um den Beladeträger (9) bzw. den Hilfsträger (11) vertikal zu verlagern, insbesondere um den auf dem Hilfsträger (11) aufliegenden Substratträger (10) auf den Greifer (5) abzusetzen und/oder um den Beladeträger (9) auf einen Auszugsrahmen (21) abzusetzen.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch eine zweite Hubvorrichtung (13), um den auf dem Beladeträger (9) lagejustiert aufliegenden Substratträger (7) derart anzuheben, dass er von einem Greifer (5) untergriffen werden kann, und/oder um den Substratträger (7) auf dem Greifer (5) abzusetzen.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch einen Drehantrieb (14), mit dem zumindest der Beladeträger (9) in eine winkelausgerichtete Stellung gebracht werden kann.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass der Beladeträger (9) einen gegebenenfalls auch unterteilten Zentrierring aufweist, auf dem der Substratträger (7) lagejustiert aufliegt.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Hubvorrichtung (13) einen ersten Hubträger (15) hebt, der den vom Beladeträger (9) getragenen Substratträger (7) etwa in Substratträgermitte untergreift und der von den Armen des Greifers (5) umgriffen werden kann.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Hubvorrichtung (13) den Hilfsträger (11) hebt, der den Substratträger (10) derart etwa in Substratträgermitte untergreift, dass er von den Armen des Greifers (5) umgriffen werden kann.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass der insbesondere als gegebenenfalls unterteilter Zentrierring ausgebildete Beladeträger (9) auf einem Tragrahmen (17) aufliegt, der einem Gehäuse (18) zugeordnet ist, das von der ersten Hubvorrichtung (12) vertikal verlagerbar ist.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass innerhalb des Gehäuses (18) ein Innengehäuse (29) angeordnet ist, welches von der zweiten Hubvorrichtung (13) vertikal innerhalb des Gehäuses (18) verlagerbar ist.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (18) und/oder das Innengehäuse (29) von einem Drehantrieb (14) winkelverstellbar ist.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch eine drehfest einem ortsfesten Basisträger (25) zugeordnete Hubbühne (30), die beispielsweise mittels eines Spindelantriebs (22) vertikal verlagerbar ist und die den Drehantrieb (14) und den Antrieb für die zweite Hubvorrichtung (13) trägt.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch einen Auszugsrahmen (21), auf den der Beladeträger (9) auflegbar ist, um den Beladeträger (9) in Horizontalrichtung aus der Be- und Entladeeinrichtung (6) herauszubringen.
Vorrichtung mit einer einen Beladeträger (9) aufweisenden Be- und Entladeeinrichtung (6) zum Be- und Entladen eines auf dem Beladeträger (9) aufliegenden Substratträgers (7) mit Substraten (8), dadurch gekennzeichnet, dass der Beladeträger mit einer ersten Hubeinrichtung (12) von einer angehobenen Position in eine abgesenkte Position absenkbar ist, in der der Beladeträger (9) auf einem horizontal verlagerbaren Auszugsrahmen (21) aufliegt.
Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass der Beladeträger (9) auf einem Tragrahmen (17) aufliegt, der mittels Tragarmen (27) vom horizontal verlagerbaren Auszugsrahmen (21) getragen werden kann.