CN100350578C - 半导体晶片封装体的封装方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种半导体晶片封装体的封装方法,包含如下的步骤:(1)提供一半导体晶片,该晶片具有数个焊垫;(2)提供一基体,该基体上具有电路轨迹及数个与焊垫对应的穿孔,(3)把该晶片置放于该基体上使该焊垫由该穿孔暴露;(4)利用光阻材料于该基体形成一覆盖该晶片的第一保护层;(5)使位于该晶片四周的该第一保护层被保留;(6)通过打线处理使焊垫与该电路轨迹连接;(7)利用光阻材料于该基体的电路轨迹布设表面上形成一第二保护层;(8)使该第二保护层的覆盖该导线的部分被保留;(9)于该基体的电路轨迹布设表面上形成数个与对应的电路轨迹电气连接的导电球。本发明可使成本降低。
Description
【技术领域】
本发明是有关于一种半导体晶片封装体的封装方法。
【背景技术】
图1显示一种习知的半导体晶片封装体。该半导体晶片封装体包含一具有一电路轨迹布设表面100的基体10、一具有一焊垫安装表面和数个安装于该焊垫安装表面上的焊垫110(图中仅显示一个焊垫)的晶片11、一第一保护层12、和一第二保护层13。
该基体10具有数个用于暴露该晶片11的对应的焊垫110的穿孔101。
该晶片11是在其的焊垫110由该基体10的对应的穿孔101暴露的情况下通过一设置在该晶片11与该基体10之间的胶带(图中未示)来被固定于该基体10的与该电路轨迹布设表面100相对的晶片设置表面上。该晶片11的焊垫110是经由穿过对应的穿孔101的导线111来与该基体10的电路轨迹布设表面100上的电路轨迹(图中未示)电气连接。
该第一保护层12是以环氧树脂为材料覆盖于该基体10的晶片设置表面上可覆盖该晶片11。
该第二保护层13亦是以环氧树脂为材料覆盖于该基体10的电路轨迹布设表面100上可覆盖该等导线111和该等穿孔101。
然而,胶带及环氧树脂的单价相当高以致于如此的半导体晶片封装体的封装成本相对较高。
【发明内容】
有鉴于此,本发明的目的是提供一种可使成本降低的半导体晶片封装体的封装方法。
基于上述目的,本发明提供一种半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:包含如下的步骤:
(1)提供一半导体晶片,该晶片具有一焊垫安装表面及数个安装于该表面上的焊垫;
(2)提供一基体,该基体具有一电路轨迹布设表面、一与该电路轨迹布设表面相对的晶片安装表面、及数个与该晶片的焊垫对应的穿孔,在该基体的电路轨迹布设表面上布设有预定的电路轨迹;
(3)把该晶片置放于该基体的晶片安装表面上以使该晶片的焊垫由该基体的对应的穿孔暴露;
(4)利用光阻材料于该基体的晶片安装表面上形成一覆盖该晶片的第一保护层把该晶片固定于该基体上;
(5)该第一保护层的第一部分位于该晶片四周,该第一保护层其余的与该晶片相对的部分为第二部分;通过把该第一保护层的第一部分暴露于紫外线而使该第一保护层的第二部分被遮蔽而不被暴露于紫外线及通过后续的化学显影处理,使位于该晶片四周的该第一保护层的第一部分被保留;
(6)通过打线处理,该晶片的焊垫是经由穿过该基体的对应的穿孔的导线来与该电路轨迹布设表面上的对应的电路轨迹电气连接;
(7)利用光阻材料于该基体的电路轨迹布设表面上形成一第二保护层;
(8)通过与施加于第一保护层类似的曝光及化学显影处理,使该第二保护层的覆盖该导线的部分被保留;及
(9)于该基体的电路轨迹布设表面上形成数个与对应的电路轨迹电气连接的导电球。
较佳地,在该打线处理的步骤(6)之后,更包含如下的步骤:
至少于该基体的电路布设表面的接近穿孔的表面部分及该晶片的焊垫安装表面的在焊垫附近的表面部分上以环氧树脂或光阻材料般的绝缘材料形成一非常薄的绝缘层,可加强导线与对应的焊垫及电路轨迹之间的物理连接,在形成该绝缘层的同时,于导线上亦会附着形成该绝缘层的材料以使在每一导线形成一加强导线的强度的加强层。
本发明还提供一种半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:包含如下的步骤:
(1)提供一半导体晶片,该晶片具有一焊垫安装表面和数个安装于该焊垫安装表面上的焊垫;
(2)把该晶片置放于一基体的表面上;
(3)利用光阻材料形成一第一保护层于该基体的表面上可覆盖该晶片;
(4)该第一保护层的第一部分位于该晶片四周,该第一保护层其余的与该晶片相对的部分为第二部分;通过把该第一保护层的第一部分暴露于紫外线而其的第二部分被遮蔽而不暴露于紫外线及通过化学显影处理,仅位于该晶片四周的该第一保护层的第一部分是被保留且该晶片的焊垫安装表面是被暴露;
(5)于该晶片的焊垫安装表面上以印刷方式形成数个导电体,每一导电体具有一延伸至晶片的对应的焊垫的第一部分和一与该第一部分相隔预定的距离的第二部分;
(6)利用光阻材料形成一第二保护层于该第一保护层的第一部分的表面上可覆盖该等导电体;
(7)通过与施加于该第一保护层类似的曝光及化学显影处理,该第二保护层是形成有数个用于暴露对应的导电体的第二部分的暴露孔;及
(8)于每一暴露孔内形成有一导电球。
本发明还提供一种半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:包含如下的步骤:
(1)提供一基体,该基体具有一电路轨迹布设表面、一与该电路轨迹布设表面相对的晶片安装表面、及数个与该晶片的焊垫对应的穿孔,在该基体的电路轨迹布设表面上布设有预定的电路轨迹;
(2)利用光阻材料于该基体的晶片安装表面上形成一第一保护层;
(3)该第一保护层的第一部分位于该晶片四周,该第一保护层其余的与该晶片相对的部分为第二部分;通过把该第一保护层的第一部分暴露于紫外线而使该第一保护层的第二部分被遮蔽而不被暴露于紫外线及通过后续的化学显影处理,使位于该晶片四周的该第一保护层的第一部分被保留形成一晶片容置孔;
(4)把一具有一焊垫安装表面及数个安装于该表面上的焊垫的半导体晶片置放于该晶片容置孔,以使该晶片的焊垫由该基体的对应的穿孔暴露;
(5)通过打线处理,该晶片的焊垫经由穿过该基体的对应穿孔的导线来与该电路轨迹布设表面上对应的电路轨迹电气连接;
(6)利用光阻材料于该基体的电路轨迹布设表面上形成一第二保护层;
(7)通过与施加于第一保护层类似的曝光及化学显影处理,使该第二保护层的覆盖该导线的部分被保留;及
(8)于该基体的电路轨迹布设表面上形成数个与对应的电路轨迹电气连接的导电球。
较佳地,在该打线处理的步骤(5)之前,更包含如下的步骤:
利用光阻材料于该第一保护层的第一部分上形成一定位层覆盖该晶片;通过与施加于该第一保护层类似的曝光及后续的化学显影处理,该定位层的中央部分被移去以使该晶片的与焊垫安装表面相对的表面的一部分被暴露。
较佳地,在该打线处理的步骤(5)之后,更包含如下的步骤:
至少于该基体的电路布设表面的接近穿孔的表面部分及该晶片的焊垫安装表面的在焊垫附近的表面部分上以环氧树脂或光阻材料般的绝缘材料形成一非常薄的绝缘层,可加强导线与对应的焊垫及电路轨迹之间的物理连接,在形成该绝缘层的同时,于导线上亦会附着形成该绝缘层的材料以致于在每一导线形成有一可加强导线的强度的加强层。
本发明还提供一种半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:包含如下的步骤:
(1)于一基体上形成一第一保护层;
(2)通过把该第一保护层的第一部分暴露于紫外线而其第二部分被遮蔽而不暴露于紫外线及通过化学显影处理,使该第一保护层的第一部分形成一晶片容置孔;
(3)把一具有一焊垫安装表面及数个安装于该焊垫安装表面上的焊垫的晶片置放于该晶片容置孔内,使该晶片的焊垫安装表面被暴露;
(4)于该晶片的焊垫安装表面上以印刷方式形成数个导电体,每一导电体具有一延伸至晶片的对应焊垫的第一部分和一与该第一部分相隔预定距离的第二部分;
(5)利用光阻材料于该第一保护层的第一部分的表面上形成一第二保护层覆盖该导电体;
(6)通过与施加于该第一保护层类似的曝光及化学显影处理,在该第二保护层形成数个用于暴露对应的导电体的第二部分的暴露孔;及
(7)于每一暴露孔内形成一导电球。
本发明可使成本降低。
【附图说明】
图1是为描绘一种习知半导体晶片封装体的示意剖视图;
图2至图6是为描绘本发明半导体晶片封装体的封装方法的第一较佳实施例的示意流程图;
图7至图11是为描绘本发明半导体晶片封装体的封装方法的第二较佳实施例的示意流程图;
图12至图16是为描绘本发明半导体晶片封装体的封装方法的第三较佳实施例的示意流程图;
图17至图19是为描绘本发明半导体晶片封装体的封装方法的第四较佳实施例的示意流程图;及
图20是为描绘可应用于第一和第三较佳实施例的步骤的示意剖视图。
图式的主要元件代表符号表
10 基体 100 电路轨迹布设表面
101 穿孔 11 晶片
110 焊垫 111 导线
12 第一保护层 13 第二保护层
2 晶片 20 焊垫安装表面
21 焊垫 3 基体
31 晶片安装表面 30 电路轨迹布设表面
32 穿孔 4 第一保护层
40 第一部分 6 第二保护层
60 部分 5 导线
7 导电球 3’ 基体
33 表面 4’ 第一保护层
40’ 第一部分 9 导电体
6’ 第二保护层 61 导电球
41 晶片容置孔 42 定位层
50 加强层 8 绝缘层
【具体实施方式】
在本发明被详细说明之前,应要注意的是,在整个说明当中,相似的元件是由相同的标号标示。另一方面,为了清楚揭示本发明的特征,该等附图并不是按元件实际的尺寸及不是按比例来描绘。
图2至图6是为显示本发明半导体晶片封装体的封装方法的第一较佳实施例的示意流程图。
请参阅图2所示,首先,一晶片2是被提供。该晶片2具有一焊垫安装表面20及数个安装于该表面20上的焊垫21(在图式中仅显示一个焊垫)。
接着,如在图3中所示,一基体3是被提供。该基体3具有一电路轨迹布设表面30、一与该电路轨迹布设表面30相对的晶片安装表面31、及数个与该晶片2的焊垫21对应的穿孔32。在该基体3的电路轨迹布设表面30上是布设有预定的电路轨迹(图中未示)。
该晶片2是在其的焊垫21由该基体3的穿孔32暴露的情况下被置放于该基体3的晶片安装表面31上。
然后,利用光阻材料于该基体3的晶片安装表面31上形成一覆盖该晶片2的第一保护层4可把该晶片2固定于该基体3上。
在形成该第一保护层4之后,通过把该第一保护层4的第一部分40暴露于紫外线而其的第二部分被遮蔽而不被暴露于紫外线及通过后续的化学显影处理,仅位于该晶片2四周的该第一保护层4的第一部分40是被保留,如在图4中所示。
接着,通过打线处理,该晶片2的焊垫21是经由穿过该基体3的对应的穿孔32的导线5来与该电路轨迹布设表面30上的对应的电路轨迹电气连接。
在打线处理之后,是利用光阻材料于该基体3的电路轨迹布设表面30上形成一第二保护层6,如在图5中所示。
然后,通过与施加于第一保护层4类似的曝光及化学显影处理,仅该第二保护层6的覆盖该等导线5的部分60被保留,如在图6中所示。
最后,是于该基体3的电路轨迹布设表面30上形成数个与对应的电路轨迹电气连接的导电球7。
应要注意的是,为了加强导线5的强度,在打线步骤之后,是更可以包含如下的步骤。
请参阅图20所示,在打线步骤之后,是至少于该基体3的电路布设表面30的接近穿孔的表面部分及该晶片2的焊垫安装表面的在焊垫21附近的表面部分上以环氧树脂或光阻材料般的绝缘材料形成一非常薄的绝缘层8可加强导线5与对应的焊垫21及电路轨迹之间的物理连接。应要注意的是,在形成该绝缘层8的同时,于导线5上亦会附着形成该绝缘层8的材料以致于在每一导线5是形成有一加强导线5的强度的加强层50可避免导线5在后续的处理中发生断裂的情况。
由于本发明免于使用胶带来把晶片2固定于基体3且利用较便宜的光阻材料代替较昂贵的环氧树脂来形成第一和第二保护层4和6,因此整体封装成本得以有效地降低。
图7至图11显示本发明半导体晶片封装体的封装方法的第二较佳实施例。
请参阅图7所示,一半导体晶片2是首先被置放于一基体3’的表面33上。
然后,利用光阻材料形成一第一保护层4’于该基体3’的表面33上可覆盖该晶片2,如在图8中所示。
接着,通过把该第一保护层4’的第一部分暴露于紫外线而其的第二部分被遮蔽而不暴露于紫外线及通过化学显影处理,仅位于该晶片2四周的该第一保护层的第一部分40’是被保留且该晶片2的焊垫安装表面20是被暴露,如在图9中所示。
随后,于该晶片2的焊垫安装表面20上是以印刷方式形成有数个导电体9。每一导电体9具有一延伸至晶片2的对应的焊垫21的第一部分和一与该第一部分相隔预定的距离的第二部分。
现在请参阅图10所示,然后,利用光阻材料形成一第二保护层6’于该第一保护层的第一部分40’的表面上可覆盖该等导电体9。随后,通过与施加于该第一保护层类似的曝光及化学显影处理,该第二保护层6’是形成有数个用于暴露对应的导电体9的第二部分的暴露孔60。
接着,于每一暴露孔60内是形成有一导电球61,如在图11中所示。
图12至图16显示本发明半导体晶片封装体的封装方法的第三较佳实施例。
请参阅图12所示,与第一较佳实施例不同,在本较佳实施例中,一由光阻材料形成的第一保护层4是首先形成于一基体3的晶片安装表面31上。该基体3的结构是与在第一较佳实施例中所描述的相同。
接着,通过把该第一保护层4的第一部分暴露于紫外线而其的第二部分被遮蔽而不被暴露于紫外线及通过后续的化学显影处理,该第一保护层4的第二部分是被移去可形成一晶片容置孔41,如在图13中所示。
然后,如在图14中所示,一晶片2是被置放于该晶片容置孔41以致于该晶片2的焊垫21是由该基体3的对应的穿孔32暴露。接着,一由光阻材料形成的定位层42是形成于该第一保护层的第一部分40上可覆盖该晶片2。然后,通过与施加于该第一保护层类似的曝光及后续的化学显影处理,该定位层42的中央部分是被移去以致于该晶片2的与焊垫安装表面相对的表面的一部分是被暴露,如在图15中所示。应要注意的是,把该定位层42的中央部分移去的步骤是可以被省略。
接着,请配合参阅图15、16所示,导线5和第二保护层的覆盖该等导线5的部分60是以与在第一较佳实施例中所描述的步骤相同的步骤来被形成,其的详细说明于此恕不再赘述。
图17至图19显示本发明半导体晶片封装体的封装方法的第四较佳实施例。
请参阅图17所示,与第二较佳实施例不同,在本较佳实施例中,一由光阻材料形成的第一保护层4’是首先被形成于一基体3’上。然后,通过与在以上的较佳实施例中所述的相同的曝光与化学显影处理,该第一保护层的第二部分是被移去可形成一晶片容置孔41,如在图18中所示。然后,一晶片2是被置放于该晶片容置孔41内以致于该晶片2的焊垫安装表面20是被暴露,如在图19中所示。随后,导电体、第二保护层、及导电球是以与在第二较佳实施例中所描述的步骤相同的步骤来被形成,其的详细说明于此是被省略。
应要注意的是,在本发明的以上的说明中,晶片的焊垫是设置在晶片的焊垫安装表面的中央部分,然而,焊垫是设置在晶片的焊垫安装表面的周缘的晶片亦可适用于本发明。
综上所述,本发明的半导体晶片封装体的封装方法,确能藉上述所揭露的构造、装置,达到预期的目的与功效。
但,上述所揭的图式及说明,仅为本发明的实施例而已,非为限定本发明的保护范围。
Claims (7)
1.一种半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:包含如下的步骤:
(1)提供一半导体晶片,该晶片具有一焊垫安装表面及数个安装于该表面上的焊垫;
(2)提供一基体,该基体具有一电路轨迹布设表面、一与该电路轨迹布设表面相对的晶片安装表面、及数个与该晶片的焊垫对应的穿孔,在该基体的电路轨迹布设表面上布设有预定的电路轨迹;
(3)把该晶片置放于该基体的晶片安装表面上以使该晶片的焊垫由该基体的对应的穿孔暴露;
(4)利用光阻材料于该基体的晶片安装表面上形成一覆盖该晶片的第一保护层把该晶片固定于该基体上;
(5)该第一保护层的第一部分位于该晶片四周,该第一保护层其余的与该晶片相对的部分为第二部分;通过把该第一保护层的第一部分暴露于紫外线而使该第一保护层的第二部分被遮蔽而不被暴露于紫外线及通过后续的化学显影处理,使位于该晶片四周的该第一保护层的第一部分被保留;
(6)通过打线处理,该晶片的焊垫是经由穿过该基体的对应的穿孔的导线来与该电路轨迹布设表面上的对应的电路轨迹电气连接;
(7)利用光阻材料于该基体的电路轨迹布设表面上形成一第二保护层;
(8)通过对第二保护层施加与步骤(5)相类似的方法,使该第二保护层的覆盖该导线的部分被保留;及
(9)于该基体的电路轨迹布设表面上形成数个与对应的电路轨迹电气连接的导电球。
2.如权利要求1所述的半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:在该打线处理的步骤(6)之后,更包含如下的步骤:
至少于该基体的电路布设表面的接近穿孔的表面部分及该晶片的焊垫安装表面的在焊垫附近的表面部分上以环氧树脂或光阻材料般的绝缘材料形成一非常薄的绝缘层,于导线上亦会附着形成该绝缘层的材料以使在每一导线形成一加强层。
3.一种半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:包含如下的步骤:
(1)提供一半导体晶片,该晶片具有一焊垫安装表面和数个安装于该焊垫安装表面上的焊垫;
(2)把该晶片置放于一基体的表面上;
(3)利用光阻材料形成一第一保护层于该基体的表面上可覆盖该晶片;
(4)该第一保护层的第一部分位于该晶片四周,该第一保护层其余的与该晶片相对的部分为第二部分;通过把该第一保护层的第一部分暴露于紫外线而其的第二部分被遮蔽而不暴露于紫外线及通过化学显影处理,仅位于该晶片四周的该第一保护层的第一部分是被保留且该晶片的焊垫安装表面是被暴露;
(5)于该晶片的焊垫安装表面上以印刷方式形成数个导电体,每一导电体具有一延伸至晶片的对应的焊垫的第一部分和一与该第一部分相隔预定的距离的第二部分;
(6)利用光阻材料形成一第二保护层于该第一保护层的第一部分的表面上可覆盖该等导电体;
(7)通过对第二保护层施加与步骤(4)相类似的方法,使该第二保护层形成有数个用于暴露对应的导电体的第二部分的暴露孔;及
(8)于每一暴露孔内形成有一导电球。
4.一种半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:包含如下的步骤:
(1)提供一基体,该基体具有一电路轨迹布设表面、一与该电路轨迹布设表面相对的晶片安装表面、及数个与该晶片的焊垫对应的穿孔,在该基体的电路轨迹布设表面上布设有预定的电路轨迹;
(2)利用光阻材料于该基体的晶片安装表面上形成一第一保护层;
(3)该第一保护层的第一部分位于该晶片四周,该第一保护层其余的与该晶片相对的部分为第二部分;通过把该第一保护层的第一部分暴露于紫外线而使该第一保护层的第二部分被遮蔽而不被暴露于紫外线及通过后续的化学显影处理,使位于该晶片四周的该第一保护层的第一部分被保留形成一晶片容置孔;
(4)把一具有一焊垫安装表面及数个安装于该表面上的焊垫的半导体晶片置放于该晶片容置孔,以使该晶片的焊垫由该基体的对应的穿孔暴露;
(5)通过打线处理,该晶片的焊垫经由穿过该基体的对应穿孔的导线来与该电路轨迹布设表面上对应的电路轨迹电气连接;
(6)利用光阻材料于该基体的电路轨迹布设表面上形成一第二保护层;
(7)通过对第二保护层施加与步骤(3)相类似的方法,使该第二保护层的覆盖该导线的部分被保留;及
(8)于该基体的电路轨迹布设表面上形成数个与对应的电路轨迹电气连接的导电球。
5.如权利要求4所述的半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:在该打线处理的步骤(5)之前,更包含如下的步骤:
利用光阻材料于该第一保护层的第一部分上形成一定位层覆盖该晶片;
通过对定位层施加与步骤(3)相类似的方法,该定位层的中央部分被移去以使该晶片的与焊垫安装表面相对的表面的一部分被暴露。
6.如权利要求4所述的半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:在该打线处理的步骤(5)之后,更包含如下的步骤:
至少于该基体的电路布设表面的接近穿孔的表面部分及该晶片的焊垫安装表面的在焊垫附近的表面部分上以环氧树脂或光阻材料般的绝缘材料形成一非常薄的绝缘层,加强导线与对应的焊垫及电路轨迹之间的物理连接,在形成该绝缘层的同时,于导线上亦会附着形成该绝缘层的材料以致于在每一导线形成有一加强导线的强度的加强层。
7.一种半导体晶片封装体的封装方法,其特征在于:包含如下的步骤:
(1)于一基体上以光阻材料形成一第一保护层;
(2)通过把该第一保护层的第一部分暴露于紫外线而其第二部分被遮蔽而不暴露于紫外线及通过化学显影处理,使该第一保护层的第一部分形成一晶片容置孔;
(3)把一具有一焊垫安装表面及数个安装于该焊垫安装表面上的焊垫的晶片置放于该晶片容置孔内,使该晶片的焊垫安装表面被暴露;
(4)于该晶片的焊垫安装表面上以印刷方式形成数个导电体,每一导电体具有一延伸至晶片的对应焊垫的第一部分和一与该第一部分相隔预定距离的第二部分;
(5)利用光阻材料于该第一保护层的第一部分的表面上形成一第二保护层覆盖该导电体;
(6)通过对第二保护层施加与步骤(2)相类似的方法,在该第二保护层形成数个用于暴露对应的导电体的第二部分的暴露孔;及
(7)于每一暴露孔内形成一导电球。
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US6146918A (en) * | 1998-05-30 | 2000-11-14 | Lg Semicon Co., Ltd | Method of fabricating a semiconductor package |
JP2001102491A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-13 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 極薄bgaタイプ半導体プラスチックパッケージ用プリント配線板 |
CN1368758A (zh) * | 2001-02-02 | 2002-09-11 | 陈怡铭 | 半导体芯片装置及其封装方法 |
CN1372311A (zh) * | 2001-02-26 | 2002-10-02 | 陈怡铭 | 半导体芯片装置及其封装方法 |
US6525424B2 (en) * | 2000-04-04 | 2003-02-25 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor device and its manufacturing method |
JP2003100744A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-04 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6146918A (en) * | 1998-05-30 | 2000-11-14 | Lg Semicon Co., Ltd | Method of fabricating a semiconductor package |
CN1246731A (zh) * | 1998-08-28 | 2000-03-08 | 三星电子株式会社 | 芯片尺寸封装和制备晶片级的芯片尺寸封装的方法 |
JP2001102491A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-13 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 極薄bgaタイプ半導体プラスチックパッケージ用プリント配線板 |
US6525424B2 (en) * | 2000-04-04 | 2003-02-25 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor device and its manufacturing method |
CN1368758A (zh) * | 2001-02-02 | 2002-09-11 | 陈怡铭 | 半导体芯片装置及其封装方法 |
CN1372311A (zh) * | 2001-02-26 | 2002-10-02 | 陈怡铭 | 半导体芯片装置及其封装方法 |
JP2003100744A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-04 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
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