ATE167001T1 - Einrichtung zum handeln von scheibenförmigen objekten in einer handlingebene eines lokalen reinraumes - Google Patents

Einrichtung zum handeln von scheibenförmigen objekten in einer handlingebene eines lokalen reinraumes

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ATE167001T1
ATE167001T1 AT94911956T AT94911956T ATE167001T1 AT E167001 T1 ATE167001 T1 AT E167001T1 AT 94911956 T AT94911956 T AT 94911956T AT 94911956 T AT94911956 T AT 94911956T AT E167001 T1 ATE167001 T1 AT E167001T1
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AT
Austria
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handling
clean room
shaped objects
local clean
wafer
Prior art date
Application number
AT94911956T
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German (de)
English (en)
Inventor
Berndt Lahne
Klaus Schultz
Werner Scheler
Michael Heitmann
Axel Gaglin
Original Assignee
Jenoptik Jena Gmbh
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    • H10P95/00—
    • H10P72/0402—
    • H10P72/3402—

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
AT94911956T 1993-03-29 1994-03-25 Einrichtung zum handeln von scheibenförmigen objekten in einer handlingebene eines lokalen reinraumes ATE167001T1 (de)

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