DE4310149C2 - Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten in einer Handhabungsebene eines lokalen Reinraumes - Google Patents

Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten in einer Handhabungsebene eines lokalen Reinraumes

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JP6521651A JP2846957B2 (ja) 1993-03-29 1994-03-25 局所クリーンルームの操作面においてディスク状の物体を操作するための装置
US08/656,698 US5642978A (en) 1993-03-29 1996-06-03 Device for handling disk-shaped objects in a handling plane of a local clean room

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004062592B3 (de) * 2004-12-24 2006-06-08 Leica Microsystems Jena Gmbh System zur Untersuchung eines scheibenförmigen Substrats
US7265823B2 (en) 2003-11-06 2007-09-04 Vistec Semiconductor Systems Gmbh System for the detection of macrodefects
US7292328B2 (en) 2003-12-19 2007-11-06 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Method for inspection of a wafer

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19535871C2 (de) * 1995-09-27 2000-02-10 Jenoptik Jena Gmbh Indexer für Magazinfächer eines Magazins und darin enthaltene scheibenförmige Objekte
DE19549045C1 (de) * 1995-12-28 1997-06-05 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten
US5674039A (en) * 1996-07-12 1997-10-07 Fusion Systems Corporation System for transferring articles between controlled environments
JPH1058367A (ja) * 1996-08-23 1998-03-03 Advantest Corp Ｉｃ搬送装置
DE19729525A1 (de) * 1997-03-11 1998-09-17 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung für den Transport von Substraten
DE19813684C2 (de) * 1998-03-27 2001-08-16 Brooks Automation Gmbh Einrichtung zur Aufnahme von Transportbehältern an einer Be- und Entladestation
DE19913628A1 (de) * 1999-03-25 2000-10-05 Siemens Ag Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten
DE19958082A1 (de) * 1999-12-02 2001-06-07 Logitex Reinstmedientechnik Gm Überwachungssystem für eine Transportvorrichtung von Flachteilen, insbesondere Wafer-Scheiben
DE10104555B4 (de) * 2001-02-01 2007-11-08 Krauss Maffei Gmbh Lagervorrichtung zum Einsatz in Reinumgebungen
JP5615218B2 (ja) * 2010-03-26 2014-10-29 テソン エンジニアリング カンパニー リミテッド エア供給装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3972424A (en) * 1973-03-12 1976-08-03 The Computervision Corporation Automatic wafer loading and pre-alignment system
US3923342A (en) * 1974-06-10 1975-12-02 Motorola Inc Apparatus and method for handling frangible objects
JPS5969324A (ja) * 1982-10-12 1984-04-19 Toshiba Seiki Kk マガジンのピツチ送り方法
JPS6083245U (ja) * 1983-11-15 1985-06-08 大日本スクリーン製造株式会社 カセツト式薄片搬出入用薄片検知装置
JPS60120520A (ja) * 1983-12-02 1985-06-28 Canon Inc 半導体製造用搬送装置
JPS61129340U (OSRAM) * 1985-01-31 1986-08-13
FR2590879A1 (fr) * 1985-11-27 1987-06-05 American Telephone & Telegraph Procede et appareil pour le chargement et le dechargement automatiques de tranches de semi-conducteur
US4746256A (en) * 1986-03-13 1988-05-24 Roboptek, Inc. Apparatus for handling sensitive material such as semiconductor wafers
JPS62222625A (ja) * 1986-03-25 1987-09-30 Shimizu Constr Co Ltd 半導体製造装置
EP0244202B1 (en) * 1986-04-28 1994-09-21 Varian Associates, Inc. Wafer transfer system
JPH0736418B2 (ja) * 1986-05-19 1995-04-19 富士通株式会社 ウエーハキャリア
JPS6382248A (ja) * 1986-09-26 1988-04-13 Canon Inc 薄板状物品の搬出または搬入装置
US4895486A (en) * 1987-05-15 1990-01-23 Roboptek, Inc. Wafer monitoring device
JP3075561B2 (ja) * 1989-01-27 2000-08-14 日立電子エンジニアリング株式会社 カセット内のウェハ取出し制御方式
US5181819A (en) * 1990-10-09 1993-01-26 Tokyo Electron Sagami Limited Apparatus for processing semiconductors
JPH0536809A (ja) * 1991-07-31 1993-02-12 Mitsubishi Electric Corp 半導体基板処理装置に於ける半導体基板搬送アーム

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7265823B2 (en) 2003-11-06 2007-09-04 Vistec Semiconductor Systems Gmbh System for the detection of macrodefects
US7292328B2 (en) 2003-12-19 2007-11-06 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Method for inspection of a wafer
DE102004062592B3 (de) * 2004-12-24 2006-06-08 Leica Microsystems Jena Gmbh System zur Untersuchung eines scheibenförmigen Substrats
US7426024B2 (en) 2004-12-24 2008-09-16 Vistec Semiconductor Systems Jena Gmbh System for inspecting a disk-shaped object

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KR950701766A (ko) 1995-04-28
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SG47081A1 (en) 1998-03-20
WO1994023443A1 (de) 1994-10-13
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DE59406121D1 (de) 1998-07-09
EP0642697B1 (de) 1998-06-03
KR0148415B1 (ko) 1998-12-01
ATE167001T1 (de) 1998-06-15

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