KR0148415B1 - 국부적인 청정실의 취급면 내의 판형 물체를 처리하기 위한 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 국부적으로 청정실의 처리면에서의 원판형 물체를 다루기 위한 장치에 관한 것으로 처리면에 대하여 높이에서 측정 저정할 수 있는 매거진 홀다와 본질적으로 취급면에 놓여있는 가공과 검사를 목적으로 하는 작업스테이숀을 포함하여 종합적인 개폐회로를 제작함으로서 특히 취급기능을 위하여 적용이 가능하다.

Description

국부적인 청정실의 취급면 내의 판형 물체를 처리하기 위한 장치

본 발명은 다음의 개략도를 가지고 보다 상세히 설명한다.

제1도는 원판형상 물체를 다루기 위한 장치의 전면도.

제2도는 그림 1에 의한 장치 내의 중간판에 대한 평면도.

제3도는 공기 예비처리장치.

제4도는 투영도에서 공기유도 박판을 위한 배치가능성 표시도.

제5도는 인덱싱 장치의 부분 단면도.

제6도는 매거진에 의한 단면도와 결부한 공전자 센서의 배열도.

제7도는 측정다발의 횡단면도를 가지는 매거진의 전면도.

제8도는 이웃한 도면에서 밀어 넣어진 원판형 물체를 가지는 매거진의 벽들의 하나로부터의 단편도 및 광전자적인 센서에 의하여 탐사한 상기 단편의 도면.

제9도는 2차센서를 가지는 매거진 및 웨이퍼 반송장치의 평면도.

제10도는 인덱싱을 하기 위한 여타의 유닛트를 가지는 제어-, 가공- 및 평가유니트의 연결을 보이는 블록구성도.

제11도는 처리기의 측면도.

제1도 및 제2도에 따라서는 제11도에서 자세히 기술되어 있으나 이도면에서는 감추어진 처리기와 함께 원판형 물체를 위한 매거진의 인덱싱을 위하여 반송체(carrier)(1)위에 대항하여 조립되어진 2개의 장치(2,3)와 그리고 피복(7)에 의하여 둘러쌓여 있는, 예를들면 예비교정기(prealiner) 및 보벨테이블(Wobbeltisch)과 같은 작업스테이숀(5,6)이 이 발명에 따르는 기본장비를 형성한다.

위에 씌워진 표준의 기계적인 인터페이스 박스(SMIF-BOX)는 4로 도시되어 있다. 공기 예비처리장치 8은 요구되는 청정도의 박판상의 공기 흐름을 주선한다.

또다른 작업 스테이숀은 바코드판독기 또는 오씨알(OCR)-판독기가 될 수 있다.

기능상 이 장치는 육안검사장치 편평부 또는 절결부(notch) 탐지장치, 뱃치이송(batch transfer)장치, 로더나 언로더, 통합기(merger)로서 또는 분리장치(splitter)로서 사용하기 위하여 적합하다.

중간판(9)에 의하여 2개의 부분 부실(10,11)로 나누어져 있는 피복(7)은 공기 예비처리장치(8)의 맞은편에 놓여 있으며 밖으로 향하여 경계를 이루고 있는 상기 피복의 벽(12)에는 발생된 과압을 상쇄하기 위한 탈출구(13,14)를 가진다. 탈출구(14)의 전체 횡단면적에 비하여 탈출구(13)의 보다 작은 전체 횡단면적 중간판(9)의 상부 부분실(10)에서 부터 중간판(9)의 하부에 있는 부분실(11)에 향하여지고 있는 공기 흐름성분을 가져온다.

탈출구(14)의 전체 횡단면적에 비하여 더 작은 찰출구(13)의 횡단면적은 하나의 공기흐름 성분을 가져오며 이 성분은 중간보드 상부의 부분실(10)에서 중간보드(9) 아래에 있는 부분실(11)에로 향하여져 있다.

처리기를 위하여 만들어진 공극(15)은 물론이고 작업 스테이션(5,6)을 위해 만들어진 중간보드(9)에 있는, 도면에는 나타나 있지 않은 또 다른 개구들은 공기 흐름의 오우버플로우를 보장해주고 있으며 이로 인해서 중간보드(9) 아래에 청정실비율을 저해하도록 영향을 할 수 있는 구동장치요소에 의하여 발생하는 입자는 처리실, 가공실 및 검사실로서 역할을 하는 부분실(10)에의 침투에서 저지되어 진다.

입구판(18) 내에 입구개구(17)를 가지며 그리고 출구판(20)에는 출구개구(19)를 가지는 하우징(16)은 축방향 통풍기(21)이외에도 동시에 축방향의 통풍기(21)의 회전축 이기도 한 축X-X에 따라 배열되어서 체모양의 평형장치(22)와 하우싱(16)의 측벽을 가지고 기밀하고 밀착하고 있는 고성능 기계식 필터를 포함한다.

입구판(18)에 밀착한 한측면에 접합하고 있으며 부싱으로 형성된 튜브 형상의 피복(24)은 입구개구(17)와 축방향통풍기(21)을 하우싱(16)의 내실의 흐름 방향으로 공기출구 까지를 분리시켜 주는데 이것은 또한 공동(plenum)역할도 한다. 부싱(bushing)은 통풍기날개(25)에 까지 가능한한 근소한 간격을 갖는다.

공기출구는 , 축방향 통풍기(21)에 의하여 발생된 공기흐름으로 위치해 있는 공기 안내박판들(28)의 형태로 된 공기 안내면들을 가지며 부싱에 연결된 판(26)에 가공된 원형단편(27)으로 되어 있다.

이들은 제4도에서 보는 바와같이 출구판(20)의 방향은 물론이고 입구판(18)의 방향에서도 또는 양방향에서도 판(26)으로 부터 돌출할 수도 있다.

공기안내박판(28)의 판(26)에 대한 기울기는 축방향 송풍기(21)의 종류와 구조에 따라 정해진다. 대체로 송풍기 날개(25)에 평행한 정렬이 선정되어야 한다.

물론 그의 크기에 따라 짝을지어 포개지는 공기 안내박판도 사용이 가능하다. 이 경우에는 단편들(27) 사이에 고성능 기계식 필터(23)에 평행한 표면요소(31)는 없앨수가 있다.

축방향통풍기(21)로부터 입구개구(17)를 거쳐서 흡입되고 출구개구(19)의 방향으로 불어대는 공기흐름은 출구개구(19)의 방향에서의 방향 성분외에도 측벽들 방향의 2개 성분을 가지며 그래서 결과하는 것은 공기흐름의 와류를 형성한다. 이러한 와류현상은 고성능기계식 필터(23)에 필터층상에 불균일한 흐름을 가져오며 유효한 필터면을 유리하게 활용을 하지 못하게 되며, 이것으로 인하여는, 체적 흐름의 공기 저항이 높아지는 결과로 생성된, 청정된 순수공기량이 감소하게 된다. 와류 운동의 공기흐름속에서 역작용을 하게되어 있는 공기 유도박판(28)은 측벽들의 방향에서의 흐름성분들을 보상해주어서 이제부터 흐르는 공기의 흐름은 출구개구(19)의 방향에서의 성분만을 더 가지게 된다.

체모양의 평형장치(22)에 의해서 흐름 압력이 균일하게 된다. 고성능 기계식 필터(23)의 유효면적은 수직이며 균일하게 흐르게 된다.

제 5도에서 다만 일부만이 나타나 있는 인덱싱 장치는 그의 내부에 스핀들(32)의 거쳐서 Z-방향(이 장치의 설치면에 수직)으로 상승 하강할 수 있는 매거진 홀다(33)을 가지고 있다. 스핀들(32)는 유단모터(34)에 의해서 구동되며 이 유단모터는 각도측정시스템(35)을 갖추고 있어서 상승 하강운동시 경과한 거리의 스핀들 핏치가 측정되어 질 수 있다.

제어전자장치를 가지는 유단모터(34)와 각도측정시스템(35)는 제 10도의 제어컴퓨터(56)와 함께 이밖에 스핀들(32)과 매거진 홀다(33)가 속한 매거진 리프트(magazin lift)의 위치 조절기를 구성한다.

처리장치(36)는 취급면(H-H)에서 작동하는 처리아암(handling arm)(37)을 가지며 매거진 리프트와 그리고 송신기(38)과 수신기(39)로 되어있는 광전자 센서와 같이 공통적인프레임(40)에 고정되어 있다.

송신기(38)에서 나오는 측정빔 다발(41)은 매거진(42)내에 존재하며 알아보기 쉽게하기위하여 제7도에서 비로서 표시된 매거진 격실(43)과 그안에 포함되어 있는 원판형의 물체(44)를 인덱싱하기 위하여 중간빔과 함께 기준면 E-E 내에서 흐른다.

평면 E-E와 처리면 H-H 사이의 간격은 스핀들 구동장치의 이동범위 내에서 선택할 수 있다.

제6도 및 제7도는 매거진(42)에 대한 센서의 배열과 매거진 격실(43)속으로 가능한 한 밀어 넣어진 예컨대 반도체판 또는 템플레이트(template)와 같은 원판형물체(44)를 보여주고 있다.

그 뒤에 송신기(38) 및 수신기(39)는 측정빔 다발(41)이 매거진(42)의 벽들(45,46) 사이를 통하여 안내되고 모서리단편(49)에 향하여 지도록 그렇게 놓여져 있다. 모서리 단편(47)은 제 8도에 상응하게 원판형의 물체(44)를 위한 지지부로써 역할을 하는 매거진(42)의 내부로 향하여진 돌기들(48)이 측정빔 다발(41)를 투영할만큼 그렇게 멀리 측정빔 다발(41)속으로 도달한다.

배면측이 거의 부분적으로 폐쇄되어 있으므로 매거진(42)의 표현된 경사진 관통빔이 선택된다.

이러한 종류의 폐쇠가 존재하지 않으면 물론 또한 벽(45및 46)과 매거진 격실(43)에 평행한 측정빔 다발(41)의 빔안내도 가능하다.

측정빔 다발(41)의 중간 빔은 직접 돌기들(48)의 앞 모서리를 따라 유리하게 흐른다.

일차센서 이외에도 매거진(42)에게는 그의 제거 및 장입을 위하여 사용되는 측변(처리장치(36)에 향한 측면)에 송신기(49) 및 수신기(50)으로 구성되는 또하나의 센서가 인접하여 위치하며 이것은 일차 센서에 대하여 일정한 간격을 가지며 그리고, 매거진(42)의 운반시에 매거진(42)로부터 돌출하고 있는 물체(51)를, 프러스의 Z방향에서 감지하게 된다.

제9도에서 보는 바와같이 매거진(42)로부터 튀어나온 물체(51)의 자리를 잡아주기 위하여 웨이퍼 복귀장치(52)가 설치되어 있으며 이 장치는 일차 처리면 H-H에 평행한 면에서 일차센서로 얻어진 위치정보에 의해서 물체(51)을 매거진(42) 속에로 밀어넣는 일을 떠맡는다. 이로서 매거진(42)의 운반이 수동으로 잡아주지 않은채 지장없이 진행된다.

웨이퍼 복귀장치(52)는 전동모터로 구동되는 레버기구(53)으로 되어있으며 이것은(표시 되지 않은)그의 구동장치의 1회전시에 90°의 선회운동을 행한다.

이 기구(53)레버의 전환점은 이것이 물체(51)을 매거진(42)속으로 밀어넣고 이어서 리밋트스윗치(54)로 감시되는 출발위치로 되돌아 온다.

제10도에 의해서 본 발명의 실시를 위하여 유단모터(34), 각도측정 시스템(35), 송신기(38 및 49), 수신기(38및 50), 프레임(40)에 고정연결되어 있는 제 3센서(55), 레버기구(53) 및 리밋트스윗치(54)등이 제어컴퓨터(56)과 도시한 바와같이 연계되어 있다. 센서와 제어컴퓨터간에는 아날로그-디지탈-변환기들이 설치되어 있으며 이들중에서 하나의 아날로그-디지탈 변환기(57)가 제 10도에 표시되어 있다.

프레임(40)과 고정연결되고 처리면 H-H와 기준면 E-E에 대하여 알려진 간격을 가지는 제3의 센서(55)에 대하여 자리가 잡히고 각도측정 시스템의 계수기 0으로 된 후 매거진 격실(43) 및 그안에 들어있는 원판형물체(44)의 인덱싱을 하기 위해서 매거진(42)은 방진운반용기(SMIF-박스)로부터 그의 저면을 가지고 자동적으로 제거되고 매거진 홀다(33)에 의해서 인수된다.

그 다음에 매거진 홀다(33)는 역치 SW2가 유리하게 데이타 감소를 위해 정해진 역시 SW 1및 SW 2에 의해서 초과 될때까지 하강한다, 즉 마이너스의 Z-방향으로 이동한다.

이로서 매거진(42)에 의하여 기준면 E-E까지의 그의 저면의 간격이 감지된다.

매거진(42)이 그의 연이어져 있는 매거진 격실(43)의 방향으로 측정면 E-E을 통하여 움직일때 매거진 격실(43) 및 물체(44)를 모사로서 나타내는 진폭변조된 센서 출력신호(U)를 수신기(39)에서의 제 8도에 의한 행정의 함수로서 얻게되며, 신호는 아날로그-디지탈 변환기(57)에 공급되며 제어컴퓨터(56)에 의해서 각도측정 시스템(35)의 측정신호와 연결되며 기억된다.

물체(44)를 매거진(42)으로부터 빼내거나 또는 빈 매거진 격실(43)내에 배치하기 위하여, 측정된 계수기의 값에 측정면 E-E와 일차처리면 H-H사이의 간격에 대한 값이 가산되며 매거진(42)는 매거진 리프트의 도움으로 해당하는 Z-위치에로 이동된다.

제5도에서의 처리장치(36)에 상응하고, 제 1도에 표시되어 있으며 구동장치(58)에 의하여 원판형의 물체를 Z-방향으로 약간 이동시킬 수 있는 처리장치가 두갈래의 힌지암으로써 구성되어 있고 중공축(59)와 연결된 상부암(60) 및 하부암(63)으로 되어 있다. 하부암(63)은 축(68)을 거쳐 치차부브이벨트(62)에 의해서 내축(61)축과 연결되고 상부암(60)에 축수되어 있다. 축(59, 61)은 특히 유단모터로 되어있는 각 모터(64, 65)에 의해서 구동된다.

요구되는 위치정확도에 도달하기 위하여 각도측정 시스템을 갖춘 모터(64, 65)가 고도의 감속된 변속장치 의해서 축(59, 61)에 연결되어 있다.

원판형 물체를 위하여 하부암(63)에 설치되어 있는 진공홀더장치(66)는 축(61 및 68) 내부에 안내된 진공부에 직접연결되어 있다. 축(61 및 68)사이의 진공연결은 진공파이프(69)에 의하여 연결된다.

67에 의해서 여기에선 표시되지 않은 진공펌프에로의 고정계수로 이루어진 단면장소가 표시되어 있다. 따라서, 움직여진 도관을 거친 진동 이송이 피하여진다.

본 발명은 국부적인 청정실의 취급면에서 판형 물체를 처리하기 위한 장치에 관한 것으로 이 청정실 취급면에 대하여 높이에서 측정 가능하게 조정할 수 있는 매거진 홀다와 그리고 대체로 취급면에 놓여있는 가공과 검사를 목적으로 하는 작업스테이숀을 포함한다.

그러한 종류의 기술적 해결방법은 합체되어진 개폐회로를 제작하는 경우에 특히 처리목적을 위하여 적용 할 수 있다.

상승한 합체 정도와 하강된 구조폭은 합체된 개폐회로의 제작의 경우 항상 보다 고도의 청정실 품질을 요구하게 된다.

청정실의 상기한 요구조건을 보장하기 위해서 판형물체(반도체등의 박판 또는 스크린)을 개별 개공기계들에게로 운반하기 위하여 상당한 정도로 표준화된 운반용기인 소위 표준의 기계적 인터페이스 박스(SMIF BOX)가 사용되며, 이 운반용기의 바닥위에는 매거진의 격자내에 가공물체가 들어있는 그러한 매거진이 적합한 방법으로 고정되어 있다. 이 매거진은 가공기계에 장입되기 위해서는 적절한 수단으로 운반용기로 부터 내려지고 물체는 처리기에 의해서 내려진다.

가공후에는 매거진의 격자내로 되돌아 가기도하고 또한 운반 용기에로 매거진의 복귀가 이루어진다.

사용은 이제까지 대체로 웨이퍼스테퍼(waferstepper), 임플란터(Implanter)등과 같은 대형장치에만 국한되어서 현재 다단계 공정의 상기한 종류의 SMIF 해결방방안의 보편적인 적용이 아직은 되지 못하고 있었다.

매거진은 물체와 함께 자주 다소는 복잡한 장치에 의해서 표준의 기계적인 인터페이스 박스(SMIF-BOX)로 부터 제거되며 수동 또는 자동으로 가공 및 검사장비로 이송된다.

장치와 관련을 가지면서 외부로 페쇄되고 정해진 인수-/인도절단부를 가지는 국부적인 청정실들을 가지고 주위의 청정실의 요구사항들을 완하 시킬수 있으며 또는 종래의 청정실들에서 물체의 주위에 보다 양질의 청정공간을 얻을 수 있다.

미국-특허- 4 746 256 에는 표준의 기계적인 인터페이스 박스 SMIF-BOX, 처리장치(Handler)와 작업스테이숀을 가지고 국부적인 청정실 내에서 판형물체로서의 웨이퍼나 스크린의 취급 또는 검사용 장치에 대하여 설명이 되어 있다.

처리장치와 작업스테이숀은 밖으로 향하여 폐쇄된 피복으로 둘러 쌓여 있으며 이 피복속으로는 물체를 가지는 매거진이 표준의 기계적 인터페이스 박스(SMIF-BOX)를 상기피복위에 올려 놓은 후에 들여보낼 수 있으며 홀다위에 내려 놓을 수 있게 된다.

처리장치(Handler)는 매거진의 여러가지 면들로부터 물체를 꺼내기 위하여 그리고 Z-축에서 작업스테이숀으로 전달하기 위하여 이동할 수 있다.

이밖에도 미국-특허 4 895 486에 의하여 이 종류의 물체의 존재에 대한 일차신호와 물체에 대한 장소신호가 상호연계되어지면서 제어장치를 가지고 캐리어(매거진)안에 웨이퍼(wafer) 모양의 물체의 존재를 확인하고 매거진내의 기준면에 대한 그의 상대적 위치를 결정하는 것이 알려져 있다.

이 일차신호는 광전자센서에 의해서 얻어지는데 이 센서는 물체가 들어있는 공간을 감시한다. 이차신호는 매거진의 상하 이송을 위한 구동장치와 연결된 위치-인코더에 의해 발생된다.

기준면과 그리고 물체의 가능한 정체 공간을 정하기 위하여 매거진 내 공간이 수직으로 단편들로 분할되어 있다. 기준면으로서 역할을 하는 단편들로 분할되어 있다. 기준면으로서 역할을 하는 단편과 그리고 웨이퍼 모양의 물체가 없는 단편들외에 물체가 들어가 있을 수 있는 윈도우-단편들이 정해진다.

매거진내의 기준면을 측정기법으로 파악한후에 윈도우-단편들의 장소가 그때그때마다 사용된 매거진의 구조데이타에 의해서 계산적으로 측정되고 기억되어지면서 매거진의 인덱싱이 행해진다. 방금 기술된 해결방안을 가지고는 또한 매거진 내에서 물체의 수량과 기준면에 대한 그의 저장장소가 정하여 질 수 있다.

그러나, 매거진으로부터 물체를 끄집어 내기 위해서는 이 매거진이나 처리장치가 매거진 격실의 격자치수내에서 위치해 있어야 한다. 상호 편차를 이루고 있는 매거진 형상과 공차들은 이 경우에 고려되어야 하며 또는 결함을 제외시켜서는 안된다.

그러나 빈 매거진이 임의로 장입되거나 또는 가공이나 검사를 위해 준비또는 후속공정으로 매거진내 또는 매거진마다 재선별이 필요하다면 문제가 발생한다.

본 발명의 과제는 국부적인 청정실의 조건하에서 판형물체의 가공 및 검사에 전후로 설정된 상기한 종류의 공정단계들은 표준의 기계적 인터페이스 박스(SMIF-BOX)의 사용의 경우에도 이 박스상의 적어도 부분적으로 단념하는 경우에도 보증하는데에 있다.

본 과제는 본 발명에 따라서 매거진 홀다를 구성부품으로 포함하고 있는 매거진 격실에 의해서 매거진과 그 안에들어 있는 원판형 물체의 인덱스를 하기위한 장치의 최소한 하나의 기준면과의 구조상으로 고정한 관계를 가지고 있고 중간판의 상부에 배열되어 있으며 이중 간판은 청정실을 2개의 이웃한 격실로 분활시켜 주며, 이 격실들 내에서, 중간판 상부의 격실 부터 공기유동의 공기류 성분이 중간 판의 하부의 격실에로 향하여져 있으므로 판형 물체를 국부적인 청정실의 처리면에서 처리하기 위한 장비에 의해서 해결되었으며 이는 취급면에 대하여 놀이에서 측정이 가능하고 조정이 가능한 매거진 홀다와 대체로 처리면에 가공과 검사 목적을 위하여 갖추어진 작업스테이숀을 포함한다.

공기 예비처리 장치에 의해서 생성된 공기 흐름은 이 공기 예비처리장치의 맞은편에 있으며 상기한 청정실을 외부로 향하여 경계하고 있으며 공기출구들을 가지고 있는 벽에 향하여져 있으며 이 공기출구들의 중간 판상부에서의 총단면적은 중간판 하부의 총단면적보다 작다.

중간판 하부에서 구동소에 의해서 발생하며 청정실 비율을 저해하면서 영향을 끼칠 수 있는 입자들은 처리실, 가공실 및 검사실에로의 진입에서 억제된다.

유리하게도 공동(Plenum)으로서 역할을 하는 공동적 하우싱이 공기흐름 방향으로 입구 및 출구개구 사이에 배열되어 있는 공기 예비처리장치 내에는 축방향 통풍기와 필터를 포함하고 있으며, 이 출구개구와 축방향 통풍기는 공동(Plenum)의 튜브형상의 라이닝에 의해서 공기흐름 방향으로 공기출구에 이르기까지 분리되어 있다.

공기 출구는 공기흐름 속이 설치된 회전형의 공기흐름 성분들에 반대로 작용하는 공기 안내면을 가진다.

공기유출구가 축방향 통풍기의 회전축에 대하여 대칭으로 라이너와 결합된 판 내에로 가공되어들어간 원형단면들로 되어 있으며 이 단편들 속으로 공기 안내면이 통풍기의 통풍기 날개에 평행하게 향하여져 있다면 유리하다.

인덱싱을 위한 상기한 장치는 송신기 및 수신기로 되어 있는 광전자 센서를 가지며 이에 의해서 매거진 격실의 그리고 또 원판형상 물체의 측정기술적인 검출이 이들의 기준면에 대한 위치에서 이루어진다. 발신기에서 나오고 있으며 기준면 내에 그의 중간빔을 가지고 놓여 있는 측정빔 다발은 마주 대하고 있으며 매거진 격실을 포함하고 있는 벽돌 사이를 관통하게되고 측정빔 다발 위에로 투영되면서 매거진 내부에로 향하고 있으며 격실을 구성하는 돌출부들이 벽들중의 하나에 향하여져 있으며 벽들은 원판형상 물체의 지지대 역할을 한다.

높이 조정에 의해서 차례로 기준면과 공동의 위치를 차지하는 서로 포개어진 매거진 격실의 방향으로의 높이 조정에 의해서 매거진 격실의 그리고 또 매거진 격실내에 있는 원판형상의 물체의 묘사의 생성이 측정힘 다발의 변조에 의해서 이루어진다.

유일한 센서시스템을 가지고 매거진 격실자체와 그 안에 들어 있는 물체가 측정기술적으로 감지되고 이로 인하여는 구조 데이타에 의한 매거진 격실 위치의 계산상의 결정이나 또한 인덱스 스케일을 가지고 위치 결정을 하는 것과는 대조해서, 실제로 주어진 비율관계가 측정된다.

이로 인하여 제거와 복귀를 임의로 행할 수 있으며 따라서 여러종류와 방법으로 재선별 또한 격실간격이 역시 상이한 매거진 사이에서 상호간도 그리고 또 매거진 내의 기준면에 대해서도 가능하게 된다.

빈 매거진도 임의로 채워질 수 있다. 매거진에서 돌출하고 있는 원판형상의 물체의 자리를 잡아 주기 위해서는 웨이퍼 반송장치가 설치되어 있으며 이것의 작용은 2차 센서의 센서신호에 결부되어 있으며 이 센서의 측정빔다발은 원판형상물체에 평행하게 향하여져 있으며, 매거진의 높이 조정시에는 그의 장입과 제거를 위하여 역할을 하는 면이 직접 인접해 있다.

웨이퍼 반송장치는 센서신호에 의해서 물체를 외부에서 잡아주지 않고서도 매거진 격실로 반송해 준다.

수동으로 잡아주지 않고도 매거진을 연속해서 운반 용기로 이송함을 보장하며 튀어나온 물체의 손상도 억제된다.

이의 취급에는 다지형(多肢型) 유니버살죠인트를 갖춘 처리장치가 사용되며 그의 회전축은 중공축으로 되어 있으며 그의 앞발은 원판형 물체를 잡아주기 위해서 진공홀더장치를 갖추고 있으며 이로부터 중공축에 있는 진공실과 직접 연결이 된다.

Claims (8)

1. 처리면에 대하여 높이에서 측정 가능하게 조정이되는 매거진 홀다와 가공목적 및 검사 목적을 위하여 대체로 처리면에 위치한 작업 스테이숀을 포함하는 국부적인 청정실의 핸들링면에서 원판형상의 물체를 처리하기 위한 장치에 있어서, 처리면은 매거진의 격실과 그안에 들어있는 원판형 물체에 의한 매거진들의 인덱싱을 하기 위하여 매거진 홀다를 구성부로 포함하고 있는 적어도 하나의 장치의 기준면에 대하여 구조상 고정된 관계에 있으며 중간보드위에 배열되어 있으며, 이 보드는 청정실을 두개의 아래위로 인접한 격실들로 나누는데 이들안에 공기흐름의 공기흐름 부분은 중간보드 위의 겹실로 부터 중간보드 아래의 격실속으로 향해져 있는것을 특징으로 하는 장치.
2. 제1항에 있어서, 공기 예비처리장치에 의해서 발생한 박판층상의 공기흐름은 공기 예비처리장치에 대항해 있으며, 청정실을 외측을 향하여 경계하고 있는 벽에 향해있으며 이 벽은 공기출구개구들을 가지고 있으며 중간보드 위의 전체단면적은 중간보드 아래의 전체 단면적보다 작데 되어 있는것을 특징으로 하는 장치.
3. 제2항에 있어서, 입구개구와 출구개구 사이에서 공동(plenum) 역할을 하는 공동하우싱내에서 흐름방향으로 서로 연이어 배열되어 있으며 축방향 통풍기와 필터를 포함하는 공기 예비처리장치에서, 입구개구와 축방향 통풍기는 관형상의 피복에 의해서 흐름방향에서 공동으로부터 공기출구까지 분리되어 있으며, 그리고 공기출구는 공기 흐름속에 설치되어 있으며 회전식 공기흐름 성분에 반작용을 하는 공기 안내면을 포함하는것을 특징으로 하는 장치.
4. 제3항에 있어서, 공기출구는 축방향 통풍기의 회전축에 대칭으로 비복과 연결된 판속으로 가공하여 들어간 원형구간형상의 단편들로 되어 있으며 이 단편들 속으로는 공기 안내면들이 횡방향 통풍기의 통풍기 날개에 평행하게 향하여져서 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
5. 제4항에 있어서, 인덱싱 장치는 송수신기로 되어 있는 광전자센서를 가지고 있으며 이것에 의해서 매거진 격실은 물론 원판형물체의 측정 기술적 파악이 기준면에 대한 그의 상대적 위치에서 이루어지는 것을 특징으로하는 장치.
6. 제5항에 있어서, 송수신기에서 나오고 있으며 그의 중간빔을 가지고 기준면 내에 놓여있는 측정 빔다발은 서로 마주보고 있으며 매거진 격실을 포함한 벽들을 관통하고 측정빔다발 위에 투사하고 있으며 매거진 내로 가리키고 있으며 격실을 형성하고 있는 벽들중의 하나의 돌출부들에 향하여져 있으며, 이 돌기들은 원판형물체의 지지판 역할을 하고 있고, 연속적으로 기준면과 공동위치를 취하는 연이어 있는 매거진 격실 방향으로의 높이를 조정에 의해서 측정빔다발의 변조에 의해서 매거진 격실은 물론 매거진 격실내에 들어있는 물체의 영상까지도 잡을 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
7. 제6항에 있어서, 매거진에서 튀어나온 원판형 물체의 자리를 잡아주기 위하여 웨이퍼 복귀장치가 설치되어 있으며, 그의 작동은 2차센서의 센서신호에 결부되어 있으며 그의 측정빔다발은 원판형 물체에 평행하게 흐르고 매거진의 높이 조정시엔 그의 제거 및 장입역할을 하는 면에게 직접 인접하여 있는것을 특징으로 하는 장치.
8. 제7항에 있어서, 처리를 하기 위하여 다지의 힌지암(hingearm)을 갖춘 처리장치가 사용되며 그의 회전축은 중공축으로 되어있으며, 그리고 원판형물체를 수취하기 위하여 전방유닛트는 진공홀딩 장치를 갖추고 있어서 이것으로부터 중공축에 형성되는 진공실까지 직접 연결이 되어 있는것을 특징으로 하는 장치.