WO2023100887A1 - 半導体発光装置および半導体発光ユニット - Google Patents

半導体発光装置および半導体発光ユニット Download PDF

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晃輝 坂本
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ローム株式会社
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    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
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    • HELECTRICITY
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    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management

Definitions

  • FIG. 9 is a circuit diagram of a laser system including the semiconductor light emitting device of the first embodiment.
  • FIG. 10 is a graph showing the results of heat conduction analysis for the semiconductor light emitting device of the comparative example when the thickness of the substrate is 0.3 mm.
  • FIG. 11 is a graph showing the results of heat conduction analysis for the semiconductor light emitting device of Comparative Example when the thickness of the substrate is 0.6 mm.
  • FIG. 12 is a graph showing the results of heat conduction analysis for the semiconductor light emitting device of the comparative example when the thickness of the substrate is 0.8 mm.
  • FIG. 13 is a graph showing a thermal conductivity analysis result for the semiconductor light emitting device of the first embodiment when the thickness of the substrate is 0.3 mm.
  • FIG. 10 is a graph showing the results of heat conduction analysis for the semiconductor light emitting device of the comparative example when the thickness of the substrate is 0.3 mm.
  • FIG. 11 is a graph showing the results of heat conduction analysis for the semiconductor light emitting device of Compar
  • the sealing resin 80 is arranged closer to the device front surface 11 than the device back surface 12 of the semiconductor light emitting device 10A.
  • the sealing resin 80 constitutes the device front surface 11 and a part of each of the first to fourth device side surfaces 13 to 16 in the z direction.
  • first sealing side 83 is flush with the first substrate side 23
  • second sealing side 84 is flush with the second substrate side 24
  • third sealing side 85 is flush with the third substrate side 24 . It is flush with the substrate side surface 25 and the fourth sealing side surface 86 is flush with the fourth substrate side surface 26 .
  • the size of the third surface-side wiring 33 in the y-direction is equal to the size of the fourth surface-side wiring 34 in the y-direction.
  • the difference between the y-direction size of the third surface-side wiring 33 and the y-direction size of the fourth surface-side wiring 34 is, for example, within 10% of the y-direction size of the third surface-side wiring 33
  • the size of the third surface wiring 33 in the y direction is equal to the size of the fourth surface wiring 34 in the y direction.
  • the size of each of the third surface-side wiring 33 and the fourth surface-side wiring 34 in the y-direction is smaller than the size of the second surface-side wiring 32 in the y-direction.
  • the end face through holes 51A and 51B are provided at positions different from the position overlapping the semiconductor light emitting element 60 when viewed from the y direction. More specifically, when viewed from the z-direction, the two end face through-holes 51A are arranged dispersedly on both sides of the semiconductor light-emitting element 60 in the x-direction. When viewed from the z direction, each end face through hole 51A is provided at a position adjacent to the semiconductor light emitting element 60 in the x direction. In this embodiment, the x-direction distance DPH between the end face through hole 51A and the semiconductor light emitting element 60 is smaller than the opening width of the end face through hole 51A (opening width W of the end face through hole 51).
  • the first internal through holes 54 are provided closer to the second substrate side surface 24 than the end face through holes 51A and 51B.
  • the first internal through hole 54 is provided between the two end face through holes 51A in the x direction.
  • the end face through holes 52A and the end face through holes 52B have the same shape and size. Moreover, in the present embodiment, the end face through holes 52A and 52B have the same shape and size as the end face through holes 51A and 51B.
  • the second electrode 71B of the switching element 71 is electrically connected to the third surface wiring 33 (the third rear surface wiring 43).
  • the anode electrode of the diode D is electrically connected to the first backside wiring 41 (first front side wiring 31), and the cathode electrode of the diode D is connected to the third backside wiring 43 (third front side wiring 33). electrically connected. Thereby, the diode D is connected in antiparallel to the semiconductor light emitting element 60 .
  • a semiconductor light emitting device of a comparative example is a semiconductor light emitting device 10A in which the end face through holes 51 (51A, 51B), 52A, 52B are omitted.
  • the layout and electrical connection of the semiconductor light emitting element 60, the switching element 71, and the capacitors 72 and 73 of the semiconductor light emitting device 10B are the same as those of the semiconductor light emitting device 10A of the first embodiment.
  • a surface side insulating layer 144 is provided on the substrate surface 21 of the substrate 20 .
  • the surface-side insulating layer 144 is formed to cover the entire substrate surface 21 . That is, the surface-side insulating layer 144 covers the surface-side wiring 140 .
  • openings exposing the surface-side wiring 140 are provided in the surface-side insulating layer 144 at locations where the semiconductor light-emitting element 60, the switching element 71, and the capacitors 72 and 73 are mounted.
  • the surface-side insulating layer 144 is made of an insulating material such as silicon dioxide (SiO 2 ).
  • the first to third internal through holes 161 to 163 are made of a conductive material (Cu in this embodiment). As shown in FIGS. 23 and 24, a heat dissipation material 164 is embedded inside the first to third internal through holes 161 to 163 . A heat dissipation material 164 is provided so as to fill the insides of the first to third internal through holes 161 to 163 .
  • Heat dissipation material 164 is made of, for example, a metal material. An example of a metallic material is Cu. That is, the heat dissipation material 164 may be made of the same material as the first to third internal through holes 161-164.
  • the number of each of the first to third internal through holes 161 to 163 can be changed arbitrarily.
  • the shape of each of the first to third internal through holes 161 to 163 as viewed from the z direction can be changed arbitrarily.
  • the shapes of the first to third internal through holes 161 to 163 viewed from the y direction may differ from each other.
  • the size of each of the first to third internal through holes 161 to 163 can be changed arbitrarily.
  • the sizes of the first through third internal through holes 161-163 may differ from each other.
  • the second wire W2 connects the end of the second electrode 71B (source electrode) of the switching element 71 in the z direction, which is closer to the lead pin 104A, and the connection portion 106A of the lead pin 104A. Connected. Thereby, the second electrode 71B of the switching element 71 and the lead pin 104A are electrically connected. Therefore, it can be said that the terminal portion 107A of the lead pin 104A constitutes a source terminal.
  • the fourth wire W4 connects the external connection wiring 143 and the connection portion 106C of the lead pin 104C.
  • the external connection wiring 143 is electrically connected to the second electrode 65 (cathode electrode) of the semiconductor light emitting element 60 via the third internal through-hole 163 , the first rear wiring 151 and the first front wiring 141 . there is Therefore, it can be said that the terminal portion 107C of the lead pin 104C constitutes a cathode terminal.
  • the intermediate wiring 300 has a first intermediate wiring 301, a second intermediate wiring 302, a third intermediate wiring 303, and a fourth intermediate wiring 304.
  • the first to fourth intermediate wirings 301 to 304 have the same shape as the first to fourth back side wirings 41 to 44 .
  • the first intermediate wiring 301 is provided at a position overlapping both the first rear surface wiring 41 and the first front surface wiring 31 when viewed in the z direction.
  • the second intermediate wiring 302 is provided at a position overlapping the second rear surface side wiring 42 when viewed in the z direction.
  • the third intermediate wiring 303 is provided at a position overlapping with both the third rear wiring 43 and the third front wiring 33 when viewed in the z direction.
  • the fourth intermediate wiring 304 is arranged at a position overlapping both the fourth rear surface wiring 44 and the fourth front surface wiring 34 when viewed in the z direction.
  • the shape of the fifth internal through-hole 310 viewed from the z-direction is circular.
  • the diameter of the fifth internal through hole 310 is equal to the diameters of the first through fourth internal through holes 54-57.
  • the maximum value of the difference between the diameter of the fifth internal through-hole 310 and the diameters of the first to fourth internal through-holes 54 to 57 is within 10% of the diameter of the fifth internal through-hole 310, the fifth internal through-hole 310 It can be said that the diameter of the internal through-hole 310 is equal to the diameter of the first to fourth internal through-holes 54-57.
  • end surface through holes 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51A, 51B is provided on the first substrate side surface 23 of the substrate 20.
  • end face through holes 51A and 51B penetrate both the front substrate 20A and the back substrate 20B in the z-direction, which is the thickness direction of the substrate 20, and extend through the first front wiring 31 and the first intermediate wiring. 301, and the first backside wiring 41 are connected.
  • the number of paths through which the heat of the semiconductor light emitting element 60 is released to the outside of the substrate 20 is increased by the end surface through holes 51C and 51D, so that the heat dissipation of the semiconductor light emitting device 10A can be further improved.
  • the volume of the heat transfer path for transferring heat from the semiconductor light emitting element 60 to the outside of the semiconductor light emitting device 10A can be increased by the heat dissipating material 59 embedded in the end face through holes 51C and 51D. Heat dissipation can be further improved.
  • the light emitting element control circuit 70 may be omitted.
  • the semiconductor light emitting devices 10A to 10C may include at least one of the diode D, the current limiting resistor R, and the driver circuit PM.
  • the light emitting element control circuit (70) has a switching element (71) for controlling current supplied to the semiconductor light emitting element (60),
  • the surface-side wiring (30) is a first surface wiring (31) on which the semiconductor light emitting device (60) is mounted; a second surface wiring (32) on which the switching element (71) is mounted; has
  • the backside wiring (40) is a first rear surface wiring (41) arranged at a position overlapping with the first surface wiring (31) when viewed from the thickness direction (z direction) of the substrate (20); a second rear surface wiring (42) arranged at a position overlapping with the second surface wiring (32) when viewed from the thickness direction (z direction) of the substrate (20); has The capacitor is connected between the first surface wiring (31) and the second surface wiring (32), 16.

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Abstract

半導体発光装置は、基板表面、基板表面とは反対側の基板裏面、および基板側面を有する基板と、基板表面に形成された表面側配線と、基板裏面に形成された裏面側配線と、所定方向に向けて光を出射する発光面としての発光素子側面を有し、表面側配線に実装された半導体発光素子と、を備えている。基板側面は、発光面となる発光素子側面と同じ側を向く第1基板側面と、第1基板側面とは反対側の第2基板側面と、を含んでいる。半導体発光素子は、第2基板側面よりも第1基板側面寄りに偏って配置されている。第1基板側面には、基板の厚さ方向において基板を貫通して表面側配線と裏面側配線とを繋ぐ端面スルーホールが設けられている。

Description

半導体発光装置および半導体発光ユニット
 本開示は、半導体発光装置および半導体発光ユニットに関する。
 半導体発光装置の種類の一つに、半導体発光素子をレーザ光源として備える半導体レーザ装置がある(たとえば特許文献1参照)。このような半導体レーザ装置は、様々な電子機器に搭載される光源装置として広く採用されている。
特開2016-29718号公報
 ところで、半導体発光装置の放熱について改善の余地がある。
 本開示の一態様である半導体発光装置は、基板表面、前記基板表面とは反対側の基板裏面、および基板側面を有する基板と、前記基板表面に形成された表面側配線と、前記基板裏面に形成された裏面側配線と、所定方向に向けて光を出射する発光面を有し、前記表面側配線に実装された半導体発光素子と、を備え、前記基板側面は、前記発光面と同じ側を向く第1基板側面と、前記第1基板側面とは反対側の第2基板側面と、を含み、前記半導体発光素子は、前記第2基板側面よりも前記第1基板側面寄りに偏って配置されており、前記第1基板側面には、前記基板の厚さ方向において前記基板を貫通して前記表面側配線と前記裏面側配線とを繋ぐ端面スルーホールが設けられている。
 本開示の一態様である半導体発光ユニットは、導電性のベースと、前記ベース上に立設し、上記半導体発光装置が搭載された導電性のヒートシンクと、を含むステムと、前記半導体発光装置と前記ヒートシンクとを囲むように前記ベース上に設けられた包囲部材と、を備える。
 上記半導体発光装置および半導体発光ユニットによれば、放熱性を向上させることができる。
図1は、第1実施形態の半導体発光装置の斜視図である。 図2は、図1の半導体発光装置の平面図である。 図3は、図1の半導体発光装置の基板の平面図である。 図4は、図3の基板の裏面図である。 図5は、半導体発光装置における図2に示すF5-F5線で切った断面図である。 図6は、図2の半導体発光素子およびその周辺の拡大図である。 図7は、図1の半導体発光装置の側面図である。 図8は、図7とは異なる方向から視た半導体発光装置の側面図である。 図9は、第1実施形態の半導体発光装置を備えたレーザシステムの回路図である。 図10は、比較例の半導体発光装置について、基板の厚さが0.3mmの場合の熱伝導解析結果を示すグラフである。 図11は、比較例の半導体発光装置について、基板の厚さが0.6mmの場合の熱伝導解析結果を示すグラフである。 図12は、比較例の半導体発光装置について、基板の厚さが0.8mmの場合の熱伝導解析結果を示すグラフである。 図13は、第1実施形態の半導体発光装置について、基板の厚さが0.3mmの場合の熱伝導解析結果を示すグラフである。 図14は、第1実施形態の半導体発光装置について、基板の厚さが0.6mmの場合の熱伝導解析結果を示すグラフである。 図15は、第1実施形態の半導体発光装置について、基板の厚さが0.8mmの場合の熱伝導解析結果を示すグラフである。 図16は、第2実施形態の半導体発光装置を備える半導体発光ユニットの斜視図である。 図17は、図16の半導体発光ユニットの概略断面図である。 図18は、図16の半導体発光ユニットのステムおよびリードピンを概略的に示す斜視図である。 図19は、図18とは反対側から視たステムおよびリードピンを概略的に示す斜視図である。 図20は、第2実施形態の半導体発光装置を概略的に示す平面図である。 図21は、図20の半導体発光装置の基板の平面図である。 図22は、図21の基板の裏面図である。 図23は、半導体発光装置を図20に示すF23-F23線で切った断面図である。 図24は、半導体発光装置を図20に示すF24-F24線で切った断面図である。 図25は、図20の半導体発光素子およびその周辺の拡大図である。 図26は、第3実施形態の半導体発光装置の斜視図である。 図27は、図26の半導体発光装置の概略的な側面図である。 図28は、図26の半導体発光装置の基板における表面側基板の平面図である。 図29は、図28の基板における裏面側基板の平面図である。 図30は、図29の裏面側基板の裏面図である。 図31は、半導体発光装置を図28に示すF31-F31線で切った概略的な断面図である。 図32は、変更例の半導体発光装置における半導体発光素子およびその周辺を拡大した概略的な平面図である。 図33は、変更例の半導体発光装置における半導体発光素子およびその周辺を拡大した概略的な平面図である。 図34は、変更例の半導体発光装置における半導体発光素子およびその周辺を拡大した概略的な平面図である。 図35は、変更例の半導体発光装置における半導体発光素子およびその周辺を拡大した概略的な平面図である。 図36は、変更例の半導体発光装置の概略的な側面図である。 図37は、変更例の半導体発光装置の概略的な平面図である。 図38は、変更例の半導体発光装置の基板における表面側基板の平面図である。 図39は、図38の基板における裏面側基板の平面図である。 図40は、図39の裏面側基板の裏面図である。 図41は、変更例の半導体発光装置の概略的な平面図である。 図42は、変更例の半導体発光装置における基板を構成する材料がガラスエポキシ樹脂の場合の熱伝導解析結果を示すグラフである。 図43は、変更例の半導体発光装置における基板を構成する材料がアルミナの場合の熱伝導解析結果を示すグラフである。 図44は、変更例の半導体発光装置における基板を構成する材料が窒化アルミニウムの場合の熱伝導解析結果を示すグラフである。
 以下、添付図面を参照して本開示の半導体発光装置および半導体発光ユニットの実施形態を説明する。なお、説明を簡単かつ明確にするため、図面に示される構成要素は必ずしも一定の縮尺で描かれていない。また、理解を容易にするため、断面図では、ハッチング線が省略されている場合がある。添付図面は、本開示の実施形態を例示するものに過ぎず、本開示を制限するものとみなされるべきではない。
 以下の詳細な記載は、本開示の例示的な実施形態を具体化する装置、システム、および方法を含む。この詳細な記載は、本来説明のためのものに過ぎず、本開示の実施形態またはこのような実施形態の適用および使用を限定することを意図していない。
 [第1実施形態]
 図1~図8を参照して、第1実施形態の半導体発光装置の構成について説明する。なお、図2および図6~図8では、説明の便宜上、後述する封止樹脂80を省略して示している。図1、図7、および図8では、説明の便宜上、後述する裏面側絶縁層45を省略して示している。また、図6~図8では、説明の便宜上、後述する第1ワイヤW1を省略して示している。
 図1に示す半導体発光装置10Aは、たとえば3次元距離計測の一例であるLiDAR(Light Detection and Ranging、Laser Imaging Detection and Ranging)としてのレーザシステムに用いることができる。なお、半導体発光装置10Aは、2次元距離計測用のレーザシステムに用いられてもよい。
 図1に示すように、半導体発光装置10Aは、矩形平板状に形成されている。半導体発光装置10Aは、互いに反対側を向く装置表面11および装置裏面12と、装置表面11および装置裏面12の双方と交差する方向を向く第1~第4装置側面13~16と、を有している。本実施形態では、第1~第4装置側面13~16は、装置表面11および装置裏面12の双方と直交する方向を向いている。
 装置表面11および装置裏面12は、互いに離間して配置されている。本実施形態では、装置表面11と装置裏面12との配列方向をz方向とする。z方向は、半導体発光装置10Aの高さ方向(厚さ方向)であるともいえる。なお、z方向に直交する方向のうち互いに直交する2方向をそれぞれx方向およびy方向とする。
 本実施形態では、第1装置側面13および第2装置側面14は半導体発光装置10Aのx方向の両端面を構成し、第3装置側面15および第4装置側面16は半導体発光装置10Aのy方向の両端面を構成している。z方向から視て、第1装置側面13および第2装置側面14はx方向に沿った面であり、第3装置側面15および第4装置側面16はy方向に沿った面である。第1装置側面13および第2装置側面14はy方向において互いに反対側を向く面であり、第3装置側面15および第4装置側面16はx方向において互いに反対側を向く面である。本実施形態では、z方向から視た半導体発光装置10Aの形状は、正方形である。
 図1に示すように、半導体発光装置10Aは、基板20を備えている。基板20は、電気的絶縁材料によって形成されている。本実施形態では、基板20は、たとえばガラスエポキシ樹脂を含む材料によって形成されている。図1に示すとおり、基板20は、z方向を厚さ方向とした矩形平板状に形成されている。本実施形態では、z方向から視た基板20の形状は、正方形である。基板20の厚さは、たとえば0.3mm以上0.8mm以下である。z方向において、基板20は、半導体発光装置10Aのうち装置表面11よりも装置裏面12の近くに配置されている。基板20は、第1~第4装置側面13~16のそれぞれのz方向の一部を構成している。
 より詳細には、基板20は、基板表面21、基板表面21とは反対側の基板裏面22、および基板側面として第1~第4基板側面23~26を有している。基板表面21は装置表面11と同じ側を向き、基板裏面22は装置裏面12と同じ側を向いている。第1基板側面23は第1装置側面13と同じ側を向き、第2基板側面24は第2装置側面14と同じ側を向き、第3基板側面25は第3装置側面15と同じ側を向き、第4基板側面26は第4装置側面16と同じ側を向いている。第1基板側面23は第1装置側面13のz方向における装置裏面12寄りの一部を構成し、第2基板側面24は第2装置側面14のz方向における装置裏面12寄りの一部を構成し、第3基板側面25は第3装置側面15のz方向における装置裏面12寄りの一部を構成し、第4基板側面26は第4装置側面16のz方向における装置裏面12寄りの一部を構成している。
 本実施形態では、基板20上に形成された封止樹脂80をさらに備えている。このように、半導体発光装置10Aの外面は、基板20と封止樹脂80とによって構成されている。封止樹脂80は、透光性の樹脂材料によって形成されている。封止樹脂80を構成する材料の一例は、透光性を有するエポキシ樹脂である。なお、封止樹脂80を構成する材料は、透光性を有するアクリル樹脂であってもよい。封止樹脂80は、z方向を厚さ方向とした矩形平板状に形成されている。本実施形態では、封止樹脂80の厚さは、基板20の厚さと等しい。ここで、封止樹脂80の厚さと基板20の厚さとの差がたとえば封止樹脂80の厚さの10%以内であれば、封止樹脂80の厚さが基板20の厚さと等しいといえる。なお、封止樹脂80の厚さは任意に変更可能である。一例では、封止樹脂80の厚さは、基板20の厚さよりも厚くてもよい。また一例では、封止樹脂80の厚さは、基板20の厚さよりも薄くてもよい。
 z方向において、封止樹脂80は、半導体発光装置10Aのうち装置裏面12よりも装置表面11の近くに配置されている。封止樹脂80は、装置表面11と、第1~第4装置側面13~16のそれぞれのz方向の一部と、を構成している。
 より詳細には、封止樹脂80は、封止表面81、封止表面81とは反対側の封止裏面82、および第1~第4封止側面83~86を有している。封止表面81は基板表面21と同じ側を向き、封止裏面82は基板裏面22と同じ側を向いている。封止表面81は、装置表面11を構成している。封止裏面82は、基板表面21と密着している。第1封止側面83は第1装置側面13と同じ側を向き、第2封止側面84は第2装置側面14と同じ側を向き、第3封止側面85は第3装置側面15と同じ側を向き、第4封止側面86は第4装置側面16と同じ側を向いている。第1封止側面83は第1装置側面13のz方向における装置表面11寄りの一部を構成している。第2封止側面84は第2装置側面14のz方向における装置表面11寄りの一部を構成している。第3封止側面85は第3装置側面15のz方向における装置表面11寄りの一部を構成している。第4封止側面86は第4装置側面16のz方向における装置表面11寄りの一部を構成している。つまり、第1装置側面13は第1封止側面83と第1基板側面23とから構成されている。第2装置側面14は第2封止側面84と第2基板側面24とから構成されている。第3装置側面15は第3封止側面85と第3基板側面25とから構成されている。第4装置側面16は第4封止側面86と第4基板側面26とから構成されている。
 本実施形態では、第1封止側面83は第1基板側面23と面一であり、第2封止側面84は第2基板側面24と面一であり、第3封止側面85は第3基板側面25と面一であり、第4封止側面86は第4基板側面26と面一である。
 図1~図4に示すように、半導体発光装置10Aは、基板表面21に形成された表面側配線30と、基板裏面22に形成された裏面側配線40(図4参照)と、表面側配線30に実装された半導体発光素子60と、を備えている。半導体発光装置10Aは、表面側配線30に実装された発光素子制御回路70をさらに備えている。発光素子制御回路70は、半導体発光素子60を発光させる回路であり、本実施形態ではスイッチング素子71および2個のキャパシタ72,73を含んでいる。図1に示すとおり、表面側配線30、半導体発光素子60、および発光素子制御回路70はそれぞれ、封止樹脂80によって封止されている。ここで、キャパシタ72は「第1キャパシタ」に対応し、キャパシタ73は「第2キャパシタ」に対応している。
 図2に示すように、表面側配線30は、半導体発光素子60、スイッチング素子71、およびキャパシタ72,73と電気的に接続される配線である。表面側配線30は、たとえば金属層と、金属層に積層されためっき層とによって構成されている。金属層は、たとえばTi(チタン)層によって構成されたシード層と、Cu(銅)層によって構成された配線層との積層体によって構成されている。配線層はシード層上に形成されている。配線層上にはめっき層が形成されている。めっき層は、たとえばNi(ニッケル)層、Pd(パラジウム)層、およびAu(金)層の積層体によって構成されている。
 図2および図3に示すように、表面側配線30は、第1表面側配線31、第2表面側配線32、第3表面側配線33、および第4表面側配線34を含んでいる。z方向から視て、第1~第4表面側配線31~34は、互いに離間して配置されている。
 第1表面側配線31は、半導体発光素子60が搭載される配線である。第1表面側配線31は、基板表面21のy方向の両端部のうち第1基板側面23に近い方の端部に配置されている。第1表面側配線31は、x方向において基板表面21の大部分にわたり延びている。第1表面側配線31のy方向の両端部のうち第2基板側面24に近い方の端部は、そのx方向の中央においてy方向のうち第1基板側面23に向けて凹む凹部31Aを有している。本実施形態では、凹部31Aは、そのx方向の大きさが第1基板側面23に向けて徐々に小さくなるように形成されている。なお、凹部31Aの形状は任意に変更可能である。
 半導体発光素子60は、第1表面側配線31のx方向の中央に搭載されている。より詳細には、半導体発光素子60は、はんだペーストまたはAg(銀)ペーストなどの導電性接合材SD1によって第1表面側配線31のx方向の中央に接合されている。これにより、半導体発光素子60と第1表面側配線31とは電気的に接続されている。
 図2に示すとおり、半導体発光素子60は、第2基板側面24よりも第1基板側面23寄りに偏って配置されている。半導体発光素子60は、基板表面21のy方向の両端部のうち第1基板側面23に近い方の端部に配置されているともいえる。
 第2表面側配線32は、スイッチング素子71が搭載される配線である。第2表面側配線32は、基板表面21のy方向の中央に配置されている。第2表面側配線32は、x方向において基板表面21の大部分にわたり延びている。z方向から視た第2表面側配線32の面積は、z方向から視た第1表面側配線31、第3表面側配線33、および第4表面側配線34の面積よりも大きい。第2表面側配線32は、そのx方向の中央において第1基板側面23(第1表面側配線31)に向けて突出する突出部32Aを有している。z方向から視た突出部32Aの形状は、第1基板側面23(第1表面側配線31)に向かうにつれて先細る台形状である。突出部32Aは、第1表面側配線31の凹部31Aに入り込むように形成されている。なお、突出部32Aの形状は、任意に変更可能である。
 スイッチング素子71は、半導体発光素子60に供給される電流を制御する半導体素子である。スイッチング素子71は、たとえばトランジスタである。本実施形態では、スイッチング素子71としてMOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)が用いられている。
 スイッチング素子71は、第2表面側配線32のx方向の中央に搭載されている。より詳細には、スイッチング素子71は、はんだペーストまたはAgペーストなどの導電性接合材SD2によって第2表面側配線32のx方向の中央に接合されている。これにより、スイッチング素子71と第2表面側配線32とは電気的に接続されている。
 第3表面側配線33はおよび第4表面側配線34の双方は、スイッチング素子71と電気的に接続される配線である。第3表面側配線33および第4表面側配線34の双方は、y方向において第2表面側配線32に対して第1表面側配線31とは反対側に配置されている。第3表面側配線33および第4表面側配線34の双方は、基板表面21において第2表面側配線32よりも第2基板側面24の近くに配置されているともいえる。本実施形態では、第3表面側配線33および第4表面側配線34の双方は、基板表面21のy方向の両端部のうち第2基板側面24に近い方の端部に配置されている。第3表面側配線33および第4表面側配線34は、y方向において互いに揃った状態でx方向において互いに離間して配列されている。第3表面側配線33は、x方向において第4表面側配線34よりも第3基板側面25の近くに配置されている。
 本実施形態では、第3表面側配線33のy方向の大きさは、第4表面側配線34のy方向の大きさと等しい。ここで、第3表面側配線33のy方向の大きさと第4表面側配線34のy方向の大きさとの差がたとえば第3表面側配線33のy方向の大きさの10%以内であれば、第3表面側配線33のy方向の大きさが第4表面側配線34のy方向の大きさと等しいといえる。第3表面側配線33および第4表面側配線34のそれぞれのy方向の大きさは、第2表面側配線32のy方向の大きさよりも小さい。また、第3表面側配線33のx方向の大きさは、第4表面側配線34のx方向の大きさよりも大きい。第3表面側配線33のx方向の両端部のうち第4表面側配線34に近い方の端部は、y方向から視てスイッチング素子71と重なる位置に配置されている。第4表面側配線34のx方向の両端部のうち第3表面側配線33に近い方の端部は、y方向から視てスイッチング素子71と重なる位置に配置されている。
 次に、半導体発光素子60、スイッチング素子71、およびキャパシタ72,73の構成および配置態様について説明する。
 図1に示すように、半導体発光素子60は、平板状に形成されている。図2に示すように、z方向から視た半導体発光素子60の形状は、長辺および短辺を有する矩形状である。図5に示すように、半導体発光素子60は、z方向において互いに反対側を向く発光素子表面61および発光素子裏面62と、発光素子表面61および発光素子裏面62を接続する4つの発光素子側面63と、を有している。本実施形態では、各発光素子側面63は、発光素子表面61と発光素子裏面62との双方に直交する面である。4つの発光素子側面63のうち1つの発光素子側面63Aは、発光面を構成している。つまり、半導体発光素子60は、発光素子側面63Aから光を出射するように構成されている。換言すると、半導体発光素子60は、所定方向に向けて光を出射する発光面(発光素子側面63A)を有している。z方向から視て、発光素子側面63Aは、基板20の第1基板側面23と同じ側を向いている。このため、第1基板側面23は、半導体発光素子60の光の照射方向を向いているといえる。つまり、第1基板側面23は、半導体発光素子60の発光面(発光素子側面63A)と同じ側を向いている。
 発光素子表面61は、基板表面21と同じ側を向く面である。発光素子表面61にはアノード電極となる第1電極64が形成されている。本実施形態では、第1電極64は、発光素子表面61の概ね全体にわたり形成されている。
 発光素子裏面62は、基板裏面22と同じ側を向く面である。発光素子裏面62は、第1表面側配線31と対面する面であるともいえる。発光素子裏面62にはカソード電極となる第2電極65が形成されている。本実施形態では、第2電極65は、発光素子裏面62の概ね全体にわたり形成されている。第2電極65は、導電性接合材SD1を介して第1表面側配線31と電気的に接続されている。
 図2に示すように、本実施形態では、半導体発光素子60は、その長辺がy方向に沿い、その短辺がx方向に沿うように第1表面側配線31に搭載されている。より詳細には、半導体発光素子60は、発光面となる発光素子側面63Aが第1基板側面23側を向くように第1表面側配線31に搭載されている。このように、半導体発光装置10Aは、側面発光型の発光装置である。
 y方向から視て、半導体発光素子60は、第1表面側配線31の凹部31Aと重なる位置に配置されている。本実施形態では、凹部31Aのx方向の大きさの最小値、換言すると、凹部31Aの底面のx方向の大きさは、半導体発光素子60のx方向(短辺)の大きさよりも大きい。半導体発光素子60のy方向(長辺)の長さは、第1表面側配線31のx方向の中央におけるy方向の長さよりも僅かに小さい。
 図1に示すように、スイッチング素子71は、平板状に形成されている。図5に示すように、スイッチング素子71の厚さは、半導体発光素子60の厚さよりも厚い。スイッチング素子71は、z方向において互いに反対側を向くスイッチング素子表面71sおよびスイッチング素子裏面71rを有している。
 スイッチング素子表面71sは、基板表面21と同じ側を向く面である。図2に示すように、スイッチング素子表面71sには、第2電極71Bおよび制御電極71Cが形成されている。本実施形態では、第2電極71Bはソース電極であり、制御電極71Cはゲート電極である。第2電極71Bは、スイッチング素子表面71sの大部分にわたり形成されている。制御電極71Cは、スイッチング素子表面71sの四隅のうちの1つの隅に形成されている。本実施形態では、制御電極71Cは、スイッチング素子表面71sの四隅のうち第4表面側配線34に最も近い隅に形成されている。
 図5に示すように、スイッチング素子裏面71rは、基板裏面22と同じ側を向く面である。スイッチング素子裏面71rは、第2表面側配線32と対面する面であるともいえる。スイッチング素子裏面71rには、第1電極71Aが形成されている。本実施形態では、第1電極71Aは、ドレイン電極である。第1電極71Aは、導電性接合材SD2を介して第2表面側配線32と電気的に接続されている。このように、本実施形態のスイッチング素子71には、縦型構造のMOSFETが用いられている。
 図2に示すように、z方向から視たスイッチング素子71の形状は、長辺および短辺を有する矩形状である。スイッチング素子71の短辺の大きさは、半導体発光素子60の短辺の大きさよりも大きい。スイッチング素子71の長辺の大きさは、半導体発光素子60の長辺の大きさよりも大きい。本実施形態では、スイッチング素子71は、その長辺がy方向に沿い、その短辺がx方向に沿うように第2表面側配線32に搭載されている。
 スイッチング素子71は、x方向において第2表面側配線32の突出部32Aと同じ位置に配置されている。本実施形態では、スイッチング素子71のx方向(短辺)の大きさは、突出部32Aのx方向の大きさの最大値よりも僅かに小さい。スイッチング素子71のx方向の大きさは、突出部32Aのx方向の大きさの最小値、換言すると突出部32Aの先端縁のx方向の大きさよりも大きい。
 スイッチング素子71は、y方向から視て、半導体発光素子60と重なる位置に配置されている。y方向から視て、半導体発光素子60は、その全体がスイッチング素子71と重なるように配置されている。スイッチング素子71は、半導体発光素子60に対して第2基板側面24寄りに間隔をあけて配置されている。このように、y方向は、半導体発光素子60とスイッチング素子71との配列方向であるといえる。このため、本実施形態では、y方向は「第1方向」に対応している。また、x方向は「第2方向」に対応している。
 半導体発光素子60の第1電極64とスイッチング素子71の第2電極71Bとは、1または複数本(本実施形態では4本)の第1ワイヤW1によって電気的に接続されている。複数本の第1ワイヤW1のうちx方向に隣り合う第1ワイヤW1の間の隙間は、z方向から視て、半導体発光素子60からスイッチング素子71に向かうにつれて大きくなる。
 スイッチング素子71の第2電極71Bと第3表面側配線33とは、1または複数本(本実施形態では2本)の第2ワイヤW2によって電気的に接続されている。スイッチング素子71の制御電極71Cと第4表面側配線34とは、1または複数本(本実施形態では1本)の第3ワイヤW3によって電気的に接続されている。
 第1~第3ワイヤW1~W3は、ワイヤボンディング装置によって形成されるボンディングワイヤであり、たとえばAu(金),Al(アルミニウム),Cu等の導体によって形成されている。本実施形態では、第1~第3ワイヤW1~W3は、互いに同一の材料(たとえばCu)によって形成されている。なお、第1~第3ワイヤW1~W3を構成する材料はそれぞれ任意に変更可能である。たとえば、第1~第3ワイヤW1~W3は、互いに異なる材料によって形成されていてもよい。
 キャパシタ72,73は、スイッチング素子71と協働して半導体発光素子60に電流を供給する電子部品である。図1に示すように、キャパシタ72,73は、略直方体状に形成されている。図2に示すように、z方向から視たキャパシタ72,73の形状は、長辺および短辺を有する矩形状である。
 キャパシタ72,73は、第1電極72A,73Aおよび第2電極72B,73Bを有している。キャパシタ72の第1電極72Aおよび第2電極72Bは、z方向から視て、キャパシタ72の長辺方向の両端部に分散して形成されている。キャパシタ73の第1電極73Aおよび第2電極73Bは、z方向から視て、キャパシタ73の長辺方向の両端部に分散して形成されている。本実施形態では、キャパシタ72,73の形状およびサイズは互いに同一である。また、キャパシタ72,73の容量は、互いに等しい。
 キャパシタ72,73は、第1表面側配線31と第2表面側配線32との間を跨るように配置されている。キャパシタ72,73は、はんだペーストまたはAgペーストなどの導電性接合材SD3によって第1表面側配線31と第2表面側配線32との双方に接合されている。より詳細には、キャパシタ72,73は、長辺がy方向に沿い、短辺がx方向に沿うように配置されている。z方向から視て、キャパシタ72,73の第1電極72A,73Aは、導電性接合材SD3によって第1表面側配線31に接合されている。これにより、第1電極72A,73Aは、第1表面側配線31と電気的に接続されている。z方向から視て、キャパシタ72,73の第2電極72B,73Bは、導電性接合材SD3によって第2表面側配線32に接合されている。これにより、第2電極72B,73Bは、第2表面側配線32と電気的に接続されている。このように、キャパシタ72,73の第1電極72A,73Aは、第1表面側配線31を通じて半導体発光素子60の第2電極65と電気的に接続されている。キャパシタ72,73の第2電極72B,73Bは、第2表面側配線32を通じてスイッチング素子71の第1電極71Aと電気的に接続されている。
 キャパシタ72,73は、半導体発光素子60およびスイッチング素子71の双方のx方向の両側に分散して配置されている。より詳細には、キャパシタ72,73は、x方向から視て、半導体発光素子60およびスイッチング素子71の双方と重なる位置に配置されている。キャパシタ72は、半導体発光素子60およびスイッチング素子71と第3基板側面25とのx方向の間に配置されている。キャパシタ73は、半導体発光素子60およびスイッチング素子71と第4基板側面26とのx方向の間に配置されている。
 キャパシタ72とキャパシタ73とのx方向の間の距離は、スイッチング素子71の第1基板側面23に沿う方向であるx方向に沿う一辺(本実施形態ではスイッチング素子71の短辺)よりも大きく、スイッチング素子71のy方向に沿う一辺(本実施形態ではスイッチング素子71の長辺)よりも小さい。ここで、スイッチング素子71の短辺は「スイッチング素子の第1辺」に対応し、スイッチング素子71の長辺は「スイッチング素子の第2辺」に対応している。
 図6に示すように、本実施形態では、キャパシタ72は、x方向において第3基板側面25よりも半導体発光素子60およびスイッチング素子71の近くに配置されている。キャパシタ73は、x方向において第4基板側面26よりも半導体発光素子60およびスイッチング素子71の近くに配置されている。より詳細には、キャパシタ72と半導体発光素子60とのx方向の間の距離DPC1は、キャパシタ72と第3基板側面25とのx方向の間の距離DB1よりも小さい。キャパシタ72とスイッチング素子71とのx方向の間の距離DSC1は、キャパシタ72と第3基板側面25とのx方向の間の距離DB1よりも小さい。また、キャパシタ72とスイッチング素子71とのx方向の間の距離DSC1は、キャパシタ72と半導体発光素子60とのx方向の間の距離DPC1よりも小さい。キャパシタ73と半導体発光素子60とのx方向の間の距離DPC2は、キャパシタ73と第4基板側面26とのx方向の間の距離DB2よりも小さい。キャパシタ73とスイッチング素子71とのx方向の間の距離DSC2は、キャパシタ73と第4基板側面26とのx方向の間の距離DB2よりも小さい。また、キャパシタ73とスイッチング素子71とのx方向の間の距離DSC2は、キャパシタ73と半導体発光素子60とのx方向の間の距離DPC2よりも小さい。
 本実施形態では、距離DSC2は、距離DSC1と等しい。ここで、距離DSC2と距離DSC1との差がたとえば距離DSC1の10%以内であれば、距離DSC2が距離DSC1と等しいといえる。また本実施形態では、距離DPC1は、距離DPC2と等しい。ここで、距離DPC1と距離DPC2との差がたとえば距離DPC2の10%以内であれば、距離DPC1が距離DPC2と等しいといえる。
 キャパシタ72,73は、y方向において半導体発光素子60に対して第2基板側面24寄りにずれて配置されている。より詳細には、キャパシタ72,73の第1電極72A,73Aは、y方向において半導体発光素子60の発光面となる発光素子側面63Aに対して第2基板側面24寄りにずれて配置されている。このため、第1電極72A,73Aと第1基板側面23とのy方向の間の距離DA1,DA2は、発光素子側面63Aと第1基板側面23とのy方向の間の距離DPよりも大きい。換言すると、発光素子側面63Aと第1基板側面23とのy方向の間の距離DPは、第1電極72A,73Aと第1基板側面23とのy方向の間の距離DA1,DA2よりも小さい。ここで、距離DPは、半導体発光素子60から出射した光が基板20の基板表面21に当たらないような距離に設定されている。
 図2に示すように、キャパシタ72,73は、y方向においてスイッチング素子71に対して第1基板側面23寄りにずれて配置されている。より詳細には、キャパシタ72,73の第2電極72B,73Bの第2基板側面24とのy方向の間の距離は、スイッチング素子71と第2基板側面24とのy方向の間の距離よりも大きい。
 このように、キャパシタ72はスイッチング素子71に対して第3基板側面25寄りに隣り合う位置に配置される一方、キャパシタ73はスイッチング素子71に対して第4基板側面26寄りに隣り合う位置に配置されている。これにより、スイッチング素子71のうち第1基板側面23寄りの部分をキャパシタ72,73のx方向の間に位置させたうえでスイッチング素子71が半導体発光素子60に近い位置に配置されている。このため、基板20の基板表面21上においてスイッチング素子71と半導体発光素子60との離間距離が短くなる。これにより、半導体発光素子60とスイッチング素子71とを結ぶ配線経路(第1ワイヤW1)の長さを短くすることができるので、この配線経路の寄生インダクタンスの影響を抑制できる。
 また、キャパシタ72とキャパシタ73とは、基板表面21上で半導体発光素子60およびスイッチング素子71に対して対称的に配置されている。これにより、キャパシタ72からスイッチング素子71を経て半導体発光素子60に電流が流れるループ状の第1配線経路と、キャパシタ73からスイッチング素子71を経て半導体発光素子60に電流が流れるループ状の第2配線経路とが半導体発光素子60およびスイッチング素子71に対して対称的に形成されている。
 なお、図5および図6に示すように、第1配線経路は、キャパシタ72の第2電極72Bとスイッチング素子71の第1電極71A(ドレイン電極)とを接続する第1経路と、スイッチング素子71の第2電極71B(ソース電極)と半導体発光素子60の第1電極64(アノード電極)とを接続する第1ワイヤW1と、半導体発光素子60の第2電極65(カソード電極)とキャパシタ72の第1電極72Aとを接続する第2経路と、を含む。第1経路は、第2表面側配線32、導電性接合材SD2、および導電性接合材SD3を含む。第2経路は、第1表面側配線31、導電性接合材SD1、および導電性接合材SD3を含む。
 また、第2配線経路は、キャパシタ73の第2電極73Bとスイッチング素子71の第1電極71A(ドレイン電極)とを接続する第3経路と、スイッチング素子71の第2電極71B(ソース電極)と半導体発光素子60の第1電極64(アノード電極)とを接続する第1ワイヤW1と、半導体発光素子60の第2電極65(カソード電極)とキャパシタ73の第1電極73Aとを接続する第4経路と、を含む。第3経路は、第2表面側配線32、導電性接合材SD2、および導電性接合材SD3を含む。第4経路は、第1表面側配線31、導電性接合材SD1、および導電性接合材SD3を含む。
 このように、第1配線経路と第2配線経路とが対称的に配置されることによって、第1配線経路を流れる電流によって形成される磁束と、第2配線経路を流れる電流によって形成される磁束とが互いに打ち消し合うようになる。これにより、第1配線経路に存在する寄生インダクタンスおよび第2配線経路に存在する寄生インダクタンスの双方を低減することができる。
 図4に示すように、裏面側配線40は、半導体発光装置10Aがたとえば回路基板に実装されるときに回路基板の配線等と電気的に接続するための外部端子となる配線である。裏面側配線40は、装置裏面12の一部を構成している。つまり、装置裏面12は、半導体発光装置10Aがたとえば回路基板に実装されるときの実装面となる。このように、本実施形態では、半導体発光装置10Aは、表面実装型のパッケージ構造を有している。
 裏面側配線40は、表面側配線30と同様にたとえば金属層と、金属層に積層されためっき層とによって構成されている。基板20の基板裏面22には、裏面側配線40を露出させた状態で基板裏面22を覆う裏面側絶縁層45が設けられている。裏面側絶縁層45は、たとえば防水の絶縁コーティング材によって形成されている。絶縁コーティング材としては、たとえば二酸化ケイ素(SiO)等の絶縁材料が用いられる。裏面側絶縁層45は、装置裏面12の一部を構成している。つまり、装置裏面12は、裏面側配線40および裏面側絶縁層45によって構成されている。
 裏面側配線40は、第1裏面側配線41、第2裏面側配線42、第3裏面側配線43、および第4裏面側配線44を含んでいる。
 第1裏面側配線41は、第1表面側配線31(図2参照)と電気的に接続される配線である。つまり、第1裏面側配線41は、半導体発光素子60の第2電極65(カソード電極)およびキャパシタ72,73の第1電極72A,73A(ともに図2参照)のそれぞれと電気的に接続される配線である。
 第1裏面側配線41は、基板裏面22のy方向の両端部のうち第1基板側面23に近い方の端部に配置されている。z方向から視て、第1裏面側配線41は、第1表面側配線31と重なる位置に配置されている。第1裏面側配線41は、x方向において基板表面21の大部分にわたり延びている。z方向から視た第1裏面側配線41の形状は、x方向が長辺となり、y方向が短辺となる矩形状である。
 第2裏面側配線42は、第2表面側配線32(図2参照)と電気的に接続される配線である。つまり、第2裏面側配線42は、スイッチング素子71の第1電極71A(ドレイン電極)およびキャパシタ72,73の第2電極72B,73B(ともに図2参照)のそれぞれと電気的に接続される配線である。
 第2裏面側配線42は、基板裏面22のy方向の中央に配置されている。z方向から視て、第2裏面側配線42は、第2表面側配線32と重なる位置に配置されている。第2裏面側配線42は、x方向において基板裏面22の大部分にわたり延びている。z方向から視た第2裏面側配線42の形状は、x方向が長辺となり、y方向が短辺となる矩形状である。z方向から視た第2裏面側配線42の面積は、z方向から視た第1表面側配線31、第3表面側配線33、および第4表面側配線34の面積よりも大きい。
 第3裏面側配線43は、第3表面側配線33(図2参照)と電気的に接続される配線である。つまり、第3裏面側配線43は、スイッチング素子71の第2電極71B(ソース電極、図2参照)と電気的に接続される配線である。
 第4裏面側配線44は、第4表面側配線34(図2参照)と電気的に接続される配線である。つまり、第4裏面側配線44は、スイッチング素子71の制御電極71C(ゲート電極、図2参照)と電気的に接続される配線である。
 第3裏面側配線43および第4裏面側配線44の双方は、基板裏面22のy方向の両端部のうち第2基板側面24に近い方の端部に配置されている。第3裏面側配線43および第4裏面側配線44は、y方向において互いに揃った状態でx方向において互いに離間して配列されている。第3裏面側配線43は、x方向において第4裏面側配線44よりも第3基板側面25の近くに配置されている。z方向から視て、第3裏面側配線43は、第3表面側配線33と重なる位置に配置されている。z方向から視て、第4裏面側配線44は、第4表面側配線34と重なる位置に配置されている。
 本実施形態では、第3裏面側配線43のx方向の大きさおよびy方向の大きさは、第3表面側配線33のx方向の大きさおよびy方向の大きさと等しい。第4裏面側配線44のx方向の大きさおよびy方向の大きさは、第4表面側配線34のx方向の大きさおよびy方向の大きさと等しい。
 図5に示すように、本実施形態では、第1~第4裏面側配線41~44の外表面のそれぞれには、めっき層46が形成されている。めっき層46は、はんだまたはAgペーストなどの導電性接合材によって半導体発光装置10Aが回路基板に実装される場合、導電性接合材が接する部分となる。めっき層46は、互いに積層された複数の金属層を含んでいる。これら金属層としては、たとえばNi層、Pd層、およびAu層である。
 図3および図4に示すように、半導体発光装置10Aは、表面側配線30と裏面側配線40とを繋ぐ内部スルーホール53を備えている。z方向から視て、内部スルーホール53は、基板20の第1~第4基板側面23~26よりも内方に設けられている。内部スルーホール53は、第1内部スルーホール54、第2内部スルーホール55、第3内部スルーホール56、および第4内部スルーホール57を含んでいる。
 本実施形態では、z方向から視た第1~第4内部スルーホール54~57の形状は、円形である。つまり、第1~第4内部スルーホール54~57は、円筒状に形成されている。また、本実施形態では、第1~第4内部スルーホール54~57の大きさ(第1~第4内部スルーホール54~57の直径)は互いに等しい。ここで、第1~第4内部スルーホール54~57の大きさの差の最大値がたとえば第1内部スルーホール54の大きさの10%以内であれば、第1~第4内部スルーホール54~57の大きさが互いに等しいといえる。
 第1~第4内部スルーホール54~57は、導電材料によって形成されている。本実施形態では、第1~第4内部スルーホール54~57は、Cuによって形成されている。第1~第4内部スルーホール54~57の内部には、放熱材58が設けられている。放熱材58は、第1~第4内部スルーホール54~57の内部を埋めるように設けられている。放熱材58は、たとえば金属材料によって形成されている。金属材料の一例は、Cuである。つまり、放熱材58は、第1~第4内部スルーホール54~57と同一材料によって形成されていてもよい。
 なお、放熱材58を構成する材料は任意に変更可能である。一例では、放熱材58は、第1~第4内部スルーホール54~57を構成する金属材料とは異なる金属材料によって形成されていてもよい。また、放熱材58は、金属材料に代えて、セラミック等の放熱性能の優れた絶縁材料によって形成されていてもよい。
 第1内部スルーホール54は、第1表面側配線31と第1裏面側配線41とを繋ぐ配線である。第1内部スルーホール54によって第1表面側配線31と第1裏面側配線41とが電気的に接続されている。本実施形態では、第1内部スルーホール54は1個である。z方向から視て、第1内部スルーホール54は、半導体発光素子60と重なる位置に配置されている。
 第2内部スルーホール55は、第2表面側配線32と第2裏面側配線42とを繋ぐ配線である。第2内部スルーホール55によって第2表面側配線32と第2裏面側配線42とが電気的に接続されている。第2内部スルーホール55は、複数(本実施形態では6個)設けられている。z方向から視て、各第2内部スルーホール55は、スイッチング素子71と重なる位置に配置されている。
 第3内部スルーホール56は、第3表面側配線33と第3裏面側配線43とを繋ぐ配線である。第3内部スルーホール56によって第3表面側配線33と第3裏面側配線43とが電気的に接続されている。第3内部スルーホール56は、複数(本実施形態では3個)設けられている。z方向から視て、第3内部スルーホール56は、y方向において互いに揃った状態でx方向において互いに離間して配列されている。本実施形態では、複数の第3内部スルーホール56は、y方向において第3裏面側配線43のうち第2基板側面24寄りに配置されている。
 第4内部スルーホール57は、第4表面側配線34と第4裏面側配線44とを繋ぐ配線である。第4内部スルーホール57によって第4表面側配線34と第4裏面側配線44とが電気的に接続されている。第4内部スルーホール57は、複数(本実施形態では2個)設けられている。z方向から視て、第4内部スルーホール57は、y方向において互いに揃った状態でx方向において互いに離間して配列されている。本実施形態では、複数の第4内部スルーホール57は、y方向において第4裏面側配線44のうち第2基板側面24寄りに配置されている。本実施形態では、x方向から視て、複数の第4内部スルーホール57は、複数の第3内部スルーホール56と重なる位置に配置されている。
 なお、第1~第4内部スルーホール54~57のそれぞれの個数は任意に変更可能である。また、第1~第4内部スルーホール54~57のそれぞれのz方向から視た形状は任意に変更可能である。たとえば、第1~第4内部スルーホール54~57のz方向から視た形状が互いに異なっていてもよい。また、第1~第4内部スルーホール54~57のそれぞれの大きさは任意に変更可能である。たとえば、第1~第4内部スルーホール54~57の大きさは互いに異なっていてもよい。
 次に、図6~図8を参照して、半導体発光素子60およびその周囲の詳細な構成について説明する。
 図6に示すように、基板20の第1基板側面23には、基板20の厚さ方向であるz方向において基板20を貫通する端面スルーホール51が設けられている。端面スルーホール51は、第1表面側配線31と第1裏面側配線41(図4参照)とを繋いでいる。
 端面スルーホール51は、z方向から視て、第1基板側面23から第2基板側面24に向けてy方向に凹む凹形状に形成されている。たとえば、z方向から視た端面スルーホール51の形状は、湾曲凹状である。本実施形態では、z方向から視た端面スルーホール51の形状は、半円状である。第1基板側面23とともに第1表面側配線31および第1裏面側配線41の双方には、半円状の凹部が形成されている。第1基板側面23、第1表面側配線31、および第1裏面側配線41のそれぞれの半円状の凹部を構成する側面には、導電材料によって形成された接続配線としての端面スルーホール51が設けられている。端面スルーホール51は、上記半円状の凹部を構成する側面に沿って設けられている。端面スルーホール51の開口端51uは、第1基板側面23と対応する部分では第1基板側面23と面一となり、第1表面側配線31と対応する部分では第1表面側配線31と面一となり、第1裏面側配線41と対応する部分では第1裏面側配線41と面一となる。このように、本実施形態では、端面スルーホール51のz方向の両端部には、段差部が設けられている。端面スルーホール51を構成する導電材料としては、たとえばCuが用いられる。つまり、端面スルーホール51を構成する材料は、内部スルーホール53を構成する材料と同じである。なお、端面スルーホール51を構成する導電材料は、任意に変更可能である。
 本実施形態では、端面スルーホール51の開口幅Wは、端面スルーホール51の深さ寸法Hよりも大きい。ここで、端面スルーホール51の開口幅Wは、z方向から視て、端面スルーホール51の開口端51uにおけるx方向の間の距離によって定義できる。端面スルーホール51の深さ寸法Hは、端面スルーホール51の開口端51uと端面スルーホール51の側面51bとのy方向の間の最大距離によって定義できる。本実施形態のように端面スルーホール51が半円状に形成されている場合、開口幅Wは、深さ寸法Hの2倍程度となる。また、深さ寸法Hは、半円状の端面スルーホール51の半径として定義できる。
 本実施形態では、端面スルーホール51の開口幅Wは、第1~第4内部スルーホール54~57(図3参照)の外径よりも大きい。端面スルーホール51の深さ寸法Hは、第1~第4内部スルーホール54~57の外径以上である。
 また、端面スルーホール51の開口幅Wは、たとえば半導体発光素子60のx方向の大きさと等しい。ここで、端面スルーホール51の開口幅Wと半導体発光素子60のx方向の大きさとの差がたとえば半導体発光素子60のx方向の大きさの10%以内であれば、端面スルーホール51の開口幅Wが半導体発光素子60のx方向の大きさと等しいといえる。
 第1基板側面23には、端面スルーホール51が複数(本実施形態では4個)設けられている。便宜上、4つの端面スルーホール51のうち第1基板側面23のx方向の中央寄りの2つの端面スルーホール51を「端面スルーホール51A」とし、2つの端面スルーホール51Aに対して第3基板側面25および第4基板側面26寄りの2つの端面スルーホール51を「端面スルーホール51B」とする。各端面スルーホール51Aおよび各端面スルーホール51Bは、互いに同一形状および同一サイズである。ここで、端面スルーホール51Aは「半導体発光素子の近くに設けられた第1端面スルーホール」に対応し、端面スルーホール51Bは「半導体発光素子から遠くに設けられた第2端面スルーホール」に対応している。
 本実施形態では、4個の端面スルーホール51(51A,51B)は、y方向において互いに揃った状態でx方向において互いに離間して配列されている。本実施形態では、4個の端面スルーホール51(51A,51B)は、基板表面21のx方向の中央においてy方向に沿って延びる中心線CLに対して対称に配置されている。本実施形態では、2個の端面スルーホール51Aのx方向の間の距離DH1は、端面スルーホール51Aと、この端面スルーホール51Aとx方向に隣り合う端面スルーホール51Bとのx方向の間の距離DH2よりも大きい。
 距離DH1は、半導体発光素子60のx方向の大きさよりも大きい。距離DH1は、キャパシタ72,73のそれぞれのx方向の大きさよりも大きく、スイッチング素子71のx方向の大きさよりも小さい。
 y方向から視て、端面スルーホール51A,51Bは、半導体発光素子60と重なる位置とは異なる位置に設けられている。より詳細には、z方向から視て、2個の端面スルーホール51Aは、半導体発光素子60のx方向の両側に分散して配置されている。z方向から視て、各端面スルーホール51Aは、x方向において半導体発光素子60と隣り合う位置に設けられている。本実施形態では、端面スルーホール51Aと半導体発光素子60との間のx方向の距離DPHは、端面スルーホール51Aの開口幅(端面スルーホール51の開口幅W)よりも小さい。また、距離DPHは、半導体発光素子60のx方向の大きさよりも小さい。ここで、距離DPHは、z方向から視て、端面スルーホール51Aの側面51bと半導体発光素子60とのx方向の間の距離によって定義できる。距離DPHは、端面スルーホール51Aと半導体発光素子60とのx方向の間の最小距離であるともいえる。
 端面スルーホール51Aは、第1基板側面23に沿う方向(x方向)から視て、半導体発光素子60と重なる部分を有している。つまり、端面スルーホール51Aの側面51bは、半導体発光素子60の発光素子側面63Aよりも第2基板側面24寄り(スイッチング素子71寄り)に位置する部分を含んでいる。換言すると、第1基板側面23と半導体発光素子60の発光素子側面63A(発光面)とのy方向の間の距離DPは、端面スルーホール51Aの深さ寸法(端面スルーホール51の深さ寸法H)よりも小さい。
 スイッチング素子71およびキャパシタ72の双方は、2つの端面スルーホール51Aのうち第3基板側面25に近い端面スルーホール51Aよりも、第2基板側面24(図3参照)寄りに配置されている。第3基板側面25に近い端面スルーホール51Aは、キャパシタ72の第1電極72Aよりも第1基板側面23寄りに間をあけて設けられている。このため、第3基板側面25に近い端面スルーホール51Aは、半導体発光素子60の第2電極65とキャパシタ72の第1電極72Aとの間の電流経路から外れた位置に設けられている。このように、キャパシタ72の第1電極72Aは、第1基板側面23に沿う方向(x方向)から視て、半導体発光素子60と重なる位置、かつ第3基板側面25に近い端面スルーホール51Aよりも第2基板側面24寄りに配置されている。ここで、電流経路とは、第1配線経路のうち実質的に電流が流れる経路であり、半導体発光素子60の第2電極65とキャパシタ72の第1電極72Aとを電気的に接続する第1表面側配線31のうち電流が主に流れる箇所である。本実施形態では、電流経路は、第1表面側配線31のうち半導体発光素子60の第2電極65とキャパシタ72の第1電極72Aとのx方向の間の部分である。
 第3基板側面25に近い端面スルーホール51Aは、y方向から視て、スイッチング素子71およびキャパシタ72の双方と重なる部分を有している。より詳細には、第3基板側面25に近い端面スルーホール51Aは、キャパシタ72のx方向の中央よりも半導体発光素子60寄り、かつスイッチング素子71のx方向の中央よりもキャパシタ72寄りに設けられている。スイッチング素子71とキャパシタ72とのx方向の間の距離DSC1は、端面スルーホール51Aの開口幅(端面スルーホール51の開口幅W)よりも小さい。
 スイッチング素子71およびキャパシタ73の双方は、2つの端面スルーホール51Aのうち第4基板側面26に近い端面スルーホール51Aよりも、第2基板側面24(図3参照)寄りに配置されている。第4基板側面26に近い端面スルーホール51Aは、キャパシタ73の第1電極73Aよりも第1基板側面23寄りに間をあけて設けられている。このため、第4基板側面26に近い端面スルーホール51Aは、半導体発光素子60の第2電極65とキャパシタ73の第1電極73Aとの間の電流経路から外れた位置に設けられている。このように、キャパシタ73の第1電極73Aは、第1基板側面23に沿う方向(x方向)から視て、半導体発光素子60と重なる位置、かつ第4基板側面26に近い端面スルーホール51Aよりも第2基板側面24寄りに配置されている。ここで、電流経路とは、第2配線経路のうち実質的に電流が流れる経路であり、半導体発光素子60の第2電極65とキャパシタ73の第1電極73Aとを電気的に接続する第1表面側配線31のうち電流が主に流れる箇所である。本実施形態では、電流経路は、第1表面側配線31のうち半導体発光素子60の第2電極65とキャパシタ73の第1電極73Aとのx方向の間の部分である。
 第4基板側面26に近い端面スルーホール51Aは、y方向から視て、スイッチング素子71およびキャパシタ73の双方と重なる部分を有している。より詳細には、第4基板側面26に近い端面スルーホール51Aは、キャパシタ73のx方向の中央よりも半導体発光素子60寄り、かつスイッチング素子71のx方向の中央よりもキャパシタ73寄りに設けられている。スイッチング素子71とキャパシタ73とのx方向の間の距離DSC2は、端面スルーホール51Aの開口幅(端面スルーホール51の開口幅W)よりも小さい。
 端面スルーホール51Aと、この端面スルーホール51Aとx方向に隣り合う端面スルーホール51Bとのx方向の間の距離DH2は、端面スルーホール51の開口幅Wよりも小さい。距離DH2は、たとえば第3基板側面25に近い端面スルーホール51Bの開口端51uと第3基板側面25とのx方向の間の距離DH3よりも小さい。距離DH2は、たとえば第4基板側面26に近い端面スルーホール51Bの開口端51uと第4基板側面26とのx方向の間の距離DH4よりも小さい。本実施形態では、距離DH4は、距離DH3と等しい。ここで、距離DH4と距離DH3との差がたとえば距離DH3の10%以内であれば、距離DH4が距離DH3と等しいといえる。距離DH3,DH4は、端面スルーホール51Bの開口幅(端面スルーホール51の開口幅W)よりも小さい。
 第3基板側面25に近い端面スルーホール51Bは、スイッチング素子71よりも第3基板側面25寄りに配置されている。つまり、第3基板側面25に近い端面スルーホール51Bの開口端51uと第3基板側面25とのx方向の間の距離DH3は、キャパシタ72と第3基板側面25とのx方向の間の距離DB1よりも小さい。y方向から視て、第3基板側面25に近い端面スルーホール51Bは、キャパシタ72と重なる部分と、キャパシタ72よりも第3基板側面25寄りにはみ出す部分と、を有している。第3基板側面25に近い端面スルーホール51A,51Bの双方は、y方向から視て、キャパシタ72と重なる部分を有している。
 第4基板側面26に近い端面スルーホール51Bは、スイッチング素子71よりも第4基板側面26寄りに配置されている。つまり、第4基板側面26に近い端面スルーホール51Bの開口端51uと第4基板側面26とのx方向の間の距離DH4は、キャパシタ73と第4基板側面26とのx方向の間の距離DB2よりも小さい。y方向から視て、第4基板側面26に近い端面スルーホール51Bは、キャパシタ73と重なる部分と、キャパシタ73よりも第4基板側面26寄りにはみ出す部分と、を有している。第4基板側面26に近い端面スルーホール51A,51Bの双方は、y方向から視て、キャパシタ73と重なる部分を有している。
 図3に示すように、第1内部スルーホール54は、端面スルーホール51A,51Bよりも第2基板側面24寄りに設けられている。第1内部スルーホール54は、2個の端面スルーホール51Aのx方向の間に設けられている。
 図6に示すように、各端面スルーホール51A,51Bには、放熱材59が埋め込まれている。放熱材59は、各端面スルーホール51A,51Bの開口端51uの端面と面一となるように設けられている。放熱材59のz方向の両端部には、各端面スルーホール51A,51Bの開口端51uと同様に段差部が設けられている。z方向から視た放熱材59の形状は、略半円状である。図7に示すように、放熱材59のz方向の大きさは、各端面スルーホール51A,51Bのz方向の大きさと等しい。
 放熱材59は、たとえば金属材料によって形成されている。金属材料の一例は、Cuである。つまり、放熱材59は、端面スルーホール51A,51Bと同一材料によって形成されていてもよい。
 なお、放熱材59を構成する材料は任意に変更可能である。一例では、放熱材59は、端面スルーホール51A,51Bを構成する金属材料とは異なる金属材料によって形成されていてもよい。また、放熱材59は、金属材料に代えて、セラミック等の放熱性能の優れた絶縁材料によって形成されていてもよい。
 図6に示すように、基板20の第3基板側面25には、基板20の厚さ方向であるz方向において基板20を貫通する端面スルーホール52Aが設けられている。基板20の第4基板側面26には、z方向において基板20を貫通する端面スルーホール52Bが設けられている。端面スルーホール52A,52Bは、第2表面側配線32と第2裏面側配線42(図4参照)とを繋いでいる。ここで、端面スルーホール52A,52Bは「制御回路側端面スルーホール」に対応している。
 端面スルーホール52Aは、z方向から視て、第3基板側面25から第4基板側面26に向けてx方向に凹む凹形状に形成されている。端面スルーホール52Bは、z方向から視て、第4基板側面26から第3基板側面25に向けてx方向に凹む凹形状に形成されている。z方向から視た端面スルーホール52A,52Bの形状は、湾曲凹状である。本実施形態では、z方向から視た端面スルーホール52A,52Bの形状は、半円状である。
 第3基板側面25および第4基板側面26とともに第2表面側配線32および第2裏面側配線42の双方には、半円状の凹部が形成されている。第3基板側面25、第2表面側配線32、および第2裏面側配線42のそれぞれの半円状の凹部を構成する側面には、導電材料によって形成された接続配線としての端面スルーホール52Aが設けられている。端面スルーホール52Aは、上記半円状の凹部を構成する側面に沿って設けられている。端面スルーホール52Aの開口端52uは、第3基板側面25と面一となる。端面スルーホール52Aを構成する導電材料としては、たとえばCuが用いられる。つまり、端面スルーホール52Aを構成する材料は、内部スルーホール53(図3参照)を構成する材料と同じである。端面スルーホール52Aを構成する材料は、端面スルーホール51を構成する材料と同じであるともいえる。なお、端面スルーホール52Aを構成する導電材料は、任意に変更可能である。また、端面スルーホール52Bは、端面スルーホール52Aと同様に設けられているため、その詳細な説明を省略する。
 本実施形態では、端面スルーホール52Aおよび端面スルーホール52Bは、互いに同一形状および同一サイズである。また、本実施形態では、端面スルーホール52A,52Bは、端面スルーホール51A,51Bと同一形状および同一サイズである。
 端面スルーホール52A,52Bは、x方向から視て、スイッチング素子71と重なる位置に設けられている。端面スルーホール52A,52Bは、キャパシタ72,73に対して第2基板側面24寄りにずれて設けられている。端面スルーホール52Aは、キャパシタ72に対して第3基板側面25寄りにずれて設けられている。端面スルーホール52Bは、キャパシタ73に対して第4基板側面26寄りにずれて設けられている。このように、端面スルーホール52Aは、キャパシタ72の第2電極72Bとスイッチング素子71の第1電極71Aとの間の電流経路から外れた位置に設けられている。端面スルーホール52Bは、キャパシタ73の第2電極73Bとスイッチング素子71の第1電極71Aとの間の電流経路から外れた位置に設けられている。
 キャパシタ72は、x方向において端面スルーホール52Aよりもスイッチング素子71の近くに配置されている。端面スルーホール52Aの側面52bとキャパシタ72とのx方向の間の距離DHC1は、キャパシタ72とスイッチング素子71とのx方向の間の距離DSC1よりも大きい。
 キャパシタ73は、x方向において端面スルーホール52Bよりもスイッチング素子71の近くに配置されている。端面スルーホール52Bの側面52bとキャパシタ73とのx方向の間の距離DHC2は、キャパシタ73とスイッチング素子71とのx方向の間の距離DSC2よりも大きい。また、距離DHC2は、距離DHC1と等しい。ここで、距離DHC2と距離DHC1との差がたとえば距離DHC1の10%以内であれば、距離DHC2が距離DH1と等しいといえる。
 端面スルーホール52A,52Bには、放熱材59が埋め込まれている。放熱材59は、端面スルーホール52A,52Bの開口端52uの端面と面一となるように設けられている。z方向から視た放熱材59の形状は、略半円状である。図8に示すように、放熱材59のz方向の大きさは、端面スルーホール52Aのz方向の大きさと等しい。なお、図示していないが、放熱材59のz方向の大きさは、端面スルーホール52Bのz方向の大きさと等しい。ここで、端面スルーホール52A,52Bに埋め込まれた放熱材59は、「制御回路側放熱材」に対応している。
 端面スルーホール52A,52Bに埋め込まれた放熱材59を構成する材料は、各端面スルーホール51A,51Bに埋め込まれた放熱材59を構成する材料と同じである。
 なお、端面スルーホール52A,52Bに埋め込まれた放熱材59を構成する材料は任意に変更可能である。一例では、端面スルーホール52A,52Bに埋め込まれた放熱材59は、端面スルーホール51A,51Bに埋め込まれた放熱材59を構成する材料と異なっていてもよい。
 図1に示すように、封止樹脂80は、基板20の基板表面21とともに半導体発光素子60を覆っている。より詳細には、封止樹脂80は、基板20の厚さ方向であるz方向から視て、端面スルーホール51A,51B,52A,52Bを覆うように設けられている。封止樹脂80は、z方向から視て放熱材59を覆うように設けられている。封止樹脂80は、端面スルーホール51A,51B,52A,52Bおよび放熱材59のそれぞれと接している。
 以上のとおり説明した構成の半導体発光装置10Aの回路構成について、図9を用いて説明する。図9は、半導体発光装置10Aが用いられたレーザシステムLSの回路構成を示している。図9に示すように、レーザシステムLSは、半導体発光装置10A、駆動電源DV、電流制限抵抗R、ダイオードD、およびドライバ回路PMを備えている。
 駆動電源DVは、正極および負極を有する直流電源であって、半導体発光装置10Aに電力を供給する。電流制限抵抗Rは、駆動電源DVの正極と半導体発光装置10Aとの間に設けられており、駆動電源DVから半導体発光装置10Aに流れる電流を制限する。ダイオードDは、半導体発光素子60と逆並列に接続されており、半導体発光素子60への電流の逆流を防止する。ダイオードDとしては、たとえばショットキーバリアダイオードが用いられる。ドライバ回路PMは、スイッチング素子71のオンオフを制御する制御信号をスイッチング素子71の制御電極71Cに出力する。ドライバ回路PMは、たとえばパルス状の信号を生成する矩形波発振回路と、矩形波発振回路と半導体発光装置10Aとの間に設けられたゲートドライバICとを含んでいる。ゲートドライバICは、矩形波発振回路からの信号に基づいてスイッチング素子71の制御信号を生成する。
 半導体発光素子60とスイッチング素子71とは直列に接続されている。より詳細には、半導体発光素子60の第1電極64(アノード電極)とスイッチング素子71の第2電極71B(ソース電極)とが電気的に接続されている。スイッチング素子71の第1電極71A(ドレイン電極)は、第2表面側配線32(第2裏面側配線42)と電気的に接続されている。半導体発光素子60の第2電極65(カソード電極)は、第1表面側配線31(第1裏面側配線41)と電気的に接続されている。
 キャパシタ72,73は、半導体発光素子60およびスイッチング素子71の直列体と並列に接続されている。より詳細には、キャパシタ72,73の第1電極72A,73Aが半導体発光素子60の第2電極65と電気的に接続されており、キャパシタ72,73の第2電極72B,73Bがスイッチング素子71の第1電極71Aと電気的に接続されている。
 スイッチング素子71の第2電極71Bは、第3表面側配線33(第3裏面側配線43)と電気的に接続されている。ダイオードDのアノード電極は第1裏面側配線41(第1表面側配線31)に電気的に接続されており、ダイオードDのカソード電極は第3裏面側配線43(第3表面側配線33)に電気的に接続されている。これにより、ダイオードDは、半導体発光素子60に対して逆並列に接続されている。
 スイッチング素子71の制御電極71Cは、第4表面側配線34(第4裏面側配線44)と電気的に接続されている。ドライバ回路PMは、第4裏面側配線44(第4表面側配線34)に電気的に接続されている。このため、ドライバ回路PMは、スイッチング素子71の制御電極71Cに電気的に接続されている。また、ドライバ回路PMおよび駆動電源DVの負極のそれぞれは、グランドに接続されている。
 このような構成のレーザシステムLSでは、次のように動作する。すなわち、ドライバ回路PMの制御信号によってスイッチング素子71がオフ状態にされると、駆動電源DVによってキャパシタ72,73が蓄電される。そしてドライバ回路PMの制御信号によってスイッチング素子71がオン状態にされると、キャパシタ72,73が放電することによって半導体発光素子60に電流が流れる。これにより、半導体発光素子60はパルスレーザ光を出射する。
 (作用)
 本実施形態の半導体発光装置10Aの作用について説明する。以下の説明において、半導体発光装置10Aから端面スルーホール51(51A,51B)、52A,52Bを省略した構成を比較例の半導体発光装置とする。
 図10~図12は、比較例の半導体発光装置の熱伝達係数と半導体発光素子60の温度との関係を示している。図13~図15は、本実施形態の半導体発光装置10Aの熱伝達係数と半導体発光素子60の温度との関係を示している。図10~図15のグラフでは、自然空冷を行った場合と、強制空冷を行った場合と、水冷を行った場合とについての熱伝導解析結果を示している。また、図10~図15のグラフでは、スイッチング素子71を駆動する制御信号の周波数を10kHz、20kHz、50kHz、100kHz、200kHz、および500kHzと変更した場合の熱伝導解析結果を示している。なお、これら熱伝導解析では、スイッチング素子71をオンする制御信号のパルス幅を2nSとし、半導体発光素子60のピーク光出力を150Wとしている。
 図10~図12は、比較例の半導体発光装置の基板20の厚さを変更した場合のグラフである。
 図10は、比較例の半導体発光装置の基板20の厚さが0.3mmの場合のグラフである。この場合、比較例の半導体発光装置の半導体発光素子60から第1裏面側配線41までの経路(以下、「熱伝導経路」)の熱抵抗は、80K/Wとなる。図11は、比較例の半導体発光装置の基板20の厚さが0.6mmの場合のグラフである。この場合、比較例の半導体発光装置の熱伝導経路の熱抵抗は、112K/Wとなる。図12は、比較例の半導体発光装置の基板20の厚さが0.8mmの場合のグラフである。この場合、比較例の半導体発光装置の熱伝導経路の熱抵抗は、133K/Wとなる。図10~図12から分かるとおり、基板20の厚さが厚くなるにつれて熱伝導経路が長くなるため、熱伝導経路の熱抵抗が高くなる。
 このように、比較例の半導体発光装置では、半導体発光素子60からの熱は、第1表面側配線31に加え、第1内部スルーホール54を介して第1裏面側配線41に伝達されるが、第1内部スルーホール54が1個であるため、熱伝導経路における伝熱効率が低い。このため、図10~図12に示すとおり、比較例の半導体発光装置においては、半導体発光素子60の温度を考慮した制御信号の周波数の許容値は、自然空冷で100kHzであり、強制空冷で200kHzであり、水冷で500kHzである。
 図13は、半導体発光装置10Aの基板20の厚さが0.3mmの場合のグラフである。この場合、半導体発光装置10Aの熱伝導経路の熱抵抗は、33K/Wとなる。図14は、半導体発光装置10Aの基板20の厚さが0.6mmの場合のグラフである。この場合、半導体発光装置10Aの熱伝導経路の熱抵抗は、40K/Wとなる。図15は、半導体発光装置10Aの基板20の厚さが0.8mmの場合のグラフである。この場合、半導体発光装置10Aの熱伝導経路の熱抵抗は、46K/Wとなる。
 このように、本実施形態の半導体発光装置10Aでは、半導体発光素子60からの熱が端面スルーホール51A,51Bに伝達されるので比較例の半導体発光装置よりも熱抵抗が小さくなる。具体的には、半導体発光装置10Aの熱抵抗は、比較例の半導体発光装置の熱抵抗と比較して、1/2~1/3に減少する。その結果、図13~図15に示すように、比較例の半導体発光装置の半導体発光素子60と比較して、各制御信号の周波数における半導体発光素子60の温度が低下する。特に、制御信号の周波数が200kHzおよび500kHzにおける半導体発光素子60の温度が大きく低下している。このため、図13~図15に示すとおり、半導体発光装置10Aにおいては、半導体発光素子60の温度を考慮した制御信号の周波数の許容値は、自然空冷で100kHzであり、強制空冷で500kHzであり、水冷で500kHzである。つまり、半導体発光装置10Aにおいては、強制空冷であれば制御信号の周波数が500kHzであったとしても半導体発光素子60の温度が過度に上昇することを抑制できる。
 (効果)
 本実施形態の半導体発光装置10Aによれば、以下の効果が得られる。
 (1-1)半導体発光装置10Aは、基板表面21、基板表面21とは反対側の基板裏面22、および基板側面を有する基板20と、基板表面21に形成された表面側配線30と、基板裏面22に形成された裏面側配線40と、所定方向に向けて光を出射する発光面としての発光素子側面63Aを有し、表面側配線30に実装された半導体発光素子60と、を備えている。基板側面は、発光面となる発光素子側面63Aと同じ側を向く第1基板側面23と、第1基板側面23とは反対側の第2基板側面24と、を含んでいる。半導体発光素子60は、第2基板側面24よりも第1基板側面23寄りに偏って配置されている。第1基板側面23には、基板20の厚さ方向であるz方向において基板20を貫通して表面側配線30と裏面側配線40とを繋ぐ端面スルーホール51(51A,51B)が設けられている。
 この構成によれば、表面側配線30に実装された半導体発光素子60が発生した熱は、表面側配線30から端面スルーホール51(51A,51B)を介して裏面側配線40に伝達される。このため、端面スルーホール51(51A,51B)が設けられていない場合と比較して、半導体発光素子60から半導体発光装置10Aの外部に伝熱する伝熱経路の体積が大きくなるため、半導体発光素子60から半導体発光装置10Aの外部に放熱しやすくなる。したがって、半導体発光装置10Aの放熱性を向上させることができる。
 加えて、端面スルーホール51(51A,51B)は、第1基板側面23に設けられているため、半導体発光装置10Aの外部に露出するように構成されている。このため、半導体発光装置10Aの外部に露出しないように表面側配線30と裏面側配線40とを繋ぐスルーホールと比較して、半導体発光素子60から半導体発光装置10Aの外部に放熱しやすくなる。したがって、半導体発光装置10の放熱性をさらに向上させることができる。
 (1-2)基板20の厚さ方向であるz方向から視て、端面スルーホール51(51A,51B)は、第1基板側面23のうち半導体発光素子60と重なる位置とは異なる位置に設けられている。
 この構成によれば、半導体発光素子60の発光素子側面63Aから出射した光が端面スルーホール51(51A,51B)に当たって散乱することを回避できる。このため、半導体発光装置10から外部へと出射するレーザ光の効率低下を抑制できる。したがって、この半導体発光装置10Aを用いた3次元距離計測のレーザシステムLSにおいて測距の検出性能の低下を抑制できる。
 (1-3)基板20の厚さ方向であるz方向から視て、端面スルーホール51(51A,51B)は、第1基板側面23に沿う方向であるx方向において半導体発光素子60と隣り合う位置に設けられている。
 この構成によれば、半導体発光素子60の近くに端面スルーホール51(51A)が設けられることによって、半導体発光素子60の熱が端面スルーホール51(51A)に効率的に伝達できる。したがって、半導体発光装置10Aの放熱性を向上させることができる。
 (1-4)端面スルーホール51(51A)と半導体発光素子60との間の距離DPHは、端面スルーホール51(51A)の開口幅Wよりも小さい。
 この構成によれば、半導体発光素子60の近くに端面スルーホール51(51A)を設けることができる。これにより、半導体発光素子60の熱が端面スルーホール51(51A)に効率的に伝達できる。したがって、半導体発光装置10Aの放熱性を向上させることができる。
 (1-5)第1基板側面23には、端面スルーホール51(51A,51B)が複数設けられている。
 この構成によれば、半導体発光素子60から半導体発光装置10Aの外部に伝熱する伝熱経路の体積を大きくすることができる。したがって、半導体発光装置10Aの放熱性をさらに向上させることができる。
 (1-6)第1基板側面23に沿う方向であるx方向から視て、端面スルーホール51(51A,51B)は、半導体発光素子60と重なる部分を有している。
 この構成によれば、半導体発光素子60を第1基板側面23の近くに配置することができる。したがって、半導体発光素子60の光が基板20の基板表面21に当たることを抑制できる。
 また、z方向から視て、端面スルーホール51(51A,51B)が第1基板側面23のうち半導体発光素子60と重なる位置とは異なる位置に設けられている場合、半導体発光装置10Aのy方向(半導体発光装置10Aの長辺方向)の大きさを大きくすることなく、端面スルーホール51(51A,51B)のサイズを大きくすることができる。したがって、半導体発光素子60から半導体発光装置10Aの外部に伝熱する伝熱経路の体積を大きくすることができるため、半導体発光装置10Aの放熱性を向上させることができる。
 (1-7)第1基板側面23と半導体発光素子60の発光面となる発光素子側面63Aとの間の距離DPは、端面スルーホール51(51A,51B)の深さ寸法Hよりも小さい。この構成によれば、上記(1-6)と同様の効果が得られる。
 (1-8)端面スルーホール51(51A,51B)には、放熱材59が埋め込まれている。
 この構成によれば、放熱材59によって端面スルーホール51(51A,51B)を介する半導体発光素子60から半導体発光装置10Aの外部に伝熱する伝熱経路の体積をさらに大きくすることができるため、半導体発光装置10Aの放熱性をさらに向上させることができる。
 (1-9)基板20の厚さ方向であるz方向から視て、基板20のうち半導体発光素子60と重なる位置には、表面側配線30と裏面側配線40とを繋ぐ内部スルーホール53(第1内部スルーホール54)が設けられている。
 この構成によれば、半導体発光素子60の放熱の経路が増加するため、半導体発光素子60の熱がより効率的に裏面側配線40に伝達される。したがって、半導体発光装置10Aの放熱性をさらに向上させることができる。
 ここで、第1内部スルーホール54が半導体発光素子60とキャパシタ72,73とのx方向の間に設けられた場合、第1内部スルーホール54によって半導体発光素子60の第2電極65から第1表面側配線31を介したキャパシタ72,73への電流の流れが阻害されるおそれがある。これにより、第2電極65とキャパシタ72,73との間の導電経路の寄生インダクタンスが増加するおそれがある。これに対して、本実施形態では、z方向から視て、1個の第1内部スルーホール54が半導体発光素子60と重なる位置に設けられている。したがって、半導体発光素子60への電流の流れが第1内部スルーホール54によって阻害されることを抑制できる。
 (1-10)内部スルーホール53には、放熱材58が埋め込まれている。
 この構成によれば、放熱材58によって内部スルーホール53を介する半導体発光素子60から半導体発光装置10Aの外部に伝熱する伝熱経路の体積をさらに大きくすることができるため、半導体発光装置10Aの放熱性をさらに向上させることができる。
 (1-11)半導体発光装置10Aは、半導体発光素子60を発光させる発光素子制御回路70を備えている。発光素子制御回路70は、表面側配線30に実装されている。
 この構成によれば、発光素子制御回路70が半導体発光装置10Aの外部に設けられた構成と比較して、半導体発光素子60と発光素子制御回路70との間の配線経路を短くすることができる。これにより、配線経路に生じる寄生インダクタンスを低減することができる。
 (1-12)発光素子制御回路70は、表面側配線30に実装されたキャパシタ72,73を有している。キャパシタ72,73は、第1基板側面23に沿う方向であるx方向から視て、半導体発光素子60と重なる位置、かつ端面スルーホール51(51A,51B)よりも第2基板側面24寄りに配置されている。
 この構成によれば、キャパシタ72,73を半導体発光素子60の近くに配置することができる。これにより、半導体発光素子60とキャパシタ72,73との間の配線経路を短くすることができるため、配線経路に生じる寄生インダクタンスを低減することができる。
 (1-13)発光素子制御回路70は、半導体発光素子60に供給する電流を制御するスイッチング素子71を有している。z方向から視た半導体発光素子60の形状は、長辺および短辺を有する矩形状である。スイッチング素子71は、その長辺が基板20の長辺(y方向)に沿うように配置されている。スイッチング素子71は、y方向から視て半導体発光素子60と重なる位置であって、半導体発光素子60よりも第2基板側面24寄りに半導体発光素子60から間隔をあけて配置されている。キャパシタ72,73は、スイッチング素子71のx方向(スイッチング素子71の短辺に沿う方向)の両側に分散して配置されている。z方向から視たキャパシタ72,73の形状は、長辺および短辺を有する矩形状である。キャパシタ72,73は、その長辺が基板20の長辺(y方向)に沿うように配置されている。x方向から視て、キャパシタ72,73は、半導体発光素子60およびスイッチング素子71の双方と重なる位置に配置されている。
 この構成によれば、基板20の短辺に沿う方向であるx方向においてスイッチング素子71およびキャパシタ72,73が配列され、かつスイッチング素子71およびキャパシタ72,73のそれぞれの短辺がx方向に沿って配列されるため、半導体発光装置10Aのx方向における小型化を図ることができる。加えて、x方向から視て、キャパシタ72,73が半導体発光素子60およびスイッチング素子71の双方と重なる位置に配置されているため、キャパシタ72,73がたとえばスイッチング素子71よりも第1基板側面23の近くに配置された構成と比較して、半導体発光装置10Aのy方向における小型化を図ることができる。
 また、半導体発光素子60、スイッチング素子71、およびキャパシタ72,73を互いに近づけて配置することができる。このため、半導体発光素子60、スイッチング素子71、およびキャパシタ72を電流が流れるループ状の配線経路と、半導体発光素子60、スイッチング素子71、およびキャパシタ73を電流が流れるループ状の配線経路との双方を短くすることができる。したがって、これら配線経路に生じる寄生インダクタンスを低減することができる。
 (1-14)キャパシタ72は、x方向において第3基板側面25よりもスイッチング素子71寄りに配置されている。キャパシタ73は、x方向において第4基板側面26よりもスイッチング素子71寄りに配置されている。
 この構成によれば、キャパシタ72,73とスイッチング素子71との間の配線経路を短くすることができる。したがって、配線経路に生じる寄生インダクタンスを低減することができる。
 (1-15)スイッチング素子71は、縦型MOSFETである。
 この構成によれば、スイッチング素子71のスイッチング素子表面71sに第1電極71A、第2電極71B、および制御電極71Cが形成される横型MOSFETの場合と比較して、キャパシタ72,73からスイッチング素子71を介して半導体発光素子60に電流が流れる配線経路を短くすることができる。したがって、配線経路に生じる寄生インダクタンスを低減することができる。
 (1-16)キャパシタ72,73は、半導体発光素子60およびスイッチング素子71に対して対称的に配置されている。
 この構成によれば、キャパシタ72からスイッチング素子71および第1ワイヤW1を介して半導体発光素子60に電流が流れる第1配線経路と、キャパシタ73からスイッチング素子71および第1ワイヤW1を介して半導体発光素子60に電流が流れる第2配線経路とが、半導体発光素子60およびスイッチング素子71に対して対称的に形成されるようになる。これにより、第1配線経路を流れる電流によって形成される磁束と、第2配線経路を流れる電流によって形成される磁束とが互いに打ち消し合うようになる。したがって、第1配線経路に存在する寄生インダクタンスおよび第2配線経路に存在する寄生インダクタンスの双方を低減することができる。
 (1-17)表面側配線30は、スイッチング素子71が実装される第2表面側配線32を有している。裏面側配線40は、基板20の厚さ方向であるz方向から視て、第2表面側配線32と重なる位置に配置された第2裏面側配線42を有している。基板20の基板側面のうち第1基板側面23と第2基板側面24とを結ぶ第3基板側面25には、第2表面側配線32と第2裏面側配線42とを繋ぐ端面スルーホール52Aが設けられている。
 この構成によれば、スイッチング素子71に生じる熱を第2表面側配線32から端面スルーホール52Aを介して第2裏面側配線42に伝達することができる。したがって、スイッチング素子71から半導体発光装置10Aの外部に伝熱する伝熱経路の体積を大きくすることができる。したがって、半導体発光装置10A放熱性を向上させることができる。
 加えて、端面スルーホール52Aは、第3基板側面25に設けられているため、半導体発光装置10Aの外部に露出するように構成されている。このため、半導体発光装置10Aの外部に露出しないように第2表面側配線32と第2裏面側配線42とを繋ぐスルーホールと比較して、スイッチング素子71の熱を半導体発光装置10Aの外部に伝達しやすくなる。したがって、半導体発光装置10Aの放熱性をさらに向上させることができる。
 また、基板20の基板側面のうち第1基板側面23と第2基板側面24とを結ぶ第4基板側面26には、第2表面側配線32と第2裏面側配線42とを繋ぐ端面スルーホール52Bが設けられている。この構成によれば、上記効果と同様の効果が得られる。また、端面スルーホール52A,52Bが設けられることによって、スイッチング素子71から半導体発光装置10Aの外部に伝熱する伝熱経路の体積が大きくなるため、半導体発光装置10Aの放熱性をさらに向上させることができる。
 (1-18)キャパシタ72,73の第1電極72A,73Aは、端面スルーホール51(51A,51B)よりも第2基板側面24寄りに配置されている。基板20の厚さ方向であるz方向から視た端面スルーホール51(51A,51B)の開口幅Wは、内部スルーホール53(54~57)の直径よりも大きい。
 z方向から視て半導体発光素子60と重なる位置に設けられた内部スルーホール53(54)の直径を大きくすると半導体発光素子60に供給される電流への影響が大きくなる。一方、端面スルーホール51(51A,51B)は、キャパシタ72,73の第1電極72A,73Aと半導体発光素子60との配線経路から外れた位置に設けられているため、端面スルーホール51(51A,51B)の開口幅Wを大きくしても半導体発光素子60に供給される電流への影響を回避できる。このため、半導体発光素子60に供給される電流への影響を回避しつつ、半導体発光装置10Aの放熱性の向上させることができる。
 (1-19)y方向から視て、キャパシタ72,73は、端面スルーホール51Aと重なる位置に配置されている。端面スルーホール51(51A,51B)の開口幅Wは、端面スルーホール51(51A,51B)の深さ寸法Hよりも大きい。
 この構成によれば、端面スルーホール51(51A,51B)の深さ寸法Hが小さいため、キャパシタ72,73の第1電極72A,73Aがx方向から視て半導体発光素子60と重なる位置に配置することができる。一方、端面スルーホール51(51A,51B)の開口幅Wを大きくすることによって、端面スルーホール51(51A,51B)の表面積を大きくすることができる。したがって、半導体発光素子60とキャパシタ72,73との間の配線経路に生じる寄生インダクタンスを低減しつつ、半導体発光装置10Aの放熱性を向上させることができる。
 [第2実施形態]
 図16~図25を参照して、第2実施形態の半導体発光装置10Bおよび半導体発光ユニット200について説明する。本実施形態の半導体発光装置10Bは、第1実施形態の半導体発光装置10Aと比較して、封止樹脂80を備えていない点、表面側配線140および裏面側配線150の構成、およびスイッチング素子71の電気的な接続態様が異なる。以下の半導体発光装置10Bの説明において、第1実施形態の半導体発光装置10Aと共通する構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する場合がある。
 図16に示すように、半導体発光ユニット200は、ステム90と、ステム90に実装された半導体発光装置10Bと、半導体発光装置10Bを囲む包囲部材130と、を備えている。ステム90は、平板状のベース100と、ベース100上に立設したヒートシンク110と、を含んでいる。半導体発光装置10Bは、ヒートシンク110に実装されている。包囲部材130は、半導体発光装置10Bとヒートシンク110とを囲んでいる。ステム90および包囲部材130を用いて半導体発光装置10Bをパッケージングした構造はCANパッケージ構造とも呼ばれる。
 ここで、本実施形態における以降の説明では、ベース100の厚さ方向をz方向とし、z方向と直交する方向のうち互いに直交する2方向をx方向およびy方向とする。
 包囲部材130は、ベース100上に設けられている。これにより、包囲部材130は、半導体発光装置10Bおよびヒートシンク110を収容する収容空間SPをベース100とともに形成している。包囲部材130は、ベース100に固定されている。包囲部材130は、ベース100とともに収容空間SPを中空状態に気密して中空封止構造を形成している。
 図17に示すように、包囲部材130は、キャップ131と透光板132とを有している。キャップ131は、たとえばFe(鉄)またはFe合金等の遮光性を有する金属材料によって形成されている。なお、キャップ131を構成する材料は任意に変更可能である。一例では、キャップ131は、透光性を有する樹脂材料またはガラスによって形成されていてもよい。また、包囲部材130から透光板132を省略してもよい。
 キャップ131は、頂部131A、筒部131B、およびフランジ部131Cを有している。本実施形態では、頂部131A、筒部131B、およびフランジ部131Cはたとえば一体に形成されている。なお、頂部131A、筒部131B、およびフランジ部131Cは、個別に形成されていてもよい。この場合、頂部131A、筒部131B、およびフランジ部131Cは、たとえば溶着、接着等によって接合されている。
 筒部131Bは、たとえばz方向に延びる円筒状に形成されている。頂部131Aは、筒部131Bのz方向の両端部のうちベース100とは反対側の端部に設けられている。頂部131Aには、半導体発光装置10Bから出射された光を通過させる窓部131AWが形成されている。z方向から視た窓部131AWの形状は、たとえば円形状である。
 フランジ部131Cは、筒部131Bのz方向の両端部のうちベース100に近い端部に設けられている。フランジ部131Cは、たとえば溶接または接合材等によってベース100に固定されている。
 透光板132は、キャップ131の頂部131Aに接合材等によって固定されている。これにより、透光板132は、窓部131AWを塞いでいる。透光板132は、たとえば透光性を有する樹脂材料またはガラス等の透明材料によって形成されている。透光板132は、窓部131AWを通過する光を透過させる。また、透光板132は、ベース100および包囲部材130によって囲まれた収容空間SPを封止する封止部材としての役割を果たしている。
 図18および図19に示すように、本実施形態では、ステム90におけるベース100およびヒートシンク110は、一体に形成されている。ステム90は、たとえばCu、Cu合金、Fe、Fe合金、Al、Al合金等の導電材料によって形成されている。つまり、ステム90は、導電性のベース100と導電性のヒートシンク110とを含んでいるともいえる。なお、ベース100およびヒートシンク110は、個別に形成されていてもよい。この場合、ベース100を構成する材料と、ヒートシンク110を構成する材料とが互いに異なっていてもよい。
 z方向から視たベース100の形状は、略円形状である。本実施形態では、ベース100の直径は5.6mm程度であり、ベース100の厚さは1.2mm程度である。なお、ベース100の直径および厚さはそれぞれ任意に変更可能である。ベース100は、z方向において互いに反対側を向くベース表面101およびベース裏面102を有している。
 ヒートシンク110は、ベース100の中心に対してy方向に偏った位置に設けられている。z方向から視たヒートシンク110の形状は、略扇形状である。ヒートシンク110は、ベース100からz方向に延びている。本実施形態では、ベース100のベース表面101からのヒートシンク110の高さ(ヒートシンク110のz方向の大きさ)は、4.45mm程度であり、ヒートシンク110の厚さ(ヒートシンク110のy方向の大きさ)は最も厚い部分において0.75mm程度である。なお、ヒートシンク110の高さおよび厚さはそれぞれ任意に変更可能である。
 ヒートシンク110は、平面状の支持面111を有している。支持面111は、xz平面と平行な平面である。支持面111には、半導体発光装置10B(図16参照)が実装されている。たとえば、半導体発光装置10Bは、はんだペーストまたはAgペースト等の導電性接合材(図示略)によって支持面111に接合されている。このため、本実施形態では、y方向は基板20の厚さ方向であるといえる。そして、本実施形態では、「y方向から視て」とは、基板20の厚さ方向から視ることを意味する。
 ベース100には、ベース100を厚さ方向(z方向)に貫通する複数の貫通孔が設けられている。本実施形態では、複数の貫通孔としてたとえば3つの貫通孔103A,103B,103Cが設けられている。各貫通孔103A,103B,103Cは、y方向においてベース100の中心に対してヒートシンク110とは反対側に偏った位置に設けられている。z方向から視た各貫通孔103A,103B,103Cの形状は、たとえば略円形状である。本実施形態では、各貫通孔103A,103B,103Cの直径は互いに等しく、たとえば1.0mm程度である。なお、各貫通孔103A,103B,103Cの直径は任意に変更可能である。
 半導体発光ユニット200は、半導体発光ユニット200が回路基板に実装される場合に半導体発光装置10Bと回路基板とを電気的に接続する複数のリードピンを備えている。本実施形態では、複数のリードピンとしてたとえば4本のリードピン104A,104B,104C,104Dを備えている。
 リードピン104A,104B,104Cは、ベース100を厚さ方向(z方向)に貫通している。より詳細には、リードピン104Aは貫通孔103Aに挿入され、リードピン104Bは貫通孔103Bに挿入され、リードピン104Cは貫通孔103Cに挿入されている。これら貫通孔103A~103Cの内部には、それぞれリードピン104A~104Cをベース100に対して電気的に絶縁する絶縁材105が充填されている。絶縁材105は、たとえば絶縁性の樹脂材料またはガラス材料等によって形成されている。
 各リードピン104A~104Cは、ベース100のベース表面101およびベース裏面102の双方からz方向に突出している。リードピン104A,104B,104Cは、接続部106A,106B,106Cと端子部107A,107B,107Cとを有している。接続部106A~106Cは、リードピン104A~104Cのうちベース表面101からz方向に突出した部分であり、半導体発光装置10Bと電気的に接続する部分である。端子部107A~107Cは、リードピン104A~104Cのうちベース裏面102からz方向に突出した部分であり、半導体発光ユニット200が回路基板に実装される場合に回路基板に電気的に接続される外部端子を構成している。
 図17に示すように、リードピン104Dは、ベース100のベース裏面102からz方向に突出している一方、ベース表面101からz方向に突出していない。リードピン104Dは、z方向から視て、ヒートシンク110と重なる位置に設けられている。リードピン104Dは、接続部106Dおよび端子部107Dを有している。接続部106Dは、リードピン104Dのz方向の両端部のうちベース100に近い端部に設けられている。接続部106Dは、ベース100に接合されている。つまり、リードピン104Dは、ベース100と電気的に接続されている。端子部107Dは、リードピン104Dのうち接続部106Dからz方向に突出した部分であり、半導体発光ユニット200が回路基板に実装される場合に回路基板に電気的に接続される外部端子を構成している。
 図20に示すように、半導体発光装置10Bにおいては、スイッチング素子71とリードピン104A,104Bとが第2ワイヤW2および第3ワイヤW3によって電気的に接続されている。このため、半導体発光装置10Bは、第1実施形態の半導体発光装置10Aと比較して、表面側配線30の第3表面側配線33および第4表面側配線34(ともに図3参照)と裏面側配線40の第3裏面側配線43および第4裏面側配線44(ともに図4参照)とが省略された構成となる。これにより、半導体発光装置10Bの基板20の長辺の大きさ(基板20のz方向の大きさ)は、第1実施形態の半導体発光装置10Aの基板20の長辺の大きさ(基板20のy方向の大きさ)よりも小さい。
 半導体発光装置10Bの半導体発光素子60、スイッチング素子71、およびキャパシタ72,73の配置態様および電気的な接続態様は、第1実施形態の半導体発光装置10Aと同じである。半導体発光装置10Bでは、基板20の基板表面21には、表面側絶縁層144が設けられている。表面側絶縁層144は、基板表面21の全体を覆うように形成されている。つまり、表面側絶縁層144は、表面側配線140を覆っている。一方、表面側絶縁層144のうち半導体発光素子60、スイッチング素子71、およびキャパシタ72,73が実装される箇所には、表面側配線140が露出する開口部が設けられている。表面側絶縁層144は、たとえば二酸化ケイ素(SiO)等の絶縁材料によって形成されている。
 半導体発光装置10Bの基板20では、第1実施形態の半導体発光装置10Aの基板20よりもx方向の長さが小さくなっている。たとえば、半導体発光装置10Bでは、キャパシタ72と第3基板側面25とのx方向の間の距離DB1は、キャパシタ72とスイッチング素子71とのx方向の間の距離DSC1と等しい。キャパシタ73と第4基板側面26とのx方向の間の距離DB2は、キャパシタ73とスイッチング素子71とのx方向の間の距離DSC2と等しい。ここで、距離DB1と距離DSC1との差がたとえば距離DSC1の10%以内であれば、距離DB1が距離DSC1と等しいといえる。距離DB2と距離DSC2との差がたとえば距離DSC2の10%以内であれば、距離DB2が距離DSC2と等しいといえる。この構成によれば、キャパシタ72,73がスイッチング素子71に隣り合うように配置することができ、かつ基板20のx方向の小型化を図ることができる。
 なお、距離DB1は距離DSC1よりも大きくてもよい。一例では、距離DB1は、距離DSC1よりも大きくかつ距離DSC1の2倍以下である。また、距離DB2は距離DSC2よりも大きくてもよい。一例では、距離DB2は、距離DSC2よりも大きくかつ距離DSC2の2倍以下である。この構成によっても、キャパシタ72,73がスイッチング素子71に隣り合うように配置することができ、かつ基板20のx方向の小型化を図ることができる。
 また、距離DB1は距離DSC1よりも小さくてもよい。距離DB2は距離DSC2よりも小さくてもよい。この構成によれば、キャパシタ72,73がスイッチング素子71に隣り合うように配置することができ、かつ基板20のx方向のさらなる小型化を図ることができる。
 図21は、基板20の平面図を示している。図21では、説明の便宜上、表面側絶縁層144を省略して示し、半導体発光素子60、スイッチング素子71、およびキャパシタ72,73を二点鎖線によって示している。
 図21に示すように、表面側配線140は、第1表面側配線141、第2表面側配線142、および外部接続配線143を含んでいる。第1表面側配線141は、第1実施形態の第1表面側配線31と同様の形状および配置態様であるため、その詳細な説明を省略する。
 第2表面側配線142は、z方向において第1表面側配線141と隣り合う位置に配置されている。z方向において、第2表面側配線142は、基板表面21において第1基板側面23よりも第2基板側面24寄りに配置されている。第2表面側配線142のうち第4基板側面26かつ第2基板側面24寄りの部分には、窪み部142Aが形成されている。窪み部142Aは、z方向から視て、キャパシタ73と重なる位置に形成されている。
 外部接続配線143は、第2表面側配線142の窪み部142Aに入り込むように形成されている。外部接続配線143は、第4ワイヤW4(図20参照)によってリードピン104Cと電気的に接続されている。図20に示すように、表面側絶縁層144には、外部接続配線143を露出する開口部が形成されている。第4ワイヤW4は、表面側絶縁層144の開口部を介して外部接続配線143に接続されている。y方向から視た外部接続配線143は、z方向が長辺となり、x方向が短辺となる矩形状である。
 図22は、基板20の裏面図を示している。図22では、説明の便宜上、裏面側絶縁層45を省略して示している。
 図22に示すように、裏面側配線150は、第1裏面側配線151および第2裏面側配線152を含んでいる。
 第1裏面側配線151は、第1表面側配線141および外部接続配線143(ともに図21参照)の双方と電気的に接続される配線である。つまり、第1裏面側配線151は、半導体発光素子60の第2電極65(カソード電極)およびキャパシタ72,73の第1電極72A,73A(ともに図20参照)と電気的に接続される配線である。y方向から視た第1裏面側配線151の形状は、基板裏面22の外周部のうち第1基板側面23、第3基板側面25、および第4基板側面26に沿って延びる凹形状である。y方向から視た第1裏面側配線151の形状は、第2基板側面24を開口する凹形状であるともいえる。y方向から視て、第1裏面側配線151は、第1表面側配線141および外部接続配線143の双方と重なる位置に配置されており、かつ第2表面側配線142(図21参照)と部分的に重なるように形成されている。y方向から視た第1裏面側配線151の面積は、y方向から視た第1表面側配線141の面積よりも大きい。さらに、y方向から視た第1裏面側配線151の面積は、y方向から視た第1表面側配線141の面積と外部接続配線143の面積の合計よりも大きい。
 第2裏面側配線152は、第2表面側配線142と電気的に接続される配線である。つまり、第2裏面側配線152は、スイッチング素子71の第1電極71A(ドレイン電極)と電気的に接続される配線である。第2裏面側配線152は、凹形状となる第1裏面側配線151に入り込んでいる。y方向から視て、第2裏面側配線152は、スイッチング素子71と重なる位置に配置されている。y方向から視た第2裏面側配線152の面積は、y方向から視た第1裏面側配線151の面積よりも小さい。
 図23に示すように、裏面側絶縁層45は、第1裏面側配線151を覆っている。一方、裏面側絶縁層45には、第2裏面側配線152を露出する開口部45Aが設けられている。図22の破線にて示すように、開口部45Aは、第2裏面側配線152の外周部以外を開口している。換言すると、裏面側絶縁層45は、第2裏面側配線152の外周部を覆っている。
 図示していないが、開口部45Aを介して第2裏面側配線152には、はんだペーストまたはAgペースト等の導電性接合材が塗布されている。導電性接合材は、第2裏面側配線152とヒートシンク110の支持面111(図18参照)とを接合している。これにより、半導体発光装置10Bが支持面111に搭載される。また、導電性接合材によって第2裏面側配線152とヒートシンク110とが電気的に接続されている。一方、裏面側絶縁層45は第1裏面側配線151を覆っているため、第1裏面側配線151とヒートシンク110とは絶縁されている。
 図21および図22に示すように、半導体発光装置10Bは、表面側配線140と裏面側配線150とを繋ぐ内部スルーホール160を備えている。y方向から視て、内部スルーホール160は、基板20の第1~第4基板側面23~26よりも内方に設けられている。内部スルーホール160は、第1内部スルーホール161、第2内部スルーホール162、および第3内部スルーホール163を含んでいる。
 本実施形態では、第1~第3内部スルーホール161~163のy方向から視た形状は、円形である。つまり、第1~第3内部スルーホール161~163は、円筒状に形成されている。また、本実施形態では、第1~第3内部スルーホール161~163の大きさ(第1~第3内部スルーホール161~163の直径)は互いに等しい。ここで、第1~第3内部スルーホール161~163の大きさの差の最大値がたとえば第1内部スルーホール161の大きさの10%以内であれば、第1~第3内部スルーホール161~163の大きさが互いに等しいといえる。
 第1~第3内部スルーホール161~163は、導電材料(本実施形態ではCu)によって形成されている。図23および図24に示すように、第1~第3内部スルーホール161~163の内部には、放熱材164が埋め込まれている。放熱材164は、第1~第3内部スルーホール161~163の内部を埋めるように設けられている。放熱材164は、たとえば金属材料によって形成されている。金属材料の一例は、Cuである。つまり、放熱材164は、第1~第3内部スルーホール161~164と同一材料によって形成されていてもよい。
 なお、放熱材164を構成する材料は任意に変更可能である。一例では、放熱材164は、第1~第3内部スルーホール161~163を構成する金属材料とは異なる金属材料によって形成されていてもよい。また、放熱材164は、金属材料に代えて、セラミック等の放熱性能の優れた絶縁材料によって形成されていてもよい。
 図21および図23に示すように、第1内部スルーホール161は、第1表面側配線141と第1裏面側配線151とを繋ぐ配線である。第1内部スルーホール161によって第1表面側配線141と第1裏面側配線151とが電気的に接続されている。本実施形態では、第1内部スルーホール161は1個である。y方向から視て、第1内部スルーホール161は、半導体発光素子60と重なる位置に配置されている。
 第2内部スルーホール162は、第2表面側配線142と第2裏面側配線152とを繋ぐ配線である。第2内部スルーホール162によって第2表面側配線142と第2裏面側配線152とが電気的に接続されている。第2内部スルーホール162は、複数(本実施形態では6個)設けられている。y方向から視て、各第2内部スルーホール162は、スイッチング素子71と重なる位置に配置されている。
 図21および図24に示すように、第3内部スルーホール163は、外部接続配線143と第1裏面側配線151とを繋ぐ配線である。第3内部スルーホール163によって外部接続配線143と第1裏面側配線151とが電気的に接続されている。第3内部スルーホール163は1個である。本実施形態では、第3内部スルーホール163は、z方向において外部接続配線143のうち第1基板側面23寄りに配置されている。
 なお、第1~第3内部スルーホール161~163のそれぞれの個数は任意に変更可能である。また、第1~第3内部スルーホール161~163のそれぞれのz方向から視た形状は任意に変更可能である。たとえば、第1~第3内部スルーホール161~163のy方向から視た形状が互いに異なっていてもよい。また、第1~第3内部スルーホール161~163のそれぞれの大きさは任意に変更可能である。たとえば、第1~第3内部スルーホール161~163の大きさは互いに異なっていてもよい。
 図20に示すように、基板20の第1基板側面23には、基板20の厚さ方向であるy方向において基板20を貫通する端面スルーホール170が設けられている。端面スルーホール170は、第1表面側配線141と第1裏面側配線151(図22参照)とを繋いでいる。
 端面スルーホール170は、y方向から視て、第1基板側面23から第2基板側面24に向けてz方向に凹む凹形状に形成されている。y方向から視た端面スルーホール170の形状は、湾曲凹状である。本実施形態では、y方向から視た端面スルーホール170の形状は半円状である。第1基板側面23とともに第1表面側配線141および第1裏面側配線151の双方には、半円状の凹部が形成されている。第1基板側面23、第1表面側配線141、および第1裏面側配線151のそれぞれの半円状の凹部を構成する側面には、導電材料によって形成された接続配線としての端面スルーホール170が設けられている。端面スルーホール170は、上記半円状の凹部を構成する側面に沿って設けられている。端面スルーホール170の開口端170uは、第1基板側面23と対応する部分では第1基板側面23と面一となり、第1表面側配線141と対応する部分では第1表面側配線141と面一となり、第1裏面側配線151と対応する部分では第1裏面側配線151と面一となる。このように、本実施形態では、端面スルーホール170のy方向の両端部には、段差部が設けられている。端面スルーホール170を構成する導電材料としては、たとえばCuが用いられる。つまり、端面スルーホール170を構成する材料は、内部スルーホール160(図22参照)を構成する材料と同じである。なお、端面スルーホール170を構成する導電材料は、任意に変更可能である。
 図25に示すように、本実施形態では、端面スルーホール170の開口幅WAは、端面スルーホール170の深さ寸法HAよりも大きい。ここで、端面スルーホール170の開口幅WAは、y方向から視て、端面スルーホール170の開口端170uにおけるx方向の間の距離によって定義できる。端面スルーホール170の深さ寸法HAは、端面スルーホール170の開口端170uと端面スルーホール170の側面170bとのz方向の間の最大距離によって定義できる。本実施形態では、端面スルーホール170の開口幅WAは、第1~第3内部スルーホール161~163(図22参照)の外径よりも大きい。また、端面スルーホール170の深さ寸法HAは、第1~第3内部スルーホール161~163の外径以上である。
 半導体発光装置10Bでは、端面スルーホール170の開口幅WAは、たとえば半導体発光素子60のx方向の大きさよりも大きい。なお、開口幅WAの大きさは任意に変更可能である。一例では、端面スルーホール170の開口幅WAは、半導体発光素子60のx方向の大きさ以下であってもよい。
 端面スルーホール170は、複数(本実施形態では2個)設けられている。本実施形態では、2個の端面スルーホール170は、互いに同一形状および同一サイズである。2個の端面スルーホール170は、z方向において互いに揃った状態でx方向において互いに離間して配列されている。本実施形態では、2個の端面スルーホール170は、基板20のx方向の中央においてz方向に沿って延びる中心線CLAに対して対称に配置されている。本実施形態では、2個の端面スルーホール170のx方向の間の距離DHAは、第3基板側面25寄りの端面スルーホール170と第3基板側面25とのx方向の間の距離DHLよりも大きい。また、距離DHAは、第4基板側面26寄りの端面スルーホール170と第4基板側面26とのx方向の間の距離DHRよりも大きい。
 距離DHAは、半導体発光素子60のx方向の大きさよりも大きい。距離DHAは、キャパシタ72,73のそれぞれのx方向の大きさよりも大きく、スイッチング素子71(図20参照)のx方向の大きさよりも小さい。
 z方向から視て、2個の端面スルーホール170は、半導体発光素子60と重なる位置とは異なる位置に設けられている。より詳細には、y方向から視て、2個の端面スルーホール170は、半導体発光素子60のx方向の両側に分散して配置されている。y方向から視て、各端面スルーホール170は、半導体発光素子60とx方向に隣り合う位置に配置されている。本実施形態では、端面スルーホール170と半導体発光素子60とのx方向の間の距離DPHAは、端面スルーホール170の開口幅WAよりも小さい。また、距離DPHAは、半導体発光素子60のx方向の大きさよりも小さい。ここで、距離DPHAは、y方向から視て、端面スルーホール170の側面170bと半導体発光素子60とのx方向の間の距離によって定義できる。距離DPHAは、端面スルーホール170と半導体発光素子60とのx方向の間の最小距離であるともいえる。
 端面スルーホール170は、第1基板側面23に沿う方向(x方向)から視て、半導体発光素子60と重なる部分を有している。つまり、端面スルーホール170の側面170bは、半導体発光素子60の発光素子側面63Aよりも第2基板側面24寄り(スイッチング素子71寄り)に位置する部分を含んでいる。換言すると、第1基板側面23と半導体発光素子60の発光素子側面63A(発光面)とのz方向の間の距離DPAは、端面スルーホール170の深さ寸法HAよりも小さい。ここで、距離DPAは、半導体発光素子60から出射した光が基板20の基板表面21に当たらないような距離に設定されている。
 2個の端面スルーホール170とスイッチング素子71およびキャパシタ72,73との配置関係は、第1実施形態の2個の端面スルーホール51Aとスイッチング素子71およびキャパシタ72,73との配置関係と同様である。このため、2個の端面スルーホール170とスイッチング素子71およびキャパシタ72,73との配置関係の詳細な説明は省略する。
 各端面スルーホール170の外径RHAは、半導体発光素子60とキャパシタ72とのx方向の間の距離DPCA以上である。本実施形態では、各端面スルーホール170の外径RHAは、半導体発光素子60とキャパシタ72とのx方向の間の距離DPCAよりも大きい。
 各端面スルーホール170の外径RHAは、半導体発光素子60とキャパシタ73とのx方向の間の距離DPCB以上である。本実施形態では、各端面スルーホール170の外径RHAは、半導体発光素子60とキャパシタ73とのx方向の間の距離DPCBよりも大きい。
 各端面スルーホール170には、放熱材171が埋め込まれている。放熱材171は、各端面スルーホール170の開口端170uの端面と面一となるように設けられている。放熱材171のy方向の両端部には、各端面スルーホール170の開口端170uと同様に段差部が設けられている。y方向から視た放熱材171の形状は、略半円状である。放熱材171のy方向の大きさは、各端面スルーホール170のy方向の大きさと等しい。
 放熱材171は、たとえば金属材料によって形成されている。金属材料の一例は、Cuである。つまり、放熱材171は、各端面スルーホール170と同一材料によって形成されていてもよい。
 なお、放熱材171を構成する材料は任意に変更可能である。一例では、放熱材171は、端面スルーホール170を構成する金属材料とは異なる金属材料によって形成されていてもよい。また、放熱材171は、金属材料に代えて、セラミック等の放熱性能の優れた絶縁材料によって形成されていてもよい。
 本実施形態では、第1実施形態とは異なり、第3基板側面25および第4基板側面26に端面スルーホールが設けられていない。つまり、基板20に設けられた端面スルーホールは、第1表面側配線141と第1裏面側配線151とを繋ぐ端面スルーホール170であり、第3基板側面25および第4基板側面26には設けられず、第1基板側面23にのみ形成されている。この場合、第2表面側配線142と第2裏面側配線152とは、第2内部スルーホール162によって電気的に接続されている。
 次に、半導体発光装置10Bとリードピン104A~104Dとの接続構成について説明する。
 図20に示すとおり、第2ワイヤW2は、スイッチング素子71の第2電極71B(ソース電極)のz方向の両端部のうちリードピン104Aに近い方の端部と、リードピン104Aの接続部106Aとを接続している。これにより、スイッチング素子71の第2電極71Bとリードピン104Aとが電気的に接続されている。このため、リードピン104Aの端子部107Aは、ソース端子を構成しているといえる。
 第3ワイヤW3は、スイッチング素子71の制御電極71C(ゲート電極)と、リードピン104Bの接続部106Bとを接続している。これにより、スイッチング素子71の制御電極71Cとリードピン104Bとが電気的に接続されている。このため、リードピン104Bの端子部107Bは、ゲート端子を構成しているといえる。
 第4ワイヤW4は、外部接続配線143とリードピン104Cの接続部106Cとを接続している。外部接続配線143は、第3内部スルーホール163、第1裏面側配線151、および第1表面側配線141を介して半導体発光素子60の第2電極65(カソード電極)と電気的に接続されている。このため、リードピン104Cの端子部107Cは、カソード端子を構成しているといえる。
 第2裏面側配線152は、はんだペーストまたはAgペースト等の導電性接合材(図示略)によってヒートシンク110に接続されている。ヒートシンク110は、ベース100を介してリードピン104Dと電気的に接続されているため、第2裏面側配線152はリードピン104Dと電気的に接続されている。第2裏面側配線152はスイッチング素子71の第1電極71A(ドレイン電極)と電気的に接続されている。このため、リードピン104Dの端子部107Dは、ドレイン端子を構成しているといえる。
 以上説明した半導体発光装置10BがレーザシステムLS(図9)に適用される場合、駆動電源DV、電流制限抵抗R、ダイオードD、およびドライバ回路PMと半導体発光装置10Bとの電気的な接続構成は、第1実施形態の駆動電源DV、電流制限抵抗R、ダイオードD、およびドライバ回路PMと半導体発光装置10Aとの電気的な接続構成と同様である。
 (効果)
 本実施形態の半導体発光装置10Bおよび半導体発光ユニット200によれば、第1実施形態の効果に加え、以下の効果を得ることができる。
 (2-1)半導体発光ユニット200は、半導体発光装置10Bと、ステム90と、包囲部材130と、を備えている。ステム90は、導電性のベース100と、ベース100上に立設する導電性のヒートシンク110と、を有している。半導体発光装置10Bは、ヒートシンク110に搭載されている。包囲部材130は、半導体発光装置10Bとヒートシンク110とを囲むようにベース100上に設けられている。半導体発光装置10Bは、ヒートシンク110に搭載された基板20と、基板20上に実装された半導体発光素子60および発光素子制御回路70と、を有している。発光素子制御回路70は、半導体発光素子60への電流の供給を制御するスイッチング素子71を有している。スイッチング素子71は、縦型MOSFETとして設けられている。
 この構成によれば、スイッチング素子71が横型MOSFETの場合と比較して、スイッチング素子71の配線経路を短くすることができる。したがって、ステム90に搭載される半導体発光装置10Bの小型化を図ることができる。加えて、スイッチング素子71が横型MOSFETの場合と比較して、キャパシタ72,73、スイッチング素子71、および半導体発光素子60によって形成される電流の配線経路を短くすることができる。これにより、配線経路に生じる寄生インダクタンスを低減することができる。
 (2-2)半導体発光ユニット200は、複数のリードピン104A~104Dによって、半導体発光ユニット200が実装される回路基板と電気的に接続される。
 この構成によれば、リードピン104A~104Dを介して回路基板に設けられたドライバ回路PMによって半導体発光装置10Bを制御することができる。また、半導体発光装置10Bから回路基板への放熱経路をリードピン104A~104Dによって形成することができる。
 (2-3)リードピン104Dは、ベース100に固定されるとともに、ベース100、ヒートシンク110、第2裏面側配線152、第2内部スルーホール162、および第2表面側配線142を介してスイッチング素子71に電気的に接続されている。
 この構成によれば、スイッチング素子71において発生した熱が第2表面側配線142、第2内部スルーホール162、第2裏面側配線152、ヒートシンク110、ベース100、およびリードピン104Dを経て半導体発光ユニット200の外部に放出される。これにより、スイッチング素子71から半導体発光装置10Bの外部に伝熱する伝熱経路の体積が大きくなるため、半導体発光装置10Bの放熱性をさらに向上させることができる。
 [第3実施形態]
 図26~図31を参照して、第3実施形態の半導体発光装置10Cについて説明する。本実施形態の半導体発光装置10Cは、第1実施形態の半導体発光装置10Aと比較して、基板および内部スルーホールの構成が異なる。以下の半導体発光装置10Cの説明において、第1実施形態の半導体発光装置10Aと共通する構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する場合がある。なお、説明の便宜上、図26および図27では、裏面側絶縁層45および後述する中間絶縁層305を省略して示している。また、図27では、説明の便宜上、封止樹脂80を省略して示している。
 図26に示すように、半導体発光装置10Cの基板20は、表面側基板20Aおよび裏面側基板20Bを有している。基板20の厚さ方向(z方向)において、表面側基板20Aおよび裏面側基板20Bは互いに積層されている。表面側基板20Aおよび裏面側基板20Bの双方は、絶縁性の材料によって形成されている。本実施形態では、表面側基板20Aおよび裏面側基板20Bの双方は、ガラスエポキシ樹脂を含む材料によって形成されている。
 表面側基板20Aは、基板20の基板表面21を構成する基板である。図27に示すように、表面側基板20Aは、z方向において互いに反対側を向く基板表面21Aおよび基板裏面22Aを有している。つまり、基板表面21Aは、基板20の基板表面21を構成している。このため、表面側基板20Aの基板表面21Aには、表面側配線30が形成されている。図28に示すとおり、本実施形態では、表面側配線30は、第1実施形態と同様に第1~第4表面側配線31~34を有している。
 図27に示すように、裏面側基板20Bは、基板20の基板裏面22を構成する基板である。裏面側基板20Bは、z方向において互いに反対側を向く基板表面21Bおよび基板裏面22Bを有している。つまり、基板裏面22Bは、基板20の基板裏面22を構成している。このため、裏面側基板20Bの基板裏面22Bには、裏面側配線40が形成されている。図30に示すとおり、本実施形態では、裏面側配線40は、第1実施形態と同様に第1~第4裏面側配線41~44を有している。
 図26、図27、および図29に示すように、半導体発光装置10Cは、表面側基板20Aと裏面側基板20Bとに挟み込まれた中間配線300および中間絶縁層305を備えている。中間配線300は、表面側配線30および裏面側配線40と同じ材料によって形成されている。中間配線300は、CuまたはCu合金によって形成されている。
 図29に示すように、中間配線300は、第1中間配線301、第2中間配線302、第3中間配線303、および第4中間配線304を有している。本実施形態では、第1~第4中間配線301~304は、第1~第4裏面側配線41~44と同一形状である。図28~図30に示すように、第1中間配線301は、z方向から視て第1裏面側配線41および第1表面側配線31の双方と重なる位置に設けられている。第2中間配線302は、z方向から視て第2裏面側配線42と重なる位置に設けられている。第3中間配線303は、z方向から視て第3裏面側配線43および第3表面側配線33の双方と重なる位置に設けられている。第4中間配線304は、z方向から視て第4裏面側配線44および第4表面側配線34の双方と重なる位置に配置されている。
 中間絶縁層305は、裏面側基板20Bの基板表面21Bのうち中間配線300以外の領域を覆っている。中間絶縁層305は、表面側基板20Aの基板裏面22Aと接している。中間絶縁層305は、表面側基板20Aまたは裏面側基板20Bと同時に形成される。中間絶縁層305を構成する材料は、たとえば裏面側絶縁層45を構成する材料と同じである。
 図28、図29、および図31に示すように、半導体発光装置10Cは、第1~第4内部スルーホール54~57に加え、第5内部スルーホール310を備えている。ここで、第5内部スルーホール310は、「基板の厚さ方向から視て第1内部スルーホールとは異なる位置において裏面側基板を貫通するとともに中間配線と裏面側配線とを繋ぐ第2内部スルーホール」に対応している。
 第5内部スルーホール310は、第1中間配線301と第1裏面側配線41とを繋ぐ配線である。第5内部スルーホール310によって第1中間配線301と第1裏面側配線41とが電気的に接続されている。第5内部スルーホール310は、裏面側基板20Bを貫通するように設けられている。図31に示すように、第5内部スルーホール310は、表面側基板20Aよりも基板裏面22寄りに配置されている。第5内部スルーホール310のz方向の大きさは、第1内部スルーホール54のz方向の大きさよりも小さい。
 図28~図30に示すように、z方向から視た第5内部スルーホール310の形状は、円形である。第5内部スルーホール310の直径は、第1~第4内部スルーホール54~57の直径と等しい。ここで、第5内部スルーホール310の直径と第1~第4内部スルーホール54~57の直径との差の最大値が第5内部スルーホール310の直径の10%以内であれば、第5内部スルーホール310の直径が第1~第4内部スルーホール54~57の直径と等しいといえる。
 第5内部スルーホール310は複数(本実施形態では6個)設けられている。z方向から視て、複数の第5内部スルーホール310は、y方向において互いに揃った状態でx方向において互いに離間して配列されている。本実施形態では、第5内部スルーホール310は、x方向において第1内部スルーホール54の両側に3個ずつ設けられている。複数の第5内部スルーホール310は、y方向において第1内部スルーホール54よりも第2基板側面24寄りに設けられている。図28に示すように、z方向から視て、複数の第5内部スルーホール310の1個は、キャパシタ72と重なる位置に配置されている。z方向から視て、複数の第5内部スルーホール310の別の1個は、キャパシタ73と重なる位置に配置されている。本実施形態では、第5内部スルーホール310を構成する材料は、第1~第4内部スルーホール54~57を構成する材料と同じである。なお、第5内部スルーホール310を構成する材料は任意に変更可能である。たとえば、第5内部スルーホール310を構成する材料は、第1~第4内部スルーホール54~57を構成する材料と異なっていてもよい。
 第5内部スルーホール310の内部には、放熱材311が設けられている。放熱材311は、第5内部スルーホール310の内部を埋めるように設けられている。放熱材311は、たとえば金属材料によって形成されている。金属材料の一例は、Cuである。つまり、放熱材311は、第5内部スルーホール310と同一材料によって形成されていてもよい。
 なお、放熱材311を構成する材料は任意に変更可能である。一例では、放熱材311は、第5内部スルーホール310を構成する金属材料とは異なる金属材料によって形成されていてもよい。また、放熱材311は、金属材料に代えて、セラミック等の放熱性能の優れた絶縁材料によって形成されていてもよい。
 図28~図30に示すように、基板20の第1基板側面23には、第1実施形態と同様に、基板20の厚さ方向であるz方向において基板20を貫通する端面スルーホール51A,51Bが設けられている。本実施形態では、端面スルーホール51A,51Bは、表面側基板20Aおよび裏面側基板20Bの双方を基板20の厚さ方向であるz方向に貫通するとともに第1表面側配線31、第1中間配線301、および第1裏面側配線41を繋いでいる。本実施形態では、表面側基板20Aの第1基板側面23、裏面側基板20Bの第1基板側面23、第1表面側配線31、第1中間配線301、および第1裏面側配線41のそれぞれに半円状の凹部が形成されている。端面スルーホール51A,51Bは、表面側基板20Aの第1基板側面23、裏面側基板20Bの第1基板側面23、第1表面側配線31、第1中間配線301、および第1裏面側配線41のそれぞれの半円状の凹部を構成する側面に沿って設けられている。
 基板20の第3基板側面25および第4基板側面26の双方には、第1実施形態と同様に、基板20の厚さ方向であるz方向において基板20を貫通する端面スルーホール52A,52Bが設けられている。端面スルーホール52A,52Bは、表面側基板20Aおよび裏面側基板20Bの双方を基板20の厚さ方向であるz方向に貫通するとともに第2表面側配線32、第2中間配線302、および第2裏面側配線42を繋いでいる。
 本実施形態では、表面側基板20Aの第3基板側面25、裏面側基板20Bの第3基板側面25、第2表面側配線32、第2中間配線302、および第2裏面側配線42のそれぞれに半円状の凹部が形成されている。端面スルーホール52Aは、表面側基板20Aの第3基板側面25、裏面側基板20Bの第3基板側面25、第2表面側配線32、第2中間配線302、および第2裏面側配線42のそれぞれの半円状の凹部を構成する側面に沿って設けられている。
 本実施形態では、表面側基板20Aの第4基板側面26、裏面側基板20Bの第4基板側面26、第2表面側配線32、第2中間配線302、および第2裏面側配線42のそれぞれに半円状の凹部が形成されている。端面スルーホール52Bは、表面側基板20Aの第4基板側面26、裏面側基板20Bの第4基板側面26、第2表面側配線32、第2中間配線302、および第2裏面側配線42のそれぞれの半円状の凹部を構成する側面に沿って設けられている。
 本実施形態における端面スルーホール51A,51Bの形状、サイズ、および配置態様は、第1実施形態の端面スルーホール51A,51B(図3参照)と同様である。端面スルーホール52A,52Bの形状、サイズ、および配置態様は、第1実施形態の端面スルーホール52A,52Bと同様である。
 (効果)
 本実施形態の半導体発光装置10Cによれば、第1実施形態の効果に加え、以下の効果が得られる。
 (3-1)基板20は、表面側配線30が形成された表面側基板20Aと、裏面側配線40が形成された裏面側基板20Bと、を有している。半導体発光装置10Cは、表面側基板20Aと裏面側基板20Bとに挟み込まれた中間配線300を備えている。端面スルーホール51(51A,51B)は、表面側基板20Aおよび裏面側基板20Bの双方を基板20の厚さ方向において貫通するとともに表面側配線30(第1表面側配線31)、中間配線300(第1中間配線301)、および裏面側配線40(第1裏面側配線41)を繋いでいる。
 この構成によれば、半導体発光素子60によって発生した熱は、端面スルーホール51(51A,51B)から中間配線300(第1中間配線301)に移動する場合がある。中間配線300(第1中間配線301)の熱は、第5内部スルーホール310を介して裏面側配線40(第1裏面側配線41)に移動する。これにより、半導体発光素子60から半導体発光装置10Cの外部に伝熱する伝熱経路の体積を大きくすることができる。したがって、半導体発光装置10Cの放熱性を向上させることができる。また、半導体発光素子60によって発生した熱は、中間配線300(第1中間配線301)から端面スルーホール51A,51Bに移動する場合がある。これにより、半導体発光装置10Cの放熱性を向上させることができる。
 (3-2)半導体発光装置10Cは、第1内部スルーホール54と、第1中間配線301と第1裏面側配線41とを繋ぐ第5内部スルーホール310と、を備えている。
 この構成によれば、半導体発光素子60から第1裏面側配線41への放熱経路が増えるため、半導体発光装置10Cの放熱性を向上させることができる。
 ところで、半導体発光装置10Cにおけるスイッチング素子71、キャパシタ72,73、および半導体発光素子60のループ状の配線経路は、キャパシタ72,73の第1電極72A,73A、第1表面側配線31、半導体発光素子60、スイッチング素子71、キャパシタ72,73の第2電極72B,73Bによって形成される。このため、第1中間配線301は、上記ループ状の配線経路から外れている。第5内部スルーホール310は、上記ループ状の配線経路から外れた位置に設けられている。したがって、半導体発光素子60への電流の流れを阻害せずに半導体発光装置10Cの放熱性を向上させることができる。
 (3-3)第5内部スルーホール310は複数設けられている。
 この構成によれば、半導体発光素子60から第1裏面側配線41への放熱経路がさらに増えるため、半導体発光装置10Cの放熱性をさらに向上させることができる。
 (3-4)第5内部スルーホール310は、z方向から視てキャパシタ72,73と重なる位置に配置されている。
 この構成によれば、第5内部スルーホール310は、z方向から視て、スイッチング素子71、キャパシタ72,73、および半導体発光素子60のループ状の配線経路と重なる位置に設けられている。しかし、第5内部スルーホール310は、第1表面側配線31に設けられていないため、z方向から視て上記ループ状の配線経路と重なる位置に設けられたとしても上記ループ状の配線経路の電流の流れを阻害しない。このため、第5内部スルーホール310の配置の自由度を高めることができる。
 [変更例]
 上記各実施形態は、以下のように変更して実施することができる。また、上記各実施形態および以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。なお、変更例を説明するための図32~図36では、便宜上、第1ワイヤW1および封止樹脂80を省略して示している。
 ・第1実施形態において、端面スルーホール51の配置位置、サイズ、形状等は任意に変更可能である。
 第1例では、図32に示すように、端面スルーホール51は、第3基板側面25および第4基板側面26にも設けられていてもよい。便宜上、第3基板側面25に設けられた端面スルーホール51を「端面スルーホール51C」とし、第4基板側面26に設けられた端面スルーホール51を「端面スルーホール51D」とする。端面スルーホール51C,51Dは、第1表面側配線31と第1裏面側配線41とを繋いでいる。端面スルーホール51Cは、x方向から視て、キャパシタ72の第1電極72Aと重なる位置に設けられている。端面スルーホール51Dは、x方向から視て、キャパシタ73の第1電極73Aと重なる位置に設けられている。つまり、端面スルーホール51C,51Dは、端面スルーホール51A,51Bよりも第2基板側面24寄りに設けられている。図示された例においては、端面スルーホール51C,51Dのサイズおよび形状は、端面スルーホール51A,51Bと同じである。また、端面スルーホール51C,51Dを構成する材料は、たとえばCuである。端面スルーホール51C,51Dを構成する材料は、たとえば端面スルーホール51A,51Bを構成する材料と同じである。
 図示された例においては、端面スルーホール51C,51Dには、放熱材59が埋め込まれている。端面スルーホール51C,51Dに埋め込まれた放熱材59のサイズおよび形状は、端面スルーホール51A,51Bに埋め込まれた放熱材59のサイズおよび形状と同じである。また、端面スルーホール51C,51Dに埋め込まれた放熱材59を構成する材料は、端面スルーホール51A,51Bに埋め込まれた放熱材59を構成する材料と同じである。
 この構成によれば、端面スルーホール51C,51Dによって半導体発光素子60の熱を基板20の外部に放出する経路が増えるため、半導体発光装置10Aの放熱性をさらに向上させることができる。加えて、端面スルーホール51C,51Dに埋め込まれた放熱材59によって半導体発光素子60から半導体発光装置10Aの外部に伝熱する伝熱経路の体積を増加させることができるため、半導体発光装置10Aの放熱性をさらに向上させることができる。
 なお、端面スルーホール51C,51Dのサイズは任意に変更可能である。一例では、端面スルーホール51C,51Dの開口幅WBは、端面スルーホール51A,51Bの開口幅Wよりも大きくてもよい。また、端面スルーホール51C,51Dの深さ寸法HBは、端面スルーホール51A,51Bの深さ寸法Hよりも深くてもよい。
 第1例において、端面スルーホール51A,51B,51C,51Dに埋め込まれた放熱材59のうち少なくとも1つを省略してもよい。
 また、第1例において、2個の端面スルーホール51Bを省略してもよい。この場合、端面スルーホール51は、2個の端面スルーホール51Aおよび端面スルーホール51C,51Dを含んでいる。
 また、第1例において、2個の端面スルーホール51Aを省略してもよい。この場合、端面スルーホール51は、2個の端面スルーホール51Bおよび端面スルーホール51C,51Dを含んでいる。
 また、第1例において、2個の端面スルーホール51Aおよび2個の端面スルーホール51Bの双方を省略してもよい。この場合、端面スルーホール51は、端面スルーホール51C,51Dを含んでいる。つまり、端面スルーホール51は、半導体発光素子60が実装された第1表面側配線31と、第1表面側配線31に電気的に接続された第1裏面側配線41とを繋ぐ端面スルーホールとなる。
 第2例では、図33に示すように、端面スルーホール51Bは、基板20の厚さ方向から視て、基板20の四隅のうち第1基板側面23側の2つの隅に設けられていてもよい。2個の端面スルーホール51Bのうち第3基板側面25寄りの端面スルーホール51Bは、第1基板側面23および第3基板側面25にわたり設けられている。2個の端面スルーホール51Bのうち第4基板側面26寄りの端面スルーホール51Bは、第1基板側面23および第4基板側面26にわたり設けられている。図示された例においては、z方向から視た端面スルーホール51Bの形状は、1/4円形状である。
 なお、端面スルーホール51Bのサイズは任意に変更可能である。一例では、端面スルーホール51Bの半径は、端面スルーホール51Aの半径(端面スルーホール51Aの深さ寸法H)よりも大きくてもよい。
 第3例では、図34に示すように、2個の端面スルーホール51Aの開口幅Wは、2個の端面スルーホール51Bの開口幅Wよりも大きくてもよい。
 この構成によれば、半導体発光素子60に近い2個の端面スルーホール51Aの体積が大きくなるため、半導体発光素子60の熱を2個の端面スルーホール51Aに効率よく移動させることができる。したがって、半導体発光装置10Aの放熱性を向上させることができる。なお、第3例において、2個の端面スルーホール51Bの開口幅Wが2個の端面スルーホール51Aの開口幅Wよりも大きくてもよい。
 第4例では、z方向から視た端面スルーホール51の形状は半円状に限られず、任意に変更可能である。一例では、図35に示すように、z方向から視た端面スルーホール51の形状は、第1基板側面23から第2基板側面24に向けて先細りとなるように凹む台形凹状であってもよい。第1基板側面23とともに第1表面側配線31および第1裏面側配線41の双方には、台形凹状の凹部が形成されている。第1基板側面23、第1表面側配線31、および第1裏面側配線41のそれぞれの台形凹状の凹部を構成する側面には、導電材料によって形成された接続配線としての端面スルーホール51が設けられている。端面スルーホール51は、上記台形凹状の凹部を構成する側面に沿って設けられている。端面スルーホール51の開口端51uは、第1基板側面23と面一となる。図示された例においては、端面スルーホール51の開口幅Wは、端面スルーホール51の深さ寸法Hよりも大きい。ここで、端面スルーホール51の開口幅Wは、z方向から視て、端面スルーホール51の開口端51uにおけるx方向の間の距離によって定義できる。端面スルーホール51の深さ寸法Hは、端面スルーホール51の開口端51uと端面スルーホール51の側面51bとのy方向の間の距離によって定義できる。
 なお、第1例~第4例のうち少なくとも2つは、互いに組み合わせることができる。また、第1例~第4例は、第3実施形態の半導体発光装置10Cにも適用できる。この場合、端面スルーホール51は、第1表面側配線31、第1中間配線301、および第1裏面側配線41を繋いでいる。また、第2実施形態の半導体発光装置10Bにおいて、第4例のように端面スルーホール170の形状は、半円状に代えて台形凹状であってもよい。
 ・第3実施形態において、図36に示すように、基板20の第1基板側面23には、裏面側基板20Bを貫通するとともに第1中間配線301と第1裏面側配線41とを繋ぐ端面スルーホール51Eが設けられていてもよい。端面スルーホール51Eは、z方向から視て、半導体発光素子60と重なる位置に設けられている。端面スルーホール51Eは、裏面側基板20Bをその厚さ方向において貫通する一方、表面側基板20Aには設けられていない。このため、端面スルーホール51Eのz方向の大きさは、端面スルーホール51A,51Bのz方向の大きさよりも小さい。ここで、端面スルーホール51Eは「裏面側端面スルーホール」に対応している。
 この構成によれば、半導体発光素子60の熱を基板20の外部に放出する経路が増えるため、半導体発光装置10Aの放熱性をさらに向上させることができる。また、端面スルーホール51Eは、裏面側基板20Bに設けられ、表面側基板20Aに設けられていない。このため、端面スルーホール51Eは、表面側基板20Aによってz方向から覆われている。これにより、半導体発光素子60からの光が端面スルーホール51に照射されることを抑制できる。
 ・第2実施形態において、図37に示すように、基板20の第3基板側面25に端面スルーホール172を設けてもよい。この場合、端面スルーホール172は、キャパシタ72よりも第2基板側面24寄りに設けられている。ここで、端面スルーホール172は、「制御回路側端面スルーホール」に対応している。
 y方向から視た端面スルーホール172の形状は、たとえば半円状である。端面スルーホール172は、第3基板側面25側に開口する開口端172uと、側面172bと、を有している。図示された例においては、端面スルーホール172の形状およびサイズは、端面スルーホール170の形状およびサイズと同じである。なお、端面スルーホール172の形状およびサイズはそれぞれ任意に変更可能である。たとえば端面スルーホール172の形状およびサイズは端面スルーホール170の形状およびサイズと異なっていてもよい。また、端面スルーホール172の個数は任意に変更可能である。一例では、端面スルーホール172は複数設けられていてもよい。
 端面スルーホール172には、放熱材171が埋め込まれていてもよい。端面スルーホール172に埋め込まれた放熱材171を構成する材料は、端面スルーホール170に埋め込まれた放熱材171を構成する材料と同じである。なお、端面スルーホール172に埋め込まれた放熱材171を構成する材料は任意に変更可能であり、たとえば端面スルーホール170に埋め込まれた放熱材171を構成する材料と異なっていてもよい。ここで、端面スルーホール172に埋め込まれた放熱材171は、「制御回路側放熱材」に対応している。
 ・第2実施形態において、半導体発光装置10Bの基板20は、第3実施形態と同様に、表面側基板20Aおよび裏面側基板20Bが基板20の厚さ方向(y方向)に積層された構成であってもよい。この場合、半導体発光装置10Bは、表面側基板20Aと裏面側基板20Bとに挟み込まれた中間配線400(図39参照)を備えている。
 図38に示すように、表面側基板20Aの基板表面21Aには表面側配線140が形成されている。図40に示すように、裏面側基板20Bの基板裏面22Bには裏面側配線150が形成されている。一例では、表面側配線140および裏面側配線150は第2実施形態の表面側配線140および裏面側配線150と同じである。つまり、図38に示すように、表面側配線140は、第1表面側配線141、第2表面側配線142、および外部接続配線143を含んでいる。図40に示すように、裏面側配線150は、第1裏面側配線151および第2裏面側配線152を含んでいる。
 図39に示すように、中間配線400は、第1中間配線401、第2中間配線402、および第3中間配線403を含んでいる。
 第1中間配線401は、第1表面側配線141と第1裏面側配線151との双方と電気的に接続される配線である。第1中間配線401は、y方向から視て、第1表面側配線141および第1裏面側配線151の双方と重なる位置に形成されている。y方向から視た第1中間配線401は、x方向が長辺となり、z方向が短辺となる矩形状である。
 第2中間配線402は、第2表面側配線142と第2裏面側配線152との双方と電気的に接続される配線である。第2中間配線402は、y方向から視て、第2表面側配線142および第1裏面側配線151と重なる位置に形成されている。y方向から視た第2中間配線402の形状は、たとえばy方向から視た第2表面側配線142の形状と同じである。
 第3中間配線403は、外部接続配線143と第1裏面側配線151との双方と電気的に接続される配線である。第3中間配線403は、y方向から視て、外部接続配線143および第1裏面側配線151の双方と重なる位置に形成されている。y方向から視た第3中間配線403の形状は、たとえばy方向から視た外部接続配線143の形状と同じである。
 図38~図40に示すように、半導体発光装置10Bは、第1~第3内部スルーホール161~163に加え、第4内部スルーホール165を備えている。ここで、第4内部スルーホール165は、「基板の厚さ方向から視て第1内部スルーホールとは異なる位置において裏面側基板を貫通するとともに中間配線と裏面側配線とを繋ぐ第2内部スルーホール」に対応している。
 第4内部スルーホール165は、第1中間配線401と第1裏面側配線151とを繋ぐ配線である。第4内部スルーホール165によって第1中間配線401と第1裏面側配線151とが電気的に接続されている。第4内部スルーホール165は、裏面側基板20Bを貫通するように設けられている。基板20の厚さ方向であるy方向において、第4内部スルーホール165は、表面側基板20Aよりも基板裏面22寄りに配置されている。第4内部スルーホール165のy方向の大きさは、第1内部スルーホール161のy方向の大きさよりも小さい。
 y方向から視た第4内部スルーホール165の形状は、円形である。第4内部スルーホール165の直径は、第1~第3内部スルーホール161~163の直径と等しい。ここで、第4内部スルーホール165の直径と第1~第3内部スルーホール161~163の直径との差の最大値が第4内部スルーホール165の直径の10%以内であれば、第4内部スルーホール165の直径が第1~第3内部スルーホール161~163の直径と等しいといえる。
 図39に示すように、第4内部スルーホール165は複数(本実施形態では4個)設けられている。y方向から視て、複数の第4内部スルーホール165は、z方向において互いに揃った状態でx方向において互いに離間して配列されている。本実施形態では、第4内部スルーホール165は、x方向において第1内部スルーホール161の両側に2個ずつ設けられている。複数の第4内部スルーホール165は、z方向において第1内部スルーホール161よりも第2基板側面24寄りに設けられている。図38に示すように、y方向から視て、複数の第4内部スルーホール165の1個は、キャパシタ72と重なる位置に配置されている。y方向から視て、複数の第4内部スルーホール165の別の1個は、キャパシタ73と重なる位置に配置されている。本実施形態では、第4内部スルーホール165を構成する材料は、第1~第3内部スルーホール161~163を構成する材料と同じである。なお、第4内部スルーホール165を構成する材料は任意に変更可能である。たとえば、第4内部スルーホール165を構成する材料は、第1~第3内部スルーホール161~163を構成する材料と異なっていてもよい。
 第4内部スルーホール165の内部には、放熱材166が設けられている。放熱材166は、第4内部スルーホール165の内部を埋めるように設けられている。放熱材166は、たとえば金属材料によって形成されている。金属材料の一例は、Cuである。つまり、放熱材166は、第4内部スルーホール165と同一材料によって形成されていてもよい。
 なお、放熱材166を構成する材料は任意に変更可能である。一例では、放熱材166は、第4内部スルーホール165を構成する金属材料とは異なる金属材料によって形成されていてもよい。また、放熱材166は、金属材料に代えて、セラミック等の放熱性能の優れた絶縁材料によって形成されていてもよい。
 図38~図40に示すように、基板20の第1基板側面23には、第2実施形態と同様に、基板20の厚さ方向であるz方向において基板20を貫通する2個の端面スルーホール170が設けられている。2個の端面スルーホール170の形状、サイズ、および配置態様は、第2実施形態の端面スルーホール170(図25参照)と同様である。各端面スルーホール170は、第1表面側配線141、第1中間配線401、および第1裏面側配線151を繋いでいる。この構成によれば、第3実施形態の効果と同様の効果が得られる。
 ・第3実施形態において、基板20の構成は任意に変更可能である。一例では、基板20は、表面側基板20A、裏面側基板20B、および中間基板を有していてもよい。中間基板は、表面側基板20Aと裏面側基板20Bとに挟み込まれている。この場合、中間配線300は、表面側基板20Aと中間基板とに挟み込まれる表面側中間配線と、裏面側基板20Bと中間基板とに挟み込まれる裏面側中間配線と、を有していてもよい。なお、第2実施形態の半導体発光装置10Bの基板20についても同様に変更してもよい。
 ・第3実施形態において、第5内部スルーホール310の個数は任意に変更可能である。一例では、第5内部スルーホール310は、1個以上3個以下であってもよいし、5個以上であってもよい。
 ・第3実施形態において、第5内部スルーホール310を省略してもよい。
 ・第3実施形態において、端面スルーホール51は、第1中間配線301に繋がれていなくてもよい。また、端面スルーホール52A,52Bの少なくとも一方は、第2中間配線302に繋がれていなくてもよい。
 ・第1および第3実施形態において、端面スルーホール52A,52Bの開口幅Wが端面スルーホール51の開口幅Wと異なっていてもよい。端面スルーホール52A,52Bの深さ寸法Hが端面スルーホール51の深さ寸法Hと異なっていてもよい。
 ・第1および第3実施形態において、各端面スルーホール51A,51Bに埋め込まれた放熱材59の少なくとも1つを省略してもよい。また、端面スルーホール52A,52Bに埋め込まれた放熱材59の少なくとも一方を省略してもよい。
 ・第1および第3実施形態において、端面スルーホール52A,52Bの少なくとも一方を省略してもよい。端面スルーホール52A,52Bを省略した場合、第2表面側配線32と第2裏面側配線42とは、第2内部スルーホール55によって電気的に接続されている。この変更例においては、基板20に設けられた端面スルーホールは、第1表面側配線31と第1裏面側配線41とを繋ぐ端面スルーホール51である。つまり、端面スルーホールは、第3基板側面25および第4基板側面26には設けられず、第1基板側面23にのみ形成されている。ここで、第2内部スルーホール55は、「制御回路側内部スルーホール」に対応している。
 ・第2実施形態において、端面スルーホール170に埋め込まれた放熱材171の少なくとも一方を省略してもよい。
 ・第1および第3実施形態において、封止樹脂80は、z方向から視て、端面スルーホール51と重ならないように設けられていてもよい。一例では、封止樹脂80の第1封止側面83には、z方向から視て端面スルーホール51と同様に半円状の凹部が設けられていてもよい。
 ・第1および第3実施形態において、封止樹脂80は、z方向から視て、端面スルーホール52A,52Bと重ならないように設けられていてもよい。一例では、封止樹脂80の第3封止側面85には、端面スルーホール52Aと同様に、z方向から視て半円状の凹部が設けられていてもよい。封止樹脂80の第4封止側面86には、端面スルーホール52Bと同様に、z方向から視て半円状の凹部が設けられていてもよい。
 ・第1および第3実施形態において、半導体発光装置10A,10Cから封止樹脂80が省略されていてもよい。
 ・第1および第2実施形態において、内部スルーホール53,160に埋め込まれた放熱材58,164を省略してもよい。また、第3実施形態において、第5内部スルーホール310に埋め込まれた放熱材311を省略してもよい。
 ・第1実施形態において、キャパシタ72,73のx方向の位置は任意に変更可能である。一例では、基板20の第3基板側面25とキャパシタ72とのx方向の間の距離がキャパシタ72とスイッチング素子71とのx方向の間の距離DSC1以下となるように、キャパシタ72が基板20に配置されていてもよい。一例では、基板20の第4基板側面26とキャパシタ73とのx方向の間の距離がキャパシタ73とスイッチング素子71とのx方向の間の距離DSC2以下となるように、キャパシタ73が基板20に配置されていてもよい。
 ・第1および第3実施形態において、キャパシタ72,73のy方向の位置は任意に変更可能である。たとえば、キャパシタ72,73は、第1基板側面23に沿う方向から視て、半導体発光素子60に重ならない位置に配置されていてもよい。一例では、図41に示すように、第1基板側面23に沿う方向(x方向)から視て、キャパシタ72,73は、半導体発光素子60よりも第2基板側面24寄りに配置されていてもよい。なお、第2実施形態についても同様に、キャパシタ72,73のz方向の位置は任意に変更可能である。一例では、第1基板側面23に沿う方向(x方向)から視て、キャパシタ72,73が半導体発光素子60よりも第2基板側面24寄りに配置されていてもよい。
 ・各実施形態において、キャパシタの個数は任意に変更可能である。一例では、キャパシタは1個であってもよい。キャパシタの個数は、半導体発光素子60に供給する電流量に応じて設定されていればよい。
 ・各実施形態において、発光素子制御回路70のうちキャパシタ72,73を省略してもよい。
 ・各実施形態において、発光素子制御回路70のうちスイッチング素子71を省略してもよい。
 ・各実施形態において、発光素子制御回路70を省略してもよい。
 ・各実施形態において、半導体発光装置10A~10Cは、ダイオードD、電流制限抵抗R、およびドライバ回路PMの少なくとも1つを備えていてもよい。
 ・各実施形態において、基板20を構成する材料は任意に変更可能である。たとえば、基板20は、ガラスエポキシ樹脂、アルミナ、および窒化アルミニウムのいずれかを含む材料によって形成されていてもよい。図42~図44は、基板20を構成する材料を変更した場合の半導体発光素子60の温度と熱伝達係数との関係を示すグラフである。図42は基板20を構成する材料としてガラスエポキシ樹脂を用いた場合のグラフである。図43は基板20を構成する材料としてアルミナを用いた場合のグラフである。図44は基板20を構成する材料として窒化アルミニウムを用いた場合のグラフである。
 図42~図44に示すように、基板20を構成する材料がガラスエポキシ樹脂の場合の熱抵抗係数が117K/Wであり、アルミナの場合の熱抵抗係数が42K/Wであり、窒化アルミニウムの場合の熱抵抗係数が29K/Wである。このため、基板20を構成する材料が窒化アルミニウムの場合がガラスエポキシ樹脂およびアルミナの場合よりも基板20の放熱性能が向上する。このように、半導体発光装置10A~10Cに要求される放熱性能に応じて、基板20を構成する材料をガラスエポキシ樹脂に代えて、アルミナまたは窒化アルミニウムに変更してもよい。
 本明細書において、「AおよびBのうちの少なくとも1つ」とは、「Aのみ、または、Bのみ、または、AおよびBの両方」を意味するものとして理解されるべきである。
 本開示で使用される「~上に」という用語は、文脈によって明らかにそうでないことが示されない限り、「~上に」と「~の上方に」との双方の意味を含む。したがって、「第1部材が第2部材上に形成される」という表現は、或る実施形態では第1部材が第2部材に接触して第2部材上に直接配置され得るが、他の実施形態では第1部材が第2部材に接触することなく第2部材の上方に配置され得ることが意図される。すなわち、「~上に」という用語は、第1部材と第2部材との間に他の部材が形成される構造を排除しない。
 本開示で使用されるz方向は必ずしも鉛直方向である必要はなく、鉛直方向に完全に一致している必要もない。したがって、本開示による種々の構造は、本明細書で説明されるz方向の「上」および「下」が鉛直方向の「上」および「下」であることに限定されない。例えば、x方向が鉛直方向であってもよく、またはy方向が鉛直方向であってもよい。
 [付記]
 上記実施形態および変更例から把握できる技術的思想を以下に記載する。なお、限定する意図ではなく理解の補助のため、付記に記載した構成について実施形態中の対応する符号を括弧書きで示す。符号は、理解の補助のために例として示すものであり、各付記に記載された構成要素は、符号で示される構成要素に限定されるべきではない。
 (付記1)
 基板表面(21)、前記基板表面(21)とは反対側の基板裏面(22)、および基板側面(23~26)を有する基板(20)と、
 前記基板表面(21)に形成された表面側配線(30)と、
 前記基板裏面(22)に形成された裏面側配線(40)と、
 所定方向に向けて光を出射する発光面(63A)を有し、前記表面側配線(30)に実装された半導体発光素子(60)と、
を備え、
 前記基板側面(23~26)は、
 前記発光面(63A)と同じ側を向く第1基板側面(23)と、
 前記第1基板側面(23)とは反対側の第2基板側面(24)と、
を含み、
 前記半導体発光素子(60)は、前記第2基板側面(24)よりも前記第1基板側面(23)寄りに偏って配置されており、
 前記第1基板側面(23)には、前記基板(20)の厚さ方向(z方向)において前記基板(20)を貫通して前記表面側配線(30)と前記裏面側配線(40)とを繋ぐ端面スルーホール(51/51A,51B)が設けられている
 半導体発光装置(10A)。
 (付記2)
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て、前記端面スルーホール(51/51A,51B)は、前記第1基板側面(23)のうち前記半導体発光素子(60)と重なる位置とは異なる位置に設けられている
 付記1に記載の半導体発光装置。
 (付記3)
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て、前記端面スルーホール(51/51A,51B)は、前記第1基板側面(23)に沿う方向において前記半導体発光素子(60)と隣り合う位置に設けられている
 付記2に記載の半導体発光装置。
 (付記4)
 前記端面スルーホール(51/51A,51B)と前記半導体発光素子(60)との間の距離(DPH)は、前記端面スルーホール(51/51A,51B)の開口幅(W)よりも小さい
 付記3に記載の半導体発光装置。
 (付記5)
 前記第1基板側面(23)には、前記端面スルーホール(51/51A,51B)が複数設けられている
 付記1~4のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記6)
 前記第1基板側面(23)に沿う方向(x方向)から視て、前記端面スルーホール(51/51A,51B)は、前記半導体発光素子(60)と重なる部分を有する
 付記1~5のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記7)
 前記第1基板側面(23)と前記半導体発光素子(60)の前記発光面(63A)との間の距離(DP)は、前記端面スルーホール(51/51A,51B)の深さ寸法(H)よりも小さい
 付記6に記載の半導体発光装置。
 (付記8)
 前記端面スルーホール(51/51A,51B)には、放熱材(59)が埋め込まれている
 付記1~7のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記9)
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て、前記基板(20)のうち前記半導体発光素子(60)と重なる位置には、前記表面側配線(30)と前記裏面側配線(40)とを繋ぐ内部スルーホール(53/54)が設けられている
 付記1~8のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記10)
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視た前記端面スルーホール(51/51A,51B)の開口幅(W)は、前記内部スルーホール(53/54)の直径よりも大きい
 付記9に記載の半導体発光装置。
 (付記11)
 前記内部スルーホール(53/54)は、前記端面スルーホール(51/51A,51B)よりも前記第2基板側面(24)寄りに設けられている
 付記9または10に記載の半導体発光装置。
 (付記12)
 前記内部スルーホール(53/54)には、放熱材(58)が埋め込まれている
 付記9~11のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記13)
 前記表面側配線(30)に実装され、前記半導体発光素子(60)を発光させる発光素子制御回路(70)を備える
 付記1~12のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記14)
 前記発光素子制御回路(70)は、前記表面側配線(30)に実装されたキャパシタ(72,73)を有し、
 前記キャパシタ(72,73)は、前記第1基板側面(23)に沿う方向(x方向)から視て、前記端面スルーホール(51/51A,51B)よりも前記第2基板側面(24)寄りの位置に配置されている
 付記13に記載の半導体発光装置。
 (付記15)
 前記キャパシタ(72,73)は、前記第1基板側面(23)に沿う方向(x方向)から視て、前記半導体発光素子(60)と重なる位置に配置されている
 付記14に記載の半導体発光装置。
 (付記16)
 前記発光素子制御回路(70)は、前記半導体発光素子(60)に供給する電流を制御するスイッチング素子(71)を有し、
 前記表面側配線(30)は、
 前記半導体発光素子(60)が実装された第1表面側配線(31)と、
 前記スイッチング素子(71)が実装された第2表面側配線(32)と、
を有し、
 前記裏面側配線(40)は、
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て、前記第1表面側配線(31)と重なる位置に配置された第1裏面側配線(41)と、
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て、前記第2表面側配線(32)と重なる位置に配置された第2裏面側配線(42)と、
を有し、
 前記端面スルーホール(51/51A,51B)は、前記第1表面側配線(31)と前記第1裏面側配線(41)とを繋いでいる
 付記13~15のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記17)
 前記基板(20)は、前記第1基板側面(23)と前記第2基板側面(24)とを結ぶ第3基板側面(25)および第4基板側面(26)を有し、
 前記第3基板側面(25)と前記第4基板側面(26)の少なくとも一方には、前記第2表面側配線(32)と前記第2裏面側配線(42)とを繋ぐ制御回路側端面スルーホール(52A,52B)が設けられている
 付記16に記載の半導体発光装置。
 (付記18)
 前記基板(20)には、前記第2表面側配線(32)と前記第2裏面側配線(42)とを繋ぐ制御回路側内部スルーホール(55)が設けられている
 付記16または17に記載の半導体発光装置。
 (付記19)
 前記発光素子制御回路(70)は、前記半導体発光素子(60)に供給する電流を制御するスイッチング素子(71)を有し、
 前記表面側配線(30)は、
 前記半導体発光素子(60)が実装された第1表面側配線(31)と、
 前記スイッチング素子(71)が実装された第2表面側配線(32)と、
を有し、
 前記裏面側配線(40)は、
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て、前記第1表面側配線(31)と重なる位置に配置された第1裏面側配線(41)と、
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て、前記第2表面側配線(32)と重なる位置に配置された第2裏面側配線(42)と、
を有し、
 前記キャパシタは、前記第1表面側配線(31)と前記第2表面側配線(32)との間に接続されており、
 前記端面スルーホール(51/51A,51B)は、前記第1表面側配線(31)と前記第1裏面側配線(41)とを繋いでいる
 付記14または15に記載の半導体発光装置。
 (付記20)
 前記基板(20)は、
 前記表面側配線(30)が形成された表面側基板(20A)と、
 前記裏面側配線(40)が形成された裏面側基板(20B)と、
を有し、
 前記半導体発光装置(10C)は、前記表面側基板(20A)と前記裏面側基板(20B)とに挟み込まれた中間配線(300)を備え、
 前記端面スルーホール(51/51A,51B)は、前記表面側基板(20A)および前記裏面側基板(20B)の双方を前記基板(20)の厚さ方向(z方向)において貫通するとともに前記表面側配線(30)、前記中間配線(300)、および前記裏面側配線(40)を繋いでいる
 付記1~19のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記21)
 前記基板表面(21)とともに前記半導体発光素子(60)を覆う透光性の封止樹脂(80)を備える
 付記1~20のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記22)
 前記端面スルーホール(51/51A,51B)には、前記端面スルーホール(51/51A,51B)を埋める放熱材(59)が設けられており、
 前記封止樹脂(80)は、前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て、前記端面スルーホール(51/51A,51B)を覆うように設けられている
 付記21に記載の半導体発光装置。
 (付記23)
 導電性のベース(100)と、前記ベース(100)上に立設し、付記1~22のいずれか1つに記載の半導体発光装置(10B)が搭載された導電性のヒートシンク(110)と、を含むステム(90)と、
 前記半導体発光装置(10B)と前記ヒートシンク(110)とを囲むように前記ベース上に設けられた包囲部材(130)と、
を備える、半導体発光ユニット(200)。
 (付記24)
 前記複数の端面スルーホール(51/51A,51B)は、同一のサイズかつ同一形状である
 付記5に記載の半導体発光装置。
 (付記25)
 前記複数の端面スルーホール(51/51A,51B)は、
 前記半導体発光素子(60)の近くに設けられた第1端面スルーホール(51A)と、
 前記半導体発光素子(60)から遠くに設けられた第2端面スルーホール(51B)と、
を含み、
 前記第1端面スルーホール(51A)の開口幅(W)は、前記第2端面スルーホール(51B)の開口幅(W)よりも大きい
 付記5に記載の半導体発光装置。
 (付記26)
 前記端面スルーホール(51B)は、前記基板(20)の四隅のうち前記第1基板側面(23)側の2つの隅に設けられている
 付記5に記載の半導体発光装置。
 (付記27)
 前記基板表面(21)とともに前記半導体発光素子(60)を覆う透光性の封止樹脂(80)を備え、
 前記制御回路側端面スルーホール(52A,52B)には、前記制御回路側端面スルーホール(52A,52B)を埋める制御回路側放熱材(59)が設けられており、
 前記封止樹脂(80)は、前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て、前記制御回路側端面スルーホール(52A,52B)を覆うように設けられている
 付記17に記載の半導体発光装置。
 (付記28)
 前記基板は、
 前記表面側配線(30)が形成された表面側基板(20A)と、
 前記裏面側配線(40)が形成された裏面側基板(20B)と、
を有し、
 前記半導体発光装置(10C)は、前記表面側基板(20A)と前記裏面側基板(20B)とに挟み込まれた中間配線(300)を備え、
 前記制御回路側端面スルーホール(52A,52B)は、前記表面側基板(20A)および前記裏面側基板(20B)の双方を前記基板(20)の厚さ方向(z方向)において貫通するとともに前記表面側配線(30)、前記中間配線(300)、および前記裏面側配線(40)を繋いでいる
 付記17または27に記載の半導体発光装置。
 (付記29)
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視た前記端面スルーホール(51/51A,51B)の形状は、半円状である
 付記1~22のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記30)
 前記基板(20)は、
 前記表面側配線(30)が形成された表面側基板(20A)と、
 前記裏面側配線(40)が形成された裏面側基板(20B)と、
を有し、
 前記半導体発光装置(10C)は、前記表面側基板(20A)と前記裏面側基板(20B)とに挟み込まれた中間配線(300)を備え、
 前記内部スルーホール(53/54,310)は、
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て前記半導体発光素子(60)と重なる位置において前記基板(20)を貫通するように設けられた第1内部スルーホール(54)と、
 前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て前記第1内部スルーホール(54)とは異なる位置において前記裏面側基板(20B)を貫通するとともに前記中間配線(300)と前記裏面側配線(40)とを繋ぐ第2内部スルーホール(310)と、
を含む
 付記9~12のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記31)
 前記端面スルーホール(51/51A、51B)は、前記表面側基板(20A)および前記裏面側基板(20B)の双方を前記基板(20)の厚さ方向(z方向)において貫通するとともに前記表面側配線(30)、前記中間配線(300)、および前記裏面側配線(40)を繋いでいる
 付記30に記載の半導体発光装置。
 (付記32)
 前記第2内部スルーホール(310)は複数設けられている
 付記30または31に記載の半導体発光装置。
 (付記33)
 前記第1基板側面(23)には、前記裏面側基板(20B)を貫通するとともに前記中間配線(300)と前記裏面側配線(20B)とを繋ぐ裏面側端面スルーホール(51E)が設けられている
 付記20に記載の半導体発光装置。
 (付記34)
 前記基板(20)は、ガラスエポキシ樹脂、アルミナ、および窒化アルミニウムのいずれかを含む材料によって形成されている
 付記1~20のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
 (付記35)
 前記発光素子制御回路(70)は、
 前記表面側配線(30)に実装されたキャパシタ(72,73)と、
 前記半導体発光素子(60)に供給する電流を制御するスイッチング素子(71)と、を有し、
 前記キャパシタは、第1キャパシタ(72)および第2キャパシタ(73)を含み、
 前記半導体発光素子(60)と前記スイッチング素子(71)との配列方向を第1方向(y方向)とし、前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て前記第1方向(y方向)と直交する方向を第2方向(x方向)として、
 前記第1キャパシタ(72)および前記第2キャパシタ(73)は、前記半導体発光素子(60)および前記スイッチング素子(71)の双方と隣り合うように前記第2方向(x方向)の両側に分散して配置されている
 付記13に記載の半導体発光装置。
 (付記36)
 前記スイッチング素子(71)は、前記第2方向(x方向)に延びる第1辺と、前記基板(20)の厚さ方向(z方向)から視て前記第1辺と直交する方向(y方向)に延びる第2辺と、を有し、
 前記第1キャパシタ(72)と前記第2キャパシタ(73)との間の距離は、前記第1辺よりも大きく前記第2辺よりも小さい
 付記35に記載の半導体発光装置。
 以上の説明は単に例示である。本開示の技術を説明する目的のために列挙された構成要素および方法(製造プロセス)以外に、より多くの考えられる組み合わせおよび置換が可能であることを当業者は認識し得る。本開示は、特許請求の範囲および付記を含む本開示の範囲内に含まれるすべての代替、変形、および変更を包含することが意図される。
 10A,10B,10C…半導体発光装置
 11…装置表面
 12…装置裏面
 13…第1装置側面
 14…第2装置側面
 15…第3装置側面
 16…第4装置側面
 20…基板
 20A…表面側基板
 20B…裏面側基板
 21,21A,21B…基板表面
 22,22A,22B…基板裏面
 23…第1基板側面
 24…第2基板側面
 25…第3基板側面
 26…第4基板側面
 30…表面側配線
 31…第1表面側配線
 31A…凹部
 32…第2表面側配線
 32A…突出部
 33…第3表面側配線
 34…第4表面側配線
 40…裏面側配線
 41…第1裏面側配線
 42…第2裏面側配線
 43…第3裏面側配線
 44…第4裏面側配線
 45…裏面側絶縁層
 45A…開口部
 46…めっき層
 51…端面スルーホール
 51A…端面スルーホール(第1端面スルーホール)
 51B…端面スルーホール(第2端面スルーホール)
 51C,51D…端面スルーホール
 51E…端面スルーホール(裏面側端面スルーホール)
 51b…側面
 51u…開口端
 52A,52B…端面スルーホール(制御回路側端面スルーホール)
 52b…側面
 52u…開口端
 53…内部スルーホール
 54…第1内部スルーホール
 55…第2内部スルーホール
 56…第3内部スルーホール
 57…第4内部スルーホール
 58…放熱材
 59…放熱材
 60…半導体発光素子
 61…発光素子表面
 62…発光素子裏面
 63…発光素子側面
 63A…発光素子側面(発光面)
 64…第1電極
 65…第2電極
 70…発光素子制御回路
 71…スイッチング素子
 71s…スイッチング素子表面
 71r…スイッチング素子裏面
 71A…第1電極
 71B…第2電極
 71C…制御電極
 72…キャパシタ(第1キャパシタ)
 73…キャパシタ(第2キャパシタ)
 72A,73A…第1電極
 72B,73B…第2電極
 80…封止樹脂
 81…封止表面
 82…封止裏面
 83…第1封止側面
 84…第2封止側面
 85…第3封止側面
 86…第4封止側面
 90…ステム
 100…ベース
 101…ベース表面
 102…ベース裏面
 103A~103C…貫通孔
 104A~104D…リードピン
 105…絶縁材
 106A~106D…接続部
 107A~107D…端子部
 110…ヒートシンク
 111…支持面
 130…包囲部材
 131…キャップ
 131A…頂部
 131AW…窓部
 131B…筒部
 131C…フランジ部
 132…透光板
 140…表面側配線
 141…第1表面側配線
 142…第2表面側配線
 142A…窪み部
 143…外部接続配線
 144…表面側絶縁層
 150…裏面側配線
 151…第1裏面側配線
 152…第2裏面側配線
 160…内部スルーホール
 161…第1内部スルーホール
 162…第2内部スルーホール
 163…第3内部スルーホール
 165…第4内部スルーホール
 164,166…放熱材
 170…端面スルーホール
 172…端面スルーホール(制御回路側端面スルーホール)
 170u,172u…開口端
 170b,172b…側面
 171…放熱材
 200…半導体発光ユニット
 300…中間配線
 301…第1中間配線
 302…第2中間配線
 303…第3中間配線
 304…第4中間配線
 305…中間絶縁層
 310…第5内部スルーホール(第2内部スルーホール)
 311…放熱材
 400…中間配線
 401…第1中間配線
 402…第2中間配線
 403…第3中間配線
 SD1…導電性接合材
 SD2…導電性接合材
 SD3…導電性接合材
 W1…第1ワイヤ
 W2…第2ワイヤ
 W3…第3ワイヤ
 W4…第4ワイヤ
 SP…収容空間
 LS…レーザシステム
 D…ダイオード
 DV…駆動電源
 R…電流制限抵抗
 PM…ドライバ回路
 CL,CLA…中心線
 DH1…中央の2個の端面スルーホールの間の距離
 DH2…中央の端面スルーホールとそれに隣り合う端面スルーホールとの間の距離
 DH3…第3基板側面に近い端面スルーホールの開口端と第3基板側面との間の距離
 DH4…第4基板側面に近い端面スルーホールの開口端と第4基板側面との間の距離
 DP,DPA…第1基板側面と半導体発光素子の発光面との間の距離
 DPH,DPHA…半導体発光素子と端面スルーホールとの間の距離
 DSC1…スイッチング素子とキャパシタとの間の距離
 DSC2…スイッチング素子とキャパシタとの間の距離
 DHC1…端面スルーホールとキャパシタとの間の距離
 DHC2…端面スルーホールとキャパシタとの間の距離
 DPC1,DPCA…半導体発光素子とキャパシタとの間の距離
 DPC2,DPCB…半導体発光素子とキャパシタとの間の距離
 H,HA,HB…端面スルーホールの深さ寸法
 W,WA,WB…端面スルーホールの開口幅
 RHA…端面スルーホールの外径
 DB1…第3基板側面とキャパシタとの間の距離
 DB2…第4基板側面とキャパシタとの間の距離
 DHA…端面スルーホール間の距離
 DHL…端面スルーホールと第3基板側面との間の距離
 DHR…端面スルーホールと第4基板側面との間の距離

Claims (21)

  1.  基板表面、前記基板表面とは反対側の基板裏面、および基板側面を有する基板と、
     前記基板表面に形成された表面側配線と、
     前記基板裏面に形成された裏面側配線と、
     所定方向に向けて光を出射する発光面を有し、前記表面側配線に実装された半導体発光素子と、
    を備え、
     前記基板側面は、
     前記発光面と同じ側を向く第1基板側面と、
     前記第1基板側面とは反対側の第2基板側面と、
    を含み、
     前記半導体発光素子は、前記第2基板側面よりも前記第1基板側面寄りに偏って配置されており、
     前記第1基板側面には、前記基板の厚さ方向において前記基板を貫通して前記表面側配線と前記裏面側配線とを繋ぐ端面スルーホールが設けられている
     半導体発光装置。
  2.  前記基板の厚さ方向から視て、前記端面スルーホールは、前記第1基板側面のうち前記半導体発光素子と重なる位置とは異なる位置に設けられている
     請求項1に記載の半導体発光装置。
  3.  前記基板の厚さ方向から視て、前記端面スルーホールは、前記第1基板側面に沿う方向において前記半導体発光素子と隣り合う位置に設けられている
     請求項2に記載の半導体発光装置。
  4.  前記端面スルーホールと前記半導体発光素子との間の距離は、前記端面スルーホールの開口幅よりも小さい
     請求項3に記載の半導体発光装置。
  5.  前記第1基板側面には、前記端面スルーホールが複数設けられている
     請求項1~4のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
  6.  前記第1基板側面に沿う方向から視て、前記端面スルーホールは、前記半導体発光素子と重なる部分を有する
     請求項1~5のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
  7.  前記第1基板側面と前記半導体発光素子の前記発光面との間の距離は、前記端面スルーホールの深さ寸法よりも小さい
     請求項6に記載の半導体発光装置。
  8.  前記端面スルーホールには、放熱材が埋め込まれている
     請求項1~7のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
  9.  前記基板の厚さ方向から視て、前記基板のうち前記半導体発光素子と重なる位置には、前記表面側配線と前記裏面側配線とを繋ぐ内部スルーホールが設けられている
     請求項1~8のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
  10.  前記基板の厚さ方向から視た前記端面スルーホールの開口幅は、前記内部スルーホールの直径よりも大きい
     請求項9に記載の半導体発光装置。
  11.  前記内部スルーホールは、前記端面スルーホールよりも前記第2基板側面寄りに設けられている
     請求項9または10に記載の半導体発光装置。
  12.  前記内部スルーホールには、放熱材が埋め込まれている
     請求項9~11のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
  13.  前記表面側配線に実装され、前記半導体発光素子を発光させる発光素子制御回路を備える
     請求項1~12のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
  14.  前記発光素子制御回路は、前記表面側配線に実装されたキャパシタを有し、
     前記キャパシタは、前記第1基板側面に沿う方向から視て、前記端面スルーホールよりも前記第2基板側面寄りの位置に配置されている
     請求項13に記載の半導体発光装置。
  15.  前記キャパシタは、前記第1基板側面に沿う方向から視て、前記半導体発光素子と重なる位置に配置されている
     請求項14に記載の半導体発光装置。
  16.  前記発光素子制御回路は、前記半導体発光素子に供給する電流を制御するスイッチング素子を有し、
     前記表面側配線は、
     前記半導体発光素子が実装された第1表面側配線と、
     前記スイッチング素子が実装された第2表面側配線と、
    を有し、
     前記裏面側配線は、
     前記基板の厚さ方向から視て、前記第1表面側配線と重なる位置に配置された第1裏面側配線と、
     前記基板の厚さ方向から視て、前記第2表面側配線と重なる位置に配置された第2裏面側配線と、
    を有し、
     前記端面スルーホールは、前記第1表面側配線と前記第1裏面側配線とを繋いでいる
     請求項13~15のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
  17.  前記基板は、前記第1基板側面と前記第2基板側面とを結ぶ第3基板側面および第4基板側面を有し、
     前記第3基板側面および前記第4基板側面の少なくとも一方には、前記第2表面側配線と前記第2裏面側配線とを繋ぐ制御回路側端面スルーホールが設けられている
     請求項16に記載の半導体発光装置。
  18.  前記基板は、
     前記表面側配線が形成された表面側基板と、
     前記裏面側配線が形成された裏面側基板と、
    を有し、
     前記半導体発光装置は、前記表面側基板と前記裏面側基板とに挟み込まれた中間配線を備え、
     前記端面スルーホールは、前記表面側基板および前記裏面側基板の双方を前記基板の厚さ方向において貫通するとともに前記表面側配線、前記中間配線、および前記裏面側配線を繋いでいる
     請求項1~17のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
  19.  前記基板表面とともに前記半導体発光素子を覆う透光性の封止樹脂を備える
     請求項1~18のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
  20.  前記端面スルーホールには、前記端面スルーホールを埋める放熱材が設けられており、
     前記封止樹脂は、前記基板の厚さ方向から視て、前記端面スルーホールを覆うように設けられている
     請求項19に記載の半導体発光装置。
  21.  導電性のベースと、前記ベース上に立設し、請求項1~18のいずれか一項に記載の半導体発光装置が搭載された導電性のヒートシンクと、を含むステムと、
     前記半導体発光装置と前記ヒートシンクとを囲むように前記ベース上に設けられた包囲部材と、
    を備える、半導体発光ユニット。
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