WO2022269951A1 - 電子ビーム描画装置、電子ビーム描画方法、および記録媒体 - Google Patents

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一世 益本
菜月 鈴木
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日本コントロールシステム株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an electron beam writing apparatus and the like that irradiates an electron beam.
  • Patent Document 1 Conventionally, there has been a technique for correcting the dose of a charged particle beam emitted from a writing device (see Patent Document 1, for example).
  • first density information corresponding to the area in which the figure indicated by the figure information is included in each of two or more first small areas obtained by dividing the figure area specified by the figure information a density set storage unit in which a first density set, which is a set of first density information for each of two or more first small areas, is stored for each piece of graphic information of one or more; a graphic information reception unit for receiving information; a density set acquisition unit for acquiring a first density set corresponding to each of the one or more pieces of graphic information received by the graphic information reception unit from the density set storage; a correction amount corresponding to one or more first density sets, a correction amount acquisition unit that acquires the correction amount of each of the two or more second small regions, and each of the two or more second small regions acquired by the correction amount acquisition unit a dose acquisition unit for acquiring, for each of two or more second small regions, the dose of an electron beam having an intensity corresponding to the correction amount of the region; and a writing unit that irradiates each
  • the density set acquisition unit stores the first density set corresponding to each of the one or more pieces of graphic information received by the reception unit. and the density set reading means obtained from the unit, and for each of the two or more first small regions, for the first small region that meets the bias condition regarding the shape of the first small region, the figure in the first small region area variation information acquiring means for acquiring area variation information based on; first density information of each of one or more first small regions of the first density set acquired by the density set reading means; and area variation information acquiring means acquiring A second density set, which is a set of second density information for each of the one or more first small regions, is generated for each of the one or more graphic information using the area variation information of each of the one or more first small regions and a density set obtaining means for obtaining, the correction amount obtaining unit uses one or more second density sets obtained by the density set obtaining means to obtain the correction amount of each of the two or more second small regions. It is an electron beam lith
  • the differential information specifying the variation of the area with respect to the unit amount of the bias is one or more graphic information and two or more each. Further comprising: a differential information storage unit stored for each first small region; The electron beam drawing apparatus obtains area variation information for each piece of graphic information of one or more by using differential information associated with one small area and the bias amount received by the bias amount receiving unit.
  • the electron beam lithography apparatus further includes a second preprocessing unit that calculates differential information specifying the and stores the differential information in a differential information storage unit.
  • a differential information calculation formula for calculating differential information is stored for each of one or more bias conditions, and the second preprocessing unit obtains a differential information calculation formula corresponding to a matching bias condition for each of one or more pieces of graphic information and each of two or more first small regions, and calculates differential information using the differential information calculation formula. , is stored in a differential information storage unit.
  • the bias condition is that the figure of the first small area includes a horizontal line or a vertical line
  • the variation information acquisition means is an electron beam writing apparatus that acquires area variation information of a magnitude proportional to the bias amount with respect to a horizontal line or a vertical line.
  • the bias condition is that the figure of the first small area includes oblique lines, and area variation information acquisition
  • the means acquires the bias amount, the angle information about the angle of the oblique line, and the length information about the length of the first subregion of the oblique line, and uses the bias amount, the angle information, and the length information to calculate the area of the X component
  • An electron beam drawing apparatus for calculating X area variation information as variation information and Y area variation information as area variation information of Y component, and calculating area variation information using the X area variation information and Y area variation information. is.
  • the bias condition is that the figure of the first small area is an angle formed by the intersection of two straight lines.
  • the area variation information acquisition means calculates the areas of a parallelogram and two triangles created by extending the two straight lines by a length corresponding to the bias amount, and uses the three areas It is an electron beam writing apparatus that calculates area variation information by using
  • the electron beam writing apparatus further comprises a first preprocessing unit that acquires each piece of graphic information and stores it in a density set storage unit.
  • the density set production apparatus of the tenth invention comprises: a graphic information receiving unit for receiving one or more graphic information; 2, in each of the two or more first small areas, acquire the first density information based on the area containing the figure indicated by the figure information, and obtain the first density set, which is a set of the first density information, in one or more and a first preprocessing unit that acquires and accumulates each piece of graphic information.
  • the differential information set production apparatus of the eleventh aspect of the present invention comprises: a graphic information receiving unit for receiving one or more graphic information;
  • the differential information set production apparatus includes a second preprocessing unit that calculates and accumulates differential information that specifies variation in area with respect to a unit amount of bias.
  • the electron beam drawing apparatus it is possible to quickly acquire an appropriate irradiation dose when drawing a figure using an electron beam.
  • Block diagram of electron beam drawing apparatus A according to Embodiment 1 Diagram explaining the derivation of an example of the differential information calculation formula Diagram explaining the derivation of an example of the differential information calculation formula Diagram explaining the derivation of an example of the differential information calculation formula Diagram explaining the derivation of an example of the differential information calculation formula Diagram explaining the derivation of an example of the differential information calculation formula Diagram explaining the derivation of an example of the differential information calculation formula Diagram explaining the derivation of an example of the differential information calculation formula Flowchart for explaining an operation example of the electron beam drawing apparatus A Flowchart for explaining an example of same-density information acquisition processing Flowchart for explaining an example of the differential information acquisition process Flowchart for explaining an example of same-density set acquisition processing Flowchart explaining an example of obtaining the same correction amount set Flowchart for explaining an example of the drawing process A diagram for explaining the processing of the first preprocessing unit 31 A diagram showing an example of the same first density map A diagram for explaining the processing of the second preprocessing unit 32 A diagram showing an
  • differential information which is information on the change in area with respect to the bias of the unit amount, is stored in advance for each first small region, and a set of more appropriate correction amounts is calculated using the differential information.
  • An electron beam writing apparatus that creates a set of correction amounts, determines the dose of the electron beam according to the set of correction amounts, and irradiates the electron beam according to the dose.
  • FIG. 1 is a block diagram of an electron beam writing apparatus A according to this embodiment.
  • the electron beam drawing apparatus A includes a storage unit 1, a reception unit 2, a processing unit 3, and an output unit 4.
  • the storage unit 1 includes a density set storage unit 11 and a differential information storage unit 12.
  • the reception unit 2 includes a graphic information reception unit 21 and a bias amount reception unit 22 .
  • the processing unit 3 includes a first preprocessing unit 31 , a second preprocessing unit 32 , a density set acquisition unit 33 , a correction amount acquisition unit 34 , a dose acquisition unit 35 and a drawing unit 36 .
  • the density set obtaining unit 33 includes density set reading means 331 , area variation information obtaining means 332 , and density set obtaining means 333 .
  • the various types of information are, for example, a density set to be described later, differential information to be described later, one or more graphic information, one or more bias conditions, one or more differential information calculation formulas, and various arithmetic formulas to be described later.
  • Graphic information is information that indicates a graphic.
  • the graphic information is, for example, a set of coordinate information of two or more points forming a graphic.
  • the graphic information is, for example, a set of information on three or more lines forming a graphic.
  • Graphic information is, for example, a file. However, the structure of the graphic information does not matter.
  • the graphic information is associated with a graphic identifier.
  • a graphic identifier is information for identifying a graphic, such as an ID, a file name, and a graphic name.
  • a bias condition is a condition for acquiring area variation information, which will be described later.
  • a bias condition is usually a condition related to the shape of the first subregion.
  • the bias condition is, for example, that the first small area includes an area in which a drawing exists and an area in which no figure exists.
  • a bias condition is, for example, the presence of a drawing line in the first subregion.
  • the line of drawing is a boundary line of drawing.
  • the bias condition is, for example, the presence of a horizontal line in the drawing within the first subregion.
  • the bias condition is, for example, the presence of a vertical line in the drawing within the first subregion.
  • the bias condition is, for example, the presence of oblique lines in the drawing in the first small region.
  • the bias condition is, for example, that the corner of the drawing exists in the first small area.
  • a corner is a corner formed by the intersection of two straight lines.
  • the first small area may include a part of the figure, or may include one or more figures.
  • a differential information calculation formula is an arithmetic formula for calculating differential information. Differential information calculation formulas are usually associated with bias conditions. A specific example of the differential information calculation formula will be described later.
  • a first density set is stored in the density set storage unit 11 for each piece of graphic information of one or more.
  • Each of the one or more first density sets is associated with, for example, a graphic identifier that identifies graphic information.
  • the first density set has two or more pieces of first density information.
  • a first density set is a set of first density information for each of two or more first small regions.
  • the first density group consists of, for example, two or more pieces of first density group information.
  • the first density set information is a set of a first small area identifier that identifies the first small area and first density information. Note that the first density set may also be called a first density map.
  • the first density information is associated with the first small area identifier.
  • the first density information is associated with, for example, area information specifying the first small area (for example, information having upper left coordinates and lower right coordinates).
  • the first density information is information corresponding to the area in which the graphic indicated by the graphic information is included in the first small area.
  • the first density information is, for example, information about the density of drawings in the first small area.
  • the first density information is, for example, information relating to the ratio of figures to the total area of the first small area.
  • the first density information is a numerical value between 0 and 1, for example.
  • the first density information is, for example, information about the area occupied by the graphics in the first small area.
  • the first density information may be the area occupied by the figure within the first subregion.
  • the one or more first density sets in the density set storage unit 11 are preferably information acquired by the first preprocessing unit 31 .
  • One or more first density sets in the density set storage unit 11 are stored in the density set storage unit 11 by the processing of the first preprocessing unit 31 performed as preprocessing before receiving the drawing start instruction. Information is preferred.
  • each of the two or more first small regions may be different. Further, as a result of the division method being different depending on the graphic information, the size and shape of the first small area may be different depending on the graphic information. However, the shape is preferably rectangular.
  • the differential information storage unit 12 stores differential information associated with the first small area.
  • the differential information storage unit 12 stores, for example, differential information associated with one or more first small regions.
  • a set of differential information is stored in the differential information storage unit 12 for each piece of graphic information of one or more.
  • a set of differential information stored in the differential information storage unit 12 is associated with, for example, a graphic identifier.
  • a differential information set is a set of one or more differential information. Each piece of differential information in the differential information set corresponds to the first small area. Each piece of differential information in the set of differential information is associated with, for example, a first small region identifier. Each piece of differential information in the differential information set is associated with, for example, area information of the first small area.
  • Differential information is information that specifies the variation of the area with respect to the unit amount of bias.
  • the unit amount is, for example, 1 nm, it does not matter.
  • bias means that when a pattern is not formed as designed due to manufacturing processes such as development and etching during writing and after writing, part or all of the contours that make up the original figure are adjusted to correct it. means to move.
  • the one or more pieces of differential information in the differential information storage unit 12 are preferably information acquired by the second preprocessing unit 32 .
  • the one or more pieces of differential information in the differential information storage unit 12 are information accumulated in the differential information storage unit 12 by the processing of the second preprocessing unit 32 performed as preprocessing before receiving the drawing start instruction. It is preferable to have
  • the reception unit 2 receives various information and instructions.
  • Various types of information and instructions are, for example, graphic information to be described later, a bias amount to be described later, a preprocessing instruction, and a start instruction.
  • a preprocessing instruction is an instruction to preprocess one or more pieces of graphic information. Pre-processing is processing that is performed before receiving a drawing start instruction.
  • the preprocessing is, for example, density set acquisition processing performed by the first preprocessing unit 31 .
  • the preprocessing is, for example, differential information acquisition processing performed by the second preprocessing unit 32 .
  • a start instruction is an instruction to start drawing a figure.
  • the start instruction preferably contains one or more graphical information.
  • accepting means, for example, acquiring information acquired by a processing means (not shown) from the processing means.
  • reception means reception of information transmitted via a wired or wireless communication line, reception of information read from recording media such as optical disks, magnetic disks, and semiconductor memories, and input from keyboards, mice, touch panels, etc.
  • the concept may include acceptance of information input from a device. In other words, it does not matter what means the information and instructions that are accepted are accepted.
  • the graphic information reception unit 21 receives one or more pieces of graphic information.
  • the graphic information reception unit 21 may acquire one or more pieces of graphic information included in the start instruction received by the reception unit 2 .
  • the graphic information reception unit 21 may acquire one or more pieces of graphic information from the storage unit 1 .
  • the bias amount reception unit 22 receives the bias amount.
  • the bias amount receiving unit 22 may receive the bias amount from the user, for example. However, the method of receiving the bias amount is not limited.
  • the bias amount receiving unit 22 may receive different bias amounts for each piece of graphic information. Also, the bias amount receiving unit 22 may receive different bias amounts for each of one or more graphics included in the graphic information. Also, the bias amount receiving unit 22 may receive different bias amounts depending on each component (for example, a line segment) that constitutes the figure. Furthermore, the bias amount receiving unit 22 may receive different bias amounts depending on the parts (for example, line segments) that make up the figure.
  • the processing unit 3 performs various types of processing.
  • the various processes are, for example, processes performed by the first preprocessing unit 31, the second preprocessing unit 32, the density set acquisition unit 33, the correction amount acquisition unit 34, and the dose acquisition unit 35.
  • the processing unit 3 changes the graphic information according to the amount of bias received by the amount-of-bias receiving unit 22 . Such processing is called bias processing.
  • the first preprocessing unit 31 acquires density information for each of two or more first small areas obtained by dividing the area containing the graphic area specified by the graphic information. Then, the first preprocessing unit 31 acquires a density set, which is a set of density information for each of two or more first small regions, and stores the density set in the density set storage unit 11 . Note that the size of the first small area does not matter.
  • the first preprocessing unit 31 acquires a density set for one or more pieces of graphic information that can be received by the graphic information receiving unit 21, associates the density set with the graphic information, and stores the density set storage unit 11. is preferably stored in In other words, it is preferable that the first preprocessing unit 31 operates and accumulates density sets in the density set storage unit 11 in association with one or more pieces of graphic information before the drawing unit 36 performs processing. be. Such preprocessing shortens the processing time from when the graphic information receiving unit 21 receives the graphic information to when the drawing unit 36 performs processing.
  • the first preprocessing unit 31 acquires the area in the first small area of each of the plurality of figures, and obtains the areas of the two or more get the sum of Then, the first preprocessing unit 31 acquires the density information of the first small region by an increasing function whose parameter is the sum of two or more areas.
  • the first preprocessing unit 31 may acquire the sum of two or more areas as the density information.
  • the second preprocessing unit 32 calculates differential information associated with each of the two or more first small regions for each piece of graphic information of one or more, and accumulates it in the differential information storage unit 12 .
  • the differential information is information that specifies the variation of the area with respect to the unit amount of the bias in the first small region.
  • the second preprocessing unit 32 stores the calculated differential information in association with, for example, the graphic identifier and the first small region identifier.
  • the second preprocessing unit 32 acquires from the storage unit 1 a differential information calculation formula corresponding to a matching bias condition for each piece of graphic information of one or more and each of each first small area of two or more, Using the differential information calculation formula, differential information is calculated and stored in the differential information storage unit 12 .
  • the four cases are (1) when the first small area contains a horizontal line (2) when the first small area contains a vertical line (3) when the first small area contains a diagonal line ( 4) A case where the corner is included in the first small area. (1) When a horizontal line is included in the first small area
  • the second preprocessing unit 32 calculates the length (L 1 ) of the horizontal line of the figure in the first small area for each of the one or more pieces of graphic information and for each of the two or more first small areas. It is calculated using the area information of the area and the graphic information.
  • the second preprocessing unit 32 reads out the constant ( ⁇ 1 ) of the storage unit 1 for each of the one or more pieces of graphic information and each of the two or more first small areas, and converts ⁇ 1 into Equation 1 below. and L1 are substituted, and the formula 1 is executed to obtain differential information.
  • the second preprocessing unit 32 associates the graphic identifier and the first small region identifier with each of the one or more pieces of graphic information and each of the two or more first small regions, and stores the differential information as the differential information. Stored in unit 12 .
  • Equation 1 ⁇ 1 is a constant and L1 is the length of the horizontal line of the first small area.
  • differential information calculation formula in the case of (1) is not limited to Formula 1.
  • the differential information calculation formula in case (1) may be an increasing function with the length of the horizontal line (L 1 ) as a parameter.
  • the second preprocessing unit 32 calculates differential information for each horizontal line and calculates the sum of the differential information for each horizontal line. Such a sum is the differential information of one first small region.
  • the second preprocessing unit 32 calculates the length (L 2 ) of the vertical line of the figure in the first small area for each of the one or more pieces of graphic information and for each of the two or more first small areas. It is calculated using the area information of the small area and the graphic information.
  • the second preprocessing unit 32 reads the constant ( ⁇ 2 ) of the storage unit 1 for each of the one or more pieces of graphic information and each of the two or more first small areas, and converts ⁇ 2 and L2 are substituted, and the equation 1 is executed to obtain differential information.
  • the second preprocessing unit 32 associates the graphic identifier and the first small region identifier with each of the one or more pieces of graphic information and each of the two or more first small regions, and stores the differential information as the differential information. Stored in unit 12 .
  • Equation 2 ⁇ 2 is a constant and L2 is the length of the vertical line of the first small area.
  • differential information calculation formula in the case of (2) is not limited to Formula 2.
  • the differential information calculation formula in case (2) may be an increasing function with the length (L 2 ) of the vertical line as a parameter.
  • the second preprocessing unit 32 calculates differential information for each vertical line, and calculates the sum of the differential information for each vertical line. . Such a sum is the differential information of one first small region.
  • the second preprocessing unit 32 calculates the length (L i ) of each oblique line in the first small area for each piece of graphic information of one or more and each first small area of two or more to the first small area. area information and graphic information. Next, the second preprocessing unit 32 acquires the normal angle ( ⁇ i ) of each oblique line for each piece of graphic information of one or more and each first subregion of two or more. Next, the second preprocessing unit 32 substitutes L i and ⁇ i for each oblique line into Equation 3 below, executes Equation 3, and obtains differential information. Next, the second preprocessing unit 32 accumulates differential information in the differential information storage unit 12 for each piece of graphic information of one or more and each piece of first small area of two or more. The second preprocessing unit 32 stores differential information in the differential information storage unit 12 in association with, for example, the graphic identifier and the first small area identifier.
  • Dx is information on the area increase amount of the X component.
  • Dy is information on the area increase amount of the Y component.
  • L i is the length of the diagonal line.
  • ⁇ i is the angle of the normal to the oblique line.
  • the differential information calculation formula in the case of (3) is not limited to Formula 3.
  • the differential information calculation formula may be an increasing function with the length (L i ) of the oblique line as a parameter.
  • the amount of bias is usually a continuous change. That is, in most cases, it is desired to apply similar bias amounts to line segments having similar angles. Therefore, the amount of bias corresponding to the angle of the line segment is defined by an ellipse, as shown in FIG. It is assumed that bias amounts (B x , B y ) in the X direction (horizontal line) and Y direction (vertical line) are given. Then, the bias amount (BIAS) is calculated by Equation (4). Note that ⁇ is the angle of the normal to the oblique line 201 (see FIG. 2).
  • Equation 4 the direction of the bias vector deviates from the normal direction. However, if the actual bias direction is the normal direction, the area fluctuation can be resolved into the X component and the Y component as follows (see Equation 5). This matches the way the user specifies B x and B y only.
  • ⁇ Area x is the X component of the area variation.
  • ⁇ Area y is the Y component of the area variation.
  • L edge is the length of the oblique line 301 in FIG. ⁇ in FIG. 3 is the angle of the oblique line with respect to the horizontal line.
  • Equation 7 the area variation caused by the straight line of length L.
  • the differential value (differential information) of the total area variation for the line segment group can be defined as in Equation 3 above. (4)
  • the second preprocessing unit 32 acquires all parameters used in Equation 9 for each piece of graphic information of one or more, each first small area of two or more, and each corner. Next, the second preprocessing unit 32 substitutes all parameters into Equation 9 for each piece of graphic information of one or more, each first small region of two or more, and each corner, and executes Equation 9. and obtain differential information. Next, the second preprocessing unit 32 calculates differential information for each piece of graphic information of one or more, each first small area of two or more, and each corner, and stores the differential information in the differential information storage unit 12. accumulate in
  • the second preprocessing unit 32 calculates the sum of the calculated one or more differential information for each of the one or more pieces of graphic information and for each of the two or more first small regions, and is stored in the differential information storage unit 12 in association with the graphic identifier and the first small region identifier. Such a sum is the differential information for each of the one or more pieces of graphic information, each of the two or more first subregions, and each corner.
  • Equation 9 The first term on the right side of Equation 9 is the area of triangle T21.
  • the second term is the area of the parallelogram P.
  • the third term is the area of triangle T12. Also, in Formula 9...
  • the angle formed by line segments L 1 and L 2 represented by two unit vectors is represented by bias vectors B 1 and B 2 to L 1 and L 2 , respectively.
  • bias vectors B 1 and B 2 to L 1 and L 2 , respectively.
  • U 1 also represents the vector from the vertex by L 1 to L 2 ′ in the direction of the L 1 vector.
  • U 2 represents the vector from the vertex by L 2 to L 1 ′ in the direction of the L 2 vector.
  • U1 is represented by Equation 10 below (L1 is a unit vector).
  • U2 is represented by Equation 11 below ( L2 is a unit vector).
  • P is calculated by Equation 12 below using U 1 and U 2 .
  • T12 and T21 are also calculated by Equations 13 and 14, respectively, using the outer product.
  • Equation 16 the area of the corner portion will be as shown in Equation 16 below.
  • the magnitudes of the bias vectors B 1 and B 2 are given by Equation 17 when the angles of the normal directions of L 1 and L 2 are ⁇ 1 and ⁇ 2 .
  • Equation 19 the area of the corner portion is given by Equation 20 below.
  • Equation 20 d xx , d yy , and d xy are bias-independent information that can be calculated only from figure information. becomes.
  • the second preprocessing unit 32 calculates differential information for each type of graphics and calculates the sum of the differential information for each type. Then, the second preprocessing unit 32 accumulates the sum of the differential information in the differential information storage unit 12 as the differential information of the one first small area.
  • the second preprocessing unit 32 is not limited to the method described above.
  • the density set obtaining unit 33 obtains from the density set storage unit 11 the first density set corresponding to the graphic information received by the graphic information receiving unit 21 .
  • the density set obtaining unit 33 obtains from the density set storage unit 11, for example, the first density sets corresponding to the two or more pieces of graphic information received by the graphic information receiving unit 21.
  • FIG. Note that such a density set may be used as a second density set described later. In such a case, correction using the bias amount is not performed.
  • the density set obtaining unit 33 obtains from the density set storage unit 11 the first density set, which is the density set corresponding to the graphic information received by the graphic information receiving unit 21, and uses the first density set to obtain the first density set. Get a two-density set.
  • the density set reading means 331 constituting the density set obtaining unit 33 obtains from the density set storage unit 11 the first density set, which is the density set corresponding to the graphic information received by the receiving unit 2 .
  • the density set reading unit 331 obtains from the density set storage unit 11 the first density set corresponding to each of the two or more pieces of graphic information received by the receiving unit 2 .
  • the area variation information acquisition means 332 selects the first small region that matches the bias condition among the two or more first small regions corresponding to the graphic information received by the receiving unit 2, and obtains the graphic of the first small region. Acquire area variation information based on The bias conditions are stored in the storage unit 1. FIG.
  • the area variation information acquiring means 332 uses the differential information associated with the first small region and the bias amount received by the bias amount receiving unit 22 for the first small region that matches the bias condition. , to obtain area variation information.
  • the area variation information acquisition means 332 acquires, for example, the differential information associated with the first small region that matches the bias condition from the differential information storage unit 12, and stores the differential information and the bias Area variation information, which is the product of the bias amount received by the amount receiving unit 22, is calculated.
  • the area variation information acquisition means 332 acquires area variation information of a magnitude proportional to the bias amount, for example, with respect to the horizontal line or vertical line of the figure in the first small area.
  • the area variation information acquisition means 332 acquires the bias amount, the angle information about the angle of the oblique line, and the length information about the length of the first small area of the oblique line, and uses the bias amount, the angle information, and the length information. , X area variation information that is the area variation information of the X component and Y area variation information that is the area variation information of the Y component are calculated, and the area variation information is calculated using the X area variation information and the Y area variation information. .
  • the area variation information obtaining means 332 calculates the area variation information by an increasing function having the X area variation information and the Y area variation information as parameters, for example. Note that the increasing function is, for example, a sum.
  • the area variation information acquisition means 332 calculates the areas of a parallelogram and two triangles created by extending the two straight lines by the length corresponding to the bias amount, and calculates the area variation information using the three areas. do.
  • the area variation information acquiring means 332 calculates area variation information by an increasing function with each of the three areas as parameters. Note that the increasing function is, for example, a sum.
  • the density set acquiring means 333 uses the first density set acquired by the density set reading means 331 and the area variation information of the one or more first small regions acquired by the area variation information acquiring means 332 to obtain one or more of each Obtain a second density set corresponding to the graphic information.
  • the density set acquisition means 333 acquires the first density information and the area variation information for each piece of graphic information of one or more and each small area of two or more, and obtains the first density information and the area variation information for each piece of graphic information and each small area.
  • the second density information is acquired by an increasing function with the one density set and the area variation information as parameters.
  • the density set obtaining means 333 obtains, for example, a second density set, which is a set of second density information corresponding to two or more small areas, for each piece of graphic information.
  • the increasing function is, for example, a sum.
  • the correction amount acquisition unit 34 acquires the correction amount of each of the two or more second small regions, which is the correction amount according to one or more first density sets for each of one or two or more pieces of graphic information.
  • a set of correction amounts of two or more second small regions is called a correction amount set or a correction map.
  • the correction amount acquisition unit 34 may acquire two or more correction maps.
  • the correction amount acquisition unit 34 may acquire, for example, a correction map for each of two or more types of correction.
  • the type of correction is, for example,
  • the correction amount acquisition unit 34 acquires the correction amount of each of the two or more second small regions, for example, using one or two or more second density sets.
  • Each second small area may be the same as any first small area, may include two or more first small areas, or may be part of any first small area. , a part of two or more first subregions, or the like. In other words, the relationship between the second small area and the first small area does not matter.
  • the second small area may have a different size than the first small area.
  • the correction amount acquisition unit 34 may acquire the correction amount of each of two or more second small areas using density sets of two or more pieces of graphic information.
  • the density set here may be either the first density set or the second density set.
  • the correction amount acquisition unit 34 calculates the correction amount for each second small area using an increasing function whose parameter is the first density information of one or more first small areas corresponding to the second small area.
  • the increasing function is, for example, addition.
  • the first small area corresponding to the second small area is the first small area that is even partially included in the range of the second small area.
  • the correction amount acquisition unit 34 acquires the correction amount of each of the two or more second small regions using one or more second density sets acquired by the density set acquisition means 333 .
  • the correction amount acquisition unit 34 calculates the correction amount for each second small area using an increasing function whose parameter is the second density information of one or more first small areas corresponding to the second small area.
  • the increasing function is, for example, addition.
  • the correction amount acquisition unit 34 may acquire the correction amount of the second small region using information other than the first density set or the second density set.
  • the correction amount acquisition unit 34 uses a table of correction amounts for each figure position, figure type, figure size calculated in advance, beam irradiation amount, density such as development and etching.
  • the correction amount is calculated by combining the parameters of the model that expresses the phenomenon such as the Gaussian kernel, and the characteristic information of the process such as Coulomb scattering of the second density set and the writing beam and scattering in the sample. calculate.
  • the correction amount acquisition unit 34 preferably acquires the correction amount using the acquired bias amount.
  • the bias amount may be stored in the storage unit 1 in advance, or may be received by the reception unit 2, for example.
  • the dose acquisition unit 35 acquires, for each of the two or more second small regions, the dose of the electron beam having an intensity corresponding to the correction amount of each of the two or more second small regions acquired by the correction amount acquisition unit 34. .
  • the dose acquisition unit 35 calculates the dose for each second small region, for example, using an increasing function whose parameter is the correction amount of each of the two or more second small regions acquired by the correction amount acquisition unit 34 .
  • the dose acquisition unit 35 may determine the dose using information other than the correction amount of each second small region. For example, the dose acquisition unit 35 combines the correction amount of the phenomenon in the influence range equal to or smaller than that of the second small area, or the correction amount assigned in advance for each figure, and the correction amount of the second small area. amount may be determined. This phenomenon is, for example, the proximity effect due to electron beam irradiation.
  • the drawing unit 36 irradiates each of the two or more second small regions with an electron beam according to the dose of each of the two or more second small regions acquired by the dose acquisition unit 35 .
  • the dose for each second small region is the dose acquired by the dose acquisition unit 35 .
  • the drawing target is, for example, a photomask, a wafer, or the like.
  • the drawing unit 36 can usually be implemented by an electron gun such as a field emission type, a Schottky type, or a thermoelectron type, an electron lens, a height detector, or the like.
  • the cross-sectional shape of the electron beam emitted by the drawing unit 36 is, for example, a rectangle or a circle.
  • the drawing unit 36 may use a plurality of beams simultaneously to draw a figure. It is preferable that the drawing unit 36 apply bias processing to the one or more pieces of graphic information received by the graphic information receiving unit 21 to obtain biased graphic information. Then, the dose acquisition unit 35 uses the biased figure information and the correction amounts of the two or more second small regions acquired by the correction amount acquisition unit 34 to obtain the two or more second small regions. Acquire the dose of the electron beam. Specifically, correction is mainly performed in consideration of scattering in a narrower range of the electron beam.
  • Calculations using the density information of the second small area usually have a range of influence on the order of millimeters, but real-time calculation during drawing is for a range of influence of several tens of micrometers or hundreds of nanometers ( In some cases, the influence range is about 10 nm).
  • the dose acquisition unit 35 inputs the “correction amount” of the second small area into a pre-stored arithmetic expression corresponding to this phenomenon, and acquires the dose by executing the arithmetic expression.
  • the drawing unit 36 irradiates each of the two or more second small regions with an electron beam according to the dose for each of the two or more second small regions acquired by the dose acquisition unit 35 to draw a figure. .
  • the output unit 4 outputs various information.
  • Various types of information are, for example, information to the effect that drawing of a figure has been completed.
  • output means display on a display, projection using a projector, printing on a printer, sound output, transmission to an external device, storage on a recording medium, and transmission to another processing device or other program. This is a concept that includes delivery of processing results.
  • the storage unit 1, the density set storage unit 11, and the differential information storage unit 12 are preferably non-volatile recording media, but can also be realized with volatile recording media.
  • information may be stored in the storage unit 1 or the like via a recording medium, or information transmitted via a communication line or the like may be stored in the storage unit 1 or the like.
  • information input via an input device may be stored in the storage unit 1 or the like.
  • the reception unit 2 and the graphic information reception unit 21 can be realized by device drivers for input means such as touch panels and keyboards, control software for menu screens, and the like.
  • the information acquisition means 332 and the density set acquisition means 333 can usually be implemented by a processor, memory, or the like.
  • the processing procedure of the processing unit 3 and the like is normally realized by software, and the software is recorded in a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the processor is, for example, a CPU, MPU, GPU, or the like, and any type of processor does not matter.
  • the output unit 4 may or may not include output devices such as displays and speakers.
  • the output unit 4 can be realized by output device driver software, or by output device driver software and an output device.
  • the processing procedure of the drawing unit 36 is usually realized by software, and the software is recorded in a recording medium such as a ROM.
  • Step S701 The reception unit 2 determines whether or not a preprocessing instruction has been received. If the preprocessing instruction has been received, the process goes to step S702, and if the preprocessing instruction has not been received, the process goes to step S716.
  • Step S702 The processing unit 3 substitutes 1 for the counter i.
  • Step S703 The first preprocessing unit 31 determines whether or not the i-th graphic information to be preprocessed exists. If the i-th graphic information exists, the process goes to step S704, and if the i-th graphic information does not exist, the process returns to step S701.
  • the graphic information to be preprocessed is stored in the storage unit 1 in association with, for example, a graphic identifier.
  • Step S704 The first preprocessing unit 31 acquires the i-th graphic information and the graphic identifier from the storage unit 1, for example.
  • the first preprocessing unit 31 divides the area containing the i-th graphic information into two or more small areas. Each small area is called a first small area. Also, the process of dividing into two or more small areas is a process of acquiring area information of each of two or more first small areas in pairs with area identifiers.
  • the area identifier is information for identifying an area (here, the first small area), and is, for example, an ID.
  • the area information is, for example, information specifying a rectangular area, and is, for example, two pieces of coordinate information (eg, (x 1 , y 1 ) (x 2 , y 2 )).
  • the two pieces of coordinate information are, for example, the upper left coordinate and lower right coordinate of the rectangle.
  • the area information may be, for example, the upper left coordinate, width, and height information of a rectangle, and any structure may be used.
  • Step S706 The first preprocessing unit 31 substitutes 1 for the counter j.
  • Step S707 The first preprocessing unit 31 determines whether or not the j-th first small area exists in the i-th graphic information. If the j-th first small area exists, go to step S708, and if the j-th first small area does not exist, go to step S715.
  • the first preprocessing unit 31 acquires the first small area identifier, which is the identifier of the j-th first small area in the i-th graphic information.
  • Step S709 The first preprocessing unit 31 acquires the area information of the j-th first small area in the i-th graphic information.
  • Step S710 The first preprocessing unit 31 acquires the first density information of the j-th first small area in the i-th graphic information. An example of such density information acquisition processing will be described with reference to the flowchart of FIG.
  • the first preprocessing unit 31 associates the graphic identifier of the i-th graphic information with the first small region identifier of the j-th first small region, and accumulates the density information acquired in step S710. .
  • the density information may be stored in the storage unit 1 or may be an external device (not shown).
  • Step S712 The second preprocessing unit 32 acquires differential information.
  • An example of such differential information acquisition processing will be described with reference to the flowchart of FIG.
  • the second preprocessing unit 32 associates the graphic identifier of the i-th graphic information with the first small region identifier of the j-th first small region, and accumulates the differential information acquired in step S712. .
  • the differential information may be stored in the storage unit 1 or may be an external device (not shown).
  • Step S714 The first preprocessing unit 31 increments the counter j by 1. Return to step S707.
  • Step S715 The processing unit 3 increments the counter i by 1. Return to step S703.
  • Step S716 The reception unit 2 determines whether or not a start instruction has been received. If the start instruction is accepted, the process goes to step S717, and if the start instruction is not accepted, the process returns to step S701.
  • Step S717 The processing unit 3 substitutes 1 for the counter i.
  • Step S718 The density set acquisition unit 33 determines whether or not the i-th graphic information to be rendered exists. If the i-th graphic information exists, the process goes to step S704, and if the i-th graphic information does not exist, the process returns to step S701.
  • the graphic information to be drawn is stored in the storage unit 1 in association with, for example, a graphic identifier. Also, the graphic information to be drawn has, for example, a start instruction.
  • the bias amount reception unit 22 acquires the bias amount.
  • the bias amount may be different according to the graphic information.
  • the amount of bias may differ according to the figure in the figure information.
  • Step S720 The density set obtaining unit 33 obtains the second density set. An example of such density set acquisition processing will be described with reference to the flowchart of FIG.
  • Step S721 The processing unit 3 increments the counter i by 1. Return to step S718.
  • Step S722 The correction amount acquisition unit 34 acquires a correction amount set. An example of acquiring such a correction amount set will be described with reference to the flowchart of FIG. 11 .
  • Step S723 The drawing unit 36 performs drawing processing using the correction amount set acquired in step S722. Return to step S701. An example of drawing processing will be described with reference to the flowchart of FIG. 12 .
  • the processing ends when the power is turned off or when the processing ends.
  • the first preprocessing unit 31 acquires the area (for example, the first area) of the j-th small area in the i-th graphic information. This area is stored in the storage unit 1, for example. Also, such an area can be obtained from the area information of the j-th small area.
  • Step S802 The first preprocessing unit 31 acquires the area occupied by the figure in the j-th small area in the i-th figure information (for example, called the second area). Note that the first preprocessing unit 31 normally calculates the area occupied by the figure in the j-th small area using the area information and the graphic information of the j-th small area. Such techniques are publicly known.
  • Step S803 The first preprocessing unit 31 calculates first density information using the first area acquired in step S801 and the second area acquired in step S802. Return to upper process.
  • the density information may be information specifying how many figures are included in the j-th small area.
  • Step S901 The second preprocessing unit 32 substitutes 1 for the counter i.
  • Step S902 The second preprocessing unit 32 determines whether or not the i-th bias condition exists in the storage unit 1. If the i-th bias condition exists, go to step S903; if not, go to step S913.
  • Step S903 The second preprocessing unit 32 acquires the i-th bias condition from the storage unit 1.
  • Step S904 The second preprocessing unit 32 acquires the graphic information within the target small area in the target graphic information.
  • Step S905 The second preprocessing unit 32 uses the graphic information in the small region to detect the graphic in the small region that matches the i-th bias condition.
  • Step S906 The second preprocessing unit 32 acquires from the storage unit 1 the differential information calculation formula corresponding to the i-th bias condition.
  • Step S907 The second preprocessing unit 32 substitutes 1 for the counter j.
  • Step S908 The second preprocessing unit 32 determines whether or not the j-th figure exists among the figures detected in step S905. If the j-th figure exists, go to step S909; if not, go to step S912.
  • the second preprocessing unit 32 acquires one or more parameters to be substituted into the differential information calculation formula acquired in step S906 using the information of the j-th figure of the figure information of the small area to be processed.
  • the one or more parameters are, for example, the length of the diagonal line within the small area, the angle of the diagonal line within the small area, and the angle of the corner portion within the small area.
  • Step S910 The second preprocessing unit 32 substitutes the one or more parameters acquired in step S909 into the differential information calculation formula acquired in step S906, executes the differential information calculation formula, acquires differential information, Accumulate in a buffer (not shown).
  • Step S911 The second preprocessing unit 32 increments the counter j by 1. Return to step S908.
  • Step S912 The second preprocessing unit 32 increments the counter i by 1. Return to step S902.
  • Step S913 The second preprocessing unit 32 calculates the sum of differential information accumulated in the buffer in step S910. Note that the sum of the differential information is the differential information of the first small region of interest. Further, when the differential information accumulated in the buffer in step S910 does not exist, the differential information is "0".
  • Step S1001 The density set acquisition unit 33 substitutes 1 for the counter i.
  • Step S1002 The density set reading means 331 determines whether or not the i-th first small area exists in the graphic information to be processed. If the i-th first small area exists, the process goes to step S1003, and if the i-th first small area does not exist, the process returns to the upper process.
  • Step S1003 The density set reading means 331 obtains from the density set storage unit 11 the first density information paired with the graphic identifier of the graphic information to be processed and the first small region identifier of the i-th first small region. .
  • Step S1004 The area variation information acquisition means 332 acquires from the differential information storage unit 12 the differential information paired with the graphic identifier of the graphic information to be processed and the first small region identifier of the i-th first small region.
  • Step S1007 The density set acquisition unit 33 stores the second density information acquired in step S1006 in association with the graphic identifier of the graphic information to be processed and the first small region identifier of the i-th first small region. .
  • the storage destination of the second density information is, for example, the storage unit 1, but it does not matter.
  • Step S1008 The density set acquisition unit 33 increments the counter i by 1. Return to step S1002.
  • step S722 an example of obtaining a set of correction amounts in step S722 will be described using the flowchart of FIG.
  • Step S1101 The correction amount acquisition unit 34 substitutes 1 for the counter i.
  • Step S1102 The correction amount acquisition unit 34 determines whether or not the i-th second small area exists. If the i-th second small area exists, the process goes to step S1103, and if the i-th second small area does not exist, the process returns to the upper process.
  • Step S1103 The correction amount acquisition unit 34 substitutes 1 for the counter j.
  • Step S1104 The correction amount acquisition unit 34 determines whether or not the j-th graphic information to be drawn exists. If the j-th graphic information exists, the process goes to step S1105, and if the j-th graphic information does not exist, the process goes to step S1113.
  • Step S1105) The correction amount acquisition unit 34 substitutes the counter k1.
  • Step S1106 The correction amount acquisition unit 34 determines whether or not the k-th first area corresponding to the i-th second small area exists. If the k-th first area exists, go to step S1107, and if the k-th first area does not exist, go to step S1111.
  • Step S1107 The correction amount acquisition unit 34 acquires the second density information of the k-th first region.
  • Step S1108 The correction amount acquisition unit 34 acquires the ratio of the k-th first region included in the i-th second small region.
  • the correction amount acquisition unit 34 calculates the degree of contribution using the second density information acquired in step S1107 and the ratio acquired in step S1108.
  • the degree of contribution is information indicating the degree of contribution of the correction amount of the k-th first region to the i-th second small region.
  • Step S1110 The correction amount acquisition unit 34 increments the counter k by 1. Return to step S1106.
  • the correction amount acquisition unit 34 calculates the correction amount original information of the j-th figure in the i-th second small region using the contribution of 1 or more calculated in step S1109. It should be noted that the correction amount original information is calculated by an increasing function with each contribution of 1 or more as a parameter.
  • the correction amount source information is, for example, the sum of one or more contributions.
  • Step S1112 The correction amount acquisition unit 34 increments the counter j by 1. Return to step S1104.
  • Step S1114 The correction amount acquisition unit 34 stores the correction amount calculated in step S1113 in association with the second small area identifier of the i-th second small area. Note that the accumulation destination of the correction amount is, for example, the storage unit 1, but it does not matter.
  • Step S1115 The correction amount acquisition unit 34 increments the counter i by 1. Return to step S1102.
  • Step S1201 The drawing unit 36 substitutes 1 for the counter i.
  • Step S1202 The drawing unit 36 determines whether or not there is an i-th second small area for drawing a figure. If the i-th second small area exists, the process goes to step S1203, and if the i-th second small area does not exist, the process returns to the upper process.
  • Step S1203 The drawing unit 36 acquires the correction amount paired with the second small area identifier of the i-th second small area. Note that the drawing unit 36 reads, for example, the correction amount paired with the second small region identifier of the i-th second small region from the storage unit 1 .
  • Step S1204 The drawing unit 36 calculates the dose using the correction amount acquired in step S1203. Note that the drawing unit 36 calculates the dose using, for example, an increasing function with the correction amount as a parameter.
  • Step S1205 The drawing unit 36 irradiates the i-th second small region with an electron beam according to the dose calculated in step S1204.
  • Step S1206 The rendering unit 36 increments the counter i by 1. Return to step S1202.
  • Specific example 1 is a first example of preprocessing of the electron beam writing apparatus A, and is an example of processing for obtaining a density set (density map).
  • the graphic information of FIG. 13A is, for example, graphic information (x1, y1) (x2, y2) of graphic 1301, graphic information (x3, y3) (x4, y4) of graphic 1302, and graphic information of graphic 1303. (x5, y5) (x6, y6).
  • the reception unit 2 receives a preprocessing instruction.
  • the first preprocessing unit 31 divides the area containing the graphic information in FIG. 13(a) into two or more small areas (see FIG. 13(b)). Each small area is called a first small area. Then, it is assumed that the first preprocessing unit 31 obtains small area information (upper left coordinates and lower right coordinates of the rectangle) of each first small area in FIG. 13(b).
  • An example of the first small area is 1304 and 1305 in FIG.
  • the first preprocessing unit 31 calculates the area occupied by the graphic in each first small area using the area information and graphic information of each first small area. Also, the first preprocessing unit 31 acquires the area of each first small area from the area information of the first small area. Note that the first preprocessing unit 31 may read the area of each first small area from the storage unit 1 .
  • the first preprocessing unit 31 uses the area occupied by the graphics of each first small area and the area of each first small area to calculate the density information of each first small area.
  • the first preprocessing unit 31 stores the first density information in the density set storage unit 11 in association with the graphic identifier specifying the graphic information and the first small area identifier of each first small area.
  • FIG. 13(c) graphically shows the first density map of FIG.
  • the first density map in FIG. 14 is used to create a correction amount set (correction map) created when drawing a figure, as described using the flowchart in FIG. An image of the correction map is shown in FIG. 13(d). Furthermore, as described using the flowchart of FIG. 7, the correction map is used to determine the dose of each second small region, and the electron beam is irradiated according to the dose.
  • Specific example 2 is a first example of preprocessing of the electron beam drawing apparatus A, in which differential information of each first small region is obtained, and a density set (density map) is obtained using the differential information. is an example of
  • the graphic information of FIG. 15A is, for example, graphic information (x1, y1) (x2, y2) of graphic 1501, graphic information (x3, y3) (x4, y4) of graphic 1502, and graphic information of graphic 1503. (x5, y5) (x6, y6).
  • the reception unit 2 receives a preprocessing instruction.
  • the first preprocessing unit 31 acquires a first density map 1504 having first density information for each of two or more first small regions by the processing described in Specific Example 1.
  • the second preprocessing unit 32 acquires the differential information arithmetic expression corresponding to the bias condition that the graphic information in each of the two or more first small regions matches, as described using the flowchart of FIG. Then, one or more parameters to be substituted into the differential information arithmetic expression are obtained from the graphic information, the one or more parameters are substituted into the differential information arithmetic expression, and the differential information is calculated by executing the differential information arithmetic expression. . Then, the second preprocessing unit 32 accumulates the differential information for each graphic information and for each first small area in the differential information storage unit 12 .
  • differential information set An example of such differential information set is shown in FIG. In FIG. 16, there are many records having "ID”, “graphic identifier”, “first small area identifier”, “first small area information”, and “differential information”. Note that the differential information “d 1 ”, “d 2 ”, “d 3 ”, “d 4 ”, etc. in FIG. 16 are numerical values.
  • the differential information set in FIG. 16 is used to create a correction amount set (correction map) that is created when drawing a figure, as described using the flowchart in FIG. That is, as described using the flowchart of FIG. 10, the first density map 1504 created by the first preprocessing unit 31 and the differential information for each first small region acquired by the second preprocessing unit 32 are (see FIG. 15(c)) to acquire the second density information for each first small area shown in FIG. 15(d).
  • a set of second density information for each of two or more first small regions is a second density map.
  • the device that creates the first density map may be configured as a device different from the electron beam drawing device.
  • FIG. 17 shows a block diagram of a dense assembly production apparatus B, which is an apparatus for such a case.
  • the density set production apparatus B includes a graphic information receiving unit 21 for receiving one or more pieces of graphic information, and two or more first small regions obtained by dividing the graphic region specified by the graphic information. Obtaining first density information based on the area in which the graphic indicated by the graphic information is included in the first small area, and obtaining a first density set, which is a set of the first density information, for each piece of graphic information. , and a first preprocessing unit 31 for accumulating.
  • the device that creates the differential information set may be configured as a device different from the electron beam drawing device.
  • FIG. 18 shows a block diagram of a differential information set production apparatus C, which is an apparatus for such a case.
  • the differential information set production apparatus C includes a graphic information receiving unit 21 for receiving one or more graphic information, and for each one or more graphic information and for each two or more first small regions, the area for the unit amount of bias.
  • a second preprocessing unit 32 is provided for calculating and accumulating differential information specifying fluctuations.
  • the processing in this embodiment may be realized by software. Then, this software may be distributed by software download or the like. Also, this software may be recorded on a recording medium such as a CD-ROM and distributed. Note that this also applies to other embodiments in this specification.
  • the software that implements the electron beam drawing apparatus A in this embodiment is the following program.
  • this program is a set of first density information corresponding to the area in which the graphic indicated by the graphic information is included in each of two or more first small regions obtained by dividing the graphic region specified by the graphic information, one or more computers capable of accessing a density set storage unit in which a first density set, which is a set of first density information for each of the two or more first small areas, is stored for each of one or more pieces of graphic information; a graphic information reception unit that receives graphic information; a density set acquisition unit that acquires from the density set storage unit a first density set corresponding to each of the one or more pieces of graphic information received by the graphic information reception unit; A correction amount acquisition unit that acquires a correction amount for each of the two or more second small regions, which is a correction amount according to the one or more first density sets for each piece of graphic information, and 2 acquired by the correction amount acquisition unit a dose acquisition unit for acquiring, for each of the two or more second small regions, the dose of the electron beam having an intensity corresponding to the correction amount of each second small region;
  • FIG. 19 shows the appearance of a computer that executes the program described in this specification and implements the electron beam drawing apparatus A of the various embodiments described above.
  • the embodiments described above may be implemented in computer hardware and computer programs running thereon.
  • FIG. 19 is an overview diagram of this computer system 300
  • FIG. 20 is a block diagram of the system 300. As shown in FIG.
  • computer system 300 includes computer 301 including a CD-ROM drive, keyboard 302 , mouse 303 and monitor 304 .
  • a computer 301 includes a CD-ROM drive 3012, an MPU 3013, a bus 3014 connected to the CD-ROM drive 3012, a ROM 3015 for storing programs such as a boot-up program, It includes a RAM 3016 connected and for temporarily storing application program instructions and providing temporary storage space, and a hard disk 3017 for storing application programs, system programs and data.
  • computer 301 may also include a network card that provides connection to a LAN.
  • a program that causes the computer system 300 to execute the functions of the electron beam drawing apparatus A of the embodiment described above may be stored in the CD-ROM 3101, inserted into the CD-ROM drive 3012, and transferred to the hard disk 3017. .
  • the program may be transmitted to computer 301 via a network (not shown) and stored in hard disk 3017 .
  • Programs are loaded into RAM 3016 during execution.
  • the program may be loaded directly from CD-ROM 3101 or network.
  • the program does not necessarily include an operating system (OS) or a third party program that causes the computer 301 to execute the functions of the electron beam drawing apparatus A of the embodiment described above.
  • a program need only contain those parts of instructions that call the appropriate functions (modules) in a controlled manner to produce the desired result. How the computer system 300 operates is well known and will not be described in detail.
  • the step of transmitting information, the step of receiving information, etc. are performed by hardware. processing) are not included.
  • the computer that executes the above program may be singular or plural. That is, centralized processing may be performed, or distributed processing may be performed.
  • two or more communication means existing in one device may be physically realized in one medium.
  • each process may be implemented by centralized processing by a single device, or may be implemented by distributed processing by a plurality of devices.
  • the electron beam drawing apparatus has the effect of being able to obtain an appropriate dose at high speed when drawing a figure using an electron beam, and is useful as an electron beam drawing apparatus or the like. .

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Abstract

【課題】従来、電子ビームを用いて図形を描画する際の適切な照射量を高速に取得できなかった。 【解決手段】図形情報が特定する図形領域を分割した２以上の各第一小領域の中に、図形が含まれる面積に応じた第一密度情報の集合が、１以上の各図形情報ごとに格納される密度集合格納部と、１以上の各図形情報に対応する第一密度集合を密度集合格納部から取得する密度集合取得部３３と、１以上の各図形情報ごとの１以上の第一密度集合に応じた補正量であり、２以上の各第二小領域の補正量を取得する補正量取得部と、当該２以上の各第二小領域の補正量に応じた強さの電子ビームの照射量を、２以上の第二小領域ごとに取得する照射量取得部と、当該２以上の第二小領域ごとの照射量に従って、２以上の各第二小領域に電子ビームを照射する描画部とを具備する電子ビーム描画装置により、電子ビームを用いて図形を描画する際の適切な照射量を高速に取得できる。

Description

電子ビーム描画装置、電子ビーム描画方法、および記録媒体
　本発明は、電子ビームの照射を行う電子ビーム描画装置等に関するものである。
　従来、描画装置から照射される荷電粒子ビームの照射量を補正する技術があった（例えば、特許文献１参照）。
特許第６２８３１８０号
　しかしながら、従来技術においては、電子ビームを用いて図形を描画する際の適切な照射量を高速に決定できなかった。従来技術においては、特に、電子ビームを照射した際の影響範囲など、補正対象となる現象の影響範囲が広い場合であり、図形の数が膨大である場合は、適切な照射量を決定するまでの処理に、多大な時間がかかっていた。
　本第一の発明の電子ビーム描画装置は、図形情報が特定する図形領域を分割した２以上の各第一小領域の中に、図形情報が示す図形が含まれる面積に応じた第一密度情報の集合であり、２以上の各第一小領域ごとの第一密度情報の集合である第一密度集合が、１以上の各図形情報ごとに格納される密度集合格納部と、１以上の図形情報を受け付ける図形情報受付部と、図形情報受付部が受け付けた１以上の各図形情報に対応する第一密度集合を密度集合格納部から取得する密度集合取得部と、１以上の各図形情報ごとの１以上の第一密度集合に応じた補正量であり、２以上の各第二小領域の補正量を取得する補正量取得部と、補正量取得部が取得した２以上の各第二小領域の補正量に応じた強さの電子ビームの照射量を、２以上の第二小領域ごとに取得する照射量取得部と、照射量取得部が取得した２以上の第二小領域ごとの照射量に従って、２以上の各第二小領域に電子ビームを照射する描画部とを具備する電子ビーム描画装置である。
　かかる構成により、電子ビームを用いて図形を描画する際の適切な照射量を高速に取得できる。
　また、本第二の発明の電子ビーム描画装置は、第一の発明に対して、密度集合取得部は、受付部が受け付けた１以上の各図形情報に対応する第一密度集合を密度集合格納部から取得する密度集合読出手段と、２以上の各第一小領域のうちで、第一小領域の図形に関するバイアス条件に合致する第一小領域に対して、第一小領域の中の図形に基づく面積変動情報を取得する面積変動情報取得手段と、密度集合読出手段が取得した第一密度集合が有する１以上の各第一小領域の第一密度情報と、面積変動情報取得手段が取得した１以上の各第一小領域の面積変動情報とを用いて、１以上の各第一小領域ごとの第二密度情報の集合である第二密度集合を、１以上の各図形情報ごとに取得する密度集合取得手段とを具備し、補正量取得部は、密度集合取得手段が取得した１以上の第二密度集合を用いて、２以上の各第二小領域の補正量を取得する、電子ビーム描画装置である。
　かかる構成により、電子ビームを用いて図形を描画する際のより適切な照射量を高速に取得できる。
　また、本第三の発明の電子ビーム描画装置は、第二の発明に対して、バイアスの単位量に対する面積の変動を特定する微分情報が、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各第一小領域ごとに格納される微分情報格納部と、バイアス量を受け付けるバイアス量受付部とをさらに具備し、面積変動情報取得手段は、バイアス条件に合致する第一小領域に対して、第一小領域に対応付けられた微分情報とバイアス量受付部が受け付けたバイアス量とを用いて、面積変動情報を、１以上の各図形情報ごとに取得する、電子ビーム描画装置である。
　かかる構成により、電子ビームを用いて図形を描画する際のより適切な照射量を高速に取得できる。
　また、本第四の発明の電子ビーム描画装置は、第三の発明に対して、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各第一小領域ごとに、バイアスの単位量に対する面積の変動を特定する微分情報を算出し、微分情報格納部に蓄積する第二前処理部をさらに具備する電子ビーム描画装置である。
　かかる構成により、電子ビームを用いて図形を描画する際のより適切な照射量を高速に取得できる。
　また、本第五の発明の電子ビーム描画装置は、第四の発明に対して、微分情報を算出する微分情報算出式が１以上の各バイアス条件ごとに格納されており、第二前処理部は、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各第一小領域ごとに、合致するバイアス条件に対応する微分情報算出式を取得し、微分情報算出式を用いて、微分情報を算出し、微分情報格納部に蓄積する、電子ビーム描画装置である。
　かかる構成により、電子ビームを用いて図形を描画する際のより適切な照射量を高速に取得できる。
　また、本第六の発明の電子ビーム描画装置は、第三から第五いずれか１つの発明に対して、バイアス条件は、第一小領域の図形が水平線または垂直線を含むことであり、面積変動情報取得手段は、水平線または垂直線に対して、バイアス量に比例する大きさの面積変動情報を取得する、電子ビーム描画装置である。
　かかる構成により、電子ビームを用いて図形を描画する際のより適切な照射量を高速に取得できる。
　また、本第七の発明の電子ビーム描画装置は、第三から第五いずれか１つの発明に対して、バイアス条件は、第一小領域の図形が斜線を含むことであり、面積変動情報取得手段は、バイアス量と斜線の角度に関する角度情報と斜線の第一小領域内の長さに関する長さ情報とを取得し、バイアス量と角度情報と長さ情報とを用いて、Ｘ成分の面積変動情報であるＸ面積変動情報とＹ成分の面積変動情報であるＹ面積変動情報とを算出し、Ｘ面積変動情報とＹ面積変動情報とを用いて面積変動情報を算出する、電子ビーム描画装置である。
　かかる構成により、電子ビームを用いて図形を描画する際のより適切な照射量を高速に取得できる。
　また、本第八の発明の電子ビーム描画装置は、第三から第五いずれか１つの発明に対して、バイアス条件は、第一小領域の図形が、２つの直線の交点により構成される角部を含むことであり、面積変動情報取得手段は、２つの直線をバイアス量に対応する長さ分を延ばして作成される平行四辺形と２つの三角形の面積を算出し、３つの面積を用いて面積変動情報を算出する、電子ビーム描画装置である。
　かかる構成により、電子ビームを用いて図形を描画する際のより適切な照射量を高速に取得できる。
　また、本第九の発明の電子ビーム描画装置は、第一から第八いずれか１つの発明に対して、図形情報が特定する領域である図形領域を分割した２以上の各第一小領域ごとに、２以上の各第一小領域の中に、図形情報が示す図形が含まれる面積に基づく第一密度情報を取得し、第一密度情報の集合である第一密度集合を、１以上の図形情報ごとに取得し、密度集合格納部に蓄積する第一前処理部をさらに具備する電子ビーム描画装置である。
　かかる構成により、電子ビームを用いて図形を描画する際のより適切な照射量を高速に取得できる。
　また、本第十の発明の密度集合の生産装置は、１以上の図形情報を受け付ける図形情報受付部と、図形情報が特定する領域である図形領域を分割した２以上の各第一小領域ごとに、２以上の各第一小領域の中に、図形情報が示す図形が含まれる面積に基づく第一密度情報を取得し、第一密度情報の集合である第一密度集合を、１以上の図形情報ごとに取得し、蓄積する第一前処理部とを具備する密度集合の生産装置である。
　かかる構成により、密度集合を取得し、蓄積できる。
　また、本第十一の発明の微分情報集合の生産装置は、１以上の図形情報を受け付ける図形情報受付部と、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各第一小領域ごとに、バイアスの単位量に対する面積の変動を特定する微分情報を算出し、蓄積する第二前処理部を具備する微分情報集合の生産装置である。
　かかる構成により、微分情報集合を取得し、蓄積できる。
　本発明による電子ビーム描画装置によれば、電子ビームを用いて図形を描画する際の適切な照射量を高速に取得できる。
実施の形態１における電子ビーム描画装置Ａのブロック図 同微分情報算出式の例の導出を説明する図 同微分情報算出式の例の導出を説明する図 同微分情報算出式の例の導出を説明する図 同微分情報算出式の例の導出を説明する図 同微分情報算出式の例の導出を説明する図 同電子ビーム描画装置Ａの動作例について説明するフローチャート 同密度情報取得処理の例について説明するフローチャート 同微分情報取得処理の例について説明するフローチャート 同密度集合取得処理の例について説明するフローチャート 同補正量集合取得の例ついて説明するフローチャート 同描画処理の例について説明するフローチャート 同第一前処理部３１の処理を説明する図 同第一密度マップの例を示す図 同第二前処理部３２の処理を説明する図 同微分情報集合の例を示す図 同密度集合の生産装置Ｂのブロック図 同微分情報集合の生産装置Ｃのブロック図 同コンピュータシステムの概観図 同コンピュータシステムのブロック図
　以下、電子ビーム描画装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
　（実施の形態１）
　本実施の形態において、１以上の各図形情報を含む領域を分割した２以上の各第一小領域ごとに、図形が含まれる面積に応じた第一密度情報を取得し、事前に第一小領域識別子に対応付けられた第一密度情報の集合を保持しておく。そして、１以上の各図形情報ごとの第一密度情報の集合を用いて、第二小領域ごとの補正量の集合を取得し、第二小領域ごとに、対応する補正量に従った電子ビームの照射量を決定し、当該照射量に従った電子ビームの照射を行う電子ビーム描画装置について説明する。
　また、本実施の形態において、バイアス処理を行うことにより、より適切な補正量の集合を作成し、当該補正量の集合に従った電子ビームの照射量を決定し、当該照射量に従った電子ビームの照射を行う電子ビーム描画装置について説明する。
　また、本実施の形態において、単位量のバイアスに対する面積の変化の情報である微分情報を第一小領域ごとに予め保持しておき、当該微分情報を用いて、より適切な補正量の集合を作成し、当該補正量の集合に従った電子ビームの照射量を決定し、当該照射量に従った電子ビームの照射を行う電子ビーム描画装置について説明する。
　図１は、本実施の形態における電子ビーム描画装置Ａのブロック図である。電子ビーム描画装置Ａは、格納部１、受付部２、処理部３、および出力部４を備える。
　格納部１は、密度集合格納部１１、および微分情報格納部１２を備える。受付部２は、図形情報受付部２１、およびバイアス量受付部２２を備える。処理部３は、第一前処理部３１、第二前処理部３２、密度集合取得部３３、補正量取得部３４、照射量取得部３５、および描画部３６を備える。密度集合取得部３３は、密度集合読出手段３３１、面積変動情報取得手段３３２、および密度集合取得手段３３３を備える。
　格納部１には、各種の情報が格納される。各種の情報とは、例えば、後述する密度集合、後述する微分情報、１または２以上の図形情報、１以上のバイアス条件、１以上の微分情報算出式、後述する各種の演算式である。
　図形情報とは、図形を示す情報である。図形情報は、例えば、図形を構成する２以上の各点の座標情報の集合である。図形情報は、例えば、図形を構成する３以上の線の情報の集合である。図形情報は、例えば、ファイルである。ただし、図形情報の構造は問わない。また、図形情報は、図形識別子に対応付いている。図形識別子は、図形を識別する情報であり、例えば、ＩＤ、ファイル名、図形名である。
　バイアス条件とは、後述する面積変動情報を取得するための条件である。バイアス条件は、通常、第一小領域の図形に関する条件である。バイアス条件は、例えば、第一小領域の中に図面が存在する領域と図形が存在しない領域とが存在することである。バイアス条件は、例えば、第一小領域の中に図面の線が存在することである。なお、図面の線とは、図面の境界線である。また、バイアス条件は、例えば、第一小領域の中に図面の水平線が存在することである。また、バイアス条件は、例えば、第一小領域の中に図面の垂直線が存在することである。また、バイアス条件は、例えば、第一小領域の中に図面の斜線が存在することである。また、バイアス条件は、例えば、第一小領域の中に図面の角部が存在することである。角部は、２つの直線の交点により構成される角の部分である。
　また、第一小領域には、図形の一部が含まれていても良いし、１または２以上の図形が含まれていても良い。
　微分情報算出式とは、微分情報を算出するための演算式である。微分情報算出式は、通常、バイアス条件に対応付いている。微分情報算出式の具体例については、後述する。
　密度集合格納部１１には、１以上の各図形情報ごとに、第一密度集合が格納される。１以上の各第一密度集合は、例えば、図形情報を識別する図形識別子に対応付いている。
　第一密度集合は、２以上の第一密度情報を有する。第一密度集合は、２以上の各第一小領域ごとの第一密度情報の集合である。第一密度集合は、例えば、２以上の第一密度組情報からなる。第一密度組情報は、第一小領域を識別する第一小領域識別子と第一密度情報との組である。なお、第一密度集合は、第一密度マップと呼んでも良い。
　第一密度情報は、例えば、第一小領域識別子に対応付いている。第一密度情報は、例えば、第一小領域を特定する領域情報（例えば、左上座標と右下座標を有する情報）に対応付いている。第一密度情報は、図形情報が示す図形が、第一小領域内に含まれる面積に応じた情報である。第一密度情報は、例えば、第一小領域内の図面の密度に関する情報である。第一密度情報は、例えば、第一小領域内の全面積の中で、図形が占める割合に関する情報である。第一密度情報は、例えば、０～１の間の数値である。第一密度情報は、例えば、第一小領域内で、図形が占める面積に関する情報である。第一密度情報は、第一小領域内で、図形が占める面積でも良い。
　密度集合格納部１１の１以上の第一密度集合は、第一前処理部３１が取得した情報であることは好適である。密度集合格納部１１の１以上の第一密度集合は、描画の開始指示の受け付けの前に、前処理として行われた第一前処理部３１の処理により、密度集合格納部１１に蓄積された情報であることは好適である。
　なお、２以上の各第一小領域の大きさや形状は、各々、異なっていても良い。また、図形情報に応じて、分割の方法が異なる結果、図形情報により第一小領域の大きさや形状が異なっていても良い。但し、形状は、矩形であることは好適である。
　微分情報格納部１２には、第一小領域に対応付けられた微分情報が格納される。微分情報格納部１２には、例えば、１または２以上の各第一小領域に対応付けられた微分情報が格納される。
　微分情報格納部１２には、１以上の各図形情報ごとに、微分情報集合が格納される。微分情報格納部１２の微分情報集合には、例えば、図形識別子が対応付いている。
　微分情報集合は、１または２以上の微分情報の集合である。微分情報集合の各微分情報は、第一小領域に対応している。微分情報集合の各微分情報は、例えば、第一小領域識別子に対応付いている。微分情報集合の各微分情報は、例えば、第一小領域の領域情報に対応付いている。
　微分情報は、バイアスの単位量に対する面積の変動を特定する情報である。単位量は、例えば、１ｎｍであるが、問わない。なお、バイアスとは、描画中まだは描画後の現像、エッチングなどの製造プロセスによって設計通りにパターンが形成されない際に、それを補正するために元の図形を構成する輪郭の一部または全部を移動させることを指す。
　微分情報格納部１２の１以上の微分情報は、第二前処理部３２が取得した情報であることは好適である。微分情報格納部１２の１以上の微分情報は、描画の開始指示の受け付けの前に、前処理として行われた第二前処理部３２の処理により、微分情報格納部１２に蓄積された情報であることは好適である。
　受付部２は、各種の情報や指示を受け付ける。各種の情報や指示は、例えば、後述する図形情報、後述するバイアス量、前処理指示、開始指示である。
　前処理指示とは、１以上の図形情報に対して前処理を行うことの指示である。前処理とは、描画の開始指示の受け付けの前に行う処理である。前処理は、例えば、第一前処理部３１が行う密度集合の取得処理である。前処理は、例えば、第二前処理部３２が行う微分情報の取得処理である。
　開始指示とは、図形の描画の開始の指示である。開始指示は、１以上の図形情報を含むことは好適である。
　ここで受け付けとは、例えば、図示しない処理手段が取得した情報を、当該処理手段から取得することである。また、受け付けとは、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報の受信、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなどの記録媒体から読み出された情報の受け付け、キーボードやマウス、タッチパネルなどの入力デバイスから入力された情報の受け付けなどを含む概念であっても良い。つまり、受け付けられる情報や指示が、どのような手段により受け付けられるかは問わない。
　図形情報受付部２１は、１以上の図形情報を受け付ける。図形情報受付部２１は、受付部２が受け付けた開始指示が有する１以上の図形情報を取得しても良い。図形情報受付部２１は、１以上の図形情報を格納部１から取得しても良い。
　バイアス量受付部２２は、バイアス量を受け付ける。バイアス量受付部２２は、例えば、ユーザからバイアス量を受け付けても良い。ただし、バイアス量を受け付ける方法は問わない。
　また、バイアス量受付部２２は、図形情報ごとに、異なるバイアス量を受け付けても良い。また、バイアス量受付部２２は、図形情報が有する１または２以上の各図形ごとに、異なるバイアス量を受け付けても良い。また、バイアス量受付部２２は、図形を構成する各部品（例えば、線分）によって、異なるバイアス量を受け付けても良い。さらに、バイアス量受付部２２は、図形を構成する各部品（例えば、線分）の部分によって、異なるバイアス量を受け付けても良い。
　処理部３は、各種の処理を行う。各種の処理は、例えば、第一前処理部３１、第二前処理部３２、密度集合取得部３３、補正量取得部３４、照射量取得部３５が行う処理である。
　処理部３は、バイアス量受付部２２が受け付けたバイアス量に応じて、図形情報を変更する。かかる処理をバイアス処理と言う。
　第一前処理部３１は、図形情報が特定する領域である図形領域を含む領域を分割した２以上の各第一小領域ごとに、密度情報を取得する。そして、第一前処理部３１は、２以上の各第一小領域ごとの密度情報の集合である密度集合を取得し、当該密度集合を密度集合格納部１１に蓄積する。なお、第一小領域のサイズは問わない。
　第一前処理部３１は、図形情報受付部２１が受け付け得る１または２以上の各図形情報に対して、密度集合を取得し、当該密度集合を、図形情報に対応付けて密度集合格納部１１に蓄積しておくことは好適である。つまり、描画部３６が処理を行う前に、第一前処理部３１が動作し、１以上の各図形情報に対応付けて、密度集合を密度集合格納部１１に蓄積しておくことは好適である。かかる前処理により、図形情報受付部２１が図形情報を受け付けてから描画部３６が処理を行うまでの処理時間が短縮される。
　第一前処理部３１は、例えば、各図形情報の第一小領域ごとに、当該第一小領域の中に含まれる図形情報の面積を、図形情報から取得する。そして、第一前処理部３１は、例えば、当該面積をパラメータとする増加関数により、当該第一小領域の密度情報を取得する。なお、第一前処理部３１は、例えば、第一小領域全体の面積を取得し、当該全体の面積に対する図形情報の面積との割合である密度情報を取得する。第一前処理部３１は、例えば、演算式「密度情報＝第一小領域の中の図形の面積／第一小領域全体の面積」により、密度情報を取得する。第一前処理部３１は、第一小領域の中の図形の面積そのものを密度情報として取得しても良い。
　なお、第一小領域の中に２以上の図形が存在する場合、第一前処理部３１は、当該複数の図形の各々の第一小領域の中の面積を取得し、当該２以上の面積の和を取得する。そして、第一前処理部３１は、２以上の面積の和をパラメータとする増加関数により、当該第一小領域の密度情報を取得する。第一前処理部３１は、例えば、演算式「密度情報＝２以上の面積の和／第一小領域全体の面積」により、密度情報を取得する。第一前処理部３１は、２以上の面積の和を密度情報として取得しても良い。
　第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごとに、２以上の各第一小領域に対応付けられた微分情報を算出し、微分情報格納部１２に蓄積する。なお、微分情報とは、第一小領域において、バイアスの単位量に対する面積の変動を特定する情報である。
　第二前処理部３２は、例えば、図形識別子および第一小領域識別子に対応付けて、算出した微分情報を蓄積する。
　第二前処理部３２は、例えば、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各第一小領域ごとに、合致するバイアス条件に対応する微分情報算出式を格納部１から取得し、当該微分情報算出式を用いて、微分情報を算出し、微分情報格納部１２に蓄積する。
　以下、第二前処理部３２が微分情報を算出する４つの場合について、各場合の微分情報算出式の例を用いて説明する。４つの場合とは、（１）第一小領域の中に水平線を含む場合
（２）第一小領域の中に垂直線を含む場合（３）第一小領域の中に斜線を含む場合（４）第一小領域の中に角部を含む場合である。
（１）第一小領域の中に水平線を含む場合
　第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごとに、２以上の各第一小領域ごとに、第一小領域の中の図形の水平線の長さ（Ｌ１）を、第一小領域の領域情報と図形情報とを用いて算出する。次に、第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごとに、２以上の各第一小領域ごとに、格納部１の定数（α１）を読み出し、以下の数式１にα１とＬ１とを代入し、当該数式１を実行し、微分情報を得る。次に、第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごとに、２以上の各第一小領域ごとに、図形識別子と第一小領域識別子に対応付けて、微分情報を微分情報格納部１２に蓄積する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　なお、数式１において、α１は定数，Ｌ１は第一小領域の水平線の長さである。
　また、（１）の場合の微分情報算出式は、数式１に限らない。（１）の場合の微分情報算出式は、水平線の長さ（Ｌ１）をパラメータとする増加関数であれば良い。
　また、一の第一小領域に、水平線が複数存在する場合、第二前処理部３２は、各水平線ごとに、微分情報を算出し、当該水平線ごとの微分情報の和を算出する。かかる和が、一の第一小領域の微分情報である。
（２）第一小領域の中に垂直線を含む場合
　第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごとに、２以上の各第一小領域ごとに、第一小領域の中の図形の垂直線の長さ（Ｌ２）を、第一小領域の領域情報と図形情報とを用いて算出する。次に、第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごとに、２以上の各第一小領域ごとに、格納部１の定数（α２）を読み出し、以下の数式２にα２とＬ２とを代入し、当該数式１を実行し、微分情報を得る。次に、第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごとに、２以上の各第一小領域ごとに、図形識別子と第一小領域識別子に対応付けて、微分情報を微分情報格納部１２に蓄積する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
　なお、数式２において、α２は定数，Ｌ２は第一小領域の垂直線の長さである。
　また、（２）の場合の微分情報算出式は、数式２に限らない。（２）の場合の微分情報算出式は、垂直線の長さ（Ｌ２）をパラメータとする増加関数であれば良い。
　また、一の第一小領域に、垂直線が複数存在する場合、第二前処理部３２は、各垂直線ごとに、微分情報を算出し、当該垂直線ごとの微分情報の和を算出する。かかる和が、一の第一小領域の微分情報である。
（３）第一小領域の中に斜線をｎ個含む場合
　第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各第一小領域ごとに、第一小領域の中の各斜線の長さ（Ｌｉ）を、第一小領域の領域情報と図形情報とを用いて算出する。次に、第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各第一小領域ごとに、各斜線の法線の角度（αｉ）を取得する。次に、第二前処理部３２は、以下の数式３に、斜線ごとのＬｉとαｉとを代入し、当該数式３を実行し、微分情報を得る。次に、第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各第一小領域ごとに、微分情報を微分情報格納部１２に蓄積する。第二前処理部３２は、例えば、図形識別子と第一小領域識別子に対応付けて、微分情報を微分情報格納部１２に蓄積する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
　なお、数式３において、Ｄｘは、Ｘ成分の面積増加量の情報である。Ｄｙは、Ｙ成分の面積増加量の情報である。Ｌｉは、斜線の長さである。αｉは、斜線の法線の角度である。
　また、（３）の場合の微分情報算出式は、数式３に限らない。（３）の場合の微分情報算出式は、斜線の長さ（Ｌｉ）をパラメータとする増加関数であれば良い。
　また、上記の数式３の導出過程を、以下に説明する。
　異方性のサイジングが必要なケースでも、通常、バイアス量は連続した変化になる。つまり、似た角度の線分は似たバイアス量を適用したい場合が殆どである。そのため、線分の角度に対応したバイアス量を、図２に示すように、楕円によって定義する。Ｘ方向(水平線)、Ｙ方向(垂直線) のバイアス量(Ｂｘ，Ｂｙ)を与える、とする。すると、バイアス量（ＢＩＡＳ）は、数式４により算出される。なお、αは、斜線２０１に対する法線の角度である（図２参照）。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
　数式４によれば、バイアスベクトルの向きは法線方向からずれることになる。しかし、実際のバイアス方向を法線方向にすると、以下のように面積の変動をＸ成分とＹ成分に分解することができる（数式５参照）。これはユーザがＢｘ，Ｂｙのみを指定する方法にマッチする。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
　なお、数式５において、ΔＡｒｅａｘは、面積変動のＸ成分である。ΔＡｒｅａｙは、面積変動のＹ成分である。Ｌedgeは、図３の３０１の斜線の長さである。図３のθは、斜線の水平線に対する角度である。
　以上より、楕円式によって与えられるバイアスベクトルを法線方向に射影したものをバイアスベクトルとすると、バイアス量は以下の数式６になる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
　このとき長さＬの直線がもたらす面積変動は以下の数式７で表現できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
　ここで、Ｌ、αは、線分固有のデータなので対象のi番目の斜線の線分の長さ、法線の角度をそれぞれＬi, αiとすると、線分群に対する面積変動は以下の数式８で表せる（図４参照）。なお、図４において、Ｂｘ＝Ａ，Ｂｙ＝１である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000008
　従って、線分群に対する合計の面積変動の微分値（微分情報）を上記の数式３のように定義できる。
（４）第一小領域の中にＮ個の角部を含む場合
　第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごと、２以上の各第一小領域ごと、および角部ごとに、数式９に使用されている全てのパラメータを取得する。次に、第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごと、２以上の各第一小領域ごと、および角部ごとに、数式９に全てのパラメータを代入し、当該数式９を実行し、微分情報を得る。次に、第二前処理部３２は、１以上の各図形情報ごと、２以上の各第一小領域ごと、および角部ごとに、微分情報を算出し、当該微分情報を微分情報格納部１２に蓄積する。
　なお、第二前処理部３２は、例えば、１以上の各図形情報ごと、２以上の各第一小領域ごとに、算出した１以上の微分情報の和を算出し、当該１以上の微分情報の和を、図形識別子と第一小領域識別子に対応付けて、微分情報格納部１２に蓄積する。かかる和が、１以上の各図形情報ごと、２以上の各第一小領域ごと、および角部ごとの微分情報である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000009
　なお、数式９の右辺の第１項は、三角形Ｔ２１の面積である。第２項は、平行四辺形Ｐの面積である。第３項は、三角形Ｔ１２の面積である。また、数式９の・・・
　また、上記の数式９の導出過程を、以下に説明する。
　ここでは、図５に示すような二本の単位ベクトルで表される線分Ｌ１,Ｌ２で構成される角に、Ｌ１,Ｌ２にそれぞれバイアスベクトルＢ１，Ｂ２で表されるバイアスを適用した結果の角の部分の図形(網掛け部，図５の５０１、５０２、５０３)を考える。
　また、Ｕ１は、Ｌ１による頂点から、Ｌ１ベクトルの向きでＬ２’までのベクトルを表す。また、Ｕ２はＬ２による頂点から、Ｌ２ベクトルの向きにＬ１’までのベクトルを表す。
　ここでＬ１とＢ２がなす角度をθ１２ とすると、Ｕ１は以下の数式１０のように表される (Ｌ１は単位ベクトル) 。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000010
　同様に、Ｕ２は以下の数式１１のように表される (Ｌ２は単位ベクトル) 。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000011
　Ｕ１,Ｕ２が確定したので、角部分の面積の増加分をＵ１,Ｕ２で構成される平行四辺形Ｐと、Ｕ１,Ｂ２で構成される三角形Ｔ１２と、Ｕ２, Ｂ１で構成される三角形Ｔ２１に分けて算出する（図６参照）。
　ＰはＵ１,Ｕ２を使用して、以下の数式１２により算出される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000012
　Ｔ１２、Ｔ２１も、各々、外積を利用して、数式１３、数式１４により算出される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000013
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000014
　ここでバイアスＢ１，Ｂ２に依存しない成分をそれぞれ、数式１５のように置くと、角の部分の面積は以下の数式１６のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000015
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000016
　ここでバイアスベクトルの大きさＢ１，Ｂ２は、Ｌ１,Ｌ２の法線方向の角度をΦ１, Φ２としたとき、数式１７のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000017
　数式１７を変形すると、数式１８となる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000018
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000019
　ここで、数式１９のように、ｄｘｘ,ｄｙｙ,ｄｘｙを定義すると、角部の面積は以下の数式２０のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000020
　数式２０において、ｄｘｘ,ｄｙｙ,ｄｘｙはバイアスに依存しない、図形情報のみから計算できる情報なため、頂点をＮ個含むある図形群全体の角部の面積の合計は、上述した数式９となる。
　一の第一小領域に、複数の種類の図形が含まれる場合、第二前処理部３２は、図形の種類ごとの微分情報を算出し、当該種類ごとの微分情報の和を算出する。そして、第二前処理部３２は、かかる微分情報の和を、当該一の第一小領域の微分情報として、微分情報格納部１２に蓄積する。
　なお、第二前処理部３２は、上記した方法に限らない。
　密度集合取得部３３は、例えば、図形情報受付部２１が受け付けた図形情報に対応する第一密度集合を密度集合格納部１１から取得する。密度集合取得部３３は、例えば、図形情報受付部２１が受け付けた２以上の各図形情報に対応する第一密度集合を密度集合格納部１１から取得する。なお、かかる密度集合を後述する第二密度集合としても良い。かかる場合、バイアス量を用いた補正を行わないこととなる。
　密度集合取得部３３は、例えば、図形情報受付部２１が受け付けた図形情報に対応する密度集合である第一密度集合を密度集合格納部１１から取得し、当該第一密度集合を用いて、第二密度集合を取得する。
　密度集合取得部３３を構成する密度集合読出手段３３１は、受付部２が受け付けた図形情報に対応する密度集合である第一密度集合を密度集合格納部１１から取得する。密度集合読出手段３３１は、受付部２が受け付けた２以上の各図形情報に対応する第一密度集合を密度集合格納部１１から取得する。
　面積変動情報取得手段３３２は、受付部２が受け付けた図形情報に対応する２以上の各第一小領域のうちで、バイアス条件に合致する第一小領域に対して、第一小領域の図形に基づく面積変動情報を取得する。なお、バイアス条件は、格納部１に格納されている。
　面積変動情報取得手段３３２は、例えば、バイアス条件に合致する第一小領域に対して、当該第一小領域に対応付けられた微分情報とバイアス量受付部２２が受け付けたバイアス量とを用いて、面積変動情報を取得する。面積変動情報取得手段３３２は、例えば、バイアス条件に合致する第一小領域に対して、当該第一小領域に対応付けられた微分情報を微分情報格納部１２から取得し、当該微分情報とバイアス量受付部２２が受け付けたバイアス量との積である面積変動情報を算出する。
　面積変動情報取得手段３３２は、例えば、第一小領域の中の図形の水平線または垂直線に対して、バイアス量に比例する大きさの面積変動情報を取得する。
　面積変動情報取得手段３３２は、バイアス量と斜線の角度に関する角度情報と斜線の第一小領域内の長さに関する長さ情報とを取得し、バイアス量と角度情報と長さ情報とを用いて、Ｘ成分の面積変動情報であるＸ面積変動情報とＹ成分の面積変動情報であるＹ面積変動情報とを算出し、Ｘ面積変動情報とＹ面積変動情報とを用いて面積変動情報を算出する。面積変動情報取得手段３３２は、例えば、Ｘ面積変動情報とＹ面積変動情報とをパラメータとする増加関数により、面積変動情報を算出する。なお、増加関数は、例えば、和である。
　面積変動情報取得手段３３２は、２つの直線をバイアス量に対応する長さ分を延ばして作成される平行四辺形と２つの三角形の面積を算出し、３つの面積を用いて面積変動情報を算出する。面積変動情報取得手段３３２は、３つの各面積をパラメータとする増加関数により、面積変動情報を算出する。なお、増加関数は、例えば、和である。
　密度集合取得手段３３３は、密度集合読出手段３３１が取得した第一密度集合と、面積変動情報取得手段３３２が取得した１以上の第一小領域の面積変動情報とを用いて、１以上の各図形情報に対応する第二密度集合を取得する。
　密度集合取得手段３３３は、例えば、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各小領域ごとに、第一密度情報と面積変動情報とを取得し、図形情報ごとおよび小領域ごとに、第一密度集合と面積変動情報とをパラメータとする増加関数により第二密度情報を取得する。そして、密度集合取得手段３３３は、例えば、各図形情報ごとに、２以上の各小領域に対応する第二密度情報の集合である第二密度集合を取得する。なお、増加関数は、例えば、和である。
　補正量取得部３４は、１または２以上の各図形情報ごとの１以上の第一密度集合に応じた補正量であり、２以上の各第二小領域の補正量を取得する。２以上の各第二小領域の補正量の集合を補正量集合、または補正マップと言う。補正量取得部３４は、２以上の補正マップを取得しても良い。補正量取得部３４は、例えば、２以上の各補正の種類ごとに補正マップを取得しても良い。補正の種類とは、例えば、・・・・
　補正量取得部３４は、例えば、１または２以上の第二密度集合を用いて、２以上の各第二小領域の補正量を取得する。なお、各第二小領域は、いずれかの第一小領域と同じでも良いし、２以上の第一小領域を含んでいても良いし、いずれかの第一小領域の一部でも良いし、２以上の第一小領域の一部等でも良い。つまり、第二小領域と第一小領域との関係は問わない。第二小領域は、第一小領域とは異なる大きさの領域でも良い。
　補正量取得部３４は、２以上の各図形情報の密度集合を用いて、２以上の各第二小領域の補正量を取得しても良い。なお、ここでの密度集合は、第一密度集合でも、第二密度集合でも良い。
　補正量取得部３４は、例えば、第二小領域ごとに、当該第二小領域に対応する１以上の第一小領域の第一密度情報をパラメータとする増加関数により補正量を算出する。なお、増加関数は、例えば、加算である。なお、第二小領域に対応する第一小領域とは、第二小領域の範囲に一部でも含まれる第一小領域である。
　補正量取得部３４は、密度集合取得手段３３３が取得した１以上の第二密度集合を用いて、２以上の各第二小領域の補正量を取得することは好適である。
　補正量取得部３４は、例えば、第二小領域ごとに、当該第二小領域に対応する１以上の第一小領域の第二密度情報をパラメータとする増加関数により補正量を算出する。なお、増加関数は、例えば、加算である。
　　補正量取得部３４は、第一密度集合または第二密度集合以外の情報をも用いて、第二小領域の補正量を取得しても良い。例えば、補正量取得部３４は、事前に計算された図形の位置や図形の種別や図形の大きさごとの補正量のテーブルや、ビームの照射量や、現像やエッチングのような密度に依存して発生する現象ではガウシアンカーネルなどの現象を表現するモデルのパラメータと、第二密度集合や描画ビームのクーロン散乱や試料中での散乱などのプロセスの特性情報とを組み合わせて用いることにより補正量を算出する。
　例えば、補正量取得部３４は、取得されたバイアス量を用いて、補正量を取得することは好適である。なお、バイアス量は、例えば、予め格納部１に格納されていても良いし、受付部２が受け付けても良い。
　照射量取得部３５は、補正量取得部３４が取得した２以上の各第二小領域の補正量に応じた強さの電子ビームの照射量を、２以上の第二小領域ごとに取得する。
　照射量取得部３５は、例えば、補正量取得部３４が取得した２以上の各第二小領域の補正量をパラメータとする増加関数により、第二小領域ごとの照射量を算出する。
　照射量取得部３５は、各第二小領域の補正量以外の情報を用いて、照射量を決定しても良い。例えば、照射量取得部３５は、第二小領域と同等か、より小さい影響範囲の現象の補正量や図形ごとに事前に割り当てられた補正量と第二小領域の補正量とを組み合わせて照射量を決定してもよい。この現象は例えば電子ビームの照射による近接効果である。
　描画部３６は、照射量取得部３５が取得した２以上の第二小領域ごとの照射量に従って、２以上の各第二小領域に電子ビームを照射する。なお、第二小領域ごとの照射量は、照射量取得部３５が取得した照射量である。また、描画の対象は、例えば、フォトマスクや、ウェハーなどである。また、描画部３６は、通常、電界放出型、ショットキー型、熱電子型などの電子銃や、電子レンズ、高さ検出器などから実現され得る。また、描画部３６が発する電子線の断面の形状は、例えば、矩形や円である。描画部３６は、複数のビームを同時に使用して、図形を描画しても良い。
　なお、描画部３６は、図形情報受付部２１が受け付けた１以上の図形情報に対して、バイアス処理を適用し、バイアス済みの図形の情報を得ることは好適である。そして、照射量取得部３５は、バイアス済みの図形の情報と、補正量取得部３４が取得した２以上の各第二小領域の補正量とを用いて、２以上の各第二小領域の電子ビームの照射量を取得する。具体的には、主に、電子ビームのより狭い範囲での散乱を考慮した補正が行われる。第二小領域の密度情報を使って計算されるのは、通常、影響範囲がｍｍオーダーのものであるが、描画中にリアルタイムに計算するのは、影響範囲が数十μｍや数百ｎｍ(場合によっては、１０ｎｍ程度)の影響範囲である。照射量取得部３５は、この現象に対応する予め格納されている演算式に第二小領域の「補正量」を入力し、当該演算式を実行することにより照射量を取得する。次に、描画部３６は、照射量取得部３５が取得した２以上の第二小領域ごとの照射量に従って、２以上の各第二小領域に電子ビームを照射して、図形の描画を行う。
　出力部４は、各種の情報を出力する。各種の情報は、例えば、図形の描画が完了した旨の情報である。ここで、出力とは、ディスプレイへの表示、プロジェクターを用いた投影、プリンタでの印字、音出力、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積、他の処理装置や他のプログラムなどへの処理結果の引渡しなどを含む概念である。
　格納部１、密度集合格納部１１、微分情報格納部１２は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
　格納部１等に情報が記憶される過程は問わない。例えば、記録媒体を介して情報が格納部１等で記憶されるようになってもよく、通信回線等を介して送信された情報が格納部１等で記憶されるようになってもよく、あるいは、入力デバイスを介して入力された情報が格納部１等で記憶されるようになってもよい。
　受付部２、図形情報受付部２１は、タッチパネルやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
　バイアス量受付部２２、処理部３、第一前処理部３１、第二前処理部３２、密度集合取得部３３、補正量取得部３４、照射量取得部３５、密度集合読出手段３３１、面積変動情報取得手段３３２、密度集合取得手段３３３は、通常、プロセッサやメモリ等から実現され得る。処理部３等の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。なお、プロセッサは、例えば、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＧＰＵ等であり、その種類は問わない。
　出力部４は、ディスプレイやスピーカー等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。出力部４は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。
　描画部３６の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。
　次に、電子ビーム描画装置Ａの動作例について、図７のフローチャートを用いて説明する。
　（ステップＳ７０１）受付部２は、前処理指示を受け付けたか否かを判断する。前処理指示を受け付けた場合はステップＳ７０２に行き、前処理指示を受け付けなかった場合はステップＳ７１６に行く。
　（ステップＳ７０２）処理部３は、カウンタｉに１を代入する。
　（ステップＳ７０３）第一前処理部３１は、前処理対象のｉ番目の図形情報が存在するか否かを判断する。ｉ番目の図形情報が存在する場合はステップＳ７０４に行き、ｉ番目の図形情報が存在しない場合はステップＳ７０１に戻る。なお、前処理対象の図形情報は、例えば、図形識別子に対応付けられて、格納部１に格納されている。
　（ステップＳ７０４）第一前処理部３１は、ｉ番目の図形情報と図形識別子とを、例えば、格納部１から取得する。
　（ステップＳ７０５）第一前処理部３１は、ｉ番目の図形情報が含まれる領域を２以上の小領域に分割する。なお、各小領域を第一小領域と言う。また、２以上の小領域に分割する処理とは、領域識別子と対にして、２以上の各第一小領域の領域情報を取得する処理である。なお、領域識別子とは、領域（ここでは、第一小領域）を識別する情報であり、例えば、ＩＤである。領域情報は、例えば、矩形の領域を特定する情報であり、例えば、２つの座標情報（例えば、（ｘ１，ｙ１）（ｘ２，ｙ２））である。２つの座標情報は、例えば、矩形の左上座標、右下座標である。ただし、領域情報は、例えば、矩形の左上座標と幅と高さの情報等でも良く、構造は問わない。
　（ステップＳ７０６）第一前処理部３１は、カウンタｊに１を代入する。
　（ステップＳ７０７）第一前処理部３１は、ｉ番目の図形情報の中に、ｊ番目の第一小領域が存在するか否かを判断する。ｊ番目の第一小領域が存在する場合はステップＳ７０８に行き、ｊ番目の第一小領域が存在しない場合はステップＳ７１５に行く。
　（ステップＳ７０８）第一前処理部３１は、ｉ番目の図形情報の中のｊ番目の第一小領域の識別子である第一小領域識別子を取得する。
　（ステップＳ７０９）第一前処理部３１は、ｉ番目の図形情報の中のｊ番目の第一小領域の領域情報を取得する。
　（ステップＳ７１０）第一前処理部３１は、ｉ番目の図形情報の中のｊ番目の第一小領域の第一密度情報を取得する。かかる密度情報取得処理の例について、図８のフローチャートを用いて説明する。
　（ステップＳ７１１）第一前処理部３１は、ｉ番目の図形情報の図形識別子とｊ番目の第一小領域の第一小領域識別子とに対応付けて、ステップＳ７１０で取得した密度情報を蓄積する。なお、密度情報の蓄積先は、格納部１でも良いし、図示しない外部の装置等でも良い。
　（ステップＳ７１２）第二前処理部３２は、微分情報を取得する。かかる微分情報取得処理の例について、図９のフローチャートを用いて説明する。
　（ステップＳ７１３）第二前処理部３２は、ｉ番目の図形情報の図形識別子とｊ番目の第一小領域の第一小領域識別子とに対応付けて、ステップＳ７１２で取得した微分情報を蓄積する。なお、微分情報の蓄積先は、格納部１でも良いし、図示しない外部の装置等でも良い。
　（ステップＳ７１４）第一前処理部３１は、カウンタｊを１、インクリメントする。ステップＳ７０７に戻る。
　（ステップＳ７１５）処理部３は、カウンタｉを１、インクリメントする。ステップＳ７０３に戻る。
　（ステップＳ７１６）受付部２は、開始指示を受け付けたか否かを判断する。開始指示を受け付けた場合はステップＳ７１７に行き、開始指示を受け付けなかった場合はステップＳ７０１に戻る。
　（ステップＳ７１７）処理部３は、カウンタｉに１を代入する。
　（ステップＳ７１８）密度集合取得部３３は、描画処理対象のｉ番目の図形情報が存在するか否かを判断する。ｉ番目の図形情報が存在する場合はステップＳ７０４に行き、ｉ番目の図形情報が存在しない場合はステップＳ７０１に戻る。なお、描画対象の図形情報は、例えば、図形識別子に対応付けられて、格納部１に格納されている。また、描画対象の図形情報は、例えば、開始指示が有する。
　（ステップＳ７１９）バイアス量受付部２２は、バイアス量を取得する。なお、ここでは、図形情報に応じて、バイアス量は異なっていても良い。また、バイアス量は、図形情報の中の図形に応じて、異なっていても良い。
　（ステップＳ７２０）密度集合取得部３３は、第二密度集合を取得する。かかる密度集合取得処理の例について、図１０のフローチャートを用いて説明する。
　（ステップＳ７２１）処理部３は、カウンタｉを１、インクリメントする。ステップＳ７１８に戻る。
　（ステップＳ７２２）補正量取得部３４は、補正量集合を取得する。かかる補正量集合取得の例ついて、図１１のフローチャートを用いて説明する。
　（ステップＳ７２３）描画部３６は、ステップＳ７２２で取得された補正量集合を用いて、描画処理を行う。ステップＳ７０１に戻る。描画処理の例について、図１２のフローチャートを用いて説明する。
　なお、図７のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
　次に、ステップＳ７１０の密度情報取得処理の例について、図８のフローチャートを用いて説明する。
　（ステップＳ８０１）第一前処理部３１は、ｉ番目の図形情報の中のｊ番目の小領域の面積（例えば、第一面積と言う。）を取得する。なお、かかる面積は、例えば、格納部１に格納されている。また、かかる面積は、ｊ番目の小領域の領域情報から取得できる。
　（ステップＳ８０２）第一前処理部３１は、ｉ番目の図形情報の中のｊ番目の小領域の中の図形の占める面積（例えば、第二面積と言う。）を取得する。なお、第一前処理部３１は、通常、ｊ番目の小領域の領域情報と図形情報とを用いて、ｊ番目の小領域の中の図形の占める面積を算出する。かかる技術は公知技術である。
　（ステップＳ８０３）第一前処理部３１は、ステップＳ８０１で取得した第一面積と、ステップＳ８０２で取得した第二面積とを用いて、第一密度情報を算出する。上位処理にリターンする。
　なお、第一前処理部３１は、例えば、演算式「密度情報＝第二面積／第一面積」により、密度情報を算出する。また、第一前処理部３１は、第二面積を密度情報としても良い。密度情報は、ｊ番目の小領域の中に、図形がどの程度入っているかを特定する情報であれば良い。
　次に、ステップＳ７１２の微分情報取得処理の例について、図９のフローチャートを用いて説明する。
　（ステップＳ９０１）第二前処理部３２は、カウンタｉに１を代入する。
　（ステップＳ９０２）第二前処理部３２は、ｉ番目のバイアス条件が格納部１に存在するか否かを判断する。ｉ番目のバイアス条件が存在する場合はステップＳ９０３に行き、存在しない場合はステップＳ９１３に行く。
　（ステップＳ９０３）第二前処理部３２は、ｉ番目のバイアス条件を格納部１から取得する。
　（ステップＳ９０４）第二前処理部３２は、対象となる図形情報における、対象となる小領域内の図形情報を取得する。
　（ステップＳ９０５）第二前処理部３２は、小領域内の図形情報を用いて、ｉ番目のバイアス条件に合致する小領域内の図形を検知する。
　（ステップＳ９０６）第二前処理部３２は、ｉ番目のバイアス条件に対応する微分情報算出式を格納部１から取得する。
　（ステップＳ９０７）第二前処理部３２は、カウンタｊに１を代入する。
　（ステップＳ９０８）第二前処理部３２は、ステップＳ９０５で検知した図形の中で、ｊ番目の図形が存在するか否かを判断する。ｊ番目の図形が存在する場合はステップＳ９０９に行き、存在しない場合はステップＳ９１２に行く。
　（ステップＳ９０９）第二前処理部３２は、ステップＳ９０６で取得した微分情報算出式に代入する１以上のパラメータを、処理対象の小領域の図形情報のｊ番目の図形の情報を用いて取得する。なお、１以上のパラメータは、例えば、小領域内の斜線の長さ、小領域内の斜線の角度、小領域内の角部の角度である。
　（ステップＳ９１０）第二前処理部３２は、ステップＳ９０９で取得した１以上のパラメータをステップＳ９０６で取得した微分情報算出式に代入し、当該微分情報算出式を実行し、微分情報を取得し、図示しないバッファに蓄積する。
　（ステップＳ９１１）第二前処理部３２は、カウンタｊを１、インクリメントする。ステップＳ９０８に戻る。
　（ステップＳ９１２）第二前処理部３２は、カウンタｉを１、インクリメントする。ステップＳ９０２に戻る。
　（ステップＳ９１３）第二前処理部３２は、ステップＳ９１０でバッファに蓄積した微分情報の和を算出する。なお、かかる微分情報の和が、着目する第一小領域の微分情報である。また、ステップＳ９１０でバッファに蓄積した微分情報が存在しない場合は、微分情報は「０」である。
　次に、ステップＳ７２０の密度集合取得処理の例について、図１０のフローチャートを用いて説明する。
　（ステップＳ１００１）密度集合取得部３３は、カウンタｉに１を代入する。
　（ステップＳ１００２）密度集合読出手段３３１は、処理対象の図形情報の中に、ｉ番目の第一小領域が存在するか否かを判断する。ｉ番目の第一小領域が存在する場合はステップＳ１００３に行き、ｉ番目の第一小領域が存在しない場合は上位処理にリターンする。
　（ステップＳ１００３）密度集合読出手段３３１は、処理対象の図形情報の図形識別子およびｉ番目の第一小領域の第一小領域識別子と対になる第一密度情報を密度集合格納部１１から取得する。
　（ステップＳ１００４）面積変動情報取得手段３３２は、処理対象の図形情報の図形識別子およびｉ番目の第一小領域の第一小領域識別子と対になる微分情報を微分情報格納部１２から取得する。
　（ステップＳ１００５）面積変動情報取得手段３３２は、バイアス量受付部２２により取得されているバイアス量とステップＳ１００４で取得した微分情報とを用いて、面積変動情報を取得する。なお、面積変動情報取得手段３３２は、例えば、演算式「面積変動情報＝バイアス量×微分情報」により、面積変動情報を算出する。
　（ステップＳ１００６）密度集合取得部３３は、ステップＳ１００３で取得された第一密度情報とステップＳ１００５で取得された面積変動情報とを用いて、処理対象の図形情報のｉ番目の第一小領域の第二密度情報を取得する。なお、密度集合取得部３３は、例えば、演算式「第二密度情報＝第一密度情報＋面積変動情報」により、第二密度情報を算出する。
　（ステップＳ１００７）密度集合取得部３３は、処理対象の図形情報の図形識別子およびｉ番目の第一小領域の第一小領域識別子に対応付けて、ステップＳ１００６で取得した第二密度情報を蓄積する。なお、第二密度情報の蓄積先は、例えば、格納部１であるが、問わない。
　（ステップＳ１００８）密度集合取得部３３は、カウンタｉを１、インクリメントする。ステップＳ１００２に戻る。
　次に、ステップＳ７２２の補正量集合取得の例ついて、図１１のフローチャートを用いて説明する。
　（ステップＳ１１０１）補正量取得部３４は、カウンタｉに１を代入する。
　（ステップＳ１１０２）補正量取得部３４は、ｉ番目の第二小領域が存在するか否かを判断する。ｉ番目の第二小領域が存在する場合はステップＳ１１０３に行き、ｉ番目の第二小領域が存在しない場合は上位処理にリターンする。
　（ステップＳ１１０３）補正量取得部３４は、カウンタｊに１を代入する。
　（ステップＳ１１０４）補正量取得部３４は、描画対象のｊ番目の図形情報が存在するか否かを判断する。ｊ番目の図形情報が存在する場合はステップＳ１１０５に行き、ｊ番目の図形情報が存在しない場合はステップＳ１１１３に行く。
　（ステップＳ１１０５）補正量取得部３４は、カウンタｋ１を代入する。
　（ステップＳ１１０６）補正量取得部３４は、ｉ番目の第二小領域に対応するｋ番目の第一領域が存在するか否かを判断する。ｋ番目の第一領域が存在する場合はステップＳ１１０７に行き、ｋ番目の第一領域が存在しない場合はステップＳ１１１１に行く。
　（ステップＳ１１０７）補正量取得部３４は、ｋ番目の第一領域の第二密度情報を取得する。
　（ステップＳ１１０８）補正量取得部３４は、ｉ番目の第二小領域内に含まれるｋ番目の第一領域の割合を取得する。
　（ステップＳ１１０９）補正量取得部３４は、ステップＳ１１０７で取得した第二密度情報とステップＳ１１０８で取得した割合とを用いて、寄与度を算出する。なお、寄与度とは、ｉ番目の第二小領域におけるｋ番目の第一領域の補正量の寄与の度合いを示す情報である。補正量取得部３４は、例えば、演算式「寄与度＝第二密度情報×割合」により、寄与度を算出する。
　（ステップＳ１１１０）補正量取得部３４は、カウンタｋを１、インクリメントする。ステップＳ１１０６に戻る。
　（ステップＳ１１１１）補正量取得部３４は、ステップＳ１１０９で算出した１以上の寄与度を用いて、ｉ番目の第二小領域におけるｊ番目の図形の補正量元情報を算出する。なお、補正量元情報は、１以上の各寄与度をパラメータとする増加関数により算出される。補正量元情報は、例えば、１以上の寄与度の和である。
　（ステップＳ１１１２）補正量取得部３４は、カウンタｊを１、インクリメントする。ステップＳ１１０４に戻る。
　（ステップＳ１１１３）補正量取得部３４は、ステップＳ１１１１で算出した１以上の補正量元情報を用いて、ｉ番目の第二小領域の補正量を算出する。なお、補正量取得部３４は、１以上の各補正量元情報をパラメータとする増加関数により補正量を算出する。補正量取得部３４は、例えば、演算式「補正量＝１以上の補正量元情報の和」により、補正量を算出する。
　（ステップＳ１１１４）補正量取得部３４は、ステップＳ１１１３で算出した補正量を、ｉ番目の第二小領域の第二小領域識別子に対応付けて蓄積する。なお、補正量の蓄積先は、例えば、格納部１であるが、問わない。
　（ステップＳ１１１５）補正量取得部３４は、カウンタｉを１、インクリメントする。ステップＳ１１０２に戻る。
　次に、ステップＳ７２３の描画処理の例について、図１２のフローチャートを用いて説明する。
　（ステップＳ１２０１）描画部３６は、カウンタｉに１を代入する。
　（ステップＳ１２０２）描画部３６は、図形を描画するｉ番目の第二小領域が存在するか否かを判断する。ｉ番目の第二小領域が存在する場合はステップＳ１２０３に行き、ｉ番目の第二小領域が存在しない場合は上位処理にリターンする。
　（ステップＳ１２０３）描画部３６は、ｉ番目の第二小領域の第二小領域識別子と対になる補正量を取得する。なお、描画部３６は、例えば、ｉ番目の第二小領域の第二小領域識別子と対になる補正量を格納部１から読み出す。
　（ステップＳ１２０４）描画部３６は、ステップＳ１２０３で取得した補正量を用いて、照射量を算出する。なお、描画部３６は、例えば、補正量をパラメータとする増加関数により、照射量を算出する。
　（ステップＳ１２０５）描画部３６は、ステップＳ１２０４で算出した照射量に従って、ｉ番目の第二小領域に対して、電子ビームを照射する。
　（ステップＳ１２０６）描画部３６は、カウンタｉを１、インクリメントする。ステップＳ１２０２に戻る。
　以下、本実施の形態における電子ビーム描画装置Ａの具体的な動作例について説明する。以下、２つの具体例について説明する。
（具体例１）
　具体例１は、電子ビーム描画装置Ａの前処理の第一の例であり、密度集合（密度マップ）を取得する処理の例である。
　今、図１３（ａ）に示す３つの矩形の図形を特定する図形情報が、電子ビーム描画装置Ａの格納部１に格納されている、とする。図１３（ａ）の図形情報は、例えば、図形１３０１の図形情報（ｘ１，ｙ１）（ｘ２，ｙ２）、図形１３０２の図形情報（ｘ３，ｙ３）（ｘ４，ｙ４）、および図形１３０３の図形情報（ｘ５，ｙ５）（ｘ６，ｙ６）である、とする。
　そして、ユーザは、電子ビーム描画装置Ａに前処理指示を入力した、とする。次に、受付部２は、前処理指示を受け付ける。
　次に、第一前処理部３１は、図１３（ａ）の図形情報が含まれる領域を２以上の小領域に分割する（図１３（ｂ）参照）。なお、各小領域を第一小領域と言う。そして、第一前処理部３１は、図１３（ｂ）の各第一小領域の小領域情報（矩形の左上座標、右下座標）を得る、とする。なお、第一小領域の例は、図１３の１３０４、１３０５である。
　次に、第一前処理部３１は、各第一小領域の領域情報および図形情報を用いて、各第一小領域の中における図形が占める面積を算出する。また、第一前処理部３１は、各第一小領域の面積を第一小領域の領域情報から取得する。なお、第一前処理部３１は、格納部１から各第一小領域の面積を読み出しても良い。
　次に、第一前処理部３１は、各第一小領域の図形が占める面積と各第一小領域の面積とを用いて、各第一小領域の密度情報を算出する。第一前処理部３１は、例えば、演算式「密度情報＝第一小領域の図形が占める面積／第一小領域の面積」により、密度情報を算出する。
　そして、第一前処理部３１は、図形情報を特定する図形識別子と各第一小領域の第一小領域識別子とに対応付けて、第一密度情報を密度集合格納部１１に蓄積する。かかる第一密度情報の集合である第一密度マップの例は、図１４である。図１４において、「ＩＤ」「図形識別子」「第一小領域識別子」「第一小領域情報」「第一密度情報」を有するレコードを、多数有する。なお、図１４の第一密度マップを図的に示したものが、図１３（ｃ）である。
　なお、図１４の第一密度マップは、図７のフローチャートを用いて説明したように、図形を描画する際に作成される補正量集合（補正マップ）の作成に使用される。また、補正マップのイメージは、図１３（ｄ）である。さらに、図７のフローチャートを用いて説明したように、補正マップを用いて、各第二小領域の照射量が決定され、当該照射量に従って、電子ビームが照射される。
　以上、密度マップを事前に用意しておくことにより、電子ビームによる図形の描画が非常に速くなる。
（具体例２）
　具体例２は、電子ビーム描画装置Ａの前処理の第一の例であり、各第一小領域の微分情報を取得し、当該微分情報を用いて、密度集合（密度マップ）を取得する処理の例である。
　今、図１５（ａ）に示す３つの矩形の図形を有する図形情報が、電子ビーム描画装置Ａの格納部１に格納されている、とする。図１５（ａ）の図形情報は、例えば、図形１５０１の図形情報（ｘ１，ｙ１）（ｘ２，ｙ２）、図形１５０２の図形情報（ｘ３，ｙ３）（ｘ４，ｙ４）、および図形１５０３の図形情報（ｘ５，ｙ５）（ｘ６，ｙ６）である、とする。
　そして、ユーザは、電子ビーム描画装置Ａに前処理指示を入力した、とする。次に、受付部２は、前処理指示を受け付ける。
　次に、第一前処理部３１は、具体例１で述べた処理により、２以上の各第一小領域に対する第一密度情報を有する第一密度マップ１５０４取得する。
　次に、第二前処理部３２は、図９のフローチャートを用いて説明したように、２以上の各第一小領域の中の図形情報が合致するバイアス条件に対応する微分情報演算式を取得し、当該微分情報演算式に代入する１以上のパラメータを図形情報から取得し、１以上のパラメータを微分情報演算式に代入し、当該微分情報演算式を実行することにより、微分情報を算出する。そして、第二前処理部３２は、図形情報ごと、および第一小領域ごとの微分情報を微分情報格納部１２に蓄積する。
　かかる微分情報集合の例は、図１６に示す。図１６において、「ＩＤ」「図形識別子」「第一小領域識別子」「第一小領域情報」「微分情報」を有するレコードを、多数有する。なお、図１６の微分情報「ｄ１」「ｄ２」「ｄ３」「ｄ４」等は、数値である。
　なお、図１６の微分情報集合は、図７のフローチャートを用いて説明したように、図形を描画する際に作成される補正量集合（補正マップ）の作成に使用される。つまり、図１０のフローチャートを用いて説明したように、第一前処理部３１により作成された第一密度マップ１５０４と、第二前処理部３２が取得した第一小領域ごとの微分情報とを用いて（図１５（ｃ）参照）、図１５（ｄ）に示す第一小領域ごと第二密度情報を取得する。なお、２以上の第一小領域ごと第二密度情報の集合は、第二密度マップである。
　そして、図７のフローチャートを用いて説明したように、図１５（ｄ）に示す第一小領域ごと第二密度情報（第二密度マップ）を用いて、図形を描画する際に作成される補正量集合（補正マップ）が作成される。また、補正マップのイメージは、図１５（ｅ）である。さらに、図７のフローチャートを用いて説明したように、補正マップを用いて、各第二小領域の照射量が決定され、当該照射量に従って、電子ビームが照射される。
　以上、微分情報集合を事前に用意しておくことにより、電子ビームによる図形の描画が非常に速くなる。
　以上、本実施の形態によれば、電子ビームを用いて図形を描画する際の適切な照射量を高速に取得できる。
　なお、本実施の形態において、第一密度マップを作成する装置を電子ビーム描画装置とは異なる装置として構成しても良い。かかる場合の装置である密度集合の生産装置Ｂのブロック図を図１７に示す。
　密度集合の生産装置Ｂは、１以上の図形情報を受け付ける図形情報受付部２１と、図形情報が特定する領域である図形領域を分割した２以上の各第一小領域ごとに、２以上の各第一小領域の中に、図形情報が示す図形が含まれる面積に基づく第一密度情報を取得し、第一密度情報の集合である第一密度集合を、１以上の図形情報ごとに取得し、蓄積する第一前処理部３１とを具備する。
　また、本実施の形態において、微分情報集合を作成する装置を電子ビーム描画装置とは異なる装置として構成しても良い。かかる場合の装置である微分情報集合の生産装置Ｃのブロック図を図１８に示す。
　微分情報集合の生産装置Ｃは、１以上の図形情報を受け付ける図形情報受付部２１と、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各第一小領域ごとに、バイアスの単位量に対する面積の変動を特定する微分情報を算出し、蓄積する第二前処理部３２を具備する。
　さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、このソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェアをＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、このことは、本明細書における他の実施の形態においても該当する。なお、本実施の形態における電子ビーム描画装置Ａを実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、図形情報が特定する図形領域を分割した２以上の各第一小領域の中に、前記図形情報が示す図形が含まれる面積に応じた第一密度情報の集合であり、前記２以上の各第一小領域ごとの第一密度情報の集合である第一密度集合が、１以上の各図形情報ごとに格納される密度集合格納部にアクセス可能なコンピュータを、１以上の図形情報を受け付ける図形情報受付部と、前記図形情報受付部が受け付けた１以上の各図形情報に対応する第一密度集合を前記密度集合格納部から取得する密度集合取得部と、前記１以上の各図形情報ごとの前記１以上の第一密度集合に応じた補正量であり、２以上の各第二小領域の補正量を取得する補正量取得部と、前記補正量取得部が取得した２以上の各第二小領域の補正量に応じた強さの電子ビームの照射量を、前記２以上の第二小領域ごとに取得する照射量取得部と、前記照射量取得部が取得した前記２以上の第二小領域ごとの照射量に従って、前記２以上の各第二小領域に電子ビームを照射する描画部として機能させるためのプログラムである。
　また、図１９は、本明細書で述べたプログラムを実行して、上述した種々の実施の形態の電子ビーム描画装置Ａを実現するコンピュータの外観を示す。上述の実施の形態は、コンピュータハードウェア及びその上で実行されるコンピュータプログラムで実現され得る。図１９は、このコンピュータシステム３００の概観図であり、図２０は、システム３００のブロック図である。
　図１９において、コンピュータシステム３００は、ＣＤ－ＲＯＭドライブを含むコンピュータ３０１と、キーボード３０２と、マウス３０３と、モニタ３０４とを含む。
　図２０において、コンピュータ３０１は、ＣＤ－ＲＯＭドライブ３０１２に加えて、ＭＰＵ３０１３と、ＣＤ－ＲＯＭドライブ３０１２等に接続されたバス３０１４と、ブートアッププログラム等のプログラムを記憶するためのＲＯＭ３０１５と、ＭＰＵ３０１３に接続され、アプリケーションプログラムの命令を一時的に記憶するとともに一時記憶空間を提供するためのＲＡＭ３０１６と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、及びデータを記憶するためのハードディスク３０１７とを含む。ここでは、図示しないが、コンピュータ３０１は、さらに、ＬＡＮへの接続を提供するネットワークカードを含んでも良い。
　コンピュータシステム３００に、上述した実施の形態の電子ビーム描画装置Ａの機能を実行させるプログラムは、ＣＤ－ＲＯＭ３１０１に記憶されて、ＣＤ－ＲＯＭドライブ３０１２に挿入され、さらにハードディスク３０１７に転送されても良い。これに代えて、プログラムは、図示しないネットワークを介してコンピュータ３０１に送信され、ハードディスク３０１７に記憶されても良い。プログラムは実行の際にＲＡＭ３０１６にロードされる。プログラムは、ＣＤ－ＲＯＭ３１０１またはネットワークから直接、ロードされても良い。
　プログラムは、コンピュータ３０１に、上述した実施の形態の電子ビーム描画装置Ａの機能を実行させるオペレーティングシステム（ＯＳ）、またはサードパーティープログラム等は、必ずしも含まなくても良い。プログラムは、制御された態様で適切な機能（モジュール）を呼び出し、所望の結果が得られるようにする命令の部分のみを含んでいれば良い。コンピュータシステム３００がどのように動作するかは周知であり、詳細な説明は省略する。
　なお、上記プログラムにおいて、情報を送信するステップや、情報を受信するステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信ステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。
　また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
　また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。
　また、上記各実施の形態において、各処理は、単一の装置によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
　本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
　以上のように、本発明にかかる電子ビーム描画装置は、電子ビームを用いて図形を描画する際の適切な照射量を高速に取得できるという効果を有し、電子ビーム描画装置等として有用である。

Claims (12)

  1. 図形情報が特定する図形領域を分割した２以上の各第一小領域の中に、前記図形情報が示す図形が含まれる面積に応じた第一密度情報の集合であり、前記２以上の各第一小領域ごとの第一密度情報の集合である第一密度集合が、１以上の各図形情報ごとに格納される密度集合格納部と、
    １以上の図形情報を受け付ける図形情報受付部と、
    前記図形情報受付部が受け付けた１以上の各図形情報に対応する第一密度集合を前記密度集合格納部から取得する密度集合取得部と、
    前記１以上の各図形情報ごとの前記１以上の第一密度集合に応じた補正量であり、２以上の各第二小領域の補正量を取得する補正量取得部と、
    前記補正量取得部が取得した２以上の各第二小領域の補正量に応じた強さの電子ビームの照射量を、前記２以上の第二小領域ごとに取得する照射量取得部と、
    前記照射量取得部が取得した前記２以上の第二小領域ごとの照射量に従って、前記２以上の各第二小領域に電子ビームを照射する描画部とを具備する電子ビーム描画装置。
  2. 前記密度集合取得部は、
    前記図形情報受付部が受け付けた１以上の各図形情報に対応する第一密度集合を前記密度集合格納部から取得する密度集合読出手段と、
    前記２以上の各第一小領域のうちで、第一小領域の図形に関するバイアス条件に合致する第一小領域に対して、当該第一小領域の中の図形に基づく面積変動情報を取得する面積変動情報取得手段と、
    前記密度集合読出手段が取得した第一密度集合が有する１以上の各第一小領域の第一密度情報と、前記面積変動情報取得手段が取得した１以上の各第一小領域の面積変動情報とを用いて、１以上の各第一小領域ごとの第二密度情報の集合である第二密度集合を、前記１以上の各図形情報ごとに取得する密度集合取得手段とを具備し、
    前記補正量取得部は、
    前記密度集合取得手段が取得した１以上の第二密度集合を用いて、２以上の各第二小領域の補正量を取得する、請求項１記載の電子ビーム描画装置。
  3. バイアスの単位量に対する面積の変動を特定する微分情報が、１以上の各図形情報ごと、および２以上の各第一小領域ごとに格納される微分情報格納部と、
    バイアス量を受け付けるバイアス量受付部とをさらに具備し、
    前記面積変動情報取得手段は、
    前記バイアス条件に合致する第一小領域に対して、当該第一小領域に対応付けられた微分情報と前記バイアス量受付部が受け付けたバイアス量とを用いて、面積変動情報を、前記１以上の各図形情報ごとに取得する、請求項２記載の電子ビーム描画装置。
  4. 前記１以上の各図形情報ごと、および前記２以上の各第一小領域ごとに、バイアスの単位量に対する面積の変動を特定する微分情報を算出し、前記微分情報格納部に蓄積する第二前処理部をさらに具備する請求項３記載の電子ビーム描画装置。
  5. 微分情報を算出する微分情報算出式が１以上の各バイアス条件ごとに格納されており、
    前記第二前処理部は、
    前記１以上の各図形情報ごと、および前記２以上の各第一小領域ごとに、合致するバイアス条件に対応する微分情報算出式を取得し、当該微分情報算出式を用いて、微分情報を算出し、前記微分情報格納部に蓄積する、請求項４記載の電子ビーム描画装置。
  6. 前記バイアス条件は、第一小領域の図形が水平線または垂直線を含むことであり、
    前記面積変動情報取得手段は、
    前記水平線または垂直線に対して、前記バイアス量に比例する大きさの面積変動情報を取得する、請求項３記載の電子ビーム描画装置。
  7. 前記バイアス条件は、第一小領域の図形が斜線を含むことであり、
    前記面積変動情報取得手段は、
    前記バイアス量と前記斜線の角度に関する角度情報と前記斜線の前記第一小領域内の長さに関する長さ情報とを取得し、当該バイアス量と当該角度情報と長さ情報とを用いて、前記面積変動情報を算出する、請求項３記載の電子ビーム描画装置。
  8. 前記バイアス条件は、第一小領域の図形が、２つの直線の交点により構成される角部を含むことであり、
    前記面積変動情報取得手段は、
    前記２つの直線を前記バイアス量に対応する長さ分を延ばして作成される平行四辺形と２つの三角形の面積を算出し、当該３つの面積を用いて前記面積変動情報を算出する、請求項３記載の電子ビーム描画装置。
  9. 図形情報が特定する領域である図形領域を分割した２以上の各第一小領域ごとに、前記２以上の各第一小領域の中に、前記図形情報が示す図形が含まれる面積に基づく第一密度情報を取得し、当該第一密度情報の集合である第一密度集合を、前記１以上の図形情報ごとに取得し、前記密度集合格納部に蓄積する第一前処理部をさらに具備する請求項１記載の電子ビーム描画装置。
  10. 前記描画部は、
    前記図形情報受付部が受け付けた前記１以上の図形情報に対して、バイアス処理を適用し、バイアス済みの図形の情報を取得し、
    前記照射量取得部は、
    前記バイアス済みの図形の情報と、前記補正量取得部が取得した２以上の各第二小領域の補正量とを用いて、前記２以上の各第二小領域の電子ビームの照射量を取得し、
    前記描画部は、前記照射量取得部が取得した前記２以上の第二小領域ごとの照射量に従って、前記２以上の各第二小領域に電子ビームを照射して、図形の描画を行う、請求項１記載の電子ビーム描画装置。
  11. 図形情報が特定する図形領域を分割した２以上の各第一小領域の中に、前記図形情報が示す図形が含まれる面積に応じた第一密度情報の集合であり、前記２以上の各第一小領域ごとの第一密度情報の集合である第一密度集合が、１以上の各図形情報ごとに格納される密度集合格納部と、図形情報受付部と、密度集合取得部と、補正量取得部と、照射量取得部と、描画部とにより実現される電子ビーム描画方法であって、
    前記図形情報受付部が、１以上の図形情報を受け付ける図形情報受付ステップと、
    前記密度集合取得部が、前記図形情報受付部が受け付けた１以上の各図形情報に対応する第一密度集合を前記密度集合格納部から取得する密度集合取得ステップと、
    前記補正量取得部が、前記１以上の各図形情報ごとの前記１以上の第一密度集合に応じた補正量であり、２以上の各第二小領域の補正量を取得する補正量取得ステップと、
    前記照射量取得部が、前記補正量取得部が取得した２以上の各第二小領域の補正量に応じた強さの電子ビームの照射量を、前記２以上の第二小領域ごとに取得する照射量取得ステップと、
    前記描画部が、前記照射量取得部が取得した前記２以上の第二小領域ごとの照射量に従って、前記２以上の各第二小領域に電子ビームを照射する描画ステップとを具備する電子ビーム描画方法。
  12. 図形情報が特定する図形領域を分割した２以上の各第一小領域の中に、前記図形情報が示す図形が含まれる面積に応じた第一密度情報の集合であり、前記２以上の各第一小領域ごとの第一密度情報の集合である第一密度集合が、１以上の各図形情報ごとに格納される密度集合格納部にアクセス可能なコンピュータを、
    １以上の図形情報を受け付ける図形情報受付部と、
    前記図形情報受付部が受け付けた１以上の各図形情報に対応する第一密度集合を前記密度集合格納部から取得する密度集合取得部と、
    前記１以上の各図形情報ごとの前記１以上の第一密度集合に応じた補正量であり、２以上の各第二小領域の補正量を取得する補正量取得部と、
    前記補正量取得部が取得した２以上の各第二小領域の補正量に応じた強さの電子ビームの照射量を、前記２以上の第二小領域ごとに取得する照射量取得部と、
    前記照射量取得部が取得した前記２以上の第二小領域ごとの照射量に従って、前記２以上の各第二小領域に電子ビームを照射する描画部として機能させるためのプログラムを記録した記録媒体。
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