WO2022138824A1 - スクリーン印刷製版およびスクリーン印刷装置 - Google Patents

Abstract

パターンの精度が良好であり、高精細の印刷が可能となるスクリーン印刷製版を提供する。本開示の一態様に係るスクリーン印刷製版は、基材と、第１乳剤層と、補強部と、を備える。基材は、網目状に互いに交差した複数の線材およびと、前記複数の線材に囲われた複数の第１開口と、複数の線材の一部が欠落した欠落部と、を有する。第１乳剤層は、前記基材に配され、前記複数の第１開口の一部および前記欠落部に対応した第２開口を有する。補強部は、前記第２開口の周縁部に配されている。

Description

スクリーン印刷製版およびスクリーン印刷装置

　本開示は、スクリーン印刷製版およびスクリーン印刷装置に関する。

　種々の回路基板を備える電子部品の製造において、スクリーン印刷が用いられている。スクリーン印刷においては、印刷製版が用いられる。印刷製版は、網目状に互いに交差した複数の金属または合成樹脂を含む線材と、複数の線材に囲われた複数の開口とを有するメッシュ状の基材と、基材に配され、印刷パターンに対応する開口が設けられた乳剤層とを備える。印刷製版の乳剤層が設けられた方の面（表側面）を基板に対向させ、印刷製版の裏側面上にインク等の印刷剤を配し、スキージを基板に向けて印刷製版を押圧しながら移動させることにより、乳剤層の開口から印刷剤が吐出され、パターンが基板に転写される。

　近年、印刷パターンは、より微細化している。印刷時に、パターンの開口に対応する基材部分が干渉し、印刷剤の吐出量が十分に確保できないという課題がある。この課題を解決するために、特許文献１には、乳剤層およびメッシュから形成され、かつ、所定の複数の位置に、前記乳剤層およびメッシュを前記メッシュの大きさの１倍から１０倍以下の大きさで除去した貫通穴が形成されたスクリーン製版の発明が開示されている。

日本国特開平６－９３７号公報

　本開示の一態様に係るスクリーン印刷製版は、基材と、第１乳剤層と、第１補強部と、を備える。基材は、網目状に互いに交差した複数の線材と、前記複数の線材に囲われた複数の第１開口と、前記複数の線材の一部が欠落した欠落部と、を有する。第１乳剤層は、前記基材に配され、前記複数の第１開口の一部および前記欠落部に対応した第２開口を有する。第１補強部は、前記第２開口の周縁部に配されている。

　本開示の一態様に係るスクリーン印刷装置は、上述のスクリーン印刷製版と、前記スクリーン印刷製版の被印刷材に対向する面と反対側の面に当接し、移動するスキージとを備える。

実施形態１に係るスクリーン印刷製版（以下、製版と称す）を示す平面図である。 製版から乳剤層を除いた状態を示す平面図である。 図２のIII－III線矢視断面図である。 実施形態２に係る製版の乳剤層を除いた状態を示す平面図である。 図４のＶ－Ｖ線矢視断面図である。 実施形態２に係る製版を示す平面図である。 図６のVII－VII線矢視断面図である。 実施形態４に係る製版の断面図である。 実施形態５に係る製版の断面図である。 実施形態６に係る製版の断面図である。 実施形態７に係る製版の断面図である。 実施形態８に係る製版の断面図である。 実施形態９に係る製版の断面図である。 実施形態１０に係る製版の平面図である。 実施形態１０に係る製版の断面図である。 実施形態１１に係るスクリーン印刷装置を示す断面図である。

　以下、本開示の一実施形態について、詳細に説明する。本明細書において特記しない限り、数値範囲を表す「Ａ～Ｂ」は、「Ａ以上Ｂ以下」を意味する。

　〔実施形態の概要〕
　本発明者らは、特許文献１のように、乳剤層の開口に対応する基材の線材の一部を欠落させた製版を用い、印刷する場合等において、製版が印刷圧に対する強度を確保できず、裂けることがあることを見出した。この場合として、例えばピッチが１００μｍ以下である複数の斜めの細線を印刷する場合、〇および×等の細かいパターンを印刷する場合等が相当する。本発明者らは、乳剤層の開口に対応し、線材の一部が欠落している基材の開口部の周縁部に補強部を設け、印刷圧に対する印刷製版の強度を大きくすることで割れの発生を低減することができることを見出した。そして、印刷剤を乳剤層の開口から適正量吐出させ、基板に形成するパターンの精度を向上できることを見出し、本開示に係る発明を完成するに至った。

　本開示の一実施形態に係る製版は、基材と、第１乳剤層と、第１補強部と、を備える。基材は、網目状に互いに交差した複数の線材と、前記複数の線材に囲われた複数の第１開口と、前記複数の線材の一部が欠落した欠落部と、を有する。第１乳剤層は、前記基材に配され、前記複数の第１開口の一部および前記欠落部に対応した第２開口を有する。第１補強部は、前記第２開口の周縁部に配されている。

　基材は、例えば複数の縦方向に延びる縦線材と横方向に延びる横線材とが網目状に互いに交差し、４つの交点で囲われた部分が第１開口を形成する。線材としては、金属製、または合成樹脂製であるものが挙げられる。２種類の線材は直交せず、所定の角度をなすように交差していてもよい。

　以下、本開示に係る発明の実施形態について図面に基づいて具体的に説明する。

　（実施形態１）
　補強部（第１補強部）３は、金属材を含んでいてもよい。実施形態１においては、補強部（第１補強部）３が金属材によって構成されている。

　図１は実施形態１に係る製版２０を示す平面図、図２は製版２０から乳剤層２を除いた状態を示す平面図である。図１において視認できる側の面には、乳剤層２が設けられており、当該面が印刷時に、基板等の被印刷材に対向する。

　製版２０は、フレーム１０と、フレーム１０上に配された基材１と、基材１上に配された乳剤層（第１乳剤層）２とを備える。フレームは四角状をなし、例えばアルミニウム等を含む。

　図２に示すように、基材１は、網目状に互いに交差した細線状の横線材１１および縦線材１２と、横線材１１および縦線材１２の一部からなる４辺で囲われた開口（第１開口）１ａとを有する。基材１の横線材１１および縦線材１２の材質としては、例えばステンレス鋼、タングステン、ばね鋼、超鋼などの鉄鋼系、銅系、チタン系、ニッケル系等の金属、またはナイロン、ポリエステル、ポリエチレン、フッ素繊維等の合成樹脂が挙げられる。

　乳剤層２の乳剤は、光硬化性の合成樹脂であってもよく、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、シリコーン樹脂等を含む。

　図１に示すように、乳剤層２は、基板に印刷するパターンに対応した開口（第２開口）２ａおよび２ｂを有する。上述したように、開口２ａおよび２ｂから印刷剤を吐出させるときに、線材が干渉せず、必要量吐出できるように、開口２ａおよび２ｂに対応する基材１の開口１ｂ（複数の開口１ａの群）および１ｃには、横線材１１の一部を切り欠いた欠落部１ｄおよび１ｅ（図２参照）が設けられている。

　開口１ｂにおいては、内側の３本の縦線材１２に交差する横線材１１の部分が欠落している。開口１ｃにおいては、内側の２本の縦線材１２に交差する横線材１１の部分が欠落している。例えば開口１ｃにおいて、前記２本の縦線材１２と交差する横線材１１の部分は残してもよい。欠落部は、横線材１１の一部分が欠落したものと、縦線材１２の一部分が欠落したものとの両方を含んでもよい。

　図３は、図２のIII－III線矢視断面図であり、図３においては、表側の面を下に向けている。以降の断面図の説明で、図面における上側を製版の裏側面、下側を表側面ということがある。図２および図３に示すように、基材１の開口１ｂの縁部、並びにその周縁の横線材１１および縦線材１２の部分の最表面と、開口１ｃの縁部、並びにその周縁の横線材１１および縦線材１２の部分の最表面と、開口１ｂと開口１ｃとを繋ぐ横線材１１および縦線材１２の部分の最表面とには、補強部３が設けられている。補強部３は例えばニッケル、銅、クロム、錫等からなり、メッキ加工（アディティブ加工）により上述の部分に設けられている。図２においては、補強部３を太線で表している。

　以下、製版２０の製造方法について説明する。
（１）例えば電解ニッケルメッキまたは無電解ニッケルメッキ等によるメッキ加工（アディティブ加工）を開口１ｂおよび１ｃの周縁部に施し、メッキを形成し、補強部３を設ける。
（２）基材１に、上述の光硬化性の合成樹脂を含む乳剤の水系エマルジョンを塗布する。（３）印刷パターンに対応する部分を覆うポジフィルムを含むマスクを用い、露光する。（４）マスクを水で洗い流すことにより、紫外線が照射されず、硬化しなかった部分が開口２ａおよび２ｂとなり、乳剤層２が形成される。
（５）乾燥させて、製版２０を得る。

　乳剤層２は、乳剤を含有するシート状部材で構成し、基材１にベースコートを塗布した後、乳剤のシートを貼り付け、乾燥させることにより形成してもよい。

　本実施形態によれば、開口１ｂおよび１ｃの周縁部に相当する横線材１１および縦線材１２の部分にメッキが施されて補強部３が形成されているので、開口１ｂおよび１ｃの周縁部の強度が向上する。印刷時にスキージを押圧するときに、製版２０が割れることが低減している。従って、印刷剤を乳剤層の開口から適正量吐出させ、基板に形成するパターンの精度を向上させることができ、歩留まりおよび品質が向上し、高精細の印刷が可能となる。例えばピッチが１００μｍ以下である複数の斜めの細線を印刷できる。補強部３を設ける部分は上述の場合に限定されない。また、補強部３は、１層のメッキ層から構成されるものに限定されず、２層のメッキ層から構成されるものであってもよく、メッキ層を形成した後、金属を蒸着させたものであってもよい。

　（実施形態２）
　補強部（第１補強部）４は、金属箔を含んでいてもよい。実施形態２に係る製版２１においては、補強部（第１補強部）４が金属箔によって構成されている。製版２１においては、基材１の開口１ｂおよび１ｃの周縁部に補強部４が設けられている。

　図４は実施形態２に係る製版２１の乳剤層２を除いた状態を示す平面図、図５は図４のＶ－Ｖ線矢視断面図である。図４および図５中、図２および図３と同一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。

　補強部４は例えばステンレス鋼、ニッケル等からなり、例えば長円状をなし、基材１の開口１ｂおよび１ｃに対応する開口４ａおよび４ｂを有する。開口４ａおよび４ｂは開口１ｂおよび１ｃと略同一の形状を有する。補強部４は、開口４ａおよび４ｂを開口１ｂおよび１ｃの縁部に合わせた状態で、基材１上に設けられている。

　補強部４は、例えばステンレス鋼、ニッケル等からなる金属板をレーザー加工し、または電鋳により上述の形状に形成されてなる。補強部４は、開口４ａおよび４ｂを基材１の開口１ｂおよび１ｃの縁部に合わせて位置決めし、プレスまたは抵抗溶接で溶着することにより、基材１に設けられる。

　本実施形態によれば、補強部４の強度が大きく、製版２１が割れることが低減している。補強部４は、開口１ｂおよび１ｃの周縁部を一度に補強する場合に限定されない。また、補強部４の形状は長円状に限定されず、四角状であってもよい。開口１ｂおよび１ｃの周縁部を各別に補強してもよい。補強部４が連続している場合、開口１ｂおよび１ｃが繋がるように基材１が裂けることが低減する。

　（実施形態３）
　実施形態３においては、補強部（第１補強部）５が乳剤を含む層（第２乳剤層）として構成される。実施形態３に係る製版２２においては、基材１の開口１ｂおよび１ｃの周縁部に補強部５が設けられている。

　図６は実施形態２に係る製版２２を示す平面図、図７は図６のVII－VII線矢視断面図である。図６および図７中、図２および図３と同一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。

　補強部５は光硬化性の合成樹脂を含む乳剤を含んでいてもよい。補強部５は、上述の実施形態１および３と同じく長円状をなし、基材１の開口１ｂおよび１ｃに対応する開口５ａおよび５ｂを有する。開口５ａおよび５ｂは乳剤層２の開口２ａおよび２ｂより少し大きい。補強部５は、開口５ａおよび５ｂを開口２ａおよび２ｂの縁部に合わせた状態で、乳剤層２の下側の面に設けられている。すなわち補強部５は、基材１とで乳剤層２を挟むように設けられている。開口２ａおよび２ｂにおける写厚（印刷パターンの厚み）およびインク等の印刷剤の関係で制限がある場合、開口５ａおよび５ｂを開口２ａおよび２ｂより少し大きくしてもよい。上述の制限がない場合、開口５ａおよび５ｂを開口２ａおよび２ｂと一致させてもよい。

　補強部５の材質は乳剤層２の材質と同一であっても、異なっていてもよい。第２乳剤層の乳剤を、第１乳剤層を構成する乳剤と同一にした場合、製版２２の材料を共通化でき、製造コストを低下できる。補強部５の材質として、乳剤層２の材質より強度が高い材質を用いることにより、より補強部５の強度を向上できる。設計の自由度も大きくなる。補強部５の厚みは均一でなく、開口２ａおよび２ｂの縁部から離れるに従って薄くしてもよい。

　以下、製版２２の製造方法について説明する。
（１）基材１に光硬化性の合成樹脂を含む乳剤を塗布する。
（２）印刷パターンに対応する部分を覆うポジフィルムを含むマスクを用い、露光する。（３）マスクを水で洗い流すことにより、紫外線が照射されず、硬化しなかった部分が開口２ａおよび２ｂとなり、乳剤層２が形成される。
（４）乾燥させる。
（５）補強部５に対応する部分以外の部分を覆うポジフィルムを含むマスクを用い、露光する。
（６）マスクを水で洗い流すことにより、紫外線が照射されず、硬化しなかった部分が除去され、硬化した部分が補強部５となる。
（７）乾燥させて、製版２２を得る。

　乳剤層２は、乳剤を含有するシート状部材で構成し、基材１にベースコートを塗布した後、乳剤のシートを貼り付け、乾燥させることにより形成してもよい。補強部５も乳剤層２と同じく、乳剤のシートを用いて形成してもよい。

　印刷圧は下方向にかかるので、乳剤層２上に補強部５を配することにより、印刷圧に対する抵抗力が高くなる。

　（実施形態４）
　実施形態４に係る製版２３は、実施形態３に係る乳剤を含む補強部（第１補強部）５と乳剤層２との間に補強部６を有する。例えば実施形態４は第１乳剤層と第２乳剤層との間に、金属箔を有する実施形態に相当する。

　図８は実施形態４に係る製版２３の断面図である。図８中、図７と同一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。

　補強部６は例えばステンレス鋼、ニッケル等の金属箔で構成される。補強部６は、補強部５と同一の形状をなす。補強部６は開口６ａおよび６ｂを有し、開口６ａおよび６ｂは開口５ａおよび５ｂと同一の形状を有する。補強部６は、開口６ａおよび６ｂを開口２ａおよび２ｂの縁部に合わせた状態で、乳剤層２の表側面に設けられている。補強部５は、開口５ａおよび５ｂを開口６ａおよび６ｂの縁部に合わせた状態で、補強部６の表側面に設けられている。本実施形態に係る製版２０は、例えば蒸着により乳剤層２上に補強部６を形成し、フォトリソグラフィーにより補強部６上に補強部５を形成することにより得られる。

　乳剤層２に対して直接補強部５が設けられている場合と比較して、金属箔を含む補強部６を介在させることで、厚み方向にテンションがかかることを低減でき、製版２３の割れの発生がより低減される。

　（実施形態５）
　実施形態５に係る製版２４は、乳剤を含む補強部（第１補強部）５が基材１の裏側面に設けられている点が、実施形態３に係る製版２２と異なる。

　図９は、実施形態５に係る製版２４の断面図である。図９中、図７と同一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。

　補強部５は、例えば長円状をなし、基材１の開口１ｂおよび１ｃに対応する開口５ａおよび５ｂを有する。補強部５に含まれる乳剤は、乳剤層２の乳剤と同一であっても、異なっていてもよい。開口５ａおよび５ｂは開口１ｂおよび１ｃより少し大きい。開口５ａおよび５ｂは、開口２ａおよび２ｂにおける写厚およびインク等の印刷剤の関係で制限がある場合、開口１ｂおよび１ｃより少し大きくしてもよい。上述の制限がない場合、開口５ａおよび５ｂを開口１ｂおよび１ｃと一致させてもよい。

　製版２４は、フォトリソグラフィーにより基材１の一面に乳剤層２を設けた後、基材１の他面にフォトリソグラフィーにより補強部５が設けられる。乳剤層２および補強部５は、乳剤を含むシートを用いて形成してもよい。本実施形態においては、製版２４の裏側面に補強部５が設けられている。補強部５が印刷側に設けられている場合、補強部５の厚みにより開口２ａおよび２ｂの写厚に影響することを考慮して厚みを設計する必要があるが、本実施形態の場合、写厚への影響は考慮する必要がなく、厚みを自由に設計できる。

　（実施形態６）
　実施形態６に係る製版２５は、乳剤を含む補強部（第１補強部）５が基材１内に侵入するように設けられている点が、実施形態３に係る製版２２と異なる。

　図１０は実施形態６に係る製版２５の断面図である。図１０中、図７と同一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。

　製版２５の乳剤層２は、基材１の網目の各開口１ａ内に侵入するように設けられている。補強部５は、長円状をなし、乳剤層２の開口２ａおよび２ｂに対応する開口５ａおよび５ｂを有する。補強部５に含まれる乳剤は、乳剤層２の乳剤と同一であっても、異なっていてもよい。開口５ａおよび５ｂは開口２ａおよび２ｂと同一の形状および大きさを有する。補強部５は、基材１の表側から各開口１ａ内に侵入するように設けられている。

　フォトリソグラフィー又は乳剤を含むシートにより基材１の表側面に乳剤層２を設けた後、基材１の表側面にフォトリソグラフィー又は乳剤を含むシートにより補強部５が設けられている。

　通常は、写厚の６０％程度、乳剤が含まれているが、補強部５を設けた部分の乳剤の割合を例えば１００～１３０％に上げることができ、製版２５の強度を向上できる。

　（実施形態７）
　実施形態７に係る製版２６は、横線材１１と縦線材１２との交点部分が溶着されており、この交点部分が補強部（第１補強部）として構成される。

　図１１は、実施形態７に係る製版２６の断面図である。図１１においては、開口１ｂおよび１ｃの縁部の横線材１１と縦線材１２との交点部分、および開口１ｂと開口１ｃとの間に介在する横線材１１と縦線材１２との交点部分が補強部であり、横線材１１と縦線材１２との交点部分は溶着部７により密着している。

　溶着部７は、溶着する横線材１１と縦線材１２との交点部分を表裏から押さえ込み、超音波ホーンで点溶着を行うことにより、形成される。溶着の前に基材１にネガパターンを形成しておき、意図しない部分が溶着されることを低減してもよい。開口に横線材１１を欠落させていない部分があり、例えば開口１ｃ内の内側の２本の縦線材１２を橋絡する横線材１１の部分は残している場合、この横線材１１の部分と縦線材１２との交点は溶着されないようにすることができる。

　本実施形態においては、交差部分において横線材１１と縦線材１２とを密着させているので、開口１ｂおよび１ｃ（開口２ａおよび２ｂ）の周縁部の強度が向上する。溶着しているので、交点部分における線材の密着の度合は大きい。

　（実施形態８）
　実施形態８に係る製版２７は、横線材１１と縦線材１２との交点部分が接着されており、この部分が補強部（第１補強部）として構成される。

　図１２は、実施形態８に係る製版２７の断面図である。図１２においては、開口１ｂおよび１ｃの縁部の横線材１１と縦線材１２との交点部分、および開口１ｂと開口１ｃとの間に介在する横線材１１と縦線材１２との交点部分が補強部である。横線材１１と縦線材１２との交点部分は接着部８により密着している。

　接着部８は、接着する横線材１１と縦線材１２との交点部分に接着剤を塗布し、前記部分を表裏から押さえ込み、光重合を行うことにより形成される。開口に横線材１１を欠落させていない部分があり、例えば開口１ｂ内の内側の２本の縦線材１２を橋絡する横線材１１の部分は残す構成としてもよい。この場合、前記横線材１１の部分と縦線材１２との交点を接着しないようにしてもよい。本実施形態によれば、接着剤を用いることにより、容易に線材を密着できる。

　基材１と同じく、網目状に互いに交差した横線材１１と縦線材１２とに囲われた開口１ａを有し、開口１ｂおよび１ｃより一回り大きい矩形の範囲内に欠落部を含むメッシュ枠をそれぞれ用意する。これらのメッシュ枠を開口１ｂおよび１ｃの周縁部に合わせ、接着剤を塗布し、光重合を行って接着させることにしてもよい。

　（実施形態９）
　実施形態９においては、開口２ａおよび２ｂの周縁部に配された第１補強部と異なる第２補強部をさらに備える。

　図１３は、実施形態９に係る製版２８の断面図である。図１３においては、製版２８の裏側面に、金属箔を含む補強部（第１補強部）４が形成され、表側面に、乳剤を含む補強部（第２補強部）５が形成されている。補強部４は図４の補強部４と同一の形状であってもよく、ステンレス鋼およびニッケル等の材質を含んでいてもよい。補強部５は図６の補強部５と同一の形状を有し、補強部５の乳剤は、乳剤層２の乳剤と同一であっても、異なっていてもよい。開口４ａは開口１ｂと同じ形状であり、開口５ａは開口１ｂより大きい。開口４ｂは開口１ｃと同じ形状であり、開口５ｂは開口１ｃより大きい。

　本実施形態によれば、サンドイッチ構造により製版２８の強度がより向上する。

　（実施形態１０）
　実施形態１０においては、開口１ｂおよび１ｃに近接する部分には第１補強部を形成し、その周縁部は（第１補強部＋第２補強部）で補強し、その周縁部は第２補強部のみで補強している。

　図１４は、実施形態１０に係る製版２９の乳剤層２を除いた状態を示す平面図、図１５は、実施形態１０に係る製版２９の断面図である。製版２９においては、裏側面の横線材１１と縦線材１２との交点部分に溶着部７が形成され、表側面に、補強部５が形成されている。溶着部７は、図１４および図１５に示すように、開口１ｂおよび１ｃに近接する周縁部に形成されている。開口１ｂと開口１ｃとの間の中央寄りの交点には溶着部７は形成されていない。

　開口１ｂおよび１ｃに近接する部分は溶着部７により横線材１１と縦線材１２とを密着させて強度を上げ、開口１ｂおよび１ｃから離れた部分は乳剤を含む補強部５により補強する。

　開口１ｂおよび１ｃに近接する部分には、写厚および印刷剤の関係で、乳剤を含む補強部を形成できず、溶着部７を形成する必要がある場合がある。開口１ｂおよび１ｃの縁部の交点には溶着を行い、応力が大きくかかる、その周縁部は（溶着部７＋乳剤を含む補強部５）で補強し、その周縁部は補強部５のみで補強できる。煩雑な溶着工程を減らし、かつ製版２９の強度を確保できる。

　（実施形態１１）
　図１６は、実施形態１１に係るスクリーン印刷装置３０を示す断面図である。スクリーン印刷装置３０は、図５の製版２１と、製版２１の印刷面（表側面）に対向して基板４０を保持する保持部３２と、製版２１の裏側面に当接した状態で移動可能に構成されたスキージ３１とを備える。スクリーン印刷装置３０は、さらに、スキージ３１を移動させる移動部（不図示）と、製版２１を基板４０に対向して支持する支持部（不図示）とを備える。図１６においては、製版の例として図５の製版２１を用いているが、他の製版を用いてもよい。

　スキージ３１は、例えばウレタンゴム、シリコーンゴム、合成ゴム、金属、合成樹脂等の材料から、例えば薄い板状に構成される。スキージ３１は、製版２１に対して図１６の左右方向に往復移動可能に構成されている。スキージ３１は移動方向と直交する方向において、製版２１と略同一の長さを有する。

　以下、スクリーン印刷装置３０を用いて印刷する場合について説明する。
（１）製版２１の表側を保持部３２により保持された基板４０の表側面に対向させて配置する。
（２）ペースト状の印刷剤を製版２１の裏側に供給し、印刷剤を開口２ａおよび２ｂに充填させる。
（３）製版２１の裏側面にスキージ３１を配置する。スキージ３１は、保持部３２に対して所定の角度をなすように配置する。
（４）スキージ３１を、製版２１の裏側面に所定圧で当接させながら、所定の速度で移動させる。
（５）スキージ３１に押圧された部分は下に突出するように変形して基板４０に当接する。（６）スキージ３１が通過した後、製版２１の押圧部分は基板４０から離れ、印刷剤が基板４０に転写され、基板４０上に印刷パターンが形成される。

　本実施形態によれば、開口２ａおよび２ｂの周縁部における製版２１の強度が大きいので、複雑な開口パターンを有する製版を用いて高精細の印刷が可能となる。これまで困難であったパターンレイアウトを行うことが可能になる。

　以上、本開示に係る発明について、諸図面および実施例に基づいて説明してきた。しかし、本開示に係る発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。すなわち、本開示に係る発明は本開示で示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本開示に係る発明の技術的範囲に含まれる。つまり、当業者であれば本開示に基づき種々の変形または修正を行うことが容易であることに注意されたい。また、これらの変形または修正は本開示の範囲に含まれることに留意されたい。

　本開示は、各種の電子部品の製造に利用できる。

　１　基材
　１ａ、１ｂ、１ｃ　開口
　１ｄ、１ｅ　欠落部
　２　乳剤層（第１乳剤層）
　２ａ、２ｂ　開口
　３、４、６　補強部（第１補強部）
　５　補強部（第１補強部、第２補強部）
　７　溶着部
　８　接着部
　２０、２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９　スクリーン印刷製版
　３０　スクリーン印刷装置
　３１　スキージ
　３２　保持部

 

Claims (13)

1. 　網目状に互いに交差した複数の線材と、前記複数の線材に囲われた複数の第１開口と、前記複数の線材の一部が欠落した欠落部と、を有した基材と、
   　前記基材に配され、前記複数の第１開口の一部および前記欠落部に対応した第２開口を有した第１乳剤層と、
   　前記第２開口の周縁部に配された第１補強部と、
   　を備えた、スクリーン印刷製版。
2. 　前記第１補強部は、金属材を含む、請求項１に記載のスクリーン印刷製版。
3. 　前記第１補強部は、金属箔を含む、請求項１に記載のスクリーン印刷製版。
4. 　前記第１補強部は、乳剤を含む第２乳剤層として備わっている、請求項１に記載のスクリーン印刷製版。
5. 　前記第２乳剤層は、前記第１乳剤層を構成する乳剤とは異なる種類の乳剤を含む、請求項４に記載のスクリーン印刷製版。
6. 　前記第２乳剤層は、前記第１乳剤層を前記基材と挟むように、前記第１乳剤層上に配されている、請求項４または５に記載のスクリーン印刷製版。
7. 　前記第１乳剤層と前記第２乳剤層との間に、金属箔を有する、請求項４または５に記載のスクリーン印刷製版。
8. 　前記第１補強部は、前記第２開口の周縁部において交差し、互いに密着した線材を含む、請求項１に記載のスクリーン印刷製版。
9. 　前記第１補強部は、互いに溶着した線材を含む、請求項８に記載のスクリーン印刷製版。
10. 　前記第１補強部は、硬化した接着剤により密着した線材を含む、請求項８に記載のスクリーン印刷製版。
11. 　前記第２開口の周縁部に配された第１補強部と異なる第２補強部をさらに備え、
    　前記第１補強部および前記第２補強部は、前記第１乳剤層を挟むように位置している、請求項１～１０のいずれか１項に記載のスクリーン印刷製版。
12. 　前記基材に配され、前記基材の平面方向に沿って、前記第１補強部の周囲に配された前記第１補強部と異なる構成を有する第２補強部をさらに有する、請求項１～１０のいずれか１項に記載のスクリーン印刷製版。
13. 　請求項１～１２の何れか１項に記載のスクリーン印刷製版と、
    　前記スクリーン印刷製版の被印刷材に対向する面と反対側の面に当接し、移動するスキージと、
    　を備えたスクリーン印刷装置。
    
     

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