JP2019214195A - スクリーン印刷版及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電子部品の製造や実装工程における導電性ペースト印刷に用いられるスクリーン印刷版について、印刷品質を落とすことなく、印刷時にワークに係る応力を軽減することで、ワークの損傷を防止しして生産効率を向上させることができるスクリーン印刷版を提供する。【解決手段】金属枠にポリエステルメッシュを介して張設されたステンレスメッシュに感光性乳剤層を形成して、その印刷面側に予め開口部が形成されたポリイミドシートを貼付して樹脂層を形成し、フォトリソグラフィ法によって、固形乳剤層に、ポリイミド層と同様な開口パターンを形成する。【選択図】図１

Description

本発明は、電子部品の製造や実装工程において、はんだ等の導電性ペーストの印刷に用いられるスクリーン印刷版と、その製造方法に関するものである。

電子部品の製造や実装においては、セラミック基板等のワーク上に導電性ペーストを印刷するために、ステンレスメッシュという金属製の網の上に、電気めっきを用いてメタルマスクとよばれる金属製の孔版を形成したり、別途準備したメタルマスクを貼り付けたりしたスクリーン印刷版が広く用いられている（例えば、特許文献１、２参照）。

ここで、従来のスクリーン印刷版は、メタルマスクがステンレスメッシュにより保持されているため、丸や四角といった単純な形状だけではなく、島状開口のような複雑な形状や、細線状のような特殊な形状の開口も形成できるという利点がある。また、孔版の素材に感光性乳剤ではなく金属を使用することで、開口の形状やパターンの安定性に優れる。また、メタルマスクの厚さを調整することで、ペーストを所望の厚さに印刷することが可能であり、開口エッジがシャープなことによる印刷品質の向上が期待できる。

しかしながら、このような形態では、印刷時に硬いメタルマスクがワークに直接接触するため、セラミック基板のような脆いワークに対しては局所的な応力がかかることによるワークの損傷が発生しがちであり、生産効率を低下させる原因となっている。

特開２０１０−１１３３８４ 特開２０１５−２１７６４１

この発明の目的は、上記事情に鑑み、印刷時におけるワークの負荷を低減することで、印刷品質を確保しつつセラミック基板のような脆いワークに対しても、これを損傷することなくペーストを印刷することができるスクリーン印刷版と、その簡便な製造方法を提供することである。

上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版であって、金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが張設されたスクリーン枠と、前記ステンレスメッシュの一部または全部に形成された固形乳剤層と、前記固形乳剤層の、印刷時に被印刷物と対向する印刷面の一部または全部に、前記固形乳剤層の接着力により形成された樹脂層を備え、前記固形乳剤層と前記樹脂層には、前記印刷パターンに対応する開口部が一体的に形成され、前記ステンレスメッシュは、その網目が、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されている、前記開口部は、前記固形乳剤層側が前記樹脂層より大きい３〜５μｍ段差構造をしている、ことを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の印刷用スクリーン印刷版であって、前記樹脂層は、前記開口部が形成された範囲である開口パターンエリアの範囲外に、空気孔が形成されている、ことを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版であって、金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが張設されたスクリーン枠と、前記ステンレスメッシュの一部を両面から挟み込むように形成された金属層と、前記金属層の、印刷時に被印刷物と対向する印刷面の一部または全部に形成された樹脂層と、を備え、前記金属層と前記樹脂層には、前記印刷パターンに対応する開口部が一体的に形成され、前記ステンレスメッシュは、その網目が、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されている、ことを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、請求項１から３の何れか１項に記載の印刷用スクリーン印刷版において、前記樹脂層は、ポリイミドを素材とする、ことを特徴とする。
請求項５に記載の発明は、所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが、その網目の向きが、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されたスクリーン枠に、直接法、間接法または直間法のいずれかの方法で、前記ステンレスメッシュの一部または全部に、感光性乳剤層を形成する、感光性乳剤層形成工程と、前記感光性乳剤層の、印刷時に被印刷物と対向する印刷面に、前記印刷パターンに対応する開口部が形成された樹脂シートを密着させる工程と、フォトリソグラフィ法により、前記感光性乳剤層を固化させて固形乳剤層とした上で、前記印刷パターンに対応する開口部を、前記樹脂シートの開口部と略同位置に形成する工程と、を備え、前記開口部は、前記固形乳剤層側が前記樹脂層より３〜５μｍ大きい段差構造をしている、ことを特徴とする。
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、前記フォトリソグラフィ法において、露光方法が直描法である、ことを特徴とする。
請求項７に記載の発明は、所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが、その網目の向きが、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されたスクリーン枠に、前記印刷パターンに対応する開口部が形成され、片面に金属膜が形成された金属・樹脂複合シートの前記金属膜を、前記ステンレスメッシュの、印刷時に被印刷物と対向する印刷面に接着させる工程と、前記ステンレスメッシュと前記金属膜に電気ニッケルめっきを施して、前記金属膜に密着し、前記ステンレスメッシュと一体的な金属層を形成する工程を備える、ことを特徴とする。

請求項１、３、５、７の発明によれば、印刷時にワークに対して硬度の低い樹脂層が接するので、ワークを損傷させずに印刷することが可能となる。また、スクリーンメッシュが印刷方向に対して斜めに張設されていることにより、ワークに対する導電性ペーストの転写性を向上させることが可能となる。

請求項２の発明によれば、樹脂層に空気孔が形成されているので、樹脂層を感光性剤層に貼付するときに、両者の間に気泡が入り込む現象を抑制することが可能となる。

請求項３、７の発明によれば、開口部に段差がなくストレートなため、導電性ペースト印刷時の導電性ペーストの開口部からの抜け性を向上させることが可能となる。

請求項４の発明によれば、機械的強度や耐薬品性が高いポリイミドシートを樹脂層に使用することで、印刷や洗浄による破損や変化がしにくい印刷版を得ることが可能となる。さらに高い耐熱性を有するため、紫外線によって適正に開口を形成することができるので、エッジダレが少なく、内壁が滑らかであり、形状の良い開口を得ることが可能であり、メタルマスクに遜色のないペーストの印刷性の確保が可能である、という効果がある。

請求項６の発明によれば、フォトマスクを使わずに露光ができるので、製造コスト削減や露光精度の向上が可能となる。

本発明の実施の形態１に係る、スクリーン印刷版の概略の正面図（ａ）と、中央付近Ｘ_０−Ｘ_０の概略の断面図（ｂ）である。 本発明の実施の形態１に係る、図１のスクリーン印刷版のＡ部の詳細図である。 本発明の実施の形態１に係る、図１のスクリーン印刷版のＢ部の詳細図である。 本発明の実施の形態１に係る、スクリーン印刷版の製造方法の概略工程フロー図である。 本発明の実施の形態２に係る、スクリーン印刷版の概略の正面図（ａ）と、中央付近Ｘ_１−Ｘ_１の概略の断面図（ｂ）である。 本発明の実施の形態２に係る、スクリーン印刷版の製造方法の概略フロー図である。 本発明の別の実施の形態に係る、スクリーン印刷版の概略の正面図である。

本発明の実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、図面において、図面中の各部の構成の大きさ、間隔、数、その他詳細は、視認と理解の助けのために、実際の物とから大幅に簡略化・省略化して表現している。

実施の形態１
図１は、実施の形態１にかかる、スクリーン印刷版１の概略の正面図（ａ）と、中央付近Ｘ_０−Ｘ_０の概略の断面図（ｂ）である。

スクリーン印刷版１は、金属枠（金属製の枠）１１と、そこに張設されたポリエステルメッシュ１２を介してステンレスメッシュ１３が張設されたスクリーン枠と、ステンレスメッシュ１３の一部または全部に形成された固形乳剤層１４と、固形乳剤層１４の、印刷時に被印刷物と対向する面（印刷面）の一部または全部に、固形乳剤層１４の接着力により形成されたポリイミド層（樹脂層）１５から構成されている。

固形乳剤層１４は、水現像タイプの感光性乳剤を、後述するフォトリソグラフィ法の過程において、乾燥・露光により固化させたものであり、厚さはステンレスメッシュ１３の厚さより１０〜１００μｍ厚く設定されている。この厚さは、印刷パターンや導電性ペーストの種類、その他印刷の目的により変化する。

本実施の形態１では、ポリイミド層１５は厚さが２０ｕｍのポリイミドフィルムを使用している。

また、ポリエステルメッシュ１２とステンレスメッシュ１３は、目的や条件により、厚み、強度及び空間率の観点から好適なメッシュ数を選択する。本実施の形態１では、ポリエステルメッシュ１２は１８０メッシュを、ステンレスメッシュ１３は＃５００メッシュを使用している。また、ステンレスメッシュ１３は、図２に示すように、その網目の方向θが、印刷方向Ｄ１（金属枠１１の辺の、向かい合う２組の辺のうちの一組と平行な方向）に対して３０〜４５°斜めに向くように張設されている。

固形乳剤層１４とポリイミド層１５には、印刷パターンに対応した大きさ、配置、形状の開口部１６が一体的に形成されている。この開口部１６は、図３に示すように、後述する製造方法の事情から、固形乳剤層１４側（１６ａ）が、ポリイミド層１５側（１６ｂ）よりも大きい段差構造をしており、その差Ｇは場所によって差はあるが、３〜５ｕｍである。ここで、ポリイミドは樹脂の中でも特に耐熱性に優れるので、紫外線レーザにより適正な加工が可能であり、エッジダレが少なく、内壁が滑らかであり、形状のよい開口部１６ｂが形成可能である。

次に、本実施の形態１に係るスクリーン印刷版１の製造方法について、図２の概略工程フロー図に基づいて説明をする。

第一に、金属枠１１にポリエステルメッシュ１２が所定の張力で張設されたスクリーン枠を準備する（ステップ）Ｓ１。

第二に、ポリエステルメッシュ１２に、ステンレスメッシュ１３を張設する（ステップＳ２）工程について説明する。初めに、ポリエステルメッシュ１２の印刷面側の略中央に、矩形状のステンレスメッシュ１３を、その辺が金属枠１１の辺の向きと平行になるように載置する。このとき、ステンレスメッシュは、その網目の向きθが、印刷方向Ｄ１に対して３０〜４５°斜めに向くように裁断されている。
次に、瞬間接着剤等で、ステンレスメッシュ１３の周辺を、ポリエステルメッシュ１２に固着する。
その後、固着した部分の内側のポリエステルメッシュ１２を切除して、ステンレスメッシュ１３が、印刷面と反対側（スキージ面）にも露出するようにする。

第三に、ステンレスメッシュ１３の一部または全部に、バケットコーターを使用して、水現像タイプの感光性乳剤を塗布し、感光性乳剤層を形成する（ステップＳ３）。感光性乳剤は、ジアゾ系ネガ型乳剤を使用した。この形成方法は、いわゆる直接法といわれるものであるが、このとき、ステンレスメッシュ１３の印刷面、スキージ面の両面に感光性乳剤が塗布され、ステンレスメッシュ１３が感光性乳剤により挟み込まれるような形態にすることで、固化後の密着性が向上する。

第四に、感光性乳剤層の、印刷面側に、印刷パターンに対応する開口部１６ｂが形成されたポリイミドシートを、感光性乳剤の粘性により感光性乳剤層に接着し、ポリイミド層１５を形成する（ステップＳ４）。

ステップＳ４までで製造した中間生成物を、４５℃に設定した乾燥機で５分乾燥させる（ステップＳ５）。

第五に、フォトリソグラフィ法により、感光性乳剤層を固化させて固形乳剤層１４とした上で、印刷パターンに対応する開口部１６ａを、ポリイミド層１５に形成された開口部と略同位置に形成する（ステップＳ６、Ｓ７）。本実施の形態１では、フォトリソグラフィにおける露光方法は、露光するための入射光を、フォトマスクを用いずに感光性乳剤層にレーザ等の露光用の光を走査させながら照射してパターンを描く直描法（ＤＩ：Ｄｉｒｅｃｔ Ｉｍａｇｉｎｇ）を用いた。直描法で露光する場合には、露光機への金属枠１１の設置時に、ポリイミド層１５に形成された開口部１６ｂと略同位置に開口部１６ａが描画される（なお、本実施の形態１では、感光性乳剤はネガ型なので、開口部１６ａにあたる箇所は露光されない）ように設定するが、多少のずれは不可避であるため、描画される開口は、予めポリイミド層１５のものより大きく設定する。すなわち、開口部１６は、固形乳剤層１４側（１６ａ）が、ポリイミド層１５側（１６ｂ）よりも大きい段差構造をしており、その差Ｇは場所によって差はあるが、３〜５ｕｍである。こうすることによって、開口部１６ａの形成位置が、Ｇの範囲でずれた場合でも、開口部１６ｂを塞いで開口部１６の実質的な大きさを狭めて印刷性を低下させることがなくなる。また、現像は、水を用いた。

最後に、現像後にブロワや乾燥機を用いて乾燥をさせることで、スクリーン印刷版１が完成する。

次に、本実施の形態１に係る発明の作用である、スクリーン印刷版１による導電性ペーストの印刷方法について説明をする。

まず、スクリーン印刷版１を、印刷面を下にして印刷機にセットし、スキージ側に、はんだ導電性ペーストなどの、導電性ペーストを盛り付け、厚さ０．１〜１ｍｍのセラミック基板などのワークをその下にセットし、スクリーン印刷版１を下降させて、ワークとポリイミド層１５間に一定の間隔（ギャップ）を形成させてから、ウレタンスキージなどのスキージで、所定の条件（印圧、スキージ速度、版離れ速度等）で、導電性ペーストを開口部１６に充填させ、ワークに導電性ペーストを転写する。

導電性ペーストの転写後、スクリーン印刷版１をワークから版離れさせることで、印刷物を得る。

実施の形態１によれば、印刷時にワークに対して硬度の低いポリイミド層１５が接するので、ワークを損傷させずに印刷することが可能となる。また、スクリーンメッシュ１３が印刷方向Ｄ１に対して斜めに張設されていることにより、ワークに対する導電性ペーストの転写性を向上させることが可能となる。

また、印刷面に機械的強度や耐薬品性が高いポリイミド層１５を使用することで、印刷や洗浄による破損や変化がしにくい印刷版を得ることが可能となる。さらに高い耐熱性を有するため、紫外線によって適正に開口を形成することができるので、エッジダレが少なく、内壁が滑らかであり、形状の良い開口を得ることが可能であり、メタルマスクに遜色のないペーストの印刷性の確保が可能である、という効果がある。

さらに、フォトマスクを使わずに描画ができるので、製造コスト削減や露光精度の向上が可能となる。

実施の形態２
図５は、本発明の実施の形態２に係る、スクリーン印刷版２の概略の正面図（ａ）と、中央付近Ｘ_１−Ｘ_１の概略の断面図（ｂ）である。ここでは、本実施の形態２の実施の形態１との主な相違点を中心に説明をする。その他、実施の形態１と同様の構成は、説明を省略する。

スクリーン印刷版２は、金属枠（金属製の枠）２１と、そこに張設されたポリエステルメッシュ２２を介してステンレスメッシュ２３が張設されたスクリーン枠と、ステンレスメッシュ１３の一部または全部に、ステンレスメッシュ２３を挟み込むように形成されたニッケル層（金属層）２４と、ニッケル層２４の、印刷時に被印刷物と対向する面（印刷面）の一部または全部に、ニッケル層２４と一体化されたポリイミド層（樹脂層）２５から構成されている。

ポリエステルメッシュ２２と、ステンレスメッシュ２３は、実施の形態１と同様である。

ニッケル層２４は、ステンレスメッシュ２３上に電気ニッケルめっきにより、形成された層であり、厚さはステンレスメッシュ２３の厚さより１０〜１００μｍ厚く設定されている。この厚さは、印刷パターンや導電性ペーストの種類、その他印刷の目的により変化する。

本実施の形態１では、ポリイミド層２５は厚さが２０ｕｍのポリイミドフィルムを使用している。このポリイミドフィルムは、ポリイミドフィルムの片面に、厚さ８μｍの銅箔（図示略）が蒸着により形成されている、金属・樹脂複合シートの樹脂側を形成するものである。該シートの金属側である銅箔は、前述の電気ニッケルめっきにおいて、ニッケルが析出することで、ニッケル層２４とポリイミド層２５を一体化させる役割を担っている。

ニッケル層２４とポリイミド層２５には、印刷パターンに対応した大きさ、配置、形状の開口部２６が一体的に形成されている。本実施の形態２では。開口部２６は、実施の形態１とは異なり、ニッケル層２４側と、ポリイミド層２５側で大きさに本質的な差異はなく、ストレートに形成されている。

次に、本実施の形態２に係るスクリーン印刷版２の製造方法について、図４の概略工程フロー図に基づいて説明をする。

ステップＳ１１、Ｓ１２については、実施の形態１と同様である。

次に、厚さ２０μｍのポリイミドシートの片面に厚さ８μｍの銅箔が形成された金属・樹脂複合シートを、その銅箔の面をステンレスメッシュ２３側に向けて貼付した（ステップＳ１３）。ここで、この金属・樹脂複合シートには、印刷パターンに対応する開口部２６が形成されている。貼付には、次の方法を用いた。先ず、銅箔の四辺上に、幅５ｍｍ、厚さ３５μｍ程度で熱硬化型接着剤を塗布する。次に、たわみのない状態で、金属・樹脂複合シートをステンレスメッシュ２３上に載置して仮接着をする。さらに、熱圧着機を用いて、所定の条件と圧力で熱硬化型接着剤を硬化させて固定させて貼付し、銅箔とステンレスメッシュ２３の密着状態を形成した。

金属枠２１に耐酸性のビニールテープなどでマスキングをして、絶縁処理・防水処理をした上で、電気ニッケルめっき槽に浸漬させて、通電し、ステンレスメッシュ２３と銅箔にニッケルめっきを施して、金属層２４を形成した（ステップＳ１４）。

電気ニッケルめっき槽から、金属枠２１を引き上げて、水洗・乾燥し、マスキングを取り除くことで、スクリーン印刷版２が完成する。

次に、本実施の形態２に係る発明の作用である、スクリーン印刷版２による導電性ペーストの印刷方法について説明をする。

まず、スクリーン印刷版２を、印刷面を下にして印刷機にセットし、スキージ側に、はんだ導電性ペーストなどの、導電性ペーストを盛り付け、厚さ０．１〜１ｍｍのセラミック基板などのワークをその下にセットし、スクリーン印刷版２を下降させて、ワークとポリイミド層２５間に一定の間隔（ギャップ）を形成させてから、ウレタンスキージなどのスキージで、所定の条件（印圧、スキージ速度、版離れ速度等）で、導電性ペーストを開口部２６に充填させ、ワークに導電性ペーストを転写する。

導電性ペーストの転写後、スクリーン印刷版２をワークから版離れさせることで、印刷物を得る。

実施の形態２の発明によれば、印刷時にワークに対して硬度の低いポリイミド層２５が接するので、ワークを損傷させずに印刷することが可能となる。また、スクリーンメッシュ２３が印刷方向に対して斜めに張設されていることにより、ワークに対する導電性ペーストの転写性を向上させることが可能となる。

また、開口部１６に段差がなくストレートなため、導電性ペースト印刷時の導電性ペーストの開口部１６からの抜け性を向上させることが可能となる。

さらに機械的強度や耐薬品性が高いポリイミドシートを樹脂層に使用することで、印刷や洗浄による破損や変化がしにくい印刷版を得ることが可能となる。さらに高い耐熱性を有するため、紫外線によって適正に開口を形成することができるので、エッジダレが少なく、内壁が滑らかであり、形状の良い開口を得ることが可能であり、メタルマスクに遜色のないペーストの印刷性の確保が可能である、という効果がある。

以上、実施の形態１〜２について説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、同様の効果を得られる他の形態も含まれる。例えば、ポリイミドシート層１５、２５は、他の樹脂、例えばＰＥＴフィルムでも代替可能である。

実施の形態１において、ステップＳ３の感光性乳剤層形成工程は、直接法により行ったが、これ以外の間接法や直間法でも代替可能である。ここで、間接法では予め開口部１６ａが形成されたフィルム状の感光性乳剤を、液状の感光性乳剤を用いてステンレスメッシュ１３に貼付する。また、直間法では、開口部１６ａが形成されていないフィルム状の感光性乳剤を、同様に、液状の感光性乳剤を用いてステンレスメッシュ１３に貼付する。

実施の形態２では、金属層にはニッケルを用いたが、他の金属、例えば銅などの、電気めっき可能な金属であればなにを用いてもよい。

また、実施の形態１では、露光方法に直描法を使用したが、フォトマスクを使用すれば、高圧水銀灯のような非直描法の露光機でも製造可能である。

さらに、実施の形態１において、ポリイミド層１５の開口部１６が形成された範囲である開口パターンエリアの範囲外に、図７の様に空気孔３１を形成することで、ステップＳ４のポリイミドシート貼付工程で、ポリイミド層１５と固形乳剤層１４との間に気泡が入り込む現象を防止することが可能となる。

実施の形態２において、金属・樹脂複合シートのステンレスメッシュ２３上への貼付は、熱硬化型接着剤を塗布する方法に限らず、エポキシ系の接着シートを接着したい部分に裁断して使用することでも同様の効果が得られる。
なお、ガラスやプラスチックのような電気絶縁性の板をポリイミド層２５にあてがい、クランプなどで金属枠２１に固定して、ステンレスメッシュ２３に押し付けることで、接着剤などを使用せずに、金属・樹脂複合シートをステンレスメッシュ２３に密着させることが可能となる。

さらに、実施の形態１において、ポリイミドシートの固化乳剤層１４に貼付する面に適度な粗さを形成することで、アンカー効果により固化乳剤層１４への密着性が向上するので、より多くの回数印刷に供することが可能となる。例えば、金属・樹脂複合シートの、銅箔をエッチングで除去した面には、銅の蒸着時に面全体に均一な凹凸が形成されているので、好ましい。

１、２、３ スクリーン印刷版
１１、２１ 金属枠（金属製の枠）
１２、２２ ポリエステルメッシュ
１３、２３ ステンレスメッシュ
１４ 固形乳剤層
１５、２５ ポリイミド層（樹脂層）
１６、２６ 開口部
２４ ニッケル層（金属層）
３１ 空気孔
Ｄ１ 印刷方向

上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版であって、金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが張設されたスクリーン枠と、前記ステンレスメッシュの一部または全部に形成された固形乳剤層と、前記固形乳剤層の、印刷時に被印刷物と対向する印刷面の一部または全部に、前記固形乳剤層の接着力により形成された樹脂層を備え、前記固形乳剤層と前記樹脂層には、前記印刷パターンに対応する開口部が一体的に形成され、前記ステンレスメッシュは、その網目が、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設され、前記開口部は、前記固形乳剤層側が前記樹脂層より大きい３〜５μｍ段差構造をしており、前記樹脂層は、前記開口部が形成された範囲である開口パターンエリアの範囲外に、空気孔が形成されている、ことを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが、その網目の向きが、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されたスクリーン枠に、直接法、間接法または直間法のいずれかの方法で、前記ステンレスメッシュの一部または全部に、感光性乳剤層を形成する、感光性乳剤層形成工程と、前記感光性乳剤層の、印刷時に被印刷物と対向する印刷面に、前記印刷パターンに対応する開口部が形成された樹脂シートを密着させる工程と、フォトリソグラフィ法により、前記感光性乳剤層を固化させて固形乳剤層とした上で、前記印刷パターンに対応する開口部を、前記樹脂シートの開口部と略同位置に形成する工程と、を備え、前記開口部は、前記固形乳剤層側が前記樹脂層より３〜５μｍ大きい段差構造をしている、ことを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、前記フォトリソグラフィ法において、露光方法が直描法である、ことを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが、その網目の向きが、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されたスクリーン枠に、前記印刷パターンに対応する開口部が形成され、片面に金属膜が形成された金属・樹脂複合シートの前記金属膜を、前記ステンレスメッシュの、印刷時に被印刷物と対向する印刷面に接着させる工程と、前記ステンレスメッシュと前記金属膜に電気ニッケルめっきを施して、前記金属膜に密着し、前記ステンレスメッシュと一体的な金属層を形成する工程を備える、ことを特徴とする。

上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版であって、金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが張設されたスクリーン枠と、前記ステンレスメッシュの一部または全部に形成された固形乳剤層と、前記固形乳剤層の、印刷時に被印刷物と対向する印刷面の一部または全部に、前記固形乳剤層の接着力により形成された樹脂層を備え、前記固形乳剤層と前記樹脂層には、前記印刷パターンに対応する開口部が一体的に形成され、前記ステンレスメッシュは、その網目が、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設され、前記開口部は、前記固形乳剤層側が前記樹脂層より大きい３〜５μｍ段差構造をしており、前記樹脂層は、前記開口部が形成された範囲である開口パターンエリアの範囲外に、空気孔が形成されている、ことを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが、その網目の向きが、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されたスクリーン枠に、直接法、間接法または直間法のいずれかの方法で、前記ステンレスメッシュの一部または全部に、感光性乳剤層を形成する、感光性乳剤層形成工程と、前記感光性乳剤層の、印刷時に被印刷物と対向する印刷面に、前記印刷パターンに対応する開口部が形成された樹脂層を密着させる工程と、フォトリソグラフィ法により、前記感光性乳剤層を固化させて固形乳剤層とした上で、前記印刷パターンに対応する開口部を、前記樹脂層の開口部と略同位置に形成する工程と、を備え、前記開口部は、前記固形乳剤層側が前記樹脂層より３〜５μｍ大きい段差構造をしている、ことを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、前記フォトリソグラフィ法において、露光方法が直描法である、ことを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが、その網目の向きが、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されたスクリーン枠に、前記印刷パターンに対応する開口部が形成され、片面に金属膜が形成された金属・樹脂複合シートの前記金属膜を、前記ステンレスメッシュの、印刷時に被印刷物と対向する印刷面に接着させる工程と、前記ステンレスメッシュと前記金属膜に電気ニッケルめっきを施して、前記金属膜に密着し、前記ステンレスメッシュと一体的な金属層を形成する工程を備える、ことを特徴とする。

Claims (7)

1. 所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版であって、
   金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが張設されたスクリーン枠と、
   前記ステンレスメッシュの一部または全部に形成された固形乳剤層と、
   前記固形乳剤層の、印刷時に被印刷物と対向する印刷面の一部または全部に、前記固形乳剤層の接着力により形成された樹脂層を備え、
   前記固形乳剤層と前記樹脂層には、前記印刷パターンに対応する開口部が一体的に形成され、
   前記ステンレスメッシュは、その網目が、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されている、
   前記開口部は、前記固形乳剤層側が前記樹脂層より大きい３〜５μｍ段差構造をしている、
   ことを特徴とする、印刷用スクリーン印刷版。
2. 前記樹脂層は、前記開口部が形成された範囲である開口パターンエリアの範囲外に、空気孔が形成されている、
   ことを特徴とする、請求項１に記載の印刷用スクリーン印刷版。
3. 所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版であって、
   金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが張設されたスクリーン枠と、
   前記ステンレスメッシュの一部を両面から挟み込むように形成された金属層と、
   前記金属層の、印刷時に被印刷物と対向する印刷面の一部または全部に形成された樹脂層と、を備え、
   前記金属層と前記樹脂層には、前記印刷パターンに対応する開口部が一体的に形成され、
   前記ステンレスメッシュは、その網目が、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されている、
   ことを特徴とする、印刷用スクリーン印刷版。
4. 前記樹脂層は、ポリイミドを素材とする、
   ことを特徴とする、請求項１から３の何れか１項に記載の印刷用スクリーン印刷版。
5. 所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、
   金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが、その網目の向きが、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されたスクリーン枠に、直接法、間接法または直間法のいずれかの方法で、前記ステンレスメッシュの一部または全部に、感光性乳剤層を形成する、感光性乳剤層形成工程と、
   前記感光性乳剤層の、印刷時に被印刷物と対向する印刷面に、前記印刷パターンに対応する開口部が形成された樹脂シートを密着させる工程と、
   フォトリソグラフィ法により、前記感光性乳剤層を固化させて固形乳剤層とした上で、前記印刷パターンに対応する開口部を、前記樹脂シートの開口部と略同位置に形成する工程と、を備え、
   前記開口部は、前記固形乳剤層側が前記樹脂層より３〜５μｍ大きい段差構造をしている、
   ことを特徴とする、印刷用スクリーン印刷版の製造方法。
6. 前記フォトリソグラフィ法において、露光方法が直描法である、
   ことを特徴とする、請求項５に記載の印刷用スクリーン印刷版の製造方法。
7. 所定の印刷パターンに導電性ペーストを形成するための印刷用スクリーン印刷版の製造方法であって、
   金属製の枠にポリエステルメッシュを介してステンレスメッシュが、その網目の向きが、印刷方向に対し３０〜４５°斜めに向くように張設されたスクリーン枠に、前記印刷パターンに対応する開口部が形成され、片面に金属膜が形成された金属・樹脂複合シートの前記金属膜を、前記ステンレスメッシュの、印刷時に被印刷物と対向する印刷面に接着させる工程と、
   前記ステンレスメッシュと前記金属膜に電気ニッケルめっきを施して、前記金属膜に密着し、前記ステンレスメッシュと一体的な金属層を形成する工程を備える、
   ことを特徴とする、印刷用スクリーン印刷版の製造方法。
   
   

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