WO2021256317A1 - 加圧用吸着台およびこれを具備する加圧装置 - Google Patents

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porous body
pressurizing
elastic member
pressurization
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健児 岡本
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日立造船株式会社
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    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment

Definitions

  • the present invention relates to a suction table for pressurization and a pressurizing device provided with the adsorption table.
  • the suction table has a suction surface on which an object such as a thin film is placed, and by sucking the object from this suction surface, the object is adsorbed on the suction surface.
  • the object adsorbed on the adsorption surface is held flat on the adsorption surface. Then, when the suction is stopped, the holding of the object is released, so that the object is merely placed on the suction surface, that is, the object is moved to another place. It will be in a suitable state.
  • Patent Document 1 As a development of such an adsorption table, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-205507 (hereinafter, Patent Document 1), a configuration for reliably holding a held object in a flat shape is provided. Proposed. Further, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-344284 (hereinafter referred to as Patent Document 2), a configuration suitable for photographing an object held on an adsorption table has also been proposed.
  • the porous plate 41 on which the object (mask film) is placed is arranged on the flat glass plate 42. Therefore, the pressure unevenness due to the above-mentioned pressurization can be suppressed.
  • the configuration described in Patent Document 2 since suction is performed from the nozzle 44 attached to the side surface of the porous plate 41, the suction force due to suction is applied to the outer peripheral portion of the porous plate 41 located near the side surface. Is higher than other parts, and uneven adsorption occurs. In this case, the object is not properly held by the porous plate 41. Therefore, the configuration described in Patent Document 2 is also not suitable for pressurization.
  • an object of the present invention is to provide a pressurizing suction table capable of holding an object in a state suitable for pressurizing, and a pressurizing device provided with the adsorption table.
  • the adsorption table for pressurization includes a porous body having an adsorption surface on which an object can be placed and a porous body.
  • An elastic member directly or indirectly provided on the porous body, and A frame body that supports the porous body via the elastic member, and The suction space formed between the porous body and the frame body, A suction device capable of sucking an object on the suction surface by sucking the suction space is provided.
  • the porous body has an opposite surface located on the opposite side of the adsorption surface.
  • the frame has a receiving surface that receives an opposite surface when the elastic member is elastically deformed by applying pressure to the suction surface of an object placed on the suction surface. When the opposite surface is received by the receiving surface, the reaction force from the porous body to the pressurized object is made uniform.
  • the opposite surface of the porous body and the receiving surface of the frame body that receives the opposite surface are both.
  • the frame has a suction port that is formed at a position other than the receiving surface and communicates with the suction space.
  • the suction device is connected to the suction port.
  • the porous body in the pressurizing adsorption table according to the first or second invention has a side surface.
  • the side surface and the opposite surface of the porous body face the suction space.
  • the pressurizing suction table according to the fourth invention is a member in which the elastic member in the pressurizing suction table according to the first or second invention is integrated with the frame and attached to the porous body. be.
  • the frame body in the pressurizing suction table according to the first or second invention has a support member attached to the porous body.
  • the elastic member is a spring and / or rubber connecting the support member and the receiving surface of the frame body.
  • the porous body in the pressurizing adsorption platform according to the first or second invention contains carbon.
  • the pressurizing device includes the pressurizing suction table according to the first or second invention. It is provided with a pressurizing machine that pressurizes an object placed on the suction surface of the suction suction table for pressurization toward the suction surface.
  • the object can be held in a state suitable for pressurizing.
  • FIG. 3 is a cross-sectional perspective view of the suction table for pressurization according to the first embodiment of the present invention, which is crossed in the center. It is sectional drawing which shows the state which pressed the object placed on the adsorption table for pressurization. It is sectional drawing of the pressurizing apparatus provided with the suction table for pressurization. It is sectional drawing which shows the state which pressed the object by the pressurizing apparatus.
  • FIG. 3 is a cross-sectional perspective view of the suction table for pressurization according to the second embodiment of the present invention, which is crossed in the center. It is sectional drawing which shows the state which pressed the object placed on the adsorption table for pressurization.
  • the pressurizing suction table according to the first and second embodiments of the present invention holds the object to be pressurized by suction by negative pressure (suction).
  • the pressure adsorption table 1 As shown in FIG. 1, the pressure adsorption table 1 according to the first embodiment is provided directly on the porous body 2 having an adsorption surface 20 on which the object O can be placed and the porous body 2.
  • the elastic member 3 is provided, and the frame body 5 that supports the porous body 2 via the elastic member 3 is provided.
  • a suction space 4 is formed between the porous body 2 and the frame body 5.
  • the pressure suction table 1 includes a suction device 6 capable of sucking an object O on the suction surface 20 by sucking the suction space 4.
  • the porous body 2 has an opposite surface 21 located on the opposite side of the adsorption surface 20. As shown in FIG.
  • the elastic member 3 in the frame body 5, when the object O placed on the suction surface 20 is pressurized toward the suction surface 20, the elastic member 3 is elastically deformed.
  • the pressurizing suction table 1 is configured so that when the opposite surface 21 is received by the receiving surface 51, the reaction force from the porous body 2 to the object O to be pressurized becomes uniform. There is.
  • the porous body 2 has the suction surface 20 and the opposite surface 21, a suction space 4 is formed between the porous body 2 and the frame body 5, and a receiving surface of the frame body 5 is formed. If it is received by 51, it is not particularly limited as long as it imparts a uniform reaction force to the object O. Further, the porous body 2 is made of a material having a large number of pores (ceramic or the like). In the first embodiment of the present invention (also in the second embodiment described later), as a preferred embodiment, the porous body 2 is an example of a rectangular parallelepiped having a suction surface 20 and an opposite surface 21 as an upper surface and a lower surface, respectively, and having a side surface 23. Is shown.
  • a part of the rectangular parallelepiped porous body 2 is attached to the elastic member 3 on the side surface 23, and a portion to which the elastic member 3 is not attached faces the suction space 4. Further, in the porous body 2, the opposite surface 21 is flat and faces the suction space 4. Further, in the porous body 2, the suction surface 20 is arranged flush with the elastic member 3 and the frame body 5.
  • the surface roughness of the flat opposite surface 21 is preferably 12.5 or less (Ra ⁇ 12.5).
  • the preferable porous body 2 has a pore diameter of 50 ⁇ m or less ( ⁇ ⁇ 50 ⁇ m) or a surface roughness of the adsorption surface 20 of 12.5 or less (Ra ⁇ 12.5). Is. This is because, with such a pore diameter or surface roughness, even if the powder material (object O) slides and spreads due to the pressurization, the surface of the powder material in contact with the adsorption surface 20 is not roughened. Of course, it is more preferable to satisfy both the pore size and the surface roughness.
  • the porous body 2 preferably contains carbon, and more preferably made of carbon. This is because the porous body 2 functions as a cartridge for electrostatically forming a powder material.
  • the object O is not limited to a simple substance of the powder material, and may be a metal foil or the like in which the powder material is adsorbed. Also in this case, since the surface roughness of the adsorption surface 20 is transferred to the powder material via the metal foil by pressurization, the surface roughness is preferably 12.5 or less (Ra ⁇ 12.5). ..
  • the elastic member 3 is not particularly limited as long as it is provided directly on the porous body 2 and elastically deforms until the opposite surface 21 is received by the receiving surface 51 by the pressurization.
  • the elastic member 3 is a member integrated with the frame body 5 and attached to the porous body 2.
  • the elastic modulus E of the elastic member 3 is equal to or less than the value obtained by dividing the force F (see FIG. 2) due to the pressurization by the gap d (see FIG. 1) between the opposite surface 21 and the receiving surface 51 (see FIG. 1). E ⁇ F / d). With such an elastic modulus E, the elastic member 3 is elastically deformed by the pressurization until the opposite surface 21 is received by the receiving surface 51.
  • the frame body 5 is not particularly limited as long as it has a suction space 4 formed between the frame body 5 and the porous body 2 and has a receiving surface 51 that receives the opposite surface 21.
  • the frame body 5 has a bottom plate 52 having a receiving surface 51 having a flat upper surface and a side plate 53 rising from the outer edge of the bottom plate 52. An example having and is shown.
  • the elastic member 3 is attached to the upper portion of these side plates 53.
  • the suction space 4 is a space surrounded by the inner surface of these side plates 53, the upper surface (receiving surface 51) of the bottom plate 52, and the porous body 2.
  • One of these side plates 53 is formed with a suction port 54 communicating with the suction space 4.
  • the suction device 6 is connected to the suction port 54 via a pipe 7 or a hose.
  • the flat receiving surface 51 preferably has a surface roughness of 12.5 or less (Ra ⁇ 12.5).
  • the suction device 6 is not particularly limited as long as it can suck the object O on the suction surface 20 by sucking the suction space 4, but is, for example, an exhaust pump.
  • This exhaust pump has such a performance that the suction surface 20 appropriately sucks the object O at the time of the pressurization.
  • the pressurizing device 100 directs the pressurizing suction table 1 and the object O placed on the suction surface 20 of the pressurizing suction table 1 toward the suction surface 20. It is equipped with a pressurizing machine 10 for pressurizing.
  • the pressurizing machine 10 includes, for example, a fixed main body 15 and a pressurizing pin 12 that moves in and out of the main body 15.
  • the surface that pressurizes the object O is parallel to the suction surface 20, and the direction of moving in and out is orthogonal to the suction surface 20.
  • the suction surface 20 of the porous body 2, the upper surface of the elastic member 3, and the upper end surface of the side plate 53 in the frame body 5 are flush with each other.
  • the porous body 2, the elastic member 3 and the frame body 5 are connected.
  • the suction device 6 is connected to the suction port 54 formed in the side plate 53 of the frame body 5 via a pipe 7 or the like. As a result, the pressurizing suction table 1 is manufactured.
  • the pressurizing pin 12 protruding from the main body 15 of the pressurizing machine 10 is positioned to pressurize the object O placed on the porous body 2.
  • the pressurizing machine 10 is arranged with respect to the pressurizing suction table 1. As a result, the pressurizing device 100 is manufactured.
  • the user places the object O on the suction surface 20 of the suction table 1 for pressurization, while sucking the suction space 4 with the suction device 6.
  • the porous body 2 is widely sucked from the side surface 23 facing the suction space 4 and the opposite surface 21, so that the porous body 2 is uniformly sucked from each hole of the suction surface 20, and as a result, the object O is drawn on the suction surface 20. Is uniformly adsorbed.
  • the porous body 2 is widely sucked from the side surface 23 and the opposite surface 21, sufficient suction can be obtained from each hole of the suction surface 20, so that the object O is sufficiently sucked on the suction surface 20.
  • the porous body 2 contains carbon
  • the porous body 2 functions as a cartridge for electrostatically forming a powder material. Therefore, the powder material (object O) is uniformly formed (placed) on the metal foil (not shown) placed on the adsorption surface 20 of the porous body 2 by electrostatic film formation. It is not necessary to move the powder material formed in the film to the adsorption surface 20, and the collapse of the powder material due to such movement is prevented.
  • the user presses the object O toward the suction surface 20 by the pressurizing pin 12 by projecting the pressurizing pin 12 from the main body 15 of the pressurizing machine 10. Due to this pressurization, the elastic member 3 is elastically deformed, and the opposite surface 21 of the porous body 2 is received by the receiving surface 51 of the frame body 5. At this time, a reaction force is generated on the object O from the receiving surface 51 via the porous body 2.
  • the opposite surface 21 of the porous body 2 and the receiving surface 51 are both flat (preferably having a surface roughness of 12.5 or less), they occur in the object O from the receiving surface 51 via the porous body 2.
  • the reaction force is also uniform.
  • the object O is a powder material because the pore diameter is 50 ⁇ m or less and / or the surface roughness of the adsorption surface 20 is 12.5 or less, the powder material (object O) is pressed by pressure. Even if the suction surface 20 slides and spreads, the surface of the powder material in contact with the suction surface 20 is not roughened, and high accuracy is maintained.
  • the object O is uniformly sucked by the suction surface 20 and is porous to the pressurized object O. Since the reaction force from the body 2 becomes uniform, the object O can be held in a state suitable for pressurizing.
  • the reaction force is maintained more uniformly, so that the object O is pressed. It can be kept in a more suitable state.
  • the elastic member 3 and the frame body 5 are integrated, suction leakage does not occur between the elastic member 3 and the frame body 5, and as a result, the object O is on the suction surface 20. Since it is more uniformly adsorbed, the object O can be kept in a more suitable state by pressurizing it.
  • the pore diameter is 50 ⁇ m or less and / or the surface roughness of the adsorption surface 20 is 12.5 or less, when the object O is a powder material, the surface of the powder material in contact with the adsorption surface 20. Is not disturbed, so that the accuracy of the object O formed by the pressurization can be improved.
  • the porous body 2 contains carbon, the porous body 2 functions as a cartridge for electrostatically forming a powder material on a metal foil, so that the separately formed powder material (object) It is not necessary to move the O) to the suction surface 20, and as a result, the collapse of the powder material due to such movement is prevented, and the accuracy of the powder material (object O) formed by the pressurization is improved. Can be done. [Embodiment 2]
  • the suction suction table 1 for pressurization according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 8.
  • the elastic member 3 and its vicinity which have a different configuration from that of the first embodiment, will be described, and the same configurations as those of the first embodiment will be designated by the same reference numerals. The explanation is omitted.
  • the pressurizing device 100 only the pressurizing suction table 1 provided in the pressurizing device 100 differs between the first embodiment and the second embodiment. Therefore, in the following, the description of the pressurizing device 100 will be omitted.
  • the frame body 5 of the pressure suction table 1 according to the second embodiment has a support member 8 attached to the porous body 2.
  • the support member 8 is arranged so as to be flush with the adsorption surface 20 of the porous body 2.
  • the elastic member 3 of the pressure suction table 1 is a spring 30 and / or rubber that connects the support member 8 and the receiving surface 51 of the frame body 5. That is, the elastic member 3 (spring 30 and / or rubber) of the pressurizing suction table 1 according to the second embodiment is indirectly provided on the porous body 2 (via the support member 8). Is. In FIGS. 5 to 8 and the following, the elastic member 3 will be described as a spring 30 for the sake of simplicity.
  • the member (elastic member 3) attached to the porous body 2 is bent by pressure, but in the second embodiment, as shown in FIG. 6, the porous body 2 is formed.
  • the attached member (support member 8) does not bend due to pressure and moves according to the porous body 2. Therefore, it is preferable to provide a sealing material 9 such as an O-ring that suppresses leakage of suction between the side plate 53 of the frame body 5 and the support member 8.
  • the arrangement of the spring 30 in a plan view is such that the reaction force generated in the object O is made uniform until the opposite surface 21 is received by the receiving surface 51. Examples of this preferred arrangement are shown in FIGS. 7 and 8. As an example, as shown in FIG. 7, it is preferable to arrange the springs 30 at the four corners of the support member 8 in a plan view. As another example, as shown in FIG. 8, it is preferable to arrange adjacent springs 30 at equal intervals s in a plan view.
  • the member (support member 8) attached to the porous body 2 is not bent by pressurization and is porous. Since it moves according to the body 2, the object O can be kept in a more suitable state by pressurizing it.
  • the reaction force from the porous body 2 to the pressurized object O is received until the opposite surface 21 is received by the receiving surface 51. Is also uniform, so that the object O can be kept in a more suitable state by pressurizing it.
  • the plan view of the frame body 5 and the porous body 2 is described as a rectangle, but the plan view is not limited to this, and other shapes such as a circle may be used.
  • the opposite surface 21 and the receiving surface 51 are both flat and the suction port 54 is formed on the side plate 53 of the frame body 5, but the present invention is limited to this. It is not something that will be done.
  • a convex portion 57 may be formed on the receiving surface 51 of the frame body 5, and the opposite surface 21 may have an uneven shape that matches the receiving surface 51 (including the convex portion 57).
  • the rigidity of the portion 27 (the portion having a small thickness) received by the convex portion 57 is high, and the portion 28 (the portion having a large thickness) received by the receiving surface 51 other than the convex portion 57 is high.
  • the rigidity of the portion) is low, and as a result, when the opposite surface 21 of the porous body 2 is received by the receiving surface 51, the porous body 2 (27, 28) to the object O to be pressed is pressed. It suffices if it is configured so that the reaction force of is uniform. Even if the rigidity of the portion 27 (small thickness portion) received by the convex portion 57 is low and the rigidity of the portion 28 (large thickness portion) received by the receiving surface 51 other than the convex portion 57 is high, the result is obtained. As a result, when the opposite surface 21 of the porous body 2 is received by the receiving surface 51, the reaction force from the porous body 2 (27, 28) to the pressurized object O becomes uniform. All you need is. If the reaction force from the porous body 2 to the pressurized object O is configured to be uniform, as shown in FIG. 9, the suction port 54 has a convex portion 57 or the like. It may be formed in.
  • first and second embodiments are exemplary in all respects and are not restrictive.
  • the scope of the present invention is shown by the scope of claims rather than the above description, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.
  • the configurations described in the above-described embodiments and examples are arbitrary configurations and can be appropriately deleted or changed. Is.

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Abstract

加圧用吸着台（１）は、対象物（Ｏ）が載置され得る吸着面（２０）を有する多孔質体（２）と、多孔質体（２）に直接的に設けられた弾性部材（３）と、弾性部材（３）を介して多孔質体（２）を支持する枠体（５）とを備える。多孔質体（２）と枠体（５）との間には、吸引空間（４）が形成されている。加圧用吸着台（１）は、吸引空間（４）を吸引することで吸着面（２０）に対象物（Ｏ）を吸着させ得る吸引器（６）を備える。多孔質体（２）は、吸着面（２０）の反対側に位置する反対面（２１）を有する。枠体（５）は、吸着面（２０）に載置された対象物（Ｏ）の吸着面（２０）への加圧により弾性部材（３）が弾性変形した際に反対面（２１）を受ける受け面（５１）を有する。加圧用吸着台（１）は、反対面（２１）が受け面（５１）で受けられた際に、加圧されている対象物（Ｏ）への多孔質体（２）からの反力が均一になるように構成されている。

Description

加圧用吸着台およびこれを具備する加圧装置
　本発明は、加圧用吸着台およびこれを具備する加圧装置に関するものである。
　吸着台は、薄膜などの対象物が載置される吸着面を有し、この吸着面から対象物を吸引することで、当該対象物を吸着面に吸着させるものである。吸着面に吸着されている対象物は、吸着面に平坦状に保持されている。そして、前記吸引が停止されると、前記対象物の保持が解除されることにより、当該対象物が吸着面に載置されているだけの状態、すなわち、当該対象物を他へ移動させるのに適した状態になる。
　このような吸着台を発展させたものとして、特開２００５－２０５５０７号公報（以下、特許文献１）に記載されているように、保持されている対象物を確実に平坦状に保持する構成が提案されている。また、特開平５－３４４２８４号公報（以下、特許文献２）に記載されているように、吸着台に保持されている対象物の撮影に適した構成も提案されている。
　しかしながら、前記特許文献１に記載の構成では、当該特許文献１の図４および図５に示すように、対象物（半導体ウエハＷ）の下方に載置部１１を介して凸部１８ａがあるので、当該対象物を上方から加圧すれば、加圧による圧力ムラが当該対象物に生ずることになる。具体的に説明すると、対象物は、凸部１８ａの上方に位置する部分で、加圧により対象物の受ける圧力が他の部分より高くなる。このような圧力ムラが生ずれば、対象物の加圧による加工の精度が低下してしまう。したがって、前記特許文献１に記載の構成は、加圧用として適していない。
　また、前記特許文献２に記載の構成では、当該特許文献２の図３に示すように、対象物（マスクフィルム）を載置する多孔質板４１が、平坦なガラス板４２の上に配置されているので、前述した加圧による圧力ムラが抑えられる。しかしながら、前記特許文献２に記載の構成では、多孔質板４１の側面に取り付けたノズル４４から吸引しているので、当該側面に近い位置である多孔質板４１の外周部で、吸引による吸着力が他の部分より高くなり、吸着ムラが生ずる。この場合、当該対象物が多孔質板４１に適切に保持されなくなってしまう。したがって、前記特許文献２に記載の構成も、加圧用として適していない。
　そこで、本発明は、対象物を加圧するのに適した状態に保持し得る加圧用吸着台およびこれを具備する加圧装置を提供することを目的とする。
　前記課題を解決するため、第１の発明に係る加圧用吸着台は、対象物が載置され得る吸着面を有する多孔質体と、
　前記多孔質体に直接的または間接的に設けられた弾性部材と、
　前記弾性部材を介して多孔質体を支持する枠体と、
　前記多孔質体と枠体との間に形成された吸引空間と、
　前記吸引空間を吸引することで吸着面に対象物を吸着させ得る吸引器とを備え、
　前記多孔質体が、前記吸着面の反対側に位置する反対面を有し、
　前記枠体が、前記吸着面に載置された対象物の当該吸着面への加圧により弾性部材が弾性変形した際に反対面を受ける受け面を有し、
　前記反対面が受け面で受けられた際に、加圧されている対象物への多孔質体からの反力が均一になるように構成されているものである。
　また、第２の発明に係る加圧用吸着台は、第１の発明に係る加圧用吸着台において、前記多孔質体の反対面、および、当該反対面を受ける枠体の受け面が、いずれも平坦であり、
　前記枠体が、前記受け面以外の位置に形成された、吸引空間に連通する吸引口を有し、
　前記吸引器が、前記吸引口に接続されているものである。
　さらに、第３の発明に係る加圧用吸着台は、第１または第２の発明に係る加圧用吸着台における多孔質体が、側面を有し、
　前記多孔質体の側面および反対面が、前記吸引空間に面するものである。
　加えて、第４の発明に係る加圧用吸着台は、第１または第２の発明に係る加圧用吸着台における弾性部材が、前記枠体と一体であるとともに多孔質体に取り付けられた部材である。
　また、第５の発明に係る加圧用吸着台は、第１または第２の発明に係る加圧用吸着台における枠体が、前記多孔質体に取り付けられた支持部材を有し、
　前記弾性部材が、前記支持部材および枠体の受け面を接続するバネおよび／またはゴムである。
　また、第６の発明に係る加圧用吸着台は、第１または第２の発明に係る加圧用吸着台における多孔質体が、カーボンを含有するものである。
　また、第７の発明に係る加圧装置は、第１または第２の発明に係る加圧用吸着台と、
　前記加圧用吸着台の吸着面に載置された対象物を当該吸着面に向けて加圧する加圧機とを具備するものである。
　前記加圧用吸着台によると、前記対象物を加圧するのに適した状態に保持することができる。
本発明の実施の形態１に係る加圧用吸着台を中央で横断した断面斜視図である。 同加圧用吸着台に載置された対象物を加圧した状態を示す断面斜視図である。 同加圧用吸着台を具備する加圧装置の断面図である。 同加圧装置で対象物を加圧した状態を示す断面図である。 本発明の実施の形態２に係る加圧用吸着台を中央で横断した断面斜視図である。 同加圧用吸着台に載置された対象物を加圧した状態を示す断面斜視図である。 同加圧用吸着台におけるバネの配置を示す平面図である。 同加圧用吸着台におけるバネの他の配置を示す平面図である。 本発明の他の実施の形態に係る加圧用吸着台の断面図である。
　以下、本発明の実施の形態１および２に係る加圧用吸着台、これを具備する加圧装置およびこれを具備する加圧装置について、図面に基づき説明する。本発明の実施の形態１および２に係る加圧用吸着台は、いずれも、加圧する対象物を負圧（吸引）による吸着で保持するものである。
［実施の形態１］
　図１に示すように、本実施の形態１に係る加圧用吸着台１は、対象物Ｏが載置され得る吸着面２０を有する多孔質体２と、この多孔質体２に直接的に設けられた弾性部材３と、この弾性部材３を介して多孔質体２を支持する枠体５とを備える。前記多孔質体２と枠体５との間には、吸引空間４が形成されている。また、前記加圧用吸着台１は、前記吸引空間４を吸引することで吸着面２０に対象物Ｏを吸着させ得る吸引器６を備える。前記多孔質体２は、前記吸着面２０の反対側に位置する反対面２１を有する。図２に示すように、前記枠体５は、前記吸着面２０に載置された対象物Ｏが当該吸着面２０に向けて加圧されることで、前記弾性部材３が弾性変形した際に、前記反対面２１を受ける受け面５１を有する。前記加圧用吸着台１は、前記反対面２１が受け面５１で受けられた際に、加圧されている対象物Ｏへの多孔質体２からの反力が均一になるように構成されている。
　前記多孔質体２は、図１に示すように、前記吸着面２０および反対面２１を有し、前記枠体５との間に吸引空間４が形成され、且つ、前記枠体５の受け面５１で受けられると対象物Ｏへの均一な反力を付与するものであれば特に制限されない。また、前記多孔質体２は、多数の孔を有する材料（セラミックなど）から構成されるものである。本発明の実施の形態１では（後述する実施の形態２でも）、好ましい形態として、前記多孔質体２が、吸着面２０および反対面２１をそれぞれ上面および下面とし、側面２３を有する直方体の例を示す。この直方体の多孔質体２は、その側面２３において、一部分が弾性部材３に取り付けられ、弾性部材３が取り付けられていない部分が吸引空間４に面している。また、前記多孔質体２は、前記反対面２１が平坦であるとともに吸引空間４に面している。さらに、前記多孔質体２は、前記吸着面２０が弾性部材３および枠体５と面一に配置されている。なお、前記平坦な反対面２１は、表面粗さが１２．５以下（Ｒａ≦１２．５）であることが好ましい。
　前記対象物Ｏが粉体材料である場合の好ましい多孔質体２として、孔径が５０μｍ以下（φ≦５０μｍ）、または、吸着面２０の表面粗さが１２．５以下（Ｒａ≦１２．５）である。このような孔径または表面粗さであれば、前記加圧により粉体材料（対象物Ｏ）が滑りながら拡がっても、前記吸着面２０に接する粉体材料の面を荒らさないからである。勿論、前記孔径および表面粗さの両方を満たすことが、より好ましい。また、前記多孔質体２は、カーボンを含有することが好ましく、カーボンからなることがより好ましい。これにより、前記多孔質体２は、粉体材料を静電成膜する際のカートリッジとして機能するからである。前記対象物Ｏは、粉体材料の単体に限られず、金属箔などに粉体材料を吸着させたものでもよい。この場合も、加圧により吸着面２０の表面粗さが金属箔を介して粉体材料に転写されるので、当該表面粗さが１２．５以下（Ｒａ≦１２．５）であることが好ましい。
　前記弾性部材３は、前記多孔質体２に直接的に設けられ、且つ、前記加圧により反対面２１が受け面５１で受けられるまで弾性変形するものであれば特に制限されない。本発明の実施の形態１では、好ましい形態として、前記弾性部材３が、前記枠体５と一体であるとともに多孔質体２に取り付けられた部材である例を示す。ここで、前記弾性部材３の弾性係数Ｅは、前記加圧による力Ｆ（図２参照）を前記反対面２１と受け面５１との隙間ｄ（図１参照）で除した値以下である（Ｅ≦Ｆ／ｄ）。このような弾性係数Ｅであれば、前記弾性部材３は、前記加圧により反対面２１が受け面５１で受けられるまで弾性変形する。
　前記枠体５は、図１に示すように、前記多孔質体２との間に吸引空間４が形成され、且つ、前記反対面２１を受ける受け面５１を有するものであれば特に制限されない。本発明の実施の形態１では（後述する実施の形態２でも）、好ましい形態として、前記枠体５が、上面が平坦な受け面５１となる底板５２と、この底板５２の外縁から立ち上がる側板５３とを有する例を示す。これらの側板５３の上部に、前記弾性部材３が取り付けられている。前記吸引空間４は、これらの側板５３の内面および底板５２の上面（受け面５１）と、前記多孔質体２とで囲われる空間である。これらの側板５３のうち１枚は、前記吸引空間４に連通する吸引口５４が形成されている。前記吸引器６は、この吸引口５４にパイプ７またはホースなどを介して接続されている。なお、前記平坦な受け面５１は、表面粗さが１２．５以下（Ｒａ≦１２．５）であることが好ましい。
　前記吸引器６は、前記吸引空間４を吸引することで吸着面２０に対象物Ｏを吸着させ得るものであれば特に制限されないが、例えば排気ポンプである。この排気ポンプは、前記加圧の際に、前記吸着面２０が対象物Ｏを適切に吸着する程度の性能を有するものである。
　次に、前記加圧用吸着台１を具備する加圧装置１００について図３および図４に基づき説明する。
　図３および図４に示すように、前記加圧装置１００は、前記加圧用吸着台１と、前記加圧用吸着台１の吸着面２０に載置された対象物Ｏを当該吸着面２０に向けて加圧する加圧機１０とを具備する。
　前記加圧機１０は、例えば、固定式の本体１５と、この本体１５に対して出退する加圧ピン１２とを備える。前記加圧ピン１２において、前記対象物Ｏを加圧する面は吸着面２０に平行であり、出退する方向は吸着面２０に直交する。
　以下、前記加圧用吸着台１およびこれを具備する加圧装置１００の製造方法について説明する。
　前記加圧用吸着台１の製造では、図３に示すように、多孔質体２の吸着面２０、弾性部材３の上面、および、枠体５における側板５３の上端面が面一になるように、多孔質体２、弾性部材３および枠体５を接続する。一方で、枠体５の側板５３に形成された吸引口５４に、パイプ７などを介して吸引器６を接続する。これにより、前記加圧用吸着台１が製造される。
　前記加圧装置１００の製造では、図４に示すように、加圧機１０の本体１５から突出させた加圧ピン１２が多孔質体２に載置された対象物Ｏを加圧する位置になるように、前記加圧用吸着台１に対して加圧機１０を配置する。これにより、前記加圧装置１００が製造される。
　以下、前記加圧用吸着台１およびこれを具備する加圧装置１００の使用方法について説明する。
　図３に示すように、使用者は、加圧用吸着台１の吸着面２０に対象物Ｏを載置し、一方で、吸引器６により吸引空間４を吸引する。これにより、この吸引空間４に面する側面２３および反対面２１から多孔質体２が広く吸引されるので、吸着面２０の各孔から均一に吸引され、その結果、吸着面２０で対象物Ｏが均一に吸着される。さらに、多孔質体２が側面２３および反対面２１から広く吸引されることで、吸着面２０の各孔から十分な吸引が得られるので、吸着面２０で対象物Ｏが十分に吸着される。ここで、多孔質体２がカーボンを含有するので、多孔質体２が粉体材料を静電成膜する際のカートリッジとして機能する。このため、多孔質体２の吸着面２０に載置された金属箔（図示省略）に静電成膜により粉体材料（対象物Ｏ）が均一に成膜（載置）されるので、別途に成膜した粉体材料を吸着面２０に移動させる必要がなく、このような移動による粉体材料の崩れが防止される。
　そして、図４に示すように、使用者は、加圧機１０の本体１５から加圧ピン１２を突出させることにより、加圧ピン１２で対象物Ｏを吸着面２０に向けて加圧する。この加圧により、弾性部材３が弾性変形して、多孔質体２の反対面２１が枠体５の受け面５１で受けられる。この際に、受け面５１から多孔質体２を介して対象物Ｏに反力が生じる。ここで、多孔質体２の反対面２１と受け面５１とがいずれも平坦（好ましくは表面粗さが１２．５以下）なので、受け面５１から多孔質体２を介して対象物Ｏに生ずる反力も均一になる。なお、孔径が５０μｍ以下、および／または、吸着面２０の表面粗さが１２．５以下であることにより、対象物Ｏが粉体材料の場合、加圧により粉体材料（対象物Ｏ）が吸着面２０を滑りながら拡がっても、前記吸着面２０に接する粉体材料の面が荒らされることなく、高い精度が維持される。
　このように、前記加圧用吸着台１およびこれを具備する加圧装置１００によると、前記対象物Ｏが吸着面２０で均一に吸引されるとともに、前記加圧されている対象物Ｏへの多孔質体２からの反力が均一になるので、前記対象物Ｏを加圧するのに適した状態に保持することができる。
　また、前記反対面２１および受け面５１がいずれも平坦（好ましくは表面粗さが１２．５以下）であることにより、前記反力がより均一に維持されるので、前記対象物Ｏを加圧するのにより適した状態に保持することができる。
　さらに、前記弾性部材３と枠体５とが一体であることにより、前記弾性部材３と枠体５との間から吸引の漏れが発生せず、その結果、前記対象物Ｏが吸着面２０でより均一に吸着されるので、前記対象物Ｏを加圧するのにより適した状態に保持することができる。
　加えて、孔径が５０μｍ以下、および／または、吸着面２０の表面粗さが１２．５以下であることにより、対象物Ｏが粉体材料の場合、前記吸着面２０に接する粉体材料の面が荒らされないので、前記加圧により形成する対象物Ｏの精度を高めることができる。
　また、多孔質体２がカーボンを含有することにより、多孔質体２が金属箔に粉体材料を静電成膜する際のカートリッジとして機能するので、別途に成膜した粉体材料（対象物Ｏ）を吸着面２０に移動させる必要がなく、その結果、このような移動による粉体材料の崩れが防止されて、前記加圧により形成する粉体材料（対象物Ｏ）の精度を高めることができる。
［実施の形態２］
　以下、本発明の実施の形態２に係る加圧用吸着台１について図５～図８に基づき説明する。本実施の形態２では、前記実施の形態１と異なる構成である弾性部材３およびその近傍に着目して説明するとともに、前記実施の形態１と同一の構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。なお、加圧装置１００については、前記実施の形態１と本実施の形態２で当該加圧装置１００が具備する加圧用吸着台１のみ異なる。したがって、以下では、加圧装置１００の説明を省略する。
　図５および図６に示すように、本実施の形態２に係る加圧用吸着台１の枠体５は、多孔質体２に取り付けられた支持部材８を有する。図５に示すように、この支持部材８は、多孔質体２の吸着面２０と面一になるように配置される。前記加圧用吸着台１の弾性部材３は、前記支持部材８および枠体５の受け面５１を接続するバネ３０および／またはゴムである。すなわち、本実施の形態２に係る加圧用吸着台１の弾性部材３（バネ３０および／またはゴム）は、前記多孔質体２に間接的に（前記支持部材８を介して）設けられたものである。なお、図５～図８および以下において、説明を簡単にするために、前記弾性部材３はバネ３０として説明する。
　前記実施の形態１では、前記多孔質体２に取り付けられた部材（弾性部材３）が加圧により撓んだが、本実施の形態２では、図６に示すように、前記多孔質体２に取り付けられた部材（支持部材８）が加圧により撓まず多孔質体２に従って移動する。このため、前記枠体５の側板５３と支持部材８との間に、前記吸引の漏れを抑えるＯリングなどのシール材９を設けることが好ましい。
　前記バネ３０の平面視における配置は、前記反対面２１が受け面５１で受けられるまでの間も対象物Ｏに生じる反力を均一にするものであることが好ましい。この好ましい配置の例を、図７および図８に示す。一例として図７に示すように、平面視において、前記支持部材８の四隅にバネ３０を配置することが好ましい。他の例として図８に示すように、平面視において、隣り合うバネ３０を等間隔ｓに配置することが好ましい。
　このように、本実施の形態２に係る加圧用吸着台１およびこれを具備する加圧装置１００によると、前記多孔質体２に取り付けられた部材（支持部材８）が加圧により撓まず多孔質体２に従って移動するので、前記対象物Ｏを加圧するのにより適した状態に保持することができる。
　また、前述したバネ３０（および／またはゴム）の好ましい配置により、加圧されている対象物Ｏへの多孔質体２からの反力が、反対面２１が受け面５１で受けられるまでの間も均一になるので、対象物Ｏを加圧するのにより適した状態に保持することができる。
　ところで、前記実施の形態１および２では、枠体５および多孔質体２の平面視が矩形として説明したが、これに限定されるものではなく、円形など他の形状でもよい。
　また、前記実施の形態１および２では、前記反対面２１および受け面５１がいずれも平坦であり、前記枠体５の側板５３に吸引口５４が形成されているとして説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図９に示すように、前記枠体５の受け面５１に凸部５７を形成し、前記反対面２１が受け面５１（凸部５７を含む）に一致する凸凹の形状でもよい。この場合、前記多孔質体２において、前記凸部５７で受けられる部分２７（厚さの小さい部分）の剛性が高く、当該凸部５７以外の受け面５１で受けられる部分２８（厚さの大きい部分）の剛性が低く、結果として、前記多孔質体２の反対面２１が受け面５１で受けられた際に、加圧されている対象物Ｏへの多孔質体２（２７，２８）からの反力が均一になるように構成されていればよい。前記凸部５７で受けられる部分２７（厚さの小さい部分）の剛性が低く、当該凸部５７以外の受け面５１で受けられる部分２８（厚さの大きい部分）の剛性が高くても、結果として、前記多孔質体２の反対面２１が受け面５１で受けられた際に、加圧されている対象物Ｏへの多孔質体２（２７，２８）からの反力が均一になるのであればよい。なお、加圧されている対象物Ｏへの多孔質体２からの反力が均一になるように構成されているのであれば、図９に示すように、前記吸引口５４が凸部５７などに形成されていてもよい。
　さらに、前記実施の形態１および２は、全ての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は、前述した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。前記実施の形態および実施例で説明した構成のうち「課題を解決するための手段」での第１の発明として記載した構成以外については、任意の構成であり、適宜削除および変更することが可能である。

Claims (7)

  1. 　対象物が載置され得る吸着面を有する多孔質体と、
    　前記多孔質体に直接的または間接的に設けられた弾性部材と、
    　前記弾性部材を介して多孔質体を支持する枠体と、
    　前記多孔質体と枠体との間に形成された吸引空間と、
    　前記吸引空間を吸引することで吸着面に対象物を吸着させ得る吸引器とを備え、
    　前記多孔質体が、前記吸着面の反対側に位置する反対面を有し、
    　前記枠体が、前記吸着面に載置された対象物の当該吸着面への加圧により弾性部材が弾性変形した際に反対面を受ける受け面を有し、
    　前記反対面が受け面で受けられた際に、加圧されている対象物への多孔質体からの反力が均一になるように構成されていることを特徴とする加圧用吸着台。
  2. 　前記多孔質体の反対面、および、当該反対面を受ける枠体の受け面が、いずれも平坦であり、
    　前記枠体が、前記受け面以外の位置に形成された、吸引空間に連通する吸引口を有し、
    　前記吸引器が、前記吸引口に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の加圧用吸着台。
  3. 　前記多孔質体が、側面を有し、
    　前記多孔質体の側面および反対面が、前記吸引空間に面することを特徴とする請求項１または２に記載の加圧用吸着台。
  4. 　前記弾性部材が、前記枠体と一体であるとともに多孔質体に取り付けられた部材であることを特徴とする請求項１または２に記載の加圧用吸着台。
  5. 　前記枠体が、前記多孔質体に取り付けられた支持部材を有し、
    　前記弾性部材が、前記支持部材および枠体の受け面を接続するバネおよび／またはゴムであることを特徴とする請求項１または２に記載の加圧用吸着台。
  6. 　前記多孔質体が、カーボンを含有することを特徴とする請求項１または２に記載の加圧用吸着台。
  7. 　請求項１または２に記載の加圧用吸着台と、
    　前記加圧用吸着台の吸着面に載置された対象物を当該吸着面に向けて加圧する加圧機とを具備することを特徴とする加圧装置。
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