KR20230028229A - 가압용 흡착대 및 이를 구비하는 가압장치 - Google Patents

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KR20230028229A
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겐지 오카모토
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히다치 조센 가부시키가이샤
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Abstract

가압용 흡착대(1)는, 대상물(O)이 재치될 수 있는 흡착면(20)을 갖는 다공질체(2)와, 다공질체(2)에 직접적으로 설치된 탄성부재(3)와, 탄성부재(3)를 통하여 다공질체(2)를 지지하는 프레임체(5)를 구비한다. 다공질체(2)와 프레임체(5)의 사이에는 흡인공간(4)이 형성되어 있다. 가압용 흡착대(1)는, 흡인공간(4)을 흡인함으로써 흡착면(20)에 대상물(O)을 흡착시킬 수 있는 흡인기(6)를 구비한다. 다공질체(2)는, 흡착면(20)의 반대측에 위치하는 반대면(21)을 갖는다. 프레임체(5)는, 흡착면(20)에 재치된 대상물(O)의 흡착면(20)에 대한 가압에 의하여 탄성부재(3)가 탄성변형되었을 때에 반대면(21)을 수용하는 수용면(51)을 갖는다. 가압용 흡착대(1)는, 반대면(21)이 수용면(51)에 의하여 수용되었을 때에, 가압되어 있는 대상물(O)에 대한 다공질체(2)로부터의 반력이 균일하게 되도록 구성되어 있다.

Description

가압용 흡착대 및 이를 구비하는 가압장치
본 발명은, 가압용 흡착대(加壓用 吸着臺) 및 이를 구비하는 가압장치(加壓裝置)에 관한 것이다.
흡착대는, 박막(薄膜) 등의 대상물이 재치되는 흡착면을 갖고, 이 흡착면으로부터 대상물을 흡인함으로써, 상기 대상물을 흡착면에 흡착시키는 것이다. 흡착면에 흡착되어 있는 대상물은, 흡착면에 평탄(平坦)모양으로 지지되어 있다. 그리고 상기 흡인이 정지되면, 상기 대상물의 지지가 해제됨으로써, 상기 대상물이 흡착면에 재치되어 있을 뿐인 상태, 즉 상기 대상물을 다른 곳으로 이동시키는데 적합한 상태가 된다.
이러한 흡착대를 발전시킨 것으로서, 일본국 공개특허 특개2005-205507호 공보(이하, 특허문헌1)에 기재되어 있는 바와 같이, 지지되어 있는 대상물을 확실하게 평탄모양으로 지지하는 구성이 제안되어 있다. 또한, 일본국 공개특허 특개평5-344284호 공보(이하, 특허문헌2)에 기재되어 있는 바와 같이, 흡착대에 지지되어 있는 대상물의 촬영에 적합한 구성도 제안되어 있다.
그러나 상기 특허문헌1에 기재되어 있는 구성에서는, 상기 특허문헌1의 도4 및 도5에 나타나 있는 바와 같이, 대상물(반도체 웨이퍼(W))의 하방(下方)에 재치부(11)를 사이에 두고 볼록부(18a)가 있기 때문에, 상기 대상물을 상방으로부터 가압하면, 가압에 의한 압력 불균일이 상기 대상물에 발생하게 된다. 구체적으로 설명하면, 대상물은, 볼록부(18a)의 상방(上方)에 위치하는 부분에서, 가압에 의하여 대상물이 받는 압력이 다른 부분보다 높아진다. 이러한 압력 불균일이 발생하면, 대상물의 가압에 의한 가공의 정밀도가 저하되어 버린다. 따라서, 상기 특허문헌1에 기재되어 있는 구성은, 가압용으로서 적합하지 않다.
또한, 상기 특허문헌2에 기재되어 있는 구성에서는, 상기 특허문헌2의 도3에 나타나 있는 바와 같이, 대상물(마스크 필름)을 재치하는 다공질판(41)이, 평탄한 유리판(42)의 위에 배치되어 있기 때문에, 상기한 가압에 의한 압력 불균일이 억제될 수 있다. 그러나, 상기 특허문헌2에 기재되어 있는 구성에서는, 다공질판(41)의 측면에 부착한 노즐(44)로부터 흡인하고 있기 때문에, 상기 측면에 가까운 위치인 다공질판(41)의 외측 가장자리부에서, 흡인에 의한 흡착력이 다른 부분보다 높아져서, 흡착 불균일이 발생한다. 이 경우, 상기 대상물이 다공질판(41)에 적절하게 지지되지 않게 되어 버린다. 따라서 상기 특허문헌2에 기재되어 있는 구성도, 가압용으로서 적합하지 않다.
그래서, 본 발명은, 대상물을 가압하는데 적합한 상태로 지지할 수 있는 가압용 흡착대 및 이를 구비하는 가압장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 제1발명에 관한 가압용 흡착대는,
대상물이 재치될 수 있는 흡착면을 갖는 다공질체와,
상기 다공질체에 직접적 또는 간접적으로 설치된 탄성부재와,
상기 탄성부재를 통하여 다공질체를 지지하는 프레임체와,
상기 다공질체와 프레임체의 사이에 형성된 흡인공간과,
상기 흡인공간을 흡인함으로써 흡착면에 대상물을 흡착시킬 수 있는 흡인기를
구비하고,
상기 다공질체가, 상기 흡착면의 반대측에 위치하는 반대면을 갖고,
상기 프레임체가, 상기 흡착면에 재치된 대상물의 상기 흡착면에 대한 가압에 의하여 탄성부재가 탄성변형되었을 때에 반대면을 수용하는 수용면을 갖고,
상기 반대면이 수용면에 의하여 수용되었을 때에, 가압되어 있는 대상물에 대한 다공질체로부터의 반력이 균일하게 되도록 구성되어 있는 것이다.
또한, 제2발명에 관한 가압용 흡착대는,
제1발명에 관한 가압용 흡착대에 있어서,
상기 다공질체의 반대면 및 상기 반대면을 수용하는 프레임체의 수용면이, 모두 평탄하고,
상기 프레임체가, 상기 수용면 이외의 위치에 형성되고 흡인공간과 연통하는 흡인구를 갖고,
상기 흡인기가 상기 흡인구에 접속되어 있는 것이다.
또한, 제3발명에 관한 가압용 흡착대는,
제1 또는 제2발명에 관한 가압용 흡착대에 있어서의 다공질체가, 측면을 갖고,
상기 다공질체의 측면 및 반대면이, 상기 흡인공간에 면하는 것이다.
추가하여, 제4발명에 관한 가압용 흡착대는,
제1 또는 제2발명에 관한 가압용 흡착대에 있어서의 탄성부재가, 상기 프레임체와 일체임과 아울러 다공질체에 부착된 부재이다.
또한, 제5발명에 관한 가압용 흡착대는,
제1 또는 제2발명에 관한 가압용 흡착대에 있어서의 프레임체가, 상기 다공질체에 부착된 지지부재를 갖고,
상기 탄성부재가, 상기 지지부재 및 프레임체의 수용면을 접속하는 스프링 및/또는 고무이다.
또한, 제6발명에 관한 가압용 흡착대는,
제1 또는 제2발명에 관한 가압용 흡착대에 있어서의 다공질체가, 카본을 함유하는 것이다.
또한, 제7발명에 관한 가압장치는,
제1 또는 제2발명에 관한 가압용 흡착대와,
상기 가압용 흡착대의 흡착면에 재치된 대상물을 상기 흡착면을 향하여 가압하는 가압기를 구비하는 것이다.
상기 가압용 흡착대에 의하면, 상기 대상물을 가압하는데 적합한 상태로 지지할 수 있다.
[도1] 본 발명의 실시형태1에 관한 가압용 흡착대를 중앙에서 횡방향으로 절단한 단면사시도이다.
[도2] 동(同) 가압용 흡착대에 재치된 대상물을 가압한 상태를 나타내는 단면사시도이다.
[도3] 동 가압용 흡착대를 구비하는 가압장치의 단면도이다.
[도4] 동 가압장치에 의하여 대상물을 가압한 상태를 나타내는 단면도이다.
[도5] 본 발명의 실시형태2에 관한 가압용 흡착대를 중앙에서 횡방향으로 절단한 단면사시도이다.
[도6] 동 가압용 흡착대에 재치된 대상물을 가압한 상태를 나타내는 단면사시도이다.
[도7] 동 가압용 흡착대에 있어서의 스프링의 배치를 나타내는 평면도이다.
[도8] 동 가압용 흡착대에 있어서의 스프링의 다른 배치를 나타내는 평면도이다.
[도9] 본 발명의 다른 실시형태에 관한 가압용 흡착대의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태1 및 2에 관한 가압용 흡착대 및 이를 구비하는 가압장치에 대하여, 도면에 의거하여 설명한다. 본 발명의 실시형태1 및 2에 관한 가압용 흡착대는 모두 가압하는 대상물을 부압(흡인)에 의한 흡착에 의하여 지지하는 것이다.
[실시형태1]
도1에 나타나 있는 바와 같이, 본 실시형태1에 관한 가압용 흡착대(加壓用 吸着臺)(1)는, 대상물(對象物)(O)이 재치될 수 있는 흡착면(吸着面)(20)을 갖는 다공질체(多孔質體)(2)와, 이 다공질체(2)에 직접적으로 설치된 탄성부재(彈性部材)(3)와, 이 탄성부재(3)를 통하여 다공질체(2)를 지지하는 프레임체(frame體)(5)를 구비한다. 상기 다공질체(2)와 프레임체(5)의 사이에는 흡인공간(吸引空間)(4)이 형성되어 있다. 또한, 상기 가압용 흡착대(1)는, 상기 흡인공간(4)을 흡인함으로써 흡착면(20)에 대상물(O)을 흡착시킬 수 있는 흡인기(吸引器)(6)를 구비한다. 상기 다공질체(2)는, 상기 흡착면(20)의 반대측에 위치하는 반대면(反對面)(21)을 갖는다. 도2에 나타나 있는 바와 같이, 상기 프레임체(5)는, 상기 흡착면(20)에 재치된 대상물(O)이 상기 흡착면(20)을 향하여 가압됨으로써, 상기 탄성부재(3)가 탄성변형되었을 때에, 상기 반대면(21)을 수용하는 수용면(受容面)(51)을 갖는다. 상기 가압용 흡착대(1)는, 상기 반대면(21)이 수용면(51)에 의하여 수용되었을 때에, 가압되어 있는 대상물(O)에 대한 다공질체(2)로부터의 반력(反力)이 균일하게 되도록 구성되어 있다.
상기 다공질체(2)는, 도1에 나타나 있는 바와 같이, 상기 흡착면(20) 및 반대면(21)을 갖고, 상기 프레임체(5)와의 사이에 흡인공간(4)이 형성되고, 또한 상기 프레임체(5)의 수용면(51)에 의하여 수용되면 대상물(O)에 대한 균일한 반력을 부여하는 것이라면 특별히 제한되지 않는다. 또한, 상기 다공질체(2)는, 다수의 구멍을 갖는 재료(세라믹 등)로 구성되는 것이다. 본 발명의 실시형태1에서는(후술하는 실시형태2에서도), 바람직한 형태로서, 상기 다공질체(2)가, 흡착면(20) 및 반대면(21)을 각각 상면(上面) 및 하면(下面)으로 하고, 측면(側面)(23)을 갖는 직육면체인 예를 나타낸다. 이 직육면체의 다공질체(2)는, 그 측면(23)에 있어서 일부분이 탄성부재(3)에 부착되고, 탄성부재(3)가 부착되어 있지 않는 부분이 흡인공간(4)에 면(面)하고 있다. 또한, 상기 다공질체(2)는, 상기 반대면(21)이 평탄함과 아울러 흡인공간(4)에 면하고 있다. 또한, 상기 다공질체(2)는, 상기 흡착면(20)이 탄성부재(3) 및 프레임체(5)와 하나의 평면을 이루도록 배치되어 있다. 또한, 상기 평탄한 반대면(21)은, 표면조도(表面粗度)가 12.5 이하(Ra≤12.5)인 것이 바람직하다.
상기 대상물(O)이 분체재료(粉體材料)인 경우의 바람직한 다공질체(2)로서, 구멍지름이 50μｍ 이하(φ≤50μm), 또는 흡착면(20)의 표면조도가 12.5 이하(Ra≤12.5)이다. 이러한 구멍지름 또는 표면조도라면, 상기 가압에 의하여 분체재료(대상물(O))가 미끄러지면서 넓어지더라도, 상기 흡착면(20)에 접하는 분체재료의 면을 거칠게 하지 않기 때문이다. 물론, 상기 구멍지름 및 표면조도의 양방(兩方)을 충족시키는 것이, 더 바람직하다. 또한, 상기 다공질체(2)는, 카본(carbon)을 함유하는 것이 바람직하고, 카본으로 이루어지는 것이 더 바람직하다. 이에 따라, 상기 다공질체(2)는, 분체재료를 정전성막(靜電成膜)할 때의 카트리지(cartridge)로서 기능하기 때문이다. 상기 대상물(O)은, 분체재료의 단체(單體)에 한정되지 않고, 금속박(金屬箔) 등에 분체재료를 흡착시킨 것이더라도 좋다. 이 경우도, 가압에 의하여 흡착면(20)의 표면조도가 금속박을 통하여 분체재료에 전사(轉寫)되기 때문에, 상기 표면조도가 12.5 이하(Ra≤12.5)인 것이 바람직하다.
상기 탄성부재(3)는, 상기 다공질체(2)에 직접적으로 설치되고, 또한 상기 가압에 의하여 반대면(21)이 수용면(51)에 의하여 수용될 때까지 탄성변형되는 것이라면 특별히 제한되지 않는다. 본 발명의 실시형태1에서는, 바람직한 형태로서, 상기 탄성부재(3)가 상기 프레임체(5)와 일체임과 아울러 다공질체(2)에 부착된 부재인 예를 나타낸다. 여기에서, 상기 탄성부재(3)의 탄성계수(彈性係數)(E)는, 상기 가압에 의한 힘(F)(도2를 참조)을 상기 반대면(21)과 수용면(51)의 간극(d)(도1을 참조)으로 나눈 값 이하이다(E≤F/d). 이러한 탄성계수(E)라면, 상기 탄성부재(3)는, 상기 가압에 의하여 반대면(21)이 수용면(51)에 의하여 수용될 때까지 탄성변형된다.
상기 프레임체(5)는, 도1에 나타나 있는 바와 같이, 상기 다공질체(2)와의 사이에 흡인공간(4)이 형성되고, 또한 상기 반대면(21)을 수용하는 수용면(51)을 갖는 것이라면 특별히 제한되지 않는다. 본 발명의 실시형태1에서는(후술하는 실시형태2에서도), 바람직한 형태로서, 상기 프레임체(5)가, 상면이 평탄한 수용면(51)으로 되는 바닥판(52)과 이 바닥판(52)의 외측 가장자리로부터 기립하는 측판(53)을 갖는 예를 나타낸다. 이들 측판(53)의 상부에, 상기 탄성부재(3)가 부착되어 있다. 상기 흡인공간(4)은, 이들 측판(53)의 내면 및 바닥판(52)의 상면(수용면(51))과, 상기 다공질체(2)에 의하여 둘러싸여지는 공간이다. 이들 측판(53) 중 1개는, 상기 흡인공간(4)과 연통(連通)하는 흡인구(吸引口)(54)가 형성되어 있다. 상기 흡인기(6)는, 이 흡인구(54)에 파이프(pipe)(7) 또는 호스(hose) 등을 통하여 접속되어 있다. 또한, 상기 평탄한 수용면(51)은, 표면조도가 12.5 이하(Ｒａ≤12.5)인 것이 바람직하다.
상기 흡인기(6)는, 상기 흡인공간(4)을 흡인함으로써 흡착면(20)에 대상물(O)을 흡착시킬 수 있는 것이라면 특별히 제한되지 않지만, 예를 들면 배기펌프(排氣pump)이다. 이 배기펌프는, 상기 가압 시에, 상기 흡착면(20)이 대상물(O)을 적절하게 흡착하는 정도의 성능을 갖는 것이다.
다음에, 상기 가압용 흡착대(1)를 구비하는 가압장치(加壓裝置)(100)에 대하여 도3 및 도4에 의거하여 설명한다.
도3 및 도4에 나타나 있는 바와 같이, 상기 가압장치(100)는, 상기 가압용 흡착대(1)와, 상기 가압용 흡착대(1)의 흡착면(20)에 재치된 대상물(O)을 상기 흡착면(20)을 향하여 가압하는 가압기(加壓機)(10)를 구비한다.
상기 가압기(10)는, 예를 들면, 고정식의 본체(本體)(15)와, 이 본체(15)에 대하여 출퇴(出退)하는 가압핀(加壓pin)(12)을 구비한다. 상기 가압핀(12)에 있어서, 상기 대상물(O)을 가압하는 면은 흡착면(20)과 평행(平行)하고, 출퇴하는 방향은 흡착면(20)과 직교(直交)한다.
이하, 상기 가압용 흡착대(1) 및 이를 구비하는 가압장치(100)의 제조방법에 대하여 설명한다.
상기 가압용 흡착대(1)의 제조에서는, 도3에 나타나 있는 바와 같이, 다공질체(2)의 흡착면(20), 탄성부재(3)의 상면 및 프레임체(5)에 있어서의 측판(53)의 상단면이 하나의 평면을 이루도록, 다공질체(2), 탄성부재(3) 및 프레임체(5)를 접속한다. 한편, 프레임체(5)의 측판(53)에 형성된 흡인구(54)에, 파이프(7) 등을 통하여 흡인기(6)를 접속한다. 이에 따라, 상기 가압용 흡착대(1)가 제조된다.
상기 가압장치(100)의 제조에서는, 도4에 나타나 있는 바와 같이, 가압기(10)의 본체(15)로부터 돌출시킨 가압핀(12)이 다공질체(2)에 재치된 대상물(O)을 가압하는 위치가 되도록, 상기 가압용 흡착대(1)에 대하여 가압기(10)를 배치한다. 이에 따라, 상기 가압장치(100)가 제조된다.
이하, 상기 가압용 흡착대(1) 및 이를 구비하는 가압장치(100)의 사용방법에 대하여 설명한다.
도3에 나타나 있는 바와 같이, 사용자는, 가압용 흡착대(1)의 흡착면(20)에 대상물(O)을 재치하고, 한편, 흡인기(6)에 의하여 흡인공간(4)을 흡인한다. 이에 따라, 이 흡인공간(4)에 면하는 측면(23) 및 반대면(21)으로부터 다공질체(2)가 넓게 흡인되기 때문에, 흡착면(20)의 각 구멍으로부터 균일하게 흡인되고, 그 결과, 흡착면(20)에 의하여 대상물(O)이 균일하게 흡착된다. 또한, 다공질체(2)가 측면(23) 및 반대면(21)으로부터 넓게 흡인됨으로써, 흡착면(20)의 각 구멍으로부터 충분한 흡인이 얻어지기 때문에, 흡착면(20)에 의하여 대상물(O)이 충분하게 흡착된다. 여기에서, 다공질체(2)가 카본을 함유하기 때문에, 다공질체(2)가 분체재료를 정전성막할 때의 카트리지로서 기능한다. 이 때문에, 다공질체(2)의 흡착면(20)에 재치된 금속박(도면에 나타내는 것은 생략한다)에 정전성막에 의하여 분체재료(대상물(O))가 균일하게 성막(재치)되므로, 별도로 성막한 분체재료를 흡착면(20)으로 이동시킬 필요가 없고, 이러한 이동에 의한 분체재료의 붕괴가 방지된다.
그리고 도4에 나타나 있는 바와 같이, 사용자는, 가압기(10)의 본체(15)로부터 가압핀(12)을 돌출시킴으로써, 가압핀(12)에 의하여 대상물(O)을 흡착면(20)을 향하여 가압한다. 이 가압에 의하여, 탄성부재(3)가 탄성변형되고, 다공질체(2)의 반대면(21)이 프레임체(5)의 수용면(51)에 의하여 수용된다. 이 때에, 수용면(51)으로부터 다공질체(2)를 통하여 대상물(O)에 반력이 발생한다. 여기에서, 다공질체(2)의 반대면(21)과 수용면(51)이 모두 평탄(바람직하게는, 표면조도가 12.5 이하)하기 때문에, 수용면(51)으로부터 다공질체(2)를 통하여 대상물(O)에 발생하는 반력도 균일하게 된다. 또한, 구멍지름이 50μｍ 이하 및/또는 흡착면(20)의 표면조도가 12.5 이하인 것에 의하여, 대상물(O)이 분체재료인 경우, 가압에 의하여 분체재료(대상물(O))가 흡착면(20)을 미끄러지면서 넓어지더라도, 상기 흡착면(20)에 접하는 분체재료의 면이 거칠어지지 않고, 높은 정밀도가 유지된다.
이와 같이 상기 가압용 흡착대(1) 및 이를 구비하는 가압장치(100)에 의하면, 상기 대상물(O)이 흡착면(20)에 의하여 균일하게 흡인됨과 아울러, 상기 가압되어 있는 대상물(O)에 대한 다공질체(2)로부터의 반력이 균일하게 되기 때문에, 상기 대상물(O)을 가압하는데 적합한 상태로 지지할 수 있다.
또한, 상기 반대면(21) 및 수용면(51)이 모두 평탄(바람직하게는 표면조도가 12.5 이하)한 것에 의하여, 상기 반력이 더 균일하게 유지되기 때문에, 상기 대상물(O)을 가압하는데 더 적합한 상태로 지지할 수 있다.
또한, 상기 탄성부재(3)와 프레임체(5)가 일체인 것에 의하여, 상기 탄성부재(3)와 프레임체(5) 사이로부터 흡인의 누설이 발생하지 않고, 그 결과, 상기 대상물(O)이 흡착면(20)에 의하여 더 균일하게 흡착되기 때문에, 상기 대상물(O)을 가압하는데 더 적합한 상태로 지지할 수 있다.
추가하여, 구멍지름이 50μｍ 이하 및/또는 흡착면(20)의 표면조도가 12.5 이하인 것에 의하여, 대상물(O)이 분체재료인 경우에, 상기 흡착면(20)에 접하는 분체재료의 면이 거칠어지지 않기 때문에, 상기 가압에 의하여 형성되는 대상물(O)의 정밀도를 높일 수 있다.
또한, 다공질체(2)가 카본을 함유함으로써, 다공질체(2)가 금속박에 분체재료를 정전성막할 때의 카트리지로서 기능하기 때문에, 별도로 성막한 분체재료(대상물(O))를 흡착면(20)으로 이동시킬 필요가 없고, 그 결과, 이러한 이동에 의한 분체재료의 붕괴가 방지되어, 상기 가압에 의하여 형성되는 분체재료(대상물(O))의 정밀도를 높일 수 있다.
[실시형태2]
이하, 본 발명의 실시형태2에 관한 가압용 흡착대(1)에 대하여 도5∼도8에 의거하여 설명한다. 본 실시형태2에서는, 상기 실시형태1과 다른 구성인 탄성부재(3) 및 그 근방에 착목하여 설명함과 아울러, 상기 실시형태1과 동일한 구성에 대하여는 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다. 또한, 가압장치(100)에 대하여는, 상기 실시형태1과 본 실시형태2에서 상기 가압장치(100)가 구비하는 가압용 흡착대(1)만 다르다. 따라서, 이하에서는, 가압장치(100)의 설명을 생략한다.
도5 및 도6에 나타나 있는 바와 같이, 본 실시형태2에 관한 가압용 흡착대(1)의 프레임체(5)는, 다공질체(2)에 부착된 지지부재(支持部材)(8)를 갖는다. 도5에 나타나 있는 바와 같이, 이 지지부재(8)는, 다공질체(2)의 흡착면(20)과 하나의 평면을 이루도록 배치된다. 상기 가압용 흡착대(1)의 탄성부재(3)는, 상기 지지부재(8) 및 프레임체(5)의 수용면(51)을 접속하는 스프링(spring)(30) 및/또는 고무(rubber)이다. 즉, 본 실시형태2에 관한 가압용 흡착대(1)의 탄성부재(3)(스프링(30) 및/또는 고무)는, 상기 다공질체(2)에 간접적으로(상기 지지부재(8)를 통하여) 설치된 것이다. 또한, 도5∼도8 및 이하에 있어서, 설명을 간단하게 하기 위하여, 상기 탄성부재(3)는 스프링(30)으로서 설명한다.
상기 실시형태1에서는, 상기 다공질체(2)에 부착된 부재(탄성부재(3))가 가압에 의하여 휘어졌지만, 본 실시형태2에서는, 도6에 나타나 있는 바와 같이, 상기 다공질체(2)에 부착된 부재(지지부재(8))가 가압에 의하여 휘어지지 않고 다공질체(2)를 따라 이동한다. 이 때문에, 상기 프레임체(5)의 측판(53)과 지지부재(8)의 사이에, 상기 흡인의 누설을 억제하는 Ｏ링(Ｏ-ring) 등의 밀봉재(seal材)(9)를 설치하는 것이 바람직하다.
상기 스프링(30)의 평면시(平面視)에 있어서의 배치는, 상기 반대면(21)이 수용면(51)에 의하여 수용될 때까지의 사이에서도 대상물(O)에 발생하는 반력을 균일하게 하는 것이 바람직하다. 이 바람직한 배치의 예를 도7 및 도8에 나타낸다. 일 예로서 도7에 나타나 있는 바와 같이, 평면에서 볼 때에 있어서, 상기 지지부재(8)의 4개의 모서리에 스프링(30)을 배치하는 것이 바람직하다. 다른 예로서, 도8에 나타나 있는 바와 같이, 평면에서 볼 때에 있어서, 이웃하는 스프링(30)을 동일한 간격(s)으로 배치하는 것이 바람직하다.
이와 같이 본 실시형태2에 관한 가압용 흡착대(1) 및 이를 구비하는 가압장치(100)에 의하면, 상기 다공질체(2)에 부착된 부재(지지부재(8))가 가압에 의하여 휘어지지 않고 다공질체(2)를 따라 이동하기 때문에, 상기 대상물(O)을 가압하는데 더 적합한 상태로 지지할 수 있다.
또한, 상기한 스프링(30)(및/또는 고무)의 바람직한 배치에 의하여, 가압되어 있는 대상물(O)에 대한 다공질체(2)로부터의 반력이, 반대면(21)이 수용면(51)에 의하여 수용될 때까지의 사이에서도 균일하게 되기 때문에, 대상물(O)을 가압하는데 더 적합한 상태로 지지할 수 있다.
그런데 상기 실시형태1 및 2에서는, 프레임체(5) 및 다공질체(2)의 평면시(平面視)가 4각형인 것으로 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 원형(圓形) 등 다른 형상이더라도 좋다.
또한, 상기 실시형태1 및 2에서는, 상기 반대면(21) 및 수용면(51)이 모두 평탄하고, 상기 프레임체(5)의 측판(53)에 흡인구(54)가 형성되어 있는 것으로 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도9에 나타나 있는 바와 같이, 상기 프레임체(5)의 수용면(51)에 볼록부(57)를 형성하고, 상기 반대면(21)이 수용면(51)(볼록부(57)를 포함한다)에 일치하는 요철(凸凹)의 형상이더라도 좋다. 이 경우, 상기 다공질체(2)에 있어서, 상기 볼록부(57)에 의하여 수용되는 부분(27)(두께가 작은 부분)의 강성(剛性)이 높고, 상기 볼록부(57) 이외의 수용면(51)에 의하여 수용되는 부분(28)(두께가 큰 부분)의 강성이 낮고, 결과적으로, 상기 다공질체(2)의 반대면(21)이 수용면(51)에 의하여 수용되었을 때에, 가압되어 있는 대상물(O)에 대한 다공질체(2)(27, 28)로부터의 반력이 균일하게 되도록 구성되어 있으면 좋다. 상기 볼록부(57)에 의하여 수용되는 부분(27)(두께가 작은 부분)의 강성이 낮고, 상기 볼록부(57) 이외의 수용면(51)에 의하여 수용되는 부분(28)(두께가 큰 부분)의 강성이 높더라도, 결과적으로, 상기 다공질체(2)의 반대면(21)이 수용면(51)에 의하여 수용되었을 때에, 가압되어 있는 대상물(O)에 대한 다공질체(2)(27, 28)부터의 반력이 균일하게 되는 것이라면 좋다. 또한, 가압되어 있는 대상물(O)에 대한 다공질체(2)로부터의 반력이 균일하게 되도록 구성되어 있는 것이라면, 도9에 나타나 있는 바와 같이, 상기 흡인구(54)가 볼록부(57) 등에 형성되어 있더라도 좋다.
또한, 상기 실시형태1 및 2는, 모든 점에 있어서 예시로서 제한적인 것이 아니다. 본 발명의 범위는, 상기한 설명이 아니라 특허청구범위에 의하여 나타내어지고, 특허청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다. 상기 실시형태 및 실시예에서 설명하였던 구성 중 「과제의 해결 수단」에서의 제1발명으로서 기재한 구성 이외에 대해서는, 임의의 구성으로서 적절하게 삭제 및 변경할 수 있다.

Claims (7)

  1. 대상물(對象物)이 재치될 수 있는 흡착면(吸着面)을 갖는 다공질체(多孔質體)와,
    상기 다공질체에 직접적 또는 간접적으로 설치된 탄성부재(彈性部材)와,
    상기 탄성부재를 통하여 다공질체를 지지하는 프레임체(frame體)와,
    상기 다공질체와 프레임체의 사이에 형성된 흡인공간(吸引空間)과,
    상기 흡인공간을 흡인함으로써 흡착면에 대상물을 흡착시킬 수 있는 흡인기(吸引器)를
    구비하고,
    상기 다공질체가, 상기 흡착면의 반대측에 위치하는 반대면(反對面)을 갖고,
    상기 프레임체가, 상기 흡착면에 재치된 대상물의 상기 흡착면에 대한 가압에 의하여 탄성부재가 탄성변형되었을 때에 반대면을 수용하는 수용면(受容面)을 갖고,
    상기 반대면이 수용면에 의하여 수용되었을 때에, 가압되어 있는 대상물에 대한 다공질체로부터의 반력(反力)이 균일하게 되도록 구성되어 있는 것을
    특징으로 하는 가압용 흡착대(加壓用 吸着臺).
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다공질체의 반대면 및 상기 반대면을 수용하는 프레임체의 수용면이 모두 평탄(平坦)하고,
    상기 프레임체가, 상기 수용면 이외의 위치에 형성되고 흡인공간과 연통(連通)하는 흡인구(吸引口)를 갖고,
    상기 흡인기가 상기 흡인구에 접속되어 있는 것을
    특징으로 하는 가압용 흡착대.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 다공질체가 측면(側面)을 갖고,
    상기 다공질체의 측면 및 반대면이 상기 흡인공간에 면하는 것을
    특징으로 하는 가압용 흡착대.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 탄성부재가, 상기 프레임체와 일체임과 아울러 다공질체에 부착된 부재인 것을 특징으로 하는 가압용 흡착대.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 프레임체가, 상기 다공질체에 부착된 지지부재(支持部材)를 갖고,
    상기 탄성부재가, 상기 지지부재 및 프레임체의 수용면을 접속하는 스프링(spring) 및/또는 고무(rubber)인 것을
    특징으로 하는 가압용 흡착대.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 다공질체가, 카본(carbon)을 함유하는 것을 특징으로 하는 가압용 흡착대.
  7. 제1항 또는 제2항의 가압용 흡착대와,
    상기 가압용 흡착대의 흡착면에 재치된 대상물을 상기 흡착면을 향하여 가압하는 가압기(加壓機)를 구비하는 것을
    특징으로 하는 가압장치(加壓裝置).
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