KR101452216B1 - 패턴 인쇄장치용 기판 트레이 및 이를 포함하는 패턴 인쇄장치 - Google Patents

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Abstract

패턴 인쇄장치용 기판 트레이 및 이를 포함하는 패턴 인쇄장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄장치용 기판 트레이는, 트레이 본체부; 트레이 본체부에 마련되되, 기판이 안착되는 복수의 기판 안착부; 및 기판 안착부의 하부에 마련되되, 진공에 의한 흡착방식으로 기판을 기판 안착부에 흡착하는 기판 석션부를 포함한다.

Description

패턴 인쇄장치용 기판 트레이 및 이를 포함하는 패턴 인쇄장치{SUBSTRATE TRAY FOR PATTERN PRINTER AND PATTERN PRINTER WITH THE SAME}
본 발명은, 패턴 인쇄장치용 기판 트레이 및 이를 포함하는 패턴 인쇄장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 동시에 복수의 기판에 패턴을 형성할 수 있는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이 및 이를 포함하는 패턴 인쇄장치에 관한 것이다.
반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이가 등장하기 시작하였다.
평면디스플레이는 TV, 컴퓨터용 모니터, 모바일폰, PDA, 디지털 카메라 등과 같은 기기의 표시장치로 많이 사용된다.
평면디스플레이의 종류에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
평면디스플레이는 유리기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor:TFT) 패턴 등이 인쇄되는데, 이처럼 유리기판에 박막트랜지스터 패턴을 형성하는 인쇄장치는 다음과 같다.
종래 기술에 따른 인쇄장치는, 기판이 안착된 워크 스테이지와, 워크 스테이지의 상부에 배치되어 기판에 박막트랜지스터 패턴을 인쇄하는 인쇄롤러를 포함한다.
여기서, 인쇄롤러는 기판에 패턴을 인쇄할 수 있도록, 패턴물질이 도포되는 그라비아 롤러와, 그라비아 롤러로부터 패턴물질을 전이받는 블랭킷 롤러를 포함한다.
이처럼, 종래 기술에 따른 인쇄장치는, 유리기판에 박막트랜지스터 패턴을 인쇄한 후, 유리기판을 필요한 크기로 절단하여 사용하거나 필요한 크기의 기판에 박막트랜지스터 패턴을 인쇄하여 사용하였다.
한편, 최근에 휴대용 단말기의 보급이 증가됨에 따라, 휴대용 단말기에 사용되는 터치스크린 패널의 수요가 증가되고 있다.
휴대용 단말기에 사용되는 터치스크린 패널은 종래의 일반유리 기판이 아닌 절단된 강화유리 기판이 사용되고 그 크기가 일반적으로 사용되는 평면디스플레이보다 작아 개별적으로 한 장씩 인쇄장치에 로딩 및 언로딩하여야 한다.
그러므로, 인쇄작업에 따른 잡 체인지가 번거롭고 불편하며, 잡 체인지에 소용되는 작업시간이 증가되어 전반적으로 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
따라서, 휴대용 단말기에 사용되는 터치스크린 패널에 박막트랜지스터 패턴 등을 인쇄하는 데 있어, 작업효율 및 생산성을 향상시키는 연구가 필요한다.
[문헌1] 대한민국 공개특허 10-1997-0077065(오리온전기 주식회사) 1997.12.12.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 동시에 복수의 기판에 패턴을 형성할 수 있는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이 및 이를 포함하는 패턴 인쇄장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 트레이 본체부; 상기 트레이 본체부에 마련되되, 기판이 안착되는 복수의 기판 안착부; 및 상기 기판 안착부의 하부에 마련되되, 진공에 의한 흡착방식으로 상기 기판을 상기 기판 안착부에 흡착하는 기판 석션부를 포함하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이가 제공될 수 있다
상기 기판 석션부는, 상기 기판 안착부의 하부에 배치되되, 상기 트레이 본체부에 관통 형성되어 진공압을 상기 기판의 하부에 인가하는 복수의 진공홀을 포함할 수 있다.
상기 복수의 진공홀 각각은, 상기 트레이 본체부의 상면에 마련되되, 상기 기판 안착부에 안착된 상기 기판의 하면에 접하게 형성된 제1 진공홀; 및 상기 제1 진공홀과 상호 연통되게 상기 트레이 본체부의 하면에 마련되되, 진공압이 공급되는 제2 진공홀을 포함하며, 상기 제1 진공홀과 상기 제2 진공홀은, 상기 트레이 본체부를 관통하여 단차지게 형성되며, 상기 제1 진공홀의 직경이 상기 제2 진공홀의 직경보다 크게 형성될 수 있다.
상기 제1 진공홀의 중심과 상기 제2 진공홀의 중심은, 상호 편심되게 배치될 수 있다.
상기 제1 진공홀의 중심과 상기 제2 진공홀의 중심을 연결하는 가상선은, 상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러의 진행방향에 대해 경사질 수 있다.
상기 기판 석션부에 인접하게 마련되되, 상기 기판 석션부에 공급되는 진공압이 누설되는 것을 방지하는 제1 실링부를 더 포함할 수 있다.
상기 트레이 본체부의 하면 테두리부를 따라 마련되되, 상기 트레이 본체부가 워크 스테이지에 진공에 의한 흡착방식으로 파지되도록 상기 트레이 본체부에 공급되는 진공압이 누설되는 것을 방지하는 제2 실링부를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 안착부의 테두리부에 인접하게 마련되되, 상기 기판이 상기 기판 안착부에서 이탈되는 것을 방지하는 스토퍼를 더 포함할 수 있다.
상기 스토퍼는, 상기 기판 안착부의 테두리부에 인접하고 상호 이격되게 배치되되, 상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러의 진행방향으로 길게 형성된 복수의 홈부; 상기 복수의 홈부에 각각 배치되되, 상기 홈부에서 돌출되어 상기 기판이 상기 기판 안착부에서 이탈되는 것을 방지하는 핀부재; 및 상기 복수의 홈부에 각각 배치되되, 상기 인쇄롤러의 진행방향으로 상기 핀부재를 탄력지지하는 탄성부재를 포함할 수 있다.
상기 핀부재의 높이는, 상기 기판이 상기 기판 안착부에 안착된 상태에서 상기 기판의 높이보다 낮을 수 있다.
상기 트레이 본체부의 상면 테두리부를 따라 마련되되, 상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러가 상면에 접촉되어 진행되는 것을 안내하는 안내 가이드를 더 포함할 수 있다.
상기 안내 가이드의 상면은, 상기 기판이 상기 기판 안착부에 안착된 상태에서 상기 기판의 상면과 동일평면을 이룰 수 있다.
상기 기판 안착부는, 상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러와 상기 기판이 상호 경사지도록, 상기 인쇄롤러의 진행방향에 경사지게 배치될 수 있다.
상기 기판 안착부는, 상기 트레이 본체부에 상기 기판이 삽입되는 오목형상으로 형성되며, 상기 기판 안착부의 양측부에 마련되되, 상기 기판을 파지하여 상기 기판 안착부로부터 상기 기판을 용이하게 제거하도록 오목형상으로 형성된 파지홈부를 더 포함할 수 있다.
상기 트레이 본체부의 전단부 및 후단부의 상면에 마련되되, 상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러와 상기 트레이 본체부를 정렬하기 위한 얼라인 마크를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 복수의 기판이 안착되는 기판 트레이; 상기 기판 트레이를 지지하는 워크 스테이지; 및 상기 기판 트레이의 상부에 마련되되, 상기 기판에 패턴을 형성하기 위해 상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러를 포함하며, 상기 기판 트레이는, 트레이 본체부; 상기 트레이 본체부에 마련되되, 기판이 안착되는 복수의 기판 안착부; 및 상기 기판 안착부의 하부에 마련되되, 진공에 의한 흡착방식으로 상기 기판을 상기 기판 안착부에 흡착하는 기판 석션부를 포함하며, 상기 워크 스테이지는, 상기 기판 트레이의 하면에 접촉되되, 상기 인쇄롤러의 진행방향을 따라 상호 이격되게 배치되어 상기 기판 석션부에 진공압을 공급하는 복수의 제1 진공패드를 포함하는 패턴 인쇄장치가 제공될 수 있다.
상기 복수의 제1 진공패드 각각은, 상기 기판 트레이의 하면이 접하는 표면에 마련되되, 상기 기판 석션부와 연통되는 복수의 제1 진공패드홀이 형성된 제1 패드부; 및 상기 복수의 제1 진공패드홀에 진공압을 형성하도록 상기 복수의 제1 진공패드홀과 연통되는 복수의 제1 진공슬롯이 형성된 제1 진공챔버를 포함할 수 있다.
상기 워크 스테이지는, 상기 트레이 본체부의 전단부 및 후단부의 하면에 접촉되되, 상기 트레이 본체부를 진공에 의한 흡착방식으로 파지하는 복수의 제2 진공패드를 더 포함할 수 있다.
상기 복수의 제2 진공패드 각각은, 상기 트레이 본체부의 전단부 및 후단부의 하면이 접하는 표면에 복수의 제2 진공패드홀이 형성된 제2 패드부; 및 상기 복수의 제2 진공패드홀에 진공압을 형성하도록 상기 복수의 제2 진공패드홀과 연통되는 복수의 제2 진공슬롯이 형성된 제2 진공챔버를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예들은, 트레이 본체부에 기판이 안착되는 복수의 기판 안착부를 마련하고, 진공에 의한 흡착방식으로 기판을 기판 안착부에 흡착 지지함으로써, 동시에 복수의 기판에 패턴을 형성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 패턴 인쇄장치의 개략적인 구조도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따라 기판에 패턴이 인쇄된 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 트레이의 상면을 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 3의 A부분 확대 사시도이다.
도 5는 도 4의 C부분 확대도로서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토퍼를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 도 3의 B-B 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 진공패드를 나타내는 분해 사시도이다.
도 8은 도 7의 조립 상태 단면 구조도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제2 진공패드를 나타내는 분해 사시도이다.
도 10은 도 9의 조립 상태 단면 구조도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
이하에서 설명될 기판은, 박막트랜지스터(thin film transistor:TFT) 패턴 또는 칼라 필터 등이 인쇄되는 휴대용 단말기에 사용되는 터치스크린 패널, TFT 패턴 또는 칼라 필터가 인쇄된 LCD(liquid crystal display) 등을 포함하는 평면디스플레이용 기판을 포함한다. 본 실시 예에서는 이들을 구분하지 않고 단순히 기판이라 하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 패턴 인쇄장치의 개략적인 구조도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따라 기판에 패턴이 인쇄된 상태를 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 트레이의 상면을 나타내는 사시도이고, 도 4는 도 3의 A부분 확대 사시도이고, 도 5는 도 4의 C부분 확대도로서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스토퍼를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 6은 도 3의 B-B 단면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 진공패드를 나타내는 분해 사시도이고, 도 8은 도 7의 조립 상태 단면 구조도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제2 진공패드를 나타내는 분해 사시도이고, 도 10은 도 9의 조립 상태 단면 구조도이다.
도 1 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 패턴 인쇄장치는, 그라비아 롤러(Gravure Roller,210)와, 그라비아 롤러(210)의 외주면에 박막트랜지스터(215) 패턴 등을 도포하는 디스펜서(Dispenser,250)와, 그라비아 롤러(210)의 외주면에 도포된 박막트랜지스터(215) 패턴 중 불필요한 영역에 존재하는 박막트랜지스터(215) 패턴을 제거하는 닥터 블래이드(Dr. Blade,270)와, 그라비아 롤러(210)로부터 박막트랜지스터(215) 패턴을 전이받아 기판(G)의 표면에 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄하는 인쇄롤러인 블랭킷 롤러(Blanket Roller,230)와, 복수의 기판(G)이 안착되는 기판 트레이(300)와, 기판 트레이(300)를 지지하되 복수의 기판(G)에 대한 박막트랜지스터(215) 패턴의 인쇄작업이 진행되는 워크 스테이지(Work Stage,100)와, 워크 스테이지(100)를 이송시키는 워크 테이블(Work Table,150)을 포함한다.
도 1을 참조하면, 그라비아 롤러(210)는, 박막트랜지스터(215) 패턴을 블랭킷 롤러(230)의 외주면에 전이하는 역할을 한다.
그라비아 롤러(210)와 블랭킷 롤러(230)는 실질적으로 동일한 직경을 가지며, 그라비아 롤러(210)는 하부 베이스(170)에 고정되어 기립된 상태에서 좌우 한 쌍의 지지부(190)에 결합된 롤러 구동부(미도시)에 의해 해당 위치에서 회전된다.
이러한 그라비아 롤러(210)는 롤러 구동부에 의해 직접 결합될 수도 있으나, 별도의 연결부재를 매개로 롤러 구동부에 결합될 수도 있다.
디스펜서(250)는 그라비아 롤러(210)의 외주면에 박막트랜지스터(215) 패턴을 도포하는 역할을 한다.
그라비아 롤러(210)의 외주면에는 박막트랜지스터(215)가 도포되는 요철 패턴이 형성되어 있으며, 여기서 요철 패턴은 양각 또는 음각의 형태가 모두 가능하다.
양각 형태라면 돌출된 요철부의 외면에 박막트랜지스터(215)가 도포되어 후술할 블랭킷 롤러(230)로 전이되고, 음각 형태라면 함몰된 요홈부(211)의 내부에 박막트랜지스터(215)가 도포되어 블랭킷 롤러(230)로 전이된다.
다만, 그라비아 롤러(210)로부터 박막트랜지스터(215)를 전이받아 블랭킷 롤러(230)로 기판(G)에 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄함에 있어서, 기판(G)의 표면에 박막트랜지스터(215) 패턴의 두께를 균일하게 유지하기 위해서는 그라비아 롤러(210)의 외면에 음각 형태의 요철패턴을 갖는 것이 유리하다.
그러나, 디스펜서(250)가 그라비아 롤러(210)의 외주면에 박막트랜지스터(215)를 도포하는 경우에, 음각 형태의 요홈부(211)에만 선택적으로 박막트랜지스터(215)를 도포하기가 곤란한다.
따라서, 디스펜서(250)가 그라비아 롤러(210)의 외주면에 박막트랜지스터(215)를 도포할 경우에는 그라비아 롤러(210)의 외주면 전체에 박막트랜지스터(215)를 넓게 도포하고, 도포가 완료되면 음각 형태의 요홈부(211)를 제외한 나머지 면(213)에 도포된 불필요한 박막트랜지스터(215)를 제거함으로써 최종적으로 요홈부(211)의 내부에만 박막트랜지스터(215)가 수용될 수 있도록 한다.
이를 위해 그라비아 롤러(210)의 주변에는 불필요한 박막트랜지스터(215)를 제거하기 위한 닥터 블래이드(270)가 마련된다.
닥터 블래이드(270)는, 나이프 홀더(Knife Holder,271)와, 나이프 홀더(271)에 결합되는 나이프(273)를 포함한다.
나이프 홀더(271)는 지지부(190)의 소정위치에 원터치 형식으로 용이하게 탈부착될 수 있는 구조를 갖는다.
나이프(273)는 그라비아 롤러(210)의 길이와 실질적으로 동일한 길이를 가지며, 선단부가 그라비아 롤러(210)의 외주면에 접촉한 상태에서 그라비아 롤러(210)의 외주면에 대해 경사지게 배치되어 그라비아 롤러(210)의 외주면에 도포된 불필요한 박막트랜지스터(215)를 긁어 제거하는 역할을 한다.
이처럼, 닥터 블래이드(270)에 의해 그라비아 롤러(210)의 요홈부(211)에만 박막트랜지스터(215)가 수용될 수 있다.
블랭킷 롤러(230)는 그라비아 롤러(210)의 외주면에 도포된 박막트랜지스터(215)를 전이 받아 워크 스테이지(100)로 이동된 후, 기판(G)의 표면에 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄하는 역할을 한다.
도 2에서 도시한 바와 같이, 블랭킷 롤러(230)는 기판(G)의 표면을 접촉 가압하여 기판(G)에 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄하는 인쇄롤러이다.
블랭킷 롤러(230)의 외주면에는 그라비아 롤러(210)로부터 박막트랜지스터(215)가 전이되는 인쇄시트(미도시)가 권취되어 있다.
그리고, 블랭킷 롤러(230)에는 인쇄시트를 교체하기 위한 시트 교체유닛(미도시)이 더 마련되어 있다. 여기서 시트 교체유닛은 인쇄시트를 용이하게 교체함과 동시에 블랭킷 롤러(230)의 외주면에서 인쇄시트가 들뜨지 않고 팽팽하게 펼쳐진 상태로 권취될 수 있도록 인쇄시트에 일정한 인장력을 부여하는 역할을 한다.
블랭킷 롤러(230)는 그라비아 롤러(210)에 대해 접근 및 이격 가능하게 배치되며, 워크 스테이지(100)에 의해 지지되는 기판 트레이(300) 상의 기판(G)의 표면에서 회전될 수 있도록 마련된다.
그리고 블랭킷 롤러(230)의 양측에는 하부 베이스(170)의 측부에 설치된 레일부(미도시)의 작동에 따라 블랭킷 롤러(230)를 직선방향으로 이동시키며 또한 해당위치에서 블랭킷 롤러(230)를 회전시키는 구동부(미도시)가 마련된다.
워크 스테이지(100)는, 기판(G)에 대한 박막트랜지스터(215) 패턴의 인쇄작업이 진행되는 장소이며, 워크 테이블(150)은 워크 스테이지(100)로 복수의 기판(G)이 안착된 기판 트레이(300)를 이송하는 역할을 한다.
한편, 본 실시 예에서 기판 트레이(300)에는 복수의 기판(G)이 안착된다.
특히 휴대용 단말기에 사용되는 터치스크린 패널을 제조하는데 있어 동시에 복수의 기판(G)에 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄하여 작업효율 및 생산성을 향상시키기 위해 기판 트레이(300)에 복수의 기판(G)이 안착된다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 실시 예에 따른 기판 트레이(300)는, 트레이 본체부(310)와, 트레이 본체부(310)에 마련되되 기판(G)이 안착되는 복수의 기판 안착부(320)와, 기판 안착부(320)의 테두리부에 마련되되 기판(G)이 기판 안착부(320)에서 이탈되는 것을 방지하는 스토퍼(350)와, 트레이 본체부(310)의 상면 테두리부를 따라 마련되되 기판(G)의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러인 블랭킷 롤러(230)가 상면에 접촉되어 진행되는 것을 안내하는 안내 가이드(360)와, 기판 안착부(320)의 하부에 마련되되 진공에 의한 흡착방식으로 기판(G)을 기판 안착부(320)에 흡착하는 기판 석션부(330)를 포함한다.
트레이 본체부(310)는, 대략 사각형의 판면 형상을 가지고 외곽 프레임의 역할을 한다.
그리고, 하나의 기판 트레이(300)에 복수의 기판(G)을 수용할 수 있도록 트레이 본체부(310)에는 복수의 기판 안착부(320)가 마련된다.
각각의 기판 안착부(320)에 기판(G)이 안착되어, 동시에 복수의 기판(G)에 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄할 수 있는 이점이 있다.
여기서 기판 안착부(320)는 트레이 본체부(310)에 기판(G)이 삽입될 수 있도록 오목형상으로 형성된다.
기판 안착부(320)의 크기는 실질적으로 기판(G)의 크기에 대응되나, 기판(G)의 측면과 소정간격 유격을 갖는다. 이는 기판 안착부(320)에 기판(G)을 용이하게 안착되게 함은 물론 후술할 기판 석션부(330)에서 가해지는 진공압을 통해 복수의 기판(G) 상호 간을 정렬하도록 하기 위함이다.
또한, 기판 안착부(320)에 안착된 기판(G)은 트레이 본체부(310)의 상면에서 소정높이 돌출된다.
그리고, 기판 안착부(320)는 기판(G)의 표면을 접촉 가압하는 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)에 경사지게 배치된다.
일반적으로 기판(G)에 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄함에 있어서, 인쇄롤러인 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)에 대한 인쇄 정도(accuracy)는 우수하나, 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)에 수직한 방향(Y방향)에 대한 인쇄 정도는 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)에 대한 인쇄 정도에 비해 상대적으로 떨어진다.
따라서, 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)과 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)에 수직한 방향(Y방향)에 대한 인쇄 정도의 편차를 감소시키기 위해, 본 실시 예에서는 기판 안착부(320), 즉 기판(G)을 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)에 경사지게 배치한다.
바람직하게는, 기판 안착부(320)의 경사각도(Θ)는 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)에 대해 시계 또는 반시계 방향으로 30~60도 경사지게 배치된다.
그리고, 블랭킷 롤러(230)로 기판(G)을 가압하는 경우에, 기판 안착부(320)에서 기판(G)이 이탈되는 것을 방지하기 위해 기판 안착부(320)의 테두리부에 인접하게 스토퍼(350)가 마련된다.
도 5를 참조하면, 스토퍼(350)는, 기판 안착부(320)의 테두리부에 인접하고 상호 이격되게 배치되되 기판(G)의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러인 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)으로 길게 형성된 복수의 홈부(351)와, 복수의 홈부(351)에 각각 배치되되 홈부(351)에서 돌출되어 기판(G)이 기판 안착부(320)에서 이탈되는 것을 방지하는 핀부재(353)와, 복수의 홈부(351)에 각각 배치되되 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)으로 핀부재(353)를 탄력지지하는 탄성부재(355)를 포함한다.
홈부(351)는 트레이 본체부(310)에 요홈 형상으로 형성되며, 기판 안착부(320)의 테두리부에 인접하게 마련된다. 그리고, 홈부(351)는 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)으로 길게 형성된다.
그리고, 홈부(351)에는 핀부재(353)가 배치되는데, 핀부재(353)는 홈부(351)에서 돌출되어 블랭킷 롤러(230)의 가압에 의해 기판(G)이 기판 안착부(320)에서 밀려 기판 안착부(320)에서 이탈되는 것을 방지한다.
즉, 블랭킷 롤러(230)가 기판(G)의 표면을 접촉 가압하여 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄하는 과정에서, 기판(G)을 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)으로 미는 힘이 작용하므로, 기판(G)이 기판 안착부(320)에서 이탈될 수 있다. 따라서, 기판 안착부(320)의 테두리부에 접하게 마련되어 핀부재(353)에 의해, 기판(G)이 기판 안착부(320)에서 이탈되는 것이 방지된다.
이때, 핀부재(353)가 기판(G)의 측면을 지지하도록, 핀부재(353)의 높이는 기판(G)이 기판 안착부(320)에 안착된 상태에서 기판(G)의 높이보다 낮다.
또한, 핀부재(353)는 홈부(351)에 마련된 탄성부재(355)에 의해 탄력지지되어 홈부(351)의 길이방향으로 이동가능하게 마련된다. 여기서, 탄성부재(355)는 일단부가 홈부(351)의 내측에 연결되고, 타단부가 핀부재(353)에 연결되어 핀부재(353)를 탄력지지한다.
블랭킷 롤러(230)가 기판(G)의 표면에 접하여 가압하는 경우에, 기판(G)을 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)으로 미는 힘이 후술할 기판 안착부(320)에 기판(G)을 흡착하는 힘보다 크게 되어, 기판(G)이 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)으로 이동되더라도 핀부재(353)를 탄력지지하는 탄성부재(355)가 기판(G)에 미치는 블랭킷 롤러(230)의 미는 힘을 흡수하여, 궁극적으로 기판(G)이 기판 안착부(320)로부터 이탈되어 블랭킷 롤러(230)의 압착에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 도 3 및 도 6을 참조하면, 안내 가이드(360)는 트레이 본체부(310)의 상면 테두리부를 따라 마련되며 인쇄롤러인 블랭킷 롤러(230)를 지지하되 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)을 안내하는 역할을 한다.
안내 가이드(360)는 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)을 따라 트레이 본체부(310)의 상면 테두리부에 길게 마련된다.
그리고, 안내 가이드(360)의 상면에 블랭킷 롤러(230)의 외주면이 접하면서 회전되므로, 안내 가이드(360)의 상면 높이는, 기판 안착부(320)에 안착된 기판(G)의 상면 높이와 동일하다.
즉, 안내 가이드(360)의 상면은 기판 안착부(320)에 안착된 기판(G)의 상면과 동일평면을 이룬다.
기판 석션부(330)는, 기판(G)을 기판 안착부(320)에 흡착하는 역할을 한다.
본 실시 예에서 기판 석션부(330)는, 기판 안착부(320)의 하부에 마련되어 진공에 의한 흡착방식으로 기판(G)을 기판 안착부(320)에 흡착한다.
도 4 및 도 6을 참조하면, 기판 석션부(330)는, 기판 안착부(320)의 하부에 배치되되 트레이 본체부(310)에 관통 형성되어 진공압을 기판(G)의 하부에 인가하는 복수의 진공홀(332,333)을 포함한다.
그리고, 복수의 진공홀(332,333) 각각은, 트레이 본체부(310)의 상면에 마련되되 기판 안착부(320)에 안착된 기판(G)의 하면에 접하게 형성된 제1 진공홀(332)과, 제1 진공홀(332)과 상호 연통되게 트레이 본체부(310)의 하면에 마련되되 진공압이 공급되는 제2 진공홀(333)을 포함한다.
예를 들어, 제1 진공홀(332)은 트레이 본체부(310)의 상면에서 하면방향으로 형성되며, 제2 진공홀(333)은 제1 진공홀(332)과 연통되어 제1 진공홀(332)의 하부에서 트레이 본체부(310)의 하면 방향으로 형성된다.
제1 진공홀(332)과 제2 진공홀(333)은 트레이 본체부(310)를 관통하되, 제2 진공홀(333)로부터 진공압이 제1 진공홀(332)로 전달되는 구조로 형성된다.
이때, 제2 진공홀(333)은 제1 진공홀(332)에서 하방으로 단차지게 형성되며, 제1 진공홀(332)의 직경이 제2 진공홀(333)의 직경보다 크게 형성된다. 이는 기판(G)에 직접 접촉되는 제1 진공홀(332)의 직경을 크게 하여, 기판(G)을 기판 안착부(320)에 더 안정적으로 흡착하기 위함이다.
본 실시 예에서 제1 진공홀(332)은 기판(G)을 기판 안착부(320)에 흡착하는 데 사용되며, 제2 진공홀(333)은 제1 진공홀(332)에 진공압을 공급하는 역할을 한다.
또한, 제1 진공홀(332)의 중심과 제2 진공홀(333)의 중심은 상호 편심되게 배치된다.
본 실시 예에서 제2 진공홀(333)의 중심이 제1 진공홀(332)의 중심과 편심되게 배치되므로, 제2 진공홀(333)에 진공압을 가하는 경우에, 기판(G)은 제2 진공홀(333)이 제1 진공홀(332)에 대해 편심된 방향으로 소정거리 이동되어 정렬된다.
도 4에서 도시한 바와 같이, 기판 안착부(320)의 상부에서 바라볼 때, 제2 진공홀(333)의 중심은 제1 진공홀(332)의 중심에 대해 편심되게 배치된다.
특히, 제1 진공홀(332)의 중심과 제2 진공홀(333)의 중심을 연결하는 가상선은 기판(G)의 표면을 접촉 가압하는 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)에 대해 경사진다.
본 실시 예에서 제1 진공홀(332)의 중심과 제2 진공홀(333)의 중심을 연결하는 가상선과 블랭킷 롤러(230)의 경사각도는 블랭킷 롤러(230)와 기판 안착부(320)의 경사각도와 동일하다.
그러므로, 제2 진공홀(333)에 진공압이 공급되는 경우에, 초기에 기판 안착부(320)에 안착된 기판(G)은 기판(G)의 측면과 기판 안착부(320)의 내측면 사이의 이격된 거리만큼 기판 안착부(320)의 내측면에 접촉되게 이동된다. 따라서, 트레이 본체부(310)에 마련된 복수의 기판 안착부(320)에 각각 안착된 기판(G)은 기판 안착부(320) 내에서 자동정렬된다.
또한, 자동정렬된 기판(G)은 기판 안착부(320)의 테두리부에 접하게 배치된 복수의 핀부재(353)에 의해 지지된다. 핀부재(353)는 기판(G)에 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄하는 블랭킷 롤러(230)가 기판(G)을 진공 흡착하는 힘보다 더 크게 기판(G)을 미는 경우에 탄성부재(355)의 탄성력에 의해 지지되며, 탄성부재(355)는 블랭킷 롤러(230)의 미는 힘을 상쇄시켜 기판(G)이 기판 안착부(320)에서 이탈되는 것을 방지한다.
따라서, 블랭킷 롤러(230)가 기판(G)의 표면을 가압하면서 미는 경우에도 기판(G)이 기판 안착부(320)에서 이탈되지 않으므로 기판(G)이 기판 안착부(320)에서 이탈되는 경우에 발생될 수 있는 블랭킷 롤러(230)의 압착에 의한 파손을 방지할 수 있다.
한편, 도 4를 참조하면, 본 실시 예에 따른 기판 트레이(300)는 기판 안착부(320)의 양측부에 마련되되 기판(G)을 파지하여 기판 안착부(320)로부터 기판(G)을 용이하게 제거하도록 오목형상으로 형성된 파지홈부(370)를 더 포함한다.
본 실시 예에서 기판 안착부(320)가 트레이 본체부(310)에 기판(G)이 삽입되는 오목형상으로 형성되므로, 기판 안착부(320)에 삽입되고 박막트랜지스터(215) 패턴이 인쇄된 기판(G)을 안착부로부터 용이하게 제거할 수 있는 파지홈부(370)를 마련함으로써, 박막트랜지스터(215) 패턴이 인쇄된 기판(G)을 제거함과 동시에 새로운 기판(G)을 기판 안착부(320)에 삽입하는 데 소요되는 작업시간을 단축할 수 있다.
파지홈부(370)는 오목형상의 기판 안착부(320)에서 연장되어 단차지게 형성될 수 있으며, 작업자 또는 반송로봇이 용이하게 기판(G)의 양측부를 파지할 수 있는 깊이로 형성된다.
한편, 블랭킷 롤러(230)로 기판(G)을 가압하기 전에 기판 트레이(300), 특히 기판(G)과 블랭킷 롤러(230)의 얼라인 여부를 검사하여야 한다.
이를 위해, 도 3을 참조하면, 본 실시 예에 따른 기판 트레이(300)는 기판 트레이(300)의 트레이 본체부(310)의 전단부 및 후단부의 상면에 마련된 얼라인 마크(380)를 더 포함한다.
그리고, 본 실시 예에 따른 패턴 인쇄장치는 얼라인 마크(380)를 촬영하여 기판 트레이(300)와 블랭킷 롤러(230)의 얼라인 상태를 감지하는 복수의 얼라인 카메라(미도시)를 더 포함한다.
기판 트레이(300)의 전단부 및 후단부에 마련된 얼라인 마크(380)를 촬영할 수 있도록 복수의 얼라인 카메라는 기판 트레이(300)의 상부에 위치한 지지부(190)에 설치될 수 있다.
얼라인 카메라는 기판 트레이(300)에 마련된 얼라인 마크(380)를 촬영한 후 촬영된 영상정보를 제어부(미도시)로 송신하며, 제어부는 촬영된 얼라인 마크(380)로부터 기판 트레이(300), 특히 기판(G)과 블랭킷 롤러(230)의 얼라인 정도를 판단한 후, 얼라인 정도에 따라 워크 스테이지(100)를 이동시켜 기판 트레이(300), 특히 기판(G)과 블랭킷 롤의 얼라인을 수행한다. 이때, 워크 스테이지(100)를 이동시키는 별도의 구동장치(미도시)가 마련될 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 실시 예는 복수의 기판(G)에 동시에 박막트랜지스터(215) 패턴을 형성하기 위해, 트레이 본체부(310)에 복수의 기판 안착부(320)를 마련하고, 복수의 기판 안착부(320)에 각각 안착된 기판(G)의 표면에 블랭킷 롤러(230)를 접촉 가압하여 기판(G)의 표면에 박막트랜지스터(215) 패턴을 형성한다.
기판(G)에 박막트랜지스터(215) 패턴을 형성하는 공정은, 기판 트레이(300)가 워크 스테이지(100)에 안착 및 지지된 상태에서 수행된다.
따라서, 기판(G)에 대한 박막트랜지스터(215) 패턴을 형성하는 공정을 수행하는 동안 기판 트레이(300)는 워크 스테이지(100)에 고정된 상태를 유지하여야 하며, 기판(G)도 기판 안착부(320)에 고정된 상태를 유지하여야 한다.
본 실시 예에서는 기판 트레이(300)를 워크 스테이지(100)에, 기판(G)을 기판 안착부(320)에 진공 흡착함으로써, 패턴 공정을 수행하는 동안 기판 트레이(300) 및 기판(G)을 고정하고 패턴 공정이 완료된 후 기판 트레이(300) 및 기판(G)을 각각 용이하게 워크 스테이지(100) 및 기판 안착부(320)로부터 분리할 수 있도록 한다.
따라서, 도 7 내지 도 10을 참조하면, 본 실시 예에서 워크 스테이지(100)는, 기판(G)을 기판 안착부(320)에 진공흡착 가능하게 기판 석션부(330)의 복수의 진공홀(332,333)에 진공압을 공급하는 복수의 제1 진공패드(110)와, 트레이 본체부(310)를 진공흡착 가능하게 트레이 본체부(310)에 진공압을 공급하는 복수의 제2 진공패드(130)를 포함한다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 복수의 제1 진공패드(110)는, 기판 트레이(300)의 하면에 접촉되되 인쇄롤러인 블랭킷 롤러(230)의 진행방향(X방향)을 따라 상호 이격되게 배치되어 기판 석션부(330)에 진공압을 공급한다.
복수의 제1 진공패드(110) 각각은, 기판 트레이(300)의 하면이 접하는 표면에 마련되되 기판 석션부(330)와 연통되는 복수의 제1 진공패드홀(112)이 형성된 제1 패드부(111)와, 복수의 제1 진공패드홀(112)에 진공압을 형성하도록 복수의 제1 진공패드홀(112)과 연통되는 복수의 제1 진공슬롯(114)이 형성된 제1 진공챔버(113)를 포함한다.
제1 진공챔버(113)의 상면에 형성된 제1 진공슬롯(114)은, 제1 진공챔버(113)의 상면에서 하방으로 단차진 제1 단차부(115)에 형성된다. 그리고, 제1 진공슬롯(114)과 대향된 제1 진공챔버(113)의 하면에는 제1 공기순환통로(116)가 형성된다.
제1 진공챔버(113) 내의 제1 공기유동공간(117)은 상호간 개별적으로 진공이 형성되는 복수의 존(Z1,Z2,Z3)으로 구획될 수 있으며, 제1 진공슬롯(114)은 각 존(Z1,Z2,Z3)에 하나씩 대응되도록 제1 진공챔버(113)의 상면에 마련된다.
이처럼 제1 진공챔버(113) 내의 제1 공기유동공간(117)이 상호간 개별적으로 진공이 형성되는 복수의 존(Z1,Z2,Z3)으로 형성되고 각 존(Z1,Z2,Z3)에 하나씩 대응되도록 제1 진공슬롯(114)이 분할되어 형성되는 경우, 어느 한 존(Z1,Z2,Z3)에 진공의 리크(leak)가 발생된다 하더라도 다른 존(Z1,Z2,Z3)들을 통해 진공압이 공급될 수 있어 기판(G)이 기판 안착부(320)에서 진공 흡착이 해제되는 현상을 방지할 수 있다.
전술한 바와 같이, 진공펌프(미도시)가 동작되면, 제1 진공패드홀(112)의 외부에서 제1 진공패드홀(112) 및 제1 진공슬롯(114)을 경유하여 제1 진공챔버(113) 내의 제1 공기유동공간(117) 및 제1 공기순환통로(116) 쪽으로 진공이 형성됨에 따라 진공압이 제1 패드부(111)의 표면에서 기판 석션부(330)의 제2 진공홀(333) 및 제1 진공홀(332)로 순차로 공급되어 기판 안착부(320)에 기판(G)이 진공흡착된다.
또한, 도 9 및 도 10을 참조하면, 복수의 제2 진공패드(130)는 트레이 본체부(310)의 전단부 및 후단부의 하면에 접촉되되 트레이 본체부(310)를 진공에 의한 흡착방식으로 파지한다.
이때, 복수의 제2 진공패드(130) 각각은 트레이 본체부(310)의 전단부 및 후단부의 하면이 접하는 표면에 복수의 제2 진공패드홀(132)이 형성된 제2 패드부(131)와, 복수의 제2 진공패드홀(132)에 진공압을 형성하도록 복수의 제2 진공패드홀(132)과 연통되는 복수의 제2 진공슬롯(134)이 형성된 제2 진공챔버(133)를 포함한다.
복수의 제2 진공패드(130)는 복수의 제1 진공패드(110)와 그 동작 및 구성이 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
진공펌프(미도시)가 동작되면, 제2 진공패드홀(132)의 외부에서 제2 진공패드홀(132) 및 제2 진공슬롯(134)을 경유하여 제2 진공챔버(133) 내의 제2 공기유동공간(137) 및 제2 공기순환통로(136) 쪽으로 진공이 형성됨에 따라 진공압이 제2 패드부(131)의 표면에서 기판 트레이(300), 특히 트레이 본체부(310)의 전단부 및 후단부의 하면에 공급되어 트레이 본체부(310)가 워크 스테이지(100)에 진공흡착된다.
한편, 도 6을 참조하면, 본 실시 예에 따른 기판 트레이(300)는 기판(G) 및 트레이 본체부(310)에 가해지는 진공압의 누설을 방지하는 실링부(341,343)를 더 포함한다.
실링부(341,343)는, 기판 석션부(330)에 인접하게 마련되되 기판 석션부(330)에 공급되는 진공압이 누설되는 것을 방지하는 제1 실링부(341)와, 트레이 본체부(310)의 하면 테두리부를 따라 마련되되 트레이 본체부(310)가 워크 스테이지(100)에 진공에 의한 흡착방식으로 파지되도록 트레이 본체부(310)에 공급되는 진공압이 누설되는 것을 방지하는 제2 실링부(343)를 포함한다.
제1 실링부(341)는 제1 진공패드홀(112)을 통해 제2 진공홀(333)에 진공압이 공급되는 경우에 제2 진공홀(333)의 외부로 진공압이 누설되는 것을 방지하기 위해 제2 진공홀(333)의 외주연 및 제1 진공패드홀(112)의 외주연을 감싸도록 형성된다.
즉, 제1 실링부(341)는 일단부가 제2 진공홀(333)의 외주연을 따라 배치되며, 타단부가 제1 진공패드홀(112)의 외주연을 감싸도록 형성될 수 있다. 그리고, 제1 실링부(341)는 내부에 제2 진공홀(333)과 제1 진공패드홀(112)이 연통되도록 유로가 형성될 수 있다.
그리고, 제2 실링부(343)는 제2 진공패드홀(132)을 통해 트레이 본체부(310)에 진공압이 공급되는 경우에 트레이 본체부(310)의 외부로 진공압이 누설되는 것을 방지하기 위해 트레이 본체부(310)의 하면 테두리부를 감싸도록 형성된다.
즉, 제2 실링부(343)는 일단부가 트레이 본체부(310)의 하면 테두리부를 따라 배치되며, 타단부가 트레이 본체부(310)의 전단부 및 후단부에 대응되는 위치에 마련된 제2 패드부(131)를 감싸도록 워크 스테이지(100)에 밀착되게 형성될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패턴 인쇄장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 10을 참조하면, 워크 테이블(150)을 통해 작업대상물인 복수의 기판(G)이 안착된 기판 트레이(300)를 워크 스테이지(100)로 이송한다. 이때, 기판 트레이(300)는 별도의 반송로봇에 의해 워크 테이블(150)에서 워크 스테이지(100)로 이송될 수 있다.
그리고, 기판 트레이(300)에 마련된 얼라인 마크(380)를 촬영하여 기판 트레이(300)와 기판(G)에 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄할 블랭킷 롤러(230)를 얼라인한다.
기판 트레이(300)와 블랭킷 롤러(230)의 얼라인이 완료된 경우에, 제1 진공패드(110)를 이용하여 기판 석션부(330)에 진공압을 공급하여 기판(G)을 기판 안착부(320)에 진공흡착하고, 제2 진공패드(130)를 이용하여 트레이 본체부(310)를 워크 스테이지(100)에 진공흡착한다.
한편, 기판 트레이(300)와 블랭킷 롤러(230)를 얼라인하는 과정과 기판(G)을 기판 안착부(320)에 진공흡착하고 트레이 본체부(310)를 워크 스테이지(100)에 진공흡착하는 과정은 그 순서를 바꿔 진행될 수 있다.
이후, 박막트랜지스터(215) 패턴이 도포된 블랭킷 롤러(230)를 이용하여 복수의 기판 안착부(320)에 각각 안착된 기판(G)의 표면을 가압하여 기판(G)에 박막트랜지스터(215) 패턴을 인쇄한다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 워크 스테이지 110: 제1 진공패드
130: 제2 진공패드 150: 워크 테이블
210: 그라비아 롤러 230: 블랭킷 롤러
250: 디스펜서 270: 닥터 블래이드
300: 기판 트레이 310: 트레이 본체부
320: 기판 안착부 330: 기판 석션부
331: 진공홀 332: 제1 진공홀
333: 제2 진공홀 340: 실링부
341: 제1 실링부 343: 제2 실링부
350: 스토퍼 351: 홈부
353: 핀부재 355: 탄성부재
360: 안내 가이드 370: 파지홈부
380: 얼라인 마크

Claims (19)

  1. 트레이 본체부;
    상기 트레이 본체부에 마련되되, 기판이 안착되는 복수의 기판 안착부; 및
    진공에 의한 흡착방식으로 상기 기판을 상기 기판 안착부에 흡착하도록, 상기 기판 안착부의 하부에 배치되되 상기 트레이 본체부에 관통 형성되어 진공압을 상기 기판의 하부에 인가하는 복수의 진공홀을 포함하는 기판 석션부를 포함하며,
    상기 복수의 진공홀 각각은,
    상기 트레이 본체부의 상면에 마련되되, 상기 기판 안착부에 안착된 상기 기판의 하면에 접하게 형성된 제1 진공홀; 및
    상기 제1 진공홀과 상호 연통되게 상기 트레이 본체부의 하면에 마련되되, 진공압이 공급되는 제2 진공홀을 포함하며,
    상기 제1 진공홀과 상기 제2 진공홀은 상기 트레이 본체부를 관통하여 단차지게 형성되고, 상기 제1 진공홀의 직경이 상기 제2 진공홀의 직경보다 크게 형성되고, 상기 제1 진공홀의 중심과 상기 제2 진공홀의 중심은 상호 편심되게 배치되는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 진공홀의 중심과 상기 제2 진공홀의 중심을 연결하는 가상선은,
    상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러의 진행방향에 대해 경사진 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판 석션부에 인접하게 마련되되, 상기 기판 석션부에 공급되는 진공압이 누설되는 것을 방지하는 제1 실링부를 더 포함하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 본체부의 하면 테두리부를 따라 마련되되, 상기 기판 트레이가 워크 스테이지에 진공에 의한 흡착방식으로 파지되도록 상기 트레이 본체부에 공급되는 진공압이 누설되는 것을 방지하는 제2 실링부를 더 포함하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판 안착부의 테두리부에 인접하게 마련되되, 상기 기판이 상기 기판 안착부에서 이탈되는 것을 방지하는 스토퍼를 더 포함하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 스토퍼는,
    상기 기판 안착부의 테두리부에 인접하고 상호 이격되게 배치되되, 상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러의 진행방향으로 길게 형성된 복수의 홈부;
    상기 복수의 홈부에 각각 배치되되, 상기 홈부에서 돌출되어 상기 기판이 상기 기판 안착부에서 이탈되는 것을 방지하는 핀부재; 및
    상기 복수의 홈부에 각각 배치되되, 상기 인쇄롤러의 진행방향으로 상기 핀부재를 탄력지지하는 탄성부재를 포함하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 핀부재의 높이는,
    상기 기판이 상기 기판 안착부에 안착된 상태에서 상기 기판의 높이보다 낮은 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 본체부의 상면 테두리부를 따라 마련되되, 상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러가 상면에 접촉되어 진행되는 것을 안내하는 안내 가이드를 더 포함하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 안내 가이드의 상면은,
    상기 기판이 상기 기판 안착부에 안착된 상태에서 상기 기판의 상면과 동일평면을 이루는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 기판 안착부는,
    상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러와 상기 기판이 상호 경사지도록, 상기 인쇄롤러의 진행방향에 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 기판 안착부는, 상기 트레이 본체부에 상기 기판이 삽입되는 오목형상으로 형성되며,
    상기 기판 안착부의 양측부에 마련되되, 상기 기판을 파지하여 상기 기판 안착부로부터 상기 기판을 용이하게 제거하도록 오목형상으로 형성된 파지홈부를 더 포함하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 본체부의 전단부 및 후단부의 상면에 마련되되, 상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러와 상기 트레이 본체부를 정렬하기 위한 얼라인 마크를 더 포함하는 패턴 인쇄장치용 기판 트레이.
  16. 복수의 기판이 안착되는 기판 트레이;
    상기 기판 트레이를 지지하는 워크 스테이지; 및
    상기 기판 트레이의 상부에 마련되되, 상기 기판에 패턴을 형성하기 위해 상기 기판의 표면을 접촉 가압하는 인쇄롤러를 포함하며,
    상기 기판 트레이는,
    트레이 본체부;
    상기 트레이 본체부에 마련되되, 기판이 안착되는 복수의 기판 안착부; 및
    상기 기판 안착부의 하부에 마련되되, 진공에 의한 흡착방식으로 상기 기판을 상기 기판 안착부에 흡착하는 기판 석션부를 포함하며,
    상기 워크 스테이지는,
    상기 기판 트레이의 하면에 접촉되되, 상기 인쇄롤러의 진행방향을 따라 상호 이격되게 배치되어 상기 기판 석션부에 진공압을 공급하는 복수의 제1 진공패드를 포함하는 패턴 인쇄장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 복수의 제1 진공패드 각각은,
    상기 기판 트레이의 하면이 접하는 표면에 마련되되, 상기 기판 석션부와 연통되는 복수의 제1 진공패드홀이 형성된 제1 패드부; 및
    상기 복수의 제1 진공패드홀에 진공압을 형성하도록 상기 복수의 제1 진공패드홀과 연통되는 복수의 제1 진공슬롯이 형성된 제1 진공챔버를 포함하는 패턴 인쇄장치.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 워크 스테이지는,
    상기 트레이 본체부의 전단부 및 후단부의 하면에 접촉되되, 상기 트레이 본체부를 진공에 의한 흡착방식으로 파지하는 복수의 제2 진공패드를 더 포함하는 패턴 인쇄장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 복수의 제2 진공패드 각각은,
    상기 트레이 본체부의 전단부 및 후단부의 하면이 접하는 표면에 복수의 제2 진공패드홀이 형성된 제2 패드부; 및
    상기 복수의 제2 진공패드홀에 진공압을 형성하도록 상기 복수의 제2 진공패드홀과 연통되는 복수의 제2 진공슬롯이 형성된 제2 진공챔버를 포함하는 패턴 인쇄장치.
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