JP2014216230A - ワーク保持用の治具、および膜電極接合体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワーク保持用の治具10は、ワークwを吸着して保持する吸着面21を備える多孔部材20と、ワークに作用させる吸引力を発生させる基部40、および多孔部材の外周側部に向かい合う位置に配置されるとともに多孔部材を保持する側壁50を備えるハウジング30と、多孔部材の熱膨張変形に伴う当該多孔部材の外周側部と前記側壁との干渉による吸着面の変形を防止する変形防止部60と、を有している。
【選択図】図1
Description
図1〜図2Bは、第1実施形態に係るワーク保持用の治具の各部の構成の説明に供する図であり、図3〜図5Bは、第1実施形態に係るワーク保持用の治具を使用した膜電極接合体の製造方法の説明に供する図であり、図6A、図6Bは、対比例に係るワーク保持用の治具の説明に供する図である。
次に、本発明の第2実施形態に係るワーク保持用の治具を説明する。上述した第1実施形態において説明した部材については同一の符号を付してその説明を省略する。
図8A、図8Bには、第2実施形態の変形例に係る治具をそれぞれ示す。上述した第2実施形態では、多孔部材20の外周側部22とハウジング30の側壁50との間に形成された隙間63によって変形防止部60を構成しているが、例えば、変形防止部60は、弾性部材61と隙間63とによって構成することも可能である。
次に、本発明の第3実施形態に係るワーク保持用の治具を説明する。上述した第1、第2実施形態において説明した部材については同一の符号を付してその説明を省略する。
次に、本発明の第4実施形態に係るワーク保持用の治具を説明する。上述した第1〜3実施形態において説明した部材については同一の符号を付してその説明を省略する。
次に、本発明の第5実施形態に係るワーク保持用の治具を説明する。上述した第1〜4実施形態において説明した部材については同一の符号を付してその説明を省略する。
20 多孔部材、
21 吸着面、
22 外周側部、
30 ハウジング、
40 基部、
41 チャンバ、
50 側壁、
55 支持用の溝部(溝部)、
60 変形防止部、
61 弾性部材、
63 隙間、
91 基材(ワーク)、
92 基材(ワーク)、
93 電解質膜(ワーク)、
94 触媒インク、
310 覆い部、
w ワーク。
Claims (7)
- ワークを吸着して保持する吸着面を備える多孔部材と、
前記ワークに作用させる吸引力を発生させる基部、および前記多孔部材の外周側部と向かい合う位置に配置されるとともに前記多孔部材を保持する側壁を備えるハウジングと、
前記多孔部材の外周側部と前記ハウジングの側壁との間に設けられ、前記多孔部材の熱膨張変形に伴う当該多孔部材の外周側部と前記側壁との干渉による前記吸着面の変形を防止する変形防止部と、を有するワーク保持用の治具。 - 前記変形防止部は、前記ハウジングの側壁の剛性よりも小さな剛性を備える弾性部材を有する請求項1に記載のワーク保持用の治具。
- 前記ハウジングの側壁は、前記多孔部材の外周側部と当該側壁との間に前記変形防止部をなす隙間を形成するように前記多孔部材を支持する溝部を有する請求項1または請求項2に記載のワーク保持用の治具。
- 前記ハウジングの側壁は、前記多孔部材の吸着面よりも当該多孔部材の厚み方向に突出した覆い部を有する請求項1〜3のいずれか1項に記載のワーク保持用の治具。
- 前記多孔部材は、矩形の外形形状を有しており、
前記変形防止部は、前記多孔部材の外周側部の隣接する二辺のそれぞれと前記ハウジングの側壁との間に配置されている、請求項1〜4のいずれか1項にワーク保持用の治具。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のワーク保持用の治具が備える多孔部材の吸着面上において触媒インクが塗布された基材を保持しつつ、前記基材に電解質膜を重ねた状態で前記電解質膜と前記基材とを熱圧着することによって前記触媒インクを前記電解質膜に転写する転写工程を有する、膜電極接合体の製造方法。
- 前記転写工程を行う前にそれぞれ行われる、前記多孔部材の吸着面上において前記基材を保持しつつ、当該基材に前記触媒インクを塗布する塗布工程、および前記多孔部材の吸着面上において前記基材を保持しつつ、塗布した前記触媒インクを乾燥させる乾燥工程をさらに有する請求項6に記載の膜電極接合体の製造方法。
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