WO2021039922A1

WO2021039922A1 - シーラント、シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体

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Publication number: WO2021039922A1
Application number: PCT/JP2020/032431
Authority: WO
Inventors: 宏佳中島; 克行甕; 結香立川; 誠溝尻; 佐藤　一志
Original assignee: 大日本印刷株式会社
Priority date: 2019-08-30
Filing date: 2020-08-27
Publication date: 2021-03-04
Also published as: US20220297913A1; TW202417344A; EP4023566A4; CN114341011B; CN114341011A; KR20220054650A; EP4023566A1; JPWO2021039922A1; CN117944995A; TW202124156A

Abstract

シリコン材料の輸送用袋に用いられる包装材料は、第１の樹脂基材層と、バリア層と、第２の樹脂基材層と、樹脂層と、シーラント層とをこの順で積層する積層体であり、樹脂層の押込弾性率（ＭＰａ）は、第１の樹脂基材層及び第２の樹脂基材層のそれぞれの押込弾性率（ＭＰａ）よりも１桁以上小さく、シーラント層の押込弾性率（ＭＰａ）は、第１の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）及び第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）のそれぞれよりも１桁以上小さく、第１の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）との差は、第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と樹脂層の押込弾性率（ＭＰａ）との差よりも小さい。

Description

シーラント、シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体

　本開示は、シーラント、シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体に関する。

　半導体製品等の製造に用いられるシリコンウェハや、シリコンウェハの原材料であるポリシリコン等のシリコン材料等に対しては、極めた高いクリーン度（清浄度）が要求されるため、輸送等に際してはクリーンに洗浄された樹脂ケース等に複数のシリコンウェハを格納した上で、当該樹脂ケースごと包装体に包装され、密封されることがある。このような包装体を構成する包装材料として、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を用いたものが知られている。

　また、上記シリコン材料等を梱包するために用いられる袋は、内容物であるシリコン材料を変質させ得る酸素や水蒸気等の透過を遮断可能なバリア機能を有する包装材料により構成されることがある。このような包装材料として、酸化アルミニウムの蒸着層（バリア層）の一方側にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を配置し、他方側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）やリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を配置したものが知られている（特許文献２参照）。

　さらに、上記シリコン材料は、一般に、二重の袋に梱包された状態で輸送されることがある。このような二重梱包の袋としては、ポリエステル、ポリアミド、ポリオレフィン等のプラスチック袋の積層体により構成される内袋と、アルミニウム箔やシリカ蒸着ポリエステル等のバリア層を有する積層体により構成される外袋とを備えるものが知られている（特許文献３参照）。外袋にバリア層が設けられていることで、遮光性や酸素ガスバリア性等を奏することができる。

特開２０１３－１３６４０５号公報特開２００４－１４８６３３号公報特開２０１２－２２３９４２号公報

　本開示は、シリコン材料の輸送用包装体に用いられる、揮発成分を低減させ、シール強度を向上させたシーラント、包装材料、シリコン材料の輸送用包装体及びシリコン材料の梱包体；バリア層にクラックが生じるのを抑制することのできる包装材料、シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体；並びに輸送時に外袋が損傷してしまったとしても、内容物であるシリコン材料の汚染を抑制することのできるシリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体を提供することを一目的とする。

　上記課題を解決するために、本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用袋に用いられる包装材料であって、前記包装材料は、第１の樹脂基材層と、バリア層と、第２の樹脂基材層と、樹脂層と、シーラント層とをこの順で積層する積層体であり、前記樹脂層の押込弾性率（ＭＰａ）は、前記第１の樹脂基材層及び前記第２の樹脂基材層のそれぞれの押込弾性率（ＭＰａ）よりも１桁以上小さく、前記シーラント層の押込弾性率（ＭＰａ）は、前記第１の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）及び前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）のそれぞれよりも１桁以上小さく、前記第１の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）との差は、前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と前記樹脂層の押込弾性率（ＭＰａ）との差よりも小さい包装材料が提供される。

　前記第１の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）との差は、前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と前記樹脂層の押込弾性率（ＭＰａ）との差よりも１桁以上小さければよく、前記第１の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）との差が、８００ＭＰａ以下であればよい。

　前記第１の樹脂基材層と前記第２の樹脂基材層を構成する前記樹脂材料の押込弾性率が、１５００ＭＰａ～３５００ＭＰａの範囲内であればよく、前記シーラント層を構成する材料の押込弾性率が、３００ＭＰａ～５００ＭＰａの範囲内であればよく、前記樹脂層は、ポリエチレンにより構成されていてもよい。

　前記樹脂層の押込弾性率（ＭＰａ）は、前記第１の樹脂基材層及び前記第２の樹脂基材層のそれぞれの押込弾性率（ＭＰａ）よりも２桁以上小さくてもよく、前記樹脂層は、２液型ウレタン樹脂接着剤により構成されていてもよい。

　前記第１の樹脂基材層と前記第２の樹脂基材層とは、同一の樹脂材料により構成されていてもよく、前記樹脂層の厚みは、１μｍ～５μｍであればよい。前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料及び前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂であってもよいし、前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料及び前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、前記ポリエステル樹脂であってもよい。前記バリア層が透明性を有していてもよく、前記バリア層は、シリカ又はアルミナを含んでいてもよい。

　本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用袋であって、前記シリコン材料の輸送用袋は、上記包装材料により構成され、前記シーラント層が、前記シリコン材料の輸送用袋の内側に位置するシリコン材料の輸送用袋が提供される。

　本開示の一実施形態として、上記シリコン材料の輸送用袋と、前記シリコン材料の輸送用袋内に収容されているシリコン材料とを備えるシリコン材料の梱包体が提供される。

　本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用袋であって、第１の袋と、前記第１の袋内に配置される第２の袋とを備え、前記第２の袋を構成する包装材料が、バリア層を含むシリコン材料の輸送用袋が提供される。

　前記バリア層は、シリカ又はアルミナを含んでいてもよく、前記第２の袋を構成する包装材料は、樹脂基材層と、前記バリア層と、シーラント層とをこの順で有する積層材料であり、前記シーラント層が、前記第２の袋の内側に位置していてもよく、前記樹脂基材層が、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂により構成されていてもよい。

　前記第２の袋を構成する包装材料は、前記樹脂基材層と前記バリア層との間に位置する接着剤層をさらに有する積層材料であってもよく、前記バリア層と前記シーラント層との間に位置するポリエステル系樹脂を含む樹脂層をさらに有する積層材料であってもよく、樹脂基材層と、前記バリア層と、樹脂層と、シーラント層とをこの順で有する積層材料であり、前記樹脂基材層と前記樹脂層とが、同一の樹脂を含み、前記シーラント層が、前記第２の袋の内側に位置していてもよく、透明であってもよい。

　前記第１の袋を構成する包装材料は、ポリエステル系樹脂を含む樹脂基材層とシーラント層とをこの順で有する積層材料であり、前記シーラント層が、前記第１の袋の内側に位置していてもよく、バリア層を含まない積層材料により構成されていてもよく、ポリアミド樹脂を含まない積層材料により構成されていてもよい。前記第１の袋を構成する包装材料が有する前記樹脂基材層の厚さが、８μｍ～３０μｍであってもよい。

　本開示の一実施形態として、上記シリコン材料の輸送用袋と、前記シリコン材料の輸送用袋の前記第２の袋内に収容されているシリコン材料とを備えるシリコン材料の梱包体が提供される。

　本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用袋であって、第１の袋と、前記第１の袋内に配置される第２の袋とを備え、前記第２の袋は、前記第１の袋に固定されることなく前記第１の袋内に配置されており、前記第２の袋を構成する包装材料が、バリア層を含むシリコン材料の輸送用袋が提供される。
　本開示の一実施形態として、外袋と、前記外袋に固定されることなく前記外袋内に配置される内袋とを有するシリコン材料の輸送用袋における、前記内袋であって、前記内袋を構成する包装材料が、バリア層を含む内袋が提供される。

　本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントであって、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有するシーラント基材を備え、前記シーラント基材は、前記第１面を含む第１部分と、前記第１部分よりも前記第２面側に位置する第２部分とを含み、前記第１部分は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含み、前記第２部分は、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含むシーラントが提供される。

　前記第２部分は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）をさらに含んでいてもよく、前記シーラント基材は、前記第２部分よりも前記第２面側に位置する第３部分をさらに含み、前記第３部分は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含んでいてもよい。

　前記シーラント基材は、前記第１部分を含む第１層と、前記第２部分を含む第２層とを少なくとも有する積層構造であってもよく、前記第１部分及び前記第２部分を少なくとも含む単層構造であってもよい。

　前記第１部分は、前記低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）をリッチに含んでいてもよく、前記第２部分の厚みが、前記第１部分の厚みよりも厚くてもよく、前記第１部分に含まれる前記低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）は、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレンであってもよく、前記第２部分に含まれる前記リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、スリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレンであってもよい。

　本開示の一実施形態として、樹脂材料により構成される基部と、前記基部の一方面側に設けられてなる上記シーラントとを有し、前記シーラントは、前記第２面を前記基部の一方面側に当接させるようにして設けられてなる包装材料が提供される。
　前記基部の他方面側に設けられてなるガスバリア層をさらに有していてもよい。

　本開示の一実施形態として、上記包装材料により構成されるシリコン材料の輸送用包装体が提供される。
　本開示の一実施形態として、上記シリコン材料の輸送用包装体と、前記シリコン材料の輸送用包装体内に収容されているシリコン材料とを備えるシリコン材料の梱包体が提供される。

　本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントであって、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有するシーラント基材を備え、前記シーラント基材は、前記第１面を含む第１表面層と、前記第２面を含む第２表面層と、前記第１表面層及び前記第２表面層の間に位置する中間層とを有し、前記第１表面層及び前記第２表面層は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含み、前記中間層は、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含み、前記シーラントの押込弾性率は、３００ＭＰａ～５００ＭＰａの範囲内であるシーラントが提供される。
　前記中間層の厚さは、前記第１表面層の厚さ及び前記第２表面層の厚さのそれぞれよりも厚くてもよい。

　本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントであって、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有するシーラント基材を備え、前記シーラント基材は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）とを含む単層構造であり、前記シーラントの押込弾性率は、３００ＭＰａ～５００ＭＰａの範囲内であるシーラントが提供される。

　本開示によれば、シリコン材料の輸送用包装体に用いられる、揮発成分を低減させ、シール強度を向上させたシーラント、包装材料、シリコン材料の輸送用包装体及びシリコン材料の梱包体；バリア層にクラックが生じるのを抑制することのできる包装材料、シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体；並びに輸送時に外袋が損傷してしまったとしても、内容物であるシリコン材料の汚染を抑制することのできるシリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体を提供することができる。

図１は、本開示の一実施形態に係るシーラントの一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図２は、本開示の一実施形態に係るシーラントの他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図３は、本開示の一実施形態における包装材料の一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図４は、本開示の一実施形態における包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図５は、本開示の一実施形態における包装材料を製造可能な製造装置の一例の構成を概略的に示す模式図である。図６は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の輸送用包装体の概略構成を示す斜視図である。図７は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の梱包体の概略構成を示す斜視図である。図８は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の梱包体の概略構成を示す斜視図である。図９Ａは、試料１のＧＣ／ＭＳ分析結果を示すマススペクトルである。図９Ｂは、試料２のＧＣ／ＭＳ分析結果を示すマススペクトルである。図９Ｃは、試料３のＧＣ／ＭＳ分析結果を示すマススペクトルである。図１０は、本開示の一実施形態に係るシリコン材料の輸送用袋の一態様の概略構成を示す斜視図である。図１１は、本開示の一実施形態における第１の袋の一態様の概略構成を示す斜視図である。図１２は、本開示の一実施形態における第２の袋の一態様の概略構成を示す斜視図である。図１３は、本開示の一実施形態における第１の包装材料の一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図１４は、本開示の一実施形態における第２の包装材料の一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図１５は、本開示の一実施形態における第２の包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図１６は、本開示の一実施形態における第２の包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図１７は、本開示の一実施形態における第２の包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図１８は、本開示の一実施形態における第１の包装材料のシーラント層の一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図１９は、本開示の一実施形態における第１の包装材料のシーラント層の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図２０は、本開示の一実施形態における第２の包装材料のシーラント層の一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図２１は、本開示の一実施形態における第２の包装材料のシーラント層の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図２２は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の梱包体の一態様の概略構成を示す斜視図である。図２３は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の梱包体の一態様の概略構成を示す斜視図である。図２４Ａは、本開示の一実施形態における包装材料の一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図２４Ｂは、本開示の一実施形態における包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図２４Ｃは、本開示の一実施形態における包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図２５は、本開示の一実施形態における包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図２６は、本開示の一実施形態におけるシーラントの一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図２７は、本開示の一実施形態におけるシーラントの他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。図２８は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の輸送用袋を広げた状態の概略構成を示す斜視図である。図２９は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の輸送用袋を閉じた状態の概略構成を示す斜視図である。図３０は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の梱包体の概略構成を示す斜視図である。図３１は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の梱包体の概略構成を示す斜視図である。

　本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
　本明細書に添付した図面においては、理解を容易にするために、各部の形状、縮尺、縦横の寸法比等を、実物から変更したり、誇張したりしている場合がある。本明細書等において「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値のそれぞれを下限値及び上限値として含む範囲であることを意味する。本明細書等において、「フィルム」、「シート」、「板」等の用語は、呼称の相違に基づいて相互に区別されない。例えば、「板」は、「シート」、「フィルム」と一般に呼ばれ得るような部材をも含む概念である。

　図１及び図２に示すように、本実施形態に係るシーラント１は、シリコン材料を輸送する際に用いられる包装体（シリコン材料の輸送用包装体）用のものであって、第１面２Ａ及びそれに対向する第２面２Ｂを有するシーラント基材２を備える。シーラント基材２は、第１面２Ａ側に位置する第１表面層２１と、第２面２Ｂ側に位置する第２表面層２２と、第１表面層２１及び第２表面層２２の間に挟まれている中間層２３とを有する積層構造体であってもよいし（図１参照）、第１面２Ａ及び第２面２Ｂを有する単層構造体であってもよい（図２参照）。

　図１に示す態様において、第１面２Ａ側に位置する第１表面層２１は、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む層である。第２面２Ｂ側に位置する第２表面層２２は、第１表面層２１と同様に、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む層であり、第１表面層２１と第２表面層２２との間に挟まれている中間層２３は、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含む層である。なお、本実施形態において「スリップ剤が実質的に添加されていない」とは、スリップ剤としてシーラントの表面の滑り性を実際に向上させる成分がシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える目的でシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える量を超えて添加されていないことを意味する。スリップ剤としては、例えば、炭酸カルシウムまたはタルクなどの粒子や、シリコーン樹脂または四級アンモニウム塩化合物などの界面活性剤が挙げられる。

　シリコン材料の輸送用包装体の最内層に位置するシーラント１に由来する揮発成分（シーラント１由来のアウトガス成分等）が内容物であるポリシリコンやシリコンウェハに付着してしまうと、当該シリコンウェハを用いて製造される半導体装置において欠陥を生じさせてしまうおそれがある。そのため、シーラント１に由来する揮発成分は、可能な限り少ないのが望ましい。シーラント１に由来する揮発成分を低減させるためには、シーラント１の厚みＴ２を可能な限り薄くするのが望ましい。シーラント１の厚みＴ２が相対的に薄いことで、シーラント１に由来する揮発成分がフィルム外部へ放出されるため、シーラント１に由来する揮発成分を低減させることができる。一方で、シーラント１の厚みＴ２を薄くし過ぎると、引張強度等の機械的特性に対する耐性が低くなってしまい、内容物を梱包する袋として機能が低下するおそれがある。この点、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）に比べ、伸縮性が高く、折り曲げに対する耐性が高いため、シーラント１としてリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を用いることで、シーラント１の厚みＴ２を相対的に薄くすることができる。

　また、シリコン材料の輸送用包装体１０（図６参照）に樹脂ケース５１（図７参照）を収容した後、当該包装体１０から脱気して梱包されるため、当該包装体１０を構成する包装材料３（図３及び図４参照）に含まれるシーラント１には、良好な追従性が求められる。この点においても、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は相対的に高い伸縮性を有するため、当該リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）が用いられることで、シーラント１の追従性を良好にすることができる。

　シーラントがリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されれば、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されるシーラントの押込弾性率を１５０ＭＰａ～６００ＭＰａ程度に調整することができるため、シーラントの厚みを薄くすることができると考えられる。また、シーラントの追従性を良好にすることを考慮しても、シーラントがリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されるのは好ましいということができる。しかし、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の重合時の圧力は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の重合時の圧力よりも低いために、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）においては、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）に比べて低分子成分が揮発しやすい。そのため、シーラントがリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されていると、シーラントの厚みを薄くすることができたとしても、シーラントに由来する揮発成分によってシリコン材料が汚染されてしまうおそれがあると考えられる。また、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）よりも滑り性が低くなる傾向があるため、シーラントがリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されていると、シーラントの表面の滑り性が低くなるおそれがあると考えられる。シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントは、異物になるおそれがあるスリップ剤は実質的に添加されないことが好ましいため、スリップ剤の使用以外の手段で滑り性を向上させることが好ましい。本実施形態においては、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含む中間層２３が、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第１表面層２１及び第２表面層２２により挟まれている。そのため、本実施形態に係るシーラント１によれば、厚みＴ２を相対的に薄くすることができ、追従性や滑り性も良好であり、また中間層２３に含まれるリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）から低分子成分が揮発するのを防止することができる。

　図２に示すシーラント１において、単層構造体のシーラント基材２は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）とを含む。このシーラント基材２において、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）との配合比が、５０：５０～７０：３０程度であればよい。このように、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の配合量がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の配合量以上、好ましくはＬＤＰＥの配合量がＬＬＤＰＥの配合量よりも多いことで、シーラント基材２の第１面２Ａ側において低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の存在量を多くすることができるとともに、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）によりシーラント１の厚みＴ２を薄くするという効果、すなわち低分子成分が揮発するのを防止するという効果が奏される。なお、シーラント基材２の厚み方向で見たときに、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）とが実質的に均一に存在していてもよいし、第１面２Ａ側及び第２面２Ｂ側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）が偏在していてもよい。

　本実施形態に係るシーラント１の厚みＴ２は、当該シーラント１を含む包装材料３（図３及び図４参照）により構成されるシリコン材料の輸送用包装体１０（図６参照）の厚さ等に応じて適宜設定され得るものであるが、例えば、３５μｍ～６０μｍ程度であればよい。

　図１に示す態様において、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第１表面層２１及び低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第２表面層２２が中間層２３を挟んで配置されていることで、シーラント１の一方面側の内部応力と他方面側の内部応力とがある程度相殺され、シーラント１がカールすることを抑制できる。また、図１に示す態様において第１表面層２１及び第２表面層２２のそれぞれの厚みＴ２１，Ｔ２２は、いずれも中間層２３の厚みＴ２３よりも薄い。第１表面層２１及び第２表面層２２のそれぞれの厚みＴ２１，Ｔ２２が中間層２３の厚みＴ２３よりも薄く構成されていることで、シーラント１に所定の追従性が付与され得る。第１表面層２１の厚みＴ２１と中間層２３の厚みＴ２３との比は、１：１～１０程度であればよく、１：２～３程度であるのが好ましい。当該厚みの比が上記範囲であることで、中間層２３に含まれる低密度リニアポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）による十分な追従性がシーラント１に付与され、シーラント１の押込弾性率を３００ＭＰａ～５００ＭＰａの範囲とすることができる。なお、押込弾性率は、微小硬さ試験機（製品名「ピコデンター（ＰＩＣＯＤＥＮＴＯＲ）　ＨＭ５００」、フィッシャー・インスツルメント社製）により測定され得る。図２に示す態様において、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）との配合比が５０：５０～７０：３０であることで、シーラント１の押込弾性率を３００ＭＰａ～５００ＭＰａの範囲とすることができる。

　シーラントのシール強度は、ヒートシール時のシール温度、シール圧力、シール時間等によりコントロール可能であることが知られている。一般に、シール温度が高くなるほどに、シール強度が向上する傾向を有するが、シール温度が高すぎると、必要以上にシーラントが溶融してしまい、却ってシール強度を低下させてしまうおそれがある。本実施形態においては、シール温度１５０℃、シール圧力０．１ＭＰａ、シール時間１秒のヒートシール条件下で、シーラント１の第１面２Ａ同士をシールしたときのシール強度が、３０Ｎ／１５ｍｍ以上であればよく、５０Ｎ／１５ｍｍ以上６０Ｎ／１５ｍｍ未満であるのが好ましい。当該シール強度が３０Ｎ／１５ｍｍ未満であると、シーラント１を有する包装材料３（図３及び図４参照）により構成されるシリコン材料の輸送用包装体１０（図６参照）に包装されたシリコン材料の輸送途中に、当該シリコン材料の輸送用包装体１０のヒートシール部（例えば上面ヒートシール部ＨＳＴ等（図７参照））が剥離してしまうおそれがある。

　上述したように、シーラント１の厚みＴ２を相対的に薄くする観点から、シーラント１の構成材料としてリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を使用するのが好適であると考えられる。しかしながら、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）により構成されるシーラントにおいては、所定のシール強度を得るために必要なシール温度が相対的に高くなってしまう。この点、本実施形態においては、シーラント１の第１表面層２１が低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含むことで、所定のシール強度を得るために必要なシール温度を相対的に低下させることができる。

　本実施形態に係るシーラント１のヘイズは、２５％以下であればよく、２０％以下であるのが好ましい。シーラント１のヘイズが２０％以下であることで、、シーラント１を有する包装材料３から製造されるシリコン材料の輸送用包装体１０（図６参照）においてその内部の視認性を良好にすることができる。また、シリコン材料をシリコン材料の輸送用包装体に包装する前に、シーラント１の第１面２Ａに異物が付着しているか否かを確認することができ、シリコン材料の汚染を未然に防止することもできる。なお、シーラント１のヘイズは、例えば、ヘイズメーター（製品名：ＨＭ－１５０，村上色彩研究所社製）を用いて、ＪＩＳ－Ｋ７１３６に準拠して測定され得る。

　上述した構成を有するシーラント１は、従来公知のフィルム成膜法を用いて製造され得る。例えば、図１に示す構成を有するシーラント１は、ダイコート法、インフレーション法等の塗工法等を用いて、第２表面層２２、中間層２３及び第１表面層２１を積層形成することで製造され得る。図２に示す構成を有するシーラント１も同様に、上記塗工法、押出インフレーション法等を用いて製造され得る。

　ここで、第１表面層２１の構成材料として低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）を用い、中間層２３の構成材料として低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）及びリニア低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＬＤＰＥ，プライムポリマー社製，製品名：ウルトゼックス３５００ＺＡ）の溶融混合物（配合比＝１：１（質量基準））を用い、第２表面層２２の構成材料として低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）を用い、多層共押出インフレーション成膜法により、図１に示す構成を有するシーラント１（第１表面層２１（膜厚：８μｍ）、中間層２３（膜厚：２４μｍ）、第２表面層２２（膜厚：８μｍ））を作製した（試料１）。

　また、低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）のペレット及びリニア低密度ポリエチレン（スリップ剤が実質的に添加されていないＬＬＤＰＥ，プライムポリマー社製，製品名：ウルトゼックス３５００ＺＡ）のペレットを配合比７：３（質量基準）で溶融混合し、インフレーション成膜法により、図２に示す構成を有するシーラント１（厚み：４０μｍ）を作製した（試料２）。

　さらに、無添加リニア低密度ポリエチレン（無添加ＬＬＤＰＥ，タマポリ社製，製品名：ＮＢ－１）からなるシーラント（厚み：５０μｍ）を準備した（試料３）。

　上記試料１～３のシーラントを１００ｍｍ×２５ｍｍに切り出した切片をエタノールに６０℃で１週間浸漬させた後、当該切片からの揮発成分を、下記条件のＧＣ／ＭＳにて分析し、マススペクトルを得た。得られたマススペクトルを図９Ａ～図９Ｃに示す。

＜ＧＣ／ＭＳ条件＞
・ガスクロマトグラフ：ＧＣＭＳ－ＱＰ２０１０（島津製作所社製）
・カラム：６７０－１５００３－０３(長さ：３０ｍｍ，内径：０．２５ｍｍ，島津製作所社製）
・カラムオーブン温度：５０℃
・注入量：１μＬ
・キャリアガス：Ｈｅ（５７．１ｍＬ／分）
・気化室温度設定：３００℃
・測定モード：スプリット

　図９Ａ～図９Ｃに示すマススペクトルのように、試料１及び試料２のシーラント１からは、揮発成分が検出されなかったが、試料３のシーラントからは、揮発成分が検出された。試料１及び試料２のように、第１面２Ａ側に位置する第１表面層２１が低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含み、それよりも第２面２Ｂ側に位置する中間層２３がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含むことで、シーラント１から低分子成分の揮発を防止可能であると推察され得る。

　また、上記試料１～３のシーラントから所望サイズで切り出した切片について、ＩＳＯ１４５７７：２０１５に準拠して、温度２３℃±２℃、湿度６０％ＲＨ±５％ＲＨの雰囲気で押込弾性率を測定した。まず、２０ｍｍ×２０ｍｍの大きさに切り出した上記切片の第１面２Ａが上面となるように市販のスライドガラス（以下「第１スライドガラス」という。）に、接着樹脂（製品名「アロンアルフア（登録商標）一般用」、東亜合成社製）を介して固定した。具体的には、第１スライドガラス（製品名「スライドガラス（切放タイプ）１－９６４５－１１」、アズワン社製）の中央部に上記接着樹脂を滴下した。この際、接着樹脂を塗り広げず、また後述するように押し広げたときに接着樹脂が上記切片からはみ出さないように１滴の接着樹脂を滴下した。その後、上記切片を第１面２Ａ側が上面になり、かつ切片の中央部に接着樹脂が位置するように第１スライドガラスに接触させ、第１スライドガラスと切片との間で接着樹脂を押し広げ、仮接着した。そして、別の新しいスライドガラス（以下「第２スライドガラス」という。）を切片の上に載せ、第１スライトガラス／接着樹脂／切片／第２スライドガラスの積層体を得た。次いで、第２スライドガラスの上に３０ｇ以上５０ｇの重りを置き、１２時間室温で放置した。その後、重りと第２スライドガラスを取り外し、これを測定用サンプルとした。そして、この測定用サンプルを除振台に平行に設置した微小硬さ試験機（製品名：ピコデンター（ＰＩＣＯＤＥＮＴＯＲ）ＨＭ５００、フィッシャー・インスツルメント社製）の測定ステージに固定した。この固定は、測定サンプルが動かないように、第１スライドガラスの４辺をテープ（製品名：セロテープ（登録商標）、ニチバン社製）で固定した。次に、切片の第１面２Ａにおいて、ビッカース圧子（対面角１３６°の正四角錐のダイヤモンド圧子）を装着させた超微小負荷硬さ試験機（ピコデンターＨＭ５００，フィッシャー・インストルメンツ社製）を用いて、押込速度０．１５μｍ／秒、押込深さ３μｍ、保持時間５秒間、引き抜き速度０．１５μｍ／秒の条件で押込弾性率（ＭＰａ）を測定した。１つの切片において、少なくとも異なる５箇所で測定し、それらの測定値の平均を、シーラントについてその条件での押込弾性率の値とした。結果を表１に示す。

　表１に示す結果から明らかなように、試料１及び試料２の押込弾性率は、試料３の押込弾性率よりも大きいものの、実用上、十分な追従性を発揮可能な程度に伸縮性を有し、耐屈曲性を有するものと推察される。また、試料１及び試料２のシーラントは、十分な透明性を確保可能であると推察される。

　さらに、試料１～３のシーラントの第１面同士を、シール温度１１０℃、１２０℃、１３０℃、１４０℃及び１５０℃でヒートシールし、ヒートシール部を含む１５ｍｍ幅のヒートシール試験片を採取し、当該ヒートシール試験片の各シール温度におけるシール強度（Ｎ／１５ｍｍ）をＪＩＳ－Ｚ１７１１に準拠して求めた。

　表２に示す結果から明らかなように、試料１及び試料２のシーラント１においては、試料３のシーラントに比して、より低いシール温度で高いシール強度を得ることができると推察される。なお、シール温度１１０℃及び１２０℃の条件においては、試料１～３のいずれも満足するシール強度が得られなかった。

　図３に示すように、本実施形態における包装材料３は、基部４の一方面側に第２面２Ｂを当接させるようにして上記シーラント１を積層してなる多層構造を有する。

　基部４は、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ナイロン（登録商標，Ｎｙ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等から選択される１種の樹脂材料又は２種以上の樹脂材料の積層体により構成される。なお、図３に示す例においては、基部４が２種の樹脂材料の積層体（第１樹脂層４１及び第２樹脂層４２）により構成されており、第１樹脂層４１がシーラント１の第２面２Ｂに対する接着層として機能している。この場合において、例えば、第１樹脂層４１はポリエチレン（ＰＥ）により構成され、第２樹脂層４２はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）により構成されていればよい。

　上記包装材料３におけるシーラント１は、当該包装材料３から製造されるシリコン材料の輸送用包装体１０（図６参照）にシリコン材料が包装されたときに、当該包装体１０内部を視認可能な程度の透明性を有する。そのため、当該シーラント１を有する包装材料３においても、同様に、包装体１０内部を視認可能な程度の透明性を有しているのが望ましい。そのような観点から、本実施形態における包装材料３のヘイズは、例えば、３０％以下であればよく、２５％以下であるのが好ましい。包装材料３のヘイズが３０％を超えると、包装材料３から製造されるシリコン材料の輸送用包装体１０の内部の視認性が悪化してしまったり、シリコン材料の輸送用包装体１０におけるシーラント１の第１面２Ａに異物が付着しているか否かの確認が困難になったりするおそれがある。なお、包装材料３のヘイズは、例えば、ヘイズメーター（製品名：ＨＭ－１５０，村上色彩研究所社製）を用いて、ＪＩＳ－Ｋ７１３６に準拠して測定され得る。

　本実施形態において、基部４の他方面側にガスバリア層５を有していてもよい（図４参照）。ガスバリア層５を有することで、包装材料３から製造されるシリコン材料の輸送用包装体１０（図６参照）の外部から、シリコン材料表面を汚染するガス等が侵入するのを防止することができる。ガスバリア層５は、例えば、シリカもしくはアルミナ等の無機酸化物等を樹脂層（例えばＰＥＴ層等）に蒸着させてなる蒸着膜等であればよい。また、包装材料３は、基部４の他方面側に、アルミニウム等の金属を蒸着させてなる金属蒸着膜や、アルミニウム等の金属箔を有していてもよい。これらの金属蒸着膜や金属箔を基部４の他方面側に有する場合、包装材料３において透明性が確保されないが、包装材料３から製造されるシリコン材料の輸送用包装体１０にガスバリア性の他、光遮蔽性をも付与することができる。また、この態様において、基部４の一方面側に設けられているシーラント１が所定の透明性を有することで、包装材料３から作製されるシリコン材料の輸送用包装体１０におけるシーラント１の第１面２Ａに異物が付着しているか否かを、より容易に確認することができる。

　上述した構成を有する包装材料３は、従来公知のフィルム等の作製方法により作製すればよいが、例えば、図５に示すように、第１ロール６１、第２ロール６２、第３ロール６３及びＴダイ６４を有する製造装置６０を用いて作製され得る。かかる製造装置６０において、シーラント１の第２面２Ｂと、第２樹脂層４２との間に、第１樹脂層４１を構成する樹脂材料がフィルム状にＴダイ６４から押し出され、第１ロール６１、第２ロール６２及び第３ロール６３により面状圧接されて冷却されることで、包装材料３が作製される。

　図６に示すように、本実施形態におけるシリコン材料の輸送用包装体１０は、広げることで略方体状（略直方体状）となる包装袋であって、第１側面フィルム１１、第２側面フィルム１２、第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４によって構成されている。第１側面フィルム１１、第２側面フィルム１２、第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４は、いずれも上記包装材料３により構成されている。シリコン材料の輸送用包装体１０は、第１側面フィルム１１、第２側面フィルム１２、第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４のいずれものシーラント１の第１面２Ａが最内面に位置し、基部４の他方面側が最外面に位置するように構成されている。

　上記シリコン材料の輸送用包装体１０において、第１側面フィルム１１の２つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第１ガゼットフィルム１３の２つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第１ヒートシール部ＨＳ１が形成され、第１側面フィルム１１の上記側縁部の他方と折り込まれた第２ガゼットフィルム１４の２つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第２ヒートシール部ＨＳ２が形成されている。また、第２側面フィルム１２の２つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第１ガゼットフィルム１３の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第３ヒートシール部ＨＳ３が形成され、第２側面フィルム１２の上記側縁部の他方と折り込まれた第２ガゼットフィルム１４の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第４ヒートシール部ＨＳ４が形成されている。第１側面フィルム１１及び第２側面フィルム１２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる底面ヒートシール部ＨＳＢが形成され、底面ヒートシール部ＨＳＢに対向して位置する第１側面フィルム１１及び第２側面フィルム１２のそれぞれの側縁部は、ヒートシールされずにシリコン材料の輸送用包装体１０の開口部１５を形成している。

　第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４を折り込んだシリコン材料の輸送用包装体１０が多数積み重ねられている状態で、第１側面フィルム１１又は第２側面フィルム１２を吸着保持して上方に持ち上げることで、開口部１５を開くことができる。その開いた開口部１５から、シリコン材料の輸送用包装体１０内にシリコン材料（シリコンウェハ）５２を格納する樹脂ケース５１（図７参照）又はシリコン材料（ポリシリコン）５３（図８参照）を収容し、当該開口部１５における第１側面フィルム１１及び第２側面フィルム１２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールすることで、上面ヒートシール部ＨＳＴを形成してシリコン材料の梱包体５０（図７及び図８参照）を作製することができる。

　一般に、シリコン材料を包装するための包装体の最内層にはシーラントが位置するが、シーラントに由来する揮発成分（シーラント由来のアウトガス成分）がポリシリコンやシリコンウェハ等のシリコン材料に付着してしまうと、当該シリコン材料を用いて製造される半導体装置において欠陥を生じさせるおそれがある。したがって、シーラントからの揮発成分が少ないことが望まれる。シーラントからの揮発成分を減らす方法の一つとして、シーラントを薄くすることが挙げられる。シーラントを薄くした際に、折り曲げ等による耐性を考えると、シーラントの構成材料としてリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を用いることが好ましい。しかしながら、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、重合時の圧力が低いことで、低分子成分が発生しやすく、シーラントから揮発成分が発生しやすくなるおそれがある。また、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）のシール温度が比較的高いため、シール強度を出しにくくなるおそれもある。

　本実施形態におけるシリコン材料の輸送用包装体１０においては、その最内層に位置するシーラント１の第１面２Ａ側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）が含まれ、それよりも第２面２Ｂ側にリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）が含まれている。シーラント１を構成するリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）により、シーラント１の厚みＴ２を相対的に薄くすることができ、追従性を良好することができるとともに、シーラント１の第１面２Ａ側に含まれる低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）によって、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）からの低分子成分の揮発を防止することができる。なお、シリコン材料の輸送用包装体１０を構成する包装材料３の基部４の他方面側に金属蒸着膜や金属箔が設けられている場合、所定の透明性が確保されないが、包装材料３の基部４の他方面側に金属蒸着膜や金属箔が設けられていることで、シリコン材料の輸送用包装体１０にガスバリア性や光遮蔽性を付与することができる。また、基部４の一方面側に設けられているシーラント１において所定の透明性が確保されていることで、シリコン材料の輸送用包装体１０におけるシーラント１の第１面２Ａに異物が付着しているか否かを容易に確認することができる。

　図１０～図１２に示すように、本実施形態に係るシリコン材料の輸送用袋１００は、第１の袋１１０と、第１の袋１１０内に配置される第２の袋１２０とを備える二重包装袋である。第１の袋１１０がいわゆる外袋であり、第２の袋１２０がいわゆる内袋である。内袋である第２の袋１２０は、外袋である第１の袋１１０から独立したものであって、第１の袋１１０に固定されることなく第１の袋１１０内に配置されている。

　第１の袋１１０及び第２の袋１２０は、いずれも広げることで略方体状（略直方体状）となる包装袋であって、第１側面フィルム１１１，１２１、第２側面フィルム１１２，１２２、第１ガゼットフィルム１１３，１２３及び第２ガゼットフィルム１１４，１２４によって構成されている。第１側面フィルム１１１、第２側面フィルム１１２、第１ガゼットフィルム１１３及び第２ガゼットフィルム１１４は、いずれも第１の包装材料１３０（図１３参照）により構成されている。第１側面フィルム１２１、第２側面フィルム１２２、第１ガゼットフィルム１２３及び第２ガゼットフィルム１２４は、いずれも第２の包装材料１４０（図１４～１７参照）により構成されている。第２の袋１２０の外径寸法は、第１の袋１１０内に配置可能な寸法であればよい。すなわち、第１の袋１１０は、第２の袋１２０よりもわずかに大きい。なお、第１の袋１１０及び第２の袋１２０は、いずれも第１ガゼットフィルム１１３，１２３及び第２ガゼットフィルム１１４，１２４を有しないものであってもよい。この場合において、第１側面フィルム１１１，１２１及び第２側面フィルム１１２，１２２を、互いのシーラント層１３２，１４２の第１面１３２Ａ，１４２Ａを対向させるようにして３つの側縁部をヒートシールすればよい。

　第１の袋１１０の各フィルム（第１側面フィルム１１１、第２側面フィルム１１２、第１ガゼットフィルム１１３、第２ガゼットフィルム１１４）を構成する第１の包装材料１３０は、一方面１３１Ａ及びそれに対向する他方面１３１Ｂを有する樹脂基材層１３１と、樹脂基材層１３１の一方面１３１Ａ側に積層されているシーラント層１３２とを有する（図１３参照）。なお、第１の包装材料１３０は、樹脂基材層１３１とシーラント層１３２との二層構造に限定されない。例えば、樹脂基材層１３１とシーラント層１３２との間に、樹脂層や接着剤層等の他の層が設けられていてもよい。同様に、樹脂基材層１３１のシーラント層１３２側とは反対側に上記他の層が設けられていてもよいし、シーラント層１３２の樹脂基材層１３１側とは反対側に上記他の層が設けられていてもよい。

　第２の袋１２０の各フィルム（第１側面フィルム１２１、第２側面フィルム１２２、第１ガゼットフィルム１２３、第２ガゼットフィルム１２４）を構成する第２の包装材料１４０は、一方面１４１Ａ及びそれに対向する他方面１４１Ｂを有する樹脂基材層１４１と、樹脂基材層１４１の一方面１４１Ａ側に積層されているバリア層１４３と、バリア層１４３上に積層されているシーラント層１４２とを有する（図１４参照）。第２の包装材料１４０は、図１４に示す態様の他、バリア層１４３、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等を含む樹脂層１４４、シーラント層１４２をこの順で積層するものであってもよいし（図１５参照）、樹脂基材層１４１、バリア層１４３、樹脂層１４４、シーラント層１４２をこの順で積層するものであってもよいし（図１６参照）、樹脂基材層１４１、接着剤層１４５、バリア層１４３、シーラント層１４２をこの順で積層するものであってもよい（図１７参照）。なお、上記第１の包装材料１３０と同様に、第２の包装材料１４０においても、上記の層構成に限定されず、上記他の層が設けられていてもよい。

　樹脂層１４４に含まれる樹脂材料としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル系樹脂材料等が挙げられる。図１６に示す態様において、樹脂基材層１４１と樹脂層１４４とは同一材料を含んでいてもよいし、異なる材料を含んでいてもよいが、同一材料を含んでいることが好ましい。これにより、バリア層１４３の両面で応力差が生じ難くなり、バリア層１４３にクラックが生じることを抑制することができる。

　図１６では、シーラント層１４２とバリア層１４３との間に１層の樹脂層１４４が設けられているが、複数層の樹脂層１４４が設けられていてもよい。また、複数層の樹脂層１４４が設けられる場合、当該複数層の樹脂層１４４は、互いに同一材料を含んでいてもよいし、異なる材料を含んでいてもよい。例えば、図示はしないが、樹脂基材層、バリア層、第１樹脂層、第２樹脂層、シーラント層をこの順で積層する場合、第１樹脂層がポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を含み、第２樹脂層がポリエチレン（ＰＥ）を含んでいてもよい。

　接着剤層１４５は、接着剤を用いて形成され得る。接着剤としては、例えば、２液型ウレタン樹脂接着剤等が挙げられる。より具体的には、主剤（ロックペイント社製、Ｒｕ７７ｔ）と硬化剤（ロックペイント社製、Ｈ－７）とを混合した２液型ウレタン樹脂接着剤が挙げられる。接着剤層１４５は、バリア層１４３よりも内側又は外側に配置され得るが、バリア層１４３よりも外側に配置されることがより好ましい。第２の包装材料１４０を用いて袋を作製した際に、バリア層１４３よりも袋の外側に接着剤層４５が配置されるため、接着剤層１４５からの有機成分が袋の内部に移動することを抑えることができる。これにより、当該袋にシリコン材料を収容したときには、袋内のシリコン材料の劣化が生じるのを抑制することができる。接着剤層１４５の厚みは、例えば、１μｍ～５μｍ程度であればよく、２μｍ～４μｍ程度であるのが好ましい。接着剤層１４５の厚みが１μｍよりも薄いと、十分な接着強度を得ることができないおそれがある。一方、接着剤層１４５の厚みが５μｍよりも厚いと、硬化反応に時間を要することで、未反応物や残留溶剤等が接着剤層１４５により多く含まれてしまうおそれがある。

　なお、「バリア層よりも内側」とは、第２の包装材料１４０を用いて第２の袋１２０を作製したしたとき、第２の包装材料１４０のバリア層１４３よりも第２の袋１２０の内側に位置することを意味する。一方、「バリア層よりも外側」とは、第２の包装材料１４０を用いて第２の袋１２０を作製したとき、第２の包装材料１４０のバリア層１４３よりも第２の袋１２０の外側に位置することを意味する。

　第１の包装材料１３０の樹脂基材層１３１は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル系樹脂材料等により構成され、１種の樹脂材料の単層体であってもよいし、２種以上の樹脂材料の積層体であってもよい。樹脂基材層１３１は、ナイロン（Ｎｙ，登録商標）等のポリアミド系樹脂材料を含んでいても構わないが、当該ポリアミド系樹脂材料を含んでいない方が好ましい。樹脂基材層１３１がポリアミド系樹脂材料を含んでいないことで、第１の袋１１０の開封時等に内容物であるシリコン材料を汚染させてしまう可能性を低減することができる。なお、樹脂基材層１３１とシーラント層１３２との間には、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）等の層を含んでいてもよい。

　第２の包装材料１４０の樹脂基材層１４１は、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル系樹脂材料、ナイロン（登録商標，Ｎｙ）等のポリアミド系樹脂材料等から選択される１種の樹脂材料又は２種以上の樹脂材料の積層体により構成される。樹脂基材層１４１は、ナイロン（Ｎｙ，登録商標）等のポリアミド系樹脂材料を含んでいない方が好ましい。ポリアミド系樹脂材料の残存モノマーであるカプロラクタムは内容物であるシリコン材料を汚染させてしまうおそれがあるが、第２の袋１２０が樹脂基材層１４１の内側に位置するバリア層１４３を有することで、当該カプロラクタムによる汚染を抑制することができる。この点、樹脂基材層１４１がポリアミド系樹脂材料を含んでいると、第２の袋１２０の開封時に、樹脂基材層１４１に含まれ得るカプロラクタムによるシリコン材料の汚染が生じるおそれを否定することはできないが、樹脂基材層１４１がポリアミド系樹脂材料を含んでいないことで、内容物であるシリコン材料を汚染させてしまう可能性をさらに低減することができる。

　また、一般に、外袋及び内袋の二重梱包の袋にシリコン材料が梱包された梱包体が輸送中に衝撃を受け、外袋が損傷してしまった場合に、内袋がバリア層を有していないため、内容物であるシリコン材料が汚染されるおそれがある。本実施形態によれば、内袋である第２の袋１２０が樹脂基材層１４１の内側に位置するバリア層１４３を有することで、外袋である第１の袋が損傷してしまった場合であっても、シリコン材料の汚染を抑制することができる。

　第１の包装材料１３０の樹脂基材層１３１及び第２の包装材料１４０の樹脂基材層１４１の厚さは、例えば、８μｍ～３０μｍであればよく、１０μｍ～２７μｍであるのが好ましい。当該厚さが８μｍ未満であると、第１の袋１１０及び第２の袋１２０の袋形状を維持することができ難く、シリコン材料の輸送用袋１００にシリコン材料を収容する際の作業性が悪化するおそれがあり、３０μｍを超えると、第１の袋１１０及び第２の袋１２０が変形し難くなり、シリコン材料の輸送用袋１００にシリコン材料を収容し、脱気して梱包する際に、第１の袋１１０及び第２の袋１２０の追従性が低下するおそれがある。

　第２の包装材料１４０の層構成としては、以下の具体例を挙げることができる。
〔樹脂基材層１４１／接着剤層／バリア層１４３／樹脂層１４４／樹脂層／シーラント層１４２の層構成の具体例〕
・ＰＥＴ／接着剤層／ＡｌＯ_X／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ＰＥＴ／接着剤層／ＳｉＯ_X／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＡｌＯ_X／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＳｉＯ_X／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＡｌＯ_X／ナイロン／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＳｉＯ_X／ナイロン／ＰＥ／シーラント層
〔樹脂基材層１４１／バリア層１４３／接着剤層／樹脂層１４４／樹脂層／シーラント層１４２の層構成の具体例〕
・ＰＥＴ／ＡｌＯ_X／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ＰＥＴ／ＳｉＯ_X／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／ＡｌＯ_X／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／ＳｉＯ_X／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
　なお、上記層構成の具体例において、「シーラント層」としては、前述の試料１、試料２及び試料３等が挙げられる。上記層構成の具体例において、「ＡｌＯ_X」はアルミナの蒸着膜であり、「ＳｉＯ_X」はシリカの蒸着膜である。上記層構成の具体例において、「ＰＥＴ」はポリエチレンテレフタレート層であり、「ナイロン」はナイロン層であり、「ＰＥ」はポリエチレン層である。

　第１の包装材料１３０のシーラント層１３２は、第１面１３２Ａ及びそれに対向する第２面１３２Ｂを有する。第１の包装材料１３０において、シーラント層１３２の第２面１３２Ｂが樹脂基材層１３１側に位置する。シーラント層１３２は、第１面１３２Ａ側に位置する第１表面層３２１と、第２面１３２Ｂ側に位置する第２表面層３２２と、第１表面層３２１及び第２表面層３２２の間に挟まれている中間層３２３とを有する積層構造体であってもよいし（図１８参照）、第１面１３２Ａ及び第２面１３２Ｂを有する単層構造体であってもよい（図１９参照）。

　シーラント層１３２は、熱融着可能な樹脂成分を含んでいればよく、例えば、ポリオレフィン、環状ポリオレフィン、カルボン酸変性ポリオレフィン、カルボン酸変性環状ポリオレフィン等を含んでいればよい。

　ポリオレフィンとしては、例えば、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等のポリエチレン；ホモポリプロピレン、ポリプロピレンのブロックコポリマー（例えば、プロピレンとエチレンとのブロックコポリマー等）、ポリプロピレンのランダムコポリマー（例えば、プロピレンとエチレンとのランダムコポリマー等）等のポリプロピレン；エチレン？ブテン？プロピレンのターポリマー；等が挙げられる。

　環状ポリオレフィンは、オレフィンと環状モノマーとの共重合体であり、環状ポリオレフィンの構成モノマーであるオレフィンとしては、例えば、エチレン、プロピレン、４？メチル？１？ペンテン、スチレン、ブタジエン、イソプレン等が挙げられる。また、環状ポリオレフィンの構成モノマーである環状モノマーとしては、例えば、ノルボルネン等の環状アルケン；具体的には、シクロペンタジエン、ジシクロペンタジエン、シクロヘキサジエン、ノルボルナジエン等の環状ジエン等が挙げられる。

　カルボン酸変性ポリオレフィンとは、ポリオレフィンをカルボン酸でブロック重合又はグラフト重合することにより変性したポリマーである。変性に使用されるカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸等が挙げられる。

　カルボン酸変性環状ポリオレフィンとは、環状ポリオレフィンを構成するモノマーの一部を、α，β－不飽和カルボン酸又はその無水物に代えて共重合することにより、あるいは環状ポリオレフィンに対してα，β－不飽和カルボン酸又はその無水物をブロック重合又はグラフト重合することにより得られるポリマーである。

　後述するように、第２の袋１２０を構成する第２の包装材料１４０のシーラント層１４２は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等のポリエチレン等を含むものであればよいため、第１の袋１１０を構成する第１の包装材料１３０が備えるシーラント層１３２もまた、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等のポリエチレン等を含むものであるのが好ましい。なお、第１の包装材料１３０のシーラント層１３２は、第２の包装材料１４０のシーラント層１４２を構成する低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等のポリエチレン等と略同一のシール温度であったり、所望のシール強度が得られたりする等、同等のシール特性を有するものであれば、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等のポリエチレン等を含むもの以外のものであってもよい。第１の包装材料１３０のシーラント層１３２と第２の包装材料１４０のシーラント層１４２とのシール特性（例えばシール温度条件）が異なると、シリコン材料の輸送用袋１００にシリコン材料を収容してシリコン材料の梱包体１６０（図２２参照）を作製する際に、工程上の不具合等が生じるおそれがある。

　シーラント層１３２の第１面１３２Ａ側に位置する第１表面層３２１は、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む層であってもよく、第２面１３２Ｂ側に位置する第２表面層３２２は、第１表面層３２１と同様に、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む層であってもよく、第１表面層３２１と第２表面層３２２との間に挟まれている中間層３２３は、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含む層であってもよい。なお、本実施形態において「スリップ剤が実質的に添加されていない」とは、スリップ剤としてシーラントの表面の滑り性を実際に向上させる成分がシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える目的でシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える量を超えて添加されていないことを意味する。スリップ剤としては、例えば、炭酸カルシウムまたはタルクなどの粒子や、シリコーン樹脂または四級アンモニウム塩化合物などの界面活性剤が挙げられる。

　第２の包装材料１４０のシーラント層１４２は、第１の包装材料１３０のシーラント層１３２と同様に、第１面１４２Ａ及びそれに対向する第２面１４２Ｂを有する。第２の包装材料１４０において、シーラント層１４２の第２面１４２Ｂが樹脂基材層１４１側に位置する。シーラント層１４２は、第１面１４２Ａ側に位置する第１表面層４２１と、第２面１４２Ｂ側に位置する第２表面層４２２と、第１表面層４２１及び第２表面層４２２の間に挟まれている中間層４２３とを有する積層構造体であってもよいし（図２０参照）、第１面１４２Ａ及び第２面１４２Ｂを有する単層構造体であってもよい（図２１参照）。

　シーラント層１４２は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等のポリエチレン等を含んでいればよく、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、スリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等を含んでいるのが好ましい。

　シーラント層１４２は、第２の袋１２０の最内層に位置するため、シーラント層１４２に由来する揮発成分（シーラント層１４２由来のアウトガス成分等）が内容物であるポリシリコンやシリコンウェハに付着してしまうと、当該シリコンウェハを用いて製造される半導体装置において欠陥を生じさせてしまうおそれがある。そのため、シーラント層１４２に由来する揮発成分は、可能な限り少ないのが望ましい。シーラント層１４２に由来する揮発成分を低減させるためには、シーラント層１４２の厚みＴ１４２を可能な限り薄くするのが望ましい。シーラント層１４２の厚みＴ１４２が相対的に薄いことで、シーラント層１４２に由来する揮発成分がフィルム外部へ放出されるため、シーラント層１４２に由来する揮発成分を低減させることができる。一方で、シーラント層１４２の厚みＴ１４２を薄くし過ぎると、引張強度等の機械的特性に対する耐性が低くなってしまい、内容物を梱包する袋として機能が低下するおそれがある。この点、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）に比べ、伸縮性が高く、折り曲げに対する耐性が高いため、シーラント層１４２としてリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を用いることで、シーラント層１４２の厚みＴ１４２を相対的に薄くすることができる。

　また、第２の袋１２０に樹脂ケース１５１（図２２参照）又はポリシリコン１５３（図２３参照）を収容した後、当該第２の袋１２０から脱気して梱包されるため、当該第２の袋１２０を構成する第２の包装材料１４０に含まれるシーラント層１４２には、良好な追従性が求められる。この点においても、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は相対的に高い伸縮性を有するため、当該リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）が用いられることで、シーラント層１４２の追従性を良好にすることができる。

　シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されれば、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されるシーラント層の押込弾性率を１５０ＭＰａ～６００ＭＰａ程度に調整することができるため、シーラント層の厚みを薄くすることができると考えられる。また、シーラント層の追従性を良好にすることを考慮しても、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されるのは好ましいということができる。しかし、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の重合時の圧力は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の重合時の圧力よりも低いために、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）においては、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）に比べて低分子成分が揮発しやすい。そのため、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されていると、シーラント層の厚みを薄くすることができたとしても、シーラント層に由来する揮発成分によってシリコン材料が汚染されてしまうおそれがあると考えられる。また、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）よりも滑り性が低くなる傾向があるため、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されていると、シーラント層の表面の滑り性が低くなるおそれがあると考えられる。第２の袋１２０に用いられるシーラント層１４２は、異物になるおそれがあるスリップ剤は実質的に添加されないことが好ましいため、スリップ剤の使用以外の手段で滑り性を向上させることが好ましい。本実施形態においては、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含む中間層４２３が、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第１表面層４２１及び第２表面層４２２により挟まれていてもよい。そのため、第２の袋１２０のシーラント層１４２においては、その厚みＴ１４２を相対的に薄くすることができ、追従性や滑り性も良好であり、また中間層４２３に含まれるリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）から低分子成分が揮発するのを防止することができる。

　図１９及び図２１に示す単層構造体のシーラント層１３２，１４２は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）とを含んでいてもよい。このシーラント層１３２，１４２において、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）との配合比が、５０：５０～７０：３０程度であればよい。このように、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の配合量がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の配合量よりも多いことで、シーラント層１３２，１４２の第１面１３２Ａ，１４２Ａ側において低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の存在量を多くすることができるとともに、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）によりシーラント層１３２，１４２の厚みＴ１３２，Ｔ１４２を薄くするという効果、すなわち低分子成分が揮発するのを防止するという効果が奏される。なお、シーラント層１３２，１４２の厚み方向で見たときに、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）とが実質的に均一に存在していてもよいし、第１面１３２Ａ，１４２Ａ側及び第２面１３２Ｂ，１４２Ｂ側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）が偏在していてもよい。

　シーラント層１３２，１４２の厚みＴ１３２，Ｔ１４２は、第１の包装材料１３０により構成される第１の袋１１０の厚さ、第２の包装材料１４０により構成される第２の袋１２０の厚さ等に応じて適宜設定され得るものであるが、例えば、３５μｍ～１００μｍ程度であればよい。

　図１８及び図２０に示す態様において、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第１表面層３２１，４２１及び低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第２表面層３２２，４２２が中間層３２３，４２３を挟んで配置されていることで、シーラント層１３２，１４２の一方面側の内部応力と他方面側の内部応力とがある程度相殺され、シーラント層１３２，１４２がカールすることを抑制できる。また、図１８及び図２０に示す態様において第１表面層３２１，４２１及び第２表面層３２２，４２２のそれぞれの厚みＴ３２１，Ｔ３２２，Ｔ４２１，Ｔ４２２は、いずれも中間層３２３，４２３の厚みＴ３２３，Ｔ４２３よりも薄い。第１表面層３２１，４２１及び第２表面層３２２，４２２のそれぞれの厚みＴ３２１，Ｔ３２２，Ｔ４２１，Ｔ４２２が中間層３２３，４２３の厚みＴ３２３，Ｔ４２３よりも薄く構成されていることで、シーラント層１３２，１４２に所定の追従性が付与され得る。第１表面層３２１，４２１の厚みＴ３２１，Ｔ４２１と中間層３２３，４２３の厚みＴ３２３，Ｔ４２３との比は、１：１～１０程度であればよく、１：２～３程度であるのが好ましい。当該厚みの比が上記範囲であることで、中間層３２３，４２３に含まれる低密度リニアポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）による十分な追従性がシーラント層１３２，１４２に付与され、シーラント層１３２，１４２の押込弾性率を３００ＭＰａ～５００ＭＰａの範囲とすることができる。なお、押込弾性率は、微小硬さ試験機（製品名「ピコデンター（ＰＩＣＯＤＥＮＴＯＲ）　ＨＭ５００」、フィッシャー・インスツルメント社製）により測定され得る。

　シーラントのシール強度は、ヒートシール時のシール温度、シール圧力、シール時間等によりコントロール可能であることが知られている。一般に、シール温度が高くなるほどに、シール強度が向上する傾向を有するが、シール温度が高すぎると、必要以上にシーラントが溶融してしまい、却ってシール強度を低下させてしまうおそれがある。本実施形態においては、シール温度１５０℃、シール圧力０．１ＭＰａ、シール時間１秒のヒートシール条件下で、シーラント層１３２，１４２の第１面１３２Ａ，１４２Ａ同士をシールしたときのシール強度が、３０Ｎ／１５ｍｍ以上であればよく、５０Ｎ／１５ｍｍ以上６０Ｎ／１５ｍｍ未満であるのが好ましい。当該シール強度が３０Ｎ／１５ｍｍ未満であると、シーラント層１３２，１４２を有する第１及び第２の包装材料１３０，１４０により構成される第１及び第２の袋１１０，１２０を有するシリコン材料の輸送用袋１００に包装されたシリコン材料の梱包体１６０の輸送途中に、当該シリコン材料の輸送用袋１００のヒートシール部（例えば上面ヒートシール部ＨＳＴ１，ＨＳＴ２等（図２２及び図２３参照））が剥離してしまうおそれがある。

　上述したように、シーラント層１４２の厚みＴ１４２を相対的に薄くする観点から、シーラント層１４２の構成材料としてリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を使用するのが好適であると考えられる。しかしながら、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）により構成されるシーラント層においては、所定のシール強度を得るために必要なシール温度が相対的に高くなってしまう。この点、本実施形態においては、シーラント層１４２の第１表面層４２１が低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含むことで、所定のシール強度を得るために必要なシール温度を相対的に低下させることができる。

　本実施形態におけるシーラント層１４２のヘイズは、２５％以下であればよく、２０％以下であるのが好ましい。シーラント層１４２のヘイズが２０％以下であることで、第２の袋１２０の内部の視認性を良好にすることができる。また、シリコン材料をシリコン材料の輸送用包装体に包装する前に、シーラント層１４２の第１面４１Ａに異物が付着しているか否かを確認することができ、シリコン材料の汚染を未然に防止することもできる。なお、シーラント層１４２のヘイズは、例えば、ヘイズメーター（製品名：ＨＭ－１５０，村上色彩研究所社製）を用いて、ＪＩＳ－Ｋ７１３６に準拠して測定され得る。

　上述した構成を有するシーラント層１３２，１４２は、従来公知のフィルム成膜法を用いて製造され得る。例えば、図１８及び図２０に示す構成を有するシーラント層１３２，１４２は、ダイコート法、インフレーション法等の塗工法等を用いて、第２表面層３２２，４２２、中間層３２３，４２３及び第１表面層３２１，４２１を積層形成することで製造され得る。図１９及び図２１に示す構成を有するシーラント層１３２，１４２も同様に、上記塗工法、押出インフレーション法等を用いて製造され得る。

　本実施形態における第２の包装材料１４０が有するバリア層１４３は、例えば、シリカ又はアルミナ等の無機酸化物等を、例えばＰＥＴ層等に蒸着させた蒸着膜等であればよい。第２の包装材料１４０がバリア層１４３を有することで、第２の袋１２０の外部から、内容物であるシリコン材料表面を汚染するガス等が侵入するのを抑制することができる。バリア層１４３は、樹脂基材層１４１や樹脂層１４４にアルミニウム等の金属を蒸着させてなる金属蒸着膜や、アルミニウム等の金属箔等であってもよい。バリア層１４３がこれらの金属蒸着膜や金属箔である場合、第２の袋１２０において透明性が確保されないが、第２の袋１２０にバリア性の他、光遮蔽性をも付与することができる。また、この態様において、シーラント層１４２が所定の透明性を有することで、第２の袋１２０におけるシーラント層１４２の第１面１４２Ａに異物が付着しているか否かを、より容易に確認することができる。

　上述したように、シーラント層１３２，１４２は、シリコン材料の輸送用袋１００（図１０参照）にシリコン材料が包装されたときに、当該輸送用袋１００内部を視認可能な程度の透明性を有する。そのため、当該シーラント層１３２，１４２を有する第１の包装材料１３０及び第２の包装材料１４０においても、同様に、輸送用袋１００の内部を視認可能な程度の透明性を有しているのが望ましい。そのような観点から、本実施形態における第１の包装材料１３０及び第２の包装材料１４０のヘイズは、例えば、３０％以下であればよく、２５％以下であるのが好ましい。第１の包装材料１３０及び第２の包装材料１４０のヘイズが３０％を超えると、第１の包装材料１３０及び第２の包装材料１４０のそれぞれから製造される第１の袋１１０及び第２の袋１２０を有するシリコン材料の輸送用袋１００の内部の視認性が悪化してしまったり、シリコン材料の輸送用袋１００におけるシーラント層１３２，１４２の第１面１３２Ａ，１４２Ａに異物が付着しているか否かの確認が困難になったりするおそれがある。なお、第１の包装材料１３０及び第２の包装材料１４０のヘイズは、例えば、ヘイズメーター（製品名：ＨＭ－１５０，村上色彩研究所社製）を用いて、ＪＩＳ－Ｋ７１３６に準拠して測定され得る。

　第１の袋１１０は、第１側面フィルム１１１、第２側面フィルム１１２、第１ガゼットフィルム１１３及び第２ガゼットフィルム１１４の各シーラント層１３２の第１面１３２Ａが最内面に位置し、樹脂基材層１３１の他方面１３１Ｂ側が最外面に位置するように構成されている。第２の袋１２０は、第１側面フィルム１２１、第２側面フィルム１２２、第１ガゼットフィルム１２３及び第２ガゼットフィルム１２４の各シーラント層１４２の第１面１４２Ａが最内面に位置し、樹脂基材層１４１の他方面１４１Ｂ（図１４及び図１６参照）又はバリア層１４３（図１５参照）側が最外面に位置するように構成されている。

　上記第１の袋１１０及び第２の袋１２０のそれぞれにおいて、第１側面フィルム１１１，１２１の２つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第１ガゼットフィルム１１３，１２３の２つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第１ヒートシール部ＨＳ１１，ＨＳ２１が形成され、第１側面フィルム１１１，１２１の上記側縁部の他方と折り込まれた第２ガゼットフィルム１１４，１２４の２つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第２ヒートシール部ＨＳ１２，ＨＳ２２が形成されている。また、第２側面フィルム１１２，１２２の２つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第１ガゼットフィルム１１３，１２３の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第３ヒートシール部ＨＳ１３，ＨＳ２３が形成され、第２側面フィルム１１２，１２２の上記側縁部の他方と折り込まれた第２ガゼットフィルム１１４，１２４の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第４ヒートシール部ＨＳ１４，ＨＳ２４が形成されている。第１側面フィルム１１１，１２１及び第２側面フィルム１１２，１２２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる底面ヒートシール部ＨＳＢ１，ＨＳＢ２が形成され、底面ヒートシール部ＨＳＢ１，ＨＳＢ２に対向して位置する第１側面フィルム１１１，１２１及び第２側面フィルム１１２，１２２のそれぞれの側縁部は、ヒートシールされずに第１の袋１１０及び第２の袋１２０の開口部１１５，１２５を形成している。

　第１ガゼットフィルム１２３及び第２ガゼットフィルム１２４を折り込んだ第２の袋１２０が多数積み重ねられている状態で、第１側面フィルム１２１又は第２側面フィルム１２２を吸着保持して上方に持ち上げることで、開口部１２５を開くことができる。その開いた開口部１２５から、第２の袋１２０内にシリコン材料１５２を格納する樹脂ケース１５１（図２２参照）又はポリシリコン１５３（図２３参照）を収容し、当該開口部１２５における第１側面フィルム１２１及び第２側面フィルム１２２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールすることで、上面ヒートシール部ＨＳＴ２を形成する。続いて、第１ガゼットフィルム１１３及び第２ガゼットフィルム１１４を折り込んだ第１の袋１１０が多数積み重ねられている状態で、第１側面フィルム１１１又は第２側面フィルム１１２を吸着保持して上方に持ち上げることで、開口部１１５を開くことができる。その開いた開口部１１５から、樹脂ケース１５１又はポリシリコン１５３が収容され、上面ヒートシール部ＨＳＴ２が形成された第２の袋１２０を収容する。そして、当該開口部１１５における第１側面フィルム１１１及び第２側面フィルム１１２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールすることで、上面ヒートシール部ＨＳＴ１を形成する。このようにして、シリコン材料の梱包体１６０が作製され得る。

　本実施形態における第２の袋１２０においては、その最内層に位置するシーラント層１４２の第１面１４２Ａ側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）が含まれ、それよりも第２面１４２Ｂ側にリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）が含まれている。シーラント層１４２を構成するリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）により、シーラント層１４２の厚みＴ１４２を相対的に薄くすることができ、追従性を良好にすることができるとともに、シーラント層１４２の第１面１４２Ａ側に含まれる低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）によって、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）からの低分子成分の揮発を防止することができる。なお、第２の袋１２０を構成する第２の包装材料１４０のバリア層１４３が金属蒸着膜や金属箔等である場合、所定の透明性が確保されないが、バリア層１４３が金属蒸着膜や金属箔であることで、第２の袋１２０にバリア性や光遮蔽性を付与することができる。また、シーラント層１４２において所定の透明性が確保されていることで、第２の袋１２０におけるシーラント層１４２の第１面１４２Ａに異物が付着しているか否かを容易に確認することができる。

　図２４Ａに示すように、本実施形態に係る包装材料２００は、シリコン材料の輸送用袋１０００（図２８及び図２９参照）に用いられるものであって、第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２を有する樹脂基材層２０１と、第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２の間に位置するバリア層２０３と、第２の樹脂基材層２０１２におけるバリア層２０３の反対側に樹脂層２０４を介して位置するシーラント層２０５とを有する積層体である。包装材料２００により構成されるシリコン材料の輸送用袋１０００において、シーラント層２０５が内側に位置し、第１の樹脂基材層２０１１が外側に位置している。

　第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２は、いずれも、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル系樹脂材料等により構成され、１種の樹脂材料の単層体であってもよいし、２種以上の樹脂材料の積層体であってもよい。

　第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２は、いずれも、ナイロン（Ｎｙ，登録商標）等のポリアミド系樹脂材料等を含んでいてもよいが、少なくとも第２の樹脂基材層２０１２は当該ポリアミド系樹脂材料を含んでいない方が好ましく、第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２の両者が当該ポリアミド系樹脂材料を含んでいないのが特に好ましい。ポリアミド系樹脂材料の残存モノマーであるカプロラクタムは、梱包体２５０（図３０及び図３１参照）の内容物であるシリコン材料（シリコンウェハ２５２，ポリシリコン２５３）を汚染させる原因物質となり得るが、輸送用袋１０００が第１の樹脂基材層２０１１の内側に位置するバリア層２０３を有することで、当該カプロラクタムによりシリコン材料２５２，２５３を汚染させてしまう可能性を低減することができる。この点、第２の樹脂基材層２０１２がポリアミド系樹脂材料を含んでいなくても、第１の樹脂基材層２０１１がポリアミド系樹脂材料を含んでいると、輸送用袋１０００の開封時に、第１の樹脂基材層２０１１に含まれ得るカプロラクタムによるシリコン材料２５２，２５３の汚染が生じるおそれを否定することはできないが、第１の樹脂基材層２０１１がポリアミド系樹脂材料を含んでいないことで、内容物であるシリコン材料２５２，２５３を汚染させてしまう可能性をさらに低減することができる。

　第１の樹脂基材層２０１１を構成する樹脂材料と第２の樹脂基材層２０１２を構成する樹脂材料とは、互いに同一の樹脂材料であってもよいし、互いに異なる樹脂材料であってもよいが、互いに同一の樹脂材料であるのが好ましい。本実施形態に係る包装材料２００により構成されるシリコン材料の輸送用袋１０００にシリコン材料２５２，２５３を梱包する際、当該輸送用袋１０００にシリコン材料２５２，２５３を収容した後、輸送用袋１０００内を脱気して真空包装する。真空包装された梱包体２５０において、輸送用袋１０００を構成する包装材料２００には所定の応力がかかる。包装材料２００に応力がかかったときにおけるバリア層２０３の一方側に位置する第１の樹脂基材層２０１１の歪みと他方側に位置する第２の樹脂基材層２０１２の歪みとの間に大きな差が生じてしまうと、この歪みの差にバリア層２０３が追従することができずに当該バリア層２０３にクラックが生じてしまうおそれがある。バリア層２０３にクラックが生じてしまうと、酸素や水蒸気等の透過を遮断するバリア機能が低下してしまい、内容物であるシリコン材料２５２，２５３を汚染させてしまうおそれがある。本実施形態においては、バリア層２０３の両面側に第１の樹脂基材層２０１１と第２の樹脂基材層２０１２とが位置していることで、包装材料２００に所定の応力がかかったときであっても、第１の樹脂基材層２０１１と第２の樹脂基材層２０１２との間に大きな歪みの差が生じ難く、バリア層２０３にクラックが生じてしまうのを抑制することができる。バリア層２０３にクラックが生じてしまうのをより効果的に抑制するために、第１の樹脂基材層２０１１を構成する樹脂材料と第２の樹脂基材層２０１２を構成する樹脂材料とが互いに異なるものであったとしても、両者の樹脂材料の押込弾性率の差が小さいのが好ましく、両者の樹脂材料が互いに同一であるのが特に好ましい。なお、両者の樹脂材料が互いに異なる場合、両者の樹脂材料の押込弾性率の差は、１０００ＭＰａ以内であるのが好ましく、８００ＭＰａ以内であるのが特に好ましい。第１の樹脂基材層２０１１に含まれる樹脂材料の主成分（質量基準で最も多く含まれる樹脂材料）と第２の樹脂基材層２０１２に含まれる樹脂材料の主成分とが同一である場合、第１の樹脂基材層２０１１と第２の樹脂基材層２０１２とを構成する樹脂材料が同一であるということができる。

　また、本実施形態のように、バリア層２０３の両面に樹脂基材層２０１（第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２）が設けられていることで、包装材料２００の強度を相対的に向上させることができる。包装材料２００の強度が向上することで、シリコン材料の輸送用袋１０００が破れ難くなったり、シリコン材料の輸送用袋１０００にシリコン材料２５２，２５３を梱包するときの作業性が良好になったりするという効果が奏され得る。

　第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２の押込弾性率は、それぞれ１５００ＭＰａ～３５００ＭＰａであればよく、１８００ＭＰａ～３３００ＭＰａであるのが好ましい。包装材料２００の厚さにもよるが、当該押込弾性率が１５００ＭＰａ未満であると、シリコン材料の輸送用袋１０００の強度が相対的に低下しやすくなって当該輸送用袋１０００が破損する可能性が高くなり、３５００ＭＰａを超えると、シリコン材料の輸送用袋１０００の剛性が相対的に大きくなりやすくなって、当該輸送用袋１０００にシリコン材料を梱包する際の作業性が低下する可能性が高くなる。

　第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２の厚さは、それぞれ、例えば、６μｍ～４０μｍであればよく、１０μｍ～３０μｍであるのが好ましい。第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２の押込弾性率にもよるが、当該厚さが６μｍ未満であると、シリコン材料の輸送用袋１０００の強度が相対的に低下しやすくなって当該輸送用袋１０００が破損する可能性が高くなり、４０μｍを超えると、シリコン材料の輸送用袋１０００の剛性が相対的に大きくなりやすくなって、当該輸送用袋１０００にシリコン材料を梱包する際の作業性が低下する可能性が高くなる。このように、シリコン材料の輸送用袋１０００の強度や当該輸送用袋１０００へのシリコン材料の梱包作業性の観点から、包装材料２００を構成する第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２の押込弾性率と厚さとを適切な範囲に設定することが重要となる。例えば、押込み弾性率が相対的に小さい場合には、厚さを相対的に厚くし、押込弾性率が相対的に大きい場合には、厚さを相対的に薄くすることで、シリコン材料の輸送用袋１０００の強度や当該輸送用袋１０００へのシリコン材料の梱包作業性を良好にすることができる。一方で、所定の剛性を有する、例えばシーラント層２０５よりも押込弾性率の大きい第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２によってバリア層２０３が挟まれていることで、バリア層２０３がダメージを受けることを抑制することができる。したがって、シリコン材料の輸送用袋１０００の強度や当該輸送用袋１０００へのシリコン材料の梱包作業性とともに、バリア層２０３の保護性等の観点から、第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２の押込弾性率及び厚さを適切な範囲に設定するのが好ましい。

　第１の樹脂基材層２０１１とシーラント層２０５との間に、樹脂層２０４が設けられていてもよい。樹脂層２０４は、第１の樹脂基材層２０１１とバリア層２０３との間に設けられることができる。また、樹脂層２０４は、バリア層２０３と第２の樹脂基材層２０１２との間に設けられることができる。また、樹脂層２０４は、第２の樹脂基材層２０１２とシーラント層２０５との間に設けられることができる。なお、複数の樹脂層２０４が、第１の樹脂基材層２０１１とシーラント層２０５との間に設けられることができる。複数の樹脂層２０４は、バリア層２０３よりも外側に設けられていてもよいし、バリア層２０３よりも内側に設けられていてもよい。また、バリア層２０３よりも外側及び内側に、樹脂層２０４が少なくとも１層ずつ設けられていてもよい。樹脂層２０４は、ポリエチレン（ＰＥ）等のポリオレフィンの押出ラミネートにより形成されていてもよいし、第２の樹脂基材層２０１２とシーラント層２０５とを接着する接着剤により形成されていてもよい。接着剤としては、例えば、２液型ウレタン樹脂接着剤等が挙げられる。２液型ウレタン樹脂接着剤としては、例えば、主剤（ロックペイント社製、Ｒｕ７７ｔ）と硬化剤（ロックペイント社製、Ｈ－７）とを混合した２液型ウレタン樹脂接着剤を用いることができる。

　樹脂層２０４が接着剤により形成されている場合、接着剤により形成された樹脂層２０４（以下、「接着剤層」ともいう場合がある。）は、第１の樹脂基材層２０１１とバリア層２０３との間に設けられていることが好ましい。図２４Ｂ及び図２５Ｃに示すように、例えば、包装材料２００としては、第１の樹脂基材層２０１１、樹脂層２０４（接着剤層）、バリア層２０３、第２の樹脂基材層２０１２、シーラント層２０５をこの順に積層した積層体や、第１の樹脂基材層２０１１、第１の樹脂層２０４１（接着剤層）、バリア層２０３、第２の樹脂基材層２０１２、第２の樹脂層２０４２、シーラント層２０５をこの順に積層した積層体等が挙げられる。このような構成の包装材料２００を用いてシリコン材料の輸送用袋１０００を作製した際に、バリア層２０３よりも輸送用袋１０００の外側に樹脂層２０４（接着剤層）が配置されるため、樹脂層２０４（接着剤層）に含まれる有機成分が輸送用袋１０００の内部に移動することを抑えることができる。これにより、当該輸送用袋１０００にシリコン材料を収容したときには、輸送用袋１０００内のシリコン材料の劣化が生じるのを抑制することができる。なお、樹脂層２０４（接着剤層）から移動可能な有機成分としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等の未反応のモノマー等が挙げられる。接着剤により形成された樹脂層２０４（接着剤層）の厚みは、例えば、１μｍ～５μｍ程度であればよく、２μｍ～４μｍ程度であるのが好ましい。接着剤により形成された樹脂層２０４（接着剤層）の厚みが１μｍよりも薄いと、十分な接着強度を得ることができないおそれがある。一方、接着剤により形成された樹脂層２０４（接着剤層）の厚みが５μｍよりも厚いと、硬化反応に時間を要することで、未反応物や残留溶剤等が樹脂層２０４により多く含まれてしまうおそれがある。なお、押出ラミネートにより形成された樹脂層２０４の厚みは、例えば、１０μｍ以上程度であればよい。樹脂層２０４の押込弾性率は、第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２の押込弾性率よりも１桁以上小さければよく、２桁以上小さくてもよい。より具体的には、樹脂層２０４の押込弾性率は２５０ＭＰａ以下程度であればよく、１５０ＭＰａ以下程度であればよく、１００ＭＰａ以下程度であればよい。バリア層２０３を間に挟む両側の層間に相対的に大きな歪みの差が生じることによりバリア層２０３にクラックが生じるおそれがあるが、樹脂層２０４の押込弾性率が第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２の押込弾性率よりも１桁以上小さいことで、当該歪みの差によってバリア層２０３に生じるクラックに対する樹脂層２０４の影響を相対的に小さくすることができる。

　包装材料２００の層構成としては、以下の具体例を挙げることができる。
〔第１の樹脂基材層２０１１／樹脂層２０４／バリア層２０３／第２の樹脂基材層２０１２／樹脂層２０４／シーラント層２０５の層構成の具体例〕
・ＰＥＴ／接着剤層／ＡｌＯ_X／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ＰＥＴ／接着剤層／ＳｉＯ_X／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＡｌＯ_X／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＳｉＯ_X／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＡｌＯ_X／ナイロン／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／接着剤層／ＳｉＯ_X／ナイロン／ＰＥ／シーラント層
〔第１の樹脂基材層２０１１／バリア層２０３／樹脂層２０４／第２の樹脂基材層２０１２／樹脂層２０４／シーラント層２０５の層構成の具体例〕
・ＰＥＴ／ＡｌＯ_X／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ＰＥＴ／ＳｉＯ_X／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／ＡｌＯ_X／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／ＳｉＯ_X／接着剤層／ＰＥＴ／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／ＡｌＯ_X／接着剤層／ナイロン／ＰＥ／シーラント層
・ナイロン／ＳｉＯ_X／接着剤層／ナイロン／ＰＥ／シーラント層
　なお、上記層構成の具体例において、「シーラント層」としては、前述の試料１、試料２及び試料３等が挙げられる。上記層構成の具体例において、「ＡｌＯ_X」はアルミナの蒸着膜であり、「ＳｉＯ_X」はシリカの蒸着膜である。上記層構成の具体例において、「ＰＥＴ」はポリエチレンテレフタレート層であり、「ナイロン」はナイロン層であり、「ＰＥ」はポリエチレン層である。

　なお、「バリア層よりも内側」とは、包装材料２００を用いてシリコン材料の輸送用袋１０００を作製したしたとき、包装材料２００のバリア層２０３よりも輸送用袋１０００の内側に位置することを意味する。一方、「バリア層よりも外側」とは、包装材料２００を用いてシリコン材料の輸送用袋１０００を作製したとき、包装材料２００のバリア層２０３よりも輸送用袋１０００の外側に位置することを意味する。

　シーラント層２０５は、第１面２０５Ａ及びそれに対向する第２面２０５Ｂを有する。包装材料２００において、シーラント層２０５の第２面２０５Ｂが第２の樹脂基材層２０１２側に位置する。シーラント層２０５は、第１面２０５Ａ側に位置する第１表面層２０５１と、第２面２０５Ｂ側に位置する第２表面層２０５２と、第１表面層２０５１及び第２表面層２０５２の間に挟まれている中間層２０５３とを有する積層構造体であってもよいし（図２６参照）、第１面２０５Ａ及び第２面２０５Ｂを有する単層構造体であってもよい（図２７参照）。

　シーラント層２０５は、熱融着可能な樹脂成分を含んでいればよく、例えば、ポリオレフィン、環状ポリオレフィン、カルボン酸変性ポリオレフィン、カルボン酸変性環状ポリオレフィン等を含んでいればよい。

　ポリオレフィンとしては、例えば、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）等のポリエチレン；ホモポリプロピレン、ポリプロピレンのブロックコポリマー（例えば、プロピレンとエチレンとのブロックコポリマー等）、ポリプロピレンのランダムコポリマー（例えば、プロピレンとエチレンとのランダムコポリマー等）等のポリプロピレン；エチレン－ブテン－プロピレンのターポリマー；等が挙げられる。

　環状ポリオレフィンは、オレフィンと環状モノマーとの共重合体であり、環状ポリオレフィンの構成モノマーであるオレフィンとしては、例えば、エチレン、プロピレン、４－メチル－１－ペンテン、スチレン、ブタジエン、イソプレン等が挙げられる。また、環状ポリオレフィンの構成モノマーである環状モノマーとしては、例えば、ノルボルネン等の環状アルケン；具体的には、シクロペンタジエン、ジシクロペンタジエン、シクロヘキサジエン、ノルボルナジエン等の環状ジエン等が挙げられる。

　シーラント層２０５の第１面２０５Ａ側に位置する第１表面層２０５１は、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む層であってもよく、第２面２０５Ｂ側に位置する第２表面層２０５２は、第１表面層２０５１と同様に、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む層であってもよく、第１表面層２０５１と第２表面層２０５２との間に挟まれている中間層２０５３は、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含む層であってもよい。なお、本実施形態において「スリップ剤が実質的に添加されていない」とは、スリップ剤としてシーラントの表面の滑り性を実際に向上させる成分がシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える目的でシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える量を超えて添加されていないことを意味する。スリップ剤としては、例えば、炭酸カルシウムまたはタルクなどの粒子や、シリコーン樹脂または四級アンモニウム塩化合物などの界面活性剤が挙げられる。

　シーラント層２０５は、輸送用袋１０００の最内層に位置するため、シーラント層２０５に由来する揮発成分（シーラント層２０５由来のアウトガス成分等）が内容物であるポリシリコンやシリコンウェハ等のシリコン材料に付着してしまうと、当該シリコン材料を用いて製造される半導体装置等において欠陥を生じさせてしまうおそれがある。そのため、シーラント層２０５に由来する揮発成分は、可能な限り少ないのが望ましい。シーラント層２０５に由来する揮発成分を低減させるためには、シーラント層２０５の厚みＴ２０５を可能な限り薄くするのが望ましい。シーラント層２０５の厚みＴ２０５が相対的に薄いことで、シーラント層２０５に由来する揮発成分がフィルム外部へ放出されるため、シーラント層２０５に由来する揮発成分を低減させることができる。一方で、シーラント層２０５の厚みＴ２０５を薄くし過ぎると、引張強度等の機械的特性に対する耐性が低くなってしまい、内容物を梱包する袋として機能が低下するおそれがある。この点、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）に比べ、伸縮性が高く、折り曲げに対する耐性が高いため、シーラント層２０５としてリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を用いることで、シーラント層２０５の厚みＴ２０５を相対的に薄くすることができる。

　また、輸送用袋１０００に樹脂ケース２５１を収容した後、当該輸送用袋１０００から脱気して梱包されるため、当該輸送用袋１０００を構成する包装材料２００に含まれるシーラント層２０５には、良好な追従性が求められる。この点においても、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は相対的に高い伸縮性を有するため、当該リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）が用いられることで、シーラント層２０５の追従性を良好にすることができる。

　シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されれば、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されるシーラント層の押込弾性率を１５０ＭＰａ～６００ＭＰａ程度に調整することができるため、シーラント層の厚みを薄くすることができると考えられる。また、シーラント層の追従性を良好にすることを考慮しても、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されるのは好ましいということができる。しかし、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の重合時の圧力は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の重合時の圧力よりも低いために、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）においては、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）に比べて低分子成分が揮発しやすい。そのため、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されていると、シーラント層の厚みを薄くすることができたとしても、シーラント層に由来する揮発成分によってシリコン材料が汚染されてしまうおそれがあると考えられる。また、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）よりも滑り性が低くなる傾向があるため、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の単層で構成されていると、シーラント層の表面の滑り性が低くなるおそれがあると考えられる。輸送用袋１０００に用いられるシーラント層２０５は、異物になるおそれがあるスリップ剤は実質的に添加されないことが好ましいため、スリップ剤の使用以外の手段で滑り性を向上させることが好ましい。本実施形態においては、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含む中間層２０５３が、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第１表面層２０５１及び第２表面層２０５２により挟まれていてもよい。そのため、輸送用袋１０００のシーラント層２０５においては、その厚みＴ２０５を相対的に薄くすることができ、追従性や滑り性も良好であり、また中間層２０５３に含まれるリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）から低分子成分が揮発するのを防止することができる。

　単層構造体のシーラント層２０５（図２７参照）は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）とを含んでいてもよい。このシーラント層２０５において、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）との配合比が、５０：５０～７０：３０程度であればよい。このように、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の配合量がリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）の配合量よりも多いことで、シーラント層２０５の第１面２０５Ａ側において低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の存在量を多くすることができるとともに、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）によりシーラント層２０５の厚みＴ２０５を薄くするという効果、すなわち低分子成分が揮発するのを防止するという効果が奏される。なお、シーラント層２０５の厚み方向で見たときに、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）とリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）とが実質的に均一に存在していてもよいし、第１面２０５Ａ側及び第２面２０５Ｂ側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）が偏在していてもよい。

　シーラント層２０５の厚みＴ２０５は、包装材料２００により構成される輸送用袋１０００の厚さ等に応じて適宜設定され得るものであるが、例えば、３５μｍ～６０μｍ程度であればよい。

　図２６に示す態様において、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第１表面層２０５１及び低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む第２表面層２０５２が中間層２０５３を挟んで配置されていることで、シーラント層２０５の一方面側の内部応力と他方面側の内部応力とがある程度相殺され、シーラント層２０５がカールすることを抑制できる。また、図２６に示す態様において第１表面層２０５１及び第２表面層２０５２のそれぞれの厚みＴ２０５１，Ｔ２０５２は、いずれも中間層２０５３の厚みＴ２０５３よりも薄い。第１表面層２０５１及び第２表面層２０５２のそれぞれの厚みＴ２０５１，Ｔ２０５２が中間層２０５３の厚みＴ２０５３よりも薄く構成されていることで、シーラント層２０５に所定の追従性が付与され得る。第１表面層２０５１の厚みＴ２０５１と中間層２０５３の厚みＴ２０５３との比は、１：１～１０程度であればよく、１：２～３程度であるのが好ましい。当該厚みの比が上記範囲であることで、中間層２０５３に含まれる低密度リニアポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）による十分な追従性がシーラント層２０５に付与され、シーラント層２０５の押込弾性率を３００ＭＰａ～５００ＭＰａの範囲とすることができる。なお、押込弾性率は、微小硬さ試験機（製品名「ピコデンター（ＰＩＣＯＤＥＮＴＯＲ）　ＨＭ５００」、フィッシャー・インスツルメント社製）により測定され得る。

　シーラントのシール強度は、ヒートシール時のシール温度、シール圧力、シール時間等によりコントロール可能であることが知られている。一般に、シール温度が高くなるほどに、シール強度が向上する傾向を有するが、シール温度が高すぎると、必要以上にシーラントが溶融してしまい、却ってシール強度を低下させてしまうおそれがある。本実施形態においては、シール温度１５０℃、シール圧力０．１ＭＰａ、シール時間１秒のヒートシール条件下で、シーラント層２０５の第１面２０５Ａ同士をシールしたときのシール強度が、３０Ｎ／１５ｍｍ以上であればよく、５０Ｎ／１５ｍｍ以上６０Ｎ／１５ｍｍ未満であるのが好ましい。当該シール強度が３０Ｎ／１５ｍｍ未満であると、シーラント層２０５を有する包装材料２００により構成される輸送用袋１０００に包装されたシリコン材料の梱包体５０の輸送途中に、当該シリコン材料の輸送用袋１０００のヒートシール部（例えば上面ヒートシール部ＨＳＴ２１等（図３０及び図３１参照））が剥離してしまうおそれがある。

　上述したように、シーラント層２０５の厚みＴ２０５を相対的に薄くする観点から、シーラント層２０５の構成材料としてリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を使用するのが好適であると考えられる。しかしながら、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）により構成されるシーラント層においては、所定のシール強度を得るために必要なシール温度が相対的に高くなってしまう。この点、本実施形態においては、シーラント層２０５の第１表面層２０５１が低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含むことで、所定のシール強度を得るために必要なシール温度を相対的に低下させることができる。

　本実施形態におけるシーラント層２０５のヘイズは、２５％以下であればよく、２０％以下であるのが好ましい。シーラント層２０５のヘイズが２０％以下であることで、輸送用袋１０００の内部の視認性を良好にすることができる。また、シリコン材料をシリコン材料の輸送用袋１０００に包装する前に、シーラント層２０５の第１面２０５Ａに異物が付着しているか否かを確認することができ、シリコン材料の汚染を未然に防止することもできる。なお、シーラント層２０５のヘイズは、例えば、ヘイズメーター（製品名：ＨＭ－１５０，村上色彩研究所社製）を用いて、ＪＩＳ－Ｋ７１３６に準拠して測定され得る。

　上述した構成を有するシーラント層２０５は、従来公知のフィルム成膜法を用いて製造され得る。例えば、図２６に示す構成を有するシーラント層２０５は、ダイコート法、インフレーション法等の塗工法等を用いて、第２表面層２０５２、中間層２０５３及び第１表面層２０５１を積層形成することで製造され得る。図２７に示す構成を有するシーラント層２０５も同様に、上記塗工法、押出インフレーション法等を用いて製造され得る。

　本実施形態におけるバリア層２０３は、例えば、シリカ又はアルミナ等の無機酸化物等を、例えばＰＥＴ層等に蒸着させた蒸着膜等であればよい。包装材料２００がバリア層２０３を有することで、内容物であるシリコン材料２５２，２５３の表面を汚染するガス等が、輸送用袋１０００の外部から内部に侵入するのを抑制することができる。バリア層２０３は、第１の樹脂基材層２０１１や第２の樹脂基材層２０１２にアルミニウム等の金属を蒸着させてなる金属蒸着膜や、アルミニウム等の金属箔等であってもよい。バリア層２０３がこれらの金属蒸着膜や金属箔である場合、輸送用袋１０００において透明性が確保されないが、輸送用袋１０００にバリア性の他、光遮蔽性をも付与することができる。また、この態様において、シーラント層２０５が所定の透明性を有することで、輸送用袋１０００におけるシーラント層２０５の第１面２０５Ａに異物が付着しているか否かを、より容易に確認することができる。

　上述したように、シーラント層２０５は、シリコン材料の輸送用袋１０００（図２８及び図２９参照）にシリコン材料が包装されたときに、当該輸送用袋１０００内部を視認可能な程度の透明性を有する。そのため、当該シーラント層２０５を有する包装材料２００においても、同様に、輸送用袋１０００の内部を視認可能な程度の透明性を有しているのが望ましい。そのような観点から、本実施形態に係る包装材料２００のヘイズは、例えば、３０％以下であればよく、２５％以下であるのが好ましい。包装材料２００のヘイズが３０％を超えると、包装材料２００から製造される輸送用袋１０００の内部の視認性が悪化してしまったり、輸送用袋１０００におけるシーラント層２０５の第１面２０５Ａに異物が付着しているか否かの確認が困難になったりするおそれがある。なお、包装材料２００のヘイズは、例えば、ヘイズメーター（製品名：ＨＭ－１５０，村上色彩研究所社製）を用いて、ＪＩＳ－Ｋ７１３６に準拠して測定され得る。

　なお、本実施形態に係る包装材料２００は、複数のバリア層を有していてもよい。例えば、図２５に示すように、包装材料２００は、第１の樹脂基材層２０１１（樹脂基材層２０１）、第１のバリア層２０３１（バリア層２０３）、第２の樹脂基材層２０１２（樹脂基材層２０１）、第２のバリア層２０３２（バリア層２０３）、第３の樹脂基材層２０１３（樹脂基材層２０１）、樹脂層２０４及びシーラント層２０５をこの順で有する積層体であってもよい。この態様において、第１の樹脂基材層２０１１及び第２の樹脂基材層２０１２は、ポリエステル系樹脂材料又はポリアミド系樹脂材料により構成されていればよいが、第３の樹脂基材層２０１３はポリエステル系樹脂材料により構成されているのが好ましい。上記態様以外にも、包装材料２００は、例えば、第１の樹脂基材層２０１１（樹脂基材層２０１）、第１のバリア層２０３１（バリア層２０３）、第２の樹脂基材層２０１２（樹脂基材層２０１）、樹脂層２０４、第２のバリア層２０３２（バリア層２０３）、第３の樹脂基材層２０１３（樹脂基材層２０１）及びシーラント層２０５をこの順で有する積層体であってもよいし、第１の樹脂基材層２０１１（樹脂基材層２０１）、樹脂層２０４、第１のバリア層２０３１（バリア層２０３）、第２の樹脂基材層２０１２（樹脂基材層２０１）、第２のバリア層２０３２（バリア層２０３）、第３の樹脂基材層２０１３（樹脂基材層２０１）及びシーラント層２０５をこの順で有する積層体であってもよい。なお、これらの包装材料２００の態様においても、前述のように、複数の樹脂層２０４が設けられていてもよい。

　本実施形態におけるシリコン材料の輸送用袋１０００は、広げることで略方体状（略直方体状）となる包装袋であり、第１側面フィルム２１１、第２側面フィルム２１２、第１ガゼットフィルム２１３及び第２ガゼットフィルム２１４によって構成されている。第１側面フィルム２１１、第２側面フィルム２１２、第１ガゼットフィルム２１３及び第２ガゼットフィルム２１４は、いずれも本実施形態に係る包装材料２００により構成されている。なお、輸送用袋１０００は、第１ガゼットフィルム２１３及び第２ガゼットフィルム２１４を有しないものであってもよい。この場合において、第１側面フィルム２１１及び第２側面フィルム２１２を、互いのシーラント層２０５の第１面２０５Ａを対向させるようにして３つの側縁部をヒートシールすればよい。

　輸送用袋１０００は、第１側面フィルム２１１、第２側面フィルム２１２、第１ガゼットフィルム２１３及び第２ガゼットフィルム２１４の各シーラント層２０５の第１面２０５Ａが最内面に位置し、第１の樹脂基材層２０１１が最外面に位置するように構成されている。

　上記輸送用袋１０００において、第１側面フィルム２１１の２つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第１ガゼットフィルム２１３の２つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第１ヒートシール部ＨＳ２１１が形成され、第１側面フィルム２１１の上記側縁部の他方と折り込まれた第２ガゼットフィルム２１４の２つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第２ヒートシール部ＨＳ２１２が形成されている。また、第２側面フィルム２１２の２つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第１ガゼットフィルム２１３の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第３ヒートシール部ＨＳ２１３が形成され、第２側面フィルム２１２の上記側縁部の他方と折り込まれた第２ガゼットフィルム２１４の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第４ヒートシール部ＨＳ２１４が形成されている。第１側面フィルム２１１及び第２側面フィルム２１２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる底面ヒートシール部ＨＳＢ２１が形成され、底面ヒートシール部ＨＳＢ２１に対向して位置する第１側面フィルム２１１及び第２側面フィルム２１２のそれぞれの側縁部は、ヒートシールされずに輸送用袋１０００の開口部２１５を形成している。

　第１ガゼットフィルム２１３及び第２ガゼットフィルム２１４を折り込んだ輸送用袋１０００が多数積み重ねられている状態で、第１側面フィルム２１１又は第２側面フィルム２１２を吸着保持して上方に持ち上げることで、開口部２１５を開くことができる。その開いた開口部２１５から、輸送用袋１０００内にシリコン材料２５２，２５３を格納する樹脂ケース２５１（図３０及び図３１参照）を収容し、当該開口部２１５における第１側面フィルム２１１及び第２側面フィルム２１２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールすることで、上面ヒートシール部ＨＳＴ２１を形成する。このようにして、シリコン材料の梱包体２５０が作製され得る。

　一般に、袋にシリコン材料を梱包する際、袋にシリコン材料を収容した後、袋内を脱気して真空包装する。真空包装された梱包体において、袋を構成する包装材料には所定の応力がかかっている。当該包装材料が、酸化アルミニウムの蒸着層（バリア層）の一方側にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を配置し、他方側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）やリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を配置したものである場合（上記特許文献２を参照）、包装材料に応力がかかったときにおけるバリア層の一方側に位置するＰＥＴの歪みと他方側に位置するポリエチレン（ＬＤＰＥ，ＬＬＤＰＥ）の歪みとの間に差が生じ、この歪みの差にバリア層が追従することができずに当該バリア層にクラックが生じてしまうおそれがある。バリア層にクラックが生じてしまうと、酸素や水蒸気等の透過を遮断するバリア機能が低下してしまう。

　また、シリコン材料が袋に梱包された梱包体が相対的に高温・高湿度の環境に曝された場合にも、バリア層の一方側に位置するＰＥＴとポリエチレン（ＬＤＰＥ，ＬＬＤＰＥ）との伸長率の違い等によってバリア層にクラックが生じてしまうおそれがある。

　本実施形態における輸送用袋１０００においては、バリア層２０３の両面側に第１の樹脂基材層２０１１と第２の樹脂基材層２０１２とが位置していることで、輸送用袋１０００（包装材料２００）に所定の応力がかかったときであっても、第１の樹脂基材層２０１１と第２の樹脂基材層２０１２との間に大きな歪みの差が生じ難く、バリア層２０３にクラックが生じてしまうのを抑制することができる。

　また、輸送用袋１０００の最内層に位置するシーラント層２０５の第１面２０５Ａ側に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）が含まれ、それよりも第２面２０５Ｂ側にリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）が含まれている。シーラント層２０５を構成するリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）により、シーラント層２０５の厚みＴ２０５を相対的に薄くすることができ、追従性を良好することができるとともに、シーラント層２０５の第１面２０５Ａ側に含まれる低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）によって、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）からの低分子成分の揮発を防止することができる。さらに、シーラント層２０５において所定の透明性が確保されていることで、輸送用袋１０００におけるシーラント層２０５の第１面２０５Ａに異物が付着しているか否かを容易に確認することができる。

　以上説明した実施形態は、本開示の理解を容易にするために記載されたものであって、本開示を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本開示の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

　上記実施形態におけるシリコン材料の梱包体５０（図７及び図８参照）は、上記シリコン材料の輸送用包装体１０を内袋とし、それと同様の構成を有する外袋をさらに有するものであってもよく、この場合において、内袋としてのシリコン材料の輸送用包装体１０にシリコン材料５２、５３を収容し、さらに外袋に収容すればよい。この外袋の第１側面フィルム１１、第２側面フィルム１２、第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４のそれぞれを構成する包装材料は、図３及び図４に示す構成を有する包装材料３であってもよいし、帯電防止機能を有する樹脂フィルム（例えば、帯電防止層付きナイロンフィルム（製品名：ボニールＡＳ，興人フィルム＆ケミカルズ株式会社製）等））、ガスバリア層５、第１樹脂層４１及びシーラント１をこの順で積層してなる積層体等であってもよい。

　上記実施形態におけるシリコン材料の輸送用包装体１０（図６参照）は、第１ガゼットフィルム１３及び第２ガゼットフィルム１４を有しないものであってもよい。この場合において、第１側面フィルム１１及び第２側面フィルム１２を、互いのシーラント１の第１面２Ａを対向させるようにして３つの側縁部をヒートシールすればよい。

　上記実施形態において、シリコン材料の輸送用袋１０００（図２９参照）は、いわゆる外袋としての第１の袋と、第１の袋内に配置される、いわゆる内袋としての第２の袋とを備える二重包装袋であってもよい。この場合において、少なくとも第２の袋は、上記実施形態に係る包装材料２００により構成されていればよく、第１の袋も上記包装材料２００により構成されているのが好ましい。

Claims

　シリコン材料の輸送用袋に用いられる包装材料であって、
　前記包装材料は、第１の樹脂基材層と、バリア層と、第２の樹脂基材層と、樹脂層と、シーラント層とをこの順で積層する積層体であり、
　前記樹脂層の押込弾性率（ＭＰａ）は、前記第１の樹脂基材層及び前記第２の樹脂基材層のそれぞれの押込弾性率（ＭＰａ）よりも１桁以上小さく、
　前記シーラント層の押込弾性率（ＭＰａ）は、前記第１の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）及び前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）のそれぞれよりも１桁以上小さく、
　前記第１の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）との差は、前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と前記樹脂層の押込弾性率（ＭＰａ）との差よりも小さい
包装材料。
　前記第１の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）との差は、前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と前記樹脂層の押込弾性率（ＭＰａ）との差よりも１桁以上小さい
請求項１に記載の包装材料。
　前記第１の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）と前記第２の樹脂基材層の押込弾性率（ＭＰａ）との差が、８００ＭＰａ以下である
請求項１又は２に記載の包装材料。
　前記第１の樹脂基材層と前記第２の樹脂基材層を構成する前記樹脂材料の押込弾性率が、１５００ＭＰａ～３５００ＭＰａの範囲内である
請求項１～３のいずれかに記載の包装材料。
　前記シーラント層を構成する材料の押込弾性率が、３００ＭＰａ～５００ＭＰａの範囲内である
請求項１～４のいずれかに記載の包装材料。
　前記樹脂層は、ポリエチレンにより構成される
請求項１～５のいずれかに記載の包装材料。
　前記樹脂層の押込弾性率（ＭＰａ）は、前記第１の樹脂基材層及び前記第２の樹脂基材層のそれぞれの押込弾性率（ＭＰａ）よりも２桁以上小さい
請求項１～５のいずれかに記載の包装材料。
　前記樹脂層は、２液型ウレタン樹脂接着剤により構成される
請求項７に記載の包装材料。
　前記第１の樹脂基材層と前記第２の樹脂基材層とは、同一の樹脂材料により構成される
請求項１～８のいずれかに記載の包装材料。
　前記樹脂層の厚みは、１μｍ～５μｍである
請求項１～９のいずれかに記載の包装材料。
　前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料及び前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂である
請求項１～１０のいずれかに記載の包装材料。
　前記第１の樹脂基材層を構成する樹脂材料及び前記第２の樹脂基材層を構成する樹脂材料が、前記ポリエステル樹脂である
請求項１１に記載の包装材料。
　前記バリア層が透明性を有する
請求項１～１２のいずれかに記載の包装材料。
　前記バリア層は、シリカ又はアルミナを含む
請求項１～１３のいずれかに記載の包装材料。
　シリコン材料の輸送用袋であって、
　前記シリコン材料の輸送用袋は、請求項１～１４のいずれかに記載の包装材料により構成され、
　前記シーラント層が、前記シリコン材料の輸送用袋の内側に位置する
シリコン材料の輸送用袋。
　請求項１５に記載のシリコン材料の輸送用袋と、
　前記シリコン材料の輸送用袋内に収容されているシリコン材料と
を備えるシリコン材料の梱包体。
　シリコン材料の輸送用袋であって、
　第１の袋と、
　前記第１の袋内に配置される第２の袋と
を備え、
　前記第２の袋を構成する包装材料が、バリア層を含む
シリコン材料の輸送用袋。
　前記バリア層は、シリカ又はアルミナを含む
請求項１７に記載のシリコン材料の輸送用袋。
　前記第２の袋を構成する包装材料は、樹脂基材層と、前記バリア層と、シーラント層とをこの順で有する積層材料であり、
　前記シーラント層が、前記第２の袋の内側に位置する
請求項１７又は１８に記載のシリコン材料の輸送用袋。
　前記樹脂基材層が、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂により構成される
請求項１９に記載のシリコン材料の輸送用袋。
　前記第２の袋を構成する包装材料は、前記樹脂基材層と前記バリア層との間に位置する接着剤層をさらに有する積層材料である
請求項１９又は２０に記載のシリコン材料の輸送用袋。
　前記第２の袋を構成する包装材料は、前記バリア層と前記シーラント層との間に位置するポリエステル系樹脂を含む樹脂層をさらに有する積層材料である
請求項１９～２１のいずれかに記載のシリコン材料の輸送用袋。
　前記第２の袋を構成する包装材料は、樹脂基材層と、前記バリア層と、樹脂層と、シーラント層とをこの順で有する積層材料であり、
　前記樹脂基材層と前記樹脂層とが、同一の樹脂を含み、
　前記シーラント層が、前記第２の袋の内側に位置する
請求項１７又は１８に記載のシリコン材料の輸送用袋。
　前記第２の袋を構成する包装材料は、透明である
請求項１７～２３のいずれかに記載のシリコン材料の輸送用袋。
　前記第１の袋を構成する包装材料は、ポリエステル系樹脂を含む樹脂基材層とシーラント層とをこの順で有する積層材料であり、
　前記シーラント層が、前記第１の袋の内側に位置する
請求項１７～２４のいずれかに記載のシリコン材料の輸送用袋。
　前記第１の袋を構成する包装材料は、バリア層を含まない積層材料により構成される
請求項２４又は２５に記載のシリコン材料の輸送用袋。
　前記第１の袋を構成する包装材料は、ポリアミド樹脂を含まない積層材料により構成される
請求項２４～２６のいずれかに記載のシリコン材料の輸送用袋。
　前記第１の袋を構成する包装材料が有する前記樹脂基材層の厚さが、８μｍ～３０μｍである
請求項２４～２７のいずれかに記載のシリコン材料の輸送用袋。
　請求項１７～２８のいずれかに記載のシリコン材料の輸送用袋と、
　前記シリコン材料の輸送用袋の前記第２の袋内に収容されているシリコン材料と
を備えるシリコン材料の梱包体。
　シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントであって、
　第１面及び前記第１面に対向する第２面を有するシーラント基材を備え、
　前記シーラント基材は、前記第１面を含む第１部分と、前記第１部分よりも前記第２面側に位置する第２部分とを含み、
　前記第１部分は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含み、
　前記第２部分は、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含む
シーラント。
　前記第２部分は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）をさらに含む
請求項３０に記載のシーラント。
　前記シーラント基材は、前記第２部分よりも前記第２面側に位置する第３部分をさらに含み、
　前記第３部分は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含む
請求項３０又は３１に記載のシーラント。
　前記シーラント基材は、前記第１部分を含む第１層と、前記第２部分を含む第２層とを少なくとも有する積層構造である
請求項３０～３２のいずれかに記載のシーラント。
　前記シーラント基材は、前記第１部分及び前記第２部分を少なくとも含む単層構造である
請求項３０～３２のいずれかに記載のシーラント。
　前記第１部分は、前記低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）をリッチに含む
請求項３４に記載のシーラント。
　前記第２部分の厚みが、前記第１部分の厚みよりも厚い
請求項３０～３５のいずれかに記載のシーラント。
　前記第１部分に含まれる前記低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）は、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレンである
請求項３０～３６のいずれかに記載のシーラント。
　前記第２部分に含まれる前記リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）は、スリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレンである
請求項３０～３７のいずれかに記載のシーラント。
　樹脂材料により構成される基部と、
　前記基部の一方面側に設けられてなる、請求項３０～３８のいずれかに記載のシーラントと
を有し、
　前記シーラントは、前記第２面を前記基部の一方面側に当接させるようにして設けられてなる包装材料。
　前記基部の他方面側に設けられてなるガスバリア層をさらに有する
請求項３９に記載の包装材料。
　請求項３９又は４０に記載の包装材料により構成される
シリコン材料の輸送用包装体。
　請求項４１に記載のシリコン材料の輸送用包装体と、
　前記シリコン材料の輸送用包装体内に収容されているシリコン材料と
を備えるシリコン材料の梱包体。