WO2020218015A1 - 環境試験室、及び、空気調和システム - Google Patents
環境試験室、及び、空気調和システム Download PDFInfo
- Publication number
- WO2020218015A1 WO2020218015A1 PCT/JP2020/015977 JP2020015977W WO2020218015A1 WO 2020218015 A1 WO2020218015 A1 WO 2020218015A1 JP 2020015977 W JP2020015977 W JP 2020015977W WO 2020218015 A1 WO2020218015 A1 WO 2020218015A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- environmental test
- test room
- air
- surface plate
- temperature
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/02—Ducting arrangements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/044—Systems in which all treatment is given in the central station, i.e. all-air systems
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
- F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N17/00—Investigating resistance of materials to the weather, to corrosion, or to light
Definitions
- the present invention relates to an environmental test room and an air conditioning system.
- Patent Document 1 (unpublished at the time of filing the present invention), the present inventors have arranged an object (optical) for optical measurement arranged near the side wall surface of the flow path portion through which the conditioned air passes and the center of the flow path portion.
- a rectifying member that rectifies the air flow of conditioned air is placed between the installation part of the equipment).
- Patent Document 1 The environmental test laboratory proposed in Patent Document 1 (unpublished at the time of filing the present invention) improved the influence of radiant heat radiated from the side wall surface, but the influence of radiant heat radiated from the floor surface and the like. There was room for improvement.
- the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its main purpose is to provide an environmental test room that reduces the influence of radiant heat radiated from a floor surface or the like, and an air conditioning system. To do.
- the present invention is an environmental test room, in which a supply port to which air-conditioned air of a predetermined temperature is supplied at a predetermined wind speed and a discharge port which is arranged to face the supply port and discharges the conditioned air.
- An installation unit arranged between the outlet, the supply port and the discharge port, through which the conditioned air passes, and near the center of the flow path portion, where an object to be measured for optical measurement is installed.
- a rectifying member arranged between the side wall surface of the flow path portion and the installation portion to rectify the air flow of the conditioned air, and a platen capable of heating and cooling the surface of the flow path portion.
- the side wall surface and the rectifying member are arranged so as to be parallel to the flow direction of the conditioned air flowing from the supply port to the discharge port, and the platen is arranged on the floor. .. Other means will be described later.
- the influence of radiant heat radiated from the floor surface or the like can be reduced.
- the present embodiment will be described in detail with reference to the drawings.
- each figure is only shown schematicly to the extent that the present invention can be fully understood. Therefore, the present invention is not limited to the illustrated examples. Further, in each figure, common components and similar components are designated by the same reference numerals, and duplicate description thereof will be omitted.
- FIG. 1 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of the entire air conditioning system including the environmental test room according to the first embodiment.
- the air conditioning system 1 includes a dehumidifying unit 3, a dry air temperature control unit 4, a dry air heating unit 5, a circulation flow path 6, a blower 41, heaters 51, 54, a heat storage body 55, and the like. There is.
- the air conditioning system 1 harmonizes the air discharged from the discharge port 2out of the environmental test room 2 through the circulation flow path 6 and returns it to the supply port 2in of the environmental test room 2 to circulate the conditioned air in the system. ..
- the dehumidifying unit 3 is provided with a dehumidifier such as a desiccant air conditioner 30, and sends dry air obtained by dehumidifying the air discharged from the environmental test room 2 mixed with outside air to the dry air temperature control unit 4. ..
- the dry air temperature control unit 4 adjusts the temperature of the dry air sent from the dehumidifying unit 3 to a temperature slightly lower than the set air temperature inside the environmental test room 2, and sends the air to the dry air heating unit 5.
- the dry air heating unit 5 heats up to the set air temperature inside the environmental test chamber 2 and sends air into the environmental test chamber 2.
- the inside of the environmental test room 2 is shielded from the outside air by an outer wall made of a heat insulating panel or the like. Only the air conditioned by the air conditioned system 1 is supplied to the environmental test room 2.
- An installation unit 102 for installing an optical measurement object (test object) for optical measurement and an optical measurement device such as a laser interferometer is installed near the center of the environmental test room 2. The details of the environmental test room 2 will be described in the chapter "Structure of the environmental test room".
- the dry air heating unit 5 of the air conditioning system 1 is usually installed so as to be distributed over the entire specific side surface of the environmental test room 2, and the air sent from the dry air heating unit 5 passes through the environmental test room 2. , Flows from the side surface on which the dry air heating unit 5 is installed toward the side surface facing the dry air heating unit 5, most of which is discharged to the dehumidifying unit 3 side, returns in the air conditioning system 1, and a part of the air is discharged to the outside air.
- the exhaust duct to the outside air is provided with a valve 23 (air amount adjusting valve) for adjusting the amount of exhaust gas.
- the dehumidifying unit 3 includes a desiccant air conditioner 30 as a main component, and the air and the outside air discharged from the environmental test room 2 are cooled by coolers 31 and 34 to temperatures suitable for dehumidification, and then mixed. It is supplied to the desiccant air conditioner 30. Temperature sensors 32 and 35 are provided at the outlets of the coolers 31 and 34, respectively, and the control devices (denoted as PID in the figure) 33 and 36 are dehumidified by the temperature obtained by the temperature sensors 32 and 35. The coolers 31 and 34 are controlled so as to have a suitable temperature.
- Cooling the air supplied to the desiccant air conditioner 30, that is, the air to be dehumidified by the coolers 31 and 34 means not only making the air to be dehumidified at a temperature suitable for dehumidification but also pre-dehumidifying. doing.
- the burden of dehumidification by the desiccant air conditioner 30 can be reduced by pre-dehumidifying with the cooler 34.
- the air and the outside air discharged from the environmental test chamber 2 are mixed after being cooled by the coolers 31 and 34, respectively, but the air and the outside air discharged from the environmental test chamber 2 are mixed first. Then, it may be cooled by one cooler.
- the air supplied to the desiccant air conditioner 30 (air to be dehumidified) is blown by the blower 302, passes through the desiccant rotor 301 holding the moisture adsorbent, and is dehumidified.
- a high-temperature regenerative water-adsorbing substance such as a polymer adsorbent, silica gel, or zeolite is used, which adsorbs water at low temperature and releases water at high temperature. Be done.
- the desiccant rotor 301 has a cylindrical shape and rotates around the axis of the cylinder in the direction of the arrow shown in FIG. 1, for example.
- most of the air to be dehumidified passes through the portion of the region A of the rotating desiccant rotor 301, is dehumidified, becomes dry air, and is sent to the dry air temperature control unit 4 side.
- a part of the air to be dehumidified passes through the portion of the region C of the desiccant rotor 301, is heated by the heater 304, returns to the desiccant rotor 301 again, and passes through the portion of the region B.
- the moisture-adsorbing substance held in the region B of the desiccant rotor 301 is exposed to the heated air, so that the moisture-adsorbing ability is restored.
- the air that has passed through the region B contains a large amount of water, it is exhausted to the outside of the dehumidifying unit 3 (air conditioning system 1) via the blower 303.
- the desiccant rotor 301 rotates in the direction of area A ⁇ area B ⁇ area C ⁇ area A ⁇ ....
- the air to be dehumidified cooled by the coolers 31 and 34 passes through the portion of the region A, and the air heated by the heater 304 passes through the portion of the region B. Therefore, as the desiccant rotor 301 rotates, the water-adsorbing substance held therein adsorbs water in the region A, but releases the water adsorbed in the region B to increase the water adsorption capacity. Recover.
- a part of the cooled air to be dehumidified passes through the part of region C.
- the moisture-adsorbing substance heated in the region B is cooled, and the air passing through the region C is heated. Therefore, the energy required for heating in the heater 304 can be saved.
- the dehumidifying load of the desiccant rotor 301 can be reduced, and further, the desiccant rotor 301 can be downsized. ..
- the amount of air supplied to the dehumidifying unit 3 and the amount of air bypassing the dehumidifying unit 3 can be adjusted by controlling the opening degrees of the valves 11 and 13, respectively. Further, as a matter of course, all the air discharged from the environmental test chamber 2 may be supplied to the dehumidifying unit 3 without providing the bypass duct 15.
- the humidity of the air discharged from the desiccant air conditioner 30 is appropriately adjusted by adjusting the temperature of the region B of the desiccant rotor 301, that is, the heating intensity of the heater 304, the rotation speed of the desiccant rotor 301, the air volume of the blower 302, and the like. Can be set.
- the dehumidifying unit 3 is dehumidified by the desiccant air conditioner 30, but the dehumidifying means is not limited to the desiccant air conditioner 30, and is dehumidified by a method of repeating cooling and overheating. There may be.
- the dry air temperature control unit 4 includes a cooler 42 using cold water as a refrigerant, a chiller 43, a heater 48 for heating the cooled cold water, and the like.
- the dry air sent from the dehumidifying section 3 is adjusted to a temperature lower than the set air temperature inside the environmental test chamber 2 by the cooler 42, and then sent to the dry air heating section 5.
- the cooler 42 is provided in the cooling duct 40, and is composed of a coil-shaped pipe through which cold water as a refrigerant (hereinafter referred to as refrigerant water) flows.
- refrigerant water cold water as a refrigerant
- the refrigerant water flowing through the coiled pipe is heated by the heater 48 to adjust the temperature to a predetermined target temperature of the refrigerant water.
- the dry air sent from the dehumidifying unit 3 via the blower 41 is cooled by coming into contact with the chilled water coil, and is cooled from the target temperature of the predetermined dry air (from the set air temperature inside the environmental test chamber 2).
- the temperature is adjusted to a slightly lower temperature).
- a tank 47 is provided in addition to the heater 48 in the middle of the pipe through which the refrigerant water flows.
- the tank 47 plays a role of stabilizing the temperature of the refrigerant water by temporarily storing the refrigerant water.
- the heater 48 is supplied with refrigerant water having a small temperature fluctuation. Then, the refrigerant water having a small temperature fluctuation is heated by the heater 48 controlled by the control devices 61 and 62, and is sent to the cooler 42.
- the control device 61 compares the air temperature obtained from the temperature sensor 63 provided at the outlet of the cooling duct 40 with the preset target air temperature, and based on the difference amount, the refrigerant at the outlet of the heater 48. Calculate the target temperature of water.
- the control device 62 compares the temperature of the refrigerant water obtained from the temperature sensor 49 provided at the outlet of the heater 48 with the target temperature of the refrigerant water calculated by the control device 61, and the heater is based on the difference amount. The heat generation intensity of 48 is controlled.
- the dry air heating unit 5 includes heaters 51, 54, a heat storage body 55, temperature sensors 52, 56, control devices 53, 57, CL, and the like.
- the dry air supplied from the dry air temperature control unit 4 is heated to a predetermined temperature by passing through the heater 51, and further passes through the heater 54 and the heat storage body 55 provided on the side surface of the environmental test chamber 2. Then, it is heated to the set air temperature in the preset environmental test room 2.
- the heating intensity of the heater 51 is controlled by the control device 53 so that the temperature obtained by the temperature sensor 52 provided at the outlet thereof becomes constant.
- the temperature obtained by the temperature sensor 52 provided on the ceiling of the environmental test room 2 which is the outlet from the heat storage body 55 becomes the same as the set air temperature in the environmental test room 2. It is controlled by the control device 57.
- the control device CL is a control unit that controls the surface temperature of the surface plate 104 (see FIG. 2) and the wind speed of the conditioned air, which will be described later.
- the control device CL controls so that the surface temperature of the surface plate 104, which will be described later, is the same as that of the conditioned air.
- the control device CL may be installed in a place other than the dry air heating unit 5.
- a plurality of sets of heater 54 and heat storage body 55 are provided in the supply port 2in of the environmental test room 2. Therefore, since the dry air maintained at a constant temperature is supplied substantially uniformly into the environmental test chamber 2, the air temperature in the environmental test chamber 2 is also made uniform.
- the heat storage body 55 provided on the downstream side of the heater 54 is composed of a porous passage member having a large number of holes serving as air passages.
- the heat storage body 55 absorbs heat when the temperature of the air passing through the hole is higher than its own temperature, and releases heat when the temperature is lower. Therefore, the heat storage body 55 is preferably one in which the temperature does not fluctuate easily, and is usually constructed by using a material having a large heat capacity and a material having a good thermal conductivity (for example, a metal such as copper or aluminum). Therefore, the temperature fluctuation of the dry air that passes through the hole of the heat storage body 55 and is sent into the environmental test chamber 2 can be effectively suppressed.
- FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of the environmental test chamber 2 according to the present embodiment, and shows the configuration of the environmental test chamber 2 as viewed from an obliquely upward and rearward direction.
- FIG. 3 is a top view showing a schematic configuration of the environmental test chamber 2, and shows the configuration of the environmental test chamber 2 as viewed from above.
- FIG. 4 is a side sectional view showing a schematic configuration of the environmental test chamber 2, and a cross section obtained by cutting the environmental test chamber 2 shown in FIG. 3 along the line X1-X1 is seen from the side surface direction (arrow direction). Shows the layout you saw.
- FIG. 5 is a rear view showing a schematic configuration of the environmental test chamber 2, and shows the configuration of the environmental test chamber 2 as viewed from the rear direction.
- the environmental test room 2 has a hexahedral shape, and has a supply port 2in, a discharge port 2out, a flow path portion 101, an installation portion 102, and a curtain. It includes 103, a surface plate 104, a vibration isolating member 105, and a rectifying plate 106.
- the supply port 2in is an opening to which conditioned air is supplied.
- the supply port 2in is provided on the entire surface of an arbitrary surface in the environmental test room 2 which has a hexahedral shape. Air-conditioned air at a substantially uniform predetermined wind speed and a substantially uniform predetermined temperature is supplied to the supply port 2in.
- a filter for removing foreign matter from the conditioned air flowing into the inside of the flow path portion 101 from the outside through the supply port 2in is installed in the supply port 2in.
- the discharge port 2out is an opening through which conditioned air is discharged.
- the discharge port 2out is arranged on the entire surface of the environmental test room 2 facing the supply port 2in.
- a filter is installed in the discharge port 2out to prevent the conditioned air from flowing back into the inside of the flow path portion 101 through the discharge port 2out.
- the flow path portion 101 is a portion through which the conditioned air inside the environmental test chamber 2 passes.
- the flow path portion 101 is arranged between the supply port 2in and the discharge port 2out.
- the installation unit 102 is a place where an optical measurement object (test object) or an optical measurement device such as a laser interferometer, which is not shown for optical measurement, is installed.
- the installation portion 102 is arranged near the center of the flow path portion 101.
- the curtain 103 partitions the space in which the installation portion 102 is provided (hereinafter referred to as “measurement target space”) and the space outside the space, and rectifies the air flow of the conditioned air flowing in the flow path portion 101. It is a rectifying member.
- the rectifying member is composed of the curtain 103.
- the rectifying member may be made of a plate-shaped article instead of the curtain 103.
- two curtains 103 are arranged, one on each side of the installation portion 102.
- the curtain 103 is arranged between the side wall surface 101s of the flow path portion 101 and the installation portion 102 in the lateral direction so as to extend in the depth direction.
- the curtain 103 is movably hung from the ceiling surface 101t (see FIG. 5) by a curtain rail (not shown), and is configured to be deployable and stowable in the direction of arrow A103.
- the curtain 103 preferably has a structure that can be fixed to an arbitrary position on the ceiling surface 101t (see FIG. 5) or the floor surface 101b (see FIG. 5) of the flow path portion 101 with a member (not shown) such as a string. It is good to have. Since the curtain 103 can be deployed and stored in the direction of arrow A103 in the environmental test room 2, the object to be measured (not shown) or the optical measuring device (not shown) to the installation unit 102 Installation work can be done easily.
- the curtain 103 preferably uses a radiant heat insulating material having a specular reflection surface F11 and a diffuse reflection surface F12 as a material.
- the specular reflection surface F11 is a surface having a specular reflection function (that is, a function of reflecting light with high efficiency like a mirror).
- the diffuse reflection surface F12 is a surface having a diffuse reflection function (that is, a function of reflecting light while diffusing).
- the curtain 103 may be installed on the specular reflection surface F11 with the outer surface facing the side wall surface 101s of the flow path portion 101 (environmental test room 2) (see FIG. 3).
- the environmental test room 2 according to the present embodiment can suppress the propagation of radiant heat from the side wall surface 101s to the measurement object or the optical measuring device installed in the installation portion 102.
- the temperature inside the curtain 103 can be made substantially the same. Therefore, the environmental test room 2 can easily converge the temperature distribution of the measurement object or the optical measuring device installed in the installation unit 102 to a small value.
- the environmental test room 2 keeps the temperature distribution of the measurement object and the optical measuring device installed in the installation unit 102 within a desired temperature range (for example, within ⁇ 0.5 ° C., particularly preferably ⁇ 0.1 ° C.). It can be easily stored within).
- the curtain 103 is installed so that the inner surface which is the surface facing the installation portion 102 (the surface not facing the side wall surface 101s of the flow path portion 101 (environmental test room 2)) becomes the diffuse reflection surface F12. It should be done (see FIG. 3).
- the environmental test room 2 prevents the laser beam from being diffusely reflected by the curtain 103 and hindering the measurement when, for example, the installation unit 102 uses an optical measuring device that emits the laser beam. can do.
- a slight gap is provided between the upper end portion of the curtain 103 and the ceiling surface 101t (see FIG. 5) of the flow path portion 101. Further, a slight gap is provided between the lower end portion of the curtain 103 and the floor surface 101b (see FIG. 5) of the flow path portion 101. This reduces the contact area of the curtain 103 with respect to the ceiling surface 101t and the floor surface 101b of the flow path portion 101 (environmental test room 2), and reduces the amount of heat conduction transmitted from the ceiling surface 101t and the floor surface 101b to the curtain 103 as much as possible. This is to suppress fluctuations in the temperature of the curtain 103.
- the side wall surface 101s of the flow path portion 101 and the curtain 103 are arranged so as to be parallel to the air flow direction of the conditioned air flowing from the supply port 2in to the discharge port 2out.
- the entire surface of an arbitrary wall is provided with a supply port 2in for uniformly blowing out conditioned air, and the conditioned air is rectified by the side wall surface 101s of the flow path portion 101 and the curtain 103.
- the conditioned air supplied from the supply port 2in into the environmental test chamber 2 is rectified by the curtain 103 and travels almost straight toward the discharge port 2out, and the circulation flow path 6 is rectified from the discharge port 2out (see FIG. 1). ) (See arrow Air).
- the environmental test room 2 according to the present embodiment is air-conditioned so that the temperature of the measurement object or the optical measurement device does not fluctuate due to unintended heat transfer to the measurement object or the optical measurement device. The air flow can be controlled.
- the surface plate 104 is a trapezoidal member capable of heating and cooling the surface.
- the surface plate 104 is arranged on the floor via the vibration isolating member 105.
- the space above the surface plate 104 is used as the installation unit 102.
- the surface plate 104 is preferably configured so that the floor surface 101b cannot be seen from the installation portion 102 as much as possible for radiant heat insulation. Therefore, it is preferable that the surface plate 104 has a width substantially equal to the width of the installation portion 102. In other words, the installation portion 102 may be designed to have a width substantially equal to the width of the surface plate 104.
- the surface plate 104 has a configuration in which the surface temperature can be changed between 0 and 50 ° C., for example.
- control device CL controls so that the surface temperature of the surface plate 104 is the same as that of the conditioned air.
- the control device CL can prevent the measurement object and the optical measurement device installed in the installation unit 102 from becoming a temperature different from the air temperature due to radiant heat. Further, the control device CL can keep the temperature distribution in the measurement target space within a desired temperature range, for example.
- the vibration isolating member 105 is a trapezoidal member that removes vibration.
- the vibration isolator 105 may be referred to as a “vibration isolation table”.
- the vibration isolating member 105 is arranged below the surface plate 104, and removes vibration transmitted from the floor side so that the surface plate 104 does not shake.
- the rectifying plate 106 is a rectifying member that rectifies the air flow of the conditioned air flowing in the flow path portion 101.
- the straightening vane 106 is composed of a plate-shaped member, and is arranged between the surface plate 104 and the discharge port 2out.
- the upper surface of the straightening vane 106 is arranged at the same height as the upper surface of the surface plate 104.
- the environmental test room 2 is provided with a straightening vane 107.
- the rectifying plate 107 is a rectifying member that rectifies the air flow of the conditioned air flowing in the flow path portion 101.
- the straightening vane 107 is composed of a plate-shaped member, and is arranged between the surface plate 104 and the supply port 2in.
- the upper surface of the straightening vane 107 is arranged at the same height as the upper surface of the surface plate 104.
- the environmental test room 2 is provided with a straightening vane 108.
- the rectifying plate 108 is a rectifying member that rectifies the air flow of the conditioned air flowing in the flow path portion 101.
- the straightening vane 108 is composed of a plate-shaped member, and is arranged between the ceiling surface 101t of the flow path portion 101 and the installation portion 102.
- the rectifying plate 106 is referred to as a "first surface plate rectifying member”
- the rectifying plate 107 is referred to as a “second surface plate rectifying member”
- the rectifying plate 108 is used. May be referred to as "ceiling surface rectifying member”.
- the rectifying plate 106 (rectifying member for the first surface plate) is preferably rotatably attached to the opening surface of the discharge port 2out with a hinge (see FIG. 4).
- a working space is formed around the installation portion 102 by rotating (lifting) the straightening vane 106 in the direction of the arrow A106 when installing the measurement object or the optical measuring device. Can be done. Therefore, the environmental test room 2 can easily perform the work of installing the measurement object and the optical measuring device on the installation unit 102.
- the upper surface of the rectifying plate 106 is arranged at the same height as the upper surface of the surface plate 104 by rotating (tilting) the rectifying plate 106 in the opposite direction of the arrow A106 when measuring the optical equipment. can do.
- the environmental test room 2 can rectify the airflow of the conditioned air near the discharge port 2out and reduce the turbulence of the airflow.
- the environmental test room 2 can easily obtain a space suitable for measurement of the optical device.
- the straightening plate 106 (the straightening member for the first surface plate) may be configured to be freely removable and attached to the opening surface of the discharge port 2out.
- the straightening vane 106 (the straightening vane for the first surface plate) is preferably arranged so as not to come into contact with the surface plate 104 (see FIG. 4). Since such an environmental test room 2 can suppress the vibration of the straightening vane 106 from being transmitted to the surface plate 104, it is possible to perform high-precision measurement of the optical equipment. In the surface plate 104, vibration is removed by the vibration isolating member 105.
- the straightening vane 106 (rectifying member for the first surface plate) is preferably made of a heat insulating material.
- the straightening vane 106 (the straightening member for the first surface plate) is made of a radiating heat insulating material having a specular reflection surface F11 on the lower surface and a diffuse reflection surface F12 on the upper surface (FIG. 4). reference).
- the lower surface of the straightening vane 106 is a specular reflection surface F11, the propagation of radiant heat from the floor surface 101b (see FIG. 4) to the measurement object placed on the installation unit 102 is suppressed. can do.
- the environmental test room 2 can easily converge the temperature distribution of the measurement object or the optical measuring device installed in the installation unit 102 to a small value.
- the upper surface of the rectifying plate 106 is a diffuse reflection surface F12, so that the laser light is diffusely reflected by the rectifying plate 106. It is possible to prevent the measurement from being hindered.
- the straightening vane 107 (rectifying member for the second surface plate) is preferably rotatably attached to the opening surface of the supply port 2in with a hinge (see FIG. 4).
- a working space can be formed around the installation portion 102 by rotating the straightening vane 107 in the direction of the arrow A107 when installing the measurement object or the optical measuring device. Therefore, the environmental test room 2 can easily perform the work of installing the measurement object and the optical measuring device on the installation unit 102.
- the upper surface of the rectifying plate 107 is arranged at the same height as the upper surface of the surface plate 104 by rotating (tilting) the rectifying plate 107 in the direction opposite to the arrow A107 when measuring the optical equipment.
- the rectifying plate 107 (rectifying member for the second surface plate) may be configured to be freely removable and attached to the opening surface of the supply port 2in.
- the straightening vane 107 (rectifying member for the second surface plate) is preferably arranged so as not to come into contact with the flat plate 104 (see FIG. 4). In such an environmental test room 2, the vibration of the straightening vane 107 can be prevented from being transmitted to the surface plate 104, so that high-precision measurement of the optical device can be performed.
- the straightening vane 107 (rectifying member for the second surface plate) is preferably made of a heat insulating material.
- the straightening vane 107 (rectifying member for the second surface plate) is made of a radiating heat insulating material having a specular reflection surface F11 on the lower surface and a diffuse reflection surface F12 on the upper surface (FIG. 4). reference).
- Such an environmental test room 2 can suppress the propagation of radiant heat from the floor surface 101b (see FIG. 4) to the measurement object placed on the installation unit 102. Therefore, the environmental test room 2 can easily converge the temperature distribution of the measurement object or the optical measuring device installed in the installation unit 102 to a small value.
- the straightening vane 108 (ceiling surface straightening member) is preferably made of a heat insulating material.
- the straightening vane 108 (ceiling surface straightening member) is made of a radiating heat insulating material having a specular reflection surface F11 on the upper surface and a diffuse reflection surface F12 on the lower surface (see FIG. 4). ..
- Such an environmental test room 2 can suppress the propagation of radiant heat from the ceiling surface 101t (see FIG. 4) to the measurement object placed on the installation unit 102. Therefore, the environmental test room 2 can easily converge the temperature distribution of the measurement object or the optical measuring device installed in the installation unit 102 to a small value.
- the operator when measuring an optical device, the operator first carries the measurement object or the optical measuring device into the installation unit 102. Next, the operator installs the object to be measured and the optical measuring device in the installation unit 102 to operate the air conditioning system 1. At this time, the control device CL controls the surface plate 104 so that the surface temperature of the surface plate 104 is the same as that of the conditioned air.
- FIG. 6 is an explanatory diagram showing the relationship between the amount of heat conduction, the amount of heat transfer, and the amount of radiant heat in the environmental test room 2.
- FIG. 6 shows a state in which the anti-vibration stand st is placed on the floor surface 101b instead of the surface plate 104, and the object m as a measurement object is placed on the anti-vibration stand st.
- FIG. 6 shows that when the temperature Tm of the object m is lower than the ambient temperature, the heat conduction amount Qcond, the heat transfer amount Qht, and the radiant heat amount Qr are transmitted from the surroundings to the object m side. However, when the temperature Tm of the object m is higher than the ambient temperature, these amounts of heat are conversely transmitted from the object m side to the surroundings.
- the heat conduction amount Qcond is the amount of heat transmitted from the ground to the object m side by heat conduction through the anti-vibration gantry st in contact with the object m (or the object via the anti-vibration gantry st in contact with the object m).
- the amount of heat transferred from m to the ground) is shown.
- the heat transfer amount Qht represents the amount of heat transferred from the air conditioning air to the object m by heat transfer (or the amount of heat transferred from the object m to the air conditioning air by heat transfer).
- the amount of radiant heat Qr is the circumference of the object m (for example, the rectifying plate 108 arranged near the ceiling (see FIG. 5), the curtain 103 arranged on the side surface side of the object m (see FIG. 5), the floor surface 101b, etc. It represents the amount of heat radiated from the wall surface) (or the amount of heat radiated from the object m to the surroundings).
- the table on which the object m is installed is exposed to the conditioned air flowing through the flow path portion 101 to release the heat amount to the conditioned air (or to release the heat amount to the conditioned air). It can be eliminated by changing the base from the anti-vibration stand st to the platen 104 and operating the platen 104 to control the temperature of the platen 104.
- the amount of radiant heat radiated from the rectifying plate 108 and the amount of radiant heat radiated from the curtain 103 become almost zero. Therefore, as the amount of radiant heat to be considered, only the amount of radiant heat radiated from the floor surface 101b remains.
- the amount of radiated heat Qr fluctuates according to the temperature difference between the radiated wall surface and its surroundings, and becomes zero when the temperature difference between the wall surface and its surroundings is zero. Then, the environmental test room 2 exposes the rectifying plate 108 arranged near the ceiling to the conditioned air flowing through the flow path portion 101 and releases the heat amount to the conditioned air (or takes in the heat amount from the conditioned air) to rectify the heat.
- the temperature difference between the plate 108 and the conditioned air can be made almost zero.
- the environmental test room 2 can reduce the amount of radiant heat radiated from the straightening vane 108 to almost zero.
- the environmental test room 2 exposes the curtain 103 arranged on the side surface side of the object m to the conditioned air flowing through the flow path portion 101 to release the amount of heat to the conditioned air (or to take in the amount of heat from the conditioned air).
- the temperature difference between the curtain 103 and the conditioned air can be made almost zero.
- the environmental test room 2 can reduce the amount of radiant heat radiated from the curtain 103 to almost zero. Therefore, in the environmental test room 2 according to the present embodiment, only the amount of radiant heat radiated from the floor surface 101b remains as the amount of radiant heat to be considered (that is, the amount of radiant heat Qr).
- the relationship between the heat transfer amount Qht and the radiant heat amount Qr will be described with reference to FIGS. 7A and 7B.
- FIG. 7A it is assumed that the relationship between the temperature Ta of the conditioned air, the temperature Tm of the object m, and the temperature Twall of the wall surface is "Ta ⁇ Tm ⁇ Twall".
- the object m releases the heat transfer amount Qht to the conditioned air and takes in the radiant heat amount Qr from the surrounding wall surface.
- FIG. 7B it is assumed that the relationship between the temperature Ta of the conditioned air, the temperature Tm of the object m, and the temperature Twall of the wall surface is "Twall ⁇ Tm ⁇ Ta".
- the object m takes in the heat transfer amount Qht from the surrounding wall surface and releases the radiant heat amount Qr to the conditioned air.
- the relationship between the heat transfer amount Qht and the radiant heat amount Qr varies depending on each value of the temperature Ta of the conditioned air, the temperature Tm of the object m, and the temperature Twall of the wall surface.
- the wall surface temperature Twall is an average temperature of the temperature Twall (t) of the ceiling surface 101t, the temperature Twall (s) of the side wall surface 101s, and the temperature Twall (b) of the floor surface 101b.
- the temperature Twall (t) of the ceiling surface 101t and the temperature Twall (s) of the side wall surface 101s can be excluded from the components.
- the value of the temperature Twall of the wall surface is the same as the value of the temperature Twall (b) of the floor surface 101b.
- a straightening vane 108 see FIG.
- the straightening vane 108 is used as conditioned air flowing through the flow path 101.
- the temperature difference between the straightening vane 108 and the conditioned air can be made almost zero. Therefore, in the present embodiment, with respect to the wall surface temperature Twall, the temperature Twall (t) of the ceiling surface 101t can be excluded from the components.
- the curtain 103 (see FIG. 5) is arranged between the side wall surface 101s and the object m, and the curtain 103 is exposed to the conditioned air flowing through the flow path portion 101. Therefore, the temperature difference between the curtain 103 and the conditioned air can be made almost zero.
- the temperature Twall (s) of the side wall surface 101s can be excluded from the components. Therefore, in the present embodiment, the value of the wall surface temperature Twall is the same as the value of the floor surface 101b temperature Twall (b).
- Such an environmental test room 2 can eliminate the influence of the temperature Twall (t) of the ceiling surface 101t and the influence of the temperature Twall (s) of the side wall surface 101s on the temperature Tm of the object m.
- the local heat transfer coefficient h of the object m changes according to the size of the object m.
- the relationship between the temperature difference Tm-Ta between the object m and the air and the temperature difference Twall-Ta between the wall surface and the conditioned air changes according to the local heat transfer coefficient h of the object m.
- FIG. 8 is a schematic diagram for explaining the size of the object m.
- FIG. 9 is a graph showing the relationship between the temperature difference Tm-Ta between the object m and the air and the temperature difference Twall-Ta between the wall surface and the conditioned air.
- the object m is virtually configured as a flat plate, and its size is L.
- the horizontal axis is the distance L [m] from the tip of the flat plate (that is, the size of the object m)
- the vertical axis on the right side is the local heat transfer coefficient h [W / m 2 ° C.] of the flat plate, and the left side.
- the vertical axis is the temperature difference Tm-Ta [° C.] between the object m and the air.
- the local heat transfer coefficient h of the flat plate according to the distance L [m] from the tip of the flat plate is shown by a dotted line.
- the value of the local heat transfer coefficient h of the flat plate at each distance L corresponds to the value on the vertical axis on the right side.
- the local heat transfer coefficient h of the flat plate (object m) decreases as the distance L increases.
- the local heat transfer coefficient h of the flat plate (object m) becomes small, the efficiency of heat transfer performed between the conditioned air and the object m decreases. As a result, the influence of the heat transfer amount Qht on the temperature Tm of the object m is reduced. Therefore, the balance between the heat transfer amount Qht and the radiant heat amount Qr changes, and the temperature Tm of the object m changes. For example, suppose that when the local heat transfer coefficient h is small, the heat transfer amount Qht having the same value as when the local heat transfer coefficient h is large is transferred between the conditioned air and the object m. In this case, the temperature difference Tm-Ta between the object m and the air increases more than when the local heat transfer coefficient h is large.
- the amount of radiant heat Qr also increases as the dissociation between the object temperature Tm and the wall surface temperature Tw increases according to Stefan-Boltzmann's law. If heat transfer due to heat conduction is ignored, the temperature Tm of the object is stable at the point where the heat transfer amount Qht and the radiated heat amount Qr are equal. Therefore, if the local heat transfer rate h is small, the temperature Tm of the object m is local. The temperature changes to a temperature closer to the wall temperature Twall than when the heat transfer rate h is large. Therefore, the balance between the heat transfer amount Qht and the radiant heat amount Qr changes as the local heat transfer coefficient h changes. Moreover, since the local heat transfer coefficient h changes according to the size of the flat plate (object m), the balance of the relationship between the heat transfer amount Qht and the radiant heat amount Qr changes according to the size of the flat plate (object m).
- FIG. 9 shows an object m corresponding to the distance L [m] (that is, the size of the object m) from the tip of the flat plate when the temperature difference Twall-Ta between the wall surface and the conditioned air is changed in five steps.
- the measurement results of the air temperature difference Tm-Ta are shown by lines L1, L2, L3, L4, and L5.
- the measurement results shown in FIG. 9 show that the wind speed u is 0.4 [m / s], the temperature Ta of the air conditioning air is 23.5 [° C.], the emissivity ⁇ m of the object m is 0.1, and the view factor. It was measured in an environment where F was 0.4.
- the lines L1, L2, L3, L4, and L5 are measured when the temperature difference Twall-Ta between the wall surface and the conditioned air is 2 ° C, 1 ° C, 0.5 ° C, 0.2 ° C, and 0.1 ° C, respectively. It was done.
- the value of the temperature difference Tm-Ta between the object m and the air at each distance L corresponds to the value on the vertical axis on the left side.
- the temperature difference Tm-Ta between the object m and the air increases as the distance L increases.
- the amount of increase in the temperature difference Tm-Ta between the object m and the air with the increase in the distance L becomes smaller as the temperature difference Twall-Ta between the wall surface and the conditioned air becomes smaller. Since the air temperature Ta is almost constant regardless of the distance L, the distribution of the temperature Tm of the object becomes smaller as the temperature difference Twall-Ta between the wall surface and the conditioned air becomes smaller.
- FIG. 10 is an explanatory diagram showing the temperature relationship of the environmental test room 2. For example, in the example shown in FIG. 10, the surface plate 104 is arranged on the floor surface 101b, and the surface plate 104 is operated to operate the surface plate 104 to obtain the temperature of the surface plate 104. To the temperature of the conditioned air. As a result, the environmental test room 2 sets the relationship between the temperature Ta of the conditioned air, the temperature Tm of the object m, and the temperature Twall of the wall surface as "Ta ⁇ Tm ⁇ Twall".
- FIG. 10 is an explanatory diagram showing the temperature relationship of the environmental test room 2. For example, in the example shown in FIG.
- the temperature Ta of the conditioned air taken in from the supply port 2in is 25 ° C
- the temperature of the air discharged from the discharge port 2out is 23 ° C
- the temperature of the ceiling surface 101t is 30 ° C.
- the temperature of the floor surface 101b is 20 ° C.
- the temperature on the ceiling side becomes 25 ° C., which is the same as the conditioned air, when the rectifying plate 108 arranged near the ceiling is exposed to the conditioned air flowing through the flow path portion 101.
- the temperature of the side surface side of the object m becomes 25 ° C., which is the same as that of the conditioned air, when the curtain 103 arranged on the side surface side is exposed to the conditioned air flowing through the flow path portion 101.
- the environmental test room 2 sets the relationship between the temperature Ta of the air conditioning air, the temperature Tm of the object m, and the temperature Twall of the wall surface to "Ta ⁇ Tm ⁇ Twall", and is locally determined by the shape and size of the object. Even if the heat transfer coefficient h changes, the amount of change in the temperature Tm of the object m can be reduced. In such an environmental test room 2, the temperature distribution of the object can be reduced.
- the environmental test room 2 according to the present embodiment includes a supply port 2in, a discharge port 2out, a flow path portion 101, an installation portion 102, a curtain 103 (rectifying member), and a surface plate 104. ing.
- the side wall surface 101s of the flow path portion 101 and the curtain 103 are arranged so as to be parallel to the air flow direction of the conditioned air flowing from the supply port 2in to the discharge port 2out.
- the surface plate 104 is arranged on the floor.
- Such an environmental test room 2 reduces the influence of radiant heat radiated from the floor surface or the like by operating the surface plate 104 (that is, controlling the temperature of the surface plate 104). Can be done.
- the environmental test room 2 is provided with a control device CL (control unit) that controls the surface temperature of the surface plate 104 and the wind speed of the conditioned air.
- the control device CL controls so that the surface temperature of the surface plate 104 is the same as that of the conditioned air.
- the environmental test room 2 By operating the surface plate 104 (that is, controlling the temperature of the surface plate 104), the environmental test room 2 according to the present embodiment keeps the temperature distribution of the entire space of the installation unit 102 within a desired temperature range. It can be easily stored in.
- the environmental test room 2 according to the present embodiment operates the surface plate 104 before or immediately after the start of the measurement of the optical device to keep the temperature distribution of the entire space of the installation unit 102 within a desired temperature range. Can be done.
- the environmental test room 2 is provided with a vibration isolating member 105 that removes vibration under the surface plate 104.
- the environmental test room 2 since the surface plate 104 does not shake, the measurement object (test object) for optical measurement and the optical measurement device such as a laser interferometer can be kept stationary. As a result, the environmental test room 2 according to the present embodiment can perform high-precision measurement of the optical device.
- the rectifying plate 106 (the rectifying member for the first surface plate) whose upper surface is the same height as the upper surface of the surface plate 104 between the surface plate 104 and the discharge port 2out. It has.
- the environmental test room 2 can rectify the airflow of the conditioned air near the discharge port 2out and reduce the turbulence of the airflow, it is possible to perform high-precision measurement of the optical device. it can.
- the rectifying plate 106 (rectifying member for the first surface plate) is rotatably attached to the opening surface of the discharge port 2out.
- the environmental test room 2 according to the present embodiment can form a working space around the installation portion 102 by lifting the straightening vane 106 when installing the measurement object or the optical measuring device. Therefore, the environmental test room 2 according to the present embodiment can easily install the measurement object and the optical measurement device on the installation unit 102. Further, in the environmental test room 2 according to the present embodiment, a space suitable for the measurement of the optical equipment can be easily obtained by tilting the straightening vane 106 at the time of measuring the optical equipment.
- the rectifying plate 106 (the rectifying member for the first surface plate) is arranged so as not to come into contact with the surface plate 104.
- the environmental test room 2 can prevent the vibration of the straightening vane 106 from being transmitted to the surface plate 104, it is possible to perform high-precision measurement of the optical device.
- the rectifying plate 107 (the rectifying member for the second surface plate) whose upper surface is flush with the upper surface of the surface plate 104 between the surface plate 104 and the supply port 2in. Is equipped with.
- the environmental test room 2 can rectify the airflow of the conditioned air near the supply port 2in and reduce the turbulence of the airflow, it is possible to perform high-precision measurement of the optical device. it can.
- the straightening vane 107 (rectifying member for the second surface plate) is rotatably attached to the opening surface of the supply port 2in.
- the environmental test room 2 according to the present embodiment can form a working space around the installation portion 102 by lifting the straightening vane 107 when installing the measurement object or the optical measuring device. Therefore, the environmental test room 2 according to the present embodiment can easily install the measurement object and the optical measurement device on the installation unit 102. Further, in the environmental test room 2 according to the present embodiment, a space suitable for the measurement of the optical equipment can be easily obtained by tilting the straightening vane 107 at the time of measuring the optical equipment.
- the rectifying plate 107 (rectifying member for the second surface plate) is arranged so as not to come into contact with the surface plate 104.
- the environmental test room 2 can prevent the vibration of the straightening vane 107 from being transmitted to the surface plate 104, it is possible to perform high-precision measurement of the optical device.
- the environmental test room 2 is arranged between the ceiling surface 101t of the flow path portion 101 and the installation portion 102, and includes one or a plurality of rectifying plates 108 (ceiling surface rectifying members) for rectifying the air flow of the conditioned air.
- the environmental test room 2 can rectify the airflow of the conditioned air near the ceiling and reduce the turbulence of the airflow, it is possible to perform high-precision measurement of the optical device.
- the influence of radiant heat radiated from the floor surface or the like can be reduced.
- the environmental test room 2 (see FIG. 3) according to the first embodiment has a configuration in which one curtain 103 (rectifying member) is arranged between the side wall surface 101s of the flow path portion 101 and the installation portion 102. ..
- the second embodiment provides an environmental test chamber 2A having a configuration in which two or more curtains 103 (rectifying members) are arranged between the side wall surface 101s of the flow path portion 101 and the installation portion 102. ..
- FIG. 11 is a top view showing a schematic configuration of the environmental test room 2A according to the second embodiment.
- FIG. 12 is a temperature distribution diagram in the vicinity of the side wall surface 101s of the flow path portion 101 in the environmental test room 2A.
- the environmental test chamber 2A according to the second embodiment has the side wall surface 101s of the flow path portion 101 and the installation portion 102 as compared with the environmental test chamber 2 according to the first embodiment (see FIG. 3).
- the difference is that two curtains 103a and 103b are arranged between the two curtains.
- the curtain 103b is arranged on the side close to the side wall surface 101s of the flow path portion 101
- the curtain 103a is arranged on the side close to the installation portion 102.
- the number of curtains 103 is not limited to two, and may be three or more.
- the temperature distribution in the vicinity of the side wall surface 101s is relatively lower than that of the installation portion 102 due to the temperature of the side wall surface 101s of the flow path portion 101.
- the region Td2a is formed. Due to the influence of the temperature distribution region Td2a, the temperature changes in the portion inside the curtain 103b. However, since the influence of the temperature distribution region Td2a can be substantially blocked by the curtain 103b, the temperature does not change in the portion inside the curtain 103a.
- Such an environmental test room 2A according to the second embodiment can provide an environment more suitable for measurement of optical instruments than the environmental test room 2 according to the first embodiment.
- the influence of the radiant heat radiated from the floor surface or the like can be reduced as in the environmental test room 2 according to the first embodiment.
- two or more curtains 103 are arranged between the side wall surface 101s of the flow path portion 101 and the installation portion 102. Therefore, in the environmental test room 2A according to the second embodiment, the influence of the temperature distribution region Td2a caused by the temperature of the side wall surface 101s of the flow path portion 101 can be substantially blocked by the curtain 103b.
- Such an environmental test room 2A according to the second embodiment can provide an environment more suitable for measurement of optical instruments than the environmental test room 2 according to the first embodiment.
- the environmental test room 2 (see FIG. 3) according to the first embodiment has a configuration in which only the flow path portion 101 is provided between the installation portion 102 and the discharge port 2out, and the discharge port 2out directly faces the installation portion 102. .. Therefore, in the environmental test room 2 according to the first embodiment, radiant heat radiated from the filter installed in the discharge port 2out and invading the inside of the flow path portion 101 may reach the installation portion 102.
- the third embodiment provides an environmental test room 2B in which a labyrinth mechanism 111 is provided between the installation unit 102 and the discharge port 2out.
- FIG. 13 is a top view showing a schematic configuration of the environmental test room 2B according to the third embodiment.
- FIG. 14 is a side sectional view showing a schematic configuration of the environmental test chamber 2B, and a cross section obtained by cutting the environmental test chamber 2B shown in FIG. 13 along the line X2-X2 is seen from the side surface direction (arrow direction). Shows the layout you saw.
- the environmental test room 2B according to the third embodiment has the rectifying plate 106 (see FIG. 3) deleted, and the installation unit 102.
- the difference is that a labyrinth mechanism 111 is provided between the outlet 2out and the discharge port 2out.
- the labyrinth mechanism 111 is a mechanism that guides the air flow of conditioned air to the bottleneck 112.
- the environmental test room 2B according to the third embodiment reaches the installation unit 102 by blocking the radiant heat radiated from the filter installed in the discharge port 2out and entering the inside of the flow path portion 101 by the labyrinth mechanism 111. Can be prevented.
- Such an environmental test room 2B according to the third embodiment can provide an environment more suitable for measurement of optical instruments than the environmental test room 2 according to the first embodiment.
- the influence of the radiant heat radiated from the floor surface or the like can be reduced as in the environmental test room 2 according to the first embodiment.
- the labyrinth mechanism 111 blocks the radiant heat radiated from the filter installed in the discharge port 2out and enters the inside of the flow path portion 101. It is possible to prevent reaching 102.
- Such an environmental test room 2B according to the third embodiment can provide an environment more suitable for measurement of optical instruments than the environmental test room 2 according to the first embodiment.
- the environmental test room 2 uses a crane to perform the installation work when installing the measurement object or the optical measurement device in the installation unit 102.
- the environmental test room 2 (see FIG. 5) according to the first embodiment has a configuration in which the vibration isolating member 105 and the surface plate 104 are arranged on the floor surface 101b.
- the environmental test room 2 according to the first embodiment has a step between the floor surface 101b and the upper surface of the surface plate 104. Therefore, the environmental test room 2 according to the first embodiment may collide with the surface plate 104 when the object to be measured or the optical measuring device is suspended by the crane and carried into the installation unit 102.
- the environmental test room 2 is configured to force the operator to carefully operate the crane when performing the installation work using the crane.
- the environmental test room 2C has a configuration in which it is difficult for them to collide with the surface plate 104. I will provide a.
- FIG. 15 is a rear view showing a schematic configuration of the environmental test room 2C according to the fourth embodiment.
- FIG. 16 is an explanatory view of the bellows type tent 110 (tent-shaped rectifying member) used in the fourth embodiment.
- FIG. 17 is a top view showing a schematic configuration of the environmental test room 2C.
- FIG. 18 is a side sectional view showing a schematic configuration of the environmental test room 2C.
- the environmental test room 2C according to the fourth embodiment differs from the environmental test room 2 (see FIG. 5) according to the first embodiment in the following points. ing. (1) In the environmental test room 2C according to the fourth embodiment, an accommodating groove 113 dug in the ground is formed on the floor, and the vibration isolating member 105 and the surface plate 104 are accommodated in the accommodating groove 113. There is. (2) The environmental test room 2C according to the fourth embodiment has a bellows type tent 110 (see FIG. 16) surrounding the installation portion 102, and a crane 114 (see FIG. 15) on the ceiling.
- the surface plate 104 is arranged inside the accommodating groove 113 so that the upper surface of the surface plate 104 is at the same height as the floor surface 101b.
- a vibration isolating member 105 is arranged below the surface plate 104.
- a gap of a separation distance W104 is provided between the side wall of the surface plate 104 and the side wall of the accommodating groove 113. Therefore, the surface plate 104 is arranged so as not to come into contact with the accommodating groove 113. Since the environmental test room 2C has a gap between the side wall of the surface plate 104 and the side wall of the accommodating groove 113, the surface plate 104 and the surface plate 104 are arranged so as to fill the gap when the measurement object or the optical measuring device is installed.
- a bridge 115 may be installed between the accommodation groove 113 and the accommodation groove 113.
- the bellows type tent 110 (see FIG. 16) is a tent-shaped rectifying member having a bellows-shaped skeleton and a cloth material supported by the skeleton.
- the bellows-type tent 110 can be freely deployed and stored in the extending direction of the bellows-shaped frame, and has a function of rectifying the air flow of the conditioned air. Since the environmental test room 2C according to the fourth embodiment can form a relatively wide space around the installation portion 102 by accommodating the bellows type tent 110, the installation work of the measurement object and the optical measurement equipment Can be facilitated. Further, in the environmental test room 2C according to the fourth embodiment, the environment suitable for the measurement of the optical device can be easily formed by deploying the bellows type tent 110.
- the cloth material of the bellows type tent 110 is preferably made of a radiant heat insulating material having a specular reflection surface F11 on the outer surface and a diffuse reflection surface F12 on the inner surface.
- Such an environmental test room 2C can suppress heat transfer from the outside to the inside of the bellows type tent 110. Therefore, the environmental test room 2C can easily converge the temperature distribution in the measurement target space to a small value.
- the crane 114 (see FIG. 15) is a transport mechanism for suspending and transporting a measurement object for optical measurement.
- the crane 114 has a gantry structure 114a erected so as to straddle the accommodation groove 113, and a hook portion 114b suspended from the gantry structure 114a.
- the hook portion 114b has a configuration that allows the portal structure 114a to be freely moved in the extending direction (horizontal direction in FIG. 15) and in the vertical direction.
- the gantry structure 114a preferably has a structure that allows it to move in the depth direction (direction perpendicular to the paper surface of FIG. 15).
- the environmental test room 2C is provided with an inlet 101in on the side wall surface 101s, and the crane 114 is arranged inside the inlet 101in.
- Two curtains 103 are arranged between the side wall surfaces 101s on both sides of the environmental test room 2C and the installation portion 102.
- the curtain 103 is installed so that the outer surface serves as a specular reflection surface F11 and the inner surface serves as a diffuse reflection surface F12.
- the leg portion of the gantry structure 114a of the crane 114 is arranged between the side wall surface 101s of the environmental test room 2C and the outer surface of the curtain 103.
- a straightening vane 108 is arranged between the ceiling surface 101t of the environmental test room 2C and the ceiling portion of the portal structure 114a of the crane 114.
- the straightening vane 108 is installed so that the lower surface is a specular reflection surface F11 and the upper surface is a diffuse reflection surface F12.
- the bellows tent 110 is arranged so that it can be deployed inside the crane 114 and at a position inside the inner surface of the curtain 103.
- the worker When measuring the optical equipment, the worker first puts the bellows type tent 110 in the stored state, suspends the measurement object and the optical measuring equipment with the crane 114, and carries them into the installation unit 102. Next, the operator lowers the object to be measured and the optical measuring device to the installation unit 102 and installs the tent 110 in an unfolded state to operate the air conditioning system 1. At this time, the control device CL controls the surface plate 104 so that the surface temperature of the surface plate 104 is the same as that of the conditioned air.
- the environmental test room 2C according to the fourth embodiment does not have a step between the floor surface 101b and the upper surface of the surface plate 104. Therefore, the environmental test room 2C can make it difficult for the object to be measured or the optical measuring device to collide with the surface plate 104 when the object to be measured or the optical measuring device is suspended by the crane 114 and carried into the installation unit 102. Therefore, the environmental test room 2C does not force the operator to carefully operate the crane 114 when performing the installation work using the crane 114. Therefore, the environmental test room 2C can easily perform the work of installing the measurement object and the optical measuring device on the installation unit 102.
- the straightening vane 107 (see FIGS. 3 and 4) has been deleted, and instead, the surface plate 104 has a supply port 2in rather than a discharge port 2out. It is placed close to. Further, the straightening vane 106 has a configuration in which the length is longer (extended) in the direction of the supply port 2in than that of the first embodiment.
- the temperature of the conditioned air flowing into the flow path portion 101 from the supply port 2in can be immediately controlled by the surface plate 104. Therefore, the environmental test room 2C can provide an environment more suitable for the measurement of the optical device than the environmental test room 2 according to the first embodiment.
- the influence of the radiant heat radiated from the floor surface or the like can be reduced as in the environmental test room 2 according to the first embodiment.
- the accommodating groove 113 is formed on the floor, and the vibration isolating member 105 and the surface plate 104 are accommodated in the accommodating groove 113. Therefore, the environmental test room 2C according to the fourth embodiment is different from the environmental test room 2 according to the first embodiment when the object to be measured or the optical measuring device is suspended by the crane 114 and carried into the installation unit 102. It is possible to make it difficult for these to collide with the surface plate 104.
- the environmental test room 2C according to the fourth embodiment does not force the operator to carefully operate the crane 114 when performing the installation work using the crane 114. Therefore, the environmental test room 2C according to the fourth embodiment can easily install the measurement object and the optical measuring device in the installation unit 102 as compared with the environmental test room 2 according to the first embodiment.
- the present invention is not limited to the above-described embodiment, and includes various modifications.
- the above-described embodiment has been described in detail in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, and is not necessarily limited to the one including all the described configurations.
- the environmental test room 2C according to the fourth embodiment can be deformed like the environmental test room 2D shown in FIG.
- the environmental test room 2D is provided with a curtain 109 instead of the bellows tent 110 (see FIG. 15).
- the curtain 109 is a ceiling surface rectifying member that is arranged between the ceiling surface 101t of the flow path portion 101 and the installation portion 102 and rectifies the air flow of the conditioned air.
- the curtain 109 is configured to move with the movement of the crane 114 (see arrow A114).
- Such an environmental test room 2D is provided with a curtain 109 as a rectifying member for the ceiling surface, it is possible to provide an environment more suitable for measurement of optical equipment.
- the cloth material of the curtain 109 is preferably made of a radiant heat insulating material having a specular reflection surface F11 on the upper surface and a diffuse reflection surface F12 on the lower surface.
- Such an environmental test room 2D can suppress heat transfer from above to below the curtain 109. Therefore, the environmental test room 2D can easily converge the temperature distribution in the measurement target space to a small value.
- FIG. 20 is a rear view showing a schematic configuration of the environmental test chamber 2E according to this modified example, and shows the configuration of the environmental test chamber 2E as viewed from the rear direction.
- FIG. 21 is a top view showing a schematic configuration of the environmental test chamber E, and shows the configuration of the environmental test chamber 2E as viewed from above.
- FIG. 22 is a side sectional view showing a schematic configuration of the environmental test chamber E, and a cross section obtained by cutting the environmental test chamber 2E shown in FIG. 21 along the line X3-X3 is seen from the side surface direction (arrow direction). Shows the layout you saw.
- the environmental test chamber 2E is provided with a plate member 121 protruding outward from the upper surface of the surface plate 104 on the outer peripheral portion of the upper surface of the surface plate 104.
- the plate member 121 will be described as being fixed to the outer peripheral portion of the upper surface of the surface plate 104 with screws.
- the plate member 121 covers the upper side of the accommodating groove 113 so that the inside of the accommodating groove 113 cannot be seen from the installation portion 102 side. That is, the plate member 121 hides the accommodating groove 113 from the installation portion 102 side.
- Such a plate member 121 blocks the radiant heat radiated from the groove bottom surface and the side wall surface inside the accommodating groove 113, and the radiant heat amount QR (see FIGS. 20 and 22) reaches the installation portion 102. Can be suppressed. That is, the plate member 121 can suppress the propagation of radiant heat from the inside of the accommodating groove 113 to the measurement object or the optical measuring device installed in the installation portion 102.
- the plate member 121 is preferably made of a metal material having excellent thermal conductivity (for example, an aluminum alloy or the like).
- the shape of the plate member 121 is configured so that the outer portion is higher than the inner portion.
- 23A to 23C are partial cross-sectional views of the plate member 121, respectively.
- the plate member 121 has a shape extending diagonally upward from the fastening portion.
- the plate member 121 has a shape that bends and extends in two steps in an obliquely upward direction from the fastening portion.
- the plate member 121 has a shape that extends obliquely upward from the fastening portion.
- the plate member 121 also functions as a blindfold that hides the portion from the lower end of the supply port 2in to the floor surface 101b.
- FIG. 24 is an explanatory view of the plate member 121.
- the plate member 121 has, for example, the configuration shown in FIG. 25A.
- FIG. 25A is a perspective view showing a schematic configuration of a plate member 121 arranged along the side surface of the surface plate 104.
- the plate member 121 has a configuration having a wide portion 121a formed in a relatively wide planar shape and a connecting portion 121b connected to the plate members 121 arranged adjacent to each other. It has become.
- the connecting portion 121b is formed in a flat shape with a step on the wide portion 121a.
- the plate member 121 is arranged on the side surface portion of the surface plate 104, for example, as shown in FIG. 25B.
- FIG. 25B is a perspective view showing an arrangement example of the plate member 121 arranged on the side surface portion of the surface plate 104.
- the plate member 121 is arranged so that the connecting portion 121b rides on the wide portion 121a of the plate member 121 arranged adjacent to the plate member 121.
- the plate member 121 is arranged on the corner portion of the surface plate 104.
- FIG. 25C is a top view showing an arrangement example of the plate member 121 arranged on the corner portion of the surface plate 104. In the example shown in FIG.
- the plate member 121 is composed of a rectangular flat plate-shaped corner portion 121c and adjacent portions 121d and 121e arranged adjacent to the corner portion 121c.
- the adjacent portions 121d and 121e are configured such that the portions facing the corner portions 121c overlap the sides of the corner portions 121c or below the sides.
- the environmental test room 2E considers the following items.
- the water-cooled surface plate 104 may be installed in the accommodating groove 113 in order to improve the convenience when carrying in the measurement object or the optical measuring device.
- radiant heat radiated from the groove bottom surface and the side wall surface of the accommodating groove 113 may reach the object to be measured.
- the environmental test room 2E according to this modification attaches the plate member 121 to the upper surface of the surface plate 104 as a radiant heat insulating plate that blocks radiant heat, so that the bottom surface and the side wall surface of the accommodating groove 113 It is possible to prevent the radiant heat radiated from and from reaching the installation portion 102 of the measurement object.
- the plate member 121 attached to the surface plate 104 is preferably kept out of contact with the surrounding floor, wall, or curtain in order to prevent vibration from being transmitted to the surface plate 104.
- the plate member 121 may have a shape extending obliquely upward from the upper surface of the surface plate 104 in order to block radiant heat without contacting the surroundings. Further, in order to hide the portion from the lower end of the supply port 2in to the floor surface 101b, the plate member 121 has an outer peripheral portion (the end portion on the opposite side of the surface plate 104) higher than the height of the lower end of the supply port 2in. It is preferable that the configuration is arranged at a position.
- the plate member 121 has a specular reflection surface F11 on the lower surface of the accommodating groove 113 facing the groove bottom surface and the side wall surface in order to efficiently insulate the radiant heat radiated from the groove bottom surface and the side wall surface of the accommodating groove 113. It is good to have. Further, the plate member 121 may have a diffuse reflection surface F12 on the upper surface in order to prevent the laser light from being diffusely reflected by the plate member 121 and hindering the measurement. Further, the plate member 121 may maintain the same temperature (or a temperature very close to) that of the surface plate 104 by heat conduction.
- the plate member 121 since it is desirable that the plate member 121 has the same temperature as the surface plate 104 (that is, the same temperature as the conditioned air), it is preferable that the plate member 121 is made of a material having good thermal conductivity (for example, an aluminum alloy). Further, the plate member 121 may be removable in order to improve convenience when carrying in the object to be measured or the optical measuring device. At that time, the plate member 121 may have a divided structure in consideration of the convenience of removal. In that case, the plate member 121 may have a shape that hides the gap so that the radiant heat blocking performance is deteriorated when a gap is formed in the divided portion.
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Environmental Sciences (AREA)
- Biodiversity & Conservation Biology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Ecology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
環境試験室(2)は、所定風速で所定温度の空調空気が供給される供給口(2in)と、供給口に対向配置され、空調空気が排出される排出口(2out)と、供給口と排出口との間に配置され、空調空気が通る流路部(101)と、流路部の中央付近に配置され、光学測定の測定対象物が設置される設置部(102)と、流路部の側壁面と設置部との間に配置され、空調空気の気流を整流する整流部材(カーテン(103))と、表面を加熱冷却可能な定盤(104)と、を備えている。流路部の側壁面と整流部材は、供給口から排出口に向かって流れる空調空気の気流方向と平行になるように配置されている。定盤は、床に配置されている。
Description
本発明は、環境試験室、及び、空気調和システムに関する。
従来、大気圧環境下で光学機器の高精度な測定を行うために、空調制御によって測定環境を安定化させる環境試験室、及び、その環境試験室を用いる空気調和システムが提案されている。
その環境試験室では、壁面から放射される放射熱の影響を低減することが要望されている。そこで、本発明者らは、特許文献1(本発明出願時未公開)で、空調空気が通る流路部の側壁面と流路部の中央付近に配置された光学測定の測定対象物(光学機器)の設置部との間に、空調空気の気流を整流する整流部材を配置した構成の環境試験室を提案した。
特許文献1(本発明出願時未公開)で提案された環境試験室は、側壁面から放射される放射熱の影響について改善するものであったが、床面等から放射される放射熱の影響について改善の余地が残されていた。
本発明は、前記した課題を解決するためになされたものであり、床面等から放射される放射熱の影響を低減する環境試験室、及び、空気調和システムを提供することを主な目的とする。
前記目的を達成するため、本発明は、環境試験室であって、所定風速で所定温度の空調空気が供給される供給口と、前記供給口に対向配置され、前記空調空気が排出される排出口と、前記供給口と前記排出口との間に配置され、前記空調空気が通る流路部と、前記流路部の中央付近に配置され、光学測定の測定対象物が設置される設置部と、前記流路部の側壁面と前記設置部との間に配置され、前記空調空気の気流を整流する整流部材と、表面を加熱冷却可能な定盤と、を備え、前記流路部の側壁面と前記整流部材は、前記供給口から前記排出口に向かって流れる前記空調空気の気流方向と平行になるように配置されており、前記定盤は、床に配置されている構成とする。
その他の手段は、後記する。
その他の手段は、後記する。
本発明によれば、床面等から放射される放射熱の影響を低減することができる。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態(以下、「本実施形態」と称する)について詳細に説明する。なお、各図は、本発明を十分に理解できる程度に、概略的に示してあるに過ぎない。よって、本発明は、図示例のみに限定されるものではない。また、各図において、共通する構成要素や同様な構成要素については、同一の符号を付し、それらの重複する説明を省略する。
[実施形態1]
<環境試験室を含む空気調和システム全体の構成>
以下、図1を参照して、本実施形態1に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の構成について説明する。図1は、本実施形態1に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の概略構成を示す説明図である。
<環境試験室を含む空気調和システム全体の構成>
以下、図1を参照して、本実施形態1に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の構成について説明する。図1は、本実施形態1に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の概略構成を示す説明図である。
図1に示すように、空気調和システム1は、除湿部3、乾燥空気調温部4、乾燥空気加熱部5、循環流路6、送風機41、ヒータ51,54、蓄熱体55等を備えている。空気調和システム1は、循環流路6を介して環境試験室2の排出口2outから排出される空気を空気調和して環境試験室2の供給口2inに戻し、システム内で空調空気を循環させる。
除湿部3は、デシカント空調機30等の除湿機を備え、環境試験室2から排出される空気に外気を混合した空気を除湿して得られる乾燥空気を乾燥空気調温部4へ送気する。乾燥空気調温部4は、除湿部3から送気される乾燥空気を環境試験室2の内部の設定空気温度よりもやや低い温度に調温し、乾燥空気加熱部5へ送気する。乾燥空気加熱部5は、環境試験室2の内部の設定空気温度まで加熱して環境試験室2内に送気する。
ここで、環境試験室2内は、断熱パネル等からなる外壁によって外気から遮断されている。環境試験室2には、空気調和システム1で空気調和された空気のみが供給される。そして、環境試験室2内の中央付近には、光学測定の測定対象物(試験対象)やレーザー干渉計等の光学測定機器を設置する設置部102が設置されている。環境試験室2の詳細については、「環境試験室の構成」の章で説明する。
空気調和システム1の乾燥空気加熱部5は、通常、環境試験室2の特定の側面全体に分布して設置され、乾燥空気加熱部5から送気された空気は、環境試験室2の中を、乾燥空気加熱部5を設置した側面からそれに対向する側面に向かって流れ、その大半が除湿部3側へ排出され、空気調和システム1内を還流するとともに、一部が外気へ排出される。なお、外気への排気ダクトには、その排出量を調節するバルブ23(空気量調整弁)が設けられている。
除湿部3は、デシカント空調機30を主な構成要素として備え、環境試験室2から排出された空気及び外気がそれぞれクーラ31,34で除湿に適した温度に冷却された上で混合されて、デシカント空調機30に供給される。クーラ31,34の出口には、それぞれ温度センサ32,35が設けられており、制御装置(図中ではPIDと記載)33,36は、温度センサ32,35により得られる温度が所定の除湿に適した温度となるようにクーラ31,34をそれぞれ制御する。
デシカント空調機30に供給される空気すなわち除湿対象の空気をクーラ31,34により冷却することは、除湿対象の空気を除湿に適した温度にするというだけでなく、プレ除湿をするという意味を有している。とくに、外気は湿度が高いので、クーラ34でプレ除湿をしておくことにより、デシカント空調機30での除湿の負担を軽減することができる。
なお、図1では、環境試験室2から排出された空気及び外気は、それぞれクーラ31,34で冷却された後に混合されているが、環境試験室2から排出された空気及び外気を先に混合して、1つのクーラで冷却するようにしてもよい。
デシカント空調機30に供給された空気(除湿対象の空気)は、送風機302により送気され、水分吸着物質が保持されたデシカントロータ301の中を通過、除湿される。ここで、デシカントロータ301の中に保持される水分吸着物質としては、高分子吸着剤、シリカゲル、ゼオライト等、低温時に水分を吸着し、高温時に水分を放出する高温再生型の水分吸着物質が用いられる。
デシカントロータ301は、円筒形状をしており、円筒の軸を中心にして、例えば図1に示す矢印の方向に回転する。ここで、除湿対象の空気の大半は、回転するデシカントロータ301の領域Aの部分を通過、除湿され、乾燥空気となって乾燥空気調温部4側へ送気される。また、除湿対象の空気の一部は、デシカントロータ301の領域Cの部分を通過し、ヒータ304により加熱された後、再びデシカントロータ301に戻り領域Bの部分を通過する。このとき、デシカントロータ301の領域Bの部分に保持されている水分吸着物質は、加熱された空気に曝されることとなるので、水分吸着能力を回復する。一方で、領域Bの部分を通過した空気は、水分を多く含むこととなるので、送風機303を介して、除湿部3(空気調和システム1)の外に排気される。
デシカントロータ301は、領域A→領域B→領域C→領域A→…の方向に回転する。ここで、領域Aの部分は、クーラ31,34により冷却された除湿対象の空気が通過し、領域Bの部分は、ヒータ304により加熱された空気が通過する。そのため、デシカントロータ301の回転とともに、その中に保持されている水分吸着物質は、領域Aの部分で水分を吸着するが、領域Bの部分で吸着していた水分を放出し、水分吸着能力を回復する。
また、冷却された除湿対象の空気の一部は、領域Cの部分を通過する。このとき、領域Bの部分で加熱された水分吸着物質は、冷却されるとともに、領域Cの部分を通過した空気は加熱される。したがって、ヒータ304における加熱に必要なエネルギーを節減することができる。
デシカントロータ301の領域Aの部分を通過した空気は、温度が上昇する。そこで、領域Aの部分を通過した空気は、クーラ37により環境試験室2から排出された空気とほぼ同程度の温度まで冷却される。このとき、クーラ37の出口には温度センサ38が設けられており、クーラ37を通過した空気は、制御装置39により一定温度を保つように制御される。
ところで、本実施形態では、環境試験室2から排出される空気のすべてが除湿部3へ供
給されるのではなく、その一部は、バイパスダクト15を通過、すなわち、除湿部3をバイパスして乾燥空気調温部4へ流れるようにされている。こうすることにより、環境試験室2から排出される空気のうち、環境試験室2で発生した湿度上昇分を除去するのに必要な空気量のみを除湿部3へ流すことが可能になる。少なくとも空気調和システム1の作動が開始され一定の時間が経過した後は、環境試験室2で発生する湿度の上昇はわずかとなる。したがって、環境試験室2から排出される空気のうち一部をバイパスダクト15側へ流すことにより、デシカントロータ301の除湿負担を低減することができ、さらには、デシカントロータ301の小型化にもつながる。
給されるのではなく、その一部は、バイパスダクト15を通過、すなわち、除湿部3をバイパスして乾燥空気調温部4へ流れるようにされている。こうすることにより、環境試験室2から排出される空気のうち、環境試験室2で発生した湿度上昇分を除去するのに必要な空気量のみを除湿部3へ流すことが可能になる。少なくとも空気調和システム1の作動が開始され一定の時間が経過した後は、環境試験室2で発生する湿度の上昇はわずかとなる。したがって、環境試験室2から排出される空気のうち一部をバイパスダクト15側へ流すことにより、デシカントロータ301の除湿負担を低減することができ、さらには、デシカントロータ301の小型化にもつながる。
なお、除湿部3へ供給される空気量及び除湿部3をバイパスさせる空気量は、それぞれバルブ11,13の開度制御によって調整することができる。また、当然ながら、バイパスダクト15を設けないで、環境試験室2から排出される空気をすべて除湿部3へ供給するものとしてもよい。
なお、デシカント空調機30から排出される空気の湿度は、デシカントロータ301の領域Bの部分の温度、つまり、ヒータ304の加熱強度、デシカントロータ301の回転速度、送風機302の風量等の調整により適宜設定することができる。
また、本実施形態では、除湿部3は、デシカント空調機30により除湿をするものとしたが、除湿手段は、デシカント空調機30に限定されず、冷却と過熱を繰り返す方法等で除湿するものであってもよい。
次に、乾燥空気調温部4は、冷水を冷媒とするクーラ42、チラー43、冷却された冷水を加熱するヒータ48等を含んで構成される。除湿部3から送気されてくる乾燥空気は、クーラ42によって環境試験室2の内部の設定空気温度よりも低い温度に調温された上、乾燥空気加熱部5へ送気される。
ここで、クーラ42は、冷却ダクト40内に設けられ、冷媒である冷水(以下、冷媒水という)が通流するコイル状の配管により構成される。コイル状の配管を通流する冷媒水は、ヒータ48で加熱されることにより、所定の冷媒水の目標温度に調温される。そして、送風機41を介して除湿部3から送気されてくる乾燥空気は、この冷水コイルに接触することによって冷却され、所定の乾燥空気の目標温度(環境試験室2の内部の設定空気温度よりもやや低い温度)に調温される。
ここで、冷媒水を通流させる配管の途中には、ヒータ48の他にタンク47が設けられている。タンク47は、冷媒水を一時貯留することにより、この冷媒水の温度の安定させる役割を果たす。
したがって、ヒータ48には、温度変動の小さい冷媒水が供給される。そして、その温度変動の小さい冷媒水は、制御装置61,62で制御されたヒータ48によって加熱され、クーラ42に送水される。このとき、制御装置61は、冷却ダクト40の出口に設けられた温度センサ63から得られる空気温度を、予め設定された目標空気温度と比較し、その差分量に基づいてヒータ48の出口における冷媒水の目標温度を演算する。さらに、制御装置62は、ヒータ48の出口に設けられた温度センサ49から得られる冷媒水の温度
を、制御装置61で演算された冷媒水の目標温度と比較し、その差分量に基づいてヒータ48の発熱強度を制御する。
を、制御装置61で演算された冷媒水の目標温度と比較し、その差分量に基づいてヒータ48の発熱強度を制御する。
乾燥空気加熱部5は、ヒータ51,54、蓄熱体55、温度センサ52,56、制御装置53,57,CL等を備えて構成される。乾燥空気調温部4から供給される乾燥空気は、ヒータ51を通過することで所定の温度に加熱され、さらに、環境試験室2の側面に設けられたヒータ54及び蓄熱体55を通過することで、予め設定された環境試験室2内の設定空気温度まで加熱される。
ここで、ヒータ51の加熱強度は、その出口に設けられた温度センサ52により得られる温度が一定となるように制御装置53によって制御される。同様に、ヒータ54の加熱強度は、蓄熱体55からの出口である環境試験室2の天井部に設けられた温度センサ52により得られる温度が環境試験室2内の設定空気温度と同じになるように制御装置57によって制御される。制御装置CLは、後記する定盤104(図2参照)の表面温度及び空調空気の風速を制御する制御部である。制御装置CLは、後記する定盤104の表面温度が空調空気と同一となるように制御する。なお、制御装置CLは、乾燥空気加熱部5以外の場所に設置されていてもよい。
環境試験室2の供給口2inには、ヒータ54及び蓄熱体55が複数セット設けられている。したがって、環境試験室2内へは、一定の温度に保たれた乾燥空気がほぼ均一に供給されるので、環境試験室2内の空気温度も均一化される。
ヒータ54の下流側に設けられる蓄熱体55は、空気の通路となる多数の孔部を備えた多孔通路部材によって構成される。蓄熱体55は、孔部を通過する空気の温度が自身の温度よりも高ければ、熱を吸収し、低ければ、熱を放出する。そのため、蓄熱体55は、温度が変動しにくいものが好ましく、通常は、熱容量が大きい材料、また熱伝導率がよい材料(例えば、銅やアルミニウム等の金属)を用いて構成される。したがって、蓄熱体55の孔部を通過して環境試験室2内に送気される乾燥空気の温度変動を効果的に抑制することができる。
<環境試験室の構成>
以下、図2乃至図5を参照して、本実施形態に係る環境試験室2の構成について説明する。
以下、図2乃至図5を参照して、本実施形態に係る環境試験室2の構成について説明する。
図2は、本実施形態に係る環境試験室2の概略構成を示す斜視図であり、斜め上後方向から見た環境試験室2の構成を示している。図3は、環境試験室2の概略構成を示す上面図であり、上方向から見た環境試験室2の構成を示している。図4は、環境試験室2の概略構成を示す側断面図であり、図3に示す環境試験室2をX1-X1線に沿って切断して得られる断面を、側面方向(矢印方向)から見たレイアウトを示している。図5は、環境試験室2の概略構成を示す背面図であり、後方向から見た環境試験室2の構成を示している。
図2に示すように、本実施形態に係る環境試験室2は、6面体状の形状を呈しており、供給口2inと、排出口2outと、流路部101と、設置部102と、カーテン103と、定盤104と、除振部材105と、整流板106と、を備えている。
供給口2inは、空調空気が供給される開口部である。供給口2inは、6面体状の形状を呈する環境試験室2における任意の面の全面に設けられている。供給口2inには、ほぼ均一な所定風速でかつほぼ均一な所定温度の空調空気が供給される。供給口2inには、供給口2inを通って流路部101の外部から内部に流入する空調空気から異物を除去するためのフィルタが設置されている。排出口2outは、空調空気が排出される開口部である。排出口2outは、環境試験室2における供給口2inに対向する面の全面に配置されている。排出口2outには、排出口2outを通って流路部101の外部から内部に空調空気が逆流して侵入することを防止するためのフィルタが設置されている。流路部101は、環境試験室2の内部の空調空気が通る部位である。流路部101は、供給口2inと排出口2outとの間に配置されている。設置部102は、光学測定の図示せぬ測定対象物(試験対象)やレーザー干渉計等の光学測定機器が設置される場所である。設置部102は、流路部101の中央付近に配置されている。
カーテン103は、設置部102が設けられている空間(以下、「測定対象空間」と称する)とその外側の空間との間を仕切るとともに、流路部101内を流れる空調空気の気流を整流する整流部材である。ここでは、整流部材がカーテン103で構成されているものとして説明する。ただし、整流部材は、カーテン103の代わりに、板状の物品で構成されていてもよい。本実施形態では、カーテン103は、設置部102の両横に1つずつ、合計2つ配置されている。カーテン103は、奥行き方向に延在するように、横方向において流路部101の側壁面101sと設置部102との間に配置されている。
カーテン103は、天井面101t(図5参照)から図示せぬカーテンレールで移動可能に吊り下げられており、矢印A103の方向に展開及び収納ができる構成になっている。カーテン103は、好ましくは、紐等の図示せぬ部材で流路部101の天井面101t(図5参照)や床面101b(図5参照)の任意の箇所に固定することができる構造になっているとよい。環境試験室2は、カーテン103が矢印A103の方向に展開及び収納が可能な構成になっているため、設置部102への測定対象物(図示せず)や光学測定機器(図示せず)の設置作業を容易に行うことができる。
カーテン103は、好ましくは、素材として、鏡面反射面F11と拡散反射面F12とを有する放射断熱材が用いられているとよい。鏡面反射面F11は、鏡面反射機能(つまり、鏡のように光を高効率に反射する機能)を有する面である。拡散反射面F12は、拡散反射機能(つまり、拡散させながら光を反射する機能)を有する面である。
そして、カーテン103は、流路部101(環境試験室2)の側壁面101sとの対向面である外側の面が鏡面反射面F11に、設置されるとよい(図3参照)。これにより、本実施形態に係る環境試験室2は、側壁面101sから設置部102に設置された測定対象物や光学測定機器への放射熱の伝播を抑制することができる。このような環境試験室2は、カーテン103よりも内側の温度をほぼ同じにすることができる。そのため、環境試験室2は、設置部102に設置された測定対象物や光学測定機器の温度分布を小さな値に収束させ易くすることができる。その結果、環境試験室2は、設置部102に設置された測定対象物や光学測定機器の温度分布を所望の温度範囲以内(例えば、±0.5℃以内、特に好ましくは±0.1℃以内)に収め易くすることができる。
また、カーテン103は、設置部102との対向面(流路部101(環境試験室2)の側壁面101sとの非対向面)である内側の面が拡散反射面F12となるように、設置されるとよい(図3参照)。これにより、本実施形態に係る環境試験室2は、例えば、設置部102でレーザー光を発する光学測定機器を使用する場合に、レーザー光がカーテン103で乱反射して測定に支障をきたすことを防止することができる。
本実施形態では、カーテン103の上端部と流路部101の天井面101t(図5参照)との間に、若干の隙間が設けられている。また、カーテン103の下端部と流路部101の床面101b(図5参照)との間に、若干の隙間が設けられている。これは、流路部101(環境試験室2)の天井面101tと床面101bに対するカーテン103の接触面積を小さくして、天井面101tと床面101bからカーテン103に伝わる熱伝導量をできるだけ低減するとともに、カーテン103の温度の変動を抑制するためである。
流路部101の側壁面101sとカーテン103は、供給口2inから排出口2outに向かって流れる空調空気の気流方向と平行になるように配置されている。このような本実施形態に係る環境試験室2は、任意の壁の全面を均一に空調空気を吹き出す供給口2inとし、流路部101の側壁面101sとカーテン103とで空調空気を整流する。これにより、供給口2inから環境試験室2内に供給された空調空気は、カーテン103で整流されて排出口2outに向かってほぼ真っ直ぐに進行し、排出口2outから循環流路6(図1参照)に排出される(矢印Aair参照)。このような本実施形態に係る環境試験室2は、測定対象物や光学測定機器への意図せぬ熱の伝達が発生して、測定対象物や光学測定機器の温度が変動しないように、空調空気の気流をコントロールすることができる。
定盤104は、表面を加熱冷却可能な台状の部材である。定盤104は、除振部材105を介して床に配置されている。定盤104の上の空間は、設置部102として利用される。定盤104は、放射断熱のために、できるだけ設置部102から床面101bが見えない構成であるとよい。そこで、定盤104は、好ましくは、設置部102の幅とほぼ等幅であるとよい。換言すると、設置部102は、定盤104の幅とほぼ等幅に設計されているとよい。定盤104は、例えば、0~50℃の間で表面温度を変更することができる構成になっている。前記した通り、制御装置CLは、定盤104の表面温度が空調空気と同一となるように制御する。これにより、制御装置CLは、設置部102に設置された測定対象物や光学測定機器が放射熱によって空気温度と違う温度になることを防止することができる。また、制御装置CLは、例えば測定対象空間内の温度分布を所望の温度範囲以内に収めることができる。
除振部材105は、振動を除去する台状の部材である。以下、除振部材105を「除振台」と称する場合がある。除振部材105は、定盤104の下に配置されており、定盤104が揺れないように床側から伝達される振動を除去している。
整流板106は、流路部101内を流れる空調空気の気流を整流する整流部材である。整流板106は、板状の部材で構成されており、定盤104と排出口2outとの間に配置されている。なお、整流板106の上面は、定盤104の上面と同一高さに配置されている。
また、図3及び図4に示すように、本実施形態に係る環境試験室2は、整流板107を備えている。整流板107は、整流板106と同様に、流路部101内を流れる空調空気の気流を整流する整流部材である。整流板107は、板状の部材で構成されており、定盤104と供給口2inとの間に配置されている。なお、整流板107の上面は、定盤104の上面と同一高さに配置されている。
また、図4及び図5に示すように、本実施形態に係る環境試験室2は、整流板108を備えている。整流板108は、整流板106,107と同様に、流路部101内を流れる空調空気の気流を整流する整流部材である。整流板108は、板状の部材で構成されており、流路部101の天井面101tと設置部102との間に配置されている。
以下、整流板106,107,108を区別する場合に、整流板106を「第1定盤用整流部材」と称し、整流板107を「第2定盤用整流部材」と称し、整流板108を「天井面用整流部材」と称する場合がある。
なお、整流板106(第1定盤用整流部材)は、好ましくは、排出口2outの開口面にヒンジで回動自在に取り付けられているとよい(図4参照)。このような環境試験室2は、測定対象物や光学測定機器の設置時に、矢印A106の方向に整流板106を回動させる(持ち上げる)ことで、設置部102の周囲に作業空間を形成することができる。そのため、環境試験室2は、設置部102への測定対象物や光学測定機器の設置作業を容易に行うことができる。また、環境試験室2は、光学機器の測定時に、矢印A106の逆方向に整流板106を回動させる(倒す)ことで、整流板106の上面を定盤104の上面と同一高さに配置することができる。これにより、環境試験室2は、排出口2out付近の空調空気の気流を整流して、気流の乱れを低減することができる。その結果、環境試験室2は、光学機器の測定に適した空間を容易に得ることができる。なお、整流板106(第1定盤用整流部材)は、排出口2outの開口面に対して取り外しと取り付けが自在な構成であってもよい。
また、整流板106(第1定盤用整流部材)は、好ましくは、定盤104に対して接触しないように配置されているとよい(図4参照)。このような環境試験室2は、整流板106の振動が定盤104に伝達することを抑制することができるため、光学機器の高精度な測定を行うことができる。なお、定盤104は、除振部材105によって振動が除去されている。
また、整流板106(第1定盤用整流部材)は、好ましくは、断熱材で構成されているとよい。特に好ましくは、整流板106(第1定盤用整流部材)は、下面に鏡面反射面F11を有し、上面に拡散反射面F12を有する、放射断熱材で構成されているとよい(図4参照)。このような環境試験室2は、整流板106の下面が鏡面反射面F11であるため、床面101b(図4参照)から設置部102に置かれた測定対象物への放射熱の伝播を抑制することができる。そのため、環境試験室2は、設置部102に設置された測定対象物や光学測定機器の温度分布を小さな値に収束させ易くすることができる。また、環境試験室2は、例えば、設置部102でレーザー光を発する光学測定機器を使用する場合に、整流板106の上面が拡散反射面F12であるため、レーザー光が整流板106で乱反射して測定に支障をきたすことを防止することができる。
また、整流板107(第2定盤用整流部材)は、好ましくは、供給口2inの開口面にヒンジで回動自在に取り付けられているとよい(図4参照)。このような環境試験室2は、測定対象物や光学測定機器の設置時に、矢印A107の方向に整流板107を回動させることで、設置部102の周囲に作業空間を形成することができる。そのため、環境試験室2は、設置部102への測定対象物や光学測定機器の設置作業を容易に行うことができる。また、環境試験室2は、光学機器の測定時に、矢印A107の逆方向に整流板107を回動させる(倒す)ことで、整流板107の上面を定盤104の上面と同一高さに配置することができる。これにより、環境試験室2は、供給口2in付近の空調空気の気流を整流して、気流の乱れを低減することができる。その結果、環境試験室2は、光学機器の測定に適した空間を容易に得ることができる。なお、整流板107(第2定盤用整流部材)は、供給口2inの開口面に対して取り外しと取り付けが自在な構成であってもよい。
また、整流板107(第2定盤用整流部材)は、好ましくは、定盤104に対して接触しないように配置されているとよい(図4参照)。このような環境試験室2は、整流板107の振動が定盤104に伝達しないようにすることができるため、光学機器の高精度な測定を行うことができる。
また、整流板107(第2定盤用整流部材)は、好ましくは、断熱材で構成されているとよい。特に好ましくは、整流板107(第2定盤用整流部材)は、下面に鏡面反射面F11を有し、上面に拡散反射面F12を有する、放射断熱材で構成されているとよい(図4参照)。このような環境試験室2は、床面101b(図4参照)から設置部102に置かれた測定対象物への放射熱の伝播を抑制することができる。そのため、環境試験室2は、設置部102に設置された測定対象物や光学測定機器の温度分布を小さな値に収束させ易くすることができる。
また、整流板108(天井面用整流部材)は、好ましくは、断熱材で構成されているとよい。特に好ましくは、整流板108(天井面用整流部材)は、上面に鏡面反射面F11を有し、下面に拡散反射面F12を有する、放射断熱材で構成されているとよい(図4参照)。このような環境試験室2は、天井面101t(図4参照)から設置部102に置かれた測定対象物への放射熱の伝播を抑制することができる。そのため、環境試験室2は、設置部102に設置された測定対象物や光学測定機器の温度分布を小さな値に収束させ易くすることができる。
係る構成において、作業者は、光学機器の測定を行う場合に、まず、測定対象物や光学測定機器を設置部102に搬入する。次に、作業者は、測定対象物や光学測定機器を設置部102に設置して、空気調和システム1を作動させる。このとき、制御装置CLは、定盤104の表面温度が空調空気と同一となるように定盤104を制御する。
<環境試験室における熱伝導量と熱伝達量と放射熱量の関係>
以下、図6を参照して、環境試験室2における熱伝導量と熱伝達量と放射熱量の関係について説明する。図6は、環境試験室2における熱伝導量と熱伝達量と放射熱量の関係を示す説明図である。
以下、図6を参照して、環境試験室2における熱伝導量と熱伝達量と放射熱量の関係について説明する。図6は、環境試験室2における熱伝導量と熱伝達量と放射熱量の関係を示す説明図である。
図6は、定盤104の代わりに、床面101bの上に防振架台stを配置し、その防振架台stの上に測定対象物としての物体mを設置した状態を示している。図6は、物体mの温度Tmが周囲の温度よりも低い場合において、熱伝導量Qcondと熱伝達量Qhtと放射熱量Qrが周囲から物体m側に伝わることを示している。ただし、物体mの温度Tmが周囲の温度よりも高い場合は、これらの熱量は、逆に物体m側から周囲に伝わる。熱伝導量Qcondは、物体mに接触している防振架台stを介して地中等から熱伝導で物体m側に伝わる熱量(又は、物体mに接触している防振架台stを介して物体mから地中等に伝わる熱量)を表している。熱伝達量Qhtは、空調空気から熱伝達で物体mに伝わる熱量(又は、物体mから熱伝達で空調空気に伝わる熱量)を表している。放射熱量Qrは、物体mの周囲(例えば、天井付近に配置された整流板108(図5参照)や、物体mの側面側に配置されたカーテン103(図5参照)、床面101b等の壁面)から放射される熱量(又は、物体mから周囲に放射される熱量)を表している。
なお、物体mの温度Tmに対する熱伝導量Qcondの影響については、物体mが設置された台を流路部101を流れる空調空気に曝して熱量を空調空気に放出する(又は、熱量を空調空気から取り込む)ことで、また、台を防振架台stから定盤104に変更して定盤104を作動させて定盤104の温度制御を行うことで、排除することができる。
本実施形態に係る環境試験室2では、以下に説明するように、整流板108から放射される放射熱の熱量とカーテン103から放射される放射熱の熱量がほぼゼロになる。そのため、考慮すべき放射熱の熱量としては、床面101bから放射される放射熱の熱量のみが残存する。例えば、放射熱量Qrは、放射される壁面とその周囲との温度差に応じて変動し、壁面とその周囲との温度差がゼロである場合はゼロになる。そして、環境試験室2は、天井付近に配置された整流板108を流路部101を流れる空調空気に曝して熱量を空調空気に放出する(又は、熱量を空調空気から取り込む)ことで、整流板108と空調空気との温度差をほぼゼロにすることができる。これにより、環境試験室2は、整流板108から放射される放射熱の熱量をほぼゼロにすることができる。また、環境試験室2は、物体mの側面側に配置されたカーテン103を流路部101を流れる空調空気に曝して熱量を空調空気に放出する(又は、熱量を空調空気から取り込む)ことで、カーテン103と空調空気との温度差をほぼゼロにすることができる。これにより、環境試験室2は、カーテン103から放射される放射熱の熱量をほぼゼロにすることができる。したがって、本実施形態に係る環境試験室2では、考慮すべき放射熱の熱量(つまり、放射熱量Qr)としては、床面101bから放射される放射熱の熱量のみが残存する。
なお、公知のシュテファン・ボルツマンの法則によれば、熱輻射により黒体から放出されるエネルギー(つまり、放射熱量Qr)は熱力学温度の4乗に比例することが知られている。このような放射熱量Qrは、値が比較的大きく変化し易い。そのため、好適な試験を行うためには、放射熱量Qrを好適に制御することが重要である。
ここで、図7Aと図7Bを参照して、熱伝達量Qhtと放射熱量Qrの関係について説明する。例えば、図7Aに示すように、空調空気の温度Taと物体mの温度Tmと壁面の温度Twallとの関係が「Ta<Tm<Twall」であったとする。この場合に、物体mは、熱伝達量Qhtを空調空気に放出するとともに、周囲の壁面から放射熱量Qrを取り込む。逆に、図7Bに示すように、空調空気の温度Taと物体mの温度Tmと壁面の温度Twallとの関係が「Twall<Tm<Ta」であったとする。この場合に、物体mは、周囲の壁面から熱伝達量Qhtを取り込むとともに、放射熱量Qrを空調空気に放出する。このように、熱伝達量Qhtと放射熱量Qrの関係は、空調空気の温度Taと物体mの温度Tmと壁面の温度Twallの各値によって変動する。
なお、壁面の温度Twallは、天井面101tの温度Twall(t)と側壁面101sの温度Twall(s)と床面101bの温度Twall(b)とを平均化した温度である。ただし、本実施形態では、以下に説明するように、壁面の温度Twallについては、天井面101tの温度Twall(t)と側壁面101sの温度Twall(s)とを成分から除外することができるため、壁面の温度Twallの値は、床面101bの温度Twall(b)の値と同じになる。例えば、本実施形態に係る環境試験室2は、天井面101tと物体mとの間に整流板108(図5参照)が配置されており、整流板108を流路部101を流れる空調空気に曝すことで、整流板108と空調空気との温度差をほぼゼロにすることができる。そのため、本実施形態では、壁面の温度Twallについては、天井面101tの温度Twall(t)を成分から除外することができる。また、本実施形態に係る環境試験室2は、側壁面101sと物体mとの間にカーテン103(図5参照)が配置されており、カーテン103を流路部101を流れる空調空気に曝すことで、カーテン103と空調空気との温度差をほぼゼロにすることができる。そのため、本実施形態では、壁面の温度Twallについては、側壁面101sの温度Twall(s)を成分から除外することができる。したがって、本実施形態では、壁面の温度Twallの値は、床面101bの温度Twall(b)の値と同じになる。このような環境試験室2は、物体mの温度Tmに対する天井面101tの温度Twall(t)の影響と側壁面101sの温度Twall(s)の影響を無くすことができる。
ところで、物体mの局所熱伝達率hは物体mのサイズに応じて変化する。そして、物体mと空気の温度差Tm-Taと壁面と空調空気の温度差Twall-Taとの関係は、物体mの局所熱伝達率hに応じて変化する。図8は、物体mのサイズを説明するための概略図である。図9は、物体mと空気の温度差Tm-Taと壁面と空調空気の温度差Twall-Taとの関係を示すグラフ図である。
図8に示す例では、仮想的に物体mが平板として構成されていて、そのサイズがLとなっている。図9は、横軸を平板の先端からの距離L[m](つまり、物体mのサイズ)とし、右側の縦軸を平板の局所熱伝達率h[W/m2 ℃]とし、左側の縦軸を物体mと空気の温度差Tm-Ta[℃]としている。
図9は、平板の先端からの距離L[m](つまり、物体mのサイズ)に応じた平板の局所熱伝達率hを点線で示している。各距離Lにおける平板の局所熱伝達率hの値は右側の縦軸の値に対応している。図9から明らかなように、平板(物体m)の局所熱伝達率hは、距離Lが大きくなるほど小さくなる。
平板(物体m)の局所熱伝達率hが小さくなると、空調空気と物体mとの間で行われる熱伝達の効率が低下する。その結果、熱伝達量Qhtが物体mの温度Tmに与える影響が低下する。そのため、熱伝達量Qhtと放射熱量Qrのバランスが変わり、物体mの温度Tmが変化する。例えば、仮に局所熱伝達率hが小さいときに、局所熱伝達率hが大きいときと同じ値の熱伝達量Qhtの伝達が空調空気と物体mとの間で行われたとする。この場合に、物体mと空気の温度差Tm-Taは、局所熱伝達率hが大きいときよりも増加する。一方、放射熱量Qrもシュテファン・ボルツマンの法則に従い物体温度Tmと壁面の温度Twの温度の乖離が大きいほど大きくなる。熱伝導による伝熱を無視すると、物体の温度Tmは熱伝達量Qhtと放射熱量Qrが等しくなる点で安定するため、仮に局所熱伝達率hが小さいときに、物体mの温度Tmは、局所熱伝達率hが大きいときよりも壁面の温度Twallに近い温度に変化する。したがって、熱伝達量Qhtと放射熱量Qrの関係は、局所熱伝達率hが変化することによってバランスが変化する。しかも、局所熱伝達率hは平板(物体m)のサイズに応じて変化するため、熱伝達量Qhtと放射熱量Qrの関係は、平板(物体m)のサイズに応じてバランスが変化する。
また、図9は、壁面と空調空気の温度差Twall-Taを5段階で変化させた場合の、平板の先端からの距離L[m](つまり、物体mのサイズ)に応じた物体mと空気の温度差Tm-Taの測定結果を、線L1,L2,L3,L4,L5で示している。図9に示す各測定結果は、風速uが0.4[m/s]で、空調空気の温度Taが23.5[℃]で、物体mの放射率δmが0.1で、形態係数Fが0.4である環境下において測定されたものである。線L1,L2,L3,L4,L5は、それぞれ、壁面と空調空気の温度差Twall-Taが2℃、1℃、0.5℃、0.2℃、0.1℃である場合に測定されたものである。各距離Lにおける物体mと空気の温度差Tm-Taの値は左側の縦軸の値に対応している。図9から明らかなように、物体mと空気の温度差Tm-Taは、距離Lが大きくなるほど大きくなる。また、距離Lの増加に伴う物体mと空気の温度差Tm-Taの増加量は、壁面と空調空気の温度差Twall-Taが小さくなるほど小さくなる。空気温度Taは距離Lによらずほぼ一定であることから、物体の温度Tmは壁面と空調空気の温度差Twall-Taが小さいほど分布が小さくなる。
このような関係において、本実施形態に係る環境試験室2は、図10に示すように、床面101bの上に定盤104を配置し、その定盤104を作動させて定盤104の温度を空調空気の温度に変更する。これにより、環境試験室2は、空調空気の温度Taと物体mの温度Tmと壁面の温度Twallとの関係を「Ta≒Tm≒Twall」に設定する。図10は、環境試験室2の温度関係を示す説明図である。例えば、図10に示す例では、供給口2inから取り込まれる空調空気の温度Taが25℃で、排出口2outから排出される空気の温度が23℃で、天井面101tの温度が30℃で、床面101bの温度が20℃になっている。天井側の温度は、天井付近に配置された整流板108が流路部101を流れる空調空気に曝されることで、空調空気と同じ25℃になる。また、図示していないが、物体mの側面側の温度は、側面側に配置されたカーテン103が流路部101を流れる空調空気に曝されることで、空調空気と同じ25℃になる。そして、床面側の温度は、定盤104が作動されることで、空調空気と同じ25℃になる。このように、環境試験室2は、空調空気の温度Taと物体mの温度Tmと壁面の温度Twallとの関係を「Ta≒Tm≒Twall」に設定することで、物体の形状やサイズによって局所熱伝達率hが変化しても、物体mの温度Tmの変化量を小さくできる。このような環境試験室2は、物体の温度分布を小さくできる。
<本実施形態に係る環境試験室の主な特徴>
以下、本実施形態に係る環境試験室2の主な特徴について説明する。
(1)本実施形態に係る環境試験室2は、供給口2inと、排出口2outと、流路部101と、設置部102と、カーテン103(整流部材)と、定盤104と、を備えている。流路部101の側壁面101sとカーテン103は、供給口2inから排出口2outに向かって流れる空調空気の気流方向と平行になるように配置されている。定盤104は、床に配置されている。
以下、本実施形態に係る環境試験室2の主な特徴について説明する。
(1)本実施形態に係る環境試験室2は、供給口2inと、排出口2outと、流路部101と、設置部102と、カーテン103(整流部材)と、定盤104と、を備えている。流路部101の側壁面101sとカーテン103は、供給口2inから排出口2outに向かって流れる空調空気の気流方向と平行になるように配置されている。定盤104は、床に配置されている。
このような本実施形態に係る環境試験室2は、定盤104を作動させる(つまり、定盤104の温度制御を行う)ことで、床面等から放射される放射熱の影響を低減することができる。
(2)本実施形態に係る環境試験室2は、定盤104の表面温度及び空調空気の風速を制御する制御装置CL(制御部)を備えている。制御装置CLは、定盤104の表面温度が空調空気と同一となるように制御する。
このような本実施形態に係る環境試験室2は、定盤104を作動させる(つまり、定盤104の温度制御を行う)ことで、設置部102の空間全体の温度分布を所望の温度範囲以内に収め易くすることができる。特に本実施形態に係る環境試験室2は、光学機器の測定の開始前又は開始直後に定盤104を作動させることで、設置部102の空間全体の温度分布を所望の温度範囲以内に収めることができる。
(3)本実施形態に係る環境試験室2は、定盤104の下に振動を除去する除振部材105を備えている。
このような本実施形態に係る環境試験室2は、定盤104が揺れないため、光学測定の測定対象物(試験対象)やレーザー干渉計等の光学測定機器を静止させ続けることができる。その結果、本実施形態に係る環境試験室2は、光学機器の高精度な測定を行うことができる。
(4)本実施形態に係る環境試験室2は、定盤104と排出口2outとの間に、上面が定盤104の上面と同一高さの整流板106(第1定盤用整流部材)を備えている。
このような本実施形態に係る環境試験室2は、排出口2out付近の空調空気の気流を整流して、気流の乱れを低減することができるため、光学機器の高精度な測定を行うことができる。
(5)本実施形態に係る環境試験室2は、整流板106(第1定盤用整流部材)は、排出口2outの開口面に回動自在に取り付けられている。
このような本実施形態に係る環境試験室2は、測定対象物や光学測定機器の設置時に、整流板106を持ち上げることで、設置部102の周囲に作業空間を形成することができる。そのため、本実施形態に係る環境試験室2は、設置部102への測定対象物や光学測定機器の設置作業を容易に行うことができる。また、本実施形態に係る環境試験室2は、光学機器の測定時に、整流板106を倒すことで、光学機器の測定に適した空間を容易に得ることができる。
(6)本実施形態に係る環境試験室2は、整流板106(第1定盤用整流部材)は、定盤104に対して接触しないように配置されている。
このような本実施形態に係る環境試験室2は、整流板106の振動が定盤104に伝達しないようにすることができるため、光学機器の高精度な測定を行うことができる。
(7)本実施形態に係る環境試験室2は、定盤104と供給口2inとの間に、上面が定盤104の上面と同一高さの整流板107(第2定盤用整流部材)を備えている。
このような本実施形態に係る環境試験室2は、供給口2in付近の空調空気の気流を整流して、気流の乱れを低減することができるため、光学機器の高精度な測定を行うことができる。
(8)本実施形態に係る環境試験室2は、整流板107(第2定盤用整流部材)は、供給口2inの開口面に回動自在に取り付けられている。
このような本実施形態に係る環境試験室2は、測定対象物や光学測定機器の設置時に、整流板107を持ち上げることで、設置部102の周囲に作業空間を形成することができる。そのため、本実施形態に係る環境試験室2は、設置部102への測定対象物や光学測定機器の設置作業を容易に行うことができる。また、本実施形態に係る環境試験室2は、光学機器の測定時に、整流板107を倒すことで、光学機器の測定に適した空間を容易に得ることができる。
(9)本実施形態に係る環境試験室2は、整流板107(第2定盤用整流部材)は、定盤104に対して接触しないように配置されている。
このような本実施形態に係る環境試験室2は、整流板107の振動が定盤104に伝達しないようにすることができるため、光学機器の高精度な測定を行うことができる。
(10)本実施形態に係る環境試験室2は、
流路部101の天井面101tと設置部102との間に配置され、空調空気の気流を整流する1乃至複数枚の整流板108(天井面用整流部材)を備えている。
流路部101の天井面101tと設置部102との間に配置され、空調空気の気流を整流する1乃至複数枚の整流板108(天井面用整流部材)を備えている。
このような本実施形態に係る環境試験室2は、天井付近の空調空気の気流を整流して、気流の乱れを低減することができるため、光学機器の高精度な測定を行うことができる。
以上の通り、本実施形態1に係る環境試験室2によれば、床面等から放射される放射熱の影響を低減することができる。
[実施形態2]
実施形態1に係る環境試験室2(図3参照)は、流路部101の側壁面101sと設置部102との間に1枚のカーテン103(整流部材)が配置された構成になっている。
これに対し、本実施形態2では、流路部101の側壁面101sと設置部102との間に2枚以上のカーテン103(整流部材)が配置されている構成の環境試験室2Aを提供する。
実施形態1に係る環境試験室2(図3参照)は、流路部101の側壁面101sと設置部102との間に1枚のカーテン103(整流部材)が配置された構成になっている。
これに対し、本実施形態2では、流路部101の側壁面101sと設置部102との間に2枚以上のカーテン103(整流部材)が配置されている構成の環境試験室2Aを提供する。
以下、図11及び図12を参照して、本実施形態2に係る環境試験室2Aの構成について説明する。図11は、本実施形態2に係る環境試験室2Aの概略構成を示す上面図である。図12は、環境試験室2Aにおける流路部101の側壁面101s付近の温度分布図である。
図11に示すように、本実施形態2に係る環境試験室2Aは、実施形態1に係る環境試験室2(図3参照)と比較すると、流路部101の側壁面101sと設置部102との間に2枚のカーテン103a,103bが配置されている点で相違している。図11に示す例では、流路部101の側壁面101sに近い側にカーテン103bが配置され、設置部102に近い側にカーテン103aが配置されている。なお、カーテン103の枚数は、2枚に限らず、3枚以上であってもよい。
図11に示すように、本実施形態2に係る環境試験室2Aでは、流路部101の側壁面101sの温度により、側壁面101s付近に設置部102よりも比較的低温になっている温度分布領域Td2aが形成される。その温度分布領域Td2aの影響で、カーテン103bよりも内側部分で温度が変化する。しかしながら、温度分布領域Td2aの影響は、カーテン103bでほぼ遮断することができるため、カーテン103aよりも内側部分では温度が変化しない。このような本実施形態2に係る環境試験室2Aは、実施形態1に係る環境試験室2よりも光学機器の測定に適した環境を提供することができる。
以上の通り、本実施形態2に係る環境試験室2Aによれば、実施形態1に係る環境試験室2と同様に、床面等から放射される放射熱の影響を低減することができる。
しかも、本実施形態2に係る環境試験室2Aによれば、流路部101の側壁面101sと設置部102との間に2枚以上のカーテン103(整流部材)が配置されている。そのため、本実施形態2に係る環境試験室2Aは、流路部101の側壁面101sの温度によって生じる温度分布領域Td2aの影響をカーテン103bでほぼ遮断することができる。このような本実施形態2に係る環境試験室2Aは、実施形態1に係る環境試験室2に比べて、さらに光学機器の測定に適した環境を提供することができる。
しかも、本実施形態2に係る環境試験室2Aによれば、流路部101の側壁面101sと設置部102との間に2枚以上のカーテン103(整流部材)が配置されている。そのため、本実施形態2に係る環境試験室2Aは、流路部101の側壁面101sの温度によって生じる温度分布領域Td2aの影響をカーテン103bでほぼ遮断することができる。このような本実施形態2に係る環境試験室2Aは、実施形態1に係る環境試験室2に比べて、さらに光学機器の測定に適した環境を提供することができる。
[実施形態3]
実施形態1に係る環境試験室2(図3参照)は、設置部102と排出口2outとの間に流路部101しかなく、排出口2outが設置部102に直接対向する構成になっている。そのため、実施形態1に係る環境試験室2は、排出口2outに設置されているフィルタから放射されて流路部101の内部に侵入する放射熱が設置部102に到達する可能性がある。
これに対して、本実施形態3では、設置部102と排出口2outとの間にラビリンス機構111を設けた環境試験室2Bを提供する。
実施形態1に係る環境試験室2(図3参照)は、設置部102と排出口2outとの間に流路部101しかなく、排出口2outが設置部102に直接対向する構成になっている。そのため、実施形態1に係る環境試験室2は、排出口2outに設置されているフィルタから放射されて流路部101の内部に侵入する放射熱が設置部102に到達する可能性がある。
これに対して、本実施形態3では、設置部102と排出口2outとの間にラビリンス機構111を設けた環境試験室2Bを提供する。
以下、図13及び図14を参照して、本実施形態3に係る環境試験室2Bの構成について説明する。図13は、本実施形態3に係る環境試験室2Bの概略構成を示す上面図である。図14は、環境試験室2Bの概略構成を示す側断面図であり、図13に示す環境試験室2BをX2-X2線に沿って切断して得られる断面を、側面方向(矢印方向)から見たレイアウトを示している。
本実施形態3に係る環境試験室2Bは、実施形態1に係る環境試験室2(図3参照)と比較すると、整流板106(図3参照)が削除されている点、及び、設置部102と排出口2outの間にラビリンス機構111を備えている点で相違している。
ラビリンス機構111は、空調空気の気流を隘路112に導く機構である。本実施形態3に係る環境試験室2Bは、排出口2outに設置されているフィルタから放射されて流路部101の内部に侵入する放射熱をラビリンス機構111で遮断して設置部102に到達することを防止することができる。このような本実施形態3に係る環境試験室2Bは、実施形態1に係る環境試験室2よりも光学機器の測定に適した環境を提供することができる。
以上の通り、本実施形態3に係る環境試験室2Bによれば、実施形態1に係る環境試験室2と同様に、床面等から放射される放射熱の影響を低減することができる。
しかも、本実施形態3に係る環境試験室2Bによれば、排出口2outに設置されているフィルタから放射されて流路部101の内部に侵入する放射熱をラビリンス機構111で遮断して設置部102に到達することを防止することができる。このような本実施形態3に係る環境試験室2Bは、実施形態1に係る環境試験室2に比べて、さらに光学機器の測定に適した環境を提供することができる。
しかも、本実施形態3に係る環境試験室2Bによれば、排出口2outに設置されているフィルタから放射されて流路部101の内部に侵入する放射熱をラビリンス機構111で遮断して設置部102に到達することを防止することができる。このような本実施形態3に係る環境試験室2Bは、実施形態1に係る環境試験室2に比べて、さらに光学機器の測定に適した環境を提供することができる。
[実施形態4]
測定対象物や光学測定機器は、比較的重い物品である。そのため、環境試験室2は、測定対象物や光学測定機器を設置部102に設置する際に、クレーンを用いて設置作業を行うことが望まれる。しかしながら、実施形態1に係る環境試験室2(図5参照)は、床面101bの上に除振部材105と定盤104とを配置した構成になっている。このような実施形態1に係る環境試験室2は、床面101bと定盤104の上面との間に段差を有している。そのため、実施形態1に係る環境試験室2は、クレーンで測定対象物や光学測定機器を吊り下げて設置部102に搬入する際に、これらを定盤104に衝突させてしまう可能性がある。したがって、実施形態1に係る環境試験室2は、クレーンを用いて設置作業を行う場合に、クレーンの慎重な操作を作業者に強いる構成になっている。
これに対し、本実施形態4では、クレーンで測定対象物や光学測定機器を吊り下げて設置部102に搬入する際に、これらを定盤104に衝突させ難い構成になっている環境試験室2Cを提供する。
測定対象物や光学測定機器は、比較的重い物品である。そのため、環境試験室2は、測定対象物や光学測定機器を設置部102に設置する際に、クレーンを用いて設置作業を行うことが望まれる。しかしながら、実施形態1に係る環境試験室2(図5参照)は、床面101bの上に除振部材105と定盤104とを配置した構成になっている。このような実施形態1に係る環境試験室2は、床面101bと定盤104の上面との間に段差を有している。そのため、実施形態1に係る環境試験室2は、クレーンで測定対象物や光学測定機器を吊り下げて設置部102に搬入する際に、これらを定盤104に衝突させてしまう可能性がある。したがって、実施形態1に係る環境試験室2は、クレーンを用いて設置作業を行う場合に、クレーンの慎重な操作を作業者に強いる構成になっている。
これに対し、本実施形態4では、クレーンで測定対象物や光学測定機器を吊り下げて設置部102に搬入する際に、これらを定盤104に衝突させ難い構成になっている環境試験室2Cを提供する。
以下、図15乃至図18を参照して、本実施形態4に係る環境試験室2Cの構成について説明する。図15は、本実施形態4に係る環境試験室2Cの概略構成を示す背面図である。図16は、本実施形態4で用いる蛇腹式テント110(テント状整流部材)の説明図である。図17は、環境試験室2Cの概略構成を示す上面図である。図18は、環境試験室2Cの概略構成を示す側断面図である。
図15、図17、及び図18に示すように、本実施形態4に係る環境試験室2Cは、実施形態1に係る環境試験室2(図5参照)と比較すると、以下の点で相違している。
(1)本実施形態4に係る環境試験室2Cは、地中に掘り込まれた収容溝113が床に形成されていて、その収容溝113に除振部材105と定盤104を収容している。
(2)本実施形態4に係る環境試験室2Cは、設置部102の周囲を囲む蛇腹式テント110(図16参照)を有するとともに、天井にクレーン114(図15参照)を有している。
(1)本実施形態4に係る環境試験室2Cは、地中に掘り込まれた収容溝113が床に形成されていて、その収容溝113に除振部材105と定盤104を収容している。
(2)本実施形態4に係る環境試験室2Cは、設置部102の周囲を囲む蛇腹式テント110(図16参照)を有するとともに、天井にクレーン114(図15参照)を有している。
定盤104は、定盤104の上面が床面101bと同一高さになるように、収容溝113の内部に配置されている。定盤104の下には、除振部材105が配置されている。定盤104の側壁と収容溝113の側壁との間には、離間距離W104の隙間が設けられている。したがって、定盤104は、収容溝113に対して接触しないように配置されている。なお、環境試験室2Cは、定盤104の側壁と収容溝113の側壁との間に隙間があるため、測定対象物や光学測定機器の設置時に、その隙間を埋めるように、定盤104と収容溝113との間に橋115を設置するようにしてもよい。
蛇腹式テント110(図16参照)は、蛇腹状の骨組みと、骨組みに支持された布材と、を有するテント状整流部材である。蛇腹式テント110は、蛇腹状の骨組みの伸びる方向に展開及び収納が自在で、かつ、空調空気の気流を整流する機能を有している。本実施形態4に係る環境試験室2Cは、蛇腹式テント110を収納することで、設置部102の周囲に比較的広い空間を形成することができるため、測定対象物や光学測定機器の設置作業を容易化することができる。また、本実施形態4に係る環境試験室2Cは、蛇腹式テント110を展開することで、光学機器の測定に適した環境を容易に形成することができる。
なお、蛇腹式テント110の布材は、好ましくは、外側の面に鏡面反射面F11を有し、内側の面に拡散反射面F12を有する、放射断熱材で構成されているとよい。このような環境試験室2Cは、蛇腹式テント110の外部から内部への熱伝達を抑制することができる。そのため、環境試験室2Cは、測定対象空間内の温度分布を小さな値に収束させ易くすることができる。
クレーン114(図15参照)は、光学測定の測定対象物を吊り下げて搬送する搬送機構である。クレーン114は、収容溝113の上を跨ぐように立設された門型構造物114aと、門型構造物114aから吊り下げられたフック部114bと、を有している。フック部114bは、門型構造物114aの延在方向(図15における左右方向)への移動や、上下方向への移動が自在な構成になっている。門型構造物114aは、好ましくは、奥行き方向(図15の紙面に対して垂直な方向)に移動可能な構成になっているとよい。
本実施形態では、環境試験室2Cは、側壁面101sに入口101inを備えており、その内側にクレーン114が配置されている。環境試験室2Cの両側の側壁面101sと設置部102との間には、2つのカーテン103が配置されている。カーテン103は、外側の面が鏡面反射面F11となり、内側の面が拡散反射面F12となるように、設置されている。クレーン114の門型構造物114aの脚部分は、環境試験室2Cの側壁面101sとカーテン103の外側の面との間に配置されている。また、環境試験室2Cの天井面101tとクレーン114の門型構造物114aの天井部分との間には、整流板108が配置されている。整流板108は、下面が鏡面反射面F11となり、上面が拡散反射面F12となるように、設置されている。蛇腹式テント110は、クレーン114の内側で、かつ、カーテン103の内側の面よりも内側の位置で展開できるように配置される。
作業者は、光学機器の測定を行う場合に、まず、蛇腹式テント110を収納状態にして、クレーン114で測定対象物や光学測定機器を吊り下げて設置部102に搬入する。次に、作業者は、測定対象物や光学測定機器を設置部102に降ろして設置し、蛇腹式テント110を展開状態にして、空気調和システム1を作動させる。このとき、制御装置CLは、定盤104の表面温度が空調空気と同一となるように定盤104を制御する。
本実施形態4に係る環境試験室2Cは、床面101bと定盤104の上面との間に段差を有していない。そのため、環境試験室2Cは、クレーン114で測定対象物や光学測定機器を吊り下げて設置部102に搬入する際に、これらを定盤104に衝突させ難くすることができる。したがって、環境試験室2Cは、クレーン114を用いて設置作業を行う場合に、クレーン114の慎重な操作を作業者に強いることがない。そのため、環境試験室2Cは、設置部102への測定対象物や光学測定機器の設置作業を容易に行うことができる。
なお、図17及び図18に示すように、本実施形態では、整流板107(図3及び図4参照)が削除されており、その代わりに、定盤104が排出口2outよりも供給口2inに近づけて配置されている。また、整流板106が実施形態1のものよりも供給口2inの方向に長さを長くした(延長した)構成になっている。このような本実施形態4に係る環境試験室2Cは、供給口2inから流路部101内に流入した空調空気を定盤104で直ちに温度調節することができる。そのため、環境試験室2Cは、実施形態1に係る環境試験室2に比べて、さらに光学機器の測定に適した環境を提供することができる。
以上の通り、本実施形態4に係る環境試験室2Cによれば、実施形態1に係る環境試験室2と同様に、床面等から放射される放射熱の影響を低減することができる。
しかも、本実施形態4に係る環境試験室2Cによれば、床に収容溝113が形成されていて、その収容溝113に除振部材105と定盤104を収容している。そのため、本実施形態4に係る環境試験室2Cは、実施形態1に係る環境試験室2に比べて、クレーン114で測定対象物や光学測定機器を吊り下げて設置部102に搬入する際に、これらを定盤104に衝突させ難くすることができる。したがって、本実施形態4に係る環境試験室2Cは、クレーン114を用いて設置作業を行う場合に、クレーン114の慎重な操作を作業者に強いることがない。そのため、本実施形態4に係る環境試験室2Cは、実施形態1に係る環境試験室2に比べて、設置部102への測定対象物や光学測定機器の設置作業を容易に行うことができる。
しかも、本実施形態4に係る環境試験室2Cによれば、床に収容溝113が形成されていて、その収容溝113に除振部材105と定盤104を収容している。そのため、本実施形態4に係る環境試験室2Cは、実施形態1に係る環境試験室2に比べて、クレーン114で測定対象物や光学測定機器を吊り下げて設置部102に搬入する際に、これらを定盤104に衝突させ難くすることができる。したがって、本実施形態4に係る環境試験室2Cは、クレーン114を用いて設置作業を行う場合に、クレーン114の慎重な操作を作業者に強いることがない。そのため、本実施形態4に係る環境試験室2Cは、実施形態1に係る環境試験室2に比べて、設置部102への測定対象物や光学測定機器の設置作業を容易に行うことができる。
本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、前記した実施形態は、本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、実施形態の構成の一部を他の構成に置き換えることが可能であり、また、実施形態の構成に他の構成を加えることも可能である。また、各構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
例えば、実施形態4に係る環境試験室2Cは、図19に示す環境試験室2Dのように変形することができる。環境試験室2Dは、蛇腹式テント110(図15参照)の代わりに、カーテン109を備えている。カーテン109は、流路部101の天井面101tと設置部102との間に配置され、空調空気の気流を整流する天井面用整流部材である。カーテン109は、クレーン114の移動(矢印A114参照)に伴って移動する構成になっている。
このような環境試験室2Dは、天井面用整流部材としてのカーテン109を備えるため、さらに光学機器の測定に適した環境を提供することができる。なお、カーテン109の布材は、好ましくは、上面に鏡面反射面F11を有し、下面に拡散反射面F12を有する、放射断熱材で構成されているとよい。このような環境試験室2Dは、カーテン109の上方から下方への熱伝達を抑制することができる。そのため、環境試験室2Dは、測定対象空間内の温度分布を小さな値に収束させ易くすることができる。
また、例えば、実施形態4に係る環境試験室2Cは、図20乃至図22に示す環境試験室2Eのように変形することができる。図20は、この変形例に係る環境試験室2Eの概略構成を示す背面図であり、後方向から見た環境試験室2Eの構成を示している。図21は、環境試験室Eの概略構成を示す上面図であり、上方向から見た環境試験室2Eの構成を示している。図22は、環境試験室Eの概略構成を示す側断面図であり、図21に示す環境試験室2EをX3-X3線に沿って切断して得られる断面を、側面方向(矢印方向)から見たレイアウトを示している。
図20乃至図22に示すように、この環境試験室2Eは、定盤104の上面の外周部分に、定盤104の上面の外方向に向かって突出する板部材121を備えている。ここでは、板部材121は、定盤104の上面の外周部分に、ネジで固定されているものとして説明する。
板部材121は、設置部102側から収容溝113の内部が見えないように、収容溝113の上側を覆っている。つまり、板部材121は、設置部102側から収容溝113を隠蔽している。このような板部材121は、収容溝113の内部の溝底面と側壁面とから放射される放射熱を遮断して、放射熱量Qr(図20及び図22参照)が設置部102に到達することを抑制することができる。つまり、板部材121は、収容溝113の内部から設置部102に設置された測定対象物や光学測定機器への放射熱の伝播を抑制することができる。なお、板部材121は、好ましくは、熱伝導性に優れた金属材(例えば、アルミニウム合金等)で構成されているとよい。そして、板部材121は、熱伝導により定盤104と同じ温度(又はごく近い温度)を維持するとよい。また、板部材121は、好ましくは、下面に鏡面反射面F11を有し、上面に拡散反射面F12を有しているとよい。
図23A乃至図23Cに示すように、板部材121の形状は、内側部分よりも外側部の方が高くなるように構成されている。図23A乃至図23Cは、それぞれ、板部材121の部分断面図である。図23Aに示す例では、板部材121は、締結部分から斜め上方向に真っ直ぐに延びる形状を呈している。また、図23Bに示す例では、板部材121は、締結部分から斜め上方向に2段階に屈曲して延びる形状を呈している。また、図23Cに示す例では、板部材121は、締結部分から斜め上方向に湾曲して延びる形状を呈している。
図24に示すように、板部材121は、供給口2inの下端から床面101bまでの部分を隠す、目隠しとしても機能する。図24は、板部材121の説明図である。
板部材121は、例えば図25Aに示す構成になっている。図25Aは、定盤104の側面に沿って配置される板部材121の概略構成を示す斜視図である。図25Aに示す例では、板部材121は、比較的幅の広い平面状に形成された幅広部121aと、隣接して配置される板部材121に連結される連結部121bと、を有する構成になっている。連結部121bは、幅広部121aに対して段差を付けて平面状に形成されている。
板部材121は、例えば図25Bに示すように、定盤104の側面部分の上に配置される。図25Bは、定盤104の側面部分の上に配置される板部材121の配置例を示す斜視図である。図25Bに示すように、板部材121は、連結部121bが隣に配置された板部材121の幅広部121aの上に乗るように配置される。また、板部材121は、例えば図25Cに示すように、板部材121は、定盤104の角部分の上に配置される。図25Cは、定盤104の角部分の上に配置される板部材121の配置例を示す上面図である。図25Cに示す例では、板部材121は、矩形の平板状の角部121cと、角部121cに隣接して配置される隣接部121d,121eと、で構成されている。隣接部121d,121eは、角部121cに対向する部分が角部121cの辺の上又は辺の下に重なる構成になっている。
この変形例に係る環境試験室2Eは、以下の事項を考慮したものである。
水冷の定盤104は、測定対象物や光学測定機器の搬入時の利便性を向上させるために、収容溝113の中に設置する場合がある。収容溝113の中に設置した場合に、収容溝113の溝底面と側壁面とから放射される放射熱が測定対象物に到達する可能性がある。これを防止するために、この変形例に係る環境試験室2Eは、放射熱を遮断する放射断熱板として板部材121を定盤104の上面に取り付けることで、収容溝113の溝底面と側壁面とから放射される放射熱が測定対象物の設置部102に到達しないようにすることができる。
なお、定盤104に取り付ける板部材121は、好ましくは、定盤104に振動を伝えないようにするために、周囲の床や、壁、カーテンに接触しないようにするとよい。そして、板部材121は、周囲に接触することなく放射熱を遮断するために、定盤104の上面から斜め上方に伸びる形状を呈しているとよい。
また、板部材121は、供給口2inの下端から床面101bまでの部分を隠すために、外周部分(定盤104とは反対側の端辺部分)を、供給口2inの下端の高さより高い位置に配置した構成になっているとよい。
また、板部材121は、収容溝113の溝底面と側壁面とから放射される放射熱を効率よく断熱するために、収容溝113の溝底面と側壁面とに対向する下面に鏡面反射面F11を有しているとよい。また、板部材121は、レーザー光が板部材121で乱反射して測定に支障をきたすことを防止するために、上面に拡散反射面F12を有しているとよい。
また、板部材121は、熱伝導により定盤104と同じ温度(又はごく近い温度)を維持するとよい。また、板部材121は、定盤104と同じ温度(すなわち、空調空気と同じ温度)であることが望ましいので、熱伝導性のよい材質(例えばアルミニウム合金等)で構成されているとよい。
また、板部材121は、測定対象物や光学測定機器の搬入時の利便性を向上させるために、取り外し可能であるとよい。その際に、板部材121は、取り外しの利便性を考慮して、分割構造にしてもよい。その場合に、板部材121は、分割部分に隙間ができると放射熱の遮断性能が低下したいように、隙間を隠す形状にするとよい。
水冷の定盤104は、測定対象物や光学測定機器の搬入時の利便性を向上させるために、収容溝113の中に設置する場合がある。収容溝113の中に設置した場合に、収容溝113の溝底面と側壁面とから放射される放射熱が測定対象物に到達する可能性がある。これを防止するために、この変形例に係る環境試験室2Eは、放射熱を遮断する放射断熱板として板部材121を定盤104の上面に取り付けることで、収容溝113の溝底面と側壁面とから放射される放射熱が測定対象物の設置部102に到達しないようにすることができる。
なお、定盤104に取り付ける板部材121は、好ましくは、定盤104に振動を伝えないようにするために、周囲の床や、壁、カーテンに接触しないようにするとよい。そして、板部材121は、周囲に接触することなく放射熱を遮断するために、定盤104の上面から斜め上方に伸びる形状を呈しているとよい。
また、板部材121は、供給口2inの下端から床面101bまでの部分を隠すために、外周部分(定盤104とは反対側の端辺部分)を、供給口2inの下端の高さより高い位置に配置した構成になっているとよい。
また、板部材121は、収容溝113の溝底面と側壁面とから放射される放射熱を効率よく断熱するために、収容溝113の溝底面と側壁面とに対向する下面に鏡面反射面F11を有しているとよい。また、板部材121は、レーザー光が板部材121で乱反射して測定に支障をきたすことを防止するために、上面に拡散反射面F12を有しているとよい。
また、板部材121は、熱伝導により定盤104と同じ温度(又はごく近い温度)を維持するとよい。また、板部材121は、定盤104と同じ温度(すなわち、空調空気と同じ温度)であることが望ましいので、熱伝導性のよい材質(例えばアルミニウム合金等)で構成されているとよい。
また、板部材121は、測定対象物や光学測定機器の搬入時の利便性を向上させるために、取り外し可能であるとよい。その際に、板部材121は、取り外しの利便性を考慮して、分割構造にしてもよい。その場合に、板部材121は、分割部分に隙間ができると放射熱の遮断性能が低下したいように、隙間を隠す形状にするとよい。
1 空気調和システム
2,2A,2B,2C,2D,2E 環境試験室
2in 供給口
2out 排出口
3 除湿部(除湿手段)
4 乾燥空気調温部(乾燥空気調温手段)
5 乾燥空気加熱部(乾燥空気加熱手段)
6 循環流路
11~14 バルブ
15 バイパスダクト
23 バルブ
30 デシカント空調機
31,34,37 クーラ
32,35,38 温度センサ
33,36,39 制御装置
301 デシカントロータ
302,303 送風機
304 ヒータ
40 冷却ダクト
41 送風機
42 クーラ(乾燥空気冷却手段)
43 チラー(冷媒冷却手段)
47 タンク
48 ヒータ(冷媒加熱手段)
49,63 温度センサ
61,62 制御装置
51,54 ヒータ
52,56 温度センサ
53,57 制御装置
55 蓄熱体
101 流路部
101b 床面
101t 天井面
101s 側壁面
101in 入口
102 設置部
103,103a,103b カーテン(整流部材)
104 定盤
105 除振部材
106 整流板(第1定盤用整流部材)
107 整流板(第2定盤用整流部材)
108 整流板(天井面用整流部材)
109 カーテン(天井面用整流部材)
110 蛇腹式テント(テント状整流部材)
111 ラビリンス機構
112 隘路
113 収容溝
114 クレーン
114a 門型構造物
114b フック部
115 橋
121 板部材
121a 幅広部
121b 連結部
121c 角部
121d,121e 隣接部
122 ネジ
CL 制御装置(制御部)
F11 鏡面反射面
F12 拡散反射面
W104 離間距離
2,2A,2B,2C,2D,2E 環境試験室
2in 供給口
2out 排出口
3 除湿部(除湿手段)
4 乾燥空気調温部(乾燥空気調温手段)
5 乾燥空気加熱部(乾燥空気加熱手段)
6 循環流路
11~14 バルブ
15 バイパスダクト
23 バルブ
30 デシカント空調機
31,34,37 クーラ
32,35,38 温度センサ
33,36,39 制御装置
301 デシカントロータ
302,303 送風機
304 ヒータ
40 冷却ダクト
41 送風機
42 クーラ(乾燥空気冷却手段)
43 チラー(冷媒冷却手段)
47 タンク
48 ヒータ(冷媒加熱手段)
49,63 温度センサ
61,62 制御装置
51,54 ヒータ
52,56 温度センサ
53,57 制御装置
55 蓄熱体
101 流路部
101b 床面
101t 天井面
101s 側壁面
101in 入口
102 設置部
103,103a,103b カーテン(整流部材)
104 定盤
105 除振部材
106 整流板(第1定盤用整流部材)
107 整流板(第2定盤用整流部材)
108 整流板(天井面用整流部材)
109 カーテン(天井面用整流部材)
110 蛇腹式テント(テント状整流部材)
111 ラビリンス機構
112 隘路
113 収容溝
114 クレーン
114a 門型構造物
114b フック部
115 橋
121 板部材
121a 幅広部
121b 連結部
121c 角部
121d,121e 隣接部
122 ネジ
CL 制御装置(制御部)
F11 鏡面反射面
F12 拡散反射面
W104 離間距離
Claims (21)
- 所定風速で所定温度の空調空気が供給される供給口と、
前記供給口に対向配置され、前記空調空気が排出される排出口と、
前記供給口と前記排出口との間に配置され、前記空調空気が通る流路部と、
前記流路部の中央付近に配置され、光学測定の測定対象物が設置される設置部と、
前記流路部の側壁面と前記設置部との間に配置され、前記空調空気の気流を整流する整流部材と、
表面を加熱冷却可能な定盤と、を備え、
前記流路部の側壁面と前記整流部材は、前記供給口から前記排出口に向かって流れる前記空調空気の気流方向と平行になるように配置されており、
前記定盤は、床に配置されている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
前記定盤の表面温度及び前記空調空気の風速を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記定盤の表面温度が前記空調空気と同一となるように制御する
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
前記定盤の下に振動を除去する除振部材を備える
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
前記定盤と前記排出口との間に、上面が前記定盤の上面と同一高さの第1定盤用整流部材を備える
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項4に記載の環境試験室において、
前記第1定盤用整流部材は、前記排出口の開口面に回動自在に取り付けられている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項4に記載の環境試験室において、
前記第1定盤用整流部材は、前記定盤に対して接触しないように配置されている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項4に記載の環境試験室において、
前記第1定盤用整流部材は、断熱材で構成されている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
前記定盤と前記供給口との間に、上面が前記定盤の上面と同一高さの第2定盤用整流部材を備える
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項8に記載の環境試験室において、
前記第2定盤用整流部材は、前記供給口の開口面に回動自在に取り付けられている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項8に記載の環境試験室において、
前記第2定盤用整流部材は、前記定盤に対して接触しないように配置されている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項8に記載の環境試験室において、
前記第2定盤用整流部材は、断熱材で構成されている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
前記流路部の天井面と前記設置部との間に配置され、前記空調空気の気流を整流する1乃至複数枚の天井面用整流部材を備える
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
前記整流部材は、展開及び収納が可能なカーテンで構成されている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
前記整流部材は、前記流路部の側壁面と前記設置部との間に2枚以上配置されている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
前記設置部と前記排出口の間に配置され、前記空調空気の気流を隘路に導くラビリンス機構を備える
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
床には、前記定盤を収容する収容溝が形成されており、
前記定盤は、前記定盤の上面が床面と同一高さになるように、前記収容溝の内部に配置されている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項16に記載の環境試験室において、
前記定盤の上面の外周部分に、前記定盤の上面の外方向に向かって突出する板部材を備え、
前記板部材は、内側部分よりも外側部の方が高くなるように構成されている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
前記定盤は、前記排出口よりも前記供給口に近づけて配置されている
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室において、
天井に、光学測定の測定対象物を吊り下げて搬送するクレーンを備える
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項19に記載の環境試験室において、
前記クレーンの移動に伴って移動する天井面用整流部材を備える
ことを特徴とする環境試験室。 - 請求項1に記載の環境試験室と、
前記環境試験室の排出口から排出された空調空気を前記環境試験室の供給口に戻す循環流路と、
前記循環流路に設けられ、前記空調空気を送風する送風機と、
前記循環流路に設けられ、前記空調空気を加熱するヒータと、
前記環境試験室の供給口付近に設けられ、前記空調空気を予め設定された設定空気温度まで加熱する蓄熱体と、を備える
ことを特徴とする空気調和システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019085698A JP7139023B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 環境試験室、及び、空気調和システム |
JP2019-085698 | 2019-04-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2020218015A1 true WO2020218015A1 (ja) | 2020-10-29 |
Family
ID=72942513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2020/015977 WO2020218015A1 (ja) | 2019-04-26 | 2020-04-09 | 環境試験室、及び、空気調和システム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7139023B2 (ja) |
WO (1) | WO2020218015A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113086906A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-07-09 | 广东电网有限责任公司佛山供电局 | 一种具有良好散热功能的绝缘斗臂车 |
FR3127811A1 (fr) * | 2021-10-05 | 2023-04-07 | Centre Scientifique Et Technique Du Batiment | Enceinte climatique |
CN117554107A (zh) * | 2023-11-28 | 2024-02-13 | 江苏拓米洛高端装备股份有限公司 | 环境箱的最佳风速分布的确定方法、送风装置和环境箱 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7487954B2 (ja) | 2022-03-09 | 2024-05-21 | 北越商工株式会社 | クリーンルームシステム |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57175239A (en) * | 1981-04-22 | 1982-10-28 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Wind tunnel having double wall measuring room |
JPS63229152A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-26 | Hitachi Ltd | 恒温恒湿装置 |
JP2001513873A (ja) * | 1997-03-03 | 2001-09-04 | ユー・エヌ・イ・エール ウルトラ プロプル ニュートリシオン インダストリー ルシェルシュ | 異質環境の二領域を分離するための装置 |
JP2007078286A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Omron Corp | 基板の処理方法及び恒温室 |
JP2008232975A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Espec Corp | 環境試験装置 |
WO2010010774A1 (ja) * | 2008-07-22 | 2010-01-28 | エスペック株式会社 | 結露量の制御可能な環境試験装置およびその制御方法 |
WO2020085161A1 (ja) * | 2018-10-22 | 2020-04-30 | 株式会社日立プラントサービス | 環境試験室、及び、空気調和システム |
WO2020085249A1 (ja) * | 2018-10-22 | 2020-04-30 | 株式会社日立プラントサービス | 環境試験室、及び、それに用いる整流部材 |
-
2019
- 2019-04-26 JP JP2019085698A patent/JP7139023B2/ja active Active
-
2020
- 2020-04-09 WO PCT/JP2020/015977 patent/WO2020218015A1/ja active Application Filing
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57175239A (en) * | 1981-04-22 | 1982-10-28 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Wind tunnel having double wall measuring room |
JPS63229152A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-26 | Hitachi Ltd | 恒温恒湿装置 |
JP2001513873A (ja) * | 1997-03-03 | 2001-09-04 | ユー・エヌ・イ・エール ウルトラ プロプル ニュートリシオン インダストリー ルシェルシュ | 異質環境の二領域を分離するための装置 |
JP2007078286A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Omron Corp | 基板の処理方法及び恒温室 |
JP2008232975A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Espec Corp | 環境試験装置 |
WO2010010774A1 (ja) * | 2008-07-22 | 2010-01-28 | エスペック株式会社 | 結露量の制御可能な環境試験装置およびその制御方法 |
WO2020085161A1 (ja) * | 2018-10-22 | 2020-04-30 | 株式会社日立プラントサービス | 環境試験室、及び、空気調和システム |
WO2020085249A1 (ja) * | 2018-10-22 | 2020-04-30 | 株式会社日立プラントサービス | 環境試験室、及び、それに用いる整流部材 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113086906A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-07-09 | 广东电网有限责任公司佛山供电局 | 一种具有良好散热功能的绝缘斗臂车 |
CN113086906B (zh) * | 2021-03-31 | 2022-05-27 | 广东电网有限责任公司佛山供电局 | 一种具有良好散热功能的绝缘斗臂车 |
FR3127811A1 (fr) * | 2021-10-05 | 2023-04-07 | Centre Scientifique Et Technique Du Batiment | Enceinte climatique |
CN117554107A (zh) * | 2023-11-28 | 2024-02-13 | 江苏拓米洛高端装备股份有限公司 | 环境箱的最佳风速分布的确定方法、送风装置和环境箱 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7139023B2 (ja) | 2022-09-20 |
JP2020180937A (ja) | 2020-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2020218015A1 (ja) | 環境試験室、及び、空気調和システム | |
JP6446097B1 (ja) | 空気調和システム、空気調和方法および環境試験室 | |
KR101252407B1 (ko) | 데시칸트 공조 시스템 및 그 운전 방법 | |
WO2020085161A1 (ja) | 環境試験室、及び、空気調和システム | |
JP4685105B2 (ja) | 再循環指標に基づくcracユニット制御 | |
JPH0888493A (ja) | 電子装置 | |
JP2008111588A (ja) | 空調設備およびコンピュータシステム | |
WO2014024253A1 (ja) | ガスクロマトグラフ装置 | |
US11825638B1 (en) | Climate control system | |
JP2013130318A (ja) | 自立壁式の排気冷却ユニット及び電子機器冷却方法 | |
KR20190028203A (ko) | 배기팬이 없는 데이터센터 공기조화시스템 | |
KR100477960B1 (ko) | 노광장치의제조방법 | |
JP7199655B2 (ja) | 環境試験室、及び、それに用いる整流部材 | |
JP6466108B2 (ja) | 空調システムを制御する制御システムおよび空調システム | |
JP2019074278A (ja) | デシカント空調機 | |
JP5294121B2 (ja) | 全面床吹き出し空調システムの施工方法 | |
JP2019128081A (ja) | 風量調整機構を備えるダクトおよびそれを備える鉄道車両 | |
JP2012002476A (ja) | 空調システム | |
KR100546828B1 (ko) | 가열기를 사용한 공기조화제어장치 | |
JP2017172886A (ja) | 空調システム | |
JP2019143940A (ja) | 空調設備 | |
JP2000064543A (ja) | 建物に設置した太陽電池の冷却構造 | |
JP4956046B2 (ja) | 床下暖房システム | |
JP2016196980A (ja) | 空調システム | |
JP2005189148A (ja) | 環境試験システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 20795624 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 20795624 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |