WO2020085161A1 - 環境試験室、及び、空気調和システム - Google Patents

環境試験室、及び、空気調和システム Download PDF

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WO2020085161A1
WO2020085161A1 PCT/JP2019/040621 JP2019040621W WO2020085161A1 WO 2020085161 A1 WO2020085161 A1 WO 2020085161A1 JP 2019040621 W JP2019040621 W JP 2019040621W WO 2020085161 A1 WO2020085161 A1 WO 2020085161A1
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WO
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environmental test
test chamber
air
flow path
temperature
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PCT/JP2019/040621
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田中　真
悟 杉谷
山田　剛史
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株式会社日立プラントサービス
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Publication date
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    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N17/00—Investigating resistance of materials to the weather, to corrosion, or to light

Definitions

  • the present invention relates to an environmental test room and an air conditioning system.
  • optical instruments for astronomical observation require highly accurate measurement of the lens surface shape and structure dimensions on the order of nanometers (nm).
  • optical measurement using an optical measuring device such as a laser interferometer is generally used.
  • Non-Patent Document 1 when using a laser interferometer in an atmospheric pressure environment, it is known that variations due to fluctuations in atmospheric temperature, humidity, pressure, etc. affect measurement (see, for example, Non-Patent Document 1). Therefore, when performing high-accuracy optical measurement, it is common to make the optical path space a vacuum and perform measurement in a state in which the influence of fluctuations such as atmospheric temperature, humidity, and pressure is eliminated (for example, Non-Patent Documents). 2).
  • Patent Document 1 it has been proposed to stabilize the measurement environment by air conditioning control in order to perform highly accurate measurement under atmospheric pressure environment.
  • the local space described in Patent Document 1 is used as an environmental test room, and an object to be measured (test object) and an optical measuring device are installed in the environmental test room to perform optical measurement.
  • the fluctuations in the temperature of the object to be measured and the optical measuring device are generated by, for example, heat transfer from the heat convection inside the environmental test room and radiant heat from the wall or floor.
  • the temperature of the wall surface of the environmental test room will be lower than the temperature of the conditioned air.
  • the temperature of the wall surface of the environmental test room becomes higher than the temperature of the conditioned air.
  • the temperature of the measurement target or the optical measurement device changes due to the thermal convection entering the space where the measurement target (test target) or the optical measurement device is installed.
  • the measurement target and the optical measurement device will have the same temperature as the set temperature of the conditioned air, but in the above situation, the temperature between the measurement target and the optical measurement device and the wall of the environmental test room will be Due to the difference, heat is transferred between the object to be measured or the optical measuring device and the wall surface of the environmental test room by radiant heat.
  • the temperature of the object to be measured and the temperature of the optical measuring device change due to the temperature change around the environmental test room, which may increase variations in optical measurement.
  • the conventional environmental test room does not consider stabilizing the temperature of the measurement object or the optical measurement device so that the surface shape or the structure size of the measurement object or the optical measurement device does not change. Therefore, it has been difficult for such a conventional environmental test chamber to perform highly accurate optical measurement under an atmospheric pressure environment.
  • the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its main purpose is to enable highly accurate optical measurement under atmospheric pressure environment.
  • the present invention is an environmental test room, wherein a supply port to which conditioned air at a predetermined temperature is supplied at a predetermined wind speed and a discharge port that is arranged to face the supply port and discharges the conditioned air.
  • a rectifying member that is arranged between the side wall surface of the flow path portion and the installation portion and that rectifies the airflow of the conditioned air, the side wall surface of the flow path portion and the rectifying member are the supply It is arranged so as to be parallel to the air flow direction of the conditioned air flowing from the mouth toward the outlet. Other means will be described later.
  • highly accurate optical measurement can be performed under atmospheric pressure environment.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of an entire air conditioning system including an environmental test room according to a first embodiment. It is a block diagram of the environmental test room which concerns on Embodiment 1.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram of heat convection generated inside the environmental test chamber according to the first embodiment. It is a block diagram of the environmental test room of a comparative example. It is explanatory drawing of the heat convection generated inside the environmental test chamber of a comparative example. It is explanatory drawing which shows the example of arrangement
  • FIG. 1 is a configuration diagram of the entire air conditioning system including the environmental test room according to the first embodiment.
  • the air conditioning system 1 includes a dehumidifying unit 3, a dry air temperature control unit 4, a dry air heating unit 5, a circulation flow path 6, a blower 41, heaters 51 and 54, a heat storage body 55, and the like. There is.
  • the air conditioning system 1 air-conditions the air discharged from the discharge port 2out of the environmental test chamber 2 through the circulation flow path 6 and returns it to the supply port 2in of the environmental test chamber 2 to circulate the conditioned air in the system. .
  • the dehumidifying unit 3 includes a dehumidifier such as a desiccant air conditioner 30 and sends dry air obtained by dehumidifying the air mixed with the air discharged from the environmental test chamber 2 to the dry air temperature controlling unit 4. .
  • the dry air temperature adjusting unit 4 adjusts the temperature of the dry air sent from the dehumidifying unit 3 to a temperature slightly lower than the set air temperature inside the environmental test chamber 2, and sends the temperature to the dry air heating unit 5.
  • the dry air heating unit 5 heats up to the set air temperature inside the environmental test chamber 2 and sends the air into the environmental test chamber 2.
  • the inside of the environmental test chamber 2 is shielded from the outside air by an outer wall made of a heat insulating panel or the like. Only the air conditioned by the air conditioning system 1 is supplied to the environmental test room 2.
  • an installation unit 102 is provided for installing an optical measurement device such as an optical measurement object and a laser interferometer.
  • a vibration-isolating base 21 and the like are installed in the installation unit 102, and an object to be measured and an optical measuring device are placed on the vibration-proof mount 21.
  • the details of the environmental test room 2 will be described in the section "Configuration of environmental test room".
  • the dry air heating unit 5 of the air conditioning system 1 is usually installed so as to be distributed over a specific side surface of the environmental test chamber 2, and the air blown from the dry air heating unit 5 flows through the environmental test chamber 2. , Flows from the side surface on which the dry air heating unit 5 is installed to the side surface opposite thereto, and most of it is discharged to the dehumidifying unit 3 side, recirculates in the air conditioning system 1 and is partially discharged to the outside air.
  • the exhaust duct to the outside air is provided with a valve 23 for adjusting the discharge amount.
  • the dehumidifying section 3 includes a desiccant air conditioner 30 as a main component, and the air and the outside air discharged from the environmental test chamber 2 are cooled to a temperature suitable for dehumidification by coolers 31 and 34, respectively, and then mixed. It is supplied to the desiccant air conditioner 30. Temperature sensors 32 and 35 are provided at the outlets of the coolers 31 and 34, respectively, and the control devices (described as PID in the drawing) 33 and 36 control the temperature obtained by the temperature sensors 32 and 35 to a predetermined dehumidification. The coolers 31 and 34 are controlled so that the temperatures become suitable.
  • Cooling the air supplied to the desiccant air conditioner 30, that is, the air to be dehumidified by the coolers 31 and 34 has a meaning not only to bring the air to be dehumidified to a temperature suitable for dehumidification but also to perform pre-dehumidification. is doing.
  • the dehumidifying load on the desiccant air conditioner 30 can be reduced by pre-dehumidifying it with the cooler 34.
  • the air and the outside air discharged from the environmental test chamber 2 are mixed after being cooled by the coolers 31 and 34, respectively, but the air and the outside air discharged from the environmental test chamber 2 are mixed first. Then, one cooler may be used for cooling.
  • the air (air to be dehumidified) supplied to the desiccant air conditioner 30 is blown by the blower 302, passes through the desiccant rotor 301 holding the moisture adsorbing substance, and is dehumidified.
  • a high temperature regenerating type water adsorbing substance that adsorbs moisture at low temperature and releases moisture at high temperature such as polymer adsorbent, silica gel, or zeolite, is used.
  • the desiccant rotor 301 has a cylindrical shape, and rotates about the axis of the cylinder in the direction of the arrow shown in FIG. 1, for example.
  • most of the air to be dehumidified passes through the region A of the rotating desiccant rotor 301, is dehumidified, becomes dry air, and is sent to the dry air temperature control unit 4 side.
  • a part of the air to be dehumidified passes through the area C of the desiccant rotor 301, is heated by the heater 304, and then returns to the desiccant rotor 301 and again passes through the area B.
  • the moisture adsorbing substance retained in the region B of the desiccant rotor 301 is exposed to the heated air, so that the moisture adsorbing ability is restored.
  • the air that has passed through the region B contains a large amount of water, it is discharged to the outside of the dehumidifying unit 3 (air conditioning system 1) via the blower 303.
  • Desiccant rotor 301 rotates in the direction of area A ⁇ area B ⁇ area C ⁇ area A ⁇ ....
  • the air to be dehumidified cooled by the coolers 31 and 34 passes, and in the region B, the air heated by the heater 304 passes. Therefore, with the rotation of the desiccant rotor 301, the moisture adsorbing substance held therein adsorbs moisture in the region A, but releases the moisture adsorbed in the region B to improve the moisture adsorbing ability. Recover.
  • part of the cooled air to be dehumidified passes through the area C.
  • the moisture adsorbing material heated in the area B is cooled, and the air passing through the area C is heated. Therefore, the energy required for heating in the heater 304 can be saved.
  • not all of the air discharged from the environmental test chamber 2 is supplied to the dehumidifying section 3, but a part thereof passes through the bypass duct 15, that is, bypasses the dehumidifying section 3. It is designed to flow to the dry air temperature control unit 4. By doing so, it becomes possible to flow only the amount of air necessary for removing the increase in humidity generated in the environmental test chamber 2 out of the air discharged from the environmental test chamber 2 to the dehumidifying section 3. At least after the operation of the air conditioning system 1 is started and a certain period of time has passed, the increase in the humidity generated in the environmental test room 2 becomes small.
  • the dehumidifying load of the desiccant rotor 301 can be reduced, and further, the desiccant rotor 301 can be downsized. .
  • the amount of air supplied to the dehumidifying unit 3 and the amount of air bypassing the dehumidifying unit 3 can be adjusted by controlling the opening degrees of the valves 11 and 13, respectively. Further, as a matter of course, the bypass duct 15 may not be provided, and all the air discharged from the environmental test chamber 2 may be supplied to the dehumidifying unit 3.
  • the humidity of the air discharged from the desiccant air conditioner 30 is appropriately adjusted by adjusting the temperature of the region B of the desiccant rotor 301, that is, the heating intensity of the heater 304, the rotation speed of the desiccant rotor 301, the air volume of the blower 302, and the like. Can be set.
  • the dehumidifying unit 3 dehumidifies with the desiccant air conditioner 30, but the dehumidifying means is not limited to the desiccant air conditioner 30, and dehumidification may be performed by a method of repeating cooling and overheating. It may be.
  • the dry air temperature control unit 4 is configured to include a cooler 42 that uses cold water as a refrigerant, a chiller 43, a heater 48 that heats the cooled cold water, and the like.
  • the dry air sent from the dehumidifying section 3 is adjusted to a temperature lower than the set air temperature inside the environmental test chamber 2 by the cooler 42, and then sent to the dry air heating section 5.
  • the cooler 42 is provided in the cooling duct 40, and is configured by a coiled pipe through which cold water (hereinafter referred to as refrigerant water) as a refrigerant flows.
  • refrigerant water cold water
  • the coolant water flowing through the cold water coil is heated by the heater 48, so that the temperature of the coolant water is adjusted to a predetermined target temperature of the coolant water.
  • the dry air sent from the dehumidifying section 3 through the blower 41 is cooled by coming into contact with the cold water coil, and a predetermined target temperature of the dry air (from the set air temperature inside the environmental test chamber 2 Temperature is adjusted to a slightly low temperature).
  • a tank 47 is provided in the middle of the pipe through which the coolant water flows.
  • the tank 47 serves to stabilize the temperature of the coolant water by temporarily storing the coolant water.
  • the heater 48 is supplied with the coolant water having a small temperature fluctuation. Then, the coolant water having a small temperature fluctuation is heated by the heater 48 controlled by the control devices 61 and 62, and is sent to the cooler 42.
  • the control device 61 compares the air temperature obtained from the temperature sensor 63 provided at the outlet of the cooling duct 40 with a preset target air temperature, and based on the difference amount, the refrigerant at the outlet of the heater 48. Calculate the target temperature of water.
  • the control device 62 compares the temperature of the coolant water obtained from the temperature sensor 49 provided at the outlet of the heater 48 with the target temperature of the coolant water calculated by the control device 61, and based on the difference amount, the heater Control heat generation intensity of 48.
  • the dry air heating unit 5 includes heaters 51 and 54, a heat storage body 55, temperature sensors 52 and 56, control devices 53 and 57, and the like.
  • the dry air supplied from the dry air temperature control unit 4 is heated to a predetermined temperature by passing through the heater 51, and further passes through the heater 54 and the heat storage body 55 provided on the side surface of the environmental test chamber 2. Then, it is heated to a preset air temperature in the environmental test chamber 2.
  • the heating intensity of the heater 51 is controlled by the control device 53 so that the temperature obtained by the temperature sensor 52 provided at the outlet of the heater 51 becomes constant.
  • the temperature obtained by the temperature sensor 52 provided on the ceiling of the environmental test chamber 2 which is the outlet from the heat storage body 55 becomes the same as the set air temperature in the environmental test chamber 2. Is controlled by the controller 57.
  • a plurality of sets of heaters 54 and heat storage bodies 55 are provided at the supply port 2 in of the environmental test chamber 2. Therefore, since the dry air kept at a constant temperature is supplied to the environmental test chamber 2 almost uniformly, the air temperature in the environmental test chamber 2 is also made uniform.
  • the heat storage body 55 provided on the downstream side of the heater 54 is configured by a porous passage member having a large number of holes that serve as air passages.
  • the heat storage body 55 absorbs heat when the temperature of the air passing through the hole is higher than its own temperature, and releases the heat when the temperature of the air is low. Therefore, the heat storage body 55 is preferably one in which the temperature does not easily fluctuate, and is usually made of a material having a large heat capacity or a material having a high thermal conductivity (for example, a metal such as copper or aluminum). Therefore, it is possible to effectively suppress the temperature fluctuation of the dry air that is sent into the environment test chamber 2 through the holes of the heat storage body 55.
  • FIG. 2 is a configuration diagram of the environmental test room 2 according to the first embodiment, and shows the configuration of the environmental test room 2 when viewed obliquely from above.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram of thermal convection generated inside the environmental test chamber 2 according to the first embodiment, and shows a state inside the environmental test chamber 2 as viewed from the rear direction.
  • FIG. 4 is a configuration diagram of the environmental test chamber 2Z of the comparative example, and shows the configuration of the environmental test chamber 2Z when viewed obliquely from above.
  • FIG. 5 is an explanatory diagram of heat convection that occurs inside the environmental test chamber 2Z of the comparative example, and shows a state inside the environmental test chamber 2Z when viewed from the rear direction.
  • the environmental test chamber 2 (see FIGS. 2 and 3) according to the present embodiment is a test chamber including a rectifying member 103 (see FIGS. 2 and 3) described later.
  • the environmental test chamber 2Z of the comparative example (FIGS. 4 and 5) is a test chamber that does not include the rectifying member 103 (FIGS. 2 and 3) described later.
  • the environmental test chamber 2 has a hexahedral shape, and has a supply port 2in, a discharge port 2out, a flow path section 101, an installation section 102, and a rectifier. And a member 103.
  • the supply port 2 in is an opening to which conditioned air is supplied.
  • the supply port 2 in is provided on the entire surface of an arbitrary surface in the environmental test chamber 2 having a hexahedral shape. Air-conditioned air having a substantially uniform predetermined wind speed and a substantially uniform predetermined temperature is supplied to the supply port 2 in.
  • the outlet 2out is an opening through which conditioned air is discharged.
  • the discharge port 2out is arranged on the entire surface of the environment test chamber 2 facing the supply port 2in.
  • the flow path portion 101 is a portion through which the conditioned air inside the environmental test chamber 2 passes.
  • the flow path portion 101 is arranged between the supply port 2in and the discharge port 2out.
  • the installation unit 102 is a place where optical measurement devices such as a measurement target TG (test target) for optical measurement and a laser interferometer are installed.
  • the installation portion 102 is arranged near the center of the flow path portion 101.
  • the rectifying member 103 partitions the space in which the installation portion 102 is provided (hereinafter, referred to as “measurement target space”) and the space outside thereof, and rectifies the air flow of the conditioned air flowing in the flow path portion 101. It is a member that does.
  • the rectifying member 103 will be described as a plate-shaped member. Two rectifying members 103 are arranged, one on each side of the installation unit 102, for a total of two.
  • the rectifying member 103 is arranged between the side wall surface 101 s of the flow path portion 101 and the installation portion 102 in the lateral direction so as to extend in the depth direction.
  • the rectifying member 103 is fixed to the ceiling surface 101t (see FIG. 3) and the floor surface 101b (see FIG. 3) of the flow path portion 101 with a member such as a string (not shown).
  • the side wall surface 101s of the flow path portion 101 and the rectifying member 103 are arranged so as to be parallel to the air flow direction of the conditioned air flowing from the supply port 2in to the discharge port 2out.
  • the entire surface of an arbitrary wall is a supply port 2 in that blows out conditioned air evenly, and the side wall surface 101s of the flow path portion 101 and the rectifying member 103 rectify the conditioned air.
  • the conditioned air supplied from the supply port 2in into the environmental test chamber 2 is rectified by the rectifying member 103 and proceeds almost straight toward the discharge port 2out, and the circulation flow path 6 (see FIG. 1) is discharged from the discharge port 2out. (See arrow Aair).
  • unintended heat transfer to the measurement target TG or the optical measurement device does not occur and the temperature of the measurement target TG or the optical measurement device does not change.
  • the air flow of conditioned air can be controlled.
  • the temperature of the wall surface of the environmental test room 2 becomes lower than the temperature of the conditioned air. Due to the temperature difference, thermal convection may occur inside the environmental test chamber 2.
  • the heat convection wraps around from the lower side of the environmental test chamber 2 and tries to enter the installation unit 102.
  • the temperature of the heat convection is different from the temperature of the conditioned air. Therefore, if the thermal convection enters the installation unit 102, heat may be transferred from the thermal convection to the measurement target TG or the optical measurement device, and the temperature of the measurement target TG or the optical measurement device may change. .
  • thermal convection may occur inside the environmental test chamber 2.
  • the thermal convection tries to enter the installation unit 102 by wrapping around from the upper side of the environmental test chamber 2 in the opposite direction to the example shown in FIG. Also in this case, the temperature of the heat convection is different from the temperature of the conditioned air. Therefore, if the thermal convection enters the installation unit 102, heat may be transferred from the thermal convection to the measurement target TG or the optical measurement device, and the temperature of the measurement target TG or the optical measurement device may change. .
  • the environmental test chamber 2 according to the present embodiment is provided internally with the rectifying member 103 as a member for suppressing the entry of thermal convection into the installation portion 102.
  • the rectifying member 103 can prevent thermal convection from entering the installation portion 102 (see arrow A11). Therefore, in the environmental test chamber 2 according to the present embodiment, since the thermal convection does not reach the installation unit 102, the temperature of the measurement target TG or the optical measurement device installed in the installation unit 102 can be kept constant. As a result, the environmental test chamber 2 according to the present embodiment can enable highly accurate optical measurement under the atmospheric pressure environment.
  • the environmental test chamber 2Z of the comparative example does not include the rectifying member 103 (FIGS. 2 and 3). Therefore, as shown in FIG. 5, in the environmental test chamber 2Z of the comparative example, thermal convection wraps around and tries to enter the installation unit 102 (see arrow A21). The temperature of the heat convection is different from the temperature of the conditioned air. Therefore, if the thermal convection enters the installation unit 102, heat may be transferred from the thermal convection to the measurement target TG or the optical measurement device, and the temperature of the measurement target TG or the optical measurement device may change. .
  • the environmental test chamber 2 according to the present embodiment has a configuration suitable for highly accurate optical measurement under a pressure environment as compared with the environmental test chamber 2Z of the comparative example.
  • FIG. 6 is an explanatory diagram showing an arrangement example of the measurement object TG in the environmental test room 2.
  • the example shown in FIG. 6 is merely an example, and the type and arrangement position of the optical measuring instrument to be used can be appropriately changed according to the operation.
  • a vibration isolation frame 21 is installed in the installation section 102 in the environmental test room 2, and the measurement target TG and the phase shift interferometer 401, are installed on the vibration isolation frame 21.
  • a Michelson interferometer 402 is mounted.
  • the phase shift interferometer 401 is mounted on, for example, the gantry 22a and is arranged above the measurement target TG.
  • the measurement object TG is placed on the pedestal 22b and arranged below the phase shift interferometer 401.
  • a reflector 403 is attached to the gantry 22a, and a sensor head 404 is attached to the gantry 22b.
  • the sensor head 404 is connected to the Michelson interferometer 402.
  • the phase shift interferometer 401 irradiates the measurement target TG with light 405a to measure the surface shape of the measurement target TG.
  • the Michelson interferometer 402 measures the displacement amount of the distance between the sensor head 404 and the reflector 403 with the light 405b emitted from the sensor head 404 toward the reflector 403 and reflected.
  • the environment test chamber 2 according to the present embodiment is for suppressing variations in optical measurement.
  • factors that affect the dispersion of the optical measurement there are factors shown in FIG. 7, for example.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram showing factors that affect variations in optical measurement.
  • factors affecting the optical measurement variation include the building (SYS1), the air conditioning equipment (SYS2), and the measurement target / optical measurement device (SYS4).
  • SYS3 optical path space (air)
  • SYS3 optical path space in the air conditioning equipment
  • Factors of the building include installation environment temperature (Fa11), wall / floor temperature (wall / floor insulation performance) (Fa12), installation environment vibration (Fa13), floor vibration (Fa14), etc. .
  • As factors of the air conditioning equipment (SYS2) equipment vibration (Fa21), air conditioning noise (Fa22), supply air temperature (Fa23), indoor air flow (Fa24), indoor pressure (atmospheric pressure) (Fa25), There are supply air humidity (Fa26), indoor humidity load (Fa27), and the like.
  • the factors of the optical path space (air) (SYS3) are temperature diffusion (Fa31) due to airflow, temperature change (Fa32), pressure change (Fa33), humidity change (Fa34), and refractive index change (Fa34) of the optical path space. Fa35) and the like.
  • Factors of the measurement object / optical measuring device (SYS4) include heat generation (Fa41), heat conduction (Fa42), radiant heat (Fa43), heat transfer (Fa44), and external force (Fa45) of the device.
  • heat conduction means transfer of heat transmitted through a solid substance.
  • radiant heat means transfer of heat radiated from the surface of the solid substance.
  • heat transfer means the transfer of heat transferred through air.
  • the environment test chamber 2 suppresses (reduces) the factor of “temperature diffusion due to airflow (Fa31)” by the flow control member 103.
  • the environmental test room 2 according to the present embodiment can reduce the influence on the “variation of optical measurement (RS1)” by the following routes (a) and (b).
  • B Wall / floor temperature (Fa12) ⁇ temperature diffusion by air flow (Fa31) ⁇ heat transfer (Fa44) ⁇ temperature change (Fa46) ⁇ shape dimension change (Fa47).
  • the environmental test chamber 2 can reduce the influence on the “variation (RS1) of optical measurement” by the following route (c).
  • the environment test chamber 2 can relatively strengthen (improve) the influence on the “variation of optical measurement (RS1)” by the following route (d). As a result, the temperature of the measurement target / optical measurement device (SYS4) can be stabilized.
  • ⁇ Supplementary information on the environmental test room according to the present embodiment The following points are taken into consideration in the environmental test room 2 according to the present embodiment.
  • the heat distribution of the entire space of the installation unit 102 be within ⁇ 0.5 ° C. Therefore, in the environmental test chamber 2 according to the present embodiment, it is preferable to use a material having a small heat capacity for the flow regulating member 103.
  • the heat capacity of the rectifying member 103 may be 2000 (J / m 2 ⁇ K) or less.
  • the environmental test chamber 2 according to the present embodiment can quickly adjust the rectifying member 103 to the ambient temperature, so that the heat distribution in the measurement target space (the space where the installation unit 102 is provided) is low. The value can be easily converged. As a result, the environmental test chamber 2 according to the present embodiment can easily keep the heat distribution of the entire space of the installation unit 102 within ⁇ 0.5 ° C. When the heat distribution of the entire space of the installation unit 102 falls within ⁇ 0.5 ° C., the heat distribution of the measurement target TG or the optical measurement device installed in the installation unit 102 is finally ⁇ 0.5. Fits within °C.
  • the grounds for setting the heat capacity of the rectifying member 103 to 2000 (J / m 2 ⁇ K) or less are as follows. That is, assuming that the heat transfer coefficient of the rectifying member 103 is, for example, standard 5 (W / m 2 ⁇ K), if the heat capacity of the rectifying member 103 is 2000 (J / m 2 ⁇ K) or less, the rectifying member 103
  • the time constant of is less than 400 (s). This is sufficiently (for example, about one digit) smaller than the time constant required for the measurement target TG and the optical measurement device used for the measurement when the measurement target TG is an optical device used for astronomical observation.
  • the heat capacity of the rectifying member 103 is 2000 (J / m 2 ⁇ K) or less, the rectifying member 103 approaches the temperature of the conditioned air faster than the measurement target TG or the optical measuring device, and does not hinder the measurement. . Therefore, the heat capacity of the rectifying member 103 is preferably 2000 (J / m 2 ⁇ K) or less.
  • the rectifying member 103 is preferably made of a radiation heat insulating material having a specular reflection surface F11 and a diffuse reflection surface F12 as a material.
  • the rectifying member 103 is preferably installed such that the surface facing the side wall surface 101s of the flow path portion 101 (environmental test chamber 2) is the specular reflecting surface F11 and the non-facing surface is the diffuse reflecting surface F12. .
  • the environmental test chamber 2 according to the present embodiment can suppress heat transfer from the side wall surface 101s to the measurement target TG placed on the installation unit 102 due to radiant heat.
  • the temperature inside the rectifying member 103 can be made substantially the same.
  • the environment test chamber 2 according to the present embodiment can easily make the heat distribution in the measurement target space converge to a small value.
  • the environmental test chamber 2 according to the present embodiment can further facilitate the heat distribution of the entire space of the installation unit 102 to be within ⁇ 0.5 ° C.
  • the rectifying member 103 is supported by the ceiling surface 101t and the lower end portion 103b of the flow path unit 101 only at arbitrarily provided support locations, and is supported at locations other than the support locations. It is structured not to be used. That is, as shown in FIG. 3, in the environment test chamber 2 according to the present embodiment, in a portion other than the support portion, a small amount is provided between the upper end portion 103t of the flow regulating member 103 and the ceiling surface 101t of the flow path portion 101. The structure has a gap 109t.
  • the environmental test chamber 2 has a structure in which a small gap 109b is provided between the lower end portion 103b of the rectifying member 103 and the floor surface 101b of the flow path portion 101 in a place other than the supporting place. It has become. This is because the contact area of the rectifying member 103 with respect to the ceiling surface 101t and the floor surface 101b of the flow path portion 101 (environmental test chamber 2) is reduced, and the heat transferred from the flow path portion 101 (environmental test chamber 2) to the rectifying member 103 is reduced. This is to reduce the amount of conduction as much as possible and to suppress fluctuations in the temperature of the flow regulating member 103.
  • the sizes of the gap 109t and the gap 109b are preferably about 1% of the height of the internal space of the environmental test chamber 2, respectively. Therefore, the environmental test chamber 2 has a structure in which the rectifying member 103 having a height of about 98% with respect to the height of the internal space of the environmental test chamber 2 is provided above and below the gap 109t and the gap 109b. I hope you are there.
  • the width, height, and depth of the internal space of the environmental test chamber 2 are, for example, about several meters (m) to ten and several meters (m), respectively.
  • the temperature and humidity of the conditioned air passing through the installation unit 102 are stabilized to stabilize the refractive index of the conditioned air, and the measurement target TG. It is important to stabilize the temperature of 1 to suppress the deformation of the measurement target TG due to thermal expansion. Regarding these, the temperature and humidity of the conditioned air supplied from the outside of the environmental test chamber 2 can be stabilized by the heaters 51 and 54, the heat storage body 55 and the like (see FIG. 1).
  • the temperature and humidity of the conditioned air passing through the installation unit 102 are measured when the temperature of the conditioned air is diffused from the surrounding side wall surface 101s or the floor surface, or when there is a temperature difference between the measurement object TG and the conditioned air. It changes under the influence of temperature diffusion from TG. Therefore, in order to stabilize the temperature of the installation unit 102, the environment test chamber 2 not only controls the speed of the conditioned air, but also prevents temperature diffusion from the surrounding environment such as the side wall surface 101s and the floor surface. That is, it is preferable to suppress the temperature difference between the measurement target TG and the conditioned air.
  • the temperature of the measuring object TG is controlled by heat transfer with the conditioned air controlled to a constant temperature.
  • the leveling method shall be adopted. This method is effective when there is no calorific value from the measurement target TG or when it is extremely small. Further, this method has the advantage that the temperature is surely stabilized with the passage of time, that the temperature distribution in the measurement target TG can be reduced unlike the local heating / cooling, and the measurement target TG For example, the temperature difference between the conditioned air and the conditioned air can be reduced, and the temperature of the conditioned air passing through the installation unit 102 can be stabilized.
  • the velocity component in the vertical direction with respect to the side wall surface 101s and the floor surface becomes small.
  • the velocity of the airflow in the flow path unit 101 is set.
  • the environment test chamber 2 has a supply port 2 in provided on the entire surface of an arbitrary surface, and a discharge port 2out provided on the entire surface of the opposing surface of the supply port 2 in.
  • Air-conditioned air having a substantially uniform predetermined wind speed and a substantially uniform predetermined temperature is supplied to the supply port 2 in.
  • the airflow of the conditioned air travels in parallel to the side wall surface 101s of the flow path portion 101 formed inside the environment test chamber 2 and the floor surface.
  • an air flow in approximately one direction is formed in the flow path portion 101. Since this airflow has a small velocity component in the vertical direction with respect to the side wall surface or floor surface where the supply port 2in and the discharge port 2out are not provided, the convection diffusion of temperature from the side wall surface and the floor surface is small. Further, this air flow hits the measuring object uniformly and does not stay around the measuring object TG very much. This air flow uniformly transfers heat to the entire measurement target TG, and is effective in leveling the temperature over the entire measurement target TG.
  • the environmental test chamber 2 according to the first embodiment is provided with a rectifying member 103 parallel to the air flow direction between the side wall surface 101s and the installation portion 102 provided near the center of the environmental test chamber 2.
  • a rectifying member 103 parallel to the air flow direction between the side wall surface 101s and the installation portion 102 provided near the center of the environmental test chamber 2.
  • the rectifying member 103 prevents the thermal convection from entering the installation portion 102. be able to.
  • the air flow around the measurement target TG is prevented from diffusing away from the measurement target TG by the flow control member 103, and the measurement target TG and the conditioned air are separated. The function of promoting heat transfer can be obtained.
  • the temperature of the rectifying member 103 is preferably close to the temperature of the conditioned air. Therefore, it is preferable that the heat conduction from the wall or floor to the flow regulating member 103 is small and the heat capacity of the flow regulating member 103 is small.
  • the temperature of the measurement target TG is affected by the radiant heat from the wall surface or floor surface of the environmental test room 2. Therefore, it is desirable that the rectifying member 103 be made of a radiation heat insulating material with the wall surface side of the environmental test chamber 2 as a specular reflection surface F11.
  • the rectifying member 103 By configuring the rectifying member 103 with a radiation heat insulating material, the influence of radiant heat from the wall surface of the environmental test chamber 2 can be reduced, and the temperature difference between the measurement target TG and the conditioned air can be reduced. As a result, it is possible to suppress the temperature fluctuation of the measurement target TG due to the temperature fluctuation of the wall surface of the environmental test chamber 2.
  • the surface facing the wall surface of the environmental test chamber 2 be a specular reflection surface F11.
  • the surface of the rectifying member 103 on the measurement target TG side is the diffuse reflection surface F12.
  • the environment test chamber 2 according to the first embodiment is capable of stabilizing the air refractive index of the measurement space and the temperature of the measurement target, and installing the measurement target capable of highly accurate optical measurement under the atmospheric pressure environment. Can provide the environment.
  • the rectifying member 103 of the environment test chamber 2 (see FIG. 2) according to the first embodiment is configured by a plate-shaped object.
  • the environment test chamber 2A in which the rectifying member is composed of the cloth-shaped curtain 103A is provided.
  • FIGS. 8 and 9 are configuration diagrams of the environmental test room 2A according to the second embodiment, respectively.
  • the environmental test chamber 2A according to the second embodiment has a cloth-like rectifying member instead of the rectifying member 103, as compared with the environmental test chamber 2 according to the first embodiment (see FIG. 2).
  • the difference is that it has a curtain 103A.
  • the curtain 103A is configured so that it can be expanded and stored in the direction of arrow A103A. Therefore, the environment test chamber 2A according to the second embodiment makes it easier to install the measurement target TG and the optical measurement device on the installation unit 102 than the environment test chamber 2 according to the first embodiment (see FIG. 2). It can be carried out.
  • the upper end portion 103t of the curtain 103A that is the rectifying member and the ceiling surface of the flow path unit 101 As shown in FIG. 9, in the environmental test chamber 2A according to the second embodiment, similarly to the environmental test chamber 2 according to the first embodiment, the upper end portion 103t of the curtain 103A that is the rectifying member and the ceiling surface of the flow path unit 101. A slight gap 109t is provided between the gap 101t and 101t. Further, a slight gap 109b is provided between the lower end portion 103b of the curtain 103A, which is a rectifying member, and the floor surface 101b of the flow path portion 101.
  • this reduces the contact area of the curtain 103A with the ceiling surface 101t and the floor surface 101b of the flow path portion 101 (environmental test room 2) to reduce the flow path portion 101 ( This is because the amount of heat conduction transmitted from the environmental test chamber 2) to the curtain 103A is reduced as much as possible, and fluctuations in the temperature of the rectifying member 103 are suppressed.
  • the curtain 103A may be loosely fixed so that it can be deployed and stored in the direction of the arrow A103A (see FIG. 8).
  • such a curtain 103A may have a configuration in which the upper side is hung by a hanging member 151. Further, as shown in FIGS. 11A to 11C, the curtain 103A may have a structure in which the lower side is fixed by a hook portion 161 or the like.
  • FIG. 10A is a configuration diagram of a hanging member 151 for hanging the curtain 103A and a curtain rail 152.
  • FIG. 10B is a configuration diagram of the suspension member 151.
  • FIG. 10C is a configuration diagram of a modified example of the suspension member 151.
  • FIG. 10D is a configuration diagram of another modification of the hanging member 151.
  • FIG. 11A is a configuration diagram of a hook portion 161 for fixing the curtain 103A and a rubber band 162.
  • FIG. 11B is a configuration diagram of the hook portion 161.
  • FIG. 11C is a configuration diagram of the rubber band 162.
  • a curtain rail 152 into which a hanging member 151 for hanging the curtain 103A is fitted and slid.
  • a supporting steel material 153 is attached to the ceiling panel 101top of the flow path portion 101 (environmental test chamber 2A).
  • a bracket 154 is attached to the supporting steel material 153 with bolts (or screws) 155.
  • the curtain rail 152 is fixedly supported by the bracket 154.
  • the curtain rail 152 supports the hanging member 151 so that it can travel freely.
  • the hanging member 151 includes a ring-shaped support portion 151a that engages with a hole provided near the upper end of the curtain 103A, and a runner 151b that travels on the curtain rail 152.
  • the upper end portion of the curtain 103A suspended by the suspending member 151 is arranged at a position separated from the ceiling surface 101t of the flow path portion 101 (environmental test chamber 2A) by a gap 109t.
  • the curtain rail 152 may be made of, for example, an aluminum alloy or the like.
  • the support steel material 153, the bracket 154, the bolt (or screw) 155, and the like may be made of, for example, a stainless material.
  • the supporting portion 151a of the suspension member 151 may be modified, for example, like the supporting portion 151aa shown in FIG. 10C or the supporting portion 151ab shown in FIG. 10D.
  • the support portion 151aa shown in FIG. 10C has a structure in which a part can be opened and closed by a spring.
  • the support portion 151ab shown in FIG. 10D has a structure in which a part thereof can be opened and closed by a removable screw and a shaft.
  • a hook portion 161 for fixing the curtain 103A is provided on the floor surface 101b of the flow path portion 101 (environmental test chamber 2A). Holes are provided in the lower end portion of the curtain 103A and the hook portion 161. The lower end portion of the curtain 103A is fixed to the hook portion 161 by passing the rubber bands 162 through both holes.
  • the hook portion 161 may have an embedded structure that is movable in the arrow direction. Accordingly, the hook portion 161 can be pulled out from the floor surface 101b and used only when fixing the curtain 103A, and can be stored on the floor surface 101b in other cases.
  • FIG. 11C shows the configuration of the rubber band 162 when it is not used. As shown in FIG.
  • the lower end portion of the curtain 103A fixed to the hook portion 161 with the rubber band 162 is disposed at a position separated from the floor surface 101b of the flow path portion 101 (environmental test chamber 2A) by a gap 109b.
  • the curtain 103A expands in the vertical direction due to the weight of the curtain 103A itself, the weight of a metal fitting (not shown) attached to the curtain 103A, the contracting force of the rubber band 162, and the like.
  • the interval of the gap 109b changes in accordance with the vertical expansion amount of the curtain 103A. Therefore, in the environmental test chamber 2A, the gap 109b can be closed by the curtain 103A.
  • a radiation heat insulating material having a specular reflection surface F11 and a diffuse reflection surface F12 is preferably used as a material, similar to the rectifying member 103 of the first embodiment.
  • the curtain 103A may be installed such that the surface facing the side wall surface 101s of the flow path portion 101 (environmental test chamber 2A) is the specular reflection surface F11 and the non-opposition surface is the diffuse reflection surface F12.
  • the environmental test chamber 2A according to the present embodiment can prevent the temperature of the space outside the curtain 103A from being transferred to the space inside (the measurement target space).
  • the flow regulating member of the environmental test room 2A is composed of the curtain 103A.
  • Such an environmental test chamber 2A can deploy (move) or store the curtain 103A when the measurement target TG is loaded into the installation unit 102 provided near the center. Therefore, it is possible to easily carry in the measurement target TG or the optical measurement device to the installation unit 102.
  • the environmental test chamber 2A according to the second embodiment it is possible to perform highly accurate optical measurement under the atmospheric pressure environment similarly to the environmental test chamber 2 according to the first embodiment. Moreover, according to the environmental test chamber 2A according to the second embodiment, it is possible to facilitate the carry-in of the measurement target TG or the optical measuring device into the installation unit 102, as compared with the environmental test chamber 2 according to the first embodiment. it can.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment, but includes various modifications.
  • the above-described embodiments have been described in detail in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, and are not necessarily limited to those having all the configurations described.
  • the environmental test chamber 2 according to the first embodiment described above can be modified as in the following first to fourth modified examples.
  • the environmental test chamber 2A according to the second embodiment can be modified as in the following first to fourth modified examples, similarly to the environmental test chamber 2 according to the first embodiment. .
  • FIG. 12A and 12B are configuration diagrams of an environment test chamber 2B of the first modified example.
  • FIG. 12A shows the configuration of the entire environmental test chamber 2B of the first modification
  • FIG. 12B shows the configuration of the region R11 of FIG. 12A in an enlarged manner.
  • the environmental test chamber 2B of the first modified example is different from the environmental test chamber 2 according to the first embodiment (see FIG. 3) in that the ceiling surface 101t of the flow path unit 101 and the installation unit 102 are different from each other.
  • the difference is that a plate member 201 is provided between them.
  • the plate member 201 is a rectifying member that is different from the rectifying member 103 and is made of a plate-shaped object.
  • the plate member 201 is attached to the ceiling surface 101t of the flow path unit 101 via the spacer 202.
  • the plate member 201 has a lateral width longer than the distance between the two flow regulating members 103, and is arranged on the two flow regulating members 103.
  • the plate member 201 is arranged so as to be parallel to the airflow direction of the conditioned air, and a radiation heat insulating material is used as its material.
  • the environment test chamber 2B of the first modified example can also insulate the radiant heat from the ceiling surface 101t so that the heat is not transmitted to the installation unit 102.
  • FIG. 13 is a block diagram of the environmental test chamber 2C of a 2nd modification.
  • the environmental test chamber 2C of the second modified example is different from the environmental test chamber 2B of the first modified example (see FIG. 12A) in that the plate material 201a is provided instead of the plate material 201.
  • the plate member 201a is a member having the same function as the plate member 201 (see FIG. 12A).
  • the plate member 201 a has a lateral width shorter than the distance between the two flow regulating members 103 and is arranged between the two flow regulating members 103.
  • the plate member 201a is arranged so as to be parallel to the airflow direction of the conditioned air, and the radiation heat insulating material is used as the material thereof.
  • the radiant heat from the ceiling surface 101t is also thermally insulated, and the heat is transferred to the installation unit 102, similarly to the environmental test chamber 2B of the first modification (see FIG. 12A). You can prevent it.
  • FIG. 14 is a block diagram of the environmental test chamber 2D of a 3rd modification.
  • the environmental test chamber 2D of the third modified example includes a cloth material 201b instead of the rectifying member 103, as compared with the environmental test chamber 2 according to the first embodiment (see FIG. 3). Differences in points.
  • the cloth material 201b is another rectifying member having the same function as the rectifying member 103.
  • the cloth material 201b is attached to the ceiling surface 101t of the flow path portion 101 by the suspension fixing member 203, and is arranged so as to surround both side wall surfaces and the ceiling surface of the installation portion 102.
  • the cloth material 201b is arranged so as to be substantially parallel to the airflow direction of the conditioned air, and a radiation heat insulating material is used as the material thereof.
  • a radiation heat insulating material is used as the material thereof.
  • the radiant heat from the side wall surface 101s and the radiant heat from the ceiling surface 101t can be insulated so that the heat is not transferred to the installation section 102.
  • FIG. 15 is a block diagram of the environmental test chamber 2E of a 4th modification.
  • the environmental test chamber 2E of the fourth modified example is different from the environmental test chamber 2 according to the first embodiment (see FIG. 3) in that the shape of the rectifying member 103 is changed.
  • the rectifying member 103 is arranged in an inverted U-shaped manner in front view so as to surround both side wall surfaces and the ceiling surface of the installation portion 102.
  • the rectifying member 103 is arranged so as to be substantially parallel to the airflow direction of the conditioned air, and a radiation heat insulating material is used as its material.
  • the radiant heat from the side wall surface 101s and the radiant heat from the ceiling surface 101t can be insulated so that the heat is not transmitted to the installation section 102.

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Abstract

環境試験室（２）は、均一風速で均一温度の空調空気が供給される供給口（２ｉｎ）と、供給口に対向配置され、空調空気が排出される排出口（２ｏｕｔ）と、供給口と排出口との間に配置され、空調空気が通る流路部（１０１）と、流路部の中央付近に配置され、光学測定の測定対象物が設置される設置部（１０２）と、流路部の側壁面と設置部との間に配置され、空調空気の気流を整流する整流部材（１０３）と、を備えている。流路部の側壁面と整流部材は、供給口から排出口に向かって流れる空調空気の気流方向と平行になるように配置されている。

Description

環境試験室、及び、空気調和システム
　本発明は、環境試験室、及び、空気調和システムに関する。
　例えば、天文観測のための光学機器は、レンズの表面形状や構造体寸法についてナノメートル（ｎｍ）オーダーの高精度な測定が必要である。その測定方法として、レーザー干渉計等の光学測定機器による光学測定が一般に用いられる。
　しかしながら、大気圧環境下でレーザー干渉計を使用する場合に、大気の温度や湿度、圧力等のゆらぎによるばらつきが測定に影響を与えることが知られている（例えば、非特許文献１参照）。そのため、高精度な光学測定を行う際は、光路空間を真空にして、大気の温度や湿度、圧力等のゆらぎの影響を無くした状態で測定することが一般的である（例えば、非特許文献２参照）。
　また、大気圧環境下で高精度な測定を行うために、空調制御によって測定環境を安定化させることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。光学機器の測定では、例えば特許文献１に記載された局所空間を環境試験室とし、測定対象物（試験対象）や光学測定機器を環境試験室に設置して光学測定を行う。
特開２００７－００３１０７号公報
赤津利雄著「精密位置決め用変位センサーの現状と問題点」、掲載誌「光学」、第２２巻第６号、掲載ページ３２９～３３４、１９９３年６月 寺田聡一著「長さ標準：レーザー測長における真空および大気の影響」、掲載誌「Journal of the Vacuum Society of Japan」、第５２巻第６号、掲載ページ３４７～３５０、２００９年７月１５日
　大気（空気）の温度や湿度、圧力等にゆらぎがあると、空気の屈折率が変動して、光学測定のばらつきが発生する可能性がある。従来の環境試験室は、高精度な光学測定を行うために、大気の温度や湿度、圧力等のゆらぎを抑制すること（つまり、大気を安定化させること）を考慮するものであった。しかしながら、本発明の発明者は、大気の温度や湿度、圧力等でなく、環境試験室内に設置される測定対象物（試験対象）や光学測定機器に温度のゆらぎがあると、これらの表面形状や構造体寸法が変動して、光学測定のばらつきが発生する可能性があることを解明した。そして、従来の環境試験室は、測定対象物や光学測定機器の温度のゆらぎを抑制することを考慮していないものであった。このような従来の環境試験室は、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことが困難であった。なお、測定対象物や光学測定機器の温度のゆらぎは、例えば、環境試験室の内部の熱対流からの熱伝達や、壁や床からの放射熱によって発生する。
　例えば、環境試験室の周囲の温度が空調空気の設定温度より低い場合に、環境試験室の壁面の温度は空調空気の温度より低くなる。また、例えば、環境試験室の周囲の温度が空調空気の設定温度より高い場合に、環境試験室の壁面の温度は空調空気の温度より高くなる。これらの温度差によって、環境試験室の内部で熱対流が発生する可能性がある。従来の環境試験室は、その熱対流を考慮した構成になっていなかった。その熱対流温度は、空調空気の温度と違っている。そのため、従来の環境試験室は、熱対流が測定対象物（試験対象）や光学測定機器を設置している空間に侵入することで、測定対象物や光学測定機器の温度が変化するため、光学測定のばらつきが発生する可能性があった。また、測定対象物や光学測定機器は、空調空気の設定温度と同じ温度になることが期待されるが、前記の状況では測定対象物や光学測定機器と環境試験室の壁面の間には温度差が生じ、測定対象物や光学測定機器と環境試験室の壁面の間で放射熱による熱の授受が発生する。その結果、環境試験室周囲の温度変化によって測定対象物や光学測定機器の温度が変化するため、光学測定のばらつきが増大する可能性があった。従来の環境試験室は、測定対象物や光学測定機器の表面形状や構造体寸法が変動しないように、測定対象物や光学測定機器の温度を安定化させることについては考慮されていない。そのため、このような従来の環境試験室は、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことが困難であった。
　本発明は、前記した課題を解決するためになされたものであり、大気圧環境下で高精度な光学測定を可能にすることを主な目的とする。
　前記目的を達成するため、本発明は、環境試験室であって、所定風速で所定温度の空調空気が供給される供給口と、前記供給口に対向配置され、前記空調空気が排出される排出口と、前記供給口と前記排出口との間に配置され、前記空調空気が通る流路部と、前記流路部の中央付近に配置され、光学測定の測定対象物が設置される設置部と、前記流路部の側壁面と前記設置部との間に配置され、前記空調空気の気流を整流する整流部材と、を備え、前記流路部の側壁面と前記整流部材は、前記供給口から前記排出口に向かって流れる前記空調空気の気流方向と平行になるように配置されている構成とする。
　その他の手段は、後記する。
　本発明によれば、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことができる。
実施形態１に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の構成図である。 実施形態１に係る環境試験室の構成図である。 実施形態１に係る環境試験室の内部で発生する熱対流の説明図である。 比較例の環境試験室の構成図である。 比較例の環境試験室の内部で発生する熱対流の説明図である。 環境試験室内における測定対象物の配置例を示す説明図である。 光学測定のばらつきの要因を示す説明図である。 実施形態２に係る環境試験室の構成図（１）である。 実施形態２に係る環境試験室の構成図（２）である。 カーテンを吊るす吊下げ部材とカーテンレールの構成図である。 吊下げ部材の構成図である。 吊下げ部材の変形例の構成図である。 吊下げ部材の別の変形例の構成図である。 カーテンを固定するフック部とゴムバンドの構成図である。 フック部の構成図である。 ゴムバンドの構成図である。 第１変形例の環境試験室の構成図（１）である。 第１変形例の環境試験室の構成図（２）である。 第２変形例の環境試験室の構成図である。 第３変形例の環境試験室の構成図である。 第４変形例の環境試験室の構成図である。
　以下、図面を参照して、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」と称する）について詳細に説明する。なお、各図は、本発明を十分に理解できる程度に、概略的に示してあるに過ぎない。よって、本発明は、図示例のみに限定されるものではない。また、各図において、共通する構成要素や同様な構成要素については、同一の符号を付し、それらの重複する説明を省略する。
　［実施形態１］
　＜環境試験室を含む空気調和システム全体の構成＞
　以下、図１を参照して、本実施形態１に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の構成について説明する。図１は、本実施形態１に係る環境試験室を含む空気調和システム全体の構成図である。
　図１に示すように、空気調和システム１は、除湿部３、乾燥空気調温部４、乾燥空気加熱部５、循環流路６、送風機４１、ヒータ５１，５４、蓄熱体５５等を備えている。空気調和システム１は、循環流路６を介して環境試験室２の排出口２ｏｕｔから排出される空気を空気調和して環境試験室２の供給口２ｉｎに戻し、システム内で空調空気を循環させる。
　除湿部３は、デシカント空調機３０等の除湿機を備え、環境試験室２から排出される空気に外気を混合した空気を除湿して得られる乾燥空気を乾燥空気調温部４へ送気する。乾燥空気調温部４は、除湿部３から送気される乾燥空気を環境試験室２の内部の設定空気温度よりもやや低い温度に調温し、乾燥空気加熱部５へ送気する。乾燥空気加熱部５は、環境試験室２の内部の設定空気温度まで加熱して環境試験室２内に送気する。
　ここで、環境試験室２内は、断熱パネル等からなる外壁によって外気から遮断されている。環境試験室２には、空気調和システム１で空気調和された空気のみが供給される。そして、環境試験室２内の中央付近には、光学測定の測定対象物やレーザー干渉計等の光学測定機器を設置する設置部１０２が設けられている。設置部１０２には、防振架台２１等が設置されており、その防振架台２１上には、測定対象物や光学測定機器が載置される。環境試験室２の詳細については、「環境試験室の構成」の章で説明する。
　空気調和システム１の乾燥空気加熱部５は、通常、環境試験室２の特定の側面全体に分布して設置され、乾燥空気加熱部５から送気された空気は、環境試験室２の中を、乾燥空気加熱部５を設置した側面からそれに対向する側面に向かって流れ、その大半が除湿部３側へ排出され、空気調和システム１内を還流するとともに、一部が外気へ排出される。なお、外気への排気ダクトには、その排出量を調節するバルブ２３が設けられている。
　除湿部３は、デシカント空調機３０を主な構成要素として備え、環境試験室２から排出された空気及び外気がそれぞれクーラ３１，３４で除湿に適した温度に冷却された上で混合されて、デシカント空調機３０に供給される。クーラ３１，３４の出口には、それぞれ温度センサ３２，３５が設けられており、制御装置（図中ではＰＩＤと記載）３３，３６は、温度センサ３２，３５により得られる温度が所定の除湿に適した温度となるようにクーラ３１，３４をそれぞれ制御する。
　デシカント空調機３０に供給される空気すなわち除湿対象の空気をクーラ３１，３４により冷却することは、除湿対象の空気を除湿に適した温度にするというだけでなく、プレ除湿をするという意味を有している。とくに、外気は湿度が高いので、クーラ３４でプレ除湿をしておくことにより、デシカント空調機３０での除湿の負担を軽減することができる。
　なお、図１では、環境試験室２から排出された空気及び外気は、それぞれクーラ３１，３４で冷却された後に混合されているが、環境試験室２から排出された空気及び外気を先に混合して、１つのクーラで冷却するようにしてもよい。
　デシカント空調機３０に供給された空気（除湿対象の空気）は、送風機３０２により送気され、水分吸着物質が保持されたデシカントロータ３０１の中を通過、除湿される。ここで、デシカントロータ３０１の中に保持される水分吸着物質としては、高分子吸着剤、シリカゲル、ゼオライト等、低温時に水分を吸着し、高温時に水分を放出する高温再生型の水分吸着物質が用いられる。
　デシカントロータ３０１は、円筒形状をしており、円筒の軸を中心にして、例えば図１に示す矢印の方向に回転する。ここで、除湿対象の空気の大半は、回転するデシカントロータ３０１の領域Ａの部分を通過、除湿され、乾燥空気となって乾燥空気調温部４側へ送気される。また、除湿対象の空気の一部は、デシカントロータ３０１の領域Ｃの部分を通過し、ヒータ３０４により加熱された後、再びデシカントロータ３０１に戻り領域Ｂの部分を通過する。このとき、デシカントロータ３０１の領域Ｂの部分に保持されている水分吸着物質は、加熱された空気に曝されることとなるので、水分吸着能力を回復する。一方で、領域Ｂの部分を通過した空気は、水分を多く含むこととなるので、送風機３０３を介して、除湿部３（空気調和システム１）の外に排気される。
　デシカントロータ３０１は、領域Ａ→領域Ｂ→領域Ｃ→領域Ａ→…の方向に回転する。ここで、領域Ａの部分は、クーラ３１，３４により冷却された除湿対象の空気が通過し、領域Ｂの部分は、ヒータ３０４により加熱された空気が通過する。そのため、デシカントロータ３０１の回転とともに、その中に保持されている水分吸着物質は、領域Ａの部分で水分を吸着するが、領域Ｂの部分で吸着していた水分を放出し、水分吸着能力を回復する。
　また、冷却された除湿対象の空気の一部は、領域Ｃの部分を通過する。このとき、領域Ｂの部分で加熱された水分吸着物質は、冷却されるとともに、領域Ｃの部分を通過した空気は加熱される。したがって、ヒータ３０４における加熱に必要なエネルギーを節減することができる。
　デシカントロータ３０１の領域Ａの部分を通過した空気は、温度が上昇する。そこで、領域Ａの部分を通過した空気は、クーラ３７により環境試験室２から排出された空気とほぼ同程度の温度まで冷却される。このとき、クーラ３７の出口には温度センサ３８が設けられており、クーラ３７を通過した空気は、制御装置３９により一定温度を保つように制御される。
　ところで、本実施形態では、環境試験室２から排出される空気のすべてが除湿部３へ供給されるのではなく、その一部は、バイパスダクト１５を通過、すなわち、除湿部３をバイパスして乾燥空気調温部４へ流れるようにされている。こうすることにより、環境試験室２から排出される空気のうち、環境試験室２で発生した湿度上昇分を除去するのに必要な空気量のみを除湿部３へ流すことが可能になる。少なくとも空気調和システム１の作動が開始され一定の時間が経過した後は、環境試験室２で発生する湿度の上昇はわずかとなる。したがって、環境試験室２から排出される空気のうち一部をバイパスダクト１５側へ流すことにより、デシカントロータ３０１の除湿負担を低減することができ、さらには、デシカントロータ３０１の小型化にもつながる。
　なお、除湿部３へ供給される空気量及び除湿部３をバイパスさせる空気量は、それぞれバルブ１１，１３の開度制御によって調整することができる。また、当然ながら、バイパスダクト１５を設けないで、環境試験室２から排出される空気をすべて除湿部３へ供給するものとしてもよい。
　なお、デシカント空調機３０から排出される空気の湿度は、デシカントロータ３０１の領域Ｂの部分の温度、つまり、ヒータ３０４の加熱強度、デシカントロータ３０１の回転速度、送風機３０２の風量等の調整により適宜設定することができる。
　また、本実施形態では、除湿部３は、デシカント空調機３０により除湿をするものとしたが、除湿手段は、デシカント空調機３０に限定されず、冷却と過熱を繰り返す方法等で除湿するものであってもよい。
　次に、乾燥空気調温部４は、冷水を冷媒とするクーラ４２、チラー４３、冷却された冷水を加熱するヒータ４８等を含んで構成される。除湿部３から送気されてくる乾燥空気は、クーラ４２によって環境試験室２の内部の設定空気温度よりも低い温度に調温された上、乾燥空気加熱部５へ送気される。
　ここで、クーラ４２は、冷却ダクト４０内に設けられ、冷媒である冷水（以下、冷媒水という）が通流するコイル状の配管により構成される。このとき、冷水コイルを通流する冷媒水は、ヒータ４８で加熱されることにより、所定の冷媒水の目標温度に調温される。そして、送風機４１を介して除湿部３から送気されてくる乾燥空気は、この冷水コイルに接触することによって冷却され、所定の乾燥空気の目標温度（環境試験室２の内部の設定空気温度よりもやや低い温度）に調温される。
　ここで、冷媒水を通流させる配管の途中には、ヒータ４８の他にタンク４７が設けられている。タンク４７は、冷媒水を一時貯留することにより、この冷媒水の温度の安定させる役割を果たす。
　したがって、ヒータ４８には、温度変動の小さい冷媒水が供給される。そして、その温度変動の小さい冷媒水は、制御装置６１，６２で制御されたヒータ４８によって加熱され、クーラ４２に送水される。このとき、制御装置６１は、冷却ダクト４０の出口に設けられた温度センサ６３から得られる空気温度を、予め設定された目標空気温度と比較し、その差分量に基づいてヒータ４８の出口における冷媒水の目標温度を演算する。さらに、制御装置６２は、ヒータ４８の出口に設けられた温度センサ４９から得られる冷媒水の温度を、制御装置６１で演算された冷媒水の目標温度と比較し、その差分量に基づいてヒータ４８の発熱強度を制御する。
　乾燥空気加熱部５は、ヒータ５１，５４、蓄熱体５５、温度センサ５２，５６、制御装置５３，５７等を備えて構成される。乾燥空気調温部４から供給される乾燥空気は、ヒータ５１を通過することで所定の温度に加熱され、さらに、環境試験室２の側面に設けられたヒータ５４及び蓄熱体５５を通過することで、予め設定された環境試験室２内の設定空気温度まで加熱される。
　ここで、ヒータ５１の加熱強度は、その出口に設けられた温度センサ５２により得られる温度が一定となるように制御装置５３によって制御される。同様に、ヒータ５４の加熱強度は、蓄熱体５５からの出口である環境試験室２の天井部に設けられた温度センサ５２により得られる温度が環境試験室２内の設定空気温度と同じになるように制御装置５７によって制御される。
　環境試験室２の供給口２ｉｎには、ヒータ５４及び蓄熱体５５が複数セット設けられている。したがって、環境試験室２内へは、一定の温度に保たれた乾燥空気がほぼ均一に供給されるので、環境試験室２内の空気温度も均一化される。
　ヒータ５４の下流側に設けられる蓄熱体５５は、空気の通路となる多数の孔部を備えた多孔通路部材によって構成される。蓄熱体５５は、孔部を通過する空気の温度が自身の温度よりも高ければ、熱を吸収し、低ければ、熱を放出する。そのため、蓄熱体５５は、温度が変動しにくいものが好ましく、通常は、熱容量が大きい材料、また熱伝導率がよい材料（例えば、銅やアルミニウム等の金属）を用いて構成される。したがって、蓄熱体５５の孔部を通過して環境試験室２内に送気される乾燥空気の温度変動を効果的に抑制することができる。
　＜環境試験室の構成＞
　以下、まず、図２及び図３を参照して、本実施形態に係る環境試験室２の構成について説明し、次に、図４及び図５を参照して、比較例の環境試験室２Ｚの構成について説明する。
　図２は、本実施形態１に係る環境試験室２の構成図であり、斜め上方向から見た環境試験室２の構成を示している。図３は、本実施形態１に係る環境試験室２の内部で発生する熱対流の説明図であり、背面方向から見た環境試験室２の内部の状況を示している。一方、図４は、比較例の環境試験室２Ｚの構成図であり、斜め上方向から見た環境試験室２Ｚの構成を示している。図５は、比較例の環境試験室２Ｚの内部で発生する熱対流の説明図であり、背面方向から見た環境試験室２Ｚの内部の状況を示している。
　本実施形態に係る環境試験室２（図２及び図３参照）は、後記する整流部材１０３（図２及び図３参照）を備えた試験室である。これに対して、比較例の環境試験室２Ｚ（図４及び図５）は、後記する整流部材１０３（図２及び図３）を備えていない試験室である。
　図２に示すように、本実施形態に係る環境試験室２は、６面体状の形状を呈しており、供給口２ｉｎと、排出口２ｏｕｔと、流路部１０１と、設置部１０２と、整流部材１０３と、を備えている。
　供給口２ｉｎは、空調空気が供給される開口部である。供給口２ｉｎは、６面体状の形状を呈する環境試験室２における任意の面の全面に設けられている。供給口２ｉｎには、ほぼ均一な所定風速でかつほぼ均一な所定温度の空調空気が供給される。排出口２ｏｕｔは、空調空気が排出される開口部である。排出口２ｏｕｔは、環境試験室２における供給口２ｉｎに対向する面の全面に配置されている。流路部１０１は、環境試験室２の内部の空調空気が通る部位である。流路部１０１は、供給口２ｉｎと排出口２ｏｕｔとの間に配置されている。設置部１０２は、光学測定の測定対象物ＴＧ（試験対象）やレーザー干渉計等の光学測定機器が設置される場所である。設置部１０２は、流路部１０１の中央付近に配置されている。
　整流部材１０３は、設置部１０２が設けられている空間（以下、「測定対象空間」と称する）とその外側の空間との間を仕切るとともに、流路部１０１内を流れる空調空気の気流を整流する部材である。ここでは、整流部材１０３が板状の物で構成されているものとして説明する。整流部材１０３は、設置部１０２の両横に１つずつ、合計２つ配置されている。整流部材１０３は、奥行き方向に延在するように、横方向において流路部１０１の側壁面１０１ｓと設置部１０２との間に配置されている。整流部材１０３は、紐等の図示せぬ部材で流路部１０１の天井面１０１ｔ（図３参照）や床面１０１ｂ（図３参照）に固定されている。
　流路部１０１の側壁面１０１ｓと整流部材１０３は、供給口２ｉｎから排出口２ｏｕｔに向かって流れる空調空気の気流方向と平行になるように配置されている。このような本実施形態に係る環境試験室２は、任意の壁の全面を均一に空調空気を吹き出す供給口２ｉｎとし、流路部１０１の側壁面１０１ｓと整流部材１０３とで空調空気を整流する。これにより、供給口２ｉｎから環境試験室２内に供給された空調空気は、整流部材１０３で整流されて排出口２ｏｕｔに向かってほぼ真っ直ぐに進行し、排出口２ｏｕｔから循環流路６（図１参照）に排出される（矢印Ａａｉｒ参照）。このような本実施形態に係る環境試験室２は、測定対象物ＴＧや光学測定機器への意図せぬ熱の伝達が発生して、測定対象物ＴＧや光学測定機器の温度が変動しないように、空調空気の気流をコントロールすることができる。
　ところで、例えば、図３に示すように、環境試験室２の周囲の温度が空調空気の設定温度より低い場合に、環境試験室２の壁面の温度は空調空気の温度より低くなる。その温度差によって、環境試験室２の内部で熱対流が発生する可能性がある。その熱対流は、環境試験室２の下側から回り込んで設置部１０２に進入しようとする。そして、その熱対流の温度は、空調空気の温度と違っている。そのため、熱対流が設置部１０２に進入してしまうと、熱対流から測定対象物ＴＧや光学測定機器に熱が伝達して、測定対象物ＴＧや光学測定機器の温度が変動する可能性がある。
　なお、例えば、図３に示す例とは逆に、環境試験室２の周囲の温度が空調空気の設定温度より高い場合に、環境試験室２の壁面の温度は空調空気の温度より高くなる。その温度差によっても、環境試験室２の内部で熱対流が発生する可能性がある。その熱対流は、図３に示す例とは逆向きに、環境試験室２の上側から回り込んで設置部１０２に進入しようとする。この場合も、熱対流の温度は、空調空気の温度と違っている。そのため、熱対流が設置部１０２に進入してしまうと、熱対流から測定対象物ＴＧや光学測定機器に熱が伝達して、測定対象物ＴＧや光学測定機器の温度が変動する可能性がある。
　そこで、本実施形態に係る環境試験室２は、内部に、その設置部１０２への熱対流の侵入を抑制するための部材として、整流部材１０３を備えている。このような本実施形態に係る環境試験室２は、整流部材１０３で熱対流が設置部１０２に進入することを抑制することができる（矢印Ａ１１参照）。したがって、本実施形態に係る環境試験室２は、設置部１０２に熱対流が到達しないため、設置部１０２に設置された測定対象物ＴＧや光学測定機器の温度を一定に保つことができる。その結果、本実施形態に係る環境試験室２は、大気圧環境下で高精度な光学測定を可能にすることができる。
　これに対して、図４及び図５に示すように、比較例の環境試験室２Ｚは、整流部材１０３（図２及び図３）を備えていない。そのため、図５に示すように、比較例の環境試験室２Ｚでは、熱対流が回り込んで設置部１０２に進入しようとする（矢印Ａ２１参照）。その熱対流の温度は、空調空気の温度と違っている。そのため、熱対流が設置部１０２に進入してしまうと、熱対流から測定対象物ＴＧや光学測定機器に熱が伝達して、測定対象物ＴＧや光学測定機器の温度が変動する可能性がある。したがって、比較例の環境試験室２Ｚは、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことが困難である。よって、本実施形態に係る環境試験室２は、比較例の環境試験室２Ｚよりも気圧環境下で高精度な光学測定に適した構成になっている。
　＜環境試験室内における測定対象物の配置例＞
　以下、図６を参照して、本実施形態に係る環境試験室２内における測定対象物ＴＧの配置例について説明する。図６は、環境試験室２内における測定対象物ＴＧの配置例を示す説明図である。ただし、図６に示す例は、一例に過ぎず、使用する光学測定機器の種類や配置位置等を運用に応じて適宜変更することができる。
　図６に示すように、環境試験室２内の設置部１０２には、防振架台２１が設置されており、その防振架台２１上には、測定対象物ＴＧや、位相シフト干渉計４０１、マイケルソン干渉計４０２が載置されている。
　図６に示す例では、位相シフト干渉計４０１は、例えば、架台２２ａに載置され、測定対象物ＴＧの上方に配置されている。測定対象物ＴＧは、架台２２ｂに載置され、位相シフト干渉計４０１の下方に配置されている。架台２２ａにはリフレクタ４０３が取り付けられ、架台２２ｂにはセンサヘッド４０４が取り付けられている。センサヘッド４０４はマイケルソン干渉計４０２に接続されている。位相シフト干渉計４０１は、測定対象物ＴＧに向けて光４０５ａを照射して測定対象物ＴＧの表面形状を測定する。また、マイケルソン干渉計４０２は、センサヘッド４０４からリフレクタ４０３に向けて照射され反射された光４０５ｂでセンサヘッド４０４とリフレクタ４０３との間の距離の変位量を測定する。
　＜光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因＞
　本実施形態に係る環境試験室２は、光学測定のばらつきを抑制するためのものである。その光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因としては、例えば、図７に示す要因が存在する。以下、図７を参照して、光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因について説明する。図７は、光学測定のばらつきに影響を及ぼす要因を示す説明図である。
　図７に示すように、光学測定のばらつき（ＲＳ１）に影響を及ぼす要因としては、建屋（ＳＹＳ１）と、空調設備（ＳＹＳ２）と、測定対象物／光学測定機器（ＳＹＳ４）等がある。また、空調設備（ＳＹＳ２）の中には、光路空間（空気）（ＳＹＳ３）がある。これらの要因の具体的な内訳は以下の通りである。
　建屋（ＳＹＳ１）の要因としては、設置環境温度（Ｆａ１１）と、壁／床温度（壁／床の断熱性能）（Ｆａ１２）と、設置環境振動（Ｆａ１３）と、床振動（Ｆａ１４）等がある。
　空調設備（ＳＹＳ２）の要因としては、設備振動（Ｆａ２１）と、空調騒音（Ｆａ２２）と、供給空気温度（Ｆａ２３）と、室内気流（Ｆａ２４）と、室内圧力（大気圧）（Ｆａ２５）と、供給空気湿度（Ｆａ２６）と、室内湿分負荷（Ｆａ２７）等がある。
　光路空間（空気）（ＳＹＳ３）の要因としては、気流による温度拡散（Ｆａ３１）と、温度変化（Ｆａ３２）と、圧力変化（Ｆａ３３）と、湿度変化（Ｆａ３４）と、光路空間の屈折率変化（Ｆａ３５）等がある。
　測定対象物／光学測定機器（ＳＹＳ４）の要因としては、装置の発熱（Ｆａ４１）と、熱伝導（Ｆａ４２）と、放射熱（Ｆａ４３）と、熱伝達（Ｆａ４４）と、外力（Ｆａ４５）と、温度変化（Ｆａ４６）と、形状寸法変動（Ｆａ４７）と、水分吸着（Ｆａ４８）等がある。
　これらの要因は、例えば図７に示す矢印の関係で影響を及ぼし合う。なお、前記した「熱伝導（Ｆａ４２）」は固体物質を介して伝わる熱の移動を意味している。また、「放射熱（Ｆａ４３）」は固体物質の表面から放射される熱の移動を意味している。また、「熱伝達（Ｆａ４４）」は空気を介して伝わる熱の移動を意味している。
　本実施形態に係る環境試験室２は、整流部材１０３によって「気流による温度拡散（Ｆａ３１）」の要因を抑制（低減）する。これにより、本実施形態に係る環境試験室２は、以下の（ａ）ルートと（ｂ）ルートによる「光学測定のばらつき（ＲＳ１）」に対する影響を低減することができる。
　（ａ）壁／床温度（Ｆａ１２）→気流による温度拡散（Ｆａ３１）→温度変化（Ｆａ３２）→光路空間の屈折率変化（Ｆａ３５）。
　（ｂ）壁／床温度（Ｆａ１２）→気流による温度拡散（Ｆａ３１）→熱伝達（Ｆａ４４）→温度変化（Ｆａ４６）→形状寸法変動（Ｆａ４７）。
　また、本実施形態に係る環境試験室２は、整流部材１０３によって「放射熱（Ｆａ４３）」の要因による測定対象物／光学測定機器（ＳＹＳ４）の「温度変化（Ｆａ４６）」の要因への影響を抑制（低減）する。これにより、本実施形態に係る環境試験室２は、以下の（ｃ）ルートによる「光学測定のばらつき（ＲＳ１）」に対する影響を低減することができる。
　（ｃ）壁／床温度（Ｆａ１２）→放射熱（Ｆａ４３）→温度変化（Ｆａ４６）→形状寸法変動（Ｆａ４７）。
　このような本実施形態に係る環境試験室２は、相対的に、以下の（ｄ）ルートによる「光学測定のばらつき（ＲＳ１）」に対する影響を強化（向上）させることができる。その結果、測定対象物／光学測定機器（ＳＹＳ４）の温度の安定化を図ることができる。
　（ｄ）供給空気温度（Ｆａ２３）→熱伝達（Ｆａ４４）→温度変化（Ｆａ４６）→形状寸法変動（Ｆａ４７）。
　＜本実施形態に係る環境試験室についての補足＞
　本実施形態に係る環境試験室２は、以下の点が考慮されている。
　本実施形態に係る環境試験室２は、設置部１０２の空間全体の熱分布が±０．５℃以内に収まることが好ましい。そこで、本実施形態に係る環境試験室２は、好ましくは、熱容量が少ない素材を整流部材１０３に用いるとよい。例えば、整流部材１０３の熱容量は、２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下であるとよい。これにより、本実施形態に係る環境試験室２は、周囲の温度に整流部材１０３を早く馴染ませることができるため、測定対象空間（設置部１０２が設けられている空間）内の熱分布を低い値に収束させ易くすることができる。その結果、本実施形態に係る環境試験室２は、設置部１０２の空間全体の熱分布を±０．５℃以内に収め易くすることができる。なお、設置部１０２の空間全体の熱分布が±０．５℃以内に収まると、最終的には、設置部１０２に設置された測定対象物ＴＧや光学測定機器の熱分布も±０．５℃以内に収まる。
　なお、整流部材１０３の熱容量を２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下とする根拠は以下の通りである。すなわち、整流部材１０３の熱伝達率が例えば標準的な５（Ｗ／ｍ２・Ｋ）と想定すると、整流部材１０３の熱容量が２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下であれば、整流部材１０３の時定数は４００（ｓ）以下となる。これは、測定対象物ＴＧが天文観測に用いる光学機器である場合において、測定対象物ＴＧやその測定に用いる光学測定機器に要求される時定数よりも十分に（例えば、１桁程度）小さい。そのため、整流部材１０３の熱容量が２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下であれば、整流部材１０３は、測定対象物ＴＧや光学測定機器よりも早く空調空気の温度に近づき、測定の妨げにならない。そのため、整流部材１０３の熱容量は２０００（Ｊ／ｍ２・Ｋ）以下であることが好ましい。
　また、図３に示すように、整流部材１０３は、好ましくは、素材として、鏡面反射面Ｆ１１と拡散反射面Ｆ１２とを有する輻射断熱材が用いられているとよい。そして、整流部材１０３は、流路部１０１（環境試験室２）の側壁面１０１ｓとの対向面が鏡面反射面Ｆ１１となり、非対向面が拡散反射面Ｆ１２となるように、設置されるとよい。これにより、本実施形態に係る環境試験室２は、側壁面１０１ｓから設置部１０２に置かれた測定対象物ＴＧへの放射熱による熱伝達を抑制することができる。このような本実施形態に係る環境試験室２は、整流部材１０３よりも内側の温度をほぼ同じにすることができる。そのため、本実施形態に係る環境試験室２は、測定対象空間内の熱分布を小さい値に収束させ易くすることができる。その結果、本実施形態に係る環境試験室２は、さらに、設置部１０２の空間全体の熱分布を±０．５℃以内に収め易くすることができる。
　なお、本実施形態に係る環境試験室２は、任意に設けられた支持箇所でのみ整流部材１０３が流路部１０１の天井面１０１ｔと下端部１０３ｂとに支持され、支持箇所以外の箇所では支持されない構造になっている。つまり、図３に示すように、本実施形態に係る環境試験室２は、支持箇所以外の箇所では、整流部材１０３の上端部１０３ｔと流路部１０１の天井面１０１ｔとの間に、若干の隙間１０９ｔが設けられた構造になっている。また、本実施形態に係る環境試験室２は、支持箇所以外の箇所では、整流部材１０３の下端部１０３ｂと流路部１０１の床面１０１ｂとの間に、若干の隙間１０９ｂが設けられた構造になっている。これは、流路部１０１（環境試験室２）の天井面１０１ｔと床面１０１ｂに対する整流部材１０３の接触面積を小さくして、流路部１０１（環境試験室２）から整流部材１０３に伝わる熱伝導量をできるだけ低減するとともに、整流部材１０３の温度の変動を抑制するためである。
　隙間１０９ｔと隙間１０９ｂのサイズは、好ましくは、それぞれ、環境試験室２の内部空間の高さに対して１％程度であるとよい。したがって、環境試験室２は、環境試験室２の内部空間の高さに対して９８％程度の高さの整流部材１０３がその上下に隙間１０９ｔと隙間１０９ｂを開けて設けられた構造になっているとよい。なお、環境試験室２の内部空間の横幅と高さと奥行きは、それぞれ、例えば、数メートル（ｍ）から十数メートル（ｍ）程度である。
　一般に、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うためには、設置部１０２を通過する空調空気の温度や湿度を安定させて、空調空気の屈折率を安定させることや、測定対象物ＴＧの温度を安定させて、測定対象物ＴＧの熱膨張による変形を抑制することが重要である。これらについて、環境試験室２の外部から供給される空調空気の温度及び湿度は、ヒータ５１，５４、蓄熱体５５等（図１参照）によって安定させることができる。しかしながら、設置部１０２を通過する空調空気の温度や湿度は、周囲の側壁面１０１ｓや床面からの温度拡散や、測定対象物ＴＧと空調空気との間に温度差がある場合に測定対象物ＴＧからの温度拡散の影響を受けて変動する。そのため、設置部１０２の温度を安定化させるためには、環境試験室２は、単に空調空気の速度を制御するだけでなく、側壁面１０１ｓや床面等の周囲環境からの温度拡散を防止することや、測定対象物ＴＧと空調空気との間の温度差を抑制することが好ましい。
　測定対象物ＴＧの温度を安定させる方法として、ヒータや冷却ジャケット等による加熱／冷却制御が考えられるが、本実施形態では一定温度に制御した空調空気との熱伝達により測定対象物ＴＧの温度を平準化する（ならす）方法を採用するものとする。この方法は、測定対象物ＴＧからの発熱量がない場合、もしくはごく小さい場合に有効である。また、この方法は、利点として、時間経過とともに確実に温度が安定することや、局所的な加熱／冷却と異なり、測定対象物ＴＧ内の温度分布を小さくすることができること、測定対象物ＴＧと空調空気との間の温度差を小さくすることができ、設置部１０２を通過する空調空気の温度を安定化させることができること等がある。
　本実施形態１に係る環境試験室２は、側壁面１０１ｓや床面からの温度の対流拡散を小さくするために、側壁面１０１ｓや床面に対して垂直方向の速度成分が小さくなるように、流路部１０１内の気流の速度が設定される。環境試験室２は、任意の面の全面に供給口２ｉｎが設けられ、供給口２ｉｎの対向面の全面に排出口２ｏｕｔが設けられている。供給口２ｉｎには、ほぼ均一な所定風速でかつほぼ均一な所定温度の空調空気が供給される。その空調空気の気流は、環境試験室２の内部に形成された流路部１０１の側壁面１０１ｓや床面に対して平行に進行する。そのため、流路部１０１内では概略一方向の気流が形成される。この気流は、供給口２ｉｎ及び排出口２ｏｕｔが設けられていない側壁面や床面に対して垂直方向の速度成分が小さいため、側壁面や床面からの温度の対流拡散が小さい。また、この気流は、測定対象物に対して均一に当たり、かつ測定対象物ＴＧの周囲であまり滞留しない。この気流は、測定対象物ＴＧの全体に均一に熱伝達を行うため、測定対象物ＴＧの全体に温度を平準化する点で有効である。
　また、本実施形態１に係る環境試験室２は、側壁面１０１ｓと環境試験室２の中央付近に設けられた設置部１０２との間に、気流方向に平行な整流部材１０３を備えている。側壁面１０１ｓと空調空気の間に温度差があると、熱対流が生じるが、本実施形態１に係る環境試験室２は、整流部材１０３により設置部１０２内への熱対流の侵入を防止することができる。また、本実施形態１に係る環境試験室２は、整流部材１０３で、測定対象物ＴＧの周囲の気流が測定対象物ＴＧから離れて拡散することを防止し、測定対象物ＴＧと空調空気との熱伝達を促進する機能を得ることができる。
　なお、整流部材１０３は、空調空気の温度に近い温度となることが望ましい。そのため、壁や床から整流部材１０３への熱伝導が少なく、かつ整流部材１０３の熱容量が小さい方がよい。
　また、測定対象物ＴＧの温度は、環境試験室２の壁面や床面からの輻射熱の影響も受ける。そこで整流部材１０３は、環境試験室２の壁面側を鏡面反射面Ｆ１１とした輻射断熱素材で構成することが望ましい。整流部材１０３を輻射断熱素材で構成することで、環境試験室２の壁面からの輻射熱の影響を低減でき、測定対象物ＴＧと空調空気との温度差を小さくすることができる。その結果、環境試験室２の壁面の温度変動に伴う測定対象物ＴＧの温度変動を抑制することができる。
　このような整流部材１０３の温度は、空調空気の温度に近い方が望ましいので、環境試験室２の壁面との対向面を鏡面反射面Ｆ１１にすることが好ましい。なお、環境試験室２内でレーザー干渉計等の光学測定機器を使用する場合に、レーザー光の乱反射が発生する可能性がある。そのため、整流部材１０３の測定対象物ＴＧ側の面は、拡散反射面Ｆ１２にすることが好ましい。
　本実施形態１に係る環境試験室２は、測定空間の空気屈折率、測定対象物の温度を安定させることができ、大気圧環境下で、高精度な光学測定が可能な測定対象物の設置環境を提供できる。
　以上の通り、本実施形態１に係る環境試験室２によれば、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことができる。
　［実施形態２］
　実施形態１に係る環境試験室２（図２参照）の整流部材１０３は、板状の物で構成されている。これに対し、本実施形態２では、整流部材が布状のカーテン１０３Ａで構成された環境試験室２Ａを提供する。
　以下、図８及び図９を参照して、本実施形態２に係る環境試験室２Ａの構成について説明する。図８及び図９は、それぞれ、本実施形態２に係る環境試験室２Ａの構成図である。
　図８に示すように、本実施形態２に係る環境試験室２Ａは、実施形態１に係る環境試験室２（図２参照）と比較すると、整流部材１０３の代わりに、整流部材として布状のカーテン１０３Ａを有する点で相違する。
　カーテン１０３Ａは、矢印Ａ１０３Ａの方向に展開及び収納が可能な構成になっている。そのため、本実施形態２に係る環境試験室２Ａは、実施形態１に係る環境試験室２（図２参照）よりも、設置部１０２への測定対象物ＴＧや光学測定機器の設置作業を容易に行うことができる。
　図９に示すように、本実施形態２に係る環境試験室２Ａでは、実施形態１に係る環境試験室２と同様に、整流部材であるカーテン１０３Ａの上端部１０３ｔと流路部１０１の天井面１０１ｔとの間に、若干の隙間１０９ｔが設けられている。また、整流部材であるカーテン１０３Ａの下端部１０３ｂと流路部１０１の床面１０１ｂとの間に、若干の隙間１０９ｂが設けられている。これは、実施形態１に係る環境試験室２と同様に、流路部１０１（環境試験室２）の天井面１０１ｔと床面１０１ｂに対するカーテン１０３Ａの接触面積を小さくして、流路部１０１（環境試験室２）からカーテン１０３Ａに伝わる熱伝導量をできるだけ低減するとともに、整流部材１０３の温度の変動を抑制するためである。なお、カーテン１０３Ａは、矢印Ａ１０３Ａ（図８参照）の方向に展開及び収納ができるように、緩く固定されていればよい。
　図１０Ａ乃至図１０Ｄに示すように、このようなカーテン１０３Ａは、上側が吊下げ部材１５１で吊下げられた構成になっているとよい。また、図１１Ａ乃至図１１Ｃに示すように、カーテン１０３Ａは、下側がフック部１６１等で固定された構成になっているとよい。
　図１０Ａは、カーテン１０３Ａを吊るす吊下げ部材１５１とカーテンレール１５２の構成図である。図１０Ｂは、吊下げ部材１５１の構成図である。図１０Ｃは、吊下げ部材１５１の変形例の構成図である。図１０Ｄは、吊下げ部材１５１の別の変形例の構成図である。図１１Ａは、カーテン１０３Ａを固定するフック部１６１とゴムバンド１６２の構成図である。図１１Ｂは、フック部１６１の構成図である。図１１Ｃは、ゴムバンド１６２の構成図である。
　図１０Ａに示すように、流路部１０１（環境試験室２Ａ）の天井面１０１ｔには、カーテン１０３Ａを吊るす吊下げ部材１５１をはめ込んで滑らせるカーテンレール１５２が設けられている。流路部１０１（環境試験室２Ａ）の天井パネル１０１ｔｏｐには、支持鋼材１５３が取り付けられている。その支持鋼材１５３には、ボルト（又はビス）１５５によってブラケット１５４が取り付けられている。カーテンレール１５２は、そのブラケット１５４によって固定支持されている。
　カーテンレール１５２は、吊下げ部材１５１を走行自在に支持している。図１０Ａ及び図１０Ｂに示す例では、吊下げ部材１５１は、カーテン１０３Ａの上端部付近に設けられた孔に係合するリング状の支持部１５１ａと、カーテンレール１５２を走行するランナー１５１ｂと、を有している。図１０Ａに示すように、吊下げ部材１５１によって吊下げられたカーテン１０３Ａの上端部は、流路部１０１（環境試験室２Ａ）の天井面１０１ｔから隙間１０９ｔだけ離れた位置に配置されている。
　カーテンレール１５２は、例えば、アルミニウム合金等で構成されているとよい。支持鋼材１５３やブラケット１５４、ボルト（又はビス）１５５等は、例えば、ステンレス材等で構成されているとよい。
　なお、吊下げ部材１５１の支持部１５１ａは、例えば、図１０Ｃに示す支持部１５１ａａや図１０Ｄに示す支持部１５１ａｂのように変形してもよい。図１０Ｃに示す支持部１５１ａａは、バネによって一部が開閉可能な構造になっている。図１０Ｄに示す支持部１５１ａｂは、取り外し可能なネジとシャフトによって一部が開閉可能な構造になっている。
　図１１Ａに示すように、流路部１０１（環境試験室２Ａ）の床面１０１ｂには、カーテン１０３Ａを固定するフック部１６１が設けられている。カーテン１０３Ａの下端部とフック部１６１には、孔部が設けられている。双方の孔部にゴムバンド１６２が通されることで、カーテン１０３Ａの下端部がフック部１６１に固定される。図１１Ｂに示すように、フック部１６１は、矢印方向に移動可能な埋め込み型の構造になっているとよい。これにより、フック部１６１は、カーテン１０３Ａを固定する場合にだけ床面１０１ｂから引き出して使用し、それ以外の場合に床面１０１ｂに収納することができる。図１１Ｃは、未使用時のゴムバンド１６２の構成を示している。図１１Ａに示すように、ゴムバンド１６２でフック部１６１に固定されたカーテン１０３Ａの下端部は、流路部１０１（環境試験室２Ａ）の床面１０１ｂから隙間１０９ｂだけ離れた位置に配置されている。カーテン１０３Ａは、カーテン１０３Ａ自体の重量や、カーテン１０３Ａに取り付けられる図示せぬ金具の重量、ゴムバンド１６２の収縮力等で上下方向に展開する。そのカーテン１０３Ａの上下方向の展開量に応じて、隙間１０９ｂの間隔が変化する。そのため、環境試験室２Ａは、隙間１０９ｂをカーテン１０３Ａで塞ぐようにすることもできる。
　図９に示すように、カーテン１０３Ａは、実施形態１の整流部材１０３と同様に、素材として、鏡面反射面Ｆ１１と拡散反射面Ｆ１２とを有する輻射断熱材が用いられているとよい。そして、カーテン１０３Ａは、流路部１０１（環境試験室２Ａ）の側壁面１０１ｓとの対向面が鏡面反射面Ｆ１１となり、非対向面が拡散反射面Ｆ１２となるように、設置されるとよい。これにより、本実施形態に係る環境試験室２Ａは、カーテン１０３Ａよりも外側の空間の温度がその内側の空間（測定対象空間）に伝達されることを抑制することができる。
　本実施形態２では、環境試験室２Ａの整流部材がカーテン１０３Ａで構成されている。このような環境試験室２Ａは、中央付近に設けられた設置部１０２に測定対象物ＴＧを搬入する際に、カーテン１０３Ａを展開（移動）したり収納したりすることができる。そのため、設置部１０２への測定対象物ＴＧや光学測定機器の搬入を容易化することができる。
　以上の通り、本実施形態２に係る環境試験室２Ａによれば、実施形態１に係る環境試験室２と同様に、大気圧環境下で高精度な光学測定を行うことができる。
　しかも、本実施形態２に係る環境試験室２Ａによれば、実施形態１に係る環境試験室２に比べて、設置部１０２への測定対象物ＴＧや光学測定機器の搬入を容易化することができる。
　本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、前記した実施形態は、本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、実施形態の構成の一部を他の構成に置き換えることが可能であり、また、実施形態の構成に他の構成を加えることも可能である。また、各構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
　［変形例］
　例えば、前記した実施形態１に係る環境試験室２は、以下の第１乃至第４の変形例のように変形することができる。なお、ここでは説明しないが、実施形態２に係る環境試験室２Ａも、実施形態１に係る環境試験室２と同様に、以下の第１乃至第４の変形例のように変形することができる。
　（第１の変形例）
　図１２Ａ及び図１２Ｂは、第１変形例の環境試験室２Ｂの構成図である。図１２Ａは、第１変形例の環境試験室２Ｂ全体の構成を示しており、図１２Ｂは、図１２Ａの領域Ｒ１１の構成を拡大して示している。
　図１２Ａに示すように、第１変形例の環境試験室２Ｂは、実施形態１に係る環境試験室２（図３参照）と比較すると、流路部１０１の天井面１０１ｔと設置部１０２との間に、板材２０１を備えている点で相違する。板材２０１は、板状の物で構成された、整流部材１０３とは別の整流部材である。図１２Ｂに示すように、板材２０１は、スペーサ２０２を介して流路部１０１の天井面１０１ｔに取り付けられている。板材２０１は、その横幅が２つの整流部材１０３の間隔よりも長くなっており、２つの整流部材１０３の上に配置されている。
　板材２０１は、空調空気の気流方向と平行になるように配置されており、その素材として、輻射断熱材が用いられている。このような第１変形例の環境試験室２Ｂは、天井面１０１ｔからの輻射熱も断熱して、熱が設置部１０２に伝達されないようにすることができる。
　（第２の変形例）
　図１３は、第２変形例の環境試験室２Ｃの構成図である。図１３に示すように、第２変形例の環境試験室２Ｃは、第１変形例の環境試験室２Ｂ（図１２Ａ参照）と比較すると、板材２０１の代わりに、板材２０１ａを備えている点で相違する。板材２０１ａは、板材２０１（図１２Ａ参照）と同様の機能を有する部材である。板材２０１ａは、その横幅が２つの整流部材１０３の間隔よりも短くなっており、２つの整流部材１０３の間に配置されている。
　板材２０１ａは、第１変形例の板材２０１（図１２Ａ参照）と同様に、空調空気の気流方向と平行になるように配置されており、その素材として、輻射断熱材が用いられている。このような第２変形例の環境試験室２Ｃは、第１変形例の環境試験室２Ｂ（図１２Ａ参照）と同様に、天井面１０１ｔからの輻射熱も断熱して、熱が設置部１０２に伝達されないようにすることができる。
　（第３の変形例）
　図１４は、第３変形例の環境試験室２Ｄの構成図である。図１４に示すように、第３変形例の環境試験室２Ｄは、実施形態１に係る環境試験室２（図３参照）と比較すると、整流部材１０３の代わりに、布材２０１ｂを備えている点で相違する。布材２０１ｂは、整流部材１０３と同様の機能を有する別の整流部材である。布材２０１ｂは、吊下げ固定部材２０３によって流路部１０１の天井面１０１ｔに取り付けられており、設置部１０２の両側壁面と天井面とを囲むように配置されている。布材２０１ｂは、空調空気の気流方向と略平行になるように配置されており、その素材として、輻射断熱材が用いられている。このような第３変形例の環境試験室２Ｄは、側壁面１０１ｓからの輻射熱と天井面１０１ｔからの輻射熱とを断熱して、熱が設置部１０２に伝達されないようにすることができる。
　（第４の変形例）
　図１５は、第４変形例の環境試験室２Ｅの構成図である。図１５に示すように、第４変形例の環境試験室２Ｅは、実施形態１に係る環境試験室２（図３参照）と比較すると、整流部材１０３の形状が変更されている点で相違する。すなわち、第４変形例の環境試験室２Ｅでは、整流部材１０３は、設置部１０２の両側壁面と天井面とを囲むように、正面視で逆Ｕ時状に配置されている。整流部材１０３は、空調空気の気流方向と略平行になるように配置されており、その素材として、輻射断熱材が用いられている。このような第４変形例の環境試験室２Ｅは、側壁面１０１ｓからの輻射熱と天井面１０１ｔからの輻射熱とを断熱して、熱が設置部１０２に伝達されないようにすることができる。
　１　　空気調和システム
　２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ，２Ｅ　　環境試験室
　２ｉｎ　　供給口
　２ｏｕｔ　　排出口
　３　　除湿部（除湿手段）
　４　　乾燥空気調温部（乾燥空気調温手段）
　５　　乾燥空気加熱部（乾燥空気加熱手段）
　６　　循環流路
　１１～１４　　バルブ
　１５　　バイパスダクト
　２１　　防振架台
　２２ａ，２２ｂ　　架台
　２３　　バルブ
　３０　　デシカント空調機
　３１，３４，３７　　クーラ
　３２，３５，３８　　温度センサ
　３３，３６，３９　　制御装置
　３０１　　デシカントロータ
　３０２，３０３　　送風機
　３０４　　ヒータ
　４０　　冷却ダクト
　４１　　送風機
　４２　　クーラ（乾燥空気冷却手段）
　４３　　チラー（冷媒冷却手段）
　４７　　タンク
　４８　　ヒータ（冷媒加熱手段）
　４９，６３　　温度センサ
　６１，６２　　制御装置
　５１，５４　　ヒータ
　５２，５６　　温度センサ
　５３，５７　　制御装置
　５５　　蓄熱体
　１０１　　流路部
　１０１ｂ　　床面
　１０１ｔ　　天井面
　１０１ｔｏｐ　　天井パネル
　１０１ｓ　　側壁面
　１０２　　設置部
　１０３　　整流部材
　１０３Ａ　　カーテン（整流部材）
　１０３ｂ　　下端部
　１０３ｔ　　上端部
　１０９ｂ，１０９ｔ　　隙間
　１５１　　吊下げ部材
　１５１ａ，１５１ａａ，１５１ａｂ　　支持部
　１５１ｂ　　ランナー
　１５２　　カーテンレール
　１５３　　支持鋼材
　１５４　　ブラケット
　１５５　　ボルト（又はビス）
　１６１　　フック部
　１６２　　ゴムバンド
　２０１，２０１ａ　　板材（別の整流部材）
　２０１ｂ　　布材（別の整流部材）
　２０２　　スペーサ
　２０３　　吊下げ固定部材
　４０１　　位相シフト干渉計（レーザー干渉計）
　４０２　　マイケルソン干渉計
　４０３　　リフレクタ
　４０４　　センサヘッド
　４０５ａ，４０５ｂ　　光
　Ｆ１１　　鏡面反射面
　Ｆ１２　　拡散反射面
　ＴＧ　　測定対象物

Claims (10)

  1. 　所定風速で所定温度の空調空気が供給される供給口と、
    　前記供給口に対向配置され、前記空調空気が排出される排出口と、
    　前記供給口と前記排出口との間に配置され、前記空調空気が通る流路部と、
    　前記流路部の中央付近に配置され、光学測定の測定対象物が設置される設置部と、
    　前記流路部の側壁面と前記設置部との間に配置され、前記空調空気の気流を整流する整流部材と、を備え、
    　前記流路部の側壁面と前記整流部材は、前記供給口から前記排出口に向かって流れる前記空調空気の気流方向と平行になるように配置されている
    ことを特徴とする環境試験室。
  2. 　請求項１に記載の環境試験室において、
    　前記整流部材の上端部と前記流路部の天井面との間、及び、前記整流部材の下端部と前記流路部の床面との間に、隙間が設けられている
    ことを特徴とする環境試験室。
  3. 　請求項１に記載の環境試験室において、
    　前記整流部材は、展開及び収納が可能なカーテンで構成されている
    ことを特徴とする環境試験室。
  4. 　請求項３に記載の環境試験室において、
    　前記流路部の天井面には、前記カーテンを吊るす吊下げ部材をはめ込んで滑らせるカーテンレールが設けられ、
    　前記流路部の床面には、前記カーテンを固定するフック部が設けられている
    ことを特徴とする環境試験室。
  5. 　請求項１に記載の環境試験室において、
    　前記整流部材の素材として、輻射断熱材が用いられている
    ことを特徴とする環境試験室。
  6. 　請求項１に記載の環境試験室において、
    　前記流路部の天井面と前記設置部との間に配置された別の整流部材を備え、
    　前記別の整流部材は、前記空調空気の気流方向と平行になるように配置されており、
    　前記別の整流部材の素材として、輻射断熱材が用いられている
    ことを特徴とする環境試験室。
  7. 　請求項６に記載の環境試験室において、
    　前記別の整流部材は、板状の物で構成されており、スペーサを介して前記流路部の天井面に取り付けられている
    ことを特徴とする環境試験室。
  8. 　請求項６に記載の環境試験室において、
    　前記別の整流部材は、布状の物で構成されており、吊下げ固定部材によって前記流路部の天井面に取り付けられている
    ことを特徴とする環境試験室。
  9. 　請求項１に記載の環境試験室において、
    　前記整流部材は、前記設置部の両側壁面と天井面とを囲むように、正面視で逆Ｕ時状に配置されている
    ことを特徴とする環境試験室。
  10. 　請求項１に記載の環境試験室と、
    　前記環境試験室の排出口から排出された空調空気を前記環境試験室の供給口に戻す循環流路と、
    　前記循環流路に設けられ、前記空調空気を送風する送風機と、
    　前記循環流路に設けられ、前記空調空気を加熱するヒータと、
    　前記環境試験室の供給口付近に設けられ、前記空調空気を予め設定された設定空気温度まで加熱する蓄熱体と、を備える
    ことを特徴とする空気調和システム。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020218015A1 (ja) * 2019-04-26 2020-10-29 株式会社日立プラントサービス 環境試験室、及び、空気調和システム

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114643084B (zh) * 2022-03-25 2023-06-06 山东交通学院 环形分流加速加载环境舱

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0375542A (ja) * 1989-08-17 1991-03-29 Suga Shikenki Kk 促進耐光試験方法
JP2000346787A (ja) * 1999-06-03 2000-12-15 Suga Test Instr Co Ltd 耐候試験機
JP2007003107A (ja) * 2005-06-24 2007-01-11 Airtech Japan Ltd 局所空間を精密に温度制御するための空調システム
JP2007078286A (ja) * 2005-09-15 2007-03-29 Omron Corp 基板の処理方法及び恒温室

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6189428A (ja) * 1984-10-05 1986-05-07 Hitachi Ltd 温度試験機
JP4287835B2 (ja) 2005-04-06 2009-07-01 株式会社日立製作所 断熱真空冷却容器
US8621945B2 (en) * 2010-11-14 2014-01-07 Kla Tencor Method and apparatus for improving the temperature stability and minimizing the noise of the environment that encloses an interferometric measuring system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0375542A (ja) * 1989-08-17 1991-03-29 Suga Shikenki Kk 促進耐光試験方法
JP2000346787A (ja) * 1999-06-03 2000-12-15 Suga Test Instr Co Ltd 耐候試験機
JP2007003107A (ja) * 2005-06-24 2007-01-11 Airtech Japan Ltd 局所空間を精密に温度制御するための空調システム
JP2007078286A (ja) * 2005-09-15 2007-03-29 Omron Corp 基板の処理方法及び恒温室

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020218015A1 (ja) * 2019-04-26 2020-10-29 株式会社日立プラントサービス 環境試験室、及び、空気調和システム

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