WO2020183910A1 - 加熱炉およびグラファイトの製造方法 - Google Patents

加熱炉およびグラファイトの製造方法 Download PDF

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closed container
graphite
polymer material
gas
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覚嗣 片山
木村　俊彦
直人 飯塚
貴広 小鉄
雅史 田口
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株式会社カネカ
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    • C01B32/20—Graphite
    • C01B32/205—Preparation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B01J6/008—Pyrolysis reactions
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    • F27B5/06—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
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    • F27B2005/161—Gas inflow or outflow

Definitions

  • the present invention relates to a heating furnace for producing graphite and a method for producing graphite.
  • a heating furnace for producing graphite by firing a polymer material such as polyimide at a high temperature of 2500 ° C. or higher is known.
  • graphite is obtained by carbonizing a film-like polymer material at about 1000 ° C. (preheating) to carbonize it to obtain a carbonized film, and carbonizing the carbonized film produced by the carbonization step at 2500 ° C. It is manufactured through a graphitization step of firing at the above high temperature and graphitizing (graphitizing).
  • Patent Document 1 since the heat treatment temperatures in the carbonization step and the graphitization step are different from each other, heating furnaces having different configurations are used.
  • flammable pyrolysis gas is generated from the polymer material by heat treatment. Therefore, for example, when the same heating furnace is used in the carbonization step and the graphitization step in order to shorten the production time of graphite or to simplify the process, the pyrolysis gas generated in the carbonization step is converted into the graphitization step. Sometimes it adversely affects the heater and insulation of the heating furnace. Specifically, when the heater and the heat insulating material are contaminated by the pyrolysis gas, the temperature inside the heating furnace does not reach a high temperature of 2500 ° C. or higher in the graphitization process, and there is a risk of ignition. Various problems such as shortened life will occur. That is, the present inventor has found that if the same heating furnace is used in the carbonization step and the graphitization step, there is a problem that the above-mentioned various problems occur.
  • One aspect of the present invention is to provide a heating furnace capable of continuously performing a carbonization step and a graphitization step, and a method for producing graphite.
  • the present inventor has a closed container for accommodating the polymer material inside the heating furnace main body, and the pyrolysis gas generated from the polymer material is provided in the closed container.
  • the present invention has been completed by finding that the carbonization step and the graphitization step can be continuously performed by making the heating furnace to which a discharge pipe for discharging to the outside of the heating furnace main body is connected.
  • the heating furnace is a heating furnace for producing graphite from a polymer material, and includes a heating furnace main body for heat-treating the polymer material. It is characterized in that it has a closed container for accommodating the polymer material inside, and a discharge pipe for discharging the thermal decomposition gas generated from the polymer material to the outside of the heating furnace main body is connected to the closed container. ..
  • the closed container needs to be able to withstand the graphitization step, it is preferably made of graphite, for example. It is preferable that the closed container is connected to an introduction pipe into which the inert gas is introduced in order to expel the pyrolysis gas generated inside the container (discharge it to the outside).
  • the method for producing graphite is a method for producing graphite from a polymer material, and a closed container containing the polymer material is placed in a heating furnace main body.
  • the carbonization step to carbonize the polymer material contained in the closed container to obtain a carbonic film the carbonization step to graphitize the carbonic film produced in the carbonization step to obtain graphite, and the graphitization step.
  • the step of taking out the produced graphite from the closed container is included, and at least in the above carbonization step, a discharge step of discharging the thermal decomposition gas generated from the polymer material to the outside of the heating furnace main body is performed, and the above carbonization step is performed. It is characterized by continuously performing the graphitization process.
  • the introduction step it is preferable to perform a discharge pipe attachment step of attaching a discharge pipe for discharging the pyrolysis gas generated from the polymer material to the outside of the heating furnace main body in the closed container.
  • a discharge pipe attachment step it is preferable to carry out an introduction pipe attachment step of attaching an introduction pipe for introducing an inert gas into the closed container.
  • the discharge step it is preferable to carry out the inert gas introduction step of introducing the inert gas into the closed container.
  • the carbonization step and the graphitization step can be continuously performed because the furnace wall, the heater, the heat insulating material and the like are not contaminated by the pyrolysis gas generated in the carbonization step.
  • a heating furnace and a method for producing graphite can be provided. Since the heating furnace can continuously perform the carbonization process and the graphitization process, it is excellent in convenience such as space saving and simplification of the process.
  • the production method does not require an operation of taking out a carbonaceous film between the carbonization step and the graphitization step. Therefore, since it is not necessary to cool the carbonaceous film once, the production time can be shortened, energy can be saved, and graphite can be produced at low cost.
  • the heating furnace according to the embodiment of the present invention is a heating furnace for producing graphite from a polymer material, includes a heating furnace main body for heat-treating the polymer material, and the polymer material is placed inside the heating furnace main body. It has a closed container for accommodating the container, and a discharge pipe for discharging the thermal decomposition gas generated from the polymer material to the outside of the heating furnace main body is connected to the closed container.
  • the heating furnace includes a heating furnace main body 2 formed by assembling a plurality of plate-shaped heat insulating materials in a rectangular parallelepiped shape in a housing 1.
  • the heating furnace main body 2 is provided with a pair of main heaters (heaters) 3 on a pair of side surface portions facing each other inside the heating furnace main body 2.
  • the heating furnace main body 2 is provided with a door portion (not shown) that seals the inside of the heating furnace main body 2 on one of the other side surface portions that are not provided with the main heater 3.
  • the heating furnace main body 2 is provided with a closed container 8 for accommodating the polymer material 10.
  • the closed container 8 is housed inside the heating furnace main body 2 through the door portion.
  • the heating furnace further includes a power feeding unit 4 that supplies electricity to the main heater 3 inside the heating furnace main body 2.
  • the power feeding unit 4 includes a graphite power feeding rod 4a for directly connecting to the main heater 3.
  • the heating furnace uses the flammable thermal decomposition gas (gas containing hydrogen, nitrogen, oxygen, etc.) generated from the polymer material 10 inside the closed container 8 in the heating furnace main body 2.
  • a gas discharge pipe (discharge pipe) 11 for discharging to the outside and a gas introduction pipe (introduction pipe) 12 for introducing an inert gas into the closed container 8 are further provided, if necessary. That is, in the closed container 8, a gas discharge pipe 11 that discharges the flammable pyrolysis gas generated inside the container 8 to the outside of the heating furnace main body 2 and, if necessary, an inert gas are introduced into the gas discharge pipe 11.
  • the gas introduction pipe 12 is connected.
  • the size of the closed container 8 is preferably one size smaller than that of the heating furnace main body 2 so that a larger amount of the polymer material 10 can be accommodated.
  • the closed container 8 is made of graphite or ceramics, and more preferably graphite.
  • the number of closed containers 8 housed in the heating furnace main body 2 is not particularly limited.
  • the closed container 8 and the gas discharge pipe 11 and the gas introduction pipe 12 are preferably connected by a joint. That is, it is preferable that the gas discharge pipe 11 and the gas introduction pipe 12 are connected to the closed container 8 together when the closed container 8 is housed inside the heating furnace main body 2, and the connecting portion thereof is also sealed. Further, the gas discharge pipe 11 and the gas introduction pipe 12 are preferably made of a heat-resistant material. Further, the diameters (inner diameters) of the gas discharge pipe 11 and the gas introduction pipe 12 may be set according to the size of the closed container 8 and the amount of pyrolysis gas generated, and are not particularly limited.
  • connection point of the gas discharge pipe 11 in the closed container 8 is a position that is not blocked by the contained polymer material 10. , It is preferably located below the closed container 8, and more preferably at the bottom surface. Further, it is preferable that the pyrolysis gas is discharged more efficiently, and the connection point of the gas discharge pipe 11 is a position that is not blocked by the polymer material 10 to be accommodated, and the closed container 8 Although it is exemplified that it is located in the central portion of the bottom surface, it may be located in the peripheral portion of the bottom surface. Further, there may be a plurality of connection points of the gas discharge pipe 11. A blower (not shown) such as a blower may be connected to the downstream side of the gas discharge pipe 11 so that the pyrolysis gas can be discharged more smoothly.
  • the connection point of the gas introduction pipe 12 in the closed container 8 may be a position that is not blocked by the polymer material 10 to be accommodated and is a position where the discharge of the pyrolysis gas is promoted by the introduction of the inert gas. It is preferably below the closed container 8 and more preferably at the bottom. Further, it is preferable that the position is where the pyrolysis gas is discharged more efficiently, and the connection point of the gas introduction pipe 12 is a position where it is not blocked by the polymer material 10 to be accommodated, and the closed container 8 is used. Although it is exemplified that it is located at the peripheral portion of the bottom surface, it may be located at the central portion of the bottom surface. Further, there may be a plurality of connection points of the gas introduction pipe 12.
  • connection point of the gas introduction pipe 12 in the closed container 8 may be above the closed container 8 so that the pyrolysis gas discharged by the inert gas can be discharged more smoothly.
  • a cylinder or the like for supplying an inert gas is connected to the upstream side of the gas introduction pipe 12.
  • the number of gas discharge pipes 11 and the number of gas introduction pipes 12 may be set according to the shape and size of the closed container 8, and are not particularly limited, but the gas introduction pipe 12 is thermally decomposed by the introduction of an inert gas. The number may be greater than the number of gas discharge pipes 11 so that gas discharge is promoted from various directions.
  • the heat insulating material forming the heating furnace main body 2 and the main heater 3 provided inside the heating furnace main body 2 are provided. Does not come into contact with the pyrolysis gas generated during the carbonization process. That is, the heat insulating material and the main heater 3 are not contaminated by the pyrolysis gas. Therefore, when the carbonization step and the graphitization step are continuously performed using the same heating furnace, the temperature inside the heating furnace does not reach a high temperature of 2500 ° C. or higher in the graphitization step following the carbonization step, and there is a risk of ignition. , The life of the heater is shortened, and various other problems do not occur. Therefore, the same heating furnace can be used in the carbonization step and the graphitization step.
  • the closed container 8 may contain a plurality of polymer materials 10 in the closed container 8.
  • a pyrolysis gas or an inert gas is generated in one direction. It may be connected to a place where gas flows.
  • you may use a plurality of closed containers.
  • a partition may be provided in the closed container to control the flow of the pyrolysis gas and the inert gas.
  • graphite manufacturing method Since graphite has excellent heat dissipation characteristics, it can be used as a semiconductor element mounted on various electronic devices or electrical devices such as computers, or as a heat dissipation component that dissipates heat generated by various electronic devices or electrical devices. Used.
  • One embodiment of the present invention includes a method of producing graphite (graphite film, graphite sheet, etc.) using the heating furnace.
  • graphite is produced by a so-called polymer pyrolysis method in which a polymer material such as polyimide is heat-treated in an inert gas atmosphere or under reduced pressure.
  • graphite has a carbonization step of heat-treating (preheating) a film-like polymer material at about 1000 ° C. to carbonize it to obtain a carbonaceous film, and a carbonaceous film produced by the carbonization step at 2500 ° C. It is produced through a graphitization step of firing at the above high temperature to graphitize (graphite) and, if necessary, a compression step of compressing the graphitized carbonic film (graphite).
  • the method for producing graphite in one embodiment of the present invention is a method for producing graphite from a polymer material, which is an introduction step of introducing a closed container containing the polymer material into a heating furnace main body, and storing the graphite in the closed container.
  • a discharge step of discharging the thermal decomposition gas generated from the polymer material to the outside of the heating furnace main body is performed, and the above-mentioned carbonization step and the graphitization step are continuously performed. How to do it. That is, in the method for producing graphite according to the embodiment of the present invention, in the carbonization step, a discharge step of discharging the pyrolysis gas generated from the polymer material to the outside of the heating furnace main body is performed, and the carbonization step and graphite are performed. The carbonization process is carried out continuously (without removing the polymer material from the heating furnace).
  • the polymer material is preferably in the form of a film, its shape is not particularly limited. In the following description, the case where the polymer material is in the form of a film will be given as an example.
  • polymer material examples of the film-like polymer material suitable for producing graphite include polyimide, polyamide, polyoxadiazol, polybenzothiazole, polybenzobisthiazole, polybenzoxazole, polybenzobisoxazole, polyparaphenylene vinylene, and poly.
  • Benzothiazole, polybenzobisimidazole, and polythiazole can be mentioned.
  • polyimide is more preferable because it can produce graphite having excellent thermal diffusivity, thermal conductivity, and electrical conductivity.
  • the polymer material may be appropriately selected according to the physical properties required for the graphite to be produced.
  • the introduction step is a step of introducing a closed container containing a film-like (single-leaf), preferably roll-like (long) polymer material (hereinafter referred to as “polymer material film”) into the heating furnace main body. ..
  • a closed container containing a film-like (single-leaf), preferably roll-like (long) polymer material (hereinafter referred to as “polymer material film”) into the heating furnace main body. .
  • the form of the polymer material film housed in the closed container is not particularly limited.
  • the number of roll-shaped polymer material films to be stored in the closed container is not particularly limited.
  • the introduction pipe mounting process for mounting the gas introduction pipe into which the inert gas is introduced is also performed.
  • the carbonization step is a step of heat-treating a polymer material film at about 1000 ° C. to carbonize it to obtain a carbonaceous film.
  • the maximum temperature during the heat treatment is, for example, preferably 500 ° C. to 1800 ° C., more preferably 700 ° C. to 1600 ° C., further preferably 900 ° C. to 1400 ° C., and preferably 1000 ° C. Especially preferable.
  • the rate of temperature rise in the carbonization step is, for example, preferably 0.01 ° C./min to 50 ° C./min, more preferably 0.1 ° C./min to 25 ° C./min, and 0.2 ° C./min. It is more preferably from min to 10 ° C./min, and particularly preferably from 0.5 ° C./min to 5.0 ° C./min.
  • the polymer material film is carbonized in a closed container.
  • the flammable pyrolysis gas generated from the polymer material film by the heat treatment is discharged to the outside of the heating furnace main body by the gas discharge pipe. That is, in one embodiment of the present invention, at least in the carbonization step, a discharge step of discharging flammable pyrolysis gas generated from the polymer material film to the outside of the heating furnace main body is performed.
  • the inert gas when the pyrolysis gas is discharged to the outside of the heating furnace main body by the gas discharge pipe, the inert gas may be introduced into the closed container by the gas introduction pipe to promote the discharge of the pyrolysis gas. That is, in one embodiment of the present invention, in the discharge step, the inert gas introduction step of introducing the inert gas into the closed container may be performed.
  • the holding time in the carbonization step is preferably 2 hours or less, more preferably 5 minutes to 1 hour, and preferably 8 minutes to 30 minutes. More preferred.
  • the carbonization step is terminated and the graphitization step is continuously performed.
  • the graphitization step is a step of calcining a carbonaceous film produced in the carbonization step at a high temperature of 2500 ° C. or higher to graphitize (graphite).
  • the maximum temperature at the time of firing is preferably 2500 ° C. or higher, 2600 ° C. or higher, 2700 ° C. or higher, 2800 ° C. or higher, 2900 ° C. or higher, 3000 ° C. or higher, 3100 ° C. or higher, or 3200 ° C. or higher.
  • the graphitization step is carried out under an atmosphere of an inert gas such as nitrogen, helium or argon, or under reduced pressure.
  • the rate of temperature rise in the graphitization step is, for example, preferably 0.01 ° C./min to 50 ° C./min, more preferably 0.1 ° C./min to 20 ° C./min, and 0.3 ° C. More preferably, it is from / min to 10 ° C./min.
  • the holding time in the graphitization step is preferably 2 hours or less, more preferably 5 minutes to 1 hour, and 8 minutes to 30 minutes. Is even more preferable.
  • the carbonaceous film is graphitized in a closed container.
  • these gases may be discharged from the gas discharge pipe. Further, at this time, the inert gas may be introduced into the closed container by the gas introduction pipe to promote the discharge of these gases.
  • the take-out step is a step of taking out the closed container from the heating furnace main body and taking out the graphite produced in the graphitization step from the closed container.
  • the carbonization step and the graphitization step are continuously performed, there is no need to perform an operation of taking out the carbonaceous film between the carbonization step and the graphitization step, and the graphitization step is performed. It is only necessary to carry out the extraction step of taking out the graphite produced in. Therefore, since it is not necessary to cool the carbonaceous film once, it is possible to shorten the production time and save energy.
  • the compression step performed as needed is a step of compressing the graphite produced in the graphitization step.
  • flexibility can be imparted to the obtained graphite.
  • the graphite produced in the graphitization step can be compressed by a method of compressing in a planar shape by a press or the like, a method of rolling using a metal roller or the like, or the like.
  • the pressing force in the compression step is not particularly limited. Further, although the compression step is performed at room temperature, the temperature is not particularly limited.
  • the present invention can be suitably used for producing graphite.
  • Housing 2 Heating furnace body 3 Main heater (heater) 4 Power supply unit 4a Power supply rod 8 Sealed container 10 Polymer material 11 Gas discharge pipe (discharge pipe) 12 Gas introduction pipe (introduction pipe)

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Abstract

炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行うことができる加熱炉およびグラファイトの製造方法を提供する。加熱炉は、高分子材料からグラファイトを製造する加熱炉であって、高分子材料を熱処理する加熱炉本体（２）を備え、上記加熱炉本体（２）の内部に、高分子材料を収容する密閉容器（８）を有し、上記密閉容器（８）に、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体（２）の外部に排出するガス排出管（１１）が接続されている。

Description

加熱炉およびグラファイトの製造方法
　本発明は、グラファイトを製造する加熱炉およびグラファイトの製造方法に関する。
　一般に、ポリイミド等の高分子材料を２５００℃以上の高温で焼成して、グラファイトを製造する加熱炉が知られている。具体的には、グラファイトは、フィルム状の高分子材料を１０００℃程度で熱処理（予備加熱）し、炭素化して炭素質フィルムを得る炭化工程と、炭化工程で作製された炭素質フィルムを２５００℃以上の高温で焼成して、黒鉛化（グラファイト化）する黒鉛化工程とを経て製造される。そして、特許文献１においては、上記炭化工程と黒鉛化工程とで熱処理する温度が互いに異なるので、互いに構成が異なる加熱炉が使用されている。
日本国公開特許公報「特開平３－７５２１１号公報」
　上記炭化工程においては、熱処理によって高分子材料から可燃性の熱分解ガスが発生する。従って、例えば、グラファイトの製造時間を短縮するためや、工程を簡素化するために、炭化工程と黒鉛化工程とで同じ加熱炉を使用すると、炭化工程で発生した熱分解ガスが、黒鉛化工程時に加熱炉のヒータおよび断熱材に悪影響を及ぼす。具体的には、熱分解ガスによってヒータおよび断熱材が汚染されると、黒鉛化工程において、加熱炉内部の温度が２５００℃以上の高温にならない、発火の危険性が生じる、断熱材やヒータの寿命が短くなる、等の種々の問題が生じることとなる。即ち、本発明者は、炭化工程と黒鉛化工程とで同じ加熱炉を使用すると、上述した種々の問題が生じるという課題があることを見出した。
　本発明の一態様は、炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行うことができる加熱炉およびグラファイトの製造方法を提供することを目的とする。
　本発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、加熱炉本体の内部に、高分子材料を収容する密閉容器を有し、上記密閉容器に、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出管が接続されている加熱炉とすることにより、炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行うことができることを見出して、本発明を完成させた。
　上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る加熱炉は、高分子材料からグラファイトを製造する加熱炉であって、高分子材料を熱処理する加熱炉本体を備え、上記加熱炉本体の内部に、高分子材料を収容する密閉容器を有し、上記密閉容器に、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出管が接続されていることを特徴としている。
　上記密閉容器は、黒鉛化工程に耐え得る必要があるため、例えば黒鉛製であることが好ましい。上記密閉容器には、その内部で発生する熱分解ガスを追い出す（外部に排出する）ために、その内部に不活性ガスを導入する導入管が接続されていることが好ましい。
　また、上記課題を解決するために、本発明の一態様に係るグラファイトの製造方法は、高分子材料からグラファイトを製造する製造方法であって、高分子材料を収容した密閉容器を加熱炉本体に導入する導入工程、密閉容器に収容された高分子材料を炭素化して炭素質フィルムを得る炭化工程、炭化工程で作製された炭素質フィルムを黒鉛化してグラファイトを得る黒鉛化工程、黒鉛化工程で作製されたグラファイトを上記密閉容器から取り出す取出工程、を包含し、少なくとも上記炭化工程では、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出工程を行うと共に、上記炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行うことを特徴としている。
　上記導入工程では、上記密閉容器に、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出管を取り付ける排出管取付工程を行うことが好ましい。上記導入工程では、上記密閉容器に、その内部に不活性ガスを導入する導入管を取り付ける導入管取付工程を行うことが好ましい。上記排出工程では、上記密閉容器に、その内部に不活性ガスを導入する不活性ガス導入工程を行うことが好ましい。
　本発明の一態様によれば、炭化工程で発生した熱分解ガスによって炉壁、ヒータおよび断熱材等の炉内材が汚染されないので、炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行うことができる加熱炉、およびグラファイトの製造方法を提供することができる。当該加熱炉は、炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行うことができるので、省スペース化や工程の簡素化等の利便性に優れる。また、当該製造方法は、炭化工程と黒鉛化工程との間で炭素質フィルムを取り出す操作を行う必要が無い。それゆえ、炭素質フィルムを一旦冷却する必要が無いので、製造時間の短縮、エネルギの節約を図ることができ、グラファイトを安価に製造することができる。
本発明の実施の形態に係る加熱炉の概略の構成を示す正面図である。 上記加熱炉の要部の構成を示す正面図である。 上記加熱炉の要部の構成を示す斜視図である。 本発明の他の実施の形態に係る加熱炉の要部の構成を示す正面図である。
　以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。但し、本発明はこれに限定されるものではなく、記述した範囲内で種々の変更が可能であり、異なる実施の形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施の形態についても、本発明の技術的範囲に含まれる。尚、本明細書においては特記しない限り、数値範囲を表す「Ａ～Ｂ」は、「Ａ以上、Ｂ以下」を意味する。また、「重量」と「質量」は同義語と見なす。
　〔加熱炉〕
　本発明の一実施の形態における加熱炉は、高分子材料からグラファイトを製造する加熱炉であって、高分子材料を熱処理する加熱炉本体を備え、上記加熱炉本体の内部に、高分子材料を収容する密閉容器を有し、上記密閉容器に、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出管が接続されている構成である。
　加熱炉は、図１に示すように、筐体１の中に、板状の複数の断熱材を直方体状に組むことによって形成された加熱炉本体２を備えている。加熱炉本体２は、その内部における互いに対向する一組の側面部に、一対のメインヒータ（ヒータ）３を備えている。そして、加熱炉本体２は、メインヒータ３が備えられていないもう一組の側面部の一方に、加熱炉本体２内部を密閉する扉部（図示しない）を備えている。そして、加熱炉本体２は、その内部に、高分子材料１０を収容する密閉容器８を備えている。密閉容器８は、上記扉部を通じて加熱炉本体２内部に収容される。
　加熱炉は、加熱炉本体２内部のメインヒータ３に電気を供給する給電部４をさらに備えている。上記給電部４は、メインヒータ３と直結するための黒鉛製の給電棒４ａを備えている。
　さらに、加熱炉は、図１～３に示すように、密閉容器８内部における高分子材料１０から発生する可燃性の熱分解ガス（水素、窒素、酸素等を含むガス）を加熱炉本体２の外部に排出するガス排出管（排出管）１１、および、必要に応じて、密閉容器８内部に不活性ガスを導入するガス導入管（導入管）１２をさらに備えている。即ち、上記密閉容器８には、その内部で発生する可燃性の熱分解ガスを加熱炉本体２の外部に排出するガス排出管１１、並びに、必要に応じて、その内部に不活性ガスを導入するガス導入管１２が接続されている。
　密閉容器８の大きさは、高分子材料１０をより多く収容することができるように、加熱炉本体２よりも一回り小さい大きさであることが好ましい。上記密閉容器８は、黒鉛製またはセラミックス製であり、黒鉛製がより好ましい。尚、加熱炉本体２に収容する密閉容器８の個数は、特に限定されない。
　密閉容器８とガス排出管１１およびガス導入管１２とは、ジョイントによる接続が好適である。即ち、ガス排出管１１およびガス導入管１２は、加熱炉本体２内部に密閉容器８を収容したとき、一緒に密閉容器８に接続され、その接続部分も密閉されることが好ましい。また、ガス排出管１１およびガス導入管１２は、耐熱性を有する材質で形成されていることが好ましい。さらに、ガス排出管１１およびガス導入管１２の口径（内径）は、密閉容器８の大きさや熱分解ガスの発生量に応じて設定すればよく、特に限定されない。
　熱処理によって高分子材料１０から発生する熱分解ガスが雰囲気ガスよりも重い場合には、密閉容器８におけるガス排出管１１の接続箇所は、収容する高分子材料１０によって塞がれない位置であって、当該密閉容器８の下方にあることが好ましく、底面にあることがより好ましい。また、熱分解ガスがより効率的に排出される位置であることが好ましく、ガス排出管１１の接続箇所は、収容する高分子材料１０によって塞がれない位置であって、当該密閉容器８の底面の中央部分にあることが例示されるものの、底面の周縁部分にあっても構わない。さらに、ガス排出管１１の接続箇所は、複数あってもよい。上記ガス排出管１１の下流側には、熱分解ガスの排出がより円滑に行われるように、ブロワ等の送風機（図示しない）が接続されていてもよい。
　密閉容器８におけるガス導入管１２の接続箇所は、収容する高分子材料１０によって塞がれない位置であって、不活性ガスの導入によって熱分解ガスの排出が促進される位置であればよく、当該密閉容器８の下方にあることが好ましく、底面にあることがより好ましい。また、熱分解ガスがより効率的に排出される位置であることが好ましく、ガス導入管１２の接続箇所は、収容する高分子材料１０によって塞がれない位置であって、当該密閉容器８の底面の周縁部分にあることが例示されるものの、底面の中央部分にあっても構わない。さらに、ガス導入管１２の接続箇所は、複数あってもよい。不活性ガスによる熱分解ガスの排出がより円滑に行われるように、密閉容器８におけるガス導入管１２の接続箇所は、当該密閉容器８の上方にあってもよい。上記ガス導入管１２の上流側には、不活性ガスを供給するボンベ等が接続されている。
　ガス排出管１１の本数およびガス導入管１２の本数は、密閉容器８の形状や大きさに応じて設定すればよく、特に限定されないものの、ガス導入管１２は、不活性ガスの導入によって熱分解ガスの排出が様々な方向から促進されるように、ガス排出管１１の本数より多くしてもよい。
　上記構成によれば、ガス排出管１１を通じて熱分解ガスが加熱炉本体２の外部に排出されるので、加熱炉本体２を形成する断熱材、および、加熱炉本体２内部に備えられるメインヒータ３は、炭化工程時に発生する熱分解ガスと殆ど接触しない。即ち、断熱材およびメインヒータ３は、熱分解ガスによって汚染されない。従って、同じ加熱炉を使用して炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行う場合、炭化工程に続く黒鉛化工程において、加熱炉内部の温度が２５００℃以上の高温にならない、発火の危険性が生じる、ヒータの寿命が短くなる、等の種々の問題が生じることはない。それゆえ、炭化工程と黒鉛化工程とで同じ加熱炉を使用することができる。
　さらに、同じ加熱炉を使用して炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行う場合、炭化工程と黒鉛化工程との間で炭素質フィルムを取り出す操作を行う必要が無い。それゆえ、炭素質フィルムを一旦冷却する必要が無いので、製造時間の短縮、エネルギの節約を図ることができる。
　尚、図４に示すように、密閉容器８は、その内部に高分子材料１０を複数収容してもよい。この場合には、密閉容器８におけるガス排出管１１およびガス導入管１２の接続箇所は、収容する高分子材料１０同士の間にあることが例示されるものの、一方向に熱分解ガスや不活性ガスが流れるような箇所に接続してもよい。また、密閉容器は、複数用いてもよい。さらに、密閉容器内に仕切りを設けて、熱分解ガスや不活性ガスの流れを制御してもよい。
　〔グラファイトの製造方法〕
　グラファイトは、優れた放熱特性を有していることから、コンピュータ等の各種電子機器または電気機器に搭載されている半導体素子、或いは、各種電子機器または電気機器が発する熱を放熱する放熱部品等として用いられる。本発明の一実施形態には、上記加熱炉を用いてグラファイト（グラファイトフィルム、グラファイトシート等）を製造する方法が含まれる。
　一般に、グラファイトは、ポリイミド等の高分子材料を不活性ガス雰囲気下または減圧下で熱処理する、いわゆる高分子熱分解法で製造される。具体的には、グラファイトは、フィルム状の高分子材料を１０００℃程度で熱処理（予備加熱）し、炭素化して炭素質フィルムを得る炭化工程と、炭化工程で作製された炭素質フィルムを２５００℃以上の高温で焼成して、黒鉛化（グラファイト化）する黒鉛化工程と、必要に応じて、黒鉛化した炭素質フィルム（グラファイト）を圧縮する圧縮工程と、を経て製造される。
　本発明の一実施の形態におけるグラファイトの製造方法は、高分子材料からグラファイトを製造する製造方法であって、高分子材料を収容した密閉容器を加熱炉本体に導入する導入工程、密閉容器に収容された高分子材料を炭素化して炭素質フィルムを得る炭化工程、炭化工程で作製された炭素質フィルムを黒鉛化してグラファイトを得る黒鉛化工程、黒鉛化工程で作製されたグラファイトを上記密閉容器から取り出す取出工程、を包含し、少なくとも上記炭化工程では、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出工程を行うと共に、上記炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行う方法である。即ち、本発明の一実施の形態におけるグラファイトの製造方法では、上記炭化工程において、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出工程を行うと共に、上記炭化工程と黒鉛化工程とを連続して（高分子材料を加熱炉から取り出さずに）行う。また、高分子材料は、フィルム状であることが好ましいものの、その形状は特に限定されない。尚、以下の説明においては、高分子材料がフィルム状である場合を例に挙げることとする。
　（高分子材料）
　グラファイトの製造に好適なフィルム状の高分子材料としては、例えば、ポリイミド、ポリアミド、ポリオキサジアゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリベンゾビスチアゾール、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、ポリパラフェニレンビニレン、ポリベンゾイミダゾール、ポリベンゾビスイミダゾール、およびポリチアゾールが挙げられる。特に、ポリイミドは、熱拡散率、熱伝導率、および電気伝導度に優れたグラファイトを製造することができるのでより好ましい。尚、高分子材料は、製造するグラファイトに求められる物性に応じて適宜選択すればよい。
　（導入工程）
　導入工程は、フィルム状（枚葉）、好ましくはロール状（長尺）の高分子材料（以下、「高分子材料フィルム」と記す）を収容した密閉容器を加熱炉本体に導入する工程である。但し、密閉容器に収容する高分子材料フィルムの形態は特に限定されない。また、密閉容器に収容するロール状の高分子材料フィルムの個数も特に限定されない。
　さらに、上記導入工程では、上記密閉容器に、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出するガス排出管を取り付ける排出管取付工程、並びに、上記密閉容器に、その内部に不活性ガスを導入するガス導入管を取り付ける導入管取付工程も合わせて行う。
　（炭化工程）
　炭化工程は、高分子材料フィルムを１０００℃程度で熱処理し、炭素化して炭素質フィルムを得る工程である。熱処理時の最高温度は、例えば、５００℃～１８００℃であることが好ましく、７００℃～１６００℃であることがより好ましく、９００℃～１４００℃であることがさらに好ましく、１０００℃であることが特に好ましい。
　炭化工程における昇温速度は、例えば、０．０１℃／分～５０℃／分であることが好ましく、０．１℃／分～２５℃／分であることがより好ましく、０．２℃／分～１０℃／分であることがさらに好ましく、０．５℃／分～５．０℃／分であることが特に好ましい。
　炭化工程では、高分子材料フィルムを密閉容器に収容された状態で炭化する。熱処理によって高分子材料フィルムから発生する可燃性の熱分解ガスは、ガス排出管によって加熱炉本体の外部に排出される。即ち、本発明の一実施形態において、少なくとも上記炭化工程では、高分子材料フィルムから発生する可燃性の熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出工程を行う。
　また、熱分解ガスが、ガス排出管によって加熱炉本体の外部に排出されるとき、ガス導入管によって密閉容器の内部に不活性ガスを導入し、熱分解ガスの排出を促進してもよい。即ち、本発明の一実施形態において、上記排出工程では、上記密閉容器に、その内部に不活性ガスを導入する不活性ガス導入工程を行ってもよい。
　炭化工程での保持時間、具体的には上記最高温度での保持時間は、２時間以内であることが好ましく、５分間～１時間であることがより好ましく、８分間～３０分間であることがさらに好ましい。但し、上記熱分解ガスが実質的に排出されなくなった時点で、炭化工程を終了し、連続的に黒鉛化工程に移行する。
　（黒鉛化工程）
　黒鉛化工程は、炭化工程で作製された炭素質フィルムを２５００℃以上の高温で焼成して、黒鉛化（グラファイト化）する工程である。焼成時の最高温度は、好ましくは、２５００℃以上、２６００℃以上、２７００℃以上、２８００℃以上、２９００℃以上、３０００℃以上、３１００℃以上、または３２００℃以上である。黒鉛化工程は、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下、または減圧下で行われる。
　黒鉛化工程における昇温速度は、例えば、０．０１℃／分～５０℃／分であることが好ましく、０．１℃／分～２０℃／分であることがより好ましく、０．３℃／分～１０℃／分であることがさらに好ましい。
　黒鉛化工程での保持時間、具体的には上記最高温度での保持時間は、２時間以内であることが好ましく、５分間～１時間であることがより好ましく、８分間～３０分間であることがさらに好ましい。
　黒鉛化工程では、炭素質フィルムを密閉容器に収容された状態で黒鉛化する。高分子材料フィルムに含まれていた無機物が気化したガス、密閉容器から昇華した黒鉛等が発生する場合には、これらガスをガス排出管から排出してもよい。また、このとき、ガス導入管によって密閉容器の内部に不活性ガスを導入し、これらガスの排出を促進してもよい。
　（取出工程）
　取出工程は、加熱炉本体から密閉容器を取り出すと共に、黒鉛化工程で作製されたグラファイトを上記密閉容器から取り出す工程である。本発明の一実施の形態においては、上記炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行うので、炭化工程と黒鉛化工程との間で炭素質フィルムを取り出す操作を行う必要が無く、黒鉛化工程で作製されたグラファイトを取り出す取出工程を行うだけでよい。それゆえ、炭素質フィルムを一旦冷却する必要が無いので、製造時間の短縮、エネルギの節約を図ることができる。
　（圧縮工程）
　必要に応じて行われる圧縮工程は、黒鉛化工程で作製されたグラファイトを圧縮する工程である。圧縮工程を行うことにより、得られるグラファイトに柔軟性を付与することができる。圧縮工程では、プレス等によって面状に圧縮する方法、金属ローラ等を用いて圧延する方法等によって黒鉛化工程で作製されたグラファイトを圧縮することができる。圧縮工程における押圧力は特に限定されない。また、圧縮工程は室温で行われるものの、温度は特に限定されない。
　上記方法によれば、炭化工程と黒鉛化工程との間で炭素質フィルムを取り出す操作を行う必要が無い。それゆえ、炭素質フィルムを一旦冷却する必要が無いので、製造時間の短縮、エネルギの節約を図ることができ、グラファイトを安価に製造することができる。
　本発明は、グラファイトの製造に好適に利用することができる。
　　１　筐体
　　２　加熱炉本体
　　３　メインヒータ（ヒータ）
　　４　給電部
　　４ａ　給電棒
　　８　密閉容器
　１０　高分子材料
　１１　ガス排出管（排出管）
　１２　ガス導入管（導入管）

Claims (7)

  1. 　高分子材料からグラファイトを製造する加熱炉であって、
    　高分子材料を熱処理する加熱炉本体を備え、
    　上記加熱炉本体の内部に、高分子材料を収容する密閉容器を有し、
    　上記密閉容器に、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出管が接続されている、加熱炉。
  2. 　上記密閉容器は黒鉛製である、請求項１に記載の加熱炉。
  3. 　上記密閉容器に、その内部に不活性ガスを導入する導入管が接続されている、請求項１または２に記載の加熱炉。
  4. 　高分子材料からグラファイトを製造する製造方法であって、
    　高分子材料を収容した密閉容器を加熱炉本体に導入する導入工程、
    　密閉容器に収容された高分子材料を炭素化して炭素質フィルムを得る炭化工程、
    　炭化工程で作製された炭素質フィルムを黒鉛化してグラファイトを得る黒鉛化工程、
    　黒鉛化工程で作製されたグラファイトを上記密閉容器から取り出す取出工程、
    を包含し、
    　少なくとも上記炭化工程では、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出工程を行うと共に、上記炭化工程と黒鉛化工程とを連続して行う、グラファイトの製造方法。
  5. 　上記導入工程では、上記密閉容器に、高分子材料から発生する熱分解ガスを加熱炉本体の外部に排出する排出管を取り付ける排出管取付工程を行う、請求項４に記載のグラファイトの製造方法。
  6. 　上記導入工程では、上記密閉容器に、その内部に不活性ガスを導入する導入管を取り付ける導入管取付工程を行う、請求項４または５に記載のグラファイトの製造方法。
  7. 　上記排出工程では、上記密閉容器に、その内部に不活性ガスを導入する不活性ガス導入工程を行う、請求項６に記載のグラファイトの製造方法。
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