WO2020121576A1

WO2020121576A1 - 真空計及びこの真空計を備える圧力測定システム

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Publication number: WO2020121576A1
Application number: PCT/JP2019/027468
Authority: WO
Inventors: 貴伸佐藤; 豊昭中島; 宮下　剛; 万沙洋福原; 秀樹吉澤
Original assignee: 株式会社アルバック
Priority date: 2018-12-12
Filing date: 2019-07-11
Publication date: 2020-06-18
Also published as: KR20200072438A; TW202022338A; JP6609728B1; CN110940456B; EP3667280A1; TWI693383B; EP3667280B1; CN110940456A; JPWO2020121576A1; US10670486B1; US20200191677A1

Abstract

簡便に設定値を設定、変更できるように構成した真空計及びこの真空計を備える圧力測定システムを提供する。　測定対象物Ｖｃに装着される本体１を有してその内部の圧力を測定する真空計ＰＧは、本体内に、電力供給を受けて作動するセンサ部２０と、センサ部の作動を制御すると共に、このセンサ部からの入力を処理して所定の信号を出力する制御部３０と、外部電源４１から電力供給を受けて制御部とセンサ部に電力供給する第１電源回路部４０とを備え、本体内に、端末機Ｍｔに有線または無線により接続されてこの端末機から電力供給を受けて少なくとも制御部に電力供給する第２電源回路部５０と、第１電源回路部と第２電源回路部とのいずれか一方を介して制御部に電力供給されると、端末機に通信回線６１を介して通信自在に制御部を接続する通信回路部６０とを更に備える。

Description

真空計及びこの真空計を備える圧力測定システム

　本発明は、測定対象物に装着される本体を有してその内部の圧力を測定する真空計及びこの真空計を備える圧力測定システムに関する。

　従来から、真空を利用する装置や器具においては、大気圧より低い圧力（真空度）を測定するために、圧力領域や使用環境に応じて、測定原理の異なる様々な真空計が利用されている。シリコンウエハやガラス基板などの被処理基板に所定の真空処理を施す真空処理装置に利用されるピラニ真空計を例に説明すると、ピラニ真空計は、測定対象物としての真空処理装置の真空チャンバに装着自在な本体を備え、この本体内には、電力供給を受けて作動するセンサ部と、センサ部の作動を制御すると共に、このセンサ部からの入力を処理して所定の信号を出力する制御部と、外部電源から電力供給を受けて制御部とセンサ部に電力供給する電源回路部とが設けられている（例えば、特許文献１参照）。このようなピラニ真空計の中には、高真空排気用ポンプ、ガス流量調整弁やゲートバルブといった真空処理装置を構成する可動部品の作動を決める設定値（セットポイント）を記憶できるものがあり、センサ部からの入力と設定値とに応じて、真空処理装置の装置本体の制御ユニットなどに対して特定の信号を出力するようになっている。このような設定値は、一般に、ピラニ真空計の本体に設けた設定ボタンやポテンションメータなどで適宜変更できるようになっている。

　ここで、上記真空計は、通常、装置本体から電力供給（例えば、ＤＣ２４Ｖ）を受けて作動する。このため、真空処理装置の組立、設置時には、電力供給を受けていないことから、真空計に対し、例えば設定値（セットポイント）の設定、変更などの作業を何らすることができないという問題がある。他方で、装置本体から電力供給を受けた後、設定値（セットポイント）を設定、変更する場合においても、真空処理装置の狭い作業スペースにてセンサ部の出力の変化をみながら、ポテンションメータなどを操作することが必要になる場合があり、その作業に大変手間がかかる。しかも、故障により新たな真空計に交換する際には、新たな真空計に対して既存の設定値を移行（設定）する必要があるが、上記のようにして設定値（セットポイント）の設定、変更を行うのでは、人為的ミスを生じ易いという問題がある。

特開２０１２－２６９９５号公報

　本発明は、以上の点に鑑みなされたものであり、簡便に設定値を設定、変更できるように構成した真空計及びこの真空計を備える圧力測定システムを提供することをその課題とするものである。

　上記課題を解決するために、測定対象物に装着される本体を有してその内部の圧力を測定する本発明の真空計は、本体内に、電力供給を受けて作動するセンサ部と、センサ部からの入力を処理して所定の信号を出力する制御部と、外部電源から電力供給を受けて制御部とセンサ部に電力供給する第１電源回路部とを備え、本体内に、端末機に有線または無線により接続されてこの端末機から電力供給を受けて少なくとも制御部に電力供給する第２電源回路部と、第１電源回路部と第２電源回路部とのいずれか一方を介して制御部に電力供給されると、端末機に通信回線を介して通信自在に制御部を接続する通信回路部とを更に備えることを特徴とする。なお、本発明において、第１電源回路部は、制御部とセンサ部とに夫々所定電圧の電力を供給するものでも、または、制御部のみに電力供給し、制御部を介してセンサ部に電力供給されるものでもよい。

　本発明においては、前記本体内に、第１電源回路部と第２電源回路部との間で電力供給を切り換える切換回路部を更に備え、切換回路部は、その入力電圧に応じて第１電源回路部と第２電源回路部とのいずれか一方を選択することが好ましい。また、前記制御部に、センサ部からの入力に応じて特定の信号を出力するための設定値を記憶する記憶部を備える構成を採用してもよい。

　また、上記課題を解決するために、上記真空計と、通信回線を介して通信自在に制御部に接続可能であると共に、前記第２電源回路部に有線または無線による電力供給が可能な端末機とを有する本発明の圧力測定システムは、端末機が、前記端末機と前記真空計との通信接続状態にて、前記真空計の制御部から稼働情報を受信してその稼働情報を報知する報知手段を有することを特徴とする。この場合、前記端末機は、前記端末機と前記真空計との通信接続状態にて、前記真空計の制御部に操作情報を送信でき、この操作情報に、前記記憶部に記載された、センサ部からの入力に応じて特定の信号を出力するための設定値を含むことが好ましい。

　以上によれば、例えば真空計の本体にＵＳＢポートを設け、ＵＳＢケーブルを介して真空計と、スマートフォン、タブレットやパソコンといった真空計の利用者が所有する端末機とを接続すれば、外部電源以外の端末機から少なくとも真空計の制御部に対して電力供給できる。このため、真空計が真空処理装置に利用されるような場合に、装置本体からの電力供給（例えば、ＤＣ２４Ｖ）を待つことなく、端末機から電力供給（一般には、ＤＣ５Ｖ）して、設定値（セットポイント）、測定感度や、測定しようとするガス種（窒素、酸素や大気等）の設定、変更などの作業を行うことができる。しかも、第１電源回路部と第２電源回路部とのいずれか一方を介して制御部に電力供給されると、端末機に通信回線を介して通信自在に制御部が接続されるため、端末機からの操作で上記作業を行うこともできる。これにより、真空処理装置の立ち上げ時間の短縮に寄与でき、有利である。また、装置本体から電力供給を受けた後において、センサ部の出力変化を稼働情報として端末機に送信し、端末機が有するディスプレイやスピーカーを報知手段としてこの稼働情報を表示し、または音声出力すれば、設定値（セットポイント）の設定、変更などの作業を簡素化でき、有利である。この場合、一旦設定した設定値を端末機に記憶させておけば、故障により新たな真空計に交換した後、新たな真空計に対して既存の設定値を移行する際、端末機と真空計とを通信自在に接続し、端末機に記憶されている設定値を送信するだけでよく、人為的ミスの発生を可及的に抑制することができる。

　更に、センサ部の出力に応じた測定対象物内の圧力（真空度）や、センサ部の使用時間、センサ部の推定寿命などの稼働情報を端末機に送信し、これを報知手段が報知することで、例えば圧力値を指示するためのディスプレイを真空計本体やそのコントローラに設けることを省略でき、コストダウンを図ることができる。なお、従来の真空計では、センサ部（測定子）を本体から取り外して故障判断を行っていたが、例えばフィラメント電流（または電圧）や指示圧力を稼働情報として取得すれば、予め実験的に求めたものとの比較で簡単にセンサ部の故障判断ができる。

本実施形態の真空計をピラニ真空計としたときの本実施形態の圧力測定システムの構成を示す外観図。（ａ）は、図１のピラニ真空計の検出回路図であり、（ｂ）は、その内部構成のブロック図。端末機の操作状況を説明する図。

　以下、図面を参照して、測定対象物を真空処理装置の真空チャンバＶｃ、この真空チャンバＶｃに装着される真空計をピラニ真空計ＰＧとした場合を例に本発明の真空計ＰＧ及びこの真空計を備える圧力測定システムＭＳの実施形態を説明する。

　図１及び図２を参照して、ピラニ真空計ＰＧは本体１を備え、その一側面には、真空チャンバＶｃへの装着を可能とするフランジ２ａを備える、後述のセンサ部の構成要素である管体センサ２が設けられている。管体センサ２は、図２（ａ）に示すように、例えば白金製のフィラメント２１を有する。他方、本体１内には、図２（ｂ）に示すように、電力供給を受けて作動するセンサ部２０と、センサ部２０に電力供給すると共に、センサ部２０からの入力を処理して所定の信号を出力する、マイクロコンピュータやメモリを備える制御部３０と、真空処理装置の装置本体の主電源（外部電源）４１から電力供給を受けて制御部３０に電力供給する第１電源回路部４０とを備える。この場合、本体１の他側面には、主電源４１からの電力ケーブル（図示せず）や、装置本体の制御ユニット（図示せず）との通信を可能とする通信ケーブル（図示せず）を接続するための接続用コネクタ１１が設けられている。なお、制御部３０や第１電源回路部４０としては公知のものが利用できるため、詳細な説明は省略する。

　センサ部２０は、図２（ａ）に示すように、検出回路２２を有し、検出回路２２は、増幅器（ＯＰアンプ）２２ａと、フィラメント２１と共にブリッジ回路を構成する３個の抵抗２２ｂ～２２ｄとを備え（図２（ａ）参照）、制御部３０によりフィラメント２１に電圧（例えば、５Ｖ）が供給されると共に、増幅器（ＯＰアンプ）２２ａに駆動用の電圧（例えば、１５Ｖ）が供給されるようになっている。圧力の測定時には、制御部３０によりフィラメント２１を通電加熱すると、検出回路２２により、管体センサ２内でフィラメント２１が曝される真空チャンバＶｃ内の圧力に応じて電圧が出力され、これが制御部３０に入力される。なお、検出回路２２における測定原理は公知のものであるため、これ以上の説明は省略する。

　制御部３０は、センサ部２０からの入力を受けると、例えばＡ／Ｄ変換など入力信号を処理して所定の信号を例えば装置本体の制御ユニット、パーソナルコンピュータやディスプレイ等の外部機器（図示せず）に出力し、これに応じて、外部機器は、例えばその圧力を表示できるようになっている。また、制御部３０のメモリには、高真空排気用ポンプ、ガス流量調整弁やゲートバルブといった真空処理装置の可動部品の作動を決める設定値（セットポイント）を予め設定し、記憶させることができるようになっている。設定値（セットポイント）は、一般に、図外の装置本体の制御ユニット等の上位制御装置から通信ケーブルおよび接続用コネクタ１１を経由して、所望する値が制御部３０へ書き込まれ、制御部３０は、センサ部２０からの入力と設定値とに応じて、装置本体の制御ユニットに対して特定の信号を出力する。なお、通信ケーブル経由ではなく、図１に示すように、本体１に例えばポテンションメータ１２を設け、ポテンションメータ１２を介して制御部３０のメモリに対して設定値（セットポイント）を設定、変更できるようになっていても良い。

　ところで、上記ピラニ真空計ＰＧは、主電源４１から電力供給（例えば、ＤＣ２４Ｖ）を受けて作動するので、真空処理装置の組立、設置時の電力供給を受けていない状態では、ピラニ真空計ＰＧに対し、例えば設定値（セットポイント）の設定、変更などの作業を何らすることができない。また、上記のように本体１にポテンショメータ１２を設けた場合でも、ポテンショメータ１２の近傍の目盛り等がある場合は、目盛りに応じた精度での設定は可能であるが、真の値は確認できない。このため、真空処理装置の組立、設置に並行して、ピラニ真空計ＰＧに対し、例えば設定値（セットポイント）の設定、変更などの作業ができることが望まれる。

　そこで、本体１内には、ピラニ真空計ＰＧの利用者が所有するスマートフォン、タブレットやノートパソコンといった電力供給可能な端末機Ｍｔより供給を受けて制御部３０に電力供給する第２電源回路部５０と、第１電源回路部４０と第２電源回路部５０とのいずれか一方を介して制御部３０に電力供給された状態で、端末機Ｍｔに通信回線を介して通信自在に制御部３０を接続する通信回路部６０とが設けられている。本実施形態では、端末機Ｍｔに有線接続できるように、本体１の他側面にＵＳＢポート１３が設けられ、ＵＳＢケーブル１４を介してピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとが接続できるようになっている。

　第２電源回路部５０は、所謂昇降圧回路で構成され、端末機Ｍｔから供給される電圧（例えば、ＤＣ５Ｖ）を制御部３０で要求されるものに昇圧または降圧して電力供給する。なお、昇降圧回路は、昇降圧せず同電位にて絶縁するのみの場合でもよく、また、ノイズ防止の観点からは絶縁型が望ましい。通信回路部６０は、ピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとを通信自在に接続する通信回線６１と、通信回線６１に介設されたリレー等からなるスイッチング素子６２とを備える。第１電源回路部４０と第２電源回路部５０とのいずれか一方から制御部３０への電力供給時、スイッチング素子６２がオンしてピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとが通信回線６１を介して相互通信自在に接続される。なお、第１電源回路部４０から制御部３０に電力供給されるとき、スイッチング素子６２をオフにして相互通信を遮断し、ノイズの影響を小さくしてもよい。なお、ノイズの影響が無視できる場合は、物理的なスイッチング素子６２は不要として、通信回路部は通信回線６１のみで構成されても良い（典型的には有線での通信でない場合に物理的なスイッチング素子６２は不要となり、制御部３０内部の論理的なスイッチで代替される）。

　以上では、端末機Ｍｔと常時通信することを前提としているが、制御部３０に外付けのメモリ８０を接続し（例えばＵＳＢポート１３にＵＳＢメモリを接続する）、このメモリ８０に、センサ部２０から受けた入力を記憶させ、この記憶されたものを、圧力測定終了時などに端末機Ｍｔに送信するようにしてもよく、また、予めメモリ８０に記録した設定値を制御部３０が読み取るようにしてもよい。つまり、メモリ８０を介した間接的な通信でも、同様の機能が実現でき、真空計ＰＧと同数の端末機Ｍｔを用意する必要がなく、簡便性が向上する。更に、メモリ８０を介した間接的な通信を行う場合は、各情報や値（つまりデータ）にタイムスタンプを付加し、各データの時系列関係が把握できるようにすることが望ましい。通信回線６１としては、有線の他、赤外線通信、近距離通信規格であるＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）やＷｉ－Ｆｉ等を利用することもできる。

　また、本体１内には、第１電源回路部４０と第２電源回路部５０との間で制御部３０への電力供給を切り換える切換回路部７０が設けられている。切換回路部７０は、第１電源回路部４０と第２電源回路部５０とに夫々接続された、スイッチングトランジスタ等からなる第１及び第２の両スイッチング素子７１ａ，７１ｂと、第１及び第２の両レベルシフト回路７２ａ，７２ｂとを有し、第１電源回路部４０及び第２電源回路部５０への入力電圧に応じて、第１及び第２のスイッチング素子７１ａ，７１ｂをオンオフ制御して制御部３０に対する電力供給を切り換えるようになっている。具体的には、主電源４１と端末機Ｍｔとの双方から電力供給がある場合、主電源４１と端末機Ｍｔとからの投入電圧をみて、主電源４１側から、ピラニ真空計ＰＧが作動する上で必要な範囲の電圧供給があれば、制御部３０には、主電源４１から電力供給が供給されるようになっている。なお、第１電源回路部４０と第２電源回路部５０とに夫々電力供給された（主電源４１と端末機Ｍｔとから夫々電力供給されている）ときに、端末機Ｍｔに対して不都合な電圧は印加されないように設計されている。また、端末機Ｍｔのみから電力供給されているが、センサ部２０の通常動作に必要な定格電圧が印加されていないような場合には、例えば、制御部３０にて、設定値の設定、変更に必要な回路部分にのみ電力供給するようにしてもよい。

　ところで、主電源４１側から電力供給がある場合には、端末機Ｍｔ側へ充電電流を流せるようにしても良い。このような機能をもつ事で、例えば端末機Ｍｔに替えて、メモリ８０およびＵＳＢバッテリーが、並列回路を成すように構成した上でＵＳＢポート１３へ接続すると、主電源４１が喪失した際にも真空計ＰＧは動作を継続することが出来ると共にデータもメモリ８０へ記録が出来る効果が得られるので、簡便な無停電圧力測定システムをも構築できる。なお、この無停電圧力測定システムの機能を真空計ＰＧへ持たせる場合は、第２電源回路部５０にて供給される電力の電圧降下を検出し、その信号を制御部３０へ伝えることが、更に望ましい。このようにすることで供給される電力が喪失する以前の段階で、警報の発報や、メモリ８０に記録するデータについて終了処理等を行うことが可能となる。

　次に、図３も参照して、端末機Ｍｔをスマートフォンとし、この端末機Ｍｔと上記ピラニ真空計ＰＧとを備える圧力測定システムＭＳについて説明する。端末機Ｍｔには、例えばインターネット回線を介して事業者により運営される図外の管理サーバ機器（ウエブサーバ）にアクセスし、利用者の要求に応じたピラニ真空計ＰＧの作動に関する指令を制御部３０に送信、且つ、制御部３０から送信されてくるピラニ真空計ＰＧの稼働情報を報知するためのアプリケーションソフトウエアを、ダウンロードし、端末機Ｍｔ内部で稼働するオペレーションソフトウエア上で実行可能（インストール）となっている。そして、利用者が端末機Ｍｔにてアプリケーションソフトウエアを起動すると、端末機ＭｔのタッチパネルディスプレイＭｄには、初期画面Ｄｓ１が表示される。なお、図３中、タッチパネルディスプレイの符号Ｍｄは省略している。

　初期画面Ｄｓ１においては、ピラニ真空計ＰＧに対する給電開始用、操作情報用及び稼働情報用の各アイコンＩｃ１，Ｉｃ２，Ｉｃ３が表示される。ＵＳＢケーブル１４を介してピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとを接続した状態で、タッチパネルディスプレイＭｄにて給電開始用アイコンＩｃ１が選択された際には、主電源４１側から、ピラニ真空計ＰＧが作動する上で必要な範囲の電圧供給がない場合、第２のレベルシフト回路７２ｂにより第２のスイッチング素子７１ｂがオンして、第２電源回路部５０を介して制御部３０に所定電圧（例えば、５Ｖ）の電力が供給される。なお、ＵＳＢケーブル１４を介してピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとが接続されると、所定電圧の電力が端末機Ｍｔから第２電源回路部５０に自動的に供給されるようにしてもよい。

　操作情報用アイコンＩｃ２が選択されると、利用者が設定・変更しようとする設定・変更項目を表示する設定・変更画面Ｄｓ２に移動し、その中のいずれかのアイコンＩｃ４を選択すると、このアイコンＩｃ４に応じた操作画面が表示されて設定、変更が可能になる。そして、設定、変更後には、通信回線６１を介してこれが制御部３０に送信される。操作情報としては、真空処理装置の可動部品の作動を決める設定値（セットポイント）、測定感度や、測定しようとするガス種（窒素、酸素や大気等）などが挙げられ、端末機ＭｔのタッチパネルディスプレイＭｄには、操作画面としてのセットポイント用の操作画面Ｄｓ３やガス種選択用の操作画面Ｄｓ４が表示される。タッチパネルディスプレイＭｄの操作画面上で設定、変更されたものは、更新される毎に端末機Ｍｔ内部のメモリに記憶されるようになっている。また、特に図示して説明しないが、設定・変更画面Ｄｓ２の中に、大気圧調整や０点調整などのピラニ真空計ＰＧの校正を行うためのアイコン（図示せず）を表示し、このアイコンが選択されると、これに応じてピラニ真空計ＰＧの制御部３０に送信され、制御部３０の制御により大気圧調整や０点調整などが自動的に行われるようにしてもよい。

　他方、稼働情報アイコンＩｃ３を選択すると、利用者が取得しようとする稼働情報項目を表示する稼働情報選択画面Ｄｓ５に移動し、その中のいずれかのアイコンＩｃ５を選択すると、ピラニ真空計ＰＧの制御部３０からの入力を受けてこのアイコンＩｃ５に応じた取得情報がタッチパネルディスプレイＭｄに取得情報画面が表示される。この場合、端末機Ｍｔに内蔵されたスピーカーから取得情報を音声として出力してもよく、これらの機器が本実施形態の報知手段を構成する。稼働情報としては、測定圧力、センサ部のフィラメント電流（及び／または電圧）や、累積使用時間（フィラメントの推定利用可能時間）などが挙げられ、端末機ＭｔのタッチパネルディスプレイＭｄには、取得情報画面としての測定圧力画面Ｄｓ６が表示される。この場合、測定圧力に関し、経過時間に対する圧力変化をグラフ表示したり、測定時の圧力をアナログメータで併せて表示したりするようにしてもよい。

　また、利用者が、端末機Ｍｔにてアプリケーションソフトウエアを起動し、且つ、ＵＳＢケーブル１４を介してピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとが接続された状態でセンサ部２０に何らかのエラーが発生したと制御部３０が判断したとき、タッチパネルディスプレイＭｄにエラー項目画面Ｄｓ７を表示して、これを利用者に報知するようにしてもよい。エラー項目としては、フィラメントの断線、電源電圧異常、フィラメント電圧または電流異常、累積使用時間などが挙げられる。エラー項目画面Ｄｓ７には、エラー対応用のアイコンＩｃ６を表示させ、このアイコンＩｃ６が選択されると、例えばインターネット回線を介して事業者により運営される図外の管理サーバ機器（ウエブサーバ）にアクセスして、エラーへの対処情報を取得したり、または、交換部品を発注できるようにしてもよい。以下に、圧力測定システムＭＳの操作について具体的に説明する。

　利用者が、主電源４１から電力供給（例えば、ＤＣ２４Ｖ）を受けていない状態でＵＳＢケーブル１４を介してピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとを接続した後、初期画面Ｄｓ１にて給電開始用アイコンＩｃ１を選択すると、第２のレベルシフト回路７２ｂにより第２のスイッチング素子７１ｂがオンして第２電源回路部５０を介して制御部３０に所定電圧（例えば、５Ｖ）の電力が供給されると共に、スイッチング素子６２がオンしてピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとが通信回線６１を介して相互通信自在に接続される。次に、例えば、設定値（セットポイント）を制御部３０に設定する場合、初期画面Ｄｓ１から設定・変更画面Ｄｓ２に移動し、設定・変更画面Ｄｓ２中のアイコンＩｃ４を適宜選択してセットポイント用の操作画面Ｄｓ３を表示させる。この状態で、タッチパネルディスプレイＭｄを操作して設定値（セットポイント）を入力し、図外の送信アイコンを選択すると、これが通信回線６１を介して制御部３０に送信され、ポテンションメータ１２によることなく、制御部３０に対して設定値（セットポイント）が設定される。このときの設定値（セットポイント）は、制御部３０のメモリ及び端末機Ｍｔのメモリに夫々記憶される。端末機Ｍｔに替えてメモリ８０が接続されている場合は、通信回線６１を介して送受信される設定値などのデータはメモリ８０内部にファイル形式等で一時的に保存（テンポラリファイルとして保存）され、制御部３０および端末機Ｍｔはテンポラリファイルを読み書きすることで同様の相互通信自在な状況を実現する。

　次に、利用者が、真空処理装置の稼働後（主電源４１から電力供給された状態）、ピラニ真空計ＰＧから稼働情報を取得する場合には、ＵＳＢケーブル１４を介してピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとを接続すると、第１のスイッチング素子７１ａがオンして切換回路部７０によって主電源４１側からピラニ真空計ＰＧが作動する上で必要な範囲の電圧の電力供給がないと判断されない限り、第１電源回路部４０を介してピラニ真空計ＰＧの制御部３０に所定電圧の電力供給が継続されると共に、スイッチング素子６２がオンして、ピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとが通信回線を介して相互通信自在に接続される。そして、例えば、測定圧力を表示したい場合には、初期画面Ｄｓ１から稼働情報取得画面Ｄｓ５に移動し、取得情報画面としての測定圧力画面Ｄｓ６を表示させる。この場合、測定圧力をスピーカーなどの他の報知手段で報知させることもできる。

　以上の実施形態によれば、ピラニ真空計ＰＧの本体に例えばＵＳＢポート１３を設け、ＵＳＢケーブル１４を介してピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔを接続すれば、外部電源（主電源４１）以外の端末機Ｍｔから少なくとも制御部３０に対して電力供給できると共に、端末機Ｍｔに通信回線６１を介して通信自在に制御部３０が接続される。このため、主電源４１からの電力供給（例えば、ＤＣ２４Ｖ）を待つことなく、端末機Ｍｔから所定電圧の電力を供給して、端末機Ｍｔからの操作によって設定値（セットポイント）、測定感度や、測定しようとするガス種（窒素、酸素や大気等）の設定、変更などの作業を行うことができる。これにより、真空処理装置の立ち上げ時間の短縮に寄与でき、有利である。当然ではあるが、従来機能としての装置本体１の制御ユニット等の上位制御装置から接続用コネクタ１１を経由した設定、変更などの作業も同時並行で可能とすることが望ましい。この場合は、端末機Ｍｔ側において、上位制御装置から送信された値の確認作業が主たる機能となり、結果、上位制御装置を含めた圧力測定システムＭＳの検証を容易とすることができる。

　また、主電源４１から電力供給を受けた後においては、センサ部２０の出力変化を稼働情報として端末機Ｍｔに送信し、端末機ＭｔのタッチパネルディスプレイＭｄやスピーカーによって稼働情報を表示または音声出力させながら、例えばセットポイント用の操作画面Ｄｓ３にて設定値（セットポイント）の設定、変更の作業ができるため、その作業を簡素化でき、有利である。しかも、一旦設定した設定値（セットポイント）が端末機Ｍｔに記憶されているため、故障により新たなピラニ真空計ＰＧに交換した後、新たなピラニ真空計ＰＧに対して既存の設定値を移行する際、端末機Ｍｔとピラニ真空計ＰＧとを通信自在に接続し、端末機Ｍｔに記憶されている設定値を送信するだけで設定値（セットポイント）の再設定ができるため、人為的ミスの発生を可及的に抑制することができる。

　更に、センサ部２０の出力に応じた真空チャンバＶｃの圧力（真空度）や、センサ部２０の使用時間、フィラメントの残寿命などの稼働情報を端末機Ｍｔに送信し、これを報知手段が報知することで、例えば圧力値を指示するためのディスプレイを真空計本体やそのコントローラに設けることを省略でき、コストダウンを図ることができる。なお、従来のピラニ真空計ＰＧでは、センサ部２０（測定子）を本体１から取り外して故障判断を行っていたが、例えばフィラメント電流（または電圧）や指示圧力を稼働情報として取得できるため、予め実験的に求めたものとの比較で簡単にセンサ部２０の故障判断ができる。加えて、端末機Ｍｔに替えて外付けのメモリ８０を利用すれば、同時に多数のピラニ真空計ＰＧの情報を取得する必要がある場合にピラニ真空計ＰＧと同数のメモリ８０を用意すればよく、端末機Ｍｔを同数用意する場合に比べて簡易な圧力測定システムを構築することができる。また、メモリ８０を外部としたため、内部にメモリが存在する圧力測定システムと比べ、情報の取得必要性（情報が不要な場合から情報、つまりメモリを多量に必要とする場合まで）に応じたメモリ８０を用意すればよく、要求度に応じた圧力測定システムを構築することが可能となる。

　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態のものに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変形が可能である。上記実施形態では、ピラニ真空計ＰＧを例に説明したが、これに限定されるものではなく、電力供給を受けて作動するセンサ部や制御部を持つ真空計であれば本発明を適用できる。このような真空計としては、電離真空計、ペニング真空計、サーモカップル真空計、キャパシタンスマノメータ、冷陰極電磁真空計、水晶摩擦真空計や隔膜真空計が挙げられ、また、質量分析計に適用することもできる。

　また、上記実施形態では、電力供給を受けることができる真空処理装置に利用可能なピラニ真空計ＰＧと端末機Ｍｔとを接続する場合を例に説明したが、サーモカップル真空計、キャパシタンスマノメー夕、水晶摩擦真空計などの消費電力が比較的に少ない真空計の場合には、上記圧力測定システムを利用すれば、端末機Ｍｔからの電力供給により真空計を作動させることで携帯型の真空計を実現することができる。これにより、空調、冷蔵システムの配管を真空引きするときや、液化ガスローリーの定期検査などにおいて、前記の各種情報を結び付けることにより、検査を行った証拠としてデータを取得保存することができる。

　ＭＳ…圧力測定システム、ＰＧ…ピラニ真空計（真空計）、Ｍｔ…端末機、Ｖｃ…真空チャンバ（測定対象物）、１…本体、２０…センサ部、２２…検出回路（センサ部）、３０…制御部、４０…第１電源回路部、４１…主電源（外部電源）、５０…第２電源回路部、６０…通信回路部、６１…通信回線。

Claims

　測定対象物に装着される本体を有してその内部の圧力を測定する真空計であって、
　本体内に、電力供給を受けて作動するセンサ部と、センサ部の作動を制御すると共に、このセンサ部からの入力を処理して所定の信号を出力する制御部と、外部電源から電力供給を受けて制御部とセンサ部に電力供給する第１電源回路部とを備えるものにおいて、
　本体内に、端末機に有線または無線により接続されてこの端末機から電力供給を受けて少なくとも制御部に電力供給する第２電源回路部と、第１電源回路部と第２電源回路部とのいずれか一方を介して制御部に電力供給されると、端末機に通信回線を介して通信自在に制御部を接続する通信回路部とを更に備えることを特徴とする真空計。
　前記本体内に、第１電源回路部と第２電源回路部との間で電力供給を切り換える切換回路部を更に備え、切換回路部は、その入力電圧に応じて第１電源回路部と第２電源回路部とのいずれか一方を選択することを特徴とする請求項１記載の真空計。
　前記制御部に、センサ部からの入力に応じて特定の信号を出力するための設定値を記憶する記憶部を備えることを特徴とする請求項１または請求項２記載の真空計。
　請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の真空計と、通信回線を介して通信自在に制御部に接続可能であると共に、前記第２電源回路部に有線または無線による電力供給が可能な端末機とを有する圧力測定システムにおいて、
　端末機は、前記端末機と前記真空計との通信接続状態にて、前記真空計の制御部から稼働情報を受信してその稼働情報を報知する報知手段を有することを特徴とする圧力測定システム。
　前記端末機は、前記端末機と前記真空計との通信接続状態にて、前記真空計の制御部に操作情報を送信でき、この操作情報に、前記記憶部に記載された、センサ部からの入力に応じて特定の信号を出力するための設定値を含むことを特徴とする請求項４記載の圧力測定システム。