CN110940456B - 压力测量系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种具备可简便地设置、改变设定值的真空计的压力测量系统。本发明的压力测量系统(MS)具有：真空计和终端机(Mt)，所述真空计的主体安装在测量对象物上，所述主体内具有：传感器部(20)，其接收电源供给而工作；控制部(30)，其控制传感器部的工作，并处理来自该传感器部的输入，输出规定信号；以及电源电路部(40，50)，将电力供给到控制部和传感器部；所述终端机(Mt)，其可经通信线路(60)与控制部可自由通信地连接，并可通过有线或无线将电力供给到电源电路部。真空计可判断从终端机给该控制部的电力供给，当从终端机对控制部进行电力供给时，真空计的控制部和终端机经通信线路相互可自由通信地连接。

Description

压力测量系统
技术领域
本发明涉及一种具有安装在测量对象物上的主体上并测量其内部压力的真空计的压力测量系统。
背景技术
以往，在利用真空的装置和仪器中，为了测量低于大气压的压力(真空度)，而与压力区和使用环境对应地使用测量原理不同的各种真空计。以在硅晶片和玻璃基板等被处理基板上实施规定的真空处理的真空处理装置中使用的皮拉尼真空计为例进行说明，皮拉尼真空计具有在作为测量对象物的真空处理装置的真空室内可自由安装的主体，该主体内设置有：传感器部，其接收电力供给而工作；控制部，其控制传感器部的工作，并处理来自该传感器部的输入，输出规定信号；以及电源电路部，其从外部电源接收电力供给并向控制部和传感器部供电(例如参照专利文献1)。在这样的皮拉尼真空计中，存在可存储决定高真空排气用泵、气体流量调节阀和闸阀这类构成真空处理装置的可动部件的工作的设定值(设置值)的装置，其根据来自传感器部的输入和设定值，对真空处理装置的装置主体的控制单元等输出特定的信号。这样的设定值通常可通过设置在皮拉尼真空计主体上的设置按钮和电位计等适当改变。
此处，上述真空计通常接收来自装置主体的电力供给(例如DC24V)而工作。因此，在组装、设置真空处理装置时，存在因未接收到电力供给而不能以任何方式对真空计进行例如设定、改变设定值(设置值)等作业的问题。另一方面，在从装置主体接收到电力供给后，即使是在设定、改变设定值(设置值)时，有时也需要在真空处理装置狭窄的作业空间中观察传感器部输出的变化并操作电位计等，该作业耗费大量时间。而且，在由于故障而更换新的真空计时，需要将既有的设定值转移(设置)在新真空计上，但要像上述那样设置、改变设定值(设置值)，存在容易产生人为失误的问题。
现有技术文献
专利文献
【专利文献1】日本专利公开2012-26995号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明是鉴于以上技术问题而完成的，其目的是提供一种可简便地设置、改变设定值的压力测量系统。
解决技术问题的手段
为了解决上述技术问题，本发明的压力测量系统，其特征在于，具有：真空计和终端机，所述真空计的主体安装在测量对象物上，在所述主体内具有：传感器部，其接收电源供给而工作；控制部，其控制传感器部的工作，并处理来自该传感器部的输入，输出规定信号；以及电源电路部，将电力供给到控制部和传感器部；所述终端机，其可经通信线路与控制部自由通信地连接，并可通过有线或无线将电力供给到电源电路部，在所述压力测量系统中，真空计可判断从终端机给该控制部的电力供给，当从终端机对控制部进行电力供给时，真空计的控制部和终端机经通信线路相互可自由通信地连接。
在本发明中，优选地，所述终端机在不接收来自外部的电源供给的状态下，也会通过有线或无线向所述电源电路部进行电力供给，可经所述通信线路向所述真空计的所述控制部发送操作信息；当被安装在测量对象物上测量压力时，控制部根据接收到所述发送的操作信息以及来自传感器部的输入和设定值，输出特定的信号。此时，优选地，所述终端机可存储发送给所述真空计的所述控制部时的所述操作信息，可将该存储的操作信息发送给另一真空计的控制部，再有，也可以是所述操作信息中包含实施大气压调节以及零点调节的信息，真空计在接收到实施大气压调节以及零点调节的操作信息时，在安装到测量对象物上进行压力测量之前，实施大气压调节以及零点调节。
再有，在本发明中，可以在所述控制部上连接外置存储器，也可采用将所述控制部中存储的操作信息存储在该存储器中的结构。进而，所述终端机也可采用具有通知装置，其在该终端机和所述真空计通信连接的状态下从真空计的所述控制部接收运转信息并通知该运转信息的结构。此时，优选所述运转信息中包含从上级控制装置发出的值。
采用上述方式，例如如果在真空计的主体上设置USB端口，经USB线连接真空计和智能手机、平板电脑或个人电脑这类的真空计，即使用者所拥有的终端机的话，可从外部电源以外的终端机至少对真空计的控制部进行电力供给。因此，当在真空处理装置中使用真空计时，可进行无需等待来自装置主体的电力供给(例如DC24V)，而可从终端机进行电力供给(通常是DC5V)，进行设定值(设置值)、测量灵敏度、要测量的气体种类(氮气、氧气、大气等)的设置、变更等作业。而且，在从终端机对真空计的控制部进行电力供给时，控制部通过通信线路可自由通信地与终端机连接，因此可通过来自终端机的操作进行上述作业。由此，可有助于缩短真空处理装置的启动时间，是有利的。再有，在从装置主体接收到电力供给后，将传感器部的输出变化作为运转信息发送给终端机，将终端机具有的显示器、扬声器作为通知装置显示该运转信息，或者如果语音输出，可简化设定值(设置值)的设置、变更等作业，是有利的。此时，如果将设置的设定值暂时存储在终端机中的话，在因故障而更换成新的真空计(另一真空计)后，将既有的设定值转移到新的真空计上时，将终端机和真空计可自由通信地连接，只发送存储在终端机中的设定值即可，可尽量抑制出现人为失误。
进而，将与传感器部的输出对应的测量对象物内的压力(真空度)、传感器部的使用时间、传感器部的预期寿命等运转信息发送给终端机，通知装置通知该运转信息，从而可省略在真空计主体或其控制辊上设置例如用于指示压力值的显示器，实现成本降低。此外，在以往的真空计中，从主体拆下传感器部(测量元件)进行故障判断，但例如如果取得灯丝电流(或电压)、指示压力作为运转信息的话，则通过与预先实验求得的数值相比较，可简便地实现传感器部的故障判断。
附图说明
图1是示出将本实施方式的真空计设置为皮拉尼真空计时本实施方式的压力测量系统的机构的外观图。
图2(a)是图1的皮拉尼真空计的检测电路图，图2(b)是其内部结构的框图。
图3是说明终端机的操作情况的图。
具体实施方式
下面参照附图，以将测量对象物设为真空处理装置的真空室Vc、将安装在该真空室Vc内的真空计设为皮拉尼真空计PG的情况为例，说明本发明的压力测量系统MS的实施方式。
参照图1和图2，皮拉尼真空计PG具有主体1，在其一侧面上设置有作为后述传感器部的构成要件的管体传感器2，其具有可安装到真空室Vc上的凸缘2a。如图2(a)所示，管体传感器2具有例如铂金材质的灯丝21。另一方面，如图2(b)所示，在主体1内具有：传感器部20，其接收电力供给而工作；具有微机和存储器的控制部30，其将电力供给到传感器部20，并对来自传感器部20的输入进行处理，输出规定信号；以及第一电源电路部40，其从真空处理装置的装置主体的主电源(外部电源)41接收电力供给，将电力供给到控制部30。此时，在主体1的另一侧面上，设置有连接用连接器11，其用于连接来自作为外部(电源)的主电源41的电力线缆(未图示)和可与装置主体的控制单元(未图示)通信的通信线缆(未图示)。此外，作为控制部30和第一电源电路部40，可使用公知设备，故省略详细说明。
如图2(a)所示，传感器部20具有检测电路22，检测电路22具有：增幅器(OP放大器)22a；以及三个电阻22b～22d，其与灯丝21共同构成桥接电路(参照图2(a))；通过控制部30给灯丝21供给电压(例如5V)，并给增幅器(OP放大器)22a提供驱动用电压(例如15V)。在测量压力时，如果通过控制部30给灯丝21通电加热，则通过检测电路22，根据在管体传感器2内灯丝21被暴露于真空室Vc内的压力输出电压，将其输入给控制部30。此外，检测电路22的测量原理是公知的，因此省略进一步说明。
控制部30在接收到来自传感器部20的输入时，例如处理A/D转换等输入信号，将规定信号输出给例如装置主体的控制单元，个人计算机和显示器等外部设备(未图示)，相应地，外部设备例如可显示其压力。再有，可预先设置决定高真空排气用泵、气体流量调节阀和闸阀这类的真空处理装置的可动部件的工作的设定值(设置值)，并存储在控制部30的存储器中。对于设定值(设置值)，通常从未图示的装置主体的控制单元等上级控制装置经通信线缆和连接用连接器11，将所希望的值(后述的运转信息)写入控制部30中，控制部30根据来自传感器部20的输入和设定值，将特定的信号输出给装置主体的控制单元。此外，不经由通信线缆，如图1所示，例如也可在主体1上设置电位计12，可经电位计12对控制部30的存储器设置、变更设定值(设置值)。
然而，由于上述皮拉尼真空计PG从主电源41接收电力供给(例如DC24V)而工作，因此在未接收到真空处理装置组装、设置时的电力供给的状态下，不能对皮拉尼真空计PG以任何方式进行例如设定值(设置值)的设置、变更等作业。再有，即使是当如上所述地在主体1上设置了电位器12时，在电位器12附近有刻度的情况下，能以与刻度对应的精度进行设置，但不能确认真实值。因此，需要能与真空处理装置的组装、设置并行地对皮拉尼真空计PG进行例如设定值(设置值)的设置、变更等作业。
因此，主体1内设置有第二电源电路部50和通信电路部60，所述第二电源电路部50通过皮拉尼真空计PG的使用者所拥有的智能手机、平板电脑和个人电脑这类的带有蓄电池等而可独立供给电力的终端机Mt接收供给，将电力供给到控制部30；所述通信电路部60在经第一电源电路部40和第二电源电路部50中的任意一方将电力供给到控制部30的状态下，经通信线路将控制部30可自由通信地连接到终端机Mt上。在本实施方式中，为了可与终端机Mt有线连接而在主体1的另一侧面上设置有USB端口13，经由USB线14皮拉尼真空计PG和终端机Mt可连接。
第二电源电路部50由所谓的升降压电路构成，将由终端机Mt供给的电压(例如DC5V)升压或降压到控制部30所要求的值并进行电力供给。此外，升降压电路可不进行升降压而只是采用同一电位绝缘，再有，从防噪声的观点出发，优选是绝缘型的。通信电路部60具有：通信线路61，其可自由通信地连接皮拉尼真空计PG和终端机Mt；以及开关元件62，其包括插设在通信线路61上的继电器等。在从第一电源电路部40和第二电源电路部50中任意一方对控制部30进行电力供给时，导通开关元件62，经通信线路61使皮拉尼真空计PG和终端机Mt可自由相互通信地连接。此外，也可在从第一电源电路部40向控制部30进行电力供给时，断开开关元件62切断相互通信，减少噪声影响。此外，在可无视噪声影响时，也可不需要物理的开关元件62，通信电路部只由通信线路61构成(典型的是在没有采用有线通信时不需要物理的开关元件62，以控制部30内部的逻辑开关代替)。
以上，是以与终端机Mt随时通信为前提的，但也可设置为连接控制部30上外置的存储器80(例如在USB端口13上连接USB存储器)，在该存储器80上存储从传感器部20接收到的输入，在压力测试结束等时候将该存储的输入发送给终端机Mt，再有，也可设置为(同一或另一真空计PG的)控制部30读取预先记录在存储器80中的设定值。即以经过存储器80的间接通信也能实现相同功能，无需准备真空计PG和同数量的终端机Mt，提高了便利性。进而，在进行经过存储器80间接通信时，优选地，在各信息和值(即数据)上添加时间戳，以便可掌握各数据的时间序列关系。作为通信线路61，除有线外，也可使用红外线通信、短距离通信标准的蓝牙(注册商标)和Wi-Fi等。
再有，在主体1内设置有切换电路部70，其在第一电源电路部40和第二电源电路部50间切换给控制部30的电力供给。切换电路部70具有：分别与第一电源电路部40和第二电源电路部50连接的由开关晶体管等构成的第一开关元件71a和第二开关元件71b；以及第一电平移位电路72a和第二电平移位电路72b；根据给第一电源电路部40和第二电源电路部50的输入电压控制第一开关元件71a和第二开关元件71b的通断，切换对控制部30的电力供给。由此，真空计PG可判断从终端机Mt对该控制部30的电力供给，具体而言，当从主电源41和终端机Mt双方都有电力供给时，观察来自主电源41和终端机Mt的接通电压，如果从主电源41侧有皮拉尼真空计PG工作上所需范围内的电压供给，则从主电源41给控制部30供给电力。此外，当分别对第一电源电路部40和第二电源电路部50供给电力(分别从主电源41和终端机Mt供给电力)时，设计为不施加对终端机Mt不适合的电压。再有，虽然只从终端机Mt供给电力，但在未施加传感器部20通常工作所需的额定电压时，例如只对控制部30上设定值的设置、变更所需的电路部分供给电力。由此，即使终端机Mt在电力供给例如不稳定的状态下和在电压不足时，也能通过选择有线或无线电力供给到电源电路部40，50，或者设置只以控制部30作为电力供给目的地等，选择与需要对应的电路进行供给，来实现压力测量系统整体的稳定，经通信线路60向控制部30发送后述的操作信息。
此外，在上述实施方式中，作为电源电路部，以具有第一电源电路部40和第二电源电路部50的电源电路部为例进行了说明，但并不仅限于此，以与以往例子的皮拉尼真空计一样，即使是具有单一电源电路部的电源电路部也能只对上述控制部30进行电力供给。虽未特别图示说明，但这样的电源电路部通常是通过其电路元件(IC等)来确认(来自外部电源的)输入电压，当该输入电压在规定范围内时，将电力供给到控制部和传感器部，除此之外，使电路元件具有确认电压低于外部电源的来自终端机Mt的输入电压的功能(换言之，施加的电压未达到传感器部通常工作所需的额定电压时)，当该输入电压在规定范围内时，只对控制部供给电力即可。此时，在终端机Mt侧，可适当选择是只对控制部进行电源供给，还是对控制部和传感器部进行电力供给，再有，也可存储该选择。
顺便说一下，当从主电源41侧有电力供给时，也可使充电电流流向终端机Mt侧。利用具有的这样的功能，例如替代终端机Mt，在存储器80和USB电池形成并联电路的基础上连接到USB端口13时，可得到即使是在失去主电源41时，真空计PG也能继续工作，且数据也能记录到存储器80中的效果，因此可构建简便的无停电压力测量系统。此外，当真空计PG具有该无停电压力测量系统的功能时，更优选的，检测第二电源电路部50所供给的电力的电压降低，将该信号传递给控制部30。这样，可在所供给的电力失去之前的阶段进行报警和对记录在存储器80中的数据进行结束处理等。
接着，参照图3，使用智能手机作为终端机Mt，对具有该终端机Mt和上述皮拉尼真空计PG的压力测量系统MS进行说明。在终端机Mt中，例如经因特网线路访问由运营商运营的未图示的管理服务器设备(网络服务器)，下载应用程序软件，可在终端机Mt内部运行的操作软件上执行(安装)，所述应用程序软件用于将与使用者的要求对应的皮拉尼真空计PG的工作所涉及的指令发送给控制部30，且用于通知控制部30发来的皮拉尼真空计PG的运转信息。之后，当使用者在终端机Mt上启动应用程序软件时，在终端机Mt的触控面板显示器Md上显示初始图像Ds1。此外，在图3中省略了触控面板显示器的符号Md。
在初始图像Ds1上显示对皮拉尼真空计PG开始供电用、操作信息用及运转信息用的各图标Ic1，Ic2，Ic3。在经USB线14连接皮拉尼真空计PG和终端机Mt的状态下，当在触控面板显示器Md上选择了开始供电用Ic1时，如果从主电源41侧没有供给皮拉尼真空计PG工作所需范围的电压，则通过第二电平移位电路72b导通第二开关元件71b，经第二电源电路部50向控制部30供给规定电压(例如5V)的电力，导通开关元件62，皮拉尼真空计PG和终端机Mt经通信线路61相互可自由通信地连接。此外，也可设置为在皮拉尼真空计PG和终端机Mt经USB线14连接时，从终端机Mt向第二电源电路部50自动供给规定电压的电力，相互可自由通信。
在选择操作信息用图标Ic2时，移动到显示使用者要设置、变更的设置变更项的设置变更图像Ds2中，当选择其中任意一个图标Ic4时，显示与该图标Ic4对应的操作图像并可进行设置、变更。并且，在设置、变更后，经通信线路61将其发送到控制部30。由此，在将皮拉尼真空计PG安装到真空室Vc内并进行压力测量时，控制部30可根据接收到发送的操作信息和来自传感器部20的输入及设定值而输出特定信号。作为操作信息，例如可举出决定真空处理装置的可动部件的工作的设定值(设置值)，测量灵敏度和要测量的气体种类(氮气、氧气、大气等)等，在终端机Mt的触控面板显示器Md上显示作为操作图像的设置值用的操作图像Ds3和选择气体种类用的操作图像Ds4。在触控面板显示器Md的操作图像上的设置、变更，每次更新都由终端机Mt内部的存储器存储。再有，虽未特别图示说明，但也可以是在设置变更图像Ds2中显示大气压调节和零点调节等的皮拉尼真空计PG的校正用的图标(未图示)，当选择该图标时，与之对应地发送到皮拉尼真空计PG的控制部30，在安装到真空室Vc中进行压力测量之前，通过控制部30的控制，自动进行大气压调节和零点调节等。
另一方面，当选择运转信息图标Ic3时，显示移动到使用者要取得的运转信息项的运转信息选择图像Ds5，当选择其中任意一个图标Ic5时，接收来自皮拉尼真空计PG的控制部30的输入，与图标Ic5对应的取得信息在触控面板显示器Md上显示取得信息图像。此时，也可将取得信息用语音从终端机Mt中内置的扬声器输出，这些设备构成本实施方式的通知装置。作为运转信息，例如有测量压力、传感器部的灯丝电流(和/或电压)和累积使用时间(灯丝的预计可使用时间)等，在终端机Mt的触控面板显示器Md上显示作为取得信息图像的测量压力图像Ds6。此时，关于测量压力，也可将相对于经过时间的压力变化以图表显示，或者将测量时的压力在模拟仪表上一并显示。
再有，在使用者用终端机Mt启动应用程序软件，且在经USB线14连接皮拉尼真空计PG和终端机Mt的状态下，在控制部30判断出传感器部20发生了某些错误时，也可以在触控面板显示器Md上显示错误项图像Ds7，将其通知使用者。作为错误项，例如有灯丝断开、电源电压异常、灯丝电压或电流异常、累积使用时间等。也可以在错误项图像Ds7上显示错误应对用的图标Ic6，当选择该图标Ic6时，例如经因特网线路访问由运营商运营的未图示的管理服务器设备(网络服务器)，取得应对错误的处理信息，或订购更换部件。下面对压力测量系统MS的操作进行具体说明。
在从主电源41没有接收到电力供给(例如DC24V)的状态下，在经USB线14连接皮拉尼真空计PG和终端机Mt后，当使用者在初始图像Ds1上选择开始供电用图标Ic1时，通过第二电平移位电路72b导通第二开关元件71b并且经第二电源电路部50将规定电压(例如5V)的电力供给到控制部30，并导通开关元件62经通信线路使皮拉尼真空计PG和终端机Mt相互可自由通信地连接。接着，例如当在控制部30上设置设定值(设置值)时，从初始图像Ds1移动到设置变更图像Ds2，适当选择设置变更图像Ds2中的图标Ic4，显示设置值用的操作图像Ds3。在该状态下，操作触控面板显示器Md，输入设定值(设置值)，当选择未图示的发送图标时，将其经由通信线路61发送到控制部30，不通过电位计12地对控制部30设置设定值(设置值)。此时的设定值(设置值)分别存储在控制部30的存储器和终端机Mt的存储器内。在连接存储器80代替终端机Mt时，经通信线路61发送和接收的设定值等数据以文件形式等暂时保存(作为临时文件保存)在存储器80内，控制部30和终端机Mt通过读取和写入临时文件实现同样的相互可自由通信的状态。
接着，在真空处理装置运行后(从主电源41供给电力的状态)，当使用者从皮拉尼真空计PG接收到运转信息时，如果经USB线14连接皮拉尼真空计PG和终端机Mt的话，则只要未判断为导通第一开关元件71a且通过切换电路部70从主电源41侧没有皮拉尼真空计PG工作所需范围的电压的电力供给的话，就经第一电源电路部40继续向皮拉尼真空计PG的控制部30进行规定电压的电力供给，并导通开关元件62，经通信线路使皮拉尼真空计PG和终端机Mt相互可自由通信地连接。并且，例如在想要显示测量压力时，从初始图像Ds1移动到运转信息取得图像Ds5，显示作为取得信息图像的测量压力图像Ds6。此时，也可通过扬声器等其他通知装置来通知测量压力。
采用上述实施方式，如果在皮拉尼真空计PG的主体上设置例如USB端口13，经USB线14连接皮拉尼真空计PG和终端机Mt的话，则从外部电源(主电源41)以外的终端机Mt至少可对控制部30进行电力供给，且经通信线路61使控制部30可自由通信地连接终端机Mt。因此，无需等待来自作为外部电源的主电源41的电力供给(例如DC24V)，而是从终端机Mt供给规定电压的电力，可通过来自终端机Mt的操作进行设定值(设置值)、测量灵敏度和要测量气体种类(氮气、氧气和大气等)的设置、变更等作业。从而，有助于缩短真空处理装置的启动时间，是有利的。当然，优选地，也可同时进行从作为以往设备的装置主体1的控制单元等上级控制装置经连接用连接器11的设置、变更等作业。此时，在终端机Mt侧，主要功能是上级控制装置发送的作为运转信息的值的确认作业，结果是可容易地验证包含上级控制装置的压力测量系统MS。
再有，由于在从主电源41接收到电力供给后，将传感器部20的输出变化作为运转信息发送给终端机Mt，通过终端机Mt的触控面板显示器Md或扬声器显示或语音输出运转信息，并可例如在设置值用的操作图像Ds3上进行设定值(设置值)的设置、变更作业，从而可简化该作业，是有利的。且由于暂时设置的设定值(设置值)存储于终端机Mt内，因此在因故障而更换为新的皮拉尼真空计PG后，在将既有的设定值移动到新的皮拉尼真空计PG时，将终端机Mt和皮拉尼真空计PG可自由通信地连接，只通过发送终端机Mt中存储的设定值就可再次设置设定值(设置值)，因此能尽量抑制人为失误的发生。
再有，将与传感器部20的输出对应的真空室Vc的压力(真空度)、传感器部20的使用时间及灯丝的剩余寿命等运转信息发送到终端机Mt，通知装置对其进行通知，由此可省略在真空计主体和其控制器上设置例如用于指示压力值的显示器，可实现降低成本。此外，在以往的皮拉尼真空计PG中，是从主体1拆除传感器部20(测量元件)进行故障判断，但由于可取得例如灯丝电流(或电压)和指示压力作为运转信息，因此通过与预先实验求得的数值比较就可简便地进行传感器部20的故障判断。此外，如果代替终端机Mt而使用外置存储器80的话，则在需要同时取得多个皮拉尼真空计PG的信息时只要准备与皮拉尼真空计PG数量相同的存储器80即可，与准备相同数量的终端机Mt的情况相比，能简便地构建压力测量系统。再有，由于存储器80设置在外部，因此与存储器位于内部的压力测量系统相比，只需准备与信息的取得必要性(从无需信息的情况到需要大量信息即存储器的情况)对应的存储器80即可，可构建与需求度对应的压力测量系统。
上述内容对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不仅限于上述实施方式，只要不脱离本发明主旨，可进行各种变形。在上述实施方式中，虽然以皮拉尼真空计PG为例进行了说明，但并不仅限于此，只要是具有接收电力供给而工作的传感器部和带有控制部的真空计就可适用本发明。作为这样的真空计，例如有电离真空计、潘宁真空计、热电偶真空计、电容压力计、冷阴极电磁真空计、石英摩擦真空计和隔膜真空计，再有，也可适用质量分析器。
再有，在上述实施方式中，以连接在可接受电力供给的真空处理装置上可使用的皮拉尼真空计PG和终端机Mt的情况为例进行了说明，但在采用热电偶真空计、电容压力计、石英摩擦真空计等消耗电力较少的真空计时，如果使用上述压力测量系统的话，可通过来自终端机Mt的电力供给使真空计工作，从而实现便携式的真空计。由此，在将空调、制冷系统的管道抽真空时和液化气货车的定期检查等时候，可通过结合所述的各种信息，作为进行了检查的证据而取得并保持数据。
附图标记说明
MS…压力测量系统、PG…皮拉尼真空计(真空计)、Mt…终端机、Vc…真空室(测量对象物)、1…主体、20…传感器部、22…检测电路(传感器部)、30…控制部、40…第一电源电路部、41…主电源(外部电源)、50…第二电源电路部、60…通信电路部、61…通信线路。

Claims (7)

1.一种压力测量系统，其特征在于：
其具有真空计和终端机，所述真空计的主体安装于测量对象物上，在所述主体内具有：传感器部，其接收电源供给而工作；控制部，其控制传感器部的工作，并处理来自该传感器部的输入，输出规定信号；以及电源电路部，从主电源和所述终端机接收电力将电力供给到控制部和传感器部；所述终端机，其经通信线路与控制部可自由通信地连接，并可通过有线或无线将电力供给到电源电路部；
在所述压力测量系统中，真空计可确认输入电压，如果从所述主电源侧没有所述真空计工作上所需范围内的电压供给，则从所述终端机供给电力，当从终端机经所述电源电路部对控制部进行电力供给时，真空计的控制部和终端机经通信线路相互可自由通信地连接，当来自所述终端机的输入电压在规定范围内时，不对所述传感器部而只对所述控制部供给电力；如果从所述主电源侧有所述真空计工作上所需范围内的电压供给，则从所述主电源经所述电源电路部对所述控制部进行电力供给。
2.根据权利要求1所述的压力测量系统，其特征在于：
所述终端机在不接收来自外部的电源供给的状态下，也会通过有线或无线向所述电源电路部进行电力供给，可经所述通信线路向所述真空计的所述控制部发送操作信息；
当被安装在测量对象物上并测量压力时，控制部根据接收到所述发送的操作信息以及来自传感器部的输入和设定值，输出特定信号。
3.根据权利要求2所述的压力测量系统，其特征在于：
所述终端机可存储发送给所述真空计的所述控制部时的所述操作信息，可将该存储的操作信息发送给另一真空计的控制部。
4.根据权利要求2或3所述的压力测量系统，其特征在于：
所述操作信息中包含实施大气压调节以及零点调节的信息，真空计在接收到实施大气压调节以及零点调节的操作信息时，在安装到测量对象物上并进行压力测量之前，实施大气压调节以及零点调节。
5.根据权利要求1所述的压力测量系统，其特征在于：
所述控制部上可连接外置存储器，可将所述控制部中存储的操作信息存储在该存储器中。
6.根据权利要求1～3中任意一项所述的压力测量系统，其特征在于：
所述终端机具有通知装置，其在该终端机和所述真空计通信连接的状态下从真空计的所述控制部接收运转信息并通知该运转信息。
7.根据权利要求6所述的压力测量系统，其特征在于：
所述运转信息中包含从上级控制装置发出的值。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2603477B (en) * 2021-02-03 2023-07-19 Edwards Ltd Vacuum pressure gauge assembly with light indication
JP7628835B2 (ja) 2021-02-22 2025-02-12 アズビル株式会社 静電容量型センサ
CN114279625B (zh) * 2021-12-03 2024-05-10 北京晨晶电子有限公司 真空度检测电路、真空度检测方法及真空计
CN115752885B (zh) * 2022-11-16 2025-02-14 中国航发动力股份有限公司 一种模块化真空计

Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0569998A (ja) * 1991-09-09 1993-03-23 Smc Corp 真空供給用ユニツト
US5475623A (en) * 1992-07-20 1995-12-12 Balzers Aktiengesellschaft Method for the conversion of a measured signal, a converter as well as a measurement setup and a pirani measuring circuit
WO1999019703A2 (en) * 1997-10-15 1999-04-22 Upkeeper Corporation Collection apparatus for use with blower/vacuum units
JP2003042884A (ja) * 2001-07-30 2003-02-13 Sony Corp 真空測定装置
JP2007012019A (ja) * 2005-05-31 2007-01-18 Teac Corp センサ装置
CN101046423A (zh) * 2006-03-31 2007-10-03 核工业西南物理研究院 具有高抗干扰能力的快响应电离真空计
CN102138070A (zh) * 2009-03-18 2011-07-27 株式会社爱发科 氧气的检测方法、空气泄漏的判别方法、气体成分检测装置以及真空处理装置
CN102374922A (zh) * 2010-07-28 2012-03-14 株式会社爱发科 传感器型真空计及使用传感器型真空计的单晶提升装置
CN102519670A (zh) * 2012-01-05 2012-06-27 北京东方计量测试研究所 真空计电参数检定装置
CN202403867U (zh) * 2011-12-22 2012-08-29 成都兰石低温科技有限公司 数字式真空计
CN102782470A (zh) * 2010-02-12 2012-11-14 株式会社爱发科 传感器型真空计
CN106153246A (zh) * 2015-05-15 2016-11-23 株式会社爱发科 皮拉尼真空计
CN205861280U (zh) * 2016-07-10 2017-01-04 青岛优百宇真空设备股份有限公司 宽量程智能复合真空计
CN206074178U (zh) * 2016-09-26 2017-04-05 安庆师范大学 一种用于真空计显示监测的报警系统
CN206161233U (zh) * 2016-11-19 2017-05-10 殷进华 一种便携式真空度测量装置
CN206546229U (zh) * 2017-01-24 2017-10-10 合肥华瑞真空科技有限公司 一种高精度电阻真空计采样系统

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85200266U (zh) * 1985-04-01 1985-12-20 南京工学院 质谱计与真空计复合电源
KR200276931Y1 (ko) * 2002-02-28 2002-05-27 (주)나다에스앤브이 휴대용 개인정보단말기와 연동하는 계측장치
DE20213196U1 (de) * 2002-08-28 2004-01-15 Campus Micro Technologies Gmbh Vorrichtung zur Messung und Überwachung von auf den menschlichen Körper einwirkenden lokalen Druckbelastungen
ITMI20021944A1 (it) * 2002-09-12 2004-03-13 Getters Spa Metodo, sensore ed apparecchio per misurare il vuoto, nonche'
KR200312926Y1 (ko) * 2003-01-16 2003-05-14 이유성 디지털 압력계
US7313966B2 (en) * 2004-12-14 2008-01-01 Brooks Automation, Inc. Method and apparatus for storing vacuum gauge calibration parameters and measurement data on a vacuum gauge structure
KR20070101069A (ko) * 2006-04-11 2007-10-16 문병래 디지털 파형 측정이 가능한 모바일 측정기
JP5745205B2 (ja) * 2008-08-22 2015-07-08 木村　光照 加熱励振を利用した熱伝導型気圧センサ
DE102008054829A1 (de) * 2008-12-17 2010-07-01 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Herstellung von Messaufnehmern
CN102494836B (zh) * 2011-11-29 2013-09-04 成都国光电气股份有限公司 一种热偶真空计
CN103557991B (zh) * 2013-11-11 2015-12-30 姚文利 一种用于压力测量的真空计校准方法及其装置
US9335231B2 (en) * 2014-03-25 2016-05-10 Mks Instruments, Inc. Micro-Pirani vacuum gauges
JP6261463B2 (ja) * 2014-06-27 2018-01-17 東京エレクトロン株式会社 圧力測定装置および圧力測定方法
US10222285B2 (en) * 2014-10-24 2019-03-05 Timothy G. Collins Portable graphing vacuum pressure gauge
JP6556616B2 (ja) * 2015-12-21 2019-08-07 アズビル株式会社 圧力センサ
WO2018070287A1 (ja) * 2016-10-13 2018-04-19 株式会社堀場エステック 流体センサ、当該流体センサを備えた流体制御装置、及び、調整方法
WO2018180745A1 (ja) * 2017-03-28 2018-10-04 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置および流量制御方法
US10914717B2 (en) * 2018-05-09 2021-02-09 Mks Instruments, Inc. Method and apparatus for partial pressure detection

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0569998A (ja) * 1991-09-09 1993-03-23 Smc Corp 真空供給用ユニツト
US5475623A (en) * 1992-07-20 1995-12-12 Balzers Aktiengesellschaft Method for the conversion of a measured signal, a converter as well as a measurement setup and a pirani measuring circuit
WO1999019703A2 (en) * 1997-10-15 1999-04-22 Upkeeper Corporation Collection apparatus for use with blower/vacuum units
JP2003042884A (ja) * 2001-07-30 2003-02-13 Sony Corp 真空測定装置
JP2007012019A (ja) * 2005-05-31 2007-01-18 Teac Corp センサ装置
CN101046423A (zh) * 2006-03-31 2007-10-03 核工业西南物理研究院 具有高抗干扰能力的快响应电离真空计
CN102138070A (zh) * 2009-03-18 2011-07-27 株式会社爱发科 氧气的检测方法、空气泄漏的判别方法、气体成分检测装置以及真空处理装置
CN102782470A (zh) * 2010-02-12 2012-11-14 株式会社爱发科 传感器型真空计
CN102374922A (zh) * 2010-07-28 2012-03-14 株式会社爱发科 传感器型真空计及使用传感器型真空计的单晶提升装置
CN202403867U (zh) * 2011-12-22 2012-08-29 成都兰石低温科技有限公司 数字式真空计
CN102519670A (zh) * 2012-01-05 2012-06-27 北京东方计量测试研究所 真空计电参数检定装置
CN106153246A (zh) * 2015-05-15 2016-11-23 株式会社爱发科 皮拉尼真空计
CN205861280U (zh) * 2016-07-10 2017-01-04 青岛优百宇真空设备股份有限公司 宽量程智能复合真空计
CN206074178U (zh) * 2016-09-26 2017-04-05 安庆师范大学 一种用于真空计显示监测的报警系统
CN206161233U (zh) * 2016-11-19 2017-05-10 殷进华 一种便携式真空度测量装置
CN206546229U (zh) * 2017-01-24 2017-10-10 合肥华瑞真空科技有限公司 一种高精度电阻真空计采样系统

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