WO2020080525A1 - 半導体装置の製造方法およびスクリーン - Google Patents

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WO2020080525A1
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和樹 笹尾
克司 和田
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株式会社ソニー・インタラクティブエンタテインメント
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    • H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
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    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Definitions

  • the present invention relates to surface mounting technology.
  • Electronic equipment includes a printed circuit board and electronic components mounted on the printed circuit board.
  • surface mount devices SMD: Surface Mount Device
  • chip inductors, chip resistors, chip capacitors, and transistors have become mainstream.
  • FIG. 1A shows a printed circuit board 10 before components are mounted.
  • Printed wiring (not shown) and pads (lands) 12 and 14 are formed on the first surface (leading mounting surface) S1 and the second surface S2 (backward mounting surface) of the printed circuit board 10.
  • the pads 12 and 14 are arranged at locations corresponding to the electrodes of the component, and the portions other than the pads 12 and 14 are covered with the resist 11.
  • a screen also referred to as a metal mask or a solder mask
  • An opening 22 is provided in the screen 20 at a position overlapping the pad 12 on the first surface S1 side.
  • cream solder (solder paste) 30 is applied from above the screen 20.
  • the screen 20 is removed as shown in FIG. 1D, the cream solder 32 remains only on the pad 12.
  • the component 40 is mounted on the first surface S1 by the mounter.
  • the cream solder 32 is sandwiched between the pads 12 and the electrodes E1 and E2 of the component 40.
  • the reflow process is performed to electrically and mechanically connect the component 40 and the substrate 10.
  • the printed circuit board 10 is inverted so that the second surface S2 faces upward.
  • the screen 50 is placed on the second surface S2.
  • An opening 52 is provided in the screen 50 at a position overlapping the pad 14 on the second surface S2 side.
  • cream solder 60 is applied from above the screen 50.
  • the screen 50 is removed as shown in FIG. 2D, the cream solder 62 remains only on the pad 14.
  • the component 70 is mounted on the second surface S2 by the mounter.
  • the cream solder 62 is sandwiched between the electrodes E1 and E2 of the component 70 and the pad 14.
  • the reflow process is performed to electrically and mechanically connect the component 70 and the substrate 10.
  • the printed circuit board 10 includes a plurality of wiring layers, and the different wiring layers are connected via vias.
  • the vias are usually arranged so as to avoid the positions of the pads, but they may be arranged in the pads when it is desired to enhance heat dissipation or reduce parasitic impedance.
  • the via arranged in the pad is called an in-pad via.
  • FIGS. 4 (a) to 4 (e) are diagrams for explaining component mounting on the second surface S2. is there.
  • FIG. 3 (a) shows the printed circuit board 10A before the components are mounted.
  • a pad (land) 16 and a via 17 in the pad are formed on the first surface (preceding mounting surface) S1 of the printed circuit board 10A.
  • the screen 20 is placed on the first surface S1 (FIG. 3 (b)), and then the cream solder 30 is applied from above the screen 20 (FIG. 3 (c)). Then, when the screen 20 is removed, the cream solder 32 remains on the pad 16 (FIG. 3D).
  • the component 40A is mounted on the first surface S1 by the mounter (FIG. 3 (e)).
  • the component 40A has a back surface electrode E3, and the cream solder 32 is sandwiched between the back surface electrode E3 and the pad 16.
  • reflow processing is performed, and the component 40A and the substrate 10 are electrically and mechanically connected.
  • part of the cream solder 32 penetrates the via 17 in the pad (through hole) and leaks from the second surface S2 side.
  • the solder leak 34 causes a mounting failure as described below.
  • FIGS. 4 (a) to 4 (e) the printed circuit board 10A is inverted so that the second surface S2 is on the upper side.
  • the screen 50 is placed on the second surface S2.
  • the screen 50 has an opening 52 where it overlaps with the pad 14.
  • FIG. 4C shows a state in which the screen 50 is removed.
  • the cream solder 62 is applied to an unintended area other than the pad 14.
  • Another approach is to fill the inside of the via hole with metal or resin in advance in the manufacturing process of the printed circuit board 10A to close the hole. According to this measure, it is possible to prevent the cream solder 30 from leaking to the second surface S2 side in the step of FIG. However, in this solution, the number of manufacturing steps of the printed circuit board 10A increases, so that the cost of the printed circuit board 10A increases.
  • the present invention has been made in view of the above problem, and one of the exemplary objects of a certain aspect thereof is to provide a surface mounting technique capable of solving the problem caused by the via in the pad.
  • the manufacturing method includes a first step of mounting the first component group on the first surface of the printed circuit board and a second step of mounting the second component group on the second surface of the printed circuit board.
  • the printed circuit board has in-pad vias.
  • the first step includes applying cream solder to the plurality of pads on the first surface, mounting the first component group on the first surface, and heating and cooling the printed circuit board.
  • the second step is a step of placing on the second surface a screen (metal mask) having openings at a plurality of pads on the second surface and having recesses at locations overlapping the vias in the pad.
  • the method includes the steps of applying cream solder from above and removing the screen, mounting the second component group on the second surface, and heating and cooling the printed circuit board.
  • Another aspect of the present invention is a screen.
  • This screen is used when mounting a component on a printed circuit board that has vias in the pad, and it has a plurality of openings provided at locations corresponding to the plurality of pads formed on the printed circuit board and the inside of the pad. And a concave portion provided at a portion overlapping with the via.
  • Yet another aspect of the present invention relates to a method of manufacturing a semiconductor device having a voltage stabilizing module.
  • the manufacturing method includes a first step of mounting a first component group including a power transistor on a first surface of a printed circuit board, and a second step of mounting a second component group including an inductor on a second surface of the printed circuit board. , Is provided.
  • the printed circuit board has an in-pad via provided at a position overlapping the back electrode of the power transistor.
  • the first step includes applying cream solder to the plurality of pads on the first surface, mounting the first component group on the first surface, and heating and cooling the printed circuit board.
  • the second step is to mount a screen having openings at a plurality of pads on the second surface and concave portions at positions overlapping with the vias in the pad on the second surface, and cream solder from above the screen. And removing the screen, mounting the second component group on the second surface, and heating and cooling the printed circuit board.
  • the problem caused by the via in the pad can be solved.
  • FIGS. 1A to 1E are cross-sectional views for explaining an assembly process of an electronic device.
  • 2A to 2E are cross-sectional views for explaining the assembly process of the electronic device.
  • FIGS. 3A to 3E are views for explaining component mounting on the first surface S1.
  • FIGS. 4A to 4E are views for explaining component mounting on the second surface S2.
  • 5A to 5E are views for explaining the method of manufacturing the electronic device according to the embodiment.
  • 6A to 6E are views for explaining the method of manufacturing the electronic device according to the embodiment.
  • It is a circuit diagram which shows the structural example of a multi-phase step-down DC / DC converter.
  • FIG. 9A is a layout diagram of the back electrode of the power module
  • FIG. 9B is a layout diagram of the back electrode of the inductor.
  • It is a layout diagram of a DC / DC converter according to a comparison technique.
  • 12A and 12B are layout diagrams of the DC / DC converter according to the example 1-1.
  • FIG. 6 is a diagram showing a wiring pattern of a DC / DC converter according to an example 1-1. It is the perspective view which looked at a DC / DC converter from the sub-mounting surface SB side.
  • 15A and 15B are cross-sectional views of the heat sink according to the first configuration example.
  • FIG. 16A and 16B are cross-sectional views of the heat sink according to the second configuration example.
  • 17A and 17B are layout diagrams of the DC / DC converter according to the embodiment 1-2.
  • FIG. 6 is a diagram showing a wiring pattern of a DC / DC converter according to Example 1-2.
  • 19A and 19B are layout diagrams of the DC / DC converter according to the example 1-3.
  • FIGS. 20A and 20B are layout diagrams of the DC / DC converter according to the example 1-4.
  • FIG. 7 is an equivalent circuit diagram of a DC / DC converter according to a second embodiment.
  • 22A and 22B are layout diagrams of the DC / DC converter according to the embodiment 2-1.
  • FIG. 6 is a diagram showing a wiring pattern of a DC / DC converter according to an example 2-1.
  • 24A and 24B are layout diagrams of the DC / DC converter according to the embodiment 2-2.
  • 25A and 25B are layout diagrams of the DC / DC converter according to the embodiment 2-3.
  • each member described in the drawings may be appropriately enlarged or reduced for easy understanding.
  • the dimensions of a plurality of members do not necessarily represent their magnitude relationship, and even if one member A is drawn thicker than another member B in the drawing, the member A is not shown. Can be thinner than.
  • FIGS. 5A to 5E and FIGS. 6A to 6E are diagrams for explaining the method for manufacturing the electronic device according to the embodiment.
  • FIGS. 5A to 5E and FIGS. 6A to 6E show an assembly process by surface mounting.
  • the component mounting on the first surface S1 will be described with reference to FIGS. 5 (a) to 5 (e).
  • the mounting on the first surface S1 is substantially the same as that of FIG. 3 as described below.
  • FIG. 5 (a) shows the printed circuit board 10B before components are mounted.
  • Several pads (lands) 12 and 16 are formed on the first surface (preceding mounting surface) S1 of the printed circuit board 10B.
  • An in-pad via 17 is formed in the pad 16.
  • Several pads 14 and 18 are similarly formed on the second surface (subsequent mounting surface) S2 of the printed circuit board 10B. Vias 19 in the pad are formed in the pad 18.
  • the screen 20 is placed on the first surface S1.
  • the screen 20 is provided with openings 22 and 24 at positions corresponding to the pads 12 and 16. Subsequently, the cream solder 30 is applied from above the screen 20 (FIG. 5C).
  • the parts 40 and 40A are mounted on the first surface S1 by the mounter (FIG. 5 (e)).
  • the cream solder 32 is sandwiched between the pads 12 and the electrodes E1 and E2 of the component 40.
  • the component 40A has a back surface electrode E3, and the cream solder 32 is sandwiched between the back surface electrode E3 and the pad 16. In this state, reflow processing is performed, and the component 40A and the substrate 10 are electrically and mechanically connected.
  • part of the cream solder 32 penetrates the pad via 17 (through hole) and leaks from the second surface S2 side.
  • FIGS. 6 (a) to 6 (e) the printed circuit board 10B is inverted so that the second surface S2 is on the upper side. Subsequently, as shown in FIG. 6B, the screen 50B is placed on the second surface S2.
  • the screen 50B has an opening 52 at a position overlapping the pad 14.
  • the screen 50 ⁇ / b> B is provided with a recess 56 at a position overlapping the via 19 in the pad. The recess 56 prevents the screen 50B from interfering with the solder leak 34, and allows the screen 50B to be in close contact with the second surface S2.
  • FIG. 6D shows a state in which the screen 50B is removed.
  • the cream solder 62 is applied only on the pads 14 and 18, and an excessive protrusion is suppressed.
  • the components 70 and 70A are mounted on the second surface S2 and subjected to reflow processing.
  • the electrodes E1 and E2 are electrically and mechanically connected to the pad 14.
  • the back surface electrode E3 and the pad 18 are electrically and mechanically connected to each other, and the semiconductor device 100 is assembled.
  • the above is the method for manufacturing the semiconductor device according to the embodiment.
  • the screen 50 used for applying the cream solder to the second surface S2 is provided with the concave portion 56 for avoiding interference with the solder leak 34. This can prevent the screen 50B from being displaced due to the solder leak 34, and can prevent the cream solder 60 from entering the gap between the screen 50B and the second surface S2.
  • solder leakage 64 may occur from the via 19 in the pad to the first surface S1 side, but the mounting of the component on the first surface S1 side is completed. Therefore, there is no adverse effect.
  • the manufacturing method according to the embodiment can be used in the manufacturing process of the DC / DC converter described below, and the component 40A mounted on the above-mentioned first surface S1 is described later and mounted on the first surface S1. It is associated with the power module 220.
  • DC / DC converters switching regulators
  • switching regulators are used to reduce the DC voltage supplied from a battery or inverter to a voltage level optimal for the load.
  • FIG. 7 is a circuit diagram showing a configuration example of a multi-phase step-down DC / DC converter.
  • the DC / DC converter 200 is composed of N phases (N ⁇ 2), and has an input line 202, an output line 204, N inductors L1_1 to L1_N, an input capacitor Ci, an output capacitor Co, a controller 210, and N power modules. 220_1 to 220_N.
  • a load (not shown) whose power consumption (load current I OUT ) dynamically changes is connected to the output line 204.
  • the DC / DC converter 200 receives the input voltage V IN of the input line 202, generates an output voltage V OUT stabilized at a predetermined level, and supplies the output voltage V OUT to a load.
  • An input capacitor Ci for stabilizing the input voltage V IN is connected to the input line 202, and an output capacitor Co for smoothing the output voltage V OUT is connected to the output line 204.
  • the power module 220 mainly includes a VIN pin, a PGND pin, a SW pin, a VCC pin, an AGND pin, and a PWM pin.
  • the power module 220 includes a high side switch (switching transistor) M1 provided between the VIN pin and the SW pin, a low side switch (synchronous rectification transistor transistor) M2 provided between the SW pin and the PGND pin, and a high side driver 222. , A low side driver 224 and a logic circuit 226.
  • the controller 210 receives the feedback signal V FB according to the output voltage V OUT , and generates the pulse signal S PWM whose duty ratio is adjusted so that the feedback signal V FB approaches the predetermined target voltage V REF , and N
  • the power modules 220_1 to 220_N are distributed to K power modules.
  • the pulse signals S PWM1 to S PWMK having a phase difference of (360 / K) degrees are distributed to the K power modules 220_1 to 220_K.
  • the components of the DC / DC converter 200 are mounted on a printed circuit board.
  • the inductors L1_1 to L1_N and the power modules 220_1 to 220_N which are the main components, are mounted on the same mounting surface.
  • the main constituent parts mentioned here are parts having a large occupied area and large current flows.
  • the area occupied by the DC / DC converter 200 increases. This means that the area of the printed circuit board becomes large, which may be a factor in increasing the cost.
  • the heat generation of the power modules 220_1 to 220_N is large, it is necessary to cool the power modules 220_1 to 220_N with a heat sink.
  • the plurality of power modules 220_1 to 220_N are arranged close to other components such as the plurality of inductors L1_1 to L1_N, the shape of the heat sink may be restricted by the other components and the cooling effect may be sacrificed.
  • One aspect of the present invention is understood as a layout or mounting technique of a DC / DC converter.
  • the function or equivalent circuit of the DC / DC converter is the same as in FIG.
  • a power module 220 common to some embodiments will be described.
  • the power module 220 itself is publicly known and is manufactured and sold by various IC makers.
  • the circuit configuration of the power module 220 is similar to that of FIG. 7, and includes a high side transistor M1, a low side transistor M2, a high side driver 222, a low side driver 224, and a logic circuit 226.
  • the power module 220 also includes an input (VIN) pin, a switching pin (SW), a ground pin (PGND, AGND), a power supply (VCC) pin, a control (PWM) pin, and the like.
  • the power module 220 includes a bootstrap circuit, various protection circuits, and a plurality of pins related to the bootstrap circuit and the like.
  • the power supply voltage V CC is supplied to each circuit block including the logic circuit 226 via the VCC pin.
  • the AGND pin is the ground for the high side driver 222, the low side driver 224, the logic circuit 226, and the like.
  • the direct current input voltage V IN is supplied to the VIN pin, and the PGND pin is the ground of the output stage.
  • the logic circuit 226 generates a high side pulse and a low side pulse according to the PWM signal S PWM input to the PWM pin.
  • the high-side driver 222 drives the high-side transistor M1 based on the high-side pulse
  • the low-side driver 224 drives the low-side transistor M2 based on the low-side pulse.
  • FIG. 9A is a layout diagram of the back electrode of the power module 220.
  • the power module 220 includes the VIN pin, the PGND pin, the SW pin, the VCC pin, and the AGND pin.
  • the VIN pin and the GND pin are relatively larger in area than other pads.
  • the PGND pin and the AGND pin also have a function as a thermal pad, they have a large area.
  • the PWM pin and other control pins are assigned to the remaining pins.
  • the layout of the back surface electrode in FIG. 9 is merely an example, and it goes without saying that it differs depending on the chip vendor and the product.
  • FIG. 9B is a layout diagram of the back surface electrode of the inductor L1.
  • the inductor L1 has a first electrode E1 and a second electrode E2 arranged in the center of two opposite sides.
  • One of the problems to be solved in this embodiment is improvement of layout. Therefore, first, a layout serving as a reference for comparison (hereinafter referred to as a comparison technique) will be described.
  • Recent electronic circuits are mounted using surface mounting technology (SDT: Surface Mount Technology).
  • SDT Surface Mount Technology
  • cream solder is applied to pads (lands) formed on a printed circuit board, components are mounted using a mounter, and reflow processing is performed.
  • the DC / DC converter is no exception, and therefore, in the comparative technique, basically all components are mounted on the main mounting surface.
  • FIG. 10 is a layout diagram of a DC / DC converter according to the comparative technique.
  • N 3.
  • the controller 210, the power modules 220_1 to 220_N, the input capacitor Ci, and the output capacitor Co (referred to as main components) are all laid out on the main mounting surface SA of the printed circuit board 300R.
  • the plurality of inductors L1_1 to L1_N are arranged side by side in the first direction (x direction) on the printed circuit board.
  • FIG. 11 is a diagram showing a wiring pattern of a printed circuit board 300R according to the comparative technique.
  • circles indicate via holes.
  • a plurality of pattern wirings (printed wirings) PTN1_1 to PTN1_3, PTN_2, PTN3_1 to PTN3_3, PTN4 are formed on the printed circuit board 300.
  • the first pattern wirings PTN1_1 to PTN1_3 correspond to the input lines 202_1 to 202_3 of FIG.
  • the second pattern wiring PTN2 is a ground plane and is formed commonly for all phases in order to minimize impedance.
  • An input capacitor Ci_ # is provided between the first pattern wiring PTN1_ # and the second pattern wiring PTN2.
  • the input capacitor Ci_ # may be an MLCC (multilayer ceramic capacitor), an electrolytic capacitor, or a combination thereof.
  • the third pattern wirings PTN3_1 to PTN3_3 are wirings that connect the SW pin of the power module 220 and one end of the inductor L1 in FIG.
  • the fourth pattern wiring PTN4 corresponds to the output line 204 in FIG.
  • the output capacitor Co (not shown in FIG. 11) of FIG. 7 is connected between the fourth pattern wiring PTN4 and the ground plane.
  • each of these pattern wirings PTN1 to PTN4 forms a multilayer wiring and is connected to the wiring of another wiring layer not shown in FIG. 11 via the via hole.
  • the layout according to the embodiment will be described.
  • at least one of the N power modules 220 is mounted on the sub-mounting surface SB of the printed circuit board 300 opposite to the main mounting surface SA.
  • some examples will be described.
  • 12A and 12B are layout diagrams of the DC / DC converter 200A according to the example 1-1.
  • 12A shows a perspective view
  • FIG. 12B shows a sectional view.
  • all the power modules 220_1 to 220_3 are mounted on the sub mounting surface SB.
  • the input capacitor Ci_ # is preferably connected in the immediate vicinity of the VIN pin of the power module 220_ #. Therefore, in the example 1-1, the input capacitor Ci_ # is also mounted on the sub mounting surface SB.
  • FIG. 13 is a diagram showing a wiring pattern of the DC / DC converter 200A according to the embodiment 1-1.
  • components mounted on the main mounting surface SA side are indicated by broken lines, and components mounted on the sub mounting surface SB side are indicated by chain double-dashed lines.
  • the functions of the pattern wirings PTN1 to PTN4 are the same as in FIG.
  • the pattern wirings PTN1 to PTN4 are multilayer wirings and are formed so as to overlap both surfaces (and intermediate wiring layers) of the main mounting surface SA and the sub mounting surface SB, and they are electrically connected to each other by via holes. .
  • the above is the configuration of the DC / DC converter 200A according to the embodiment 1-1.
  • a space margin is generated on the main mounting surface SA or the sub-mounting surface SB. The advantage of this will be described.
  • FIG. 14 is a perspective view of the DC / DC converter 200A as viewed from the sub-mounting surface SB side.
  • the DC / DC converter 200A includes a heat sink 240.
  • the heat sink 240 is in contact with the upper surfaces of the plurality of power modules 220_1 to 220_3 in common.
  • On the side of the sub-mounting surface SB since there are no components taller than the power module 220 around the power modules 220_1 to 220_N, a large heat sink 240 can be provided and cooling efficiency can be improved.
  • FIG. 15A and 15B are cross-sectional views of the heat sink 240A according to the first configuration example.
  • FIG. 15A shows a state in which the heat sink 240A is applied to Example 1-1
  • FIG. 15B shows a state in which the same heat sink 240A is applied to the comparative technique of FIG.
  • the heat sink 240A has a heat radiating portion 242 and a contact portion 244. An opening is provided in the heat dissipation portion 242, and a contact portion 244 is fitted in this opening. The contact portion 244 contacts the power module 220 to be cooled.
  • Example 1-1 in which the power module 220 is mounted on the sub-mounting surface SB, there is no tall component around the power module 220 as shown in FIG.
  • the portion 242 can be brought closer to the printed circuit board surface.
  • the height of the contact portion 244 in the Z direction can be reduced. This can reduce the thermal resistance and improve the cooling performance.
  • FIGS. 16A and 16B are cross-sectional views of the heat sink 240B according to the second configuration example.
  • the heat sink 240B is composed of a single heat radiating plate 246 and is provided with a convex portion 248 by drawing.
  • the heat radiating plate 246 is in contact with the surface of the power module 220 at the convex portion 248.
  • the heat sink 240B of FIG. 16 has a simpler structure than the heat sink 240A of FIG. 15, so that the cost can be reduced. Further, since no opening is required, the electromagnetic noise shielding performance is high and the EMC (Electro Magnetic Compatibility) can be improved.
  • EMC Electro Magnetic Compatibility
  • 17A and 17B are layout diagrams of the DC / DC converter 200B according to the embodiment 1-2.
  • 17A is a perspective view and FIG. 17B is a sectional view.
  • the N power modules 220_1 to 220_N are mounted alternately on the main mounting surface SA and the sub mounting surface SB.
  • FIG. 18 is a diagram showing a wiring pattern of the DC / DC converter 200B according to the embodiment 1-2.
  • components mounted on the main mounting surface SA side are indicated by broken lines, and components mounted on the sub mounting surface SB side are indicated by chain double-dashed lines.
  • the functions of the pattern wirings PTN1 to PTN4 are as described above.
  • the pattern wirings PTN1 to PTN4 are multilayer wirings and are formed so as to overlap both surfaces (and intermediate wiring layers) of the main mounting surface SA and the sub mounting surface SB, and they are electrically connected to each other by via holes. .
  • Example 1-2 the N power modules are paired with the first, second, third, fourth, ...
  • the two power modules 220_i and 220_j forming a pair are connected to a common input line (that is, a common first pattern wiring PTN1_i, j).
  • the input capacitors Ci_i, j can also be made common. That is, the input capacitor Ci_i, j on the main mounting surface SA side functions as an input capacitor of the power module 220_i, and at the same time, functions as an input capacitor of the power module 220_j on the sub mounting surface SB side, so that the effect of the input capacitor is doubled. can do. Alternatively, the number of capacitors required to obtain the same effect of the input capacitors can be reduced, and the cost can be reduced.
  • Example 1-3 19A and 19B are layout diagrams of the DC / DC converter 200D according to the example 1-3.
  • the chip size of the inductor of Example 1-2 is reduced.
  • a component with a small allowable current, that is, a small chip size can be selected, and the occupied area can be reduced.
  • Example 1-4 20A and 20B are layout diagrams of the DC / DC converter 200G according to the first to fourth embodiments.
  • Example 1-4 is a modification of Example 1-3 in the layout of the inductors. Specifically, each inductor L1_i is mounted on the same surface as the corresponding power module 220_i. As a result, the corresponding inductor L1_i and power module 220_i can be connected with low impedance.
  • the pair of inductors L1_1 and L1_2 is mounted so as to overlap both surfaces SA and SB of the printed circuit board 300G.
  • the pair of inductors L1_3 and L1_4 is mounted so as to overlap both surfaces SA and SB of the printed circuit board 300G.
  • the chip size can be reduced in an application in which the coil current flowing through the inductor L1 is small.
  • the coil current flowing through the inductor L1 is large, it is inevitable to select a component having a large allowable current and thus a large chip size, and the occupied size of the DC / DC converter is restricted by the chip size of the inductor.
  • the second embodiment will explain a technique of reducing the occupied size of the DC / DC converter in an application where the coil current is large.
  • FIG. 21 is an equivalent circuit diagram of the DC / DC converter 200C according to the second embodiment.
  • the inductance value of the inductor chip in the case of two parallels is 1/2 times that in the case of a single inductor chip.
  • the amount of current flowing through the inductor chip is 1/2 times that in the case of a single inductor chip.
  • the second embodiment by reducing the amount of current per chip, it is possible to select an inductor chip with a small current capacity and therefore a small package size. For example, in the case of adopting a 10 mm square inductor chip in the case of a single inductor chip, the technical idea of the second embodiment is introduced, and by adopting two parallels, a 6 mm square inductor chip is adopted. You can
  • Example 2-1 22A and 22B are layout diagrams of the DC / DC converter 200C according to the embodiment 2-1. 22 (a) is a perspective view and FIG. 22 (b) is a sectional view.
  • the two inductor chips L1_ # a and L1_ # b electrically connected in parallel are mounted on the main mounting surface SA and the sub mounting surface SB of the printed circuit board 300C so as to overlap each other.
  • Example 2-1 the N power modules 220_1 to 220_N are mounted on the main mounting surface SA and the sub mounting surface SB alternately, as in Example 1-2 of the first embodiment.
  • FIG. 23 is a diagram showing a wiring pattern of the DC / DC converter 200C according to the embodiment 2-1.
  • Example 2-1 the same effect as that of Example 1-2 can be obtained. That is, the input lines can be shared by the adjacent two phases, and the input capacitors Ci_i, j can also be shared.
  • Example 2-2 24A and 24B are layout diagrams of the DC / DC converter 200E according to the embodiment 2-2.
  • 24 (a) is a perspective view
  • FIG. 24 (b) is a sectional view.
  • the example 2-2 is common to the example 1-1 of FIG. 12 in that a plurality of power modules 220_1 to 220_4 are mounted on the sub mounting surface SB.
  • the input capacitor Ci is omitted in FIG. 24, it may be mounted on the sub-mounting surface SB as in Example 1-1.
  • the area occupied by the DC / DC converter 200E can be reduced, as in the embodiment 2-1.
  • 25A and 25B are layout diagrams of the DC / DC converter 200F according to the embodiment 2-3.
  • 25 (a) is a perspective view and FIG. 25 (b) is a sectional view.
  • the plurality of power modules 220_1 to 220_4 are all mounted on the main mounting surface SA side.
  • the area occupied by the DC / DC converter 200F can be reduced.
  • the inductor L1 for each phase is formed by connecting two inductor chips in parallel, but the number of chips is not limited to two, and may be three or more.
  • the inductor component and the resistance component of the input line 202 are as small as possible. Further, it is desirable that the PGND pin is also grounded with the smallest possible impedance.
  • a pad (land) for soldering a VIN pin is formed on the first pattern wiring PTN1, and a PGND pin is soldered on the second pattern wiring PTN2.
  • Pad (land) is formed.
  • a multilayer wiring is adopted and a large number of via holes are provided. To reduce the impedance as much as possible, it is necessary to form the via holes inside the pads (lands). To be done. Such a via hole is called an in-pad via.
  • the present invention relates to surface mounting technology.

Abstract

プリント基板はパッド内ビアを有する。第１ステップにおいて、プリント基板１０Ｂの第１面Ｓ１に、第１部品群４０が実装される。第２ステップで使用されるスクリーン５０Ｂは、第２面Ｓ２の複数のパッド１４の箇所に開口を有し、かつパッド内ビア１７とオーバーラップする箇所に凹部５６を有する。スクリーン５０Ｂの上からクリーム半田６０を塗布し、スクリーン５０Ｂを外す。そして第２面Ｓ２に第２部品群７０をマウントする。

Description

半導体装置の製造方法およびスクリーン
　本発明は、表面実装技術に関する。
　電子機器は、プリント基板と、プリント基板上に実装される電子部品を備える。近年では、チップインダクタ、チップ抵抗、チップコンデンサ、トランジスタなどの表面実装型の部品（ＳＭＤ：Surface Mount Device）が主流となっている。
　図１（ａ）～（ｅ）および図２（ａ）～（ｅ）は、電子機器の組み立て工程を説明する断面図である。図１（ａ）には、部品が実装される前のプリント基板１０が示される。プリント基板１０の第１面（先行実装面）Ｓ１および第２面Ｓ２（後行実装面）には、プリント配線（不図示）や、パッド（ランド）１２，１４が形成されている。パッド１２，１４は、部品の電極と対応する箇所に配置され、パッド１２，１４以外の部分は、レジスト１１によって覆われている。
　図１（ｂ）に示すように、第１面Ｓ１の上に、スクリーン（メタルマスクあるいは半田マスクとも称する）２０が載置される。スクリーン２０には、第１面Ｓ１側のパッド１２とオーバーラップする箇所に開口２２が設けられる。続いて図１（ｃ）に示すように、スクリーン２０の上からクリーム半田（半田ペースト）３０が塗布される。図１（ｄ）に示すようにスクリーン２０を取り外すと、パッド１２の上にのみクリーム半田３２が残留する。
　続いて図１（ｅ）に示すように、マウンタによって第１面Ｓ１に部品４０がマウントされる。部品４０の電極Ｅ１，Ｅ２と、パッド１２の間には、クリーム半田３２が挟まれている。この状態でリフロー処理が行われ、部品４０と基板１０とが電気的、機械的に接続される。
　続いて、第２面Ｓ２への部品実装を説明する。図２（ａ）に示すようにプリント基板１０は、第２面Ｓ２が上側となるように反転される。続いて図２（ｂ）に示すように第２面Ｓ２の上にスクリーン５０が載置される。スクリーン５０には、第２面Ｓ２側のパッド１４とオーバーラップする箇所に開口５２が設けられる。続いて図２（ｃ）に示すように、スクリーン５０の上からクリーム半田６０が塗布される。図２（ｄ）に示すようにスクリーン５０を取り外すと、パッド１４の上にのみクリーム半田６２が残留する。
　続いて図２（ｅ）に示すように、マウンタによって第２面Ｓ２に部品７０がマウントされる。部品７０の電極Ｅ１，Ｅ２と、パッド１４の間には、クリーム半田６２が挟まれている。この状態でリフロー処理が行われ、部品７０と基板１０とが電気的、機械的に接続される。以上が表面実装の説明である。
　本発明者は表面実装について検討した結果、以下の課題を認識するに至った。プリント基板１０は、複数の配線層を含み、異なる配線層の間はビアを介して接続される。ビアは、通常、パッドの位置を避けて配置されるが、放熱性を高めたり、寄生インピーダンスを削減したい場合には、パッド内に配置される場合もある。パッド内に配置されるビアを、パッド内ビアと称する。
　従来の表面実装では、先行実装面である第１面Ｓ１にパッド内ビアを形成することが困難であった。図３（ａ）～（ｅ）は、第１面Ｓ１への部品実装を説明する図であり、図４（ａ）～（ｅ）は、第２面Ｓ２への部品実装を説明する図である。
　図３（ａ）には、部品が実装される前のプリント基板１０Ａが示される。プリント基板１０Ａの第１面（先行実装面）Ｓ１には、パッド（ランド）１６およびパッド内ビア１７が形成される。
　第１面Ｓ１の上にスクリーン２０が載置され（図３（ｂ））、続いてスクリーン２０の上からクリーム半田３０が塗布される（図３（ｃ））。そしてスクリーン２０を取り外すと、パッド１６の上にクリーム半田３２が残留する（図３（ｄ））。
　続いて、マウンタによって第１面Ｓ１に部品４０Ａがマウントされる（図３（ｅ））。部品４０Ａは裏面電極Ｅ３を有し、裏面電極Ｅ３とパッド１６の間には、クリーム半田３２が挟まれている。この状態でリフロー処理が行われ、部品４０Ａと基板１０とが電気的、機械的に接続される。この工程においてクリーム半田３２の一部は、パッド内ビア１７（スルーホール）を貫通し、第２面Ｓ２側から漏れ出る。この半田の漏れ３４は、以下で説明するように実装不良を引き起こす。
　図４（ａ）～（ｅ）を参照して第２面Ｓ２への部品実装を説明する。図４（ａ）に示すようにプリント基板１０Ａは、第２面Ｓ２が上側となるように反転される。続いて図４（ｂ）に示すように第２面Ｓ２の上にスクリーン５０が載置される。スクリーン５０は、パッド１４とオーバーラップする箇所に開口５２を有する。
　そして図４（ｃ）に示すようにスクリーン５０の上からクリーム半田６０が塗布される。図４（ｄ）は、スクリーン５０を取り外した状態を示す。クリーム半田６２は、パッド１４以外の意図しない領域に塗布されている。この状態で第２面Ｓ２に部品７０をマウントし、リフロー処理にかけると、隣接するパッド１４同士がクリーム半田６２によってショートするなどの不良が生ずるおそれがある。
　以上が従来の表面実装の問題点である。先行実装面にパッド内ビアを形成したい場合、第２面の実装に、スクリーン印刷を用いず、ニードルディスペンサによって、パッド１４の上に選択的にクリーム半田を塗布する方法が考えられる。この方法によれば、第１面Ｓ１へのクリーム半田３０の影響を受けずに、第２面Ｓ２に部品を実装できる。しかしながら、ニードルディスペンサを用いたクリーム半田の塗布は、スクリーン印刷によるそれに比べてスループットが大幅に低下するため、第２面Ｓ２の部品点数が多い場合には採用できない。
　別のアプローチとして、プリント基板１０Ａの製造工程において、予めビアホールの内部を金属あるいは樹脂で充填して穴を塞ぐという対策が考えられる。この対策によれば、図３（ｅ）の工程において、第２面Ｓ２側へのクリーム半田３０の漏れを防止できる。しかしながらこの解決方法では、プリント基板１０Ａの製造工程が増えるため、プリント基板１０Ａのコストが高くなる。
　本発明は係る課題に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、パッド内ビアに起因する問題を解決可能な表面実装技術の提供にある。
　本発明のある態様は、半導体装置の製造方法に関する。製造方法は、プリント基板の第１面に第１部品群を実装する第１ステップと、プリント基板の第２面に第２部品群を実装する第２ステップと、を備える。プリント基板はパッド内ビアを有する。第１ステップは、第１面の複数のパッドにクリーム半田を塗布するステップと、第１面に第１部品群にマウントするステップと、プリント基板を加熱、冷却するステップと、を含む。第２ステップは、第２面の複数のパッドの箇所に開口を有し、かつパッド内ビアとオーバーラップする箇所に凹部を有するスクリーン（メタルマスク）を、第２面に載せるステップと、スクリーンの上からクリーム半田を塗布し、スクリーンを外すステップと、第２面に第２部品群をマウントするステップと、プリント基板を過熱、冷却するステップと、を備える。
　本発明の別の態様は、スクリーンである。このスクリーンは、パッド内ビアを有するプリント基板に部品を実装する際に使用されるスクリーンであって、プリント基板に形成される複数のパッドと対応する箇所に設けられた複数の開口と、パッド内ビアとオーバーラップする箇所に設けられた凹部と、を備える。
　本発明のさらに別の態様は、電圧安定化モジュールを有する半導体装置の製造方法に関する。製造方法は、プリント基板の第１面に、パワートランジスタを含む第１部品群を実装する第１ステップと、プリント基板の第２面に、インダクタを含む第２部品群を実装する第２ステップと、を備える。プリント基板は、パワートランジスタの裏面電極とオーバーラップする箇所に設けられたパッド内ビアを有する。第１ステップは、第１面の複数のパッドにクリーム半田を塗布するステップと、第１面に第１部品群にマウントするステップと、プリント基板を加熱、冷却するステップと、を含む。第２ステップは、第２面の複数のパッドの箇所に開口を有し、かつパッド内ビアとオーバーラップする箇所に凹部を有するスクリーンを、第２面に載せるステップと、スクリーンの上からクリーム半田を塗布し、スクリーンを外すステップと、第２面に第２部品群をマウントするステップと、プリント基板を過熱、冷却するステップと、を備える。
　なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を、方法、装置、システムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
　本発明によれば、パッド内ビアに起因する問題を解決できる。
図１（ａ）～（ｅ）は、電子機器の組み立て工程を説明する断面図である。 図２（ａ）～（ｅ）は、電子機器の組み立て工程を説明する断面図である。 図３（ａ）～（ｅ）は、第１面Ｓ１への部品実装を説明する図である。 図４（ａ）～（ｅ）は、第２面Ｓ２への部品実装を説明する図である。 図５（ａ）～（ｅ）は、実施の形態に係る電子機器の製造方法を説明する図である。 図６（ａ）～（ｅ）は、実施の形態に係る電子機器の製造方法を説明する図である。 マルチフェーズの降圧ＤＣ／ＤＣコンバータの構成例を示す回路図である。 図８（ａ）～（ｃ）はそれぞれ、Ｋ＝２、３、４のときのスイッチング電圧Ｖｓｗ１～Ｖｓｗ４を示す波形図である。 図９（ａ）は、パワーモジュールの裏面電極のレイアウト図であり、図９（ｂ）は、インダクタの裏面電極のレイアウト図である。 比較技術に係るＤＣ／ＤＣコンバータのレイアウト図である。 比較技術に係るプリント基板の配線パターンを示す図である。 図１２（ａ）、（ｂ）は、実施例１－１に係るＤＣ／ＤＣコンバータのレイアウト図である。 実施例１－１に係るＤＣ／ＤＣコンバータの配線パターンを示す図である。 ＤＣ／ＤＣコンバータを副実装面ＳＢ側からみた斜視図である。 図１５（ａ）、（ｂ）は、第１構成例に係るヒートシンクの断面図である。 図１６（ａ）、（ｂ）は、第２構成例に係るヒートシンクの断面図である。 図１７（ａ）、（ｂ）は、実施例１－２に係るＤＣ／ＤＣコンバータのレイアウト図である。 実施例１－２に係るＤＣ／ＤＣコンバータの配線パターンを示す図である。 図１９（ａ）、（ｂ）は、実施例１－３に係るＤＣ／ＤＣコンバータのレイアウト図である。 図２０（ａ）、（ｂ）は、実施例１－４に係るＤＣ／ＤＣコンバータのレイアウト図である。 第２の実施の形態に係るＤＣ／ＤＣコンバータの等価回路図である。 図２２（ａ）、（ｂ）は、実施例２－１に係るＤＣ／ＤＣコンバータのレイアウト図である。 実施例２－１に係るＤＣ／ＤＣコンバータの配線パターンを示す図である。 図２４（ａ）、（ｂ）は、実施例２－２に係るＤＣ／ＤＣコンバータのレイアウト図である。 図２５（ａ）、（ｂ）は、実施例２－３に係るＤＣ／ＤＣコンバータのレイアウト図である。
　以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
　また図面に記載される各部材の寸法（厚み、長さ、幅など）は、理解の容易化のために適宜、拡大縮小されている場合がある。さらには複数の部材の寸法は、必ずしもそれらの大小関係を表しているとは限らず、図面上で、ある部材Ａが、別の部材Ｂよりも厚く描かれていても、部材Ａが部材Ｂよりも薄いこともあり得る。
　図５（ａ）～（ｅ）および図６（ａ）～（ｅ）は、実施の形態に係る電子機器の製造方法を説明する図である。図５（ａ）～（ｅ）および図６（ａ）～（ｅ）には、表面実装による組み立て工程が示される。
　図５（ａ）～（ｅ）を参照して、第１面Ｓ１への部品実装を説明する。第１面Ｓ１への実装については、以下で説明するように図３と実質的に同様である。
　図５（ａ）には、部品が実装される前のプリント基板１０Ｂが示される。プリント基板１０Ｂの第１面（先行実装面）Ｓ１には、いくつかのパッド（ランド）１２，１６が形成される。パッド１６には、パッド内ビア１７が形成される。プリント基板１０Ｂ第２面（後行実装面）Ｓ２にも同様に、いくつかのパッド１４，１８が形成される。パッド１８には、パッド内ビア１９が形成される。
　図５（ｂ）に示すように、第１面Ｓ１の上にスクリーン２０が載置される。スクリーン２０には、パッド１２，１６に対応する箇所に、開口２２，２４が設けられる。続いてスクリーン２０の上からクリーム半田３０が塗布される（図５（ｃ））。
　そしてスクリーン２０を取り外すと、パッド１２，１６の上にクリーム半田３２が残留する（図５（ｄ））。
　続いて、マウンタによって第１面Ｓ１に部品４０，４０Ａがマウントされる（図５（ｅ））。部品４０の電極Ｅ１，Ｅ２と、パッド１２の間には、クリーム半田３２が挟まれている。部品４０Ａは裏面電極Ｅ３を有し、裏面電極Ｅ３とパッド１６の間には、クリーム半田３２が挟まれている。この状態でリフロー処理が行われ、部品４０Ａと基板１０とが電気的、機械的に接続される。
　この工程においてクリーム半田３２の一部は、パッド内ビア１７（スルーホール）を貫通し、第２面Ｓ２側から漏れ出る。
　続いて図６（ａ）～（ｅ）を参照して第２面Ｓ２への部品実装を説明する。図６（ａ）に示すようにプリント基板１０Ｂは、第２面Ｓ２が上側となるように反転される。続いて図６（ｂ）に示すように、第２面Ｓ２の上に、スクリーン５０Ｂが載置される。
　本実施の形態において、スクリーン５０Ｂは、パッド１４とオーバーラップする箇所に開口５２を有する。それに加えてスクリーン５０Ｂには、パッド内ビア１９とオーバーラップする箇所に、凹部５６が設けられている。この凹部５６によって、スクリーン５０Ｂが半田の漏れ３４と干渉しないようになっており、スクリーン５０Ｂを第２面Ｓ２に密着させることが可能となる。
　図６（ｄ）は、スクリーン５０Ｂを取り外した状態を示す。クリーム半田６２は、パッド１４、１８の上にのみ塗布されており、余計なはみ出しが抑えられている。
　続いて図６（ｅ）のように、第２面Ｓ２に部品７０，７０Ａがマウントされ、リフロー処理にかけられる。これにより部品７０に関して、電極Ｅ１，Ｅ２がパッド１４と電気的、機械的に接続される。また部品７０Ａに関しても、裏面電極Ｅ３とパッド１８とが電気的、機械的に接続され、半導体装置１００が組み立てられる。
　以上が実施の形態に係る半導体装置の製造方法である。
　このように、本実施の形態によれば、第２面Ｓ２にクリーム半田を塗布する際に用いるスクリーン５０に、半田の漏れ３４との干渉を避けるための凹部５６を設けることとした。これにより、半田の漏れ３４によるスクリーン５０Ｂの位置ズレを防止でき、またスクリーン５０Ｂと第２面Ｓ２の間のギャップにクリーム半田６０が侵入するのを防止できる。
　なお第２面Ｓ２に部品７０Ａを実装する際に、パッド内ビア１９から第１面Ｓ１側にも、半田の漏れ６４が生じうるが、第１面Ｓ１側の部品の実装は完了しているため、悪影響はない。
　続いて、実施の形態に係る製造方法の用途を説明する。実施の形態に係る製造方法は、以下で説明するＤＣ／ＤＣコンバータの製造工程に利用可能であり、上述の第１面Ｓ１に実装される部品４０Ａは、第１面Ｓ１に実装される後述のパワーモジュール２２０に対応付けられる。
　パーソナルコンピュータやゲーム専用機などの電子機器において、電池、あるいはインバータから供給される直流電圧を、負荷に最適な電圧レベルに降圧するＤＣ／ＤＣコンバータ（スイッチングレギュレータ）が利用される。
　図７は、マルチフェーズの降圧ＤＣ／ＤＣコンバータの構成例を示す回路図である。ＤＣ／ＤＣコンバータ２００は、Ｎフェーズ（Ｎ≧２）で構成され、入力ライン２０２、出力ライン２０４、Ｎ個のインダクタＬ１＿１～Ｌ１＿Ｎ、入力キャパシタＣｉ、出力キャパシタＣｏ、コントローラ２１０、Ｎ個のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｎを備える。
　出力ライン２０４には、消費電力（負荷電流ＩＯＵＴ）がダイナミックに変化する負荷（不図示）が接続される。ＤＣ／ＤＣコンバータ２００は、入力ライン２０２の入力電圧ＶＩＮを受け、所定レベルに安定化された出力電圧ＶＯＵＴを生成し、負荷に供給する。入力ライン２０２には、入力電圧ＶＩＮを安定化させるための入力キャパシタＣｉが接続され、出力ライン２０４には、出力電圧ＶＯＵＴを平滑化するための出力キャパシタＣｏが接続される。
　パワーモジュール２２０は、主として、ＶＩＮピン、ＰＧＮＤピン、ＳＷピン、ＶＣＣピン、ＡＧＮＤピン、ＰＷＭピンを備える。パワーモジュール２２０は、ＶＩＮピンとＳＷピンの間に設けられたハイサイドスイッチ（スイッチングトランジスタ）Ｍ１と、ＳＷピンとＰＧＮＤピンの間に設けられたローサイドスイッチ（同期整流トランジスタトランジスタ）Ｍ２と、ハイサイドドライバ２２２、ローサイドドライバ２２４、ロジック回路２２６を含む。
　コントローラ２１０は、複数のインダクタＬ１＿１～Ｌ１＿Ｎそれぞれに流れる電流あるいは負荷電流ＩＯＵＴを監視し、駆動フェーズ数Ｋを決定する。たとえばＮ＝４の場合、Ｋは、１，２，３，４の４つの値（あるいは１，２，４の３つの値）から選択可能とされる。
　またコントローラ２１０は、出力電圧ＶＯＵＴに応じたフィードバック信号ＶＦＢを受け、フィードバック信号ＶＦＢが所定の目標電圧ＶＲＥＦに近づくように、デューティ比が調節されるパルス信号ＳＰＷＭを生成し、Ｎ個のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｎのうち、Ｋ個に分配する。Ｋ個のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｋには、（３６０／Ｋ）度の位相差を有するパルス信号ＳＰＷＭ１～ＳＰＷＭＫが分配される。
　以上がＤＣ／ＤＣコンバータ２００の構成である。続いてその動作を説明する。ここではＭ＝４であり、駆動フェーズ数Ｋは２、３、４を取りうる場合を説明する。図８（ａ）～（ｃ）はそれぞれ、Ｋ＝２、３、４のときのスイッチング電圧Ｖｓｗ１～Ｖｓｗ４を示す波形図である。
　ＤＣ／ＤＣコンバータ２００の構成部品はプリント基板上に実装される。従来のＤＣ／ＤＣコンバータ２００は、主要な構成部品であるインダクタＬ１＿１～Ｌ１＿Ｎ、パワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｎが、同一実装面にマウントされていた。ここでいう主要な構成部品とは、専有面積が大きく、また大電流が流れる部品である。
　主要な構成部品を同一実装面に実装すると、ＤＣ／ＤＣコンバータ２００の専有面積が大きくなる。これはプリント基板の面積が大きくなることを意味し、コストアップの一因となり得る。
　また、複数のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｎの発熱が大きいアプリケーションでは、複数のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｎをヒートシンクで冷却する必要がある。ところが複数のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｎが、複数のインダクタＬ１＿１～Ｌ１＿Ｎなどの他の部品と近接配置すると、ヒートシンクの形状が、他の部品によって制約され、冷却効果が犠牲になるおそれがある。
　反対に、冷却効果を優先してレイアウトを決めると、パワーモジュールとインダクタの距離が遠くなり、ＤＣ／ＤＣコンバータ２００の専有面積が大きくなり、コストアップの要因となりうる。
（第１の実施の形態）
　本発明の一側面は、ＤＣ／ＤＣコンバータのレイアウトあるいは実装技術として把握される。本実施の形態において、ＤＣ／ＤＣコンバータの機能あるいは等価回路については、図７と同様である。
　いくつかの実施例で共通となるパワーモジュール２２０について説明する。パワーモジュール２２０自体は、公知であり、さまざまなＩＣメーカによって製造・販売されている。
　パワーモジュール２２０の回路構成は、図７と同様であり、ハイサイドトランジスタＭ１、ローサイドトランジスタＭ２、ハイサイドドライバ２２２、ローサイドドライバ２２４、ロジック回路２２６を備える。またパワーモジュール２２０は、入力（ＶＩＮ）ピン、スイッチングピン（ＳＷ）、グランドピン（ＰＧＮＤ，ＡＧＮＤ）、電源（ＶＣＣ）ピン、制御（ＰＷＭ）ピンなどを備える。なお、パワーモジュール２２０は、ブートストラップ回路や、各種保護回路などを備え、またそれらに関連する複数のピンを備えるが、本発明と無関係であるため図示せず、説明を省略する。
　ロジック回路２２６をはじめとする各回路ブロックには、ＶＣＣピンを介して電源電圧ＶＣＣが供給される。ＡＧＮＤピンは、ハイサイドドライバ２２２、ローサイドドライバ２２４、ロジック回路２２６等のグランドである。ＶＩＮピンには、直流の入力電圧ＶＩＮが供給され、ＰＧＮＤピンは、出力段のグランドである。
　ロジック回路２２６は、ＰＷＭピンに入力されるＰＷＭ信号ＳＰＷＭに応じて、ハイサイドパルス、ローサイドパルスを生成する。ハイサイドドライバ２２２はハイサイドパルスにもとづいてハイサイドトランジスタＭ１を駆動し、ローサイドドライバ２２４は、ローサイドパルスにもとづいてローサイドトランジスタＭ２を駆動する。
　続いて主要な回路部品のパッケージのピン配置を説明する。図９（ａ）は、パワーモジュール２２０の裏面電極のレイアウト図である。上述のようパワーモジュール２２０は、ＶＩＮピン、ＰＧＮＤピン、ＳＷピン、ＶＣＣピン、ＡＧＮＤピンを備える。この中で、ＶＩＮピンとＧＮＤピンは、相対的に他のパッドよりも面積が大きい。特にＰＧＮＤピン、ＡＧＮＤピンはサーマルパッドとしての機能も有するため、面積が大きい。ＰＷＭピンやその他の制御ピンは、残りのピンに割り当てられる。なお、図９の裏面電極のレイアウトは例示に過ぎず、チップベンダーや製品ごとに異なることは言うまでもない。
　図９（ｂ）は、インダクタＬ１の裏面電極のレイアウト図である。インダクタＬ１は、対向する２辺の中央に配置された第１電極Ｅ１と第２電極Ｅ２を有する。
　本実施の形態において解決しようとする課題のひとつは、レイアウトの改善である。そこではじめに、比較の基準となるレイアウト（以下、比較技術という）について説明する。
　近年の電子回路は、表面実装技術（ＳＤＴ：Surface Mount Technology）を用いて実装される。表面実装では、プリント基板上に形成されたパッド（ランド）に、クリーム半田を塗布し、マウンタを用いて部品を実装し、リフロー処理を行う。
　プリント基板の両面に表面実装により部品を実装する場合、一方の面（先行実装面）に部品を実装する。続いて、プリント基板を裏返した後に、他方の面（後行実装面）に部品を実装する。後行実装面をリフロー処理すると、先行実装面の半田が再加熱される。先行実装面に実装済みの部品が重かったり大きかったりすると、実装済みの部品が位置ズレを起こしたり、落下するおそれがある。この理由から、先行実装面に実装できる部品には、大きさや重さに制約があり、したがって先行実装面が副実装面となるのが一般的である。つまり副実装面には、相対的に少ない部品、軽い部品、小さい部品が実装され、主実装面には、相対的に多くの部品、重い部品、大きな部品が実装される。ＤＣ／ＤＣコンバータについても例外ではなく、よって比較技術においても基本的にはすべての部品が主実装面に実装される。
　図１０は、比較技術に係るＤＣ／ＤＣコンバータのレイアウト図である。この例では、Ｎ＝３とする。コントローラ２１０、パワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｎ、入力キャパシタＣｉ、出力キャパシタＣｏ（主要構成部品という）はすべて、プリント基板３００Ｒの主実装面ＳＡにレイアウトされている。
　複数のインダクタＬ１＿１～Ｌ１＿Ｎは、プリント基板上の第１方向（ｘ方向）に並べて配置される。パワーモジュール２２０＿＃（＃＝１，２…Ｎ）は、対応するインダクタＬ１＿＃と第２方向（ｙ方向）に隣接して配置される。これによりパワーモジュール２２０＿＃とインダクタＬ１＿＃の間の寄生抵抗を下げることができる。
　図１１は、比較技術に係るプリント基板３００Ｒの配線パターンを示す図である。図中、丸で示すのはビアホールである。プリント基板３００には、複数のパターン配線（プリント配線）ＰＴＮ１＿１～ＰＴＮ１＿３，ＰＴＮ＿２，ＰＴＮ３＿１～ＰＴＮ３＿３,ＰＴＮ４が形成される。第１パターン配線ＰＴＮ１＿１～ＰＴＮ１＿３は、図７の入力ライン２０２＿１～２０２＿３に対応している。パワーモジュール２２０＿＃（＃＝１，２…Ｎ）の入力ピンＶＩＮは、対応する第１パターン配線ＰＴＮ１＿＃のパッドと接続される。
　第２パターン配線ＰＴＮ２は、グランドプレーンであり、インピーダンスを極力小さくするために、全フェーズ共通で形成されている。パワーモジュール２２０＿＃（＃＝１，２…Ｎ）の接地ピンＰＧＮＤは、対応するパターン配線ＰＴＮ２のパッドと接続される。
　第１パターン配線ＰＴＮ１＿＃と第２パターン配線ＰＴＮ２の間には、入力キャパシタＣｉ＿＃が設けられる。入力キャパシタＣｉ＿＃は、ＭＬＣＣ（多層セラミックコンデンサ）や電解コンデンサであり、あるいはそれらの組み合わせでありうる。
　第３パターン配線ＰＴＮ３＿１～ＰＴＮ３＿３は、図７においてパワーモジュール２２０のＳＷピンとインダクタＬ１の一端を結ぶ配線である。パワーモジュール２２０＿＃（＃＝１，２…Ｎ）のＳＷピンＳＷは、対応する第３パターン配線ＰＴＮ３＿＃のパッドと接続される。またインダクタＬ１＿＃（＃＝１，２…Ｎ）の電極Ｅ１は、対応する第３パターン配線ＰＴＮ３＿＃のパッドと接続される。
　第４パターン配線ＰＴＮ４は、図７における出力ライン２０４に対応する。インダクタＬ１＿＃（＃＝１，２…Ｎ）の電極Ｅ２は、対応する第４パターン配線ＰＴＮ４のパッドと接続される。第４パターン配線ＰＴＮ４とグランドプレーンの間には、図７の出力キャパシタＣｏ（図１１において不図示）が接続される。
　第１パターン配線ＰＴＮ１～第４パターン配線ＰＴＮ４は、大電流が流れるため、インピーダンスをなるべく小さくする必要がある。したがってこれらのパターン配線ＰＴＮ１～ＰＴＮ４はそれぞれが多層配線を形成しており、図１１に図示しない別の配線層の配線と、ビアホールを介して接続されている。
　以上が比較技術に係る部品レイアウトである。続いて、実施の形態に係るレイアウトを説明する。本実施の形態では、Ｎ個のパワーモジュール２２０の少なくともひとつをプリント基板３００の主実装面ＳＡと反対側の副実装面ＳＢに実装することとした。以下、いくつかの実施例を説明する。
（実施例１－１）
　図１２（ａ）、（ｂ）は、実施例１－１に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ａのレイアウト図である。図１２（ａ）は斜視図を、図１２（ｂ）は断面図を示す。実施例１－１では、すべてのパワーモジュール２２０＿１～２２０＿３が、副実装面ＳＢに実装されている。入力キャパシタＣｉ＿＃は、パワーモジュール２２０＿＃のＶＩＮピンの直近に接続することが好ましい。そこで実施例１－１では、入力キャパシタＣｉ＿＃も副実装面ＳＢに実装される。
　図１３は、実施例１－１に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ａの配線パターンを示す図である。図１３において、主実装面ＳＡ側に実装される部品は破線で示し、副実装面ＳＢ側に実装される部品は二点鎖線で示す。パターン配線ＰＴＮ１～ＰＴＮ４の機能は、図１１と同様である。またパターン配線ＰＴＮ１～ＰＴＮ４は多層配線であり、主実装面ＳＡ、副実装面ＳＢの両面（および中間の配線層）にオーバーラップして形成され、それらは互いにビアホールで電気的に接続されている。
　以上が実施例１－１に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ａの構成である。副実装面ＳＢをパワーモジュール２２０の実装に利用することで、主実装面ＳＡあるいは副実装面ＳＢにスペース的な余裕が生ずる。このことによる利点を説明する。
　図１４は、ＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ａを副実装面ＳＢ側からみた斜視図である。ＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ａは、ヒートシンク２４０を備える。ヒートシンク２４０は、複数のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿３それぞれの上面と共通して接している。副実装面ＳＢ側には、パワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｎの周囲に、パワーモジュール２２０より背の高い部品は存在しないため、大きなヒートシンク２４０を設けることができ、冷却効率を高めることができる。
　ヒートシンクの具体的な構成例を説明する。図１５（ａ）、（ｂ）は、第１構成例に係るヒートシンク２４０Ａの断面図である。図１５（ａ）は、実施例１－１にヒートシンク２４０Ａを適用した様子を示し、図１５（ｂ）は、図１０の比較技術に同じヒートシンク２４０Ａを適用した様子を示す。
　ヒートシンク２４０Ａは、放熱部分２４２とコンタクト部分２４４を有する。放熱部分２４２には開口が設けられており、この開口にコンタクト部分２４４が嵌め込まれている。コンタクト部分２４４は、冷却対象のパワーモジュール２２０と接触する。
　実施例１－１と比較技術を対比する。図１５（ｂ）に示すように、パワーモジュール２２０が主実装面ＳＡに実装される比較技術では、パワーモジュール２２０の周辺に、背の高い部品２２１（たとえばインダクタ）が存在する。したがって放熱部分２４２をプリント基板表面に近づけることが難しくなり、コンタクト部分２４４のＺ方向の高さが高くなる。これは熱抵抗の増加の要因となり、すなわち冷却性能の低下を意味する。
　これに対してパワーモジュール２２０が副実装面ＳＢに実装される実施例１－１では、図１５（ａ）に示すように、パワーモジュール２２０の周辺に、背の高い部品が存在しないため、放熱部分２４２をプリント基板表面に近づけることができる。これにより、コンタクト部分２４４のＺ方向の高さを低くできる。これにより熱抵抗を下げ、冷却性能の改善できる。
　図１６（ａ）、（ｂ）は、第２構成例に係るヒートシンク２４０Ｂの断面図である。ヒートシンク２４０Ｂは、一枚の放熱板２４６で構成され、絞り加工により凸部２４８が設けられ、放熱板２４６は凸部２４８において、パワーモジュール２２０の表面と接触する。
　実施例１－１と比較技術を対比する。図１６（ｂ）に示すように比較技術では、パワーモジュール２２０の周辺に、背の高い部品２２１（たとえばインダクタ）が存在する。凸部２４８が部品２２１と干渉するため、比較技術では、第２構成例を採用することが難しい。
　これに対してパワーモジュール２２０が副実装面ＳＢに実装される実施例１－１では、パワーモジュール２２０の周辺に、ヒートシンク２４０Ｂの凸部２４８と干渉する部品が存在しない。したがって、ヒートシンク２４０Ｂの設計の自由度が高まり、第２構成例に係るヒートシンク２４０Ｂを採用できる。
　図１６のヒートシンク２４０Ｂは、図１５のヒートシンク２４０Ａと比較して構造が簡素化されているため、コストを下げることができる。また開口が不要であることから、電磁ノイズの遮蔽性能が高く、ＥＭＣ（Electro Magnetic Compatibility）を改善できる。
（実施例１－２）
　実施例１－２では、Ｎ＝４のＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｂについて説明する。図１７（ａ）、（ｂ）は、実施例１－２に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｂのレイアウト図である。図１７（ａ）は斜視図を、図１７（ｂ）は断面図を示す。実施例１－２では、Ｎ個のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｎは、主実装面ＳＡと副実装面ＳＢに交互に実装される。具体的には奇数番目のパワーモジュール２２０＿＃（＃＝１，３，…）は、副実装面ＳＢに実装され、偶数番目のパワーモジュール２２０＿＊（＊＝２，４，…）は、主実装面ＳＡに実装される。もちろん逆であってもよい。
　図１８は、実施例１－２に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｂの配線パターンを示す図である。図１８において、主実装面ＳＡ側に実装される部品は破線で示し、副実装面ＳＢ側に実装される部品は二点鎖線で示す。パターン配線ＰＴＮ１～ＰＴＮ４の機能は、上述した通りである。またパターン配線ＰＴＮ１～ＰＴＮ４は多層配線であり、主実装面ＳＡ、副実装面ＳＢの両面（および中間の配線層）にオーバーラップして形成され、それらは互いにビアホールで電気的に接続されている。
　実施例１－２において、Ｎ個のパワーモジュールは、１番目と２番目、３番目と４番目、…とペアをなしている。そしてペアをなす２個のパワーモジュール２２０＿ｉ，２２０＿ｊは、共通の入力ライン（すなわち共通の第１パターン配線ＰＴＮ１＿ｉ，ｊ）と接続される。
　実施例１－１あるいは比較技術のように、すべてのパワーモジュール２２０を同一実装面に実装すると、パワーモジュール２２０ごとに、第１パターン配線ＰＴＮ１を形成する必要がある。これに対して、実施例１－２のように、主実装面ＳＡと副実装面ＳＢに交互にパワーモジュール２２０を実装することで、ＶＩＮ端子同士が隣接することになるため、入力ラインを共通化できるという利点がある。
　加えて、入力ライン（第１パターン配線ＰＴＮ１＿ｉ，ｊ）が共通化されると、入力キャパシタＣｉ＿ｉ，ｊも共通化できるという利点がある。すなわち、主実装面ＳＡ側の入力キャパシタＣｉ＿ｉ，ｊは、パワーモジュール２２０＿ｉの入力キャパシタとして機能すると同時に、副実装面ＳＢ側のパワーモジュール２２０＿ｊの入力キャパシタとしても機能するため、入力キャパシタの効果を倍増することができる。あるいは、同じ入力キャパシタの効果を得るために必要なキャパシタの個数を減らすことができ、コストを削減できる。
（実施例１－３）
　図１９（ａ）、（ｂ）は、実施例１－３に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｄのレイアウト図である。実施例１－３は、実施例１－２のインダクタのチップサイズを小さくしたものである。インダクタＬ１に流れる電流が小さいアプリケーションでは、許容電流が小さい、すなわちチップサイズが小さい部品を選定でき、専有面積を小さくできる。
（実施例１－４）
　図２０（ａ）、（ｂ）は、実施例１－４に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｇのレイアウト図である。実施例１－４は、実施例１－３から、インダクタのレイアウトを変更したものであり、具体的には、各インダクタＬ１＿ｉは、それと対応するパワーモジュール２２０＿ｉと同一面に実装される。これにより対応するインダクタＬ１＿ｉとパワーモジュール２２０＿ｉを低インピーダンスで接続できる。
　より好ましくは、インダクタＬ１＿１とＬ１＿２のペアは、プリント基板３００Ｇの両面ＳＡ，ＳＢにオーバーラップして実装される。またインダクタＬ１＿３とＬ１＿４のペアは、プリント基板３００Ｇの両面ＳＡ，ＳＢにオーバーラップして実装される。これにより、隣接するインダクタの間隔を大きくすることができ、図１９（ａ）、（ｂ）のレイアウトに比べて熱的な集中を緩和できる。
（第２の実施の形態）
　実施例１－３において説明したように、インダクタＬ１に流れるコイル電流が小さいアプリケーションでは、チップサイズを小さくすることができる。しかしながら、インダクタＬ１に流れるコイル電流が大きいアプリケーションでは、許容電流が大きな、したがってチップサイズの大きな部品を選定せざるをえず、ＤＣ／ＤＣコンバータの占有サイズが、インダクタのチップサイズによって制約を受けることとなる。第２の実施の形態では、コイル電流が大きなアプリケーションにおいて、ＤＣ／ＤＣコンバータの占有サイズを小さくする技術を説明する。
　図２１は、第２の実施の形態に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｃの等価回路図である。ＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｃにおいて、インダクタＬ１＿＃（＃＝１，２…Ｎ）はそれぞれ、インダクタンス値が等しく、チップサイズが同一である２個のインダクタチップＬ１＿＃ａ、Ｌ１＿＃ｂの並列接続で構成される。
　２並列の場合のインダクタチップのインダクタンス値は、単一のインダクタチップの場合の１／２倍となる。一方、２並列の場合に、インダクタチップに流れる電流量は、単一のインダクタチップの場合の１／２倍となる。第２の実施の形態では、チップ当たりの電流量を減らすことで、電流容量の小さい、したがってパッケージサイズの小さいインダクタチップを選定することができる。たとえば、単一のインダクタチップの場合に１０ｍｍ角のインダクタチップを採用する場合、第２の実施の形態の技術思想を導入して、２並列とすることにより、６ｍｍ角のインダクタチップを採用することができる。
　ＤＣ／ＤＣコンバータ２００を搭載した製品を量産する際には、チップ部品の入手性を考慮する必要がある。特に、長い期間にわたり大量に製造、販売される製品では、チップ部品が長期間にわたり安定的に供給される必要がある。現在、チップ部品の小型化が進められており、小さいサイズのインダクタチップのラインナップが増えている代わりに、大きなサイズのチップ部品の入手性が悪くなっている。この観点において、従来において大きなチップサイズのインダクタを、チップサイズの小さい複数のインダクタチップの並列接続に置換することとで、入手性の問題を解決することができる。
（実施例２－１）
　図２２（ａ）、（ｂ）は、実施例２－１に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｃのレイアウト図である。図２２（ａ）は斜視図を、図２２（ｂ）は断面図を示す。
　電気的に並列に接続される２個のインダクタチップＬ１＿＃ａ、Ｌ１＿＃ｂは、プリント基板３００Ｃの主実装面ＳＡと副実装面ＳＢに、互いにオーバーラップして実装される。
　実施例２－１では、Ｎ個のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿Ｎは、第１の実施の形態の実施例１－２と同様に、主実装面ＳＡと副実装面ＳＢに交互に実装される。
　図２３は、実施例２－１に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｃの配線パターンを示す図である。ＤＣ／ＤＣコンバータの占有領域のＸ方向の長さ（全幅）Ｗは、インダクタチップの横幅ｗによって支配的に規定され、具体的には、Ｗ＝ｗ×Ｎ＋ｓ×（Ｎ－１）となる。ｓは、インダクタチップのｘ方向の間隔である。たとえば１０ｍｍ角のインダクタチップを、６ｍｍ角のインダクタチップに置き換えたとすれば、Ｎ＝４の場合で、ＤＣ／ＤＣコンバータの占有領域の全幅を、おおよそ４ｍｍ×４＝１６ｍｍ程度、小さくすることができる。
　加えて実施例２－１によれば、実施例１－２と同じ効果を得ることができる。すなわち、隣接する２フェーズで入力ラインを共通化でき、また入力キャパシタＣｉ＿ｉ，ｊも共通化できる。
（実施例２－２）
　図２４（ａ）、（ｂ）は、実施例２－２に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｅのレイアウト図である。図２４（ａ）は斜視図を、図２４（ｂ）は断面図を示す。実施例２－２は、複数のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿４が副実装面ＳＢに実装される点において、図１２の実施例１－１と共通する。図２４では、入力キャパシタＣｉは省略するが、実施例１－１と同様に、副実装面ＳＢに実装すればよい。
　実施例２－２によれば、実施例２－１と同様に、ＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｅの専有面積を小さくできる。
（実施例２－３）
　図２５（ａ）、（ｂ）は、実施例２－３に係るＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｆのレイアウト図である。図２５（ａ）は斜視図を、図２５（ｂ）は断面図を示す。実施例２－３では、複数のパワーモジュール２２０＿１～２２０＿４はすべて主実装面ＳＡ側に実装される。
　実施例２－３によれば、実施例２－１、実施例２－２と同様に、ＤＣ／ＤＣコンバータ２００Ｆの専有面積を小さくできる。
（変形例２－１）
　実施例２－１～２－３において、フェーズごとのインダクタＬ１を、２個のインダクタチップの並列接続としたが、チップの個数は２に限定されず、３個以上としてもよい。
（実装技術）
　続いてパワーモジュール２２０の実装技術を説明する。
　図７を参照する。ＤＣ／ＤＣコンバータ２００において、入力ライン２０２のインダクタ成分や抵抗成分は極力小さいことが望ましい。またＰＧＮＤピンについても、なるべく小さなインピーダンスで接地されることが望ましい。図１１や図１３に示したように、第１パターン配線ＰＴＮ１には、ＶＩＮピンを半田付けするためのパッド（ランド）が形成され、第２パターン配線ＰＴＮ２には、ＰＧＮＤピンを半田付けするためのパッド（ランド）が形成される。パターン配線ＰＴＮ１，ＰＴＮ２のインピーダンスを下げるために、多層配線が採用され、ビアホールが多数設けられるが、インピーダンスを可能な限り下げるためには、パッド（ランド）の内側に、ビアホールを形成することが要求される。このようなビアホールを、パッド内ビアと称する。
　図１１の比較技術では、パワーモジュール２２０が主実装面にのみ実装されるため、パッド内ビアの形成に格別の困難性はない。ところが、実施例１－１，１－２，１－３，２－１，２－２では、パワーモジュール２２０が副実装面に実装されるため、副実装面にパッド内ビアを形成する必要がある。コストを無視すれば、副実装面にパッド内ビアを形成することは不可能ではないが、コストを考慮した場合、従来の表面実装では、副実装面にパッド内ビアを設けることは容易ではない。実施の形態で説明した実装技術は、パッド内ビアを必要とするパワーモジュール２２０の実装に好適である。
　以上、本発明を実施の形態をもとに説明した。実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
　本発明は、表面実装技術に関する。
　１０　プリント基板
　１２，１４，１６　パッド
　１７　パッド内ビア
　１８　パッド
　１９　パッド内ビア
　Ｓ１　第１面
　Ｓ２　第２面
　２０　スクリーン
　２２　開口
　３０　クリーム半田
　３２　クリーム半田
　３４　半田の漏れ
　４０　部品
　Ｅ１，Ｅ２　電極
　Ｅ３　裏面電極
　５０　スクリーン
　５２，５４　開口
　５６　凹部
　６０　クリーム半田
　７０　部品

Claims (4)

  1. 　半導体装置の製造方法であって、
    　プリント基板の第１面に第１部品群を実装する第１ステップと、
    　前記プリント基板の第２面に第２部品群を実装する第２ステップと、
    　を備え、
    　前記プリント基板はパッド内ビアを有し、
    　前記第１ステップは、
    　前記第１面の複数のパッドにクリーム半田を塗布するステップと、
    　前記第１面に前記第１部品群にマウントするステップと、
    　前記プリント基板を加熱、冷却するステップと、
    　を含み、
    　前記第２ステップは、
    　前記第２面の複数のパッドの箇所に開口を有し、かつ前記パッド内ビアとオーバーラップする箇所に凹部を有するスクリーン（メタルマスク）を、前記第２面に載せるステップと、
    　前記スクリーンの上からクリーム半田を塗布し、前記スクリーンを外すステップと、
    　前記第２面に前記第２部品群をマウントするステップと、
    　前記プリント基板を過熱、冷却するステップと、
    　を備えることを特徴とする製造方法。
  2. 　前記第１部品群は、パワートランジスタを含み、
    　前記パッド内ビアは、前記パワートランジスタの裏面電極とオーバーラップする箇所に設けられることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
  3. 　パッド内ビアを有するプリント基板に部品を実装する際に使用されるスクリーンであって、
    　前記プリント基板に形成される複数のパッドと対応する箇所に設けられた複数の開口と、
    　前記パッド内ビアとオーバーラップする箇所に設けられた凹部と、
    　を備えることを特徴とするスクリーン。
  4. 　電圧安定化モジュールを有する半導体装置の製造方法であって、
    　プリント基板の第１面に、少なくともひとつのパワートランジスタを含む第１部品群を実装する第１ステップと、
    　前記プリント基板の第２面に、少なくともひとつのインダクタを含む第２部品群を実装する第２ステップと、
    　を備え、
    　前記プリント基板は、前記パワートランジスタの裏面電極とオーバーラップする箇所に設けられたパッド内ビアを有し、
    　前記第１ステップは、
    　前記第１面の複数のパッドにクリーム半田を塗布するステップと、
    　前記第１面に前記第１部品群にマウントするステップと、
    　前記プリント基板を加熱、冷却するステップと、
    　を含み、
    　前記第２ステップは、
    　前記第２面の複数のパッドの箇所に開口を有し、かつ前記パッド内ビアとオーバーラップする箇所に凹部を有するスクリーンを、前記第２面に載せるステップと、
    　前記スクリーンの上からクリーム半田を塗布し、前記スクリーンを外すステップと、
    　前記第２面に前記第２部品群をマウントするステップと、
    　前記プリント基板を過熱、冷却するステップと、
    　を備えることを特徴とする製造方法。
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