WO2019212011A1 - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 対象の外周領域を照明する外周照明部と、
対象の外周領域を撮像する外周撮像部とを備え、
前記外周照明部は、基準軸を中心とする円周の部分領域に沿って配置されて前記基準軸上の所定領域を照明する円弧型照明部を有し、
前記円弧照明部の前記基準軸は、対象の外周部が延びる接線方向と交差する方向に延びる、検査装置。 - 前記円弧照明部の前記基準軸は、前記接線方向と直交する方向に延び、前記基準軸上の前記所定領域は、対象の外周領域のうち平坦部と当該平坦部の外側の傾斜部との境界位置又は近傍が通過する箇所に対応する、請求項1に記載の検査装置。
- 前記円弧照明部の前記基準軸は、前記平坦部に対して平行に延びる、請求項2に記載の検査装置。
- 前記円弧照明部は、前記基準軸のまわりの180°以下の角度範囲に配置される、請求項2に記載の検査装置。
- 前記外周照明部は、対象の外周領域のうち最も外側の傾斜部が通過する箇所を斜方向から照明する傾斜照明部を有する、請求項1に記載の検査装置。
- 前記傾斜照明部は、対象の外周領域の傾斜部が通過する箇所に対向して配置される反射部と、当該反射部に照明光を供給する光供給部とを有する、請求項5に記載の検査装置。
- 前記反射部は、光拡散性を有する、請求項6に記載の検査装置。
- 前記外周照明部は、外周撮像部の結像光学系に組み込まれて対象の外周領域のうち平坦部を照明する落射照明部を有する、請求項1に記載の検査装置。
- 前記外周照明部と前記外周撮像部とを有する外周検査部の検査位置に対象を支持する保持部に対象を渡す移送部をさらに備える、請求項1に記載の検査装置。
- 前記外周照明部と前記外周撮像部とを有する外周検査部とは異なる機構で対象の外周を検査する複数の追加検査部をさらに備える、請求項1に記載の検査装置。
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