JP2001281158A - ウェハー枠の欠陥検査装置及び検査方法 - Google Patents
ウェハー枠の欠陥検査装置及び検査方法Info
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67271—Sorting devices
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
- G01N21/9503—Wafer edge inspection
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は半導体素子製造工場でウ
ェハー枠の欠陥を検査する装置及びその検査方法を提供
する。 【解決手段】 本発明の検査装置は半導体ウェハ
ーの枠のイメージ情報を処理して欠陥を検査する。検査
装置８はウェハーを動かす装置１９と、イメージ情報獲
得装置１０を具備する。ウェハーを動かす装置１９は前
記半導体ウェハーを収容して前記ウェハーを直線移動さ
せたり回転させたりすることができる。イメージ情報獲
得装置１０はウェハー枠をスキャニングしてイメージ情
報を獲得するために前記ウェハー枠に向かうように設置
される。前記ウェハーを動かす装置１９は前記イメージ
情報獲得装置１０が前記ウェハー枠の直線部に対するイ
メージ情報を獲得している時には前記ウェハーをそのウ
ェハー表面がなす平面と平行である方向に沿って直線移
動させ、前記イメージ情報獲得装置１０が前記ウェハー
枠の曲線部に対するイメージ情報を獲得している時には
前記ウェハーを円周方向に沿って回転させることを特徴
とする。
ェハー枠の欠陥を検査する装置及びその検査方法を提供
する。 【解決手段】 本発明の検査装置は半導体ウェハ
ーの枠のイメージ情報を処理して欠陥を検査する。検査
装置８はウェハーを動かす装置１９と、イメージ情報獲
得装置１０を具備する。ウェハーを動かす装置１９は前
記半導体ウェハーを収容して前記ウェハーを直線移動さ
せたり回転させたりすることができる。イメージ情報獲
得装置１０はウェハー枠をスキャニングしてイメージ情
報を獲得するために前記ウェハー枠に向かうように設置
される。前記ウェハーを動かす装置１９は前記イメージ
情報獲得装置１０が前記ウェハー枠の直線部に対するイ
メージ情報を獲得している時には前記ウェハーをそのウ
ェハー表面がなす平面と平行である方向に沿って直線移
動させ、前記イメージ情報獲得装置１０が前記ウェハー
枠の曲線部に対するイメージ情報を獲得している時には
前記ウェハーを円周方向に沿って回転させることを特徴
とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体素子製造工場
でウェハー枠の欠陥を検査する装置及びその検査方法に
関するものであり、特にウェハーを回転、または直線移
動させながらウェハー枠をラインスキャニングカメラで
スキャニングして得られるイメージ信号を処理して枠の
欠陥を検査する装置及び方法に関するものである。
でウェハー枠の欠陥を検査する装置及びその検査方法に
関するものであり、特にウェハーを回転、または直線移
動させながらウェハー枠をラインスキャニングカメラで
スキャニングして得られるイメージ信号を処理して枠の
欠陥を検査する装置及び方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、半導体素子製造等に広く使わ
れるウェハーは多数の工程を経る間熱的または物理的ス
トレスを受けるようになる。この時、ウェハー枠にクラ
ックなどの欠陥があれば深刻なウェハー損失が発生する
可能性が高い。すなわち、枠にとても小さいクラックで
もある場合には工程中に熱的または物理的ストレス等に
よって新しいクラックが発生したりクラックがウェハー
の他の部分にまで伝えられ得る。ひどい場合、熱処理工
程でウェハーが割れる場合も発生する。一般的に、清浄
室内ではいくつか（たとえば５０ケ程度）のウェハーを
キャリアなどのウェハーを入れる容器に装着した状態で
工程を進行する。したがって、一つのウェハーが割れれ
ば、割れたウェハーから発生されるパーティクルの汚染
のために、共に装着された他のウェハーまたは同一清浄
室内の他のウェハーが皆使えなくなることによって非常
に深刻な経済的、時間的損失をおよぼす可能性が高い。
れるウェハーは多数の工程を経る間熱的または物理的ス
トレスを受けるようになる。この時、ウェハー枠にクラ
ックなどの欠陥があれば深刻なウェハー損失が発生する
可能性が高い。すなわち、枠にとても小さいクラックで
もある場合には工程中に熱的または物理的ストレス等に
よって新しいクラックが発生したりクラックがウェハー
の他の部分にまで伝えられ得る。ひどい場合、熱処理工
程でウェハーが割れる場合も発生する。一般的に、清浄
室内ではいくつか（たとえば５０ケ程度）のウェハーを
キャリアなどのウェハーを入れる容器に装着した状態で
工程を進行する。したがって、一つのウェハーが割れれ
ば、割れたウェハーから発生されるパーティクルの汚染
のために、共に装着された他のウェハーまたは同一清浄
室内の他のウェハーが皆使えなくなることによって非常
に深刻な経済的、時間的損失をおよぼす可能性が高い。
【０００３】それにも拘わらず、ウェハー枠の欠陥をあ
らかじめ検査できる装置や適当な検査方法は未だに提示
されていない。肉眼で検査することではミクロン単位の
小さな欠陥を探せない。また、枠の検査方法はウェハー
の形状に合うように自動化されることが要求される。半
導体工場（Ｆａｂ）の他の工程とも適切に調和を作り出
す必要があるためである。
らかじめ検査できる装置や適当な検査方法は未だに提示
されていない。肉眼で検査することではミクロン単位の
小さな欠陥を探せない。また、枠の検査方法はウェハー
の形状に合うように自動化されることが要求される。半
導体工場（Ｆａｂ）の他の工程とも適切に調和を作り出
す必要があるためである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記のような
従来技術の限界と問題点を克服して、ウェハー枠の欠陥
を効果的に検査することができる装置及び方法を提供す
ることを目的とする。
従来技術の限界と問題点を克服して、ウェハー枠の欠陥
を効果的に検査することができる装置及び方法を提供す
ることを目的とする。
【０００５】本発明の他の目的は、他の半導体素子製造
工程と適切に調和を作り出すように自動化されたウェハ
ー枠の欠陥検査装置及び方法を提供することである。
工程と適切に調和を作り出すように自動化されたウェハ
ー枠の欠陥検査装置及び方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明ではウェハー枠上
に基準位置を事前に設定して、その基準位置からイメー
ジ情報獲得装置でスキャニングしてイメージ情報を獲得
する。この時にイメージ情報を獲得するウェハー枠上の
位置からイメージ情報獲得装置に入射する光と枠または
枠の接線がなす角度はスキャニングする間一定に維持さ
れる。前記イメージ情報を獲得した後にはその獲得され
たイメージ情報は適切に処理して欠陥を判別する。欠陥
がある位置も把握される。
に基準位置を事前に設定して、その基準位置からイメー
ジ情報獲得装置でスキャニングしてイメージ情報を獲得
する。この時にイメージ情報を獲得するウェハー枠上の
位置からイメージ情報獲得装置に入射する光と枠または
枠の接線がなす角度はスキャニングする間一定に維持さ
れる。前記イメージ情報を獲得した後にはその獲得され
たイメージ情報は適切に処理して欠陥を判別する。欠陥
がある位置も把握される。
【０００７】一例として、ウェハーの枠に直線部と曲線
部がある場合、直線部をスキャニングする時にはウェハ
ーを直線移動させて、ウェハーの曲線部をスキャニング
する時にはウェハーを回転させる。
部がある場合、直線部をスキャニングする時にはウェハ
ーを直線移動させて、ウェハーの曲線部をスキャニング
する時にはウェハーを回転させる。
【０００８】本発明の一側面によれば、ウェハー枠のイ
メージ情報を処理してウェハー枠の欠陥を検査するため
のものであり、ウェハー収容装置と、前記ウェハー枠を
スキャニングしてイメージ情報を獲得するために前記ウ
ェハー枠に向かうように設置されるイメージ情報獲得装
置を具備するが、前記ウェハー収容装置に収容されたウ
ェハーと、前記イメージ情報獲得装置との間には前記ウ
ェハー枠の全体をスキャニングすることができるように
相対的な移動がなされることを特徴とするウェハー枠の
欠陥検査装置が提供される。
メージ情報を処理してウェハー枠の欠陥を検査するため
のものであり、ウェハー収容装置と、前記ウェハー枠を
スキャニングしてイメージ情報を獲得するために前記ウ
ェハー枠に向かうように設置されるイメージ情報獲得装
置を具備するが、前記ウェハー収容装置に収容されたウ
ェハーと、前記イメージ情報獲得装置との間には前記ウ
ェハー枠の全体をスキャニングすることができるように
相対的な移動がなされることを特徴とするウェハー枠の
欠陥検査装置が提供される。
【０００９】本発明の他の側面によれば、ウェハーの枠
をスキャニングしたイメージ情報を処理して欠陥を検査
するための方法であり、前記ウェハーの枠がイメージ情
報獲得装置を向かうように整列する段階と、前記ウェハ
ーを動かして前記ウェハーの枠を前記イメージ情報獲得
装置でスキャニングする段階と、前記イメージ情報獲得
装置から獲得された前記ウェハーの枠イメージ情報を処
理して欠陥を判別する段階を具備することを特徴とする
半導体ウェハーの枠の欠陥を検査する方法が提供され
る。
をスキャニングしたイメージ情報を処理して欠陥を検査
するための方法であり、前記ウェハーの枠がイメージ情
報獲得装置を向かうように整列する段階と、前記ウェハ
ーを動かして前記ウェハーの枠を前記イメージ情報獲得
装置でスキャニングする段階と、前記イメージ情報獲得
装置から獲得された前記ウェハーの枠イメージ情報を処
理して欠陥を判別する段階を具備することを特徴とする
半導体ウェハーの枠の欠陥を検査する方法が提供され
る。
【００１０】以上のような本発明の目的と別の特徴及び
長所などは次に参照する本発明の好適な実施例に対する
以下の説明から明確になるであろう。
長所などは次に参照する本発明の好適な実施例に対する
以下の説明から明確になるであろう。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
例を説明する。 ＜ウェハー枠の検査装置の構造＞図１は本発明の一実施
例によるウェハー枠の欠陥検査装置の正面図であり、図
２は検査装置の全体システム構成図である。図１及び図
２を参照すれば、本発明の一実施例によるウェハー枠の
欠陥検査装置８はイメージ情報獲得装置１０、フラット
アライナー（Ｆｌａｔ Ａｌｉｇｎｅｒ；２０）と直線
移動器具３０とから構成されたウェハーを動かす装置１
９及びデータ貯蔵装置６０、データ処理装置７０、ディ
スプレイ部８０、入力部９０、そしてこれら全体を制御
するシステム制御部５０とから構成される。イメージ情
報獲得装置１０はウェハー枠のイメージを撮影する。フ
ラットアライナー２０には多数枚のウェハーが入れら
れ、ウェハーを回転させる。直線移動器具３０は上にフ
ラットアライナー２０が載せられ、フラットアライナー
２０を直線移動させ、結果ウェハーを直線移動させる。
システム制御部５０はイメージ情報獲得装置１０、フラ
ットアライナー２０、直線移動器具３０に各々連結され
て、これらを制御しウェハー枠イメージを撮影するよう
になり、また、撮影されたイメージデータの貯蔵、処理
及びディスプレイ等システム全体を制御する。
例を説明する。 ＜ウェハー枠の検査装置の構造＞図１は本発明の一実施
例によるウェハー枠の欠陥検査装置の正面図であり、図
２は検査装置の全体システム構成図である。図１及び図
２を参照すれば、本発明の一実施例によるウェハー枠の
欠陥検査装置８はイメージ情報獲得装置１０、フラット
アライナー（Ｆｌａｔ Ａｌｉｇｎｅｒ；２０）と直線
移動器具３０とから構成されたウェハーを動かす装置１
９及びデータ貯蔵装置６０、データ処理装置７０、ディ
スプレイ部８０、入力部９０、そしてこれら全体を制御
するシステム制御部５０とから構成される。イメージ情
報獲得装置１０はウェハー枠のイメージを撮影する。フ
ラットアライナー２０には多数枚のウェハーが入れら
れ、ウェハーを回転させる。直線移動器具３０は上にフ
ラットアライナー２０が載せられ、フラットアライナー
２０を直線移動させ、結果ウェハーを直線移動させる。
システム制御部５０はイメージ情報獲得装置１０、フラ
ットアライナー２０、直線移動器具３０に各々連結され
て、これらを制御しウェハー枠イメージを撮影するよう
になり、また、撮影されたイメージデータの貯蔵、処理
及びディスプレイ等システム全体を制御する。
【００１２】図５Ａはイメージ情報獲得装置１０の正面
図を図示したものであり、図５Ｂはイメージ情報獲得装
置１０の側面図を図示した図面である。図１及び図５を
参照すれば、イメージ情報獲得装置１０はカメラ１１と
照明ランプまたは照明灯を具備する照明装置１５を具備
する。カメラ１１と照明装置１５は各々検査装置本体に
具備された水平支持台１４と垂直支持台１８に設置され
る。カメラ１１はレンズ部１２と胴部１３を具備し、胴
部１３は水平の横支持台１４にレンズが下（ウェハー）
に向かうように支持固定される。
図を図示したものであり、図５Ｂはイメージ情報獲得装
置１０の側面図を図示した図面である。図１及び図５を
参照すれば、イメージ情報獲得装置１０はカメラ１１と
照明ランプまたは照明灯を具備する照明装置１５を具備
する。カメラ１１と照明装置１５は各々検査装置本体に
具備された水平支持台１４と垂直支持台１８に設置され
る。カメラ１１はレンズ部１２と胴部１３を具備し、胴
部１３は水平の横支持台１４にレンズが下（ウェハー）
に向かうように支持固定される。
【００１３】イメージスキャナーの一つの形態として本
実施例で使用するカメラ１１はデジタルラインスキャニ
ングカメラを使用することが望ましい。特に、ウェハー
枠の欠陥の大きさが０．５ｍｍ以下であるために高解像
度のスキャニングが必要な場合には，ＣＣＤラインスキ
ャニングカメラを使用することが望ましい。ピクセル
（Ｐｉｘｅｌ）数が２，０４８以上であるＣＣＤライン
スキャニングカメラを使用すれば高解像度のイメージス
キャニングが可能であるために効果的にウェハー枠の欠
陥を検査することができる。本発明の一実施例で使用で
きるＣＣＤラインスキャニングカメラの一例として、Ｄ
ＡＬＳＡ ＩＮＣ（ホームページアドレスｗｗｗ．ｄａ
ｌｓａ．ｃｏｍ）で販売するＤＡＬＳＡ ＣＬ−ＣＢ２
０４８ラインスキャニングカメラを挙げることができ
る。
実施例で使用するカメラ１１はデジタルラインスキャニ
ングカメラを使用することが望ましい。特に、ウェハー
枠の欠陥の大きさが０．５ｍｍ以下であるために高解像
度のスキャニングが必要な場合には，ＣＣＤラインスキ
ャニングカメラを使用することが望ましい。ピクセル
（Ｐｉｘｅｌ）数が２，０４８以上であるＣＣＤライン
スキャニングカメラを使用すれば高解像度のイメージス
キャニングが可能であるために効果的にウェハー枠の欠
陥を検査することができる。本発明の一実施例で使用で
きるＣＣＤラインスキャニングカメラの一例として、Ｄ
ＡＬＳＡ ＩＮＣ（ホームページアドレスｗｗｗ．ｄａ
ｌｓａ．ｃｏｍ）で販売するＤＡＬＳＡ ＣＬ−ＣＢ２
０４８ラインスキャニングカメラを挙げることができ
る。
【００１４】照明装置１５はランプ１７とソケット部１
６を具備し、ランプ１７はカメラ１１のレンズ部１２の
左右に２ケ設置されることが望ましい。照明装置１５の
ランプ１７の一例としては３波長蛍光電球を挙げること
ができる。図１で図示したように、照明ランプの長さ方
向はウェハー表面がなす平面と平行をなすように照明ラ
ンプを設置することが望ましい。合わせて、照明装置１
５ででてきたあかりが直接カメラレンズ内側にあらわれ
ないように位置を定めることが望ましい。照明装置１５
のランプ１７の出力はカメラ１１の感度及びランプ１７
とウェハー４０との間の距離、カメラレンズとウェハー
４０との間の距離によって変わる。照明装置１５のソケ
ット部１６は縦支持台１８により支持固定される。この
縦支持台１８は検査装置１０のフレーム１０ａに固定さ
れる。図５に図示された実施例では照明装置１５とカメ
ラ１１の相対的位置は同一に維持される。
６を具備し、ランプ１７はカメラ１１のレンズ部１２の
左右に２ケ設置されることが望ましい。照明装置１５の
ランプ１７の一例としては３波長蛍光電球を挙げること
ができる。図１で図示したように、照明ランプの長さ方
向はウェハー表面がなす平面と平行をなすように照明ラ
ンプを設置することが望ましい。合わせて、照明装置１
５ででてきたあかりが直接カメラレンズ内側にあらわれ
ないように位置を定めることが望ましい。照明装置１５
のランプ１７の出力はカメラ１１の感度及びランプ１７
とウェハー４０との間の距離、カメラレンズとウェハー
４０との間の距離によって変わる。照明装置１５のソケ
ット部１６は縦支持台１８により支持固定される。この
縦支持台１８は検査装置１０のフレーム１０ａに固定さ
れる。図５に図示された実施例では照明装置１５とカメ
ラ１１の相対的位置は同一に維持される。
【００１５】図３は直線移動器具３０とその上に置かれ
たフラットアライナー２０とから構成されたウェハーを
動かす装置１９の正面図である。図３に図示されたウェ
ハー４０は外観が円形ディスクの形態であるが、片方の
一部は直線弦の枠を構成する。したがって、ウェハー４
０の枠は直線の部分４１と円周枠を形成する曲線の部分
４２で区分される。カメラ１１がウェハー４０枠部分を
スキャニングしてイメージ情報を獲得している場合、直
線の部分４１と曲線の部分４２はランプ１７のあかりが
反射されてカメラレンズに入射する角度や光量などが異
なるようになる。したがって、直線部分４１をスキャニ
ングする時はウェハー４０が直線移動するようにし、曲
線部分４２をスキャニングする時にはウェハー４０が回
転運動ができるようにする装置が必要である。これを具
現するためのウェハーを動かす装置１９の一実施例で
は、ウェハーをウェハー表面が形成する平面に垂直の軸
線（ａｘｉｓ）を中心に回転させるためのフラットアラ
イナー２０と直線移動されるテーブルが具備された直線
移動器具３０とから構成される。
たフラットアライナー２０とから構成されたウェハーを
動かす装置１９の正面図である。図３に図示されたウェ
ハー４０は外観が円形ディスクの形態であるが、片方の
一部は直線弦の枠を構成する。したがって、ウェハー４
０の枠は直線の部分４１と円周枠を形成する曲線の部分
４２で区分される。カメラ１１がウェハー４０枠部分を
スキャニングしてイメージ情報を獲得している場合、直
線の部分４１と曲線の部分４２はランプ１７のあかりが
反射されてカメラレンズに入射する角度や光量などが異
なるようになる。したがって、直線部分４１をスキャニ
ングする時はウェハー４０が直線移動するようにし、曲
線部分４２をスキャニングする時にはウェハー４０が回
転運動ができるようにする装置が必要である。これを具
現するためのウェハーを動かす装置１９の一実施例で
は、ウェハーをウェハー表面が形成する平面に垂直の軸
線（ａｘｉｓ）を中心に回転させるためのフラットアラ
イナー２０と直線移動されるテーブルが具備された直線
移動器具３０とから構成される。
【００１６】しかし、上の実施例とは異なり、本発明の
また他の実施例ではウェハー４０を回転運動のみをさせ
ながらカメラ１１や照明装置１５のうちいずれか一つを
動くようにして、その相対的な位置を一定範囲内で調整
することができるように構成し、または、カメラ１１と
照明装置１５が共に動くように構成することもできる。
また他の実施例ではウェハー４０を回転運動のみをさせ
ながらカメラ１１や照明装置１５のうちいずれか一つを
動くようにして、その相対的な位置を一定範囲内で調整
することができるように構成し、または、カメラ１１と
照明装置１５が共に動くように構成することもできる。
【００１７】また、図３を参照すれば、フラットアライ
ナー２０はウェハー４０を入れるカセット２１とフレー
ム２５を具備する。カセット２１はいくつか（例えば２
５枚あるいは５０枚）のウェハー４０を入れられるよう
に構成され、カセット２１の両側横面には側面支持台２
２が具備される。フレーム２５は縦支持台２４を具備
し、支持台２４にはローラー２３が設置される。ローラ
ー２３は長い円筒棒状でカセット２１の下部分を通過す
るようにフレーム２５に設置され、カセット２１に入れ
られた多数ウェハー４０の枠と下の方で接触する。した
がって、ローラー２３がウェハー４０の枠の曲線部分に
接触した状態で回転すればウェハー４０もやはり回転す
るようになる。カセット２１とフレーム２５は各々別の
もので構成されてフレーム２５上にカセット２１が載せ
られる形態で組立られることもでき、カセット２１とフ
レーム２５が一体で構成されることもできる。このよう
なフラットアライナー２０は公知のものを使用すること
もできる。本発明の一実施例に使用するフラットアライ
ナー２０の例としてはＨ−Ｓｑｕａｒｅ社で販売するＥ
Ｚ Ｇｕｉｄｅフラットファインダー（Ｆｌａｔ Ｆｉ
ｎｄｅｒ）を挙げることができる。
ナー２０はウェハー４０を入れるカセット２１とフレー
ム２５を具備する。カセット２１はいくつか（例えば２
５枚あるいは５０枚）のウェハー４０を入れられるよう
に構成され、カセット２１の両側横面には側面支持台２
２が具備される。フレーム２５は縦支持台２４を具備
し、支持台２４にはローラー２３が設置される。ローラ
ー２３は長い円筒棒状でカセット２１の下部分を通過す
るようにフレーム２５に設置され、カセット２１に入れ
られた多数ウェハー４０の枠と下の方で接触する。した
がって、ローラー２３がウェハー４０の枠の曲線部分に
接触した状態で回転すればウェハー４０もやはり回転す
るようになる。カセット２１とフレーム２５は各々別の
もので構成されてフレーム２５上にカセット２１が載せ
られる形態で組立られることもでき、カセット２１とフ
レーム２５が一体で構成されることもできる。このよう
なフラットアライナー２０は公知のものを使用すること
もできる。本発明の一実施例に使用するフラットアライ
ナー２０の例としてはＨ−Ｓｑｕａｒｅ社で販売するＥ
Ｚ Ｇｕｉｄｅフラットファインダー（Ｆｌａｔ Ｆｉ
ｎｄｅｒ）を挙げることができる。
【００１８】図４は直線移動器具３０の平面図を図示す
るものである。図３及び図４を参照すれば、直線移動器
具３０は上、下二個のテーブル３８、３９及び案内装
置、そして駆動装置を具備する。
るものである。図３及び図４を参照すれば、直線移動器
具３０は上、下二個のテーブル３８、３９及び案内装
置、そして駆動装置を具備する。
【００１９】上、下二個のテーブル３８、３９は広い四
角形の形態であり、上部直線移動スライドテーブル３９
が下部支えテーブル３８上に載せられる構造をなす。上
部テーブル３９上にはフラットアライナー２０を支持、
固定するためのフラットアライナーホルダー３５が設置
される。フラットアライナーホルダー３５は上部テーブ
ル３９上に四角形の形態をなした、４ケから構成される
ものがあるが、本発明はこの構成で制限されない。下部
テーブル３８には上部テーブル３９が細い距離を制限す
るストッパー３７が設置されるが、下部テーブル３８の
両側に２ケ設置される。
角形の形態であり、上部直線移動スライドテーブル３９
が下部支えテーブル３８上に載せられる構造をなす。上
部テーブル３９上にはフラットアライナー２０を支持、
固定するためのフラットアライナーホルダー３５が設置
される。フラットアライナーホルダー３５は上部テーブ
ル３９上に四角形の形態をなした、４ケから構成される
ものがあるが、本発明はこの構成で制限されない。下部
テーブル３８には上部テーブル３９が細い距離を制限す
るストッパー３７が設置されるが、下部テーブル３８の
両側に２ケ設置される。
【００２０】案内装置は上、下二個のテーブル３８、３
９との間に相対的な運動を案内する装置であり、ガイド
レール３３とリニア軸受け３６とから構成される。ガイ
ドレール３３は設置されるウェハー４０の直線部分４１
と並んで整列される方向に延長されるように下部テーブ
ル３８上に固定、設置されて、２ケ設置されることが望
ましい。リニア軸受け３６は上部テーブル３９の下部に
前記ガイドレール３３と相互作用できるように固定、設
置されて、ガイドレール３３と結合されて上部テーブル
３９が直線運動できるようにする。リニア軸受け３６は
各ガイドレール３３当たり２個ずつ計４ケ設置されるこ
とが望ましいが、必ずこれだけに限定されるものではな
い。
９との間に相対的な運動を案内する装置であり、ガイド
レール３３とリニア軸受け３６とから構成される。ガイ
ドレール３３は設置されるウェハー４０の直線部分４１
と並んで整列される方向に延長されるように下部テーブ
ル３８上に固定、設置されて、２ケ設置されることが望
ましい。リニア軸受け３６は上部テーブル３９の下部に
前記ガイドレール３３と相互作用できるように固定、設
置されて、ガイドレール３３と結合されて上部テーブル
３９が直線運動できるようにする。リニア軸受け３６は
各ガイドレール３３当たり２個ずつ計４ケ設置されるこ
とが望ましいが、必ずこれだけに限定されるものではな
い。
【００２１】駆動装置は上部テーブル３９の直線運動を
駆動する装置であり、ステップモーター３１、ボールス
クリュー３２、センサー装置３４を具備し、下部テーブ
ル３８に設置される。ステップモーター３１はシステム
制御部５０の駆動信号により駆動され、上部テーブル３
９が下部テーブル３８上で直線運動するように動力を提
供する。ボールスクリュー３２はステップモーター３１
の円運動を上部テーブル３９の直線運動に変えて伝達す
る装置であり、上部テーブル３９に連結されてステップ
モーター３１の動力を上部テーブル３９に伝達する。セ
ンサー装置３４は上部テーブル３９の位置を感知してシ
ステム制御部５０に伝達することによって上部テーブル
３９の停止または移動方向の転換等直線運動を制御する
ようにする。
駆動する装置であり、ステップモーター３１、ボールス
クリュー３２、センサー装置３４を具備し、下部テーブ
ル３８に設置される。ステップモーター３１はシステム
制御部５０の駆動信号により駆動され、上部テーブル３
９が下部テーブル３８上で直線運動するように動力を提
供する。ボールスクリュー３２はステップモーター３１
の円運動を上部テーブル３９の直線運動に変えて伝達す
る装置であり、上部テーブル３９に連結されてステップ
モーター３１の動力を上部テーブル３９に伝達する。セ
ンサー装置３４は上部テーブル３９の位置を感知してシ
ステム制御部５０に伝達することによって上部テーブル
３９の停止または移動方向の転換等直線運動を制御する
ようにする。
【００２２】データ貯蔵装置６０はシステム制御部５０
と連結されてカメラ１１により入力されたウェハー４０
枠のイメージ情報を保存する。また、後述するデータ処
理装置７０で処理された結果も保存する。データ貯蔵装
置６０の実施例として、ハードディスクドライブやその
他の情報記録装置を利用することができる。
と連結されてカメラ１１により入力されたウェハー４０
枠のイメージ情報を保存する。また、後述するデータ処
理装置７０で処理された結果も保存する。データ貯蔵装
置６０の実施例として、ハードディスクドライブやその
他の情報記録装置を利用することができる。
【００２３】データ処理装置７０はシステム制御部５０
と連結されてカメラ１１により採取されて貯蔵装置６０
に保存されたウェハー４０枠のイメージ情報を処理して
欠陥可否を判別する等、ウェハー４０枠に対する情報を
分析して整理する。その結果はディスプレイ部８０に伝
えられる。データ処理装置７０の一例としてマイクロプ
ロセッサーを利用することができる。
と連結されてカメラ１１により採取されて貯蔵装置６０
に保存されたウェハー４０枠のイメージ情報を処理して
欠陥可否を判別する等、ウェハー４０枠に対する情報を
分析して整理する。その結果はディスプレイ部８０に伝
えられる。データ処理装置７０の一例としてマイクロプ
ロセッサーを利用することができる。
【００２４】ディスプレイ部８０はシステム制御部５０
と連結（またはデータ処理装置と直接連結される）さ
れ、データ貯蔵装置６０に保存されたウェハー４０枠の
イメージ情報やデータ処理装置７０により処理された情
報を目に見えるようにディスプレイする。ディスプレイ
部８０としては通常のモニターなどを利用することがで
き、後述する入力部９０と統合されたタッチスクリーン
装置を利用することもできる。
と連結（またはデータ処理装置と直接連結される）さ
れ、データ貯蔵装置６０に保存されたウェハー４０枠の
イメージ情報やデータ処理装置７０により処理された情
報を目に見えるようにディスプレイする。ディスプレイ
部８０としては通常のモニターなどを利用することがで
き、後述する入力部９０と統合されたタッチスクリーン
装置を利用することもできる。
【００２５】入力部９０はシステム制御部５０と連結さ
れてイメージ情報獲得装置１０やウェハーを動かす装置
１９を駆動したり、イメージ情報データの貯蔵、処理の
ための命令などを入力する部分である。入力部９０の一
例として一般的なキーボード（ｋｅｙｂｏａｒｄ）、ま
たはタッチスクリーン、マウスなどを利用することがで
きる。
れてイメージ情報獲得装置１０やウェハーを動かす装置
１９を駆動したり、イメージ情報データの貯蔵、処理の
ための命令などを入力する部分である。入力部９０の一
例として一般的なキーボード（ｋｅｙｂｏａｒｄ）、ま
たはタッチスクリーン、マウスなどを利用することがで
きる。
【００２６】システム制御部５０は本発明のウェハー枠
の欠陥検査装置を構成する他のあらゆる部分に連結され
て、これらの駆動及び情報処理などを制御する部分であ
る。システム制御部５０の一実施例として一般コンピュ
ータの演算処理装置（ＣＰＵ）と連結して構成したり、
別個のマイクロプロセッサーなどを具備した別の装置で
具現することもできる。
の欠陥検査装置を構成する他のあらゆる部分に連結され
て、これらの駆動及び情報処理などを制御する部分であ
る。システム制御部５０の一実施例として一般コンピュ
ータの演算処理装置（ＣＰＵ）と連結して構成したり、
別個のマイクロプロセッサーなどを具備した別の装置で
具現することもできる。
【００２７】上記の実施例ではウェハーを動かす装置１
９がフラットアライナー２０と直線移動器具３０とから
構成されることと説明したが、本発明はこれだけに限定
されない。ウェハー４０が回転運動または直線移動をす
るようにすることができる他の装置もウェハーを動かす
装置１９で使用することもできる。その他の異なる部分
も本発明の目的に符合するように適切に変形して他の実
施例を構成することができ、このような変形実施例も本
発明の範囲に属するものであることは当業者ならば容易
に分かることである。
９がフラットアライナー２０と直線移動器具３０とから
構成されることと説明したが、本発明はこれだけに限定
されない。ウェハー４０が回転運動または直線移動をす
るようにすることができる他の装置もウェハーを動かす
装置１９で使用することもできる。その他の異なる部分
も本発明の目的に符合するように適切に変形して他の実
施例を構成することができ、このような変形実施例も本
発明の範囲に属するものであることは当業者ならば容易
に分かることである。
【００２８】＜ウェハー枠の検査方法＞図６は本発明の
一実施例によるウェハー枠の検査方法の流れ図を図示し
たものである。図１ないし図６を参照してウェハー枠の
検査方法を詳細に説明すれば次の通りである。
一実施例によるウェハー枠の検査方法の流れ図を図示し
たものである。図１ないし図６を参照してウェハー枠の
検査方法を詳細に説明すれば次の通りである。
【００２９】まず、ウェハー４０をフラットアライナー
２０のカセット２１に入れる。カセット２１が装着され
たフラットアライナー２０を直線移動器具３０に装着す
る。この時、図面から分かるように直線移動器具３０が
移動する方向（すなわち、図３のＸ軸）とウェハー４０
の表面をなす平面と平行をなすように、またはウェハー
４０の直線部分４１の延長方向が一致するようにウェハ
ーが置かれる。
２０のカセット２１に入れる。カセット２１が装着され
たフラットアライナー２０を直線移動器具３０に装着す
る。この時、図面から分かるように直線移動器具３０が
移動する方向（すなわち、図３のＸ軸）とウェハー４０
の表面をなす平面と平行をなすように、またはウェハー
４０の直線部分４１の延長方向が一致するようにウェハ
ーが置かれる。
【００３０】ウェハーを装着した次には一つのカセット
に込められたウェハーのロット（ＬＯＴ）番号を入力部
９０を通じて入力する。一つのロットをなすウェハー４
０は一つのカセットに入れることができるウェハー４０
の枚数のみから構成され、ロット番号は一般的にウェハ
ーの種類や製作業者、検査日、一連番号などが結合され
た適切な数字と記号とから構成されている。
に込められたウェハーのロット（ＬＯＴ）番号を入力部
９０を通じて入力する。一つのロットをなすウェハー４
０は一つのカセットに入れることができるウェハー４０
の枚数のみから構成され、ロット番号は一般的にウェハ
ーの種類や製作業者、検査日、一連番号などが結合され
た適切な数字と記号とから構成されている。
【００３１】ロット番号を入力した後ウェハー４０を整
列する。すなわち、以後のスキャニング過程で検索され
た欠陥がウェハー４０枠のどの位置に存在しているかを
分かるためにウェハー４０を回転運動や直線移動させる
時基準になる位置をまず定める。このような基準位置に
ウェハー４０の直線部分４１の片方の端を設定すること
もできる。図３に図示したように、Ｘ−Ｙ軸座標平面
（この平面はウェハー表面と平行である平面である）を
設定すれば、各ウェハー枠上の事前に設定された基準位
置が同一なＸ座標値、Ｙ座標値を有するように整列す
る。言い替えれば、それぞれのウェハーの事前に設定さ
れた基準位置はウェハーの表面がなす平面に垂直のある
直線上に位置するように整列することである。
列する。すなわち、以後のスキャニング過程で検索され
た欠陥がウェハー４０枠のどの位置に存在しているかを
分かるためにウェハー４０を回転運動や直線移動させる
時基準になる位置をまず定める。このような基準位置に
ウェハー４０の直線部分４１の片方の端を設定すること
もできる。図３に図示したように、Ｘ−Ｙ軸座標平面
（この平面はウェハー表面と平行である平面である）を
設定すれば、各ウェハー枠上の事前に設定された基準位
置が同一なＸ座標値、Ｙ座標値を有するように整列す
る。言い替えれば、それぞれのウェハーの事前に設定さ
れた基準位置はウェハーの表面がなす平面に垂直のある
直線上に位置するように整列することである。
【００３２】ウェハー整列後にはウェハー４０を動かし
ながらカメラ１１でスキャニングしてウェハー枠を撮影
する。望ましくは、ウェハー４０枠の直線部分４１をま
ずスキャニングする。入力部９０を通じてウェハーの検
査を命令すれば、システム制御部５０がウェハーを動か
す装置１９の直線移動器具３０が直線移動するように駆
動する。すなわち、ステップモーター３１を回転させて
ボールスクリュー３２を通じて上部テーブル３９が下部
テーブル３８上で案内されながらＸ軸方向に直線移動す
るようにすれば、上部テーブル３９に装着されたフラッ
トアライナー２０も直線運動をするようになるためにウ
ェハー４０枠の直線部分４１のイメージがカメラ１１に
より撮影（採取）される。カメラ１１は２次元イメージ
を一度に撮影する方式ではなく、ライン別にスキャニン
グしながら撮影するために、一定な速度でウェハー４０
を直線移動させながらスキャニングすると、ウェハー４
０枠の直線部分４１のイメージが全て入力される。下部
テーブル３８に装着されたセンサー装置３４によって上
部テーブル３９の位置が感知され、システム制御部５０
によりウェハー４０の直線運動が制御されて枠の直線部
分４１がもれなくスキャニングされる。
ながらカメラ１１でスキャニングしてウェハー枠を撮影
する。望ましくは、ウェハー４０枠の直線部分４１をま
ずスキャニングする。入力部９０を通じてウェハーの検
査を命令すれば、システム制御部５０がウェハーを動か
す装置１９の直線移動器具３０が直線移動するように駆
動する。すなわち、ステップモーター３１を回転させて
ボールスクリュー３２を通じて上部テーブル３９が下部
テーブル３８上で案内されながらＸ軸方向に直線移動す
るようにすれば、上部テーブル３９に装着されたフラッ
トアライナー２０も直線運動をするようになるためにウ
ェハー４０枠の直線部分４１のイメージがカメラ１１に
より撮影（採取）される。カメラ１１は２次元イメージ
を一度に撮影する方式ではなく、ライン別にスキャニン
グしながら撮影するために、一定な速度でウェハー４０
を直線移動させながらスキャニングすると、ウェハー４
０枠の直線部分４１のイメージが全て入力される。下部
テーブル３８に装着されたセンサー装置３４によって上
部テーブル３９の位置が感知され、システム制御部５０
によりウェハー４０の直線運動が制御されて枠の直線部
分４１がもれなくスキャニングされる。
【００３３】直線部分４１のスキャニングが終わった後
には、曲線部分４２をスキャニングする。まず、カメラ
１１の中心軸線がウェハー曲線部分４２の中心点をすぎ
るようにウェハー４０を直線移動させる。その後、事前
に設定された基準位置（例えば、枠の直線部分４１と曲
線部分４２の境界をなす地点中のある一点）がカメラ１
１によるスキャニングの中心付近に置かれるようにす
る。その次にはシステム制御部５０によりフラットアラ
イナー２０のローラー２３が回転するように駆動され
る。ローラー２３の回転によりローラー２３に接触した
ウェハー４０がやはり回転運動をするために、枠の曲線
部分４２もスキャニングされてイメージが撮影される。
この時、カメラ１１で撮影したイメージをデジタルデー
タに変換して外部に出力する。枠の曲線部分４２がもれ
なくスキャニングされるように回転運動が制御された後
には、ローラー２３はシステム制御部５０の信号により
停止する。
には、曲線部分４２をスキャニングする。まず、カメラ
１１の中心軸線がウェハー曲線部分４２の中心点をすぎ
るようにウェハー４０を直線移動させる。その後、事前
に設定された基準位置（例えば、枠の直線部分４１と曲
線部分４２の境界をなす地点中のある一点）がカメラ１
１によるスキャニングの中心付近に置かれるようにす
る。その次にはシステム制御部５０によりフラットアラ
イナー２０のローラー２３が回転するように駆動され
る。ローラー２３の回転によりローラー２３に接触した
ウェハー４０がやはり回転運動をするために、枠の曲線
部分４２もスキャニングされてイメージが撮影される。
この時、カメラ１１で撮影したイメージをデジタルデー
タに変換して外部に出力する。枠の曲線部分４２がもれ
なくスキャニングされるように回転運動が制御された後
には、ローラー２３はシステム制御部５０の信号により
停止する。
【００３４】ウェハー４０の枠の直線部分４１と曲線部
分４２が全てスキャニングされてイメージが撮影された
後には、これらイメージデータは貯蔵装置６０に保存さ
れる。データ処理装置７０はこのデータを取り出して処
理し、枠上にクラックなどの欠陥があるかを分析する。
通常、一つのロットに該当するウェハー枠のイメージ情
報はいくつかのフレームからなる。作業を効率的に進行
するために、一つのフレームを完成する間に既に完成さ
れたフレームのデータを保存して処理することが望まし
い。
分４２が全てスキャニングされてイメージが撮影された
後には、これらイメージデータは貯蔵装置６０に保存さ
れる。データ処理装置７０はこのデータを取り出して処
理し、枠上にクラックなどの欠陥があるかを分析する。
通常、一つのロットに該当するウェハー枠のイメージ情
報はいくつかのフレームからなる。作業を効率的に進行
するために、一つのフレームを完成する間に既に完成さ
れたフレームのデータを保存して処理することが望まし
い。
【００３５】枠の欠陥を検索するデータプロセシング過
程では例えば、イメージデータプロセシング方法を利用
することができる。その欠陥検索方法の例としてはデー
タ処理装置７０があらかじめ入力された欠陥が全くない
ウェハー４０枠のイメージとスキャニングされたウェハ
ー４０枠のイメージ情報を比較することによって枠の欠
陥可否が分かることもできる。または、枠に欠陥があれ
ば、その部分で反射される光の角度や光量などが不規則
的な変化を見せるようになるために、これらを計算して
欠陥可否及びその大きさが分かることができることを当
業者ならば理解することができる。
程では例えば、イメージデータプロセシング方法を利用
することができる。その欠陥検索方法の例としてはデー
タ処理装置７０があらかじめ入力された欠陥が全くない
ウェハー４０枠のイメージとスキャニングされたウェハ
ー４０枠のイメージ情報を比較することによって枠の欠
陥可否が分かることもできる。または、枠に欠陥があれ
ば、その部分で反射される光の角度や光量などが不規則
的な変化を見せるようになるために、これらを計算して
欠陥可否及びその大きさが分かることができることを当
業者ならば理解することができる。
【００３６】データプロセシングが終われば結果を出力
し、一方では保存する。データ処理装置７０によりウェ
ハー４０枠の欠陥可否の検索が終わったデータはデータ
貯蔵装置６０に保存されて、一方ではディスプレイ部８
０を通じて出力される。また、ディスプレイ部８０に現
れた結果をプリンタで出力、印刷することもできる。そ
して、データ貯蔵装置６０に保存されたウェハー４０枠
のイメージ情報データは以後いつでも再び使用者の必要
に応じてディスプレイしたり出力印刷することができ
る。すなわち、入力部９０を通じてロット番号を入力す
れば、該当ロットに該当するデータがディスプレイ部８
０に現れるので、いつでもその結果をまた確認したり出
力印刷したりすることができる。
し、一方では保存する。データ処理装置７０によりウェ
ハー４０枠の欠陥可否の検索が終わったデータはデータ
貯蔵装置６０に保存されて、一方ではディスプレイ部８
０を通じて出力される。また、ディスプレイ部８０に現
れた結果をプリンタで出力、印刷することもできる。そ
して、データ貯蔵装置６０に保存されたウェハー４０枠
のイメージ情報データは以後いつでも再び使用者の必要
に応じてディスプレイしたり出力印刷することができ
る。すなわち、入力部９０を通じてロット番号を入力す
れば、該当ロットに該当するデータがディスプレイ部８
０に現れるので、いつでもその結果をまた確認したり出
力印刷したりすることができる。
【００３７】図７は本発明の一実施例によるウェハー枠
の検査結果、ディスプレイ部８０に出力された画面のひ
とつを図示したものである。一つのロットを構成するウ
ェハーが２５枚である場合を例にして、５番目のウェハ
ーと２３番目のウェハーの枠に欠陥があるというデータ
処理結果をディスプレイしたものである。ディスプレイ
部８０の画面左側には２５個のウェハーの枠の欠陥可否
が出力される。例えば、欠陥がない場合は該当ウェハー
の一連番号の隣に“ＯＫ”であると表示され、欠陥があ
る場合は該当ウェハーの一連番号の隣に“Ｒ”であると
表示されながら、番号も他の色でディスプレイされる。
この時、欠陥があるウェハーの番号または“Ｒ”を選択
すれば、画面右側の上段には該当ロット番号と欠陥があ
るウェハーの一連番号が表示され、その下には指定され
た欠陥があるウェハーに対して、欠陥の位置と大きさ、
個数などが表示される。図面の例のように枠に存在する
欠陥を大きさ別に異なるように（例えば、色合いを別に
表示する等）ディスプレイすれば、結果が見やすくな
る。以前画面で欠陥があるウェハーの一連番号を他のも
のに選択すれば、（図７では、例えば５番に）再びそれ
に該当するウェハーの欠陥位置、大きさ、個数が表示さ
れるようにすることができる。
の検査結果、ディスプレイ部８０に出力された画面のひ
とつを図示したものである。一つのロットを構成するウ
ェハーが２５枚である場合を例にして、５番目のウェハ
ーと２３番目のウェハーの枠に欠陥があるというデータ
処理結果をディスプレイしたものである。ディスプレイ
部８０の画面左側には２５個のウェハーの枠の欠陥可否
が出力される。例えば、欠陥がない場合は該当ウェハー
の一連番号の隣に“ＯＫ”であると表示され、欠陥があ
る場合は該当ウェハーの一連番号の隣に“Ｒ”であると
表示されながら、番号も他の色でディスプレイされる。
この時、欠陥があるウェハーの番号または“Ｒ”を選択
すれば、画面右側の上段には該当ロット番号と欠陥があ
るウェハーの一連番号が表示され、その下には指定され
た欠陥があるウェハーに対して、欠陥の位置と大きさ、
個数などが表示される。図面の例のように枠に存在する
欠陥を大きさ別に異なるように（例えば、色合いを別に
表示する等）ディスプレイすれば、結果が見やすくな
る。以前画面で欠陥があるウェハーの一連番号を他のも
のに選択すれば、（図７では、例えば５番に）再びそれ
に該当するウェハーの欠陥位置、大きさ、個数が表示さ
れるようにすることができる。
【００３８】前記で説明した本発明の実施例ではウェハ
ー４０枠の直線部分４１と曲線部分４２を各々別にスキ
ャニングする方法として、まずウェハー４０を直線移動
させながら直線部分４１をスキャニングし、その後、ウ
ェハー４０を回転させながら曲線部分４２をスキャニン
グする方法を説明した。しかし、これとは異なる実施例
を具現することもできる。すなわち、ウェハー４０を直
線移動させずに回転運動のみをさせて、直線部分４１と
曲線部分４２の差によって光の反射角が変わる場合、照
明装置１５またはカメラ１１などを移動させて反射され
た光がカメラ１１のレンズに入ることができるように構
成することもできる。この場合、ウェハー４０の直線部
分４１をスキャニングする時には照明装置１５とカメラ
１１を共に移動させて反射された光がカメラ１１に対し
て常に一定の角で入射するように構成することが最も望
ましいが、照明装置１５とカメラ１１のうちいずれか一
つのみが動くように構成することもできる。このような
実施例らを具現した検査装置及び方法も本発明の趣旨及
び範囲に属するものである。
ー４０枠の直線部分４１と曲線部分４２を各々別にスキ
ャニングする方法として、まずウェハー４０を直線移動
させながら直線部分４１をスキャニングし、その後、ウ
ェハー４０を回転させながら曲線部分４２をスキャニン
グする方法を説明した。しかし、これとは異なる実施例
を具現することもできる。すなわち、ウェハー４０を直
線移動させずに回転運動のみをさせて、直線部分４１と
曲線部分４２の差によって光の反射角が変わる場合、照
明装置１５またはカメラ１１などを移動させて反射され
た光がカメラ１１のレンズに入ることができるように構
成することもできる。この場合、ウェハー４０の直線部
分４１をスキャニングする時には照明装置１５とカメラ
１１を共に移動させて反射された光がカメラ１１に対し
て常に一定の角で入射するように構成することが最も望
ましいが、照明装置１５とカメラ１１のうちいずれか一
つのみが動くように構成することもできる。このような
実施例らを具現した検査装置及び方法も本発明の趣旨及
び範囲に属するものである。
【００３９】本発明の前記実施例ではウェハーが直線部
と曲線部を具備するものとして説明した。しかし、これ
とは別に１２インチウェハーの場合には枠の全体が円形
からなり、その円形枠に一つのノッチが設けられる。こ
のようなウェハーの枠を検査する時にはフラットアライ
ナー２０のカセット２１にウェハーを装着した後、直線
移動器具３０を移動させて、ウェハーの円形枠の中心点
をカメラ１１の中心軸線と一致させる。その後、フラッ
トアライナー２０を駆動して各ウェハーの事前に設定さ
れた基準位置（例えばノッチ）が整列されるようにす
る。その後、ウェハーを回転させながら枠のイメージを
スキャニングしてイメージ情報を獲得する。このよう
に、本発明によるウェハー検査装置は多様なウェハーの
形状に対応してそのウェハー枠の欠陥を検査することが
できる。
と曲線部を具備するものとして説明した。しかし、これ
とは別に１２インチウェハーの場合には枠の全体が円形
からなり、その円形枠に一つのノッチが設けられる。こ
のようなウェハーの枠を検査する時にはフラットアライ
ナー２０のカセット２１にウェハーを装着した後、直線
移動器具３０を移動させて、ウェハーの円形枠の中心点
をカメラ１１の中心軸線と一致させる。その後、フラッ
トアライナー２０を駆動して各ウェハーの事前に設定さ
れた基準位置（例えばノッチ）が整列されるようにす
る。その後、ウェハーを回転させながら枠のイメージを
スキャニングしてイメージ情報を獲得する。このよう
に、本発明によるウェハー検査装置は多様なウェハーの
形状に対応してそのウェハー枠の欠陥を検査することが
できる。
【００４０】
【発明の効果】前記したように本発明のウェハー枠の欠
陥を検査する装置及びその検査方法によれば、まず、ウ
ェハーの諸般工程を進行させる以前に枠に欠陥があるウ
ェハーを分かることができるために、以後の熱処理工程
等でウェハー枠の欠陥によってウェハーが割れて発生す
るウェハーの損失をあらかじめ予防することができると
いう効果がある。また、ウェハーを直線移動または曲線
移動させることによって常に均一なイメージ情報をスキ
ャニングすることができる。そして、ウェハー枠の欠陥
を効果的に検査できる自動化された検査装置及び方法を
提供することによって、他の半導体素子製造工程とも適
切に調和され得る。
陥を検査する装置及びその検査方法によれば、まず、ウ
ェハーの諸般工程を進行させる以前に枠に欠陥があるウ
ェハーを分かることができるために、以後の熱処理工程
等でウェハー枠の欠陥によってウェハーが割れて発生す
るウェハーの損失をあらかじめ予防することができると
いう効果がある。また、ウェハーを直線移動または曲線
移動させることによって常に均一なイメージ情報をスキ
ャニングすることができる。そして、ウェハー枠の欠陥
を効果的に検査できる自動化された検査装置及び方法を
提供することによって、他の半導体素子製造工程とも適
切に調和され得る。
【００４１】以上では本発明を実施例によって詳細に説
明したが、本発明は実施例によって限定されず、本発明
が属する技術分野において通常の知識を有するものであ
れば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修
正または変更できるであろう。
明したが、本発明は実施例によって限定されず、本発明
が属する技術分野において通常の知識を有するものであ
れば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修
正または変更できるであろう。
【図１】図１は、本発明の一実施例によるウェハー枠の
欠陥検査装置の正面図である。
欠陥検査装置の正面図である。
【図２】図２は、図１の検査装置のシステム構成図であ
る。
る。
【図３】図３は、図１の検査装置を構成するウェハーを
動かす装置の正面図である。
動かす装置の正面図である。
【図４】図４は、図１の検査装置のウェハーを動かす装
置のうちウェハーを直線移動させる直線移動器具の平面
図である。
置のうちウェハーを直線移動させる直線移動器具の平面
図である。
【図５】図５は、図５Ａは図１の検査装置を構成するイ
メージ情報獲得装置の右側面図であり、図５Ｂは図１の
検査装置を構成するイメージ情報獲得装置の正面図であ
る。
メージ情報獲得装置の右側面図であり、図５Ｂは図１の
検査装置を構成するイメージ情報獲得装置の正面図であ
る。
【図６】図６は、本発明の一実施例によるウェハー枠の
検査方法の流れ図である。
検査方法の流れ図である。
【図７】図７は、本発明の一実施例によるウェハー枠の
検査結果ディスプレイ部に出力された画面のひとつを図
示した図面である。
検査結果ディスプレイ部に出力された画面のひとつを図
示した図面である。
８ ウェハー枠の欠陥検査装置 １０ イメージ情報獲得装置 １９ ウェハーを動かす装置 ２０ フラットアライナー ３０ 直線移動器具 ５０ システム制御部 ６０ データ貯蔵装置 ７０ データ処理装置 ８０ ディスプレイ部 ９０ 入力部
Claims (12)
- 【請求項１】ウェハー枠のイメージ情報を処理してウェ
ハー枠の欠陥を検査するためのものであり、ウェハー収
容装置と、前記ウェハー枠をスキャニングしてイメージ
情報を獲得するために前記ウェハー枠に向かうように設
置されるイメージ情報獲得装置を具備するが、前記ウェ
ハー収容装置に収容されたウェハーと、前記イメージ情
報獲得装置との間には前記ウェハー枠の全体をスキャニ
ングすることができるように相対的な移動がなされるこ
とを特徴とするウェハー枠の欠陥検査装置。 - 【請求項２】前記イメージ情報獲得装置はカメラと照明
装置を具備し、前記カメラと前記照明装置とを移動させ
ながらスキャニングすることを特徴とする請求項１に記
載のウェハー枠の欠陥検査装置。 - 【請求項３】円形曲線部を有するウェハーの枠のイメー
ジ情報を処理して欠陥を検査するためのものであり、前
記ウェハーを収容して前記ウェハーを直線移動させたり
回転させたりすることができるウェハーを動かす装置
と、前記ウェハー枠をスキャニングしてイメージ情報を
獲得するために前記ウェハー枠に向かうように設置され
るイメージ情報獲得装置を具備するが、前記ウェハーを
動かす装置は、前記イメージ情報獲得装置が前記ウェハ
ー枠に直線部が形成されている場合、前記イメージ情報
獲得装置がその直線部に対するイメージ情報を獲得して
いる時には前記ウェハーをそのウェハーの表面がなす平
面と平行である方向に沿って直線移動させ、前記イメー
ジ情報獲得装置が前記ウェハー枠の曲線部に対するイメ
ージ情報を獲得している時には前記ウェハーを円周方向
に沿って回転させることを特徴とするウェハー枠の欠陥
検査装置。 - 【請求項４】前記ウェハーを動かす装置は、直線移動が
可能な直線移動テーブルを有する直線移動器具と、前記
直線移動テーブル上に装着され、枠上に事前に設定され
た基準位置を具備する同一な形状の多数のウェハーを並
列で並んで収容するが、前記それぞれのウェハーの基準
位置が一列になるように前記多数のウェハーを整列さ
せ、前記多数のウェハーを円周方向に沿って回転させる
ために、前記直線移動テーブル上に装着されたフラット
アライナーを具備するが、前記直線移動テーブルの直線
移動方向が前記ウェハーの表面がなす平面と平行になる
ように前記フラットアライナーが前記直線移動テーブル
上に置かれることを特徴とする請求項３に記載のウェハ
ー枠の欠陥検査装置。 - 【請求項５】前記イメージ情報獲得装置はＣＣＤライン
スキャニングカメラであることを特徴とする請求項１、
３、４のうちいずれか一つに記載のウェハー枠の欠陥検
査装置。 - 【請求項６】前記イメージ情報獲得装置で獲得された前
記ウェハー枠のイメージ情報を処理して欠陥可否を判別
するデータ処理装置と、前記イメージ情報獲得装置で獲
得された前記ウェハー枠のイメージ情報と、前記データ
処理装置で処理されたデータを保存するデータ貯蔵装置
と、前記データ処理装置の処理結果を出力する出力装置
と、前記イメージ情報獲得装置、データ貯蔵装置、デー
タ処理装置、出力装置を制御するシステム制御部をさら
に具備することを特徴とする請求項１ないし４のうちい
ずれか一つに記載のウェハー枠欠陥検査装置。 - 【請求項７】前記直線移動器具は下部支えテーブルと、
前記支えテーブル上に置かれ、前記フラットアライナー
を支持するフラットアライナーホルダーを具備した上部
直線移動テーブルと、前記直線移動テーブルと前記支え
テーブル間に介在されるリニアガイドと、前記直線移動
テーブルを直線移動させる駆動装置を具備することを特
徴とする請求項４に記載のウェハー枠の欠陥検査装置。 - 【請求項８】前記イメージ情報獲得装置は照明装置を具
備するが、前記照明装置に具備されたランプはその長さ
方向が前記ウェハー表面がなす平面と平行になるように
設置されることを特徴とする請求項１ないし４のうちい
ずれか一つに記載のウェハー枠の欠陥検査装置。 - 【請求項９】ウェハーの枠をスキャニングしたイメージ
情報を処理して欠陥を検査するための方法であり、前記
ウェハーの枠がイメージ情報獲得装置を向かうように整
列する段階と、前記ウェハーを動かして前記ウェハーの
枠を前記イメージ情報獲得装置でスキャニングする段階
と、前記イメージ情報獲得装置から獲得された前記ウェ
ハーの枠イメージ情報を処理して欠陥を判別する段階を
具備することを特徴とするウェハーの枠の欠陥を検査す
る方法。 - 【請求項１０】多数のウェハーの枠をスキャニングした
イメージ情報を処理して欠陥を検査するための方法であ
り、前記多数のウェハーを並列で並んで整列させる段階
と、前記ウェハーを動かして前記ウェハーの枠を前記イ
メージ情報獲得装置でスキャニングする段階と、前記イ
メージ情報獲得装置から獲得された前記ウェハーの枠の
イメージ情報を処理して欠陥を判別する段階を具備する
が、前記ウェハー枠をスキャニングする段階で、前記ウ
ェハー枠が直線部を有する場合前記イメージ情報獲得装
置が前記ウェハーの直線部をスキャニングする時には前
記ウェハーは前記ウェハーの表面がなす平面と平行であ
る方向に沿って移動し、前記イメージ情報獲得装置が前
記ウェハーの曲線部をスキャニングする時には前記ウェ
ハーはウェハーの円周方向に沿って回転されることを特
徴とするウェハーの枠の欠陥検査方法。 - 【請求項１１】前記ウェハーを整列させる段階はあらゆ
るウェハー各々にある事前に設定された基準位置がウェ
ハー表面がなす平面とはだいたいに垂直である方向に延
長される直線上に位置するようになり、前記基準位置が
イメージ情報獲得装置を向かうように整列させることを
特徴とする請求項１０に記載のウェハーの枠の欠陥検査
方法。 - 【請求項１２】ウェハーの枠の欠陥を検査するための方
法であり、前記ウェハー枠の事前に設定された基準位置
からイメージ情報獲得装置でスキャニングしてイメージ
情報を獲得する段階と、前記獲得されたイメージ情報を
処理して欠陥を判別する段階を具備するが、前記イメー
ジ情報獲得段階でウェハー枠をスキャニングする間には
イメージ情報を獲得するウェハー枠上の位置からイメー
ジ情報獲得装置に入射する光線と枠または枠の接線がな
す角度を一定に維持することを特徴とするウェハーの枠
の欠陥を検査する方法。
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