JP6705338B2 - ウエハの異常を検査する装置及びその検査方法 - Google Patents
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- オリエンテーション・フラットが形成された略円形のウエハの外周部の異常の有無を検査する装置であって、
前記外周部を撮影する撮影部と、
前記外周部を照らす照明部と、
前記ウエハを回転させる回転駆動部と、
前記撮影部が撮影した画像に基づいて前記外周部の異常の有無を判定する制御部と、を備え、
前記撮影部は、前記ウエハの半径方向に沿って延びる視野を有し、
前記制御部は、前記視野内において前記ウエハの半径方向に並ぶ所定値以上の輝度値を有する画素の数に基づいて前記外周部の異常の有無を判定し、
前記撮影部の光軸は、前記半径方向に直交する、
装置。 - オリエンテーション・フラットが形成された略円形のウエハの外周部の異常の有無を検査する装置であって、
前記外周部を撮影する撮影部と、
前記外周部を照らす照明部と、
前記ウエハを回転させる回転駆動部と、
前記撮影部が撮影した画像に基づいて前記外周部の異常の有無を判定する制御部と、を備え、
前記撮影部は、前記ウエハの半径方向に沿って延びる視野を有し、
前記撮影部の光軸は、前記半径方向に直交し、
前記制御部は、前記撮影部が撮影した複数の画像のそれぞれから前記外周部にある面取り部の幅を算出し、算出した複数の幅の代表値に対する比率が閾値以下となる幅を有する面取り部に異常があると判定するように構成される、
装置。 - 前記撮影部の光軸は、前記ウエハの主面に垂直である、
請求項1又は2に記載の装置。 - 前記撮影部は、ラインセンサカメラであり、第1時点で前記ウエハの中心から前記外周部までの半径方向距離が最小となる位置にある前記外周部を撮影し、第2時点で前記半径方向距離が最大となる位置にある前記外周部を撮影するように設置される、
請求項1乃至3の何れかに記載の装置。 - オリエンテーション・フラットが形成された略円形のウエハの外周部の異常の有無を検査する装置であって、
前記外周部を照らす照明部と、
所定の固定範囲を撮影する撮影部と、
前記ウエハを回転させる回転駆動部と、
前記撮影部が撮影した画像に基づいて前記外周部の異常の有無を判定する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記所定の固定範囲内において前記ウエハの半径方向に並ぶ所定値以上の輝度値を有する画素の数に基づいて前記外周部の異常の有無を判定し、
前記撮影部は、ラインセンサカメラであり、第1時点で前記ウエハの中心から前記外周部までの半径方向距離が最小となる位置にある前記外周部を撮影し、第2時点で前記半径方向距離が最大となる位置にある前記外周部を撮影するように設置される、
装置。 - 前記撮影部は、前記外周部の全周にわたって前記外周部にある面取り部を合焦範囲内に含むように設置される、
請求項1乃至5の何れかに記載の装置。 - 前記撮影部は、前記外周部を一方の側から撮影する第1撮影部と、他方の側から撮影する第2撮影部とを含み、
前記照明部は、前記外周部を一方の側から照明する第1照明部と、他方の側から照明する第2照明部とを含む、
請求項1乃至6の何れかに記載の装置。 - オリエンテーション・フラットが形成された略円形のウエハの外周部の異常の有無を検査する方法であって、
回転駆動部によって回転させられ且つ照明部によって照らされた前記ウエハの前記外周部を含む所定の固定範囲を撮影部が撮影する工程と、
前記撮影部が撮影した複数の画像のそれぞれから前記外周部にある面取り部の幅を制御部が算出する工程と、
算出した複数の幅の代表値を前記制御部が算出する工程と、
前記複数の幅のそれぞれの前記代表値に対する比率に基づいて前記外周部の異常の有無を前記制御部が判定する工程と、を有する、
方法。
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