JP2018063207A - 検査装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】装置の大型化を抑制することができる検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】検査装置1は、検査対象100の周りに円弧状に設けられ検査対象100に向けて光を照射するアーチ状照射部31を有する照明装置3と、アーチ状照射部31から照射された光が反射する検査対象100の光反射表面101を撮像する撮像装置5と、撮像装置5によって撮像された画像に基づいて検査対象100の光反射表面101を検査する判定装置とを備えることを特徴とする。この結果、検査装置1は、装置の大型化を抑制することができる、という効果を奏する。【選択図】図1

Description

本発明は、検査装置に関する。
検査対象の表面の外観検査を行う従来の検査装置として、例えば、特許文献1には、検査対象のコネクタ部品を載せる検査台と、コネクタ部品を照射する照明体と、水平面に対して斜めの方向であり、かつ、コネクタ部品の3面を撮影可能な方向を光軸として、コネクタ部品を撮像するカメラと、を備え、カメラの撮像面が光軸に対して傾けられている検査装置が開示されている。
特開2014−163874号公報
ところで、上述の特許文献1に記載の検査装置は、例えば、製造ライン等における限られたスペースでの検査を可能とするべく、装置の大型化抑制の点で更なる改善の余地がある。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、装置の大型化を抑制することができる検査装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る検査装置は、検査対象の周りに円弧状に設けられ前記検査対象に向けて光を照射するアーチ状照射部を有する照明装置と、前記アーチ状照射部から照射された光が反射する前記検査対象の光反射表面を撮像する撮像装置と、前記撮像装置によって撮像された画像に基づいて前記検査対象の前記光反射表面を検査する判定装置とを備えることを特徴とする。
また、上記検査装置では、前記アーチ状照射部の両端部を結んだ線に沿った回転軸線を回転中心として前記検査対象と前記アーチ状照射部とを相対回転させる回転駆動装置を備え、前記判定装置は、前記回転駆動装置によって前記検査対象と前記アーチ状照射部とを相対回転させながら前記撮像装置によって撮像された前記画像に基づいて前記検査対象の前記光反射表面を検査するものとすることができる。
また、上記検査装置では、高さ方向に対して前記検査対象を保持する保持面を備え、前記検査対象は、少なくとも前記光反射表面の端部が曲面状に形成され、前記アーチ状照射部は、両端部が前記高さ方向に対して前記保持面の前記検査対象とは反対側に位置し、前記回転駆動装置は、前記アーチ状照射部の円弧状の頂点部が前記高さ方向に対して前記保持面の前記検査対象とは反対側に位置する開始位置から、前記検査対象と前記アーチ状照射部との相対回転に伴った当該検査対象に対する当該アーチ状照射部による光の走査方向に対して前記開始位置の反対側で前記頂点部が前記保持面の前記検査対象とは反対側に位置する終了位置まで、当該アーチ状照射部を回転させるものとすることができる。
また、上記検査装置では、前記撮像装置は、前記検査対象と前記アーチ状照射部との相対回転に伴った当該検査対象に対する当該アーチ状照射部による光の走査方向に対して、前記回転軸線を挟んで両側に少なくとも1つずつ設けられ、それぞれ前記アーチ状照射部の前記検査対象とは反対側に位置し当該検査対象に対して相対位置が固定されているものとすることができる。
また、上記検査装置では、前記撮像装置は、前記検査対象と前記アーチ状照射部との相対回転に伴って前記検査対象の前記光反射表面を複数回撮像し、前記判定装置は、前記検査対象と前記アーチ状照射部との相対回転に伴って前記撮像装置によって撮像された複数の前記画像に基づいて前記検査対象の前記光反射表面の光沢異常を検査するものとすることができる。
本発明に係る検査装置は、照明装置と撮像装置と判定装置とによって、検査対象の光反射表面に光を照射し、当該光が反射する検査対象の光反射表面を撮像し、当該撮像された画像に基づいて検査対象の光反射表面を検査することができる。この場合において、検査装置は、検査対象の光反射表面に光を照射するアーチ状照射部が検査対象の周りに円弧状に設けられ当該検査対象に向けて光を照射する構成であるので、装置の大型化を抑制することができる、という効果を奏する。
図1は、実施形態に係る検査装置の概略構成を表す模式的なブロック図である。 図2は、実施形態に係る検査装置の各部を回転軸線方向の一方側から視た模式的な正面図である。 図3は、実施形態に係る検査装置の各部を走査方向の一方側から視た模式的な正面図である。 図4は、実施形態に係る検査装置における合成画像の一例を表す模式図である。 図5は、実施形態に係る検査装置における合成画像の一例を表す模式図である。 図6は、実施形態に係る検査装置における光沢異常部位の画像の一例を表す図である。 図7は、実施形態に係る検査装置における制御の一例を表すフローチャート図である。 図8は、実施形態に係る検査装置のアーチ状照射部の端部位置について説明する模式図である。
以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。
[実施形態]
図1、図2、図3に表す本実施形態に係る検査装置1は、検査対象100の表面を構成する光反射表面101の外観検査を行う装置であり、典型的には、検査対象100の光反射表面101の光沢異常を検査する装置である。ここで、検査対象100は、表面に光反射表面101によって構成される光沢表面を有するものであり、例えば、金属部品、樹脂成形品等である。本実施形態の検査対象100は、少なくとも光反射表面101の端部が曲面状に形成された光透過性を有する樹脂成形品であり、一例として、車両の車室内側に設けられるルームランプカバーであるものとして説明する。以下、各図を参照して検査装置1の構成について詳細に説明する。
なお、以下の説明では、互いに交差する第1方向、第2方向、及び、第3方向のうち、第1方向を「回転軸方向X」といい、第2方向を「走査方向Y」といい、第3方向を「高さ方向Z」という。ここでは、回転軸方向Xと走査方向Yと高さ方向Zとは、相互に直交(交差)する方向である。回転軸方向Xは、典型的には、後述するアーチ状照射部31の回転軸線Cに沿った方向に相当する。走査方向Yは、検査対象100とアーチ状照射部31との相対回転に伴った当該検査対象100に対する当該アーチ状照射部31による光の走査の方向に相当する。高さ方向Zは、後述する保持面21が保持する検査対象100の厚み方向に相当し、典型的には、平面として構成される保持面21の法線方向に相当する。本実施形態の高さ方向Zは、典型的には、鉛直方向であり、回転軸方向X、走査方向Yは、水平方向であるものとして説明する。以下の説明で用いる各方向は、特に断りのない限り、各部が相互に組み付けられた状態での方向を表すものとする。
具体的には、本実施形態の検査装置1は、図1、図2、図3に示すように、載置台2と、照明装置3と、回転駆動装置4と、撮像装置5と、出力装置6と、判定装置としての制御装置7とを備える。
載置台2は、高さ方向Zに対して検査対象100を保持する保持面21が設けられるものである。ここでは、載置台2は、矩形板状に形成されるものとして図示しているがこれに限らない。保持面21は、載置台2の高さ方向Zの一方側の面、ここでは、鉛直方向上側の面に設けられる。本実施形態の保持面21は、法線方向が高さ方向Zに沿った平面、すなわち、水平面として形成され、鉛直方向(高さ方向Z)に対して検査対象100を載置することで当該検査対象100を保持する載置面を構成する。
照明装置3は、保持面21上に保持された検査対象100に対して検査用の光(以下、「検査光」という場合がある。)を照射するものである。本実施形態の照明装置3は、アーチ状照射部31を有して構成される。アーチ状照射部31は、検査対象100の周りに円弧状に設けられ検査対象100の光反射表面101に向けて検査光を照射するものである。アーチ状照射部31は、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)等の複数の発光素子が円弧状に配列され筐体等に保持されて構成される。アーチ状照射部31は、円弧状に配列された複数の発光素子の内側に、保持面21上に保持された検査対象100が位置するような位置関係で、当該検査対象100の周りの一部を囲うように設けられる。アーチ状照射部31は、単独の円弧(すなわち、単一の半径の円弧)によって構成される円弧状(例えば、半円弧状)に複数の発光素子が配列されてもよいし、複数の円弧(すなわち、半径の異なる複数の円弧)を組み合わせた円弧状に複数の発光素子が配列されてもよい。本実施形態のアーチ状照射部31は、光反射表面101の端部が曲面状に形成された検査対象100の当該光反射表面101の全面に渡って適正に検査光を照射するために、検査対象100を保持する保持面21との位置関係が所定の位置関係となるように配置される。すなわち、アーチ状照射部31は、両端部31bが高さ方向Zに対して保持面21の検査対象100とは反対側に位置する。つまりここでは、アーチ状照射部31は、両端部31bが保持面21の鉛直方向下側に位置する。照明装置3は、アーチ状照射部31を構成する複数の発光素子から当該円弧状の内側に向けて検査光を照射することで、当該アーチ状照射部31から検査対象100に向けて検査光を照射する。また、照明装置3は、複数の発光素子から照射された検査光を検査対象100に向けて拡散させる拡散板を備えていてもよい。さらに、照明装置3は、複数の発光素子に対する走査方向Yの両側に遮光フードを備え、乱反射による迷走光を抑制するようにしてもよい。照明装置3は、アーチ状照射部31の他、例えば、当該アーチ状照射部31を駆動するための駆動回路等を含んで構成される。照明装置3は、当該駆動回路等が制御装置7に電気的に接続され、当該制御装置7から入力される制御信号に基づいて各部の駆動が制御される。
回転駆動装置4は、回転軸線Cを回転中心として検査対象100とアーチ状照射部31とを相対回転させるものである。回転軸線Cは、検査対象100とアーチ状照射部31との相対回転の回転中心となる軸線であり、アーチ状照射部31の両端部を結んだ線に沿った軸線である。ここでは、回転軸線Cは、回転軸方向Xに沿って設定される。本実施形態の回転駆動装置4は、検査対象100を保持する保持面21に対してアーチ状照射部31を回転軸線C周りに回転させることで、検査対象100とアーチ状照射部31とを相対回転させる。回転駆動装置4は、載置台2、あるいは、当該載置台2が設けられる構造体等に対して、アーチ状照射部31を上記回転軸線C周りに回転可能に支持する。回転駆動装置4は、予め設定された開始位置から検査対象100の鉛直方向上側(高さ方向Zにおいて光反射表面101が位置する側)を通って終了位置まで、当該アーチ状照射部31を回転させる。ここで、予め設定された開始位置は、アーチ状照射部31の円弧状の頂点部31aが高さ方向Zに対して保持面21の検査対象100とは反対側、すなわち、保持面21より鉛直方向下側に位置する位置である。一方、予め設定された終了位置は、走査方向Yに対して開始位置の反対側で頂点部31aが保持面21の検査対象100とは反対側、すなわち、保持面21より鉛直方向下側に位置する位置である。回転駆動装置4は、アーチ状照射部31を回転させるための動力源となるモータ、モータが発生させた動力によってアーチ状照射部31を回転させる回転機構、モータが発生させた動力を回転機構に伝達する伝達ギヤ、伝達ベルト等の伝達部材、当該回転駆動装置4を駆動するための駆動回路等を含んで構成される。回転駆動装置4は、当該駆動回路等が制御装置7に電気的に接続され、当該制御装置7から入力される制御信号に基づいて各部の駆動が制御される。
撮像装置5は、アーチ状照射部31から照射された検査光が反射する検査対象100の光反射表面101を撮像するものである。撮像装置5は、例えば、CCDカメラ、CMOSカメラ等を用いることができる。本実施形態の撮像装置5は、検査対象100とアーチ状照射部31との相対回転に伴った当該検査対象100に対する当該アーチ状照射部31による光の走査方向Yに対して、回転軸線Cを挟んで両側に少なくとも1つずつ設けられる。ここでは、撮像装置5は、第1カメラ51と、第2カメラ52とを含んで構成される。第1カメラ51は、走査方向Yに対して、回転軸線Cの一方側に設けられ、第2カメラ52は、回転軸線Cの他方側に設けられる。第1カメラ51、第2カメラ52は、それぞれアーチ状照射部31の検査対象100とは反対側、すなわち、アーチ状照射部31の外側に位置し検査対象100に対して相対位置が固定される。ここでは、第1カメラ51、第2カメラ52は、例えば、載置台2、あるいは、当該載置台2が設けられる構造体等に対して支持フレーム等を介して固定的に支持されることで、それぞれアーチ状照射部31の外側で検査対象100に対して相対位置が固定される。第1カメラ51、第2カメラ52は、検査対象100との相対位置が固定された状態で光軸が検査対象100の光反射表面101に向けられており、撮像画角内に当該光反射表面101の全体が入るように配置されている。すなわち、第1カメラ51、第2カメラ52は、それぞれ光反射表面101の全体を撮像可能なように配置される。第1カメラ51、第2カメラ52は、それぞれ光軸角度(カメラ迎角)α(図2参照)が、例えば、5°以上30°以下(5°≦α≦30°)程度に設定されることが好ましいがこれに限らず、例えば、光軸角度α=0等であってもよい。ここで、光軸角度αは、第1カメラ51、第2カメラ52の光軸と保持面21の法線とがなす角度に相当する。第1カメラ51、第2カメラ52は、それぞれ当該第1カメラ51、第2カメラ52を駆動するための駆動回路等を含んで構成される。第1カメラ51、第2カメラ52は、それぞれ当該駆動回路等が制御装置7に電気的に接続され、当該制御装置7から入力される制御信号に基づいて各部の駆動が制御される。また、第1カメラ51、第2カメラ52は、それぞれ撮像した画像の画像データを制御装置7に出力可能である。なお、以下の説明では、第1カメラ51と第2カメラ52とを特に区別して説明する必要がない場合には、単に「撮像装置5」という。
出力装置6は、検査装置1における検査の結果に関する種々の情報を出力するものである。出力装置6は、例えば、検査の結果に関する種々の情報として、視覚情報(画像情報、文字情報等)を出力するディスプレイや表示灯、聴覚情報(音声情報、音情報)を出力するスピーカ等を用いることができる。出力装置6は、出力装置6を駆動するための駆動回路等を含んで構成される。出力装置6は、当該駆動回路等が制御装置7に電気的に接続され、当該制御装置7から入力される制御信号に基づいて各部の駆動が制御される。
制御装置7は、撮像装置5によって撮像された画像に基づいて検査対象100の光反射表面101を検査する判定装置を構成するものである。本実施形態の判定装置は、検査装置1の各部を統括的に制御する当該制御装置7によって兼用されるものとして説明するがこれに限らず、当該制御装置7とは別個に構成され、相互に種々の信号、情報の授受を行う構成であってもよい。制御装置7は、CPU、ROM、RAM及びインターフェースを含む周知のマイクロコンピュータを主体とする電子回路を含んで構成される。制御装置7は、照明装置3、回転駆動装置4、撮像装置5、出力装置6等が駆動回路等を介して電気的に接続され、照明装置3、回転駆動装置4、撮像装置5、出力装置6等に制御信号を出力する。また、制御装置7は、第1カメラ51、第2カメラ52が撮像した画像の画像データが入力される。制御装置7は、ROM、RAM等に格納されている制御プログラムを実行することにより、照明装置3、回転駆動装置4、撮像装置5、出力装置6等に制御信号を出力し検査対象100の光反射表面101を検査するための種々の処理を実行する。
本実施形態の制御装置7は、回転駆動装置4によって検査対象100とアーチ状照射部31とを相対回転させながら撮像装置5によって撮像された画像に基づいて検査対象100の光反射表面101を検査する。この場合、撮像装置5は、制御装置7による制御に基づいて、検査対象100とアーチ状照射部31との相対回転に伴って検査対象100の光反射表面101を複数回撮像し、当該撮像した複数の画像を制御装置7に出力する。そして、制御装置7は、検査対象100とアーチ状照射部31との相対回転に伴って撮像装置5によって撮像された複数の画像に基づいて検査対象100の光反射表面101の光沢異常を検査する。
制御装置7は、一例として、機能概念的に、記憶部71、照明制御部72、回転駆動制御部73、撮像制御部74、画像合成部75、判定部76、及び、出力制御部77を含んで構成される。記憶部71、照明制御部72、回転駆動制御部73、撮像制御部74、画像合成部75、判定部76、及び、出力制御部77は、電気的に接続されている各種装置との間で種々の信号、情報を授受することができる。
記憶部71は、メモリ等の記憶装置であり、制御装置7での各種処理に必要な条件やデータ、制御装置7で実行する各種プログラム等が格納されている。さらに、記憶部71は、撮像装置5によって撮像され制御装置7に入力された画像を表す画像データを記憶する。
照明制御部72は、照明装置3に制御信号を出力し、当該照明装置3のアーチ状照射部31の駆動を制御する処理を実行する部分である。照明制御部72は、記憶部71に格納されている各種プログラムを実行することでアーチ状照射部31の駆動を制御し、アーチ状照射部31を点灯、消灯させる。
回転駆動制御部73は、回転駆動装置4に制御信号を出力し、当該回転駆動装置4の駆動を制御する処理を実行する部分である。回転駆動制御部73は、記憶部71に格納されている各種プログラムを実行することで、回転駆動装置4の駆動を制御し、回転軸線Cを回転中心として、検査対象100に対してアーチ状照射部31を相対回転させる。回転駆動制御部73は、検査の際には、例えば、回転駆動装置4を制御し、アーチ状照射部31の頂点部31aが保持面21より鉛直方向下側に位置する開始位置から、走査方向Yに対して開始位置とは反対側で頂点部31aが保持面21より鉛直方向下側に位置する終了位置まで、当該アーチ状照射部31を回転させる。
制御装置7は、上記照明制御部72による制御に基づいてアーチ状照射部31を点灯させると共に上記回転駆動制御部73による制御に基づいて回転駆動装置4を駆動し検査対象100に対してアーチ状照射部31を相対回転させる。これにより、制御装置7は、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させることができる。
撮像制御部74は、撮像装置5に制御信号を出力し、当該撮像装置5の駆動を制御する処理を実行する部分である。撮像制御部74は、記憶部71に格納されている各種プログラムを実行することで、撮像装置5の駆動を制御し、検査対象100に対してアーチ状照射部31を相対回転させながら、検査対象100の光反射表面101を撮像させる。撮像制御部74は、撮像装置5を制御し、検査対象100とアーチ状照射部31との相対回転に伴って検査対象100の光反射表面101を連続的に複数回撮像させる。撮像制御部74は、第1カメラ51、第2カメラ52それぞれにおいて、検査対象100とアーチ状照射部31との相対回転に伴って検査対象100の光反射表面101を連続的に複数回撮像させる。これにより、制御装置7は、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させながら、上記撮像制御部74による制御に基づいて当該光反射表面101を連続的に複数回撮像させることができる。そして、撮像制御部74は、撮像装置5を制御し、撮像した画像を記憶部71に記憶させる。
画像合成部75は、撮像装置5によって撮像され記憶部71に記憶された複数の画像に対して種々の画像処理を実行する部分である。記憶部71に記憶され画像合成部75によって画像処理が施される複数の画像は、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させながら連続的に撮像された光反射表面101の複数の画像である。画像合成部75は、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させながら連続的に撮像された光反射表面101の複数の画像に対して画像処理を実行することで当該複数の画像を合成した二次元画像を生成する。画像合成部75は、記憶部71に格納されている各種プログラムを実行することで、記憶部71に記憶された光反射表面101の複数の画像に対して画像処理を実行し当該二次元画像を生成する。本実施形態の画像合成部75は、当該光反射表面101の複数の画像において輝度が予め設定された閾値よりも高い領域をそれぞれ抽出し、当該抽出した領域を走査方向Yに沿って順に繋ぎあわせて合成することで、図4、図5に示すような合成画像201、202を生成する。当該合成画像201、202は、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させながら連続的に撮像された光反射表面101の複数の画像において当該検査光が映っている領域を抽出し合成した画像に相当する。画像合成部75は、第1カメラ51によって撮像された光反射表面101の複数の画像、及び、第2カメラ52によって撮像された光反射表面101の複数の画像のそれぞれに対して上記の画像処理を実行する。例えば、画像合成部75は、第1カメラ51によって撮像された光反射表面101の複数の画像を合成して図4に示す合成画像201を生成し、第2カメラ52によって撮像された光反射表面101の複数の画像を合成して図5に示す合成画像202を生成する。画像合成部75は、生成した合成画像201、202を記憶部71に記憶させる。
ここで、上述したように、第1カメラ51、第2カメラ52は、アーチ状照射部31の検査対象100とは反対側、すなわち、アーチ状照射部31の外側に位置して検査対象100に対して相対位置が固定されて設けられる。このため、この検査装置1は、検査光によって光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させるべく検査対象100に対してアーチ状照射部31を相対回転させると、当該第1カメラ51、第2カメラ52と光反射表面101との間をアーチ状照射部31が横切ることとなる。これにより、合成画像201、202は、第1カメラ51、第2カメラ52と光反射表面101との間をアーチ状照射部31が横切ることによる死角に相当する死角画像203を含むこととなる。これに対して、検査装置1は、上述したように、走査方向Yに対して回転軸線Cを挟んで一方側に第1カメラ51が設けられ、他方側に第2カメラ52が設けられた構成となっている。このため、第1カメラ51が撮像した画像に基づく合成画像201と第2カメラ52が撮像した画像に基づく合成画像202とは、光反射表面101においてそれぞれの死角画像203に相当する領域の画像を相互に補完し合う関係となる。
判定部76は、画像合成部75によって合成された合成画像201、202に基づいて検査対象100の光反射表面101を検査する処理を実行する部分である。判定部76は、記憶部71に格納されている各種プログラムを実行することで、合成画像201、202に基づいて検査対象100の光反射表面101の光沢異常を判定する。判定部76は、合成画像201、202から、図6に示すように、輝度が相対的に低い領域や輝度にムラが生じている領域を光沢異常部位204として抽出する。判定部76は、当該光沢異常部位204が抽出されなかった場合、光反射表面101の光沢が正常であるものと判定する。一方、判定部76は、当該光沢異常部位204が抽出された場合、光反射表面101の光沢が異常であるものと判定する。
出力制御部77は、出力装置6に制御信号を出力し、当該出力装置6の駆動を制御する処理を実行する部分である。出力制御部77は、記憶部71に格納されている各種プログラムを実行することで、出力装置6の駆動を制御し、判定部76による検査の結果に関する種々の情報を出力させる。出力制御部77は、例えば、判定部76によって光沢異常部位204が抽出され、光反射表面101の光沢が異常であると判定された場合、出力装置6を制御し、光反射表面101の光沢が異常であると判定された旨を報知する。出力装置6は、例えば、ディスプレイに光沢異常部位204を含む画像を表示したり、表示灯を点滅させたりすることで、光反射表面101の光沢が異常であると判定された旨を報知してもよい。また、出力装置6は、例えば、スピーカにより音声情報や警告音等を出力することで、光反射表面101の光沢が異常であると判定された旨を報知してもよい。
次に、図7のフローチャートを参照して検査装置1における制御の一例を説明する。
まず、制御装置7は、回転駆動制御部73による制御に基づいて回転駆動装置4を駆動し検査対象100に対してアーチ状照射部31を回転させながら、照明制御部72による制御に基づいてアーチ状照射部31から検査対象100に検査光を照射する。そして、制御装置7は、撮像制御部74による制御に基づいて撮像装置5を制御し検査対象100の光反射表面101の画像を連続的に撮像させる(ステップST1)。撮像制御部74は、撮像した画像を記憶部71に記憶させる。
次に、制御装置7の画像合成部75は、ステップST1にて撮像装置5によって撮像され記憶部71に記憶された複数の画像に対して画像処理を実行し合成画像を生成する(ステップST2)。すなわち、画像合成部75は、記憶部71に記憶された光反射表面101の複数の画像において輝度が予め設定された閾値よりも高い領域をそれぞれ抽出し、当該抽出した領域を走査方向Yに沿って順に繋ぎあわせて合成することで、例えば、図4、図5に示す合成画像201、202を生成する。
次に、制御装置7の判定部76は、ステップST2にて画像合成部75によって合成された合成画像201、202に基づいて当該合成画像201、202から光沢異常部位204を抽出する(ステップST3)。
次に、判定部76は、ステップST3にて抽出された光沢異常部位204があるか否かを判定する(ステップST4)。
制御装置7の出力制御部77は、ステップST4にて判定部76によって抽出された光沢異常部位204があると判定された場合(ステップST4:Yes)、出力装置6を制御し、光反射表面101の光沢が異常であると判定された旨を報知し(ステップST5)、この制御を終了する。制御装置7は、ステップST4にて判定部76によって抽出された光沢異常部位204がないと判定された場合(ステップST4:No)、ステップST5の処理を行わずに、この制御を終了する。
なお、上記のように構成される検査装置1は、アーチ状照射部31の走査方向Yに沿った幅W(図2参照)と、アーチ状照射部31の頂点部31aから検査対象100の光反射表面101までの距離WD(図3参照)との比率W/WDを調整することで、検査精度と検査における演算量(演算負荷)とのバランスを調整することができる。検査装置1は、比率W/WDを相対的に小さくすること、言い換えれば、幅Wを相対的に狭くすること、あるいは、距離WDを相対的に長くすることで、光反射表面101に映る検査光の幅を相対的に狭くすることができる。そしてこの場合、検査装置1は、光反射表面101に映る検査光の幅に応じて、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させながら当該光反射表面101を撮像する回数を相対的に多くする。これにより、検査装置1は、合成画像201、202を構成する画像の数を相対的に多くすることができ、光沢異常部位204の抽出精度を相対的に向上することができるので、光反射表面101の検査精度を相対的に高くすることができる。一方、検査装置1は、比率W/WDを相対的に大きくすること、言い換えれば、幅Wを相対的に広くすること、あるいは、距離WDを相対的に短くすることで、光反射表面101に映る検査光の幅を相対的に広くすることができる。そしてこの場合、検査装置1は、光反射表面101に映る検査光の幅に応じて、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させながら当該光反射表面101を撮像する回数を相対的に少なくする。これにより、検査装置1は、合成画像201、202を構成する画像の数を相対的に少なくすることができ、検査における演算量(演算負荷)を抑制することができるので、検査効率を向上することができる。検査装置1は、上記を踏まえて比率W/WDを調整することで、検査精度と検査における演算量(演算負荷)とのバランスを調整することができる。
以上で説明した検査装置1は、照明装置3と撮像装置5と制御装置7とによって、検査対象100の光反射表面101に検査光を照射し、当該検査光が反射する検査対象100の光反射表面101を撮像し、当該撮像された画像に基づいて検査対象100の光反射表面101を検査することができる。この場合において、検査装置1は、検査対象100の光反射表面101に検査光を照射するアーチ状照射部31が検査対象100の周りに円弧状に設けられ当該検査対象100に向けて光を照射する構成であるので、例えば、検査光を照射する照射部が回転軸方向Xに沿って直線状に構成される場合と比較して、回転軸方向Xに対してコンパクト化を図ることができる。この結果、検査装置1は、装置の大型化を抑制することができ、例えば、検査対象100製造ライン等における限られたスペースでの検査対象100の検査を可能とすることができる。
さらに、以上で説明した検査装置1は、回転駆動装置4を駆動し検査対象100に対してアーチ状照射部31を回転させながら、アーチ状照射部31から検査対象100に検査光を照射することで、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させることができる。そして、検査装置1は、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させながら撮像装置5によって連続的に撮像された光反射表面101の複数の画像に基づいて検査対象100の光反射表面101を検査することができ、その上でこのような検査を行う場合でも装置の大型化を抑制することができる。
より詳細には、以上で説明した検査装置1は、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させながら撮像装置5によって連続的に撮像された光反射表面101の複数の画像を合成し、当該合成した画像に基づいて光反射表面101の光沢異常を検査することができる。このような場合であっても、検査装置1は、上記のように装置の大型化を抑制することができる。
さらに、以上で説明した検査装置1は、アーチ状照射部31の両端部31bが高さ方向Zに対して保持面21の検査対象100とは反対側に位置し、上記の検査の際には、回転駆動装置4によって当該アーチ状照射部31が開始位置から終了位置まで回転させられる。ここで、アーチ状照射部31の回転の開始位置、及び、終了位置は、ともにアーチ状照射部31の頂点部31aが高さ方向Zに対して保持面21の検査対象100とは反対側に位置する位置である。この結果、検査装置1は、検査対象100の光反射表面101の端部が曲面状に形成されたものであっても、アーチ状照射部31によって当該曲面状に形成され光反射表面101の端まで全面にわたって確実に検査光を照射し検査することができるので、装置の大型化を抑制した上で、検査の精度を向上することができる。
この場合、検査装置1は、典型的には、図2、図3、図8に示すように、高さ方向Zにおける光反射表面101の保持面21側の端部位置102とアーチ状照射部31の端部31bの位置との高さ方向Zに沿った距離が予め設定される設定距離L以上となるように当該アーチ状照射部31が配置されることが好ましい。同様には、検査装置1は、図8に示すように、アーチ状照射部31の回転の開始位置、終了位置における頂点部31aの位置と当該端部位置102との高さ方向Zに沿った距離が当該設定距離L以上となるように当該アーチ状照射部31が配置されることが好ましい。当該設定距離Lは、典型的には、図8に示す第1カメラ51、第2カメラ52の光軸と保持面21の法線とがなす光軸角度α、アーチ状照射部31の頂点部31aから検査対象100の光反射表面101までの距離WD、検査対象100の光反射表面101の表面接線と保持面21とがなす表面接線角度θ2等に応じて定まる距離である。設定距離L[mm]は、光軸角度α[°]、距離WD[mm]、表面接線角度θ2[°]を用いて下記の数式(1)で表すことができる。表面接線角度θ2の適用範囲としては、例えば、0°以上45°以下(0°≦θ2≦45°)程度を想定する。

L=WD・Sin(2・θ2+α−90) ・・・ (1)

なお、図8中、角度θ3’ [°]は、光反射表面101に対する検査光の入射角に相当し、角度θ3[°]は、光反射表面101に対する検査光の反射角に相当する。この場合に、成立する下記の数式(2)〜(5)で表す関係式に基づいて上記の数式(1)を導き出すことができる。

L=WD・Sin(θ4) ・・・ (2)

θ4=θ2−θ3’ ・・・ (3)

θ3’=θ3 ・・・ (4)

θ3=90−α−θ2 ・・・ (5)

アーチ状照射部31は、当該設定距離Lに基づいて、上記のような幾何学的な位置関係で配置されることで、曲面状に形成された検査対象100の光反射表面101の端まで全面にわたって確実に検査光を照射することができる。
さらに、以上で説明した検査装置1は、撮像装置5が検査対象100とアーチ状照射部31との相対回転の回転中心となる回転軸線Cを挟んで両側に少なくとも1つずつ設けられる。これにより、検査装置1は、アーチ状照射部31からの検査光によって検査対象100の光反射表面101を走査方向Yに沿って走査させながら撮像装置5によって連続的に撮像された光反射表面101の複数の画像において、第1カメラ51が撮像した画像と、第2カメラ52が撮像した画像とで、アーチ状照射部31の横切りによって生じる死角の領域の画像を相互の補完し合うことができる。この結果、検査装置1は、1回の検査対象100とアーチ状照射部31との相対回転によって光反射表面101の全面にわたって検査光を照射し検査することができるので、装置の大型化を抑制した上で、検査時間を抑制し、検査効率を向上することができる。
なお、上述した本発明の実施形態に係る検査装置は、上述した実施形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された範囲で種々の変更が可能である。
以上で説明した検査装置1は、検査対象100の光反射表面101の光沢異常を検査する装置として説明したが、アーチ状照射部31から検査対象100に照射された検査光に基づき撮像された画像を用いて検査するものであればこれに限らない。
以上で説明した検査対象100は、少なくとも光反射表面101の端部が曲面状に形成された光透過性を有する樹脂成形品であり、一例として、車両の車室内側に設けられるルームランプカバーであるものとして説明したがこれに限らず、例えば、全体が平面状に形成されたものであってもよい。この場合、以上で説明したアーチ状照射部31は、頂点部31a、両端部31bが上記のような所定の位置関係となるように配置されなくてもよい。
以上で説明した保持面21は、水平面として形成され、鉛直方向(高さ方向Z)に対して検査対象100を載置することで当該検査対象100を保持する載置面を構成するものとして説明したがこれに限らず、保持爪、保持アーム等で検査対象100を保持する構成であってもよい。この場合、以上で説明した高さ方向Zは、典型的には、鉛直方向であり、回転軸方向X、走査方向Yは、水平方向であるものとして説明したがこれに限らず、例えば、高さ方向Zが水平方向に沿った方向とされてもよい。
以上で説明した回転駆動装置4は、検査対象100に対してアーチ状照射部31を回転させるものとして説明したが、この逆に、アーチ状照射部31に対して検査対象100を回転させる構成であってもよい。また、以上で説明した検査装置1は、回転駆動装置4を備えるものとして説明したがこれに限らず、当該回転駆動装置4を備えない構成であってもよい。この場合、検査装置1は、走査方向Yに相当する方向に沿って複数のアーチ状照射部31が並べられていてもよい。
以上で説明した撮像装置5は、走査方向Yに対して、回転軸線Cを挟んで両側に1つずつ設けられるものとして説明したがこれに限らず、1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。
1 検査装置
3 照明装置
4 回転駆動装置
5 撮像装置
7 制御装置(判定装置)
21 保持面
31 アーチ状照射部
31a 頂点部
31b 端部
51 第1カメラ(撮像装置)
52 第2カメラ(撮像装置)
100 検査対象
101 光反射表面
C 回転軸線
X 回転軸方向
Y 走査方向
Z 高さ方向

Claims (5)

  1. 検査対象の周りに円弧状に設けられ前記検査対象に向けて光を照射するアーチ状照射部を有する照明装置と、
    前記アーチ状照射部から照射された光が反射する前記検査対象の光反射表面を撮像する撮像装置と、
    前記撮像装置によって撮像された画像に基づいて前記検査対象の前記光反射表面を検査する判定装置とを備えることを特徴とする、
    検査装置。
  2. 前記アーチ状照射部の両端部を結んだ線に沿った回転軸線を回転中心として前記検査対象と前記アーチ状照射部とを相対回転させる回転駆動装置を備え、
    前記判定装置は、前記回転駆動装置によって前記検査対象と前記アーチ状照射部とを相対回転させながら前記撮像装置によって撮像された前記画像に基づいて前記検査対象の前記光反射表面を検査する、
    請求項1に記載の検査装置。
  3. 高さ方向に対して前記検査対象を保持する保持面を備え、
    前記検査対象は、少なくとも前記光反射表面の端部が曲面状に形成され、
    前記アーチ状照射部は、両端部が前記高さ方向に対して前記保持面の前記検査対象とは反対側に位置し、
    前記回転駆動装置は、前記アーチ状照射部の円弧状の頂点部が前記高さ方向に対して前記保持面の前記検査対象とは反対側に位置する開始位置から、前記検査対象と前記アーチ状照射部との相対回転に伴った当該検査対象に対する当該アーチ状照射部による光の走査方向に対して前記開始位置の反対側で前記頂点部が前記保持面の前記検査対象とは反対側に位置する終了位置まで、当該アーチ状照射部を回転させる、
    請求項2に記載の検査装置。
  4. 前記撮像装置は、前記検査対象と前記アーチ状照射部との相対回転に伴った当該検査対象に対する当該アーチ状照射部による光の走査方向に対して、前記回転軸線を挟んで両側に少なくとも1つずつ設けられ、それぞれ前記アーチ状照射部の前記検査対象とは反対側に位置し当該検査対象に対して相対位置が固定されている、
    請求項2又は請求項3に記載の検査装置。
  5. 前記撮像装置は、前記検査対象と前記アーチ状照射部との相対回転に伴って前記検査対象の前記光反射表面を複数回撮像し、
    前記判定装置は、前記検査対象と前記アーチ状照射部との相対回転に伴って前記撮像装置によって撮像された複数の前記画像に基づいて前記検査対象の前記光反射表面の光沢異常を検査する、
    請求項2乃至請求項4のいずれか1項に記載の検査装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019212011A1 (ja) * 2018-05-01 2019-11-07 株式会社ナノシステムソリューションズ 検査装置
KR102303925B1 (ko) * 2020-03-17 2021-09-27 (주)소닉스 곡면제품 검사용 검사장치

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6595708B2 (ja) * 2016-11-14 2019-10-23 日本碍子株式会社 目封止ハニカム構造体の欠陥検査装置および欠陥検査方法
JP6988592B2 (ja) * 2018-03-13 2022-01-05 オムロン株式会社 画像検査装置、画像検査方法及び画像検査プログラム

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09133636A (ja) * 1995-09-07 1997-05-20 Toshiba Corp 照明装置及びこれを適用した欠陥検査装置
JP2000137000A (ja) * 1998-10-30 2000-05-16 Mega Trade:Kk 回転照明光による表面検査装置
JP2002221497A (ja) * 2001-01-25 2002-08-09 Dainippon Printing Co Ltd 光反射体検査装置とその使用方法、光反射体検査方法
JP2002310935A (ja) * 2001-04-19 2002-10-23 Murata Mfg Co Ltd 照明条件抽出方法、照明条件抽出装置、外観検査システム
JP2005337853A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Tsubakimoto Chain Co 外観検査用照明装置
US20070097686A1 (en) * 2005-11-02 2007-05-03 Dunn Sheila B Illuminator-especially for cylindrical curved surfaces
JP2007183225A (ja) * 2006-01-10 2007-07-19 Toyota Motor Corp 光照射装置、面形状検査システム、および面形状検査方法
JP2010091530A (ja) * 2008-10-10 2010-04-22 Hitachi Plant Technologies Ltd 異物検査方法および異物検査装置
JP3169520U (ja) * 2010-10-28 2011-08-04 鴻發國際科技股▲ふん▼有限公司 調光可能な線形照明装置
JP2012013509A (ja) * 2010-06-30 2012-01-19 Kobe Steel Ltd 表面検査装置及び表面検査方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5461417A (en) * 1993-02-16 1995-10-24 Northeast Robotics, Inc. Continuous diffuse illumination method and apparatus
US5774212A (en) * 1997-03-19 1998-06-30 General Electric Co. Method and apparatus for detecting and analyzing directionally reflective surface flaws
US6788411B1 (en) * 1999-07-08 2004-09-07 Ppt Vision, Inc. Method and apparatus for adjusting illumination angle
US7626158B2 (en) * 2006-10-23 2009-12-01 Emhart Glass S.A. Machine for inspecting glass containers
DE102009021733A1 (de) * 2009-05-12 2010-12-30 Carl Zeiss Oim Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren eines Gegenstandes
CN201828529U (zh) * 2010-10-27 2011-05-11 大树智能科技(南京)有限公司 烟包外观检测装置
US9574179B2 (en) * 2011-02-08 2017-02-21 Cellular Dynamics International, Inc. Hematopoietic precursor cell production by programming
TWI772897B (zh) * 2011-08-29 2022-08-01 美商安美基公司 用於非破壞性檢測-流體中未溶解粒子之方法及裝置
FI125320B (en) * 2012-01-05 2015-08-31 Helmee Imaging Oy ORGANIZATION AND SIMILAR METHOD FOR OPTICAL MEASUREMENTS
JP6122310B2 (ja) 2013-02-27 2017-04-26 ヴィスコ・テクノロジーズ株式会社 検査装置
DE102013221415A1 (de) * 2013-10-22 2015-04-23 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung eines Objekts
US9735634B2 (en) * 2014-07-22 2017-08-15 GM Global Technology Operations LLC Split pole spoke type PM machine with enclosed magnets
JP6370177B2 (ja) * 2014-09-05 2018-08-08 株式会社Screenホールディングス 検査装置および検査方法
JP6576059B2 (ja) * 2015-03-10 2019-09-18 キヤノン株式会社 情報処理、情報処理方法、プログラム
US10481553B2 (en) * 2015-03-26 2019-11-19 Otoy, Inc. Relightable holograms
GB201518322D0 (en) * 2015-10-16 2015-12-02 Rolls Royce Plc A method for classifying a defect in a component intended to have a monocrystalline
CN205426008U (zh) * 2016-02-02 2016-08-03 三明市前创微控科技有限公司 一种机器视觉装置
DE102016109803B3 (de) * 2016-05-27 2017-07-06 Eyec Gmbh Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren zur Inspektion des Oberflächenbildes einer einen Prüfling darstellenden Flachsache
JP6917762B2 (ja) * 2017-05-09 2021-08-11 株式会社キーエンス 画像検査装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09133636A (ja) * 1995-09-07 1997-05-20 Toshiba Corp 照明装置及びこれを適用した欠陥検査装置
JP2000137000A (ja) * 1998-10-30 2000-05-16 Mega Trade:Kk 回転照明光による表面検査装置
JP2002221497A (ja) * 2001-01-25 2002-08-09 Dainippon Printing Co Ltd 光反射体検査装置とその使用方法、光反射体検査方法
JP2002310935A (ja) * 2001-04-19 2002-10-23 Murata Mfg Co Ltd 照明条件抽出方法、照明条件抽出装置、外観検査システム
JP2005337853A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Tsubakimoto Chain Co 外観検査用照明装置
US20070097686A1 (en) * 2005-11-02 2007-05-03 Dunn Sheila B Illuminator-especially for cylindrical curved surfaces
JP2007183225A (ja) * 2006-01-10 2007-07-19 Toyota Motor Corp 光照射装置、面形状検査システム、および面形状検査方法
JP2010091530A (ja) * 2008-10-10 2010-04-22 Hitachi Plant Technologies Ltd 異物検査方法および異物検査装置
JP2012013509A (ja) * 2010-06-30 2012-01-19 Kobe Steel Ltd 表面検査装置及び表面検査方法
JP3169520U (ja) * 2010-10-28 2011-08-04 鴻發國際科技股▲ふん▼有限公司 調光可能な線形照明装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019212011A1 (ja) * 2018-05-01 2019-11-07 株式会社ナノシステムソリューションズ 検査装置
JPWO2019212011A1 (ja) * 2018-05-01 2021-05-13 株式会社ナノシステムソリューションズ 検査装置
JP7295509B2 (ja) 2018-05-01 2023-06-21 株式会社ナノシステムソリューションズ 検査装置
US11774374B2 (en) 2018-05-01 2023-10-03 Nanosystem Solutions, Inc. Inspection device
KR102303925B1 (ko) * 2020-03-17 2021-09-27 (주)소닉스 곡면제품 검사용 검사장치

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