WO2019053896A1 - 信号処理装置、センサ装置および信号処理方法 - Google Patents
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Abstract
検出対象物で反射された光に基づいて計測される変位量のノイズを低減する処理を実行する信号処理装置であって、入力信号に対して移動平均演算を実施して入力信号に含まれるノイズ成分を低減する移動平均演算部(17)と、入力信号に含まれるノイズ成分をデジタル信号処理により低減する無限インパルス応答フィルタ(18)と、を備え、無限インパルス応答フィルタのフィルタ係数は、移動平均演算部および無限インパルス応答フィルタに同一の信号を入力した場合に移動平均演算部が出力する第1の演算結果と無限インパルス応答フィルタが出力する第2の演算結果との差に基づいて決定される。
Description
本発明は、測定対象の物体に対してレーザ光を投光し、その反射光に基づいて物体の変位量を求めるレーザ変位センサ装置において信号処理を行う信号処理装置に関する。
レーザ変位センサ装置は、測定対象物により反射されたレーザ光の強度を繰り返し測定し、各測定結果に基づいて測定対象物の変位量を算出する。光強度の測定結果にはノイズが含まれるため算出した変位量にもノイズが含まれる。変位量に含まれるノイズは、同じ対象物の変位量を繰り返し測定した場合の各変位量のばらつきとして現れる。そのため、レーザ変位センサ装置は、変位量の算出結果を移動平均することにより、ノイズが低減された変位量を求める。移動平均の計算では、特許文献1などで説明されているように、時系列のデジタル信号に対し、ある特定の期間にわたって算術平均を連続して行う。例えば、レーザ変位センサ装置は、64回分のデータを加算して64で割ることにより移動平均を求め、これを測定対象物の変位量とする。
移動平均を使用してノイズを低減する場合、ノイズの低減性能は、移動平均を実施する対象区間の長さ、すなわち移動平均の対象のデータ数に依存する。具体的には、移動平均の対象のデータ数を多くするとノイズの低減性能が向上する。しかしながら、移動平均の対象のデータ数を多くすると、演算時間も長くなるという問題がある。例えば、光強度から求めた変位量に対して移動平均を実行せずに最終的な変位量とする場合と、光強度から求めたN個の変位量を対象として移動平均を実行して最終的な変位量を算出する場合とを比較すると、移動平均を行って得られた変位量のばらつきは、移動平均を行わない場合のほぼ1/√Nとなるが、応答時間はN倍となる。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、応答時間が増大するのを防止しつつ測定性能を向上させることが可能なレーザ変位センサ装置を実現する信号処理装置を得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、検出対象物で反射された光に基づいて計測される変位量のノイズを低減する処理を実行する信号処理装置である。信号処理装置は、入力信号に対して移動平均演算を実施して入力信号に含まれるノイズ成分を低減する移動平均演算部と、入力信号に含まれるノイズ成分をデジタル信号処理により低減する無限インパルス応答フィルタと、を備える。また、無限インパルス応答フィルタのフィルタ係数は、移動平均演算部および無限インパルス応答フィルタに同一の信号を入力した場合に移動平均演算部が出力する第1の演算結果と無限インパルス応答フィルタが出力する第2の演算結果との差に基づいて決定される。
本発明にかかる信号処理装置は、応答時間が増大するのを防止しつつ測定性能を向上させることが可能なレーザ変位センサ装置を実現できるという効果を奏する。
以下に、本発明の実施の形態にかかる信号処理装置、センサ装置および信号処理方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1にかかる信号処理装置を備えたセンサ装置であるレーザ変位センサ装置の構成例を示す図である。図1では、レーザ変位センサ装置1に加えて、レーザ変位センサ装置1に接続して使用される外部装置2についても記載している。
図1は、本発明の実施の形態1にかかる信号処理装置を備えたセンサ装置であるレーザ変位センサ装置の構成例を示す図である。図1では、レーザ変位センサ装置1に加えて、レーザ変位センサ装置1に接続して使用される外部装置2についても記載している。
レーザ変位センサ装置1は、レーザ素子10、撮像素子11、変位量計測部12、投光及び受光制御部13、システム制御部14、レンズ15、コントローラ16、移動平均演算部17、IIR(無限インパルス応答)フィルタ18および出力部19を備える。移動平均演算部17およびIIRフィルタ18は信号処理装置としての信号処理部51を構成する。
レーザ素子10は、変位量を検出する対象物である検出対象3に投光するレーザ光を発光する。撮像素子11は、検出対象3で反射された光を受光する。変位量計測部12は、撮像素子11が受光した光の強度に基づいて検出対象3の変位量の計測値を求める。投光及び受光制御部13は、レーザ素子10および撮像素子11を制御する。システム制御部14は、変位量計測部12、投光及び受光制御部13、移動平均演算部17およびIIRフィルタ18を制御する。レンズ15は、検出対象3で反射された光を集光して撮像素子11に入射させる。コントローラ16は、通信線を介して接続される外部装置2との間で各種情報を送受信するための通信用のコントローラである。コントローラ16は、外部装置2への出力情報をシステム制御部14から受け取るとこれを外部装置2へ送信し、外部装置2から情報を受信するとこれをシステム制御部14に受け渡す。移動平均演算部17は、検出対象3の変位量の計測値に対して移動平均演算を実施する。IIRフィルタ18は、移動平均演算部17で算出された変位量の平均値に対してフィルタ処理を実行してノイズ成分を低減する。出力部19は、IIRフィルタ18でノイズ成分が低減された後の変位量の平均値を出力する。
また、外部装置2は、表示部21、制御部22および専用ツール23を備え、レーザ変位センサ装置1の動作パラメータの設定および確認、レーザ変位センサ装置1による計測結果の確認などをユーザが行う場合に使用される。レーザ変位センサ装置1の動作パラメータとしては、移動平均演算部17が実行する移動平均演算の対象データ数、IIRフィルタ18のフィルタ係数などが例示できる。外部装置2は、パーソナルコンピュータなどで実現可能である。
表示部21は、レーザ変位センサ装置1の動作パラメータ、レーザ変位センサ装置1による計測結果などを表示する。制御部22は、外部装置2を構成する各部を制御する。専用ツール23は、レーザ変位センサ装置1と通信する機能を有し、レーザ変位センサ装置1の動作パラメータの設定、設定済の動作パラメータの確認などをユーザが行う場合に使用される。
次に、本実施の形態にかかるレーザ変位センサ装置1の全体動作について説明を行う。レーザ変位センサ装置1は、レーザ素子10から検出対象3に向けてレーザ光を照射し、レンズ15を介して検出対象3からの反射光を撮像素子11で受光する。撮像素子11は、光電変換素子が複数配列された構成となっており、光電変換素子の各々は、受光した光を受光強度に応じた電圧値に変換して出力する。これにより、受光位置と受光強度の分布の情報を得られる。変位量計測部12は、受光位置と受光強度の分布の情報を用いて受光強度のピーク位置を算出し、さらに、算出したピーク位置を用いた三角測距を行うことにより検出対象3との変位量を求める。変位量計測部12は、求めた変位量を移動平均演算部17に出力する。
変位量計測部12が出力する変位量はノイズを求むため、移動平均演算部17は、ノイズ低減のための移動平均計算を行う。具体的には、移動平均演算部17は、時系列のデジタル信号として入力された信号である変位量に対し、ある特定の時点の値から連続して複数回前までの信号に対して算術平均を行うことにより、変位量計測部12からの入力信号である変位量に含まれるノイズ成分を低減する。移動平均演算部17は、例えば、32回分の変位量を加算し、これを32で割って平均値を求める。移動平均演算部17は、変位量の平均値を算出すると、これをIIRフィルタ18に出力する。
IIRフィルタ18は、移動平均演算部17から入力された変位量の平均値に対してデジタル信号処理を実行し、入力信号に残留しているノイズ成分を低減する。
ここで、既に説明したように、移動平均演算部17で実行する移動平均の演算点数、すなわち加算する変位量の数を増やせば増やすほど、平均化によるノイズの低減効果は大きくなるが、演算点数を増やすと演算時間が増大し、演算結果が得られるまでの所要時間が大きくなる。
そのため、本実施の形態にかかるレーザ変位センサ装置1では、移動平均演算部17が実行する移動平均の演算点数は適度な値に抑え、次段のIIRフィルタ18において、一回の演算で効果的にノイズを低減するフィルタ処理を実行する。IIRフィルタ18は、図2に示した構成となっており、1回前の出力信号Xn-1と現在の入力信号Xnとの差分に対してノイズ低減のためのフィルタのパラメータである係数αを掛けた値と現在の入力信号とを加算した値を出力する。IIRフィルタ18への入力信号と出力信号との関係を数式で表すと次式(1)となる。
X=Xn+α(Xn-1-Xn) …(1)
X=Xn+α(Xn-1-Xn) …(1)
すなわち、IIRフィルタ18は、系列のデジタル信号として入力される現在の入力信号Xnに対し、現在の信号とメモリに記憶されている1つ前の入力信号Xn-1との変動である差分に含まれるノイズを差し引く演算を行う。ここで、変動分である差分には、入力信号の実変動とノイズ成分とが含まれている。そのため、IIRフィルタ18は、係数α(0≦α≦1)を設定し、変動分である差分にα倍の比率でノイズが含まれているものとし、現在の入力信号から、現在の入力信号と1つ前の入力信号との差分をα倍した値をノイズ成分として差し引き、ノイズ成分を低減する。αの設定値は、例えば、信号強度とノイズ成分強度を計測することでモデル化し、シミュレーションを行うことにより求めることができる。一例として、本実施の形態ではα=0.98とする。ここで、αは以下の考え方に基づいて設定される。
現在の補正後の変位量すなわちIIRフィルタ18から出力される値をX、現在の変位量すなわちIIRフィルタ18に入力される値をXn,1つ前の補正後の変位量をXn-1,2つ前の補正後の変位量をXn-2,…,n番前の補正後の変位量をX1とした場合、次式(2)が成り立つ。
X=(1-α)Xn+(1-α)αXn-1+(1-α)α2Xn-2+…
+(1-α)αnX2+αnX1 …(2)
X=(1-α)Xn+(1-α)αXn-1+(1-α)α2Xn-2+…
+(1-α)αnX2+αnX1 …(2)
一方、n個のデータの移動平均の計算である単純な算術平均計算は次式(3)で表される。
Xmn=(1/n)(Xn+Xn-1+Xn-2+…+X2+X1) …(3)
Xmn=(1/n)(Xn+Xn-1+Xn-2+…+X2+X1) …(3)
上記のXmnとXの差は次式(4)で表される。
Xmn-X=(1/n)(Xn+Xn-1+Xn-2+…+X2+X1)
-(1-α)Xn+(1-α)αXn-1+…+(1-α)αnX2+αnX1=[(1/n-(1-α))]Xn+[(1/n-(1-α)α)]Xn-1+…+[(1/n -(1-α)αn)]X2 +[(1/n -αn)]X1 …(4)
Xmn-X=(1/n)(Xn+Xn-1+Xn-2+…+X2+X1)
-(1-α)Xn+(1-α)αXn-1+…+(1-α)αnX2+αnX1=[(1/n-(1-α))]Xn+[(1/n-(1-α)α)]Xn-1+…+[(1/n -(1-α)αn)]X2 +[(1/n -αn)]X1 …(4)
また、式(4)をグラフで表すと図3のようになり、直線に近似される係数が最適な係数となる。
式(4)で表したXmnとXの差が最小となるようにαを設定することで、図2に示した構成のIIRフィルタ18は、現出力値のみでn回分の算術平均計算に相当する値を得ることができる。すなわち、移動平均演算部17およびIIRフィルタ18に同一の信号を入力した場合の移動平均演算部17の出力信号とIIRフィルタ18の出力信号との差が最小となるようにαを設定する。αは、入力Xの関数であるが、簡略化して入力に拠らない定数として考えた場合、n番目までのデータに対して、各X(=X1,X2,…,Xn)の係数の差分の二乗平均が最小となるαを計算すると、例えば、n=5での最適なα=0.77となり、n=30での最適なα=0.98となり、n=100での最適なα=0.99となる。例えば、IIRフィルタ18の前段の移動平均演算部17が30データを対象とした移動平均を求める場合はn=30であり、IIRフィルタ18のフィルタ係数の設定値はα=0.98となる。なお、実際は、定数項と、入力の関数部分との積の形でαを設計する。
このようにIIRフィルタ18のフィルタ係数を適切に設定することにより、IIRフィルタ18は、移動平均演算部17から出力されるノイズ低減後の変位量のデータに対し、さらにノイズ低減を図ることができる。よって、移動平均演算部17にて移動平均の計算時に過去の寄与を増やすために計算点数を必要以上に多く取らずとも、IIRフィルタ18のフィルタ係数を適切に選ぶことにより移動平均演算部17によるノイズ低減効果とIIRフィルタ18によるノイズ低減効果の関係の最適化を図り所望のノイズ低減性能が得られる信号処理部51を実現できる。また、信号処理部51は、移動平均演算部17での処理だけを使用して同等のノイズ低減性能を実現する場合と比較して演算時間を短縮することができる。
αの値は固有の値として設定されていてもよいし、可変なパラメータとしてレーザ変位センサ装置1のコントローラ16で適切な値に設定するようにしてもよい。また、コントローラ16の代わりに、レーザ変位センサ装置1に接続された外部装置2の専用ツール23を使用してαの値を設定するようにしてもよい。また、αは定数ではなく、Xn-Xn-1'を入力とする関数により適宜更新するようにしてもよい。この場合、より効果的にノイズを低減できるとともに、実際の変位量変動にも時間が遅れることなく追随できる。なお、Xn-1'はXn-1をIIRフィルタ18で補正して得られる値である。
レーザ変位センサ装置1の出力部19は、移動平均演算部17による移動平均によるノイズ低減とIIRフィルタ18によるノイズ低減とを行った値を変位量の計測結果として出力する。
なお、IIRフィルタ18の係数αに加えて、移動平均演算部17における計算点数の設定、すなわち、移動平均演算部17が平均値を求める際に使用するデータ数の設定を変更可能としてもよい。この場合、ユーザは、外部装置2の専用ツール23を使用して係数αおよび計算点数の設定を変更する。図4は、外部装置2の専用ツール23を使用して係数αおよび計算点数の設定を変更する場合に表示部21が表示する画面の一例を示す図である。使用者は、図4に示した画面210のノイズ低減パラメータという項目211に係数αの設定値を入力し、移動平均積算回数という項目212に計算点数を入力する。図4では、係数αとして0.980を設定し、計算点数として30を設定する例を示している。また、画面210は、レーザ変位センサ装置1が測定した最新の変位量を表示する項目213、および、現時点から過去の一定期間における変位量を表示する項目214を含んでいる。なお、図4では、μm単位で最新の変位量を表示している。ユーザは、項目213および214に表示された変位量の測定値を確認しながら係数αおよび計算点数の設定を変更することができる。よって、ユーザは、変更後の設定値を使用した場合に所望のノイズ低減効果が得られるか否かを即時に知ることができ、設定値の変更作業を効率的に行うことができる。
このように、本実施の形態にかかるレーザ変位センサ装置1においては、変位量計測部12が計測した変位量に含まれるノイズを、移動平均演算部17による移動平均処理とIIRフィルタ18によるフィルタ処理との2段階の処理を使用して低減する。
移動平均によるノイズ低減は、移動平均を求める際のサンプル数を増やすほど効果があり、ガウス分布型のノイズを仮定すると演算サンプル数をN倍にすることで誤差成分(標準偏差)は概ね1/√Nとなる。しかしながら、演算サンプル数を増やすことは演算時間の増加を招くため、演算サンプル数を無意味に増やせず適度な数で止めることになり、誤差成分の低減効果を犠牲にすることになる。これに対して、本実施の形態にかかるレーザ変位センサ装置では移動平均による演算結果に対してIIRフィルタをかけノイズ低減を行うため、移動平均の計算量を増やすことなくノイズ低減効果を向上させることが可能となる。移動平均だけを行いノイズを低減する場合と同等のノイズ低減性能を本実施の形態にかかるレーザ変位センサ装置で実現する場合、移動平均の実行回数を2/3~1/2以下に低減できる。
ここで、レーザ変位センサ装置1の変位量計測部12および移動平均演算部17を実現するハードウェアについて説明する。レーザ変位センサ装置1の変位量計測部12および移動平均演算部17は、図5に示したプロセッサ101およびメモリ102により実現することができる。プロセッサ101は、CPU(Central Processing Unit、中央処理装置、処理装置、演算装置、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、プロセッサ、DSP(Digital Signal Processor)ともいう)、システムLSI(Large Scale Integration)などである。メモリ102は、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)、フラッシュメモリー、EPROM(Erasable Programmable Read Only Memory)、EEPROM(登録商標)(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)等の、不揮発性または揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク、フレキシブルディスク、光ディスク、コンパクトディスク、ミニディスクまたはDVD(Digital Versatile Disc)等である。
変位量計測部12および移動平均演算部17は、それぞれに対応するプログラムをメモリ102から読み出してプロセッサ101が実行することにより実現できる。メモリ102はプロセッサ101が実施する各処理における一時メモリとしても使用される。
なお、変位量計測部12および移動平均演算部17を専用のハードウェアとしての処理回路により実現することも可能である。その場合、処理回路は、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサ、並列プログラム化したプロセッサ、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)、FPGA(Field Programmable Gate Array)、またはこれらを組み合わせた回路である。変位量計測部12および移動平均演算部17の一方を専用のハードウェアで実現し、他方をプロセッサ101およびメモリ102で実現してもよい。
レーザ変位センサ装置1の投光及び受光制御部13、システム制御部14およびコントローラ16についても、図5に示したプロセッサ101およびメモリ102により実現することが可能である。
実施の形態2.
図6は、実施の形態2にかかるレーザ変位センサ装置の構成例を示す図である。実施の形態2にかかるレーザ変位センサ装置1aは、図1に示した実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1の信号処理部51を信号処理部52としたものである。レーザ変位センサ装置1aの信号処理部52以外の各部については実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1と同様であるため、説明を省略する。
図6は、実施の形態2にかかるレーザ変位センサ装置の構成例を示す図である。実施の形態2にかかるレーザ変位センサ装置1aは、図1に示した実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1の信号処理部51を信号処理部52としたものである。レーザ変位センサ装置1aの信号処理部52以外の各部については実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1と同様であるため、説明を省略する。
信号処理部52は、変位量計測部12から出力される変位量に対してノイズを低減するためのフィルタ処理を行うIIRフィルタ18と、IIRフィルタ18から出力される変位量に対して移動平均演算を実施する移動平均演算部17とを備える。実施の形態1で説明した信号処理部51と実施の形態2にかかる信号処理部52との違いは、フィルタ処理と移動平均演算とを実行する順番、すなわち移動平均演算部17およびIIRフィルタ18の並び順である。信号処理部51の移動平均演算部17およびIIRフィルタ18が実行する各処理と、信号処理部52の移動平均演算部17およびIIRフィルタ18が実行する各処理とは同一である。
このように、本実施の形態にかかるレーザ変位センサ装置1aにおいては、変位量計測部12が計測した変位量に含まれるノイズを、IIRフィルタ18によるフィルタ処理と移動平均演算部17による移動平均処理との2段階の処理を使用して低減する。実施の形態2にかかるレーザ変位センサ装置1aでは、IIRフィルタ18を移動平均演算部17の前段に配置しているため、実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1と比較してノイズ低減効果は劣るが入力信号の変化に対する応答性がよくなるという特徴を有する。実施の形態2にかかるレーザ変位センサ装置1aにおいても実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1と同様に、移動平均の計算量を増やすことなくノイズ低減効果を向上させることが可能となる。
実施の形態3.
図7は、実施の形態3にかかるレーザ変位センサ装置の構成例を示す図である。実施の形態3にかかるレーザ変位センサ装置1bは、図1に示した実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1の信号処理部51を信号処理部53としたものである。レーザ変位センサ装置1bの信号処理部53以外の各部については実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1と同様であるため、説明を省略する。
図7は、実施の形態3にかかるレーザ変位センサ装置の構成例を示す図である。実施の形態3にかかるレーザ変位センサ装置1bは、図1に示した実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1の信号処理部51を信号処理部53としたものである。レーザ変位センサ装置1bの信号処理部53以外の各部については実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1と同様であるため、説明を省略する。
信号処理部53は、実施の形態1で説明した移動平均演算部17およびIIRフィルタ18と、スイッチ41A,41B,42A,42B,43A,43Bとを備える。この信号処理部53は、スイッチ41A,41B,42A,42B,43A,43Bの設定を変更することにより、移動平均演算部17とIIRフィルタ18との接続関係を変更することが可能である。また、信号処理部53は、移動平均演算部17およびIIRフィルタ18と外部の変位量計測部12および出力部19との接続関係を変更することも可能である。スイッチ41Aおよび41Bは同時に制御され、一方が閉じた状態(ON状態)、他方が開いた状態(OFF状態)に設定される。同様に、スイッチ42Aおよび42Bは同時に制御され、一方が閉じた状態、他方が開いた状態に設定される。スイッチ43Aおよび43Bは同時に制御され、一方が閉じた状態、他方が開いた状態に設定される。すなわち、同時に制御される2つのスイッチの両方が閉じた状態になることはなく、また、両方が開いた状態になることもない。スイッチ41A,41B,42A,42B,43A,43Bは、移動平均演算部17とIIRフィルタ18との接続関係を変更する切替部である。
図8は、信号処理部53に含まれる各スイッチの設定パターンを示す図である。本実施の形態では、各スイッチを図8に示したパターン#1~#4のいずれかに従って設定するする。ユーザは、外部装置2の専用ツール23を使用して各スイッチの設定を変更できるものとする。
図8に示したパターン#1では、スイッチ41A、42Aおよび43AをONに設定し、残りのスイッチをOFFに設定する。この場合、変位量計測部12から信号処理部53に入力される信号は、まず、移動平均演算部17で処理され、次に、IIRフィルタ18で処理され、信号処理部53から出力される。パターン#1に従った設定の場合、信号処理部53が実施する処理は、実施の形態1にかかるレーザ変位センサ装置1の信号処理部51が実施する処理と同一である。
図8に示したパターン#2では、スイッチ41B、42Bおよび43BをONに設定し、残りのスイッチをOFFに設定する。この場合、変位量計測部12から信号処理部53に入力される信号は、まず、IIRフィルタ18で処理され、次に、移動平均演算部17で処理され、信号処理部53から出力される。パターン#2に従った設定の場合、信号処理部53が実施する処理は、実施の形態2にかかるレーザ変位センサ装置1aの信号処理部52が実施する処理と同一である。
図8に示したパターン#3では、スイッチ41Aおよび43BをONに設定し、残りのスイッチをOFFに設定する。この場合、変位量計測部12から信号処理部53に入力される信号は、移動平均演算部17で処理された後、信号処理部53から出力される。パターン#3に従った設定の場合、信号処理部53は、移動平均演算部17のみを使用して、入力信号である変位量に含まれるノイズを低減する。
図8に示したパターン#4では、スイッチ41Bおよび43AをONに設定し、残りのスイッチをOFFに設定する。この場合、変位量計測部12から信号処理部53に入力される信号は、IIRフィルタ18で処理された後、信号処理部53から出力される。パターン#4に従った設定の場合、信号処理部53は、IIRフィルタ18のみを使用して、入力信号である変位量に含まれるノイズを低減する。
このように、本実施の形態にかかるレーザ変位センサ装置1bは、移動平均演算部17およびIIRフィルタ18と、これらの接続関係を変更するための複数のスイッチ41A,41B,42A,42B,43A,43Bを備える。これにより、変位量計測部12で計測した変位量に含まれるノイズを低減する処理の構成を柔軟に変更することができる。
本実施の形態では、説明を容易にするため、信号処理部53が1段のIIRフィルタ18および1段の移動平均演算部17を備える構成について説明したが、それぞれを複数段とし、複数段のIIRフィルタと複数段の移動平均演算部とを備える構成としてもよい。この場合、信号処理部53は、複数段のIIRフィルタと複数段の移動平均演算部との接続関係を変更するためのフィルタ、IIRフィルタの段数を変更するためのフィルタ、移動平均演算部の段数を変更するためのフィルタを備える。これにより、信号処理部53は、レーザ変位センサ装置1bの測定対象の条件および環境の少なくとも1つに合わせてノイズ低減処理の組み合わせを変えることができる。またこの時、移動平均演算部とIIRフィルタの段数は同じである必要はない。また、信号処理部53は、レーザ変位センサ装置1bの測定対象のノイズの種類および特性の少なくとも1つに応じて、ミディアンフィルタ等の他のデジタルフィルタが任意の位置に挿入された構成であってもよい。
以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
1,1a,1b レーザ変位センサ装置、2 外部装置、10 レーザ素子、11 撮像素子、12 変位量計測部、13 投光及び受光制御部、14 システム制御部、15 レンズ、16 コントローラ、17 移動平均演算部、18 IIRフィルタ、19 出力部、21 表示部、22 制御部、23 専用ツール、41A,41B,42A,42B,43A,43B スイッチ、51,52,53 信号処理部。
Claims (7)
- 検出対象物で反射された光に基づいて計測される変位量のノイズを低減する処理を実行する信号処理装置であって、
入力信号に対して移動平均演算を実施して前記入力信号に含まれるノイズ成分を低減する移動平均演算部と、
入力信号に含まれるノイズ成分をデジタル信号処理により低減する無限インパルス応答フィルタと、
を備え、
前記無限インパルス応答フィルタのフィルタ係数は、前記移動平均演算部および前記無限インパルス応答フィルタに同一の信号を入力した場合に前記移動平均演算部が出力する第1の演算結果と前記無限インパルス応答フィルタが出力する第2の演算結果との差に基づいて決定される、
ことを特徴とする信号処理装置。 - 前記フィルタ係数は、前記第1の演算結果と前記第2の演算結果との差がゼロに近づくように決定されることを特徴とする請求項1に記載の信号処理装置。
- 前記変位量を前記移動平均演算部への入力信号とし、前記移動平均演算部からの出力信号を前記無限インパルス応答フィルタへの入力信号とする、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の信号処理装置。 - 前記変位量を前記無限インパルス応答フィルタへの入力信号とし、前記無限インパルス応答フィルタからの出力信号を前記移動平均演算部への入力信号とする、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の信号処理装置。 - 前記移動平均演算部と前記無限インパルス応答フィルタとの接続関係を変更する切替部、
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の信号処理装置。 - 検出対象物に対してレーザ光を照射するレーザ素子と、
前記検出対象物で反射された光の受光強度に基づいて前記検出対象物の変位量を計測する変位量計測部と、
請求項1から5のいずれか一つに記載の信号処理装置と、
を備えることを特徴とするセンサ装置。 - 検出対象物で反射された光に基づいて計測される変位量のノイズを低減する信号処理方法であって、
移動平均演算部が、入力信号に対して移動平均演算を実施して前記入力信号に含まれるノイズ成分を低減するステップと、
無限インパルス応答フィルタが、入力信号に含まれるノイズ成分をデジタル信号処理により低減するステップと、
を含み、
前記無限インパルス応答フィルタのフィルタ係数は、前記移動平均演算部および前記無限インパルス応答フィルタに同一の信号を入力した場合に前記移動平均演算部が出力する第1の演算結果と前記無限インパルス応答フィルタが出力する第2の演算結果との差に基づいて決定される、
ことを特徴とする信号処理方法。
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