JP6483520B2 - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6483520B2
JP6483520B2 JP2015103341A JP2015103341A JP6483520B2 JP 6483520 B2 JP6483520 B2 JP 6483520B2 JP 2015103341 A JP2015103341 A JP 2015103341A JP 2015103341 A JP2015103341 A JP 2015103341A JP 6483520 B2 JP6483520 B2 JP 6483520B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
value
output
measurement value
unit
comparison
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015103341A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016217889A (ja
Inventor
荻原 元徳
元徳 荻原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2015103341A priority Critical patent/JP6483520B2/ja
Publication of JP2016217889A publication Critical patent/JP2016217889A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6483520B2 publication Critical patent/JP6483520B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

本発明は、リニアスケール等の位置センサで取得した測定値に基づくデジタル信号を処理して高周波ノイズを低減する位置検出装置に関する。
リニアスケール等の位置センサを用いた位置検出装置では、位置センサから出力される信号に電気ノイズや装置の振動等を原因とした高周波誤差が含まれる場合がある。従来の装置では、これら誤差を低減するために、ハイカットフィルタやノッチフィルタなどの各種フィルタを用いたり、測定値の平均値や移動平均値を用いたりする信号処理を実施している。
例えば、特許文献1においては、ローパスフィルタ、フィードバック、フィードフォワードなどを用いてノイズ成分を除去する構成が記載されている。また、特許文献2においては、グリッチフィルタとデジタルフィルタとを用いてノイズ成分を除去する構成が記載されている。
特許第4195154号公報 米国特許第6975406号公報
しかしながら、これらフィルタを用いる場合、ノイズ低減効果と、測定値の過渡応答性とはトレードオフの関係にあり、両者を共に実現することは難しい。また、これらを実現する装置の構成が複雑になるという問題がある。
本発明は、簡単な構成でノイズ低減効果と測定値の過渡応答性との両立を図ることができる位置検出装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の位置検出装置は、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号の入力測定値を取得する測定値入力部と、出力する測定値である出力測定値を保持するとともに、サンプリング時間毎に新たな出力測定値を出力する測定値出力部と、入力測定値と出力測定値とを比較する比較部と、を備え、測定値出力部は、サンプリング時間毎に、比較部による比較結果に基づいて出力測定値を1単位増加、1単位減少および保持のいずれかを行い、新たな出力測定値とすることを特徴とする。
このような構成によれば、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号と、先に取得したデジタル信号との比較結果に応じて、先に取得したデジタル信号に対して1単位増加、1単位減少および保持のいずれかを行うため、出力信号の更新速度(単位時間当たりの変化率:スリューレート)が制限され、測定値に含まれる高周波ノイズを低減することができる。
本発明の位置検出装置において、測定値出力部は、比較部による比較結果において、入力測定値が出力測定値よりも大きい場合、出力測定値を1単位増加し、入力測定値が出力測定値と等しい場合、出力測定値を保持し、入力測定値が出力測定値よりも小さい場合、出力測定値を1単位減少して新たな出力測定値としてもよい。
このような構成によれば、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号と、先に取得したデジタル信号との比較結果に応じて出力信号の単位時間当たりの変化率が制限され、測定値に含まれる高周波ノイズを低減することができる。
本発明の位置検出装置は、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号の入力測定値を取得する測定値入力部と、出力する測定値である第1出力測定値を保持するとともに、所定のサンプリング時間毎に新たな第1出力測定値を出力する第1測定値出力部と、入力測定値と第1出力測定値とを比較する第1比較部と、第1サンプリング時間毎に、第1比較部による比較結果において、入力測定値が第1出力測定値よりも大きい場合、積算比較値を1単位増加し、入力測定値が第1出力測定値と等しい場合、積算比較値を保持し、入力測定値が第1出力測定値よりも小さい場合、積算比較値を1単位減少して新たな積算比較値とする積算比較部と、を備え、第1サンプリング時間のN倍の第2サンプリング時間毎に、第1測定値出力部は、積算比較値を判定し、積算比較値が正の場合、第1出力測定値を1単位増加し、積算比較値がゼロの場合、第1出力測定値を保持し、積算比較値が負の場合、第1出力測定値を1単位減少して新たな第1出力測定値とし、第1測定値出力部から新たな第1出力測定値を出力した後、前記積算比較部は、前記積算比較値をゼロにすることを特徴とする。
このような構成によれば、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号と、先に取得したデジタル信号との比較結果の積算値に応じて、先に取得したデジタル信号に対して1単位増加、1単位減少および保持のいずれかを行うため、出力信号の単位時間当たりの変化率が制限されることになり、測定値に含まれる高周波ノイズを低減することができる。また、積算比較値は、N個の比較結果に基づくため、高周波ノイズに対してロバストな出力を得ることができる。
本発明の位置検出装置は、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号の入力測定値を取得する測定値入力部と、出力する測定値である第1出力測定値を保持するとともに、所定のサンプリング時間毎に新たな第1出力測定値を出力する第1測定値出力部と、入力測定値と第1出力測定値とを比較する第1比較部と、第1サンプリング時間毎に入力測定値と第1出力測定値との差を積算して差分積算値を演算する差分積算部と、を備え、第1サンプリング時間のN倍の第2サンプリング時間毎に、第1測定値出力部は、積算比較値を判定し、差分積算値が正の場合、第1出力測定値を1単位増加し、差分積算値がゼロの場合、第1出力測定値を保持し、差分積算値が負の場合、第1出力測定値を1単位減少して新たな第1出力測定値とし、新たな第1出力測定値の出力後、前記差分積算部の前記差分積算値をゼロにすることを特徴とする。
このような構成によれば、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号と、先に取得したデジタル信号との差分の積算値に応じて、先に取得したデジタル信号に対して1単位増加、1単位減少および保持のいずれかを行うため、出力信号の単位時間当たりの変化率が制限されることになり、測定値に含まれる高周波ノイズを低減することができる。また、差分積算値は、N個の入力測定値と第1出力測定値との差分の合計(入出力誤差の平均値に基づく比較結果)となるため、高周波ノイズに対してロバストな出力を得ることができる。
本発明の位置検出装置は、第2出力測定値を保持するとともに、第1サンプリング時間毎に新たな第2出力測定値を出力する第2測定値出力部と、第1サンプリング時間毎に入力測定値と第2出力測定値とを比較する第2比較部と、第2出力測定値と第1出力測定値との差分値を演算する第3比較部と、差分値に基づきN倍のN値を設定する倍率設定部と、をさらに備え、第2測定値出力部は、第2比較部による比較結果において、入力測定値が第2出力測定値よりも大きい場合、第2出力測定値を1単位増加し、入力測定値が第2出力測定値と等しい場合、第2出力測定値を保持し、入力測定値が第2出力測定値よりも小さい場合、第2出力測定値を1単位減少して新たな第2出力測定値とし、倍率設定部は、差分値の絶対値が基準設定値よりも大きい場合には、経過時間をゼロにするとともに、N値を初期値に設定し、設定した前記N値に基づく第2サンプリング時間毎にサンプリング指令を積算比較部および第1測定値出力部に送り、差分値の絶対値が基準設定値以下の場合には、前記第3比較部での比較回数が前記N値となる毎にサンプリング指令を積算比較部および第1測定値出力部に送り、前記比較回数をゼロにし、経過時間を1単位増加し、さらに、経過時間に応じて新たなN値を設定し、サンプリング指令を受けたタイミングにおいて、第1測定値出力部は、第1出力測定値を新たな第1出力測定値とし、第1測定値出力部から新たな第1出力測定値を出力した後、積算比較部は、積算比較値をゼロにする、ことを特徴とする。
このような構成によれば、第1測定値出力部でのサンプリング時間が可変することになる。これにより、出力値の更新間隔が適切に変更され、測定値の過渡応答性の確保と、測定値に含まれる高周波ノイズの低減とを図ることができる。
本発明の位置検出装置において、第2出力測定値を保持するとともに、第1サンプリング時間毎に新たな第2出力測定値を出力する第2測定値出力部と、第1サンプリング時間毎に入力測定値と第2出力測定値とを比較する第2比較部と、第2出力測定値と、第1出力測定値との差分値を演算する第3比較部と、差分値に基づきN倍のN値を設定する倍率設定部と、をさらに備え、第2測定値出力部は、第2比較部による比較結果において、入力測定値が第2出力測定値よりも大きい場合、第2出力測定値を1単位増加し、入力測定値が第2出力測定値と等しい場合、第2出力測定値を保持し、入力測定値が第2出力測定値よりも小さい場合、第2出力測定値を1単位減少して新たな第2出力測定値とし、倍率設定部は、差分値の絶対値が基準設定値よりも大きい場合には、経過時間をゼロにするとともに、N値を初期値に設定し、設定した前記N値に基づく第2サンプリング時間毎にサンプリング指令を差分積算部および第1測定値出力部に送り、差分値の絶対値が基準設定値以下の場合には、前記第3比較部での比較回数が前記N値となる毎に前記サンプリング指令を差分積算部および第1測定値出力部に送り、前記比較回数をゼロにし、経過時間を1単位増加し、さらに、経過時間に応じて新たなN値を設定し、サンプリング指令を受けたタイミングにおいて、第1測定値出力部は、第1出力測定値を新たな第1出力測定値とし、第1測定値出力部から新たな第1出力測定値を出力した後、差分積算部は、差分積算値をゼロにしてもよい。
このような構成によれば、第1測定値出力部でのサンプリング時間が可変することになる。これにより、出力値の更新間隔が適切に変更され、測定値の過渡応答性の確保と、測定値に含まれる高周波ノイズの低減とを図ることができる。
本発明の位置検出装置において、N値の初期値は1であってもよい。また、本発明の位置検出装置において、倍率設定部は、経過時間が時間設定値の倍数となる毎に、N値を最大設定値になるまで1単位ずつ増加して新たなN値を設定してもよい。これにより、サンプリング時間が1から最大設定値まで可変して、出力値の更新間隔が適切に変更される。
また、本発明の位置検出装置において、倍率設定部は、N値の最大設定値を制限し、経過時間を入力とする関数によって新しいN値を設定してもよい。これにより、関数によって出力値の更新間隔が適切に変更される。また、本発明の位置検出装置において、センサは、リニアスケールや位置センサであってもよい。
第1実施形態に係る位置検出装置を例示するブロック図である。 第2実施形態に係る位置検出装置を例示するブロック図である。 第3実施形態に係る位置検出装置を例示するブロック図である。 第4実施形態に係る位置検出装置を例示するブロック図である。 第5実施形態に係る位置検出装置を例示するブロック図である。 入力測定値の例を示す図である。 第1実施例に係る出力測定値を示す図である。 第2実施例に係る出力測定値を示す図である。 第3実施例に係る出力測定値を示す図である。 第4実施例に係る出力測定値を示す図である。 第5実施例に係る出力測定値を示す図である。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。
〔第1実施形態〕
図1は、第1実施形態に係る位置検出装置を例示するブロック図である。
図1に表したように、本実施形態に係る位置検出装置1Aは、測定値入力部10、測定値出力部20および比較部30を備える。測定値入力部10は、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号の入力測定値を取得する。センサとしては、例えばリニアスケールや位置センサが用いられる。測定値入力部10は、センサから出力された測定値に基づくデジタル信号を取り込む。
測定値出力部20は、出力する測定値である出力測定値を保持するとともに、所定のサンプリング時間毎に新たな出力測定値を出力する。比較部30は、入力測定値と出力測定値とを比較する。
このような構成において、測定値出力部20は、サンプリング時間毎に、比較部30による比較結果に基づいて出力測定値を1単位増加、1単位減少および保持のいずれかを行い、新たな出力測定値とする。
具体的には、測定値出力部20は次の(1)〜(3)のいずれかを行う。
(1)比較部30による比較結果において、入力測定値が出力測定値よりも大きい場合、出力測定値を1単位増加して新たな出力測定値とする。
(2)比較部30による比較結果において、入力測定値が出力測定値と等しい場合、出力測定値を保持する。
(3)比較部30による比較結果において、入力測定値が出力測定値よりも小さい場合、出力測定値を1単位減少して新たな出力測定値とする。
ここで、出力測定値を増加または減少する1単位としては、例えば「1」が適用される。このような処理では、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号が、先に取得したデジタル信号よりも大きい場合には、先に取得したデジタル信号に例えば「1」を加算し、小さい場合には例えば「1」を減少する。これにより、出力信号の単位時間当たりの変化率が制限され、測定値に含まれる高周波ノイズの低減を図ることができる。
本実施形態に係る位置検出装置では、一般的なデジタルフィルタによるノイズ低減装置に比べて、簡単な比較演算と加減算を行う演算回路のみで構成されるため、小規模な回路でノイズ低減機構を構成することができる。
〔第2実施形態〕
図2は、第2実施形態に係る位置検出装置を例示するブロック図である。
図2に表したように、本実施形態に係る位置検出装置1Bは、測定値入力部10、第1測定値出力部21および第1比較部31、積算比較部40を備える。
測定値入力部10は、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号の入力測定値を取得する。第1測定値出力部21は、出力する測定値である第1出力測定値を保持するとともに、所定のサンプリング時間毎に新たな第1出力測定値を出力する。
第1比較部31は、入力測定値と第1出力測定値とを比較する。積算比較部40は、第1サンプリング時間毎に、第1比較部31の比較結果に応じて積算比較値を1単位増加、1単位減少および保持のいずれかを行う。
具体的には、積算比較部40は次の(11)〜(13)のいずれかを行う。
(11)第1比較部31による比較結果において、入力測定値が第1出力測定値よりも大きい場合、積算比較値を1単位増加して新たな積算比較値とする。
(12)第1比較部31による比較結果において、入力測定値が第1出力測定値と等しい場合、積算比較値を保持する。
(13)第1比較部31による比較結果において、入力測定値が第1出力測定値よりも小さい場合、積算比較値を1単位減少して新たな積算比較値とする。
ここで、積算比較値を増加または減少する1単位としては、例えば「1」が適用される。このような処理では、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号が、先に取得したデジタル信号よりも大きい場合には、積算比較値に例えば「1」を加算し、小さい場合には例えば「1」を減算する。
このような構成において、第1測定値出力部21は、第1サンプリング時間のN倍の第2サンプリング時間毎に、積算比較値に応じて出力測定値を1単位増加、1単位減少および保持のいずれかを行い、新たな出力測定値とする。N倍のN値としては、例えば「4」が適用される。また、積算比較部40は、第2サンプリング時間毎に第1測定値出力部21から新たな第1出力測定値が出力された後、積算比較値をゼロにする。
具体的には、第1測定値出力部21は次の(21)〜(23)のいずれかを行う。
(21)積算比較値が正の場合、出力測定値を1単位増加して新たな出力測定値とする。
(22)積算比較値がゼロの場合、出力測定値を保持する。
(23)積算比較値が負の場合、出力測定値を1単位減少して新たな出力測定値とする。
ここで、出力測定値を増加または減少する1単位としては、例えば「1」が適用される。このような処理では、入力測定値の増加や減少の傾向に応じて出力測定値が調整されるため、出力信号の単位時間当たりの変化率が制限され、測定値に含まれる高周波ノイズの低減を図ることができる。また、積算比較値は、N個の比較結果に基づくため、高周波ノイズに対してロバストな出力を得ることができる。
〔第3実施形態〕
図3は、第3実施形態に係る位置検出装置を例示するブロック図である。
図3に表したように、本実施形態に係る位置検出装置1Cは、測定値入力部10、第1測定値出力部21および第1比較部31、差分積算部50を備える。
測定値入力部10は、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号の入力測定値を取得する。第1測定値出力部21は、出力する測定値である第1出力測定値を保持するとともに、後述する第2サンプリング時間毎に新たな第1出力測定値を出力する。第1比較部31は、入力測定値と第1出力測定値とを比較する。差分積算部50は、第1サンプリング時間毎に、第1比較部31で比較した入力測定値と第1出力測定値との差を積算して差分積算値を演算する。
第1測定値出力部21は、第1サンプリング時間のN倍の第2サンプリング時間毎に、差分積算値に応じて出力測定値を1単位増加、1単位減少および保持のいずれかを行い、新たな出力測定値とする。N倍のN値としては、例えば「4」が適用される。また、差分積算部50は、第2サンプリング時間毎に第1測定値出力部21から新たな第1出力測定値が出力された後、差分積算値をゼロにする。
具体的には、第1測定値出力部21は次の(31)〜(33)のいずれかを行う。
(31)差分積算値が正の場合、出力測定値を1単位増加して新たな出力測定値とする。
(32)差分積算値がゼロの場合、出力測定値を保持する。
(33)差分積算値が負の場合、出力測定値を1単位減少して新たな出力測定値とする。
ここで、出力測定値を増加または減少する1単位としては、例えば「1」が適用される。このような処理では、センサで取得した測定値に基づくデジタル信号と、先に取得したデジタル信号との差分の積算値に応じて出力測定値が調整されるため、出力信号の単位時間当たりの変化率が制限され、測定値に含まれる高周波ノイズの低減を図ることができる。また、差分積算値は、N個の入力測定値と第1出力測定値との差分の合計(入出力誤差の平均値に基づく比較結果)となるため、高周波ノイズに対してロバストな出力を得ることができる。
〔第4実施形態〕
図4は、第4実施形態に係る位置検出装置を例示するブロック図である。
図4に表したように、本実施形態に係る位置検出装置1Dは、測定値入力部10、第1測定値出力部21、第2測定値出力部22、第1比較部31、第2比較部32、第3比較部33、積算比較部40および倍率設定部60を備える。
測定値入力部10、第1測定値出力部21、第1比較部31および積算比較部40は、第2実施形態と同様である。第2測定値出力部22、第2比較部32、第3比較部33および倍率設定部60は、可変サンプリング部600を構成する。可変サンプリング部600によって、第2サンプリング時間が設定される。
第2測定値出力部22は、第2出力測定値を保持するとともに、第1サンプリング時間毎に新たな第2出力測定値を出力する。第2比較部32は、第1サンプリング時間毎に入力測定値と第2出力測定値とを比較する。第3比較部33は、第2出力測定値と第1出力測定値との差分値を演算する。倍率設定部60は、第3比較部33から出力される差分値に基づきN倍のN値を設定する。
可変サンプリング部600において、第2測定値出力部22は、第1サンプリング時間毎に、第2比較部32による比較結果に基づいて第2出力測定値を1単位増加、1単位減少および保持のいずれかを行い、新たな第2出力測定値とする。
具体的には、第2測定値出力部22は次の(41)〜(43)のいずれかを行う。
(41)第2比較部32による比較結果において、入力測定値が第2出力測定値よりも大きい場合、第2出力測定値を1単位増加して新たな第2出力測定値とする。
(42)第2比較部32による比較結果において、入力測定値が第2出力測定値と等しい場合、第2出力測定値を保持する。
(43)第2比較部32による比較結果において、入力測定値が第2出力測定値よりも小さい場合、第2出力測定値を1単位減少して新たな第2出力測定値とする。
また、倍率設定部60は、第3比較部33による差分値の絶対値が基準設定値よりも大きい場合には、経過時間をゼロにするとともに、N値を初期値に設定し、設定した前記N値に基づく第2サンプリング時間毎にサンプリング指令を積算比較部40および第1測定値出力部21に送る。ここで、N値の初期値は1であってもよい。
また、倍率設定部60は、第3比較部33による差分値の絶対値が基準設定値以下の場合には、第3比較部33での比較回数がN値となる毎にサンプリング指令を積算比較部40および第1測定値出力部21に送り、前記比較回数をゼロにし、経過時間を1単位増加し、さらに、経過時間に応じて新たなN値を設定する。例えば、倍率設定部60は、経過時間が時間設定値の倍数となる毎に、最大設定値になるまでN値を1単位ずつ増加して新しいN値としてもよい。
サンプリング指令を受けたタイミングにおいて、第1測定値出力部21は、第1出力測定値を新たな第1出力測定値とし、第1測定値出力部21から新たな第1出力測定値が出力された後、積算比較部40は、積算比較値をゼロにする。
このような構成によれば、第1測定値出力部21でのサンプリング時間が可変することになる。すなわち、入力測定値の変化が少ない場合には第2サンプリング時間が長くなり、出力信号の単位時間当たりの変化率を制限することができる。これにより、出力値の更新間隔が適切に変更され、測定値の高い過渡応答性と、測定値に含まれる高周波ノイズの低減とを図ることができる。
〔第5実施形態〕
図5は、第5実施形態に係る位置検出装置を例示するブロック図である。
図5に表したように、本実施形態に係る位置検出装置1Eは、測定値入力部10、第1測定値出力部21、第2測定値出力部22、第1比較部31、第2比較部32、第3比較部33、差分積算部50および倍率設定部60を備える。本実施形態に係る位置検出装置1Eでは、第4実施形態に係る位置検出装置1Dの積算比較部40に代わり、差分積算部50が設けられている。他の構成は同様である。
位置検出装置1Eにおいて、サンプリング指令を受けたタイミングにおいて、第1測定値出力部21は、第1出力測定値を新たな第1出力測定値とし、第1測定値出力部21から新たな第1出力測定値が出力された後、差分積算部50は、差分積算値をゼロにする。
このような構成によれば、第4実施形態に係る位置検出装置1Dと同様に、第1測定値出力部21でのサンプリング時間が可変することになる。すなわち、入力測定値の変化が少ない場合には第2サンプリング時間が長くなり、出力信号の単位時間当たりの変化率を制限することができる。これにより、出力値の更新間隔が適切に変更され、測定値の高い過渡応答性と、測定値に含まれる高周波ノイズの低減とを図ることができる。
以下、本発明の実施例を説明する。
本発明の実施例では、入力測定値として、振幅100カウントの正弦波値に、標準偏差10カウントのノイズを加えた値を入力測定値としている。図6は、入力測定値の例を示す図である。
図7は、第1実施例に係る出力測定値を示す図である。図7に示す出力測定値は、位置検出装置1Aに入力測定値(図6)を入力した場合のシミュレーション結果である。
図8は、第2実施例に係る出力測定値を示す図である。図8に示す出力測定値は、位置検出装置1Bに入力測定値(図6)を入力した場合のシミュレーション結果である。このシミュレーションにおいては、位置検出装置1BのN値を4としている。
図9は、第3実施例に係る出力測定値を示す図である。図9に示す出力測定値は、位置検出装置1Cに入力測定値(図6)を入力した場合のシミュレーション結果である。このシミュレーションにおいては、位置検出装置1CのN値を4としている。
図10は、第4実施例に係る出力測定値を示す図である。図10に示す出力測定値は、位置検出装置1Dに入力測定値(図6)を入力した場合のシミュレーション結果である。このシミュレーションにおいては、位置検出装置1DのN値の初期値を1、基準設定値を15、時間設定値を100、最大設定値を32としている。
図11は、第5実施例に係る出力測定値を示す図である。図11に示す第5実施例に係る出力測定値は、位置検出装置1Eに入力測定値(図6)を入力した場合のシミュレーション結果である。このシミュレーションにおいては、位置検出装置1EのN値の初期値を1、基準設定値を15、時間設定値を100、最大設定値を32としている。
ここで、経過時間をM、時間設定値をBとした場合、N値をMおよびBの関数によって求めたり、Mの多項式によって求めたり、関数テーブルによって求めてもよい。関数の例として、以下の式1が挙げられる。
N=1+√(M/B) …(式1)

なお、式1以外の関数を用いてもよいが、Mの増加に伴うNの増加量が逓減する性質の関数を用いることが好ましい。
本実施形態によれば、スケール等の位置センサ用いたリアルタイム測定装置の位置や測定値の単位時間当たりの変化率を制限することで、位置や測定値に含まれる高周波の誤差を低減することができる。
また、位置や測定値の出力更新をサンプリング時間毎に行う装置において、出力値の更新間隔を、位置や測定値が設定範囲内にある時間の長さによって、適切に変更することで、位置や測定値の高い過渡応答性と、出力値の高い誤差低減効果とを実現することができる。
また、本実施形態では、一般的なデジタルフィルタによるノイズ低減装置に比べて簡単な比較演算器と加減算演算器で構成されるため、本発明を適用した装置をFPGA(Field-Programmable Gate Array)等の論理回路で構成した場合、非常に小規模な回路で実現できることになる。また、本実施形態をCPU(Central Processing Unit)とプログラムとで構成する場合には、プログラム実行時間を短く抑えることができる。これにより、低価格で、高速な装置を実現することが可能となる。
以上説明したように、本実施形態によれば、簡単な構成でノイズ低減効果と測定値の過渡応答性との両立を図ることができる位置検出装置1A、1B、1C、1Dおよび1Eを提供することが可能になる。
なお、上記に本実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、上記の各実施形態では、所定の値に対する1単位増加または1単位減少の1単位を「1」としたが、「1」以外であってもよい。また、経過時間の増加単位である1単位は、出力測定値の増加単位である1単位と同じでも異なっていてもよい。また、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
本発明は、リニアスケールや位置センサを用いた位置検出装置のほか、デジタル式マイクロメータ、デジタル式ノギス、デジタル式ハイトゲージ、デジタル式インジケータなど各種の測定器に好適に利用できる。
1A,1B,1C,1D,1E…位置検出装置
10…測定値入力部
20…測定値出力部
21…第1測定値出力部
22…第2測定値出力部
30…比較部
31…第1比較部
32…第2比較部
33…第3比較部
40…積算比較部
50…差分積算部
60…倍率設定部
600…可変サンプリング部

Claims (11)

  1. センサで取得した測定値に基づくデジタル信号の入力測定値を取得する測定値入力部と、
    出力する測定値である出力測定値を保持するとともに、サンプリング時間毎に新たな出力測定値を出力する測定値出力部と、
    前記入力測定値と前記出力測定値とを比較する比較部と、
    を備え、
    前記測定値出力部は、
    前記サンプリング時間毎に、前記比較部による比較結果に基づいて出力測定値を1単位増加、1単位減少および保持のいずれかを行い、新たな出力測定値とすることを特徴とする位置検出装置。
  2. 前記測定値出力部は、
    前記比較部による比較結果において、前記入力測定値が前記出力測定値よりも大きい場合、前記出力測定値を1単位増加し、前記入力測定値が前記出力測定値と等しい場合、前記出力測定値を保持し、前記入力測定値が前記出力測定値よりも小さい場合、前記出力測定値を1単位減少して新たな出力測定値とすることを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
  3. センサで取得した測定値に基づくデジタル信号の入力測定値を取得する測定値入力部と、
    出力する測定値である第1出力測定値を保持するとともに、所定のサンプリング時間毎に新たな第1出力測定値を出力する第1測定値出力部と、
    前記入力測定値と前記第1出力測定値とを比較する第1比較部と、
    第1サンプリング時間毎に、前記第1比較部による比較結果において、前記入力測定値が前記第1出力測定値よりも大きい場合、積算比較値を1単位増加し、前記入力測定値が前記第1出力測定値と等しい場合、前記積算比較値を保持し、前記入力測定値が前記第1出力測定値よりも小さい場合、前記積算比較値を1単位減少して新たな積算比較値とする積算比較部と、
    を備え、
    前記第1サンプリング時間のN倍の第2サンプリング時間毎に、
    前記第1測定値出力部は、前記積算比較値を判定し、前記積算比較値が正の場合、前記第1出力測定値を1単位増加し、前記積算比較値がゼロの場合、前記第1出力測定値を保持し、前記積算比較値が負の場合、前記第1出力測定値を1単位減少して新たな第1出力測定値とし、
    前記第1測定値出力部から新たな第1出力測定値が出力された後、前記積算比較部は、前記積算比較値をゼロにすることを特徴とする位置検出装置。
  4. センサで取得した測定値に基づくデジタル信号の入力測定値を取得する測定値入力部と、
    出力する測定値である第1出力測定値を保持するとともに、所定のサンプリング時間毎に新たな第1出力測定値を出力する第1測定値出力部と、
    第1サンプリング時間毎に前記入力測定値と前記第1出力測定値との差を積算して差分積算値を演算する差分積算部と、
    を備え、
    前記第1サンプリング時間のN倍の第2サンプリング時間毎に、
    前記第1測定値出力部は、前記差分積算値を判定し、前記差分積算値が正の場合、前記第1出力測定値を1単位増加し、前記差分積算値がゼロの場合、前記第1出力測定値を保持し、前記差分積算値が負の場合、前記第1出力測定値を1単位減少して新たな第1出力測定値とし、
    前記第1測定値出力部から新たな第1出力測定値が出力された後、前記差分積算部は、前記差分積算値をゼロにすることを特徴とする位置検出装置。
  5. 第2出力測定値を保持するとともに、前記第1サンプリング時間毎に新たな第2出力測定値を出力する第2測定値出力部と、
    前記第1サンプリング時間毎に前記入力測定値と前記第2出力測定値とを比較する第2比較部と、
    前記第1サンプリング時間毎に前記第2出力測定値と前記第1出力測定値との差分値を演算する第3比較部と、
    前記第1サンプリング時間毎に前記差分値に基づき前記N倍のN値を設定する倍率設定部と、をさらに備え、
    前記第2測定値出力部は、
    前記第2比較部による比較結果において、前記入力測定値が前記第2出力測定値よりも大きい場合、前記第2出力測定値を1単位増加し、前記入力測定値が前記第2出力測定値と等しい場合、前記第2出力測定値を保持し、前記入力測定値が前記第2出力測定値よりも小さい場合、前記第2出力測定値を1単位減少して新たな第2出力測定値とし、
    前記倍率設定部は、
    前記差分値の絶対値が基準設定値よりも大きい場合には、経過時間をゼロにするとともに、前記N値を初期値に設定し、設定した前記N値に基づく前記第2サンプリング時間毎にサンプリング指令を前記積算比較部および前記第1測定値出力部に送り、
    前記差分値の絶対値が前記基準設定値以下の場合には、前記第3比較部での比較回数が前記N値となる毎に前記サンプリング指令を前記積算比較部および前記第1測定値出力部に送り、前記比較回数をゼロにし、前記経過時間を1単位増加し、さらに、前記経過時間に応じて新たなN値を設定し、
    前記サンプリング指令を受けたタイミングにおいて、
    前記第1測定値出力部は、第1出力測定値を新たな第1出力測定値とし、
    前記第1測定値出力部から新たな第1出力測定値が出力された後、前記積算比較部は、前記積算比較値をゼロにする、ことを特徴とする請求項3記載の位置検出装置。
  6. 第2出力測定値を保持するとともに、前記第1サンプリング時間毎に新たな第2出力測定値を出力する第2測定値出力部と、
    前記第1サンプリング時間毎に前記入力測定値と前記第2出力測定値とを比較する第2比較部と、
    前記第1サンプリング時間毎に前記第2出力測定値と、前記第1出力測定値との差分値を演算する第3比較部と、
    前記第1サンプリング時間毎に前記差分値に基づき前記N倍のN値を設定する倍率設定部と、をさらに備え、
    前記第2測定値出力部は、
    前記第2比較部による比較結果において、前記入力測定値が前記第2出力測定値よりも大きい場合、前記第2出力測定値を1単位増加し、前記入力測定値が前記第2出力測定値と等しい場合、前記第2出力測定値を保持し、前記入力測定値が前記第2出力測定値よりも小さい場合、前記第2出力測定値を1単位減少して新たな第2出力測定値とし、
    前記倍率設定部は、
    前記差分値の絶対値が基準設定値よりも大きい場合には、経過時間をゼロにするとともに、前記N値を初期値に設定し、設定した前記N値に基づく前記第2サンプリング時間毎にサンプリング指令を前記差分積算部および前記第1測定値出力部に送り、
    前記差分値の絶対値が前記基準設定値以下の場合には、前記第3比較部での比較回数が前記N値となる毎に前記サンプリング指令を前記差分積算部および前記第1測定値出力部に送り、前記比較回数をゼロにし、前記経過時間を1単位増加し、さらに、前記経過時間に応じて新たなN値を設定し、
    前記サンプリング指令を受けたタイミングにおいて、
    前記第1測定値出力部は、第1出力測定値を新たな第1出力測定値とし、
    前記第1測定値出力部から新たな第1出力測定値が出力された後、前記差分積算部は、前記差分積算値をゼロにする、ことを特徴とする請求項4記載の位置検出装置。
  7. 前記初期値は1であることを特徴とする請求項5または6に記載の位置検出装置。
  8. 前記倍率設定部は、前記経過時間が時間設定値の倍数となる毎に、前記N値を最大設定値になるまで1単位ずつ増加して前記新たなN値を設定することを特徴とする請求項5〜7のいずれか1つに記載の位置検出装置。
  9. 前記倍率設定部は、前記N値の最大設定値を制限し、前記経過時間を入力とする関数によって前記新しいN値を設定する請求項7記載の位置検出装置。
  10. 前記センサは、リニアスケールであることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1つに記載の位置検出装置。
  11. 前記センサは、位置センサであることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1つに記載の位置検出装置。
JP2015103341A 2015-05-21 2015-05-21 位置検出装置 Active JP6483520B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015103341A JP6483520B2 (ja) 2015-05-21 2015-05-21 位置検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015103341A JP6483520B2 (ja) 2015-05-21 2015-05-21 位置検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016217889A JP2016217889A (ja) 2016-12-22
JP6483520B2 true JP6483520B2 (ja) 2019-03-13

Family

ID=57578572

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015103341A Active JP6483520B2 (ja) 2015-05-21 2015-05-21 位置検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6483520B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108883946B (zh) * 2016-03-25 2024-05-10 株式会社日本触媒 氧化锆纳米粒子

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56145409A (en) * 1980-04-14 1981-11-12 Graphtec Corp Position controller
JPH08292112A (ja) * 1995-04-20 1996-11-05 Sumitomo Electric Ind Ltd センサ異常検出システム
JP4946144B2 (ja) * 2006-04-13 2012-06-06 日本精工株式会社 分解能切換装置
JP5519321B2 (ja) * 2010-02-23 2014-06-11 株式会社日本自動車部品総合研究所 回転検出装置および直流モータ装置
US8981756B2 (en) * 2012-04-11 2015-03-17 Rockwell Automation Technologies, Inc. Adaptive threshold voltage for frequency input modules

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108883946B (zh) * 2016-03-25 2024-05-10 株式会社日本触媒 氧化锆纳米粒子

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016217889A (ja) 2016-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI438408B (zh) 偵測裝置
Bengtsson Lookup table optimization for sensor linearization in small embedded systems
JP6054732B2 (ja) 半導体装置及びオフセット電圧の補正方法
JP2013160758A (ja) 振動ビーム加速度計
JP5371720B2 (ja) 位置信号補正装置および位置信号補正方法
JP6483520B2 (ja) 位置検出装置
JP6739160B2 (ja) インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法
KR101810067B1 (ko) 표본화를 이용한 임피던스 크기 및 위상 측정 회로
JP2015094673A (ja) センサー用ic、センサーデバイス及び電子機器
JP6733415B2 (ja) 周波数カウンタおよびフィールド機器
JP2011033385A (ja) コリオリ質量流量計
US10317443B2 (en) Integrated capacitance measurement
JP7502244B2 (ja) データ・サンプル生成方法
US9518854B2 (en) Resonance circuit used for measurement device and measurement device
JP2005214932A (ja) 信号処理装置、この信号処理装置を用いた電圧測定装置及び電流測定装置
JP6371646B2 (ja) 帰還型パルス幅変調器
JP6079436B2 (ja) 半導体装置
JP7109727B2 (ja) 正弦波ノイズ除去装置及び正弦波ノイズ除去方法
JPWO2019053896A1 (ja) 信号処理装置、センサ装置および信号処理方法
JP6862901B2 (ja) 周波数比測定装置および物理量センサー
JP5369944B2 (ja) ディジタルフィルタおよび材料試験機
JP6712071B2 (ja) 波形復元装置及び波形復元方法
JP6957901B2 (ja) 周波数比測定装置および物理量センサー
JP6225628B2 (ja) プログラムコントローラ
JP2006345372A (ja) 占有帯域幅算出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180404

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190123

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190212

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190214

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6483520

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250